JP2007079897A - 温度制御方法、温度調節器および熱処理装置 - Google Patents
温度制御方法、温度調節器および熱処理装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 熱処理装置毎に、調整前の昇温時間を計測し、目標昇温時間との時間差に基いて、予め求めた関係式に従って調整値を算出し、処理を開始した後の予め定めた時点から目標温度を調整値に応じて変化させることにより、昇温時間を目標昇温時間になるように調整し、熱処理のバラツキを抑制している。
【選択図】 図4
Description
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る温度調節器を備える熱処理装置の概略構成図である。
(その他の実施の形態)
本発明は、複数の温度センサで熱板の温度を検出して複数のヒータで熱板を加熱する複数チャンネルにも同様に適用できるものであり、この場合は、試験用ワークを用いて計測する調整前昇温時間としては、試験用ワークの各チャンネルの検出温度の平均温度を用いて調整前昇温時間を計測してもよいし、あるいは、各チャンネル毎に計測された調整前昇温時間の平均値を調整前昇温時間としてもよい。
3 温度調節器 5 上位装置
6 記憶部 8 PIDコントローラ
Claims (9)
- 被処理物を処理する処理手段の温度を検出し、検出温度が目標温度に一致するように、前記処理手段の温度を制御する温度制御方法であって、
前記被処理物の温度が、初期温度近傍の第1の温度から前記目標温度近傍の第2の温度に達するまでの到達時間を調整するための調整データを予め取得し、
取得した調整データに基いて、前記被処理物の処理が開始された後に、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度を調整することを特徴とする温度制御方法。 - 調整前の前記到達時間を計測する第1のステップと、計測した到達時間と目標とする目標到達時間との時間差に基いて、前記調整データを取得する第2のステップとを含む請求項1に記載の温度制御方法。
- 前記第2のステップは、前記時間差と前記調整データとの関係を示す予め求めた関係式に基いて、前記調整データを取得するものである請求項2に記載の温度制御方法。
- 前記調整データが、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度の調整値であり、
前記被処理物の処理が開始された後の予め定めた時点で、前記調整値に応じて、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度を調整する請求項1〜3のいずれか1項に記載の温度制御方法。 - 前記被処理物が、前記処理手段に載置されて一定時間処理される請求項1〜4のいずれか1項に記載の温度制御方法。
- 被処理物を処理する処理手段の温度を検出し、検出温度が目標温度に一致するように、前記処理手段の温度を制御する温度調節器であって、
前記被処理物の温度が、初期温度近傍の第1の温度から前記目標温度近傍の第2の温度に達するまでの到達時間を調整する調整データが記憶される記憶部と、前記調整データに基いて、前記被処理物の処理が開始された後に、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度を調整する調整部とを備えることを特徴とする温度調節器。 - 前記調整データが、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度の調整値であり、
前記調整部は、前記処理が開始された後の予め定めた時点で、前記調整値に応じて、前記目標温度および前記検出温度の少なくともいずれか一方の温度を調整する請求項6に記載の温度調節器。 - 調整前の前記到達時間と目標とする目標到達時間との時間差に基いて、前記調整データを演算する演算部を備える請求項6または7に記載の温度調節器。
- 被処理物を処理する処理手段と、該処理手段の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段による検出温度が目標温度に一致するように、前記処理手段の温度を制御する前記請求項6ないし8のいずれか1項に記載の温度調節器とを備えることを特徴とする熱処理装置。
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JP2005266404A JP2007079897A (ja) | 2005-09-14 | 2005-09-14 | 温度制御方法、温度調節器および熱処理装置 |
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JP (1) | JP2007079897A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7868270B2 (en) | 2007-02-09 | 2011-01-11 | Tokyo Electron Limited | Temperature control for performing heat process in coating/developing system for resist film |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0796168A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置の温度制御方法 |
JP2005033178A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-02-03 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
-
2005
- 2005-09-14 JP JP2005266404A patent/JP2007079897A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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