JP2007078643A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

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克哉 飯田
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寿男 清水
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the effect due to signal delay or waveform distortion caused by connecting a measurement system, such as an LSI tester in an AC test, without enlarging the circuit scale so much, in a semiconductor integrated circuit having a built-in interface circuit for transferring serial data. <P>SOLUTION: The semiconductor integrated circuit comprises a first storage region 13a for storing parallel data supplied from the outside, a transmission circuit 11 for converting parallel data stored in the first storage region into serial data and transmitting it, a reception circuit 12 for converting the serial data received from the outside into parallel data, a second storage region 13b for storing the parallel data converted by the receiving circuit, and a matching detection circuit 14 for detecting the matching of the parallel data stored in the first storage region, with the parallel data stored in the second storage region, and outputting the detection result to the outside. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インタフェース回路を内蔵した半導体集積回路に関し、特に、高速のシリアルデータを転送するインタフェース回路を内蔵した半導体集積回路に関する。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit incorporating an interface circuit, and more particularly to a semiconductor integrated circuit incorporating an interface circuit that transfers high-speed serial data.

例えば、パーソナルコンピュータにおいて、本体と表示部との間で画像データをシリアルデータとして高速で転送するために、低電圧の差動信号であるLVDS(Low Voltage Differential Signal)を使用するLVDSインタフェース回路が用いられている。そのような高速インタフェース回路のACテストを行うために、通常は、高速動作が可能なLSIテスタが用いられている。しかしながら、高速仕様のLSIテスタは高価であると共に、測定チャンネル間における遅延量の違いによりスキューが発生し、測定結果がスキューの影響を受け易い。このような問題を解消して高速インタフェース回路のACテストを容易化するために、様々な技術が開発されている。   For example, in a personal computer, an LVDS interface circuit using a low voltage differential signal (LVDS), which is a low voltage differential signal, is used to transfer image data as serial data at high speed between a main body and a display unit. It has been. In order to perform an AC test of such a high-speed interface circuit, an LSI tester capable of high-speed operation is usually used. However, a high-speed LSI tester is expensive and skew is generated due to a difference in delay amount between measurement channels, and the measurement result is easily affected by the skew. Various techniques have been developed to solve such problems and facilitate AC testing of high-speed interface circuits.

関連する技術として、下記の特許文献1には、高速動作する半導体デバイスを、これよりも動作速度の遅い検査装置を用いて検査するための半導体集積回路及びその検査方法が開示されている。この検査方法によれば、被検査デバイスにおいて、第1の論理回路が、レジスタに記憶した通常の信号転送レートの信号パターンを高い信号転送レートの高速信号パターンに変換し、その高速信号を送信回路が送信する。この検査時には、スイッチ回路が閉じられ、前記送信された高速信号は受信回路で受信される。この受信高速信号は、第2の論理回路に出力され、この論理回路で通常レートの低速信号に変換されて、検査装置に出力される。   As a related technique, the following Patent Document 1 discloses a semiconductor integrated circuit for inspecting a semiconductor device that operates at high speed by using an inspection apparatus having an operation speed slower than that of the semiconductor device, and an inspection method thereof. According to this inspection method, in the device under test, the first logic circuit converts the signal pattern of the normal signal transfer rate stored in the register into a high-speed signal pattern of a high signal transfer rate, and the high-speed signal is transmitted to the transmission circuit. Send. At the time of this inspection, the switch circuit is closed, and the transmitted high-speed signal is received by the receiving circuit. This received high-speed signal is output to the second logic circuit, converted to a low-speed signal at a normal rate by this logic circuit, and output to the inspection apparatus.

また、下記の特許文献2には、テスタとの入出力は低い速度で行いながら、回路内部を高速で動作させる送信装置、受信装置、テスト回路及びテスト方法が開示されている。このテスト回路は、テスタより入力されるテストクロックを分周してPLLクロックを生成するPLLと、テスタより入力される入力データをテストクロックで格納し、PLLクロックで出力するFIFOと、入力データをビット分散させるエンコーダと、エンコーダの出力信号を外部に伝送するドライバと、テストクロックを分周してPLLクロックを生成するPLLと、レシーバが受信した信号をビット整列させるデコーダと、PLLクロックで格納したデコーダの出力信号を、テストクロックに同期させてテスタに出力するFIFOとを有する。   Patent Document 2 below discloses a transmission device, a reception device, a test circuit, and a test method that operate the circuit at high speed while performing input / output to / from the tester at a low speed. This test circuit divides a test clock input from a tester to generate a PLL clock, stores input data input from the tester as a test clock, and outputs a FIFO output by the PLL clock, and input data. Bit-distributed encoder, driver that transmits encoder output signal to the outside, PLL that divides the test clock to generate PLL clock, decoder that bit-aligns the signal received by the receiver, and PLL clock And a FIFO for outputting the output signal of the decoder to the tester in synchronization with the test clock.

特許文献1又は2によれば、半導体集積回路とLSIテスタとの間で伝送されるデータのビットレートを低減することはできるが、伝送データが信号遅延や波形歪の影響を受けることは避けられない。   According to Patent Document 1 or 2, it is possible to reduce the bit rate of data transmitted between the semiconductor integrated circuit and the LSI tester, but it is unavoidable that the transmission data is affected by signal delay or waveform distortion. Absent.

さらに、下記の特許文献3には、簡単なボード構成によって迅速に1GHzを超える高速I/Oのテストを、複数のI/O仕様毎にテストシステムを変更することなく行う試験方法が開示されている。この試験方法においては、高速入出力装置を備えた半導体集積回路装置の外部出力端子と外部入力端子とを伝送線路で接続するループバック・パスを設けたロード・ボード上に半導体集積回路装置を搭載し、半導体集積回路装置の内部に設けたテスト手段とループバック・パスとを利用して、高速入出力装置の動作が半導体集積回路装置の内部において試験される。   Further, Patent Document 3 below discloses a test method for performing a high-speed I / O test exceeding 1 GHz quickly with a simple board configuration without changing the test system for each of a plurality of I / O specifications. Yes. In this test method, a semiconductor integrated circuit device is mounted on a load board provided with a loopback path for connecting an external output terminal and an external input terminal of a semiconductor integrated circuit device having a high-speed input / output device with a transmission line. The operation of the high-speed input / output device is tested inside the semiconductor integrated circuit device by using the test means and the loopback path provided inside the semiconductor integrated circuit device.

特許文献3によれば、半導体集積回路とLSIテスタとの間でデータを伝送する必要はなくなるが、バウンダリ・スキャン・レジスタを使用するので、回路規模が大きくなってしまうという問題がある。
特開2000−171524号公報(第1頁、図1) 特開2003−337161号公報(第1頁、図1) 特開2003−167034号公報(第1頁、図1)
According to Patent Document 3, there is no need to transmit data between a semiconductor integrated circuit and an LSI tester, but there is a problem that the circuit scale becomes large because a boundary scan register is used.
JP 2000-171524 A (first page, FIG. 1) JP 2003-337161 A (first page, FIG. 1) Japanese Patent Laying-Open No. 2003-167034 (first page, FIG. 1)

そこで、上記の点に鑑み、本発明は、シリアルデータを転送するインタフェース回路を内蔵した半導体集積回路において、回路規模をあまり大きくすることなく、ACテストにおいてLSIテスタ等の測定系を接続することによる信号遅延や波形歪の影響を排除することを目的とする。   Therefore, in view of the above points, the present invention provides a semiconductor integrated circuit incorporating an interface circuit for transferring serial data by connecting a measurement system such as an LSI tester in an AC test without enlarging the circuit scale. The object is to eliminate the influence of signal delay and waveform distortion.

上記課題を解決するため、本発明の1つの観点に係る半導体集積回路は、テストモードにおいて外部から供給される第1のクロック信号に同期して、第1のクロック信号よりも高い周波数を有する第2のクロック信号を生成するPLL回路と、テストモードにおいて、外部から供給されるパラレルデータを格納する第1の格納領域と、第1の格納領域に格納されているパラレルデータをシリアルデータに変換し、第2のクロック信号に同期して該シリアルデータを外部に送信する送信回路と、第2のクロック信号に同期してシリアルデータを外部から受信し、該シリアルデータをパラレルデータに変換する受信回路と、テストモードにおいて、受信回路によって変換されたパラレルデータを格納する第2の格納領域と、第1の格納領域に格納されているパラレルデータと第2の格納領域に格納されているパラレルデータとの一致検出を行い、検出結果を外部に出力する一致検出回路とを具備する。   In order to solve the above problem, a semiconductor integrated circuit according to one aspect of the present invention has a higher frequency than a first clock signal in synchronization with a first clock signal supplied from the outside in a test mode. A PLL circuit for generating a clock signal of 2, a first storage area for storing parallel data supplied from the outside in the test mode, and converting parallel data stored in the first storage area into serial data A transmission circuit for transmitting the serial data to the outside in synchronization with the second clock signal, and a reception circuit for receiving the serial data from the outside in synchronization with the second clock signal and converting the serial data to parallel data And in the test mode, the second storage area for storing the parallel data converted by the receiving circuit and the first storage area It performs coincidence detection between the parallel data stored in the parallel data and a second storage area being comprises a coincidence detection circuit for outputting a detection result to the outside.

ここで、半導体集積回路が、送信回路に供給される第2のクロック信号の遅延量を設定するためのデータを格納する第3の格納領域と、第3の格納領域に格納されているデータに基づいて、テストモードにおいて送信回路に供給される第2のクロック信号の遅延量を調整する遅延回路とをさらに具備するようにしても良い。   Here, the semiconductor integrated circuit includes a third storage area for storing data for setting a delay amount of the second clock signal supplied to the transmission circuit, and data stored in the third storage area. Based on this, a delay circuit for adjusting the delay amount of the second clock signal supplied to the transmission circuit in the test mode may be further provided.

また、半導体集積回路が、テストモードにおいて、第1の格納領域から読み出されたパラレルデータを送信回路に選択的に供給する第1のスイッチ回路と、テストモードにおいて、受信回路によって変換されたパラレルデータを第2の格納領域に選択的に供給する第2のスイッチ回路と、外部から供給されるテスト制御信号に従って第1及び第2のスイッチ回路を制御するテスト制御回路とをさらに具備するようにしても良い。   In addition, the semiconductor integrated circuit has a first switch circuit that selectively supplies parallel data read from the first storage area to the transmission circuit in the test mode, and a parallel converted by the reception circuit in the test mode. A second switch circuit that selectively supplies data to the second storage area; and a test control circuit that controls the first and second switch circuits in accordance with a test control signal supplied from the outside. May be.

その場合に、半導体集積回路が、送信回路から外部にシリアルデータを送信するための第1の端子と、外部から受信回路にシリアルデータを受信するための第2の端子と、第1の格納領域に格納されるパラレルデータを入力するための第3の端子と、第3の格納領域に格納されるデータを入力するための第4の端子と、テスト制御回路に供給されるテスト制御信号を入力するための第5の端子と、PLL回路に供給される第1のクロック信号を入力するための第6の端子と、一致検出回路の検出結果を出力するための第7の端子とをさらに具備するようにしても良い。テストモードにおいて、第1の端子と第2の端子とを外部でショートすることにより、ACテストを行うことができる。   In this case, the semiconductor integrated circuit has a first terminal for transmitting serial data from the transmission circuit to the outside, a second terminal for receiving serial data from the outside to the reception circuit, and a first storage area. A third terminal for inputting parallel data stored in the memory, a fourth terminal for inputting data stored in the third storage area, and a test control signal supplied to the test control circuit are input. And a sixth terminal for inputting the first clock signal supplied to the PLL circuit, and a seventh terminal for outputting the detection result of the coincidence detection circuit. You may make it do. In the test mode, an AC test can be performed by externally shorting the first terminal and the second terminal.

本発明によれば、送信用のパラレルデータを第1の格納領域に格納すると共にシリアルデータに変換して送信し、これを受信して得られたシリアルデータをパラレルデータに変換して第2の格納領域に格納し、これらの一致検出を行って検出結果を外部に出力することにより、回路規模をあまり大きくすることなく、ACテストにおいてLSIテスタ等の測定系を接続することによる信号遅延や波形歪の影響を排除することができる。   According to the present invention, the parallel data for transmission is stored in the first storage area, converted into serial data and transmitted, and the serial data obtained by receiving the parallel data is converted into parallel data to be converted into the second data. By storing these in the storage area, detecting the coincidence and outputting the detection results to the outside, the signal delay and waveform by connecting a measurement system such as an LSI tester in the AC test without significantly increasing the circuit scale The influence of distortion can be eliminated.

以下に、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路及びACテストを行うための測定系の構成を示す図である。半導体集積回路1のACテストを行う際には、複数のプローブを有するプローブカード2を用いて、半導体集積回路1とLSIテスタ3との間で信号の伝送が行われる。プローブカード2には、ループバック・パスを形成するための高周波用のリレー21が設けられている。なお、LSIテスタ3としては、特に高速仕様のものを用いる必要はないので、テストコストを低減することができる。
The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a semiconductor integrated circuit and a measurement system for performing an AC test according to an embodiment of the present invention. When performing an AC test of the semiconductor integrated circuit 1, signals are transmitted between the semiconductor integrated circuit 1 and the LSI tester 3 using a probe card 2 having a plurality of probes. The probe card 2 is provided with a high-frequency relay 21 for forming a loopback path. Note that it is not necessary to use an LSI tester 3 having a high-speed specification in particular, so that the test cost can be reduced.

図1に示すように、半導体集積回路1は、高速インタフェース回路として、供給される低速クロック信号CKLに同期して、低速クロック信号CKLよりも高い周波数を有する高速クロック信号CKHを生成するPLL回路10と、パラレルデータをシリアルデータに変換し、高速クロック信号CKHに同期して該シリアルデータを外部に送信する送信回路11と、高速クロック信号CKHに同期してシリアルデータを外部から受信し、該シリアルデータをパラレルデータに変換する受信回路12とを有している。   As shown in FIG. 1, the semiconductor integrated circuit 1 is a high-speed interface circuit that generates a high-speed clock signal CKH having a frequency higher than that of the low-speed clock signal CKL in synchronization with the supplied low-speed clock signal CKL. The parallel circuit converts serial data into serial data, and transmits the serial data to the outside in synchronization with the high-speed clock signal CKH. The serial data is received from the outside in synchronization with the high-speed clock signal CKH. And a receiving circuit 12 for converting data into parallel data.

PLL回路10には、通常動作モードにおいて、内部回路から低速クロック信号CKLが供給され、高速インタフェース回路のテストモード(本願において、単に「テストモード」ともいう)において、LSIテスタ3からプローブカード2を介して低速クロック信号CKLが供給される。   The PLL circuit 10 is supplied with the low-speed clock signal CKL from the internal circuit in the normal operation mode, and the probe card 2 is connected from the LSI tester 3 in the test mode of the high-speed interface circuit (also simply referred to as “test mode” in the present application). Through this, the low-speed clock signal CKL is supplied.

さらに、半導体集積回路1は、RAM(ランダム・アクセス・メモリ)13と、RAM13に格納されている送信用のデータと受信されたデータとの一致検出を行い、検出結果を外部に出力する一致検出回路14と、RAM13に格納されている遅延制御データに基づいて、送信回路11に供給される高速クロック信号CKHの遅延量を調整する遅延回路15と、スイッチ回路16〜18と、スイッチ回路16〜18を制御するテスト制御回路19とを有している。   Further, the semiconductor integrated circuit 1 detects a match between the RAM (Random Access Memory) 13 and the data for transmission stored in the RAM 13 and the received data, and outputs a detection result to the outside. A delay circuit 15 that adjusts a delay amount of the high-speed clock signal CKH supplied to the transmission circuit 11 based on the delay control data stored in the circuit 14 and the RAM 13, switch circuits 16 to 18, and switch circuits 16 to And a test control circuit 19 for controlling 18.

RAM13は、通常動作モードにおいて一般的な信号処理に使用するために設けられているが、テストモードにおいては、送信用のデータや受信されたデータ等を一時的に格納するために用いられる。テストモードにおいて、RAM13は、LSIテスタ3からプローブカード2を介して供給されるパラレルデータを格納する送信データ格納領域13aと、受信回路12によってシリアルデータから変換されたパラレルデータを格納する受信データ格納領域13bと、遅延回路15における遅延量を設定するための遅延制御データを格納する遅延制御データ格納領域13cとを有している。   The RAM 13 is provided for use in general signal processing in the normal operation mode. In the test mode, the RAM 13 is used for temporarily storing data for transmission, received data, and the like. In the test mode, the RAM 13 stores a transmission data storage area 13a for storing parallel data supplied from the LSI tester 3 via the probe card 2, and a reception data storage for storing parallel data converted from serial data by the receiving circuit 12. An area 13b and a delay control data storage area 13c for storing delay control data for setting a delay amount in the delay circuit 15 are provided.

一致検出回路14は、送信データ格納領域13aに格納されているパラレルデータと受信データ格納領域13bに格納されているパラレルデータとの一致検出を行う。また、遅延回路15は、遅延制御データ格納領域13cに格納されている遅延制御データに基づいて、PLL回路10によって生成された高速クロック信号CKHの遅延量を調整する。これにより、送信回路11から高速クロック信号CKHに同期して出力されるデータの遷移タイミングが調整されて、送信回路11と受信回路12との間でAC特性をテストすることができる。   The coincidence detection circuit 14 performs coincidence detection between the parallel data stored in the transmission data storage area 13a and the parallel data stored in the reception data storage area 13b. The delay circuit 15 adjusts the delay amount of the high-speed clock signal CKH generated by the PLL circuit 10 based on the delay control data stored in the delay control data storage area 13c. Thereby, the transition timing of data output from the transmission circuit 11 in synchronization with the high-speed clock signal CKH is adjusted, and the AC characteristics can be tested between the transmission circuit 11 and the reception circuit 12.

スイッチ回路16は、通常動作モードにおいて、PLL回路10によって生成された高速クロック信号CKHを送信回路11に供給し、テストモードにおいて、遅延回路15によって遅延量が調整された高速クロック信号CKHを送信回路11に供給する。   The switch circuit 16 supplies the high-speed clock signal CKH generated by the PLL circuit 10 to the transmission circuit 11 in the normal operation mode, and transmits the high-speed clock signal CKH whose delay amount is adjusted by the delay circuit 15 in the test mode. 11 is supplied.

スイッチ回路17は、通常動作モードにおいて、内部回路において生成されたパラレルデータを送信回路11に供給し、テストモードにおいて、RAM13の送信データ格納領域13aから読み出されたパラレルデータを送信回路11に供給する。また、スイッチ回路18は、通常動作モードにおいて、受信回路12によってシリアルデータから変換されたパラレルデータを内部回路に供給し、テストモードにおいて、受信回路12によってシリアルデータから変換されたパラレルデータをRAM13の受信データ格納領域13bに供給する。   The switch circuit 17 supplies the parallel data generated in the internal circuit to the transmission circuit 11 in the normal operation mode, and supplies the parallel data read from the transmission data storage area 13a of the RAM 13 to the transmission circuit 11 in the test mode. To do. The switch circuit 18 supplies the parallel data converted from the serial data by the receiving circuit 12 to the internal circuit in the normal operation mode, and the parallel data converted from the serial data by the receiving circuit 12 in the test mode in the RAM 13. The data is supplied to the reception data storage area 13b.

半導体集積回路1には、通常動作モードとテストモードとの両方において用いられる端子(パッド)として、送信回路11から外部にシリアルデータを送信するための端子P1と、外部から受信回路12にシリアルデータを受信するための端子P2とが設けられている。   The semiconductor integrated circuit 1 includes a terminal P1 for transmitting serial data from the transmission circuit 11 to the outside as a terminal (pad) used in both the normal operation mode and the test mode, and serial data to the reception circuit 12 from the outside. And a terminal P2 for receiving.

さらに、半導体集積回路1には、テストモードにおいてLSIテスタ3との間で信号の入出力を行うために用いられる端子(パッド)として、RAM13の送信データ格納領域13aに格納されるパラレルデータを入力するための端子P3と、RAM13の遅延制御データ格納領域13cに格納されるデータを入力するための端子P4と、テスト制御回路19に供給されるテスト制御信号を入力するための端子P5と、PLL回路10に供給される低速クロック信号CKLを入力するための端子P6と、一致検出回路14の検出結果を出力するための端子P7とが設けられている。   Furthermore, parallel data stored in the transmission data storage area 13a of the RAM 13 is input to the semiconductor integrated circuit 1 as terminals (pads) used for inputting / outputting signals to / from the LSI tester 3 in the test mode. A terminal P3 for inputting data, a terminal P4 for inputting data stored in the delay control data storage area 13c of the RAM 13, a terminal P5 for inputting a test control signal supplied to the test control circuit 19, and a PLL A terminal P6 for inputting the low-speed clock signal CKL supplied to the circuit 10 and a terminal P7 for outputting the detection result of the coincidence detection circuit 14 are provided.

テストモードにおいては、LSIテスタ3の制御の下で、プローブカード2に設けられている高周波用のリレー21が、端子P1と端子P2とをショートする。これにより、半導体集積回路1の近傍において高速シリアルデータのループバックが形成され、半導体集積回路1とLSIテスタ3との間で高速シリアルデータを伝送する必要がなくなるので、半導体集積回路1とLSIテスタ3とを接続するための配線が高速シリアルデータに及ぼす影響を回避できる。   In the test mode, under the control of the LSI tester 3, the high frequency relay 21 provided in the probe card 2 shorts the terminals P1 and P2. As a result, a loopback of high-speed serial data is formed in the vicinity of the semiconductor integrated circuit 1, and it is not necessary to transmit high-speed serial data between the semiconductor integrated circuit 1 and the LSI tester 3, so that the semiconductor integrated circuit 1 and the LSI tester 3 can avoid the influence of the wiring for connecting 3 to the high-speed serial data.

また、LSIテスタ3は、プローブカード2を介して半導体集積回路1のPLL回路10に低速クロック信号CKLを供給すると共に、RAM13の送信データ格納領域13aにパラレルデータを供給し、RAM13の遅延制御データ格納領域13cに遅延制御データを供給する。   The LSI tester 3 supplies the low-speed clock signal CKL to the PLL circuit 10 of the semiconductor integrated circuit 1 through the probe card 2 and supplies parallel data to the transmission data storage area 13 a of the RAM 13, thereby delay control data of the RAM 13. Delay control data is supplied to the storage area 13c.

さらに、LSIテスタ3が、プローブカード2を介して半導体集積回路1のテスト制御回路19にテスト制御信号を供給することにより、テスト制御回路19が、スイッチ回路16〜18を制御する。その結果、スイッチ回路16〜18は、図1において実線で示すような接続状態となる。これにより、RAM13の送信データ格納領域13aから読み出されたパラレルデータが送信回路11に供給され、送信回路11から出力されるシリアルデータの遅延量が遅延回路15によって調整されると共に、受信回路12においてシリアルデータから変換されたパラレルデータがRAM13の受信データ格納領域13bに書き込まれる。   Further, the LSI tester 3 supplies a test control signal to the test control circuit 19 of the semiconductor integrated circuit 1 via the probe card 2, whereby the test control circuit 19 controls the switch circuits 16 to 18. As a result, the switch circuits 16 to 18 are connected as shown by a solid line in FIG. Thereby, the parallel data read from the transmission data storage area 13a of the RAM 13 is supplied to the transmission circuit 11, the delay amount of the serial data output from the transmission circuit 11 is adjusted by the delay circuit 15, and the reception circuit 12 The parallel data converted from the serial data is written in the reception data storage area 13b of the RAM 13.

一致検出回路14は、送信データ格納領域13aに格納されているパラレルデータと受信データ格納領域13bに格納されているパラレルデータとを比較して一致検出を行い、一致検出の検出結果を、プローブカード2を介してLSIテスタ3に出力する。このように、半導体集積回路1に内蔵されているRAM13を利用して、送信用のパラレルデータと、受信されたシリアルデータから変換されたパラレルデータとを、一旦メモリに格納してから比較することにより、パラレルデータに含まれている複数のビットについて同時に一致検出を行って、検出結果を出力することができる。伝送データを出力してLSIテスタ3において一致検出する場合と異なり、半導体集積回路1とLSIテスタ3との間の配線における信号遅延や波形歪の影響を受けることなく、送信系と受信系のACテストを同時に行うことができる。   The coincidence detection circuit 14 compares the parallel data stored in the transmission data storage area 13a with the parallel data stored in the reception data storage area 13b, and performs coincidence detection. 2 to output to the LSI tester 3. Thus, using the RAM 13 built in the semiconductor integrated circuit 1, the parallel data for transmission and the parallel data converted from the received serial data are temporarily stored in the memory and then compared. Thus, coincidence detection can be simultaneously performed on a plurality of bits included in the parallel data, and the detection result can be output. Unlike the case where the transmission data is output and the coincidence detection is performed by the LSI tester 3, the AC of the transmission system and the reception system is not affected by signal delay or waveform distortion in the wiring between the semiconductor integrated circuit 1 and the LSI tester 3. Tests can be performed simultaneously.

本発明の一実施形態に係る半導体集積回路及びACテストを行うための測定系の構成を示す図。The figure which shows the structure of the measurement system for performing the semiconductor integrated circuit and AC test concerning one Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 半導体集積回路、 2 プローブカード、 3 LSIテスタ、 10 PLL回路、 11 送信回路、 12 受信回路、 13 RAM、 13a 送信データ格納領域、 13b 受信データ格納領域、 13c 遅延制御データ格納領域、 14 一致検出回路、 15 遅延回路、 16〜18 スイッチ回路、 19 テスト制御回路、 21 リレー   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor integrated circuit, 2 Probe card, 3 LSI tester, 10 PLL circuit, 11 Transmission circuit, 12 Reception circuit, 13 RAM, 13a Transmission data storage area, 13b Reception data storage area, 13c Delay control data storage area, 14 Match detection Circuit, 15 delay circuit, 16-18 switch circuit, 19 test control circuit, 21 relay

Claims (5)

テストモードにおいて外部から供給される第1のクロック信号に同期して、第1のクロック信号よりも高い周波数を有する第2のクロック信号を生成するPLL回路と、
テストモードにおいて、外部から供給されるパラレルデータを格納する第1の格納領域と、
前記第1の格納領域に格納されているパラレルデータをシリアルデータに変換し、第2のクロック信号に同期して該シリアルデータを外部に送信する送信回路と、
第2のクロック信号に同期してシリアルデータを外部から受信し、該シリアルデータをパラレルデータに変換する受信回路と、
テストモードにおいて、前記受信回路によって変換されたパラレルデータを格納する第2の格納領域と、
前記第1の格納領域に格納されているパラレルデータと前記第2の格納領域に格納されているパラレルデータとの一致検出を行い、検出結果を外部に出力する一致検出回路と、
を具備する半導体集積回路。
A PLL circuit that generates a second clock signal having a frequency higher than that of the first clock signal in synchronization with the first clock signal supplied from the outside in the test mode;
A first storage area for storing parallel data supplied from outside in the test mode;
A transmission circuit for converting parallel data stored in the first storage area into serial data and transmitting the serial data to the outside in synchronization with a second clock signal;
A receiving circuit for receiving serial data from the outside in synchronization with the second clock signal and converting the serial data into parallel data;
A second storage area for storing parallel data converted by the receiving circuit in the test mode;
A coincidence detection circuit for performing coincidence detection between the parallel data stored in the first storage area and the parallel data stored in the second storage area, and outputting a detection result to the outside;
A semiconductor integrated circuit comprising:
前記送信回路に供給される第2のクロック信号の遅延量を設定するためのデータを格納する第3の格納領域と、
前記第3の格納領域に格納されているデータに基づいて、テストモードにおいて前記送信回路に供給される第2のクロック信号の遅延量を調整する遅延回路と、
をさらに具備する、請求項1記載の半導体集積回路。
A third storage area for storing data for setting a delay amount of the second clock signal supplied to the transmission circuit;
A delay circuit that adjusts a delay amount of the second clock signal supplied to the transmission circuit in a test mode based on data stored in the third storage area;
The semiconductor integrated circuit according to claim 1, further comprising:
テストモードにおいて、前記第1の格納領域から読み出されたパラレルデータを前記送信回路に選択的に供給する第1のスイッチ回路と、
テストモードにおいて、前記受信回路によって変換されたパラレルデータを前記第2の格納領域に選択的に供給する第2のスイッチ回路と、
外部から供給されるテスト制御信号に従って前記第1及び第2のスイッチ回路を制御するテスト制御回路と、
をさらに具備する、請求項2記載の半導体集積回路。
In a test mode, a first switch circuit that selectively supplies parallel data read from the first storage area to the transmission circuit;
A second switch circuit for selectively supplying the parallel data converted by the receiving circuit to the second storage area in a test mode;
A test control circuit for controlling the first and second switch circuits in accordance with a test control signal supplied from the outside;
The semiconductor integrated circuit according to claim 2, further comprising:
前記送信回路から外部にシリアルデータを送信するための第1の端子と、
外部から前記受信回路にシリアルデータを受信するための第2の端子と、
前記第1の格納領域に格納されるパラレルデータを入力するための第3の端子と、
前記第3の格納領域に格納されるデータを入力するための第4の端子と、
前記テスト制御回路に供給されるテスト制御信号を入力するための第5の端子と、
前記PLL回路に供給される第1のクロック信号を入力するための第6の端子と、
前記一致検出回路の検出結果を出力するための第7の端子と、
をさらに具備する、請求項3記載の半導体集積回路。
A first terminal for transmitting serial data from the transmission circuit to the outside;
A second terminal for receiving serial data from the outside to the receiving circuit;
A third terminal for inputting parallel data stored in the first storage area;
A fourth terminal for inputting data stored in the third storage area;
A fifth terminal for inputting a test control signal supplied to the test control circuit;
A sixth terminal for inputting a first clock signal supplied to the PLL circuit;
A seventh terminal for outputting a detection result of the coincidence detection circuit;
The semiconductor integrated circuit according to claim 3, further comprising:
テストモードにおいて、前記第1の端子と前記第2の端子とが外部でショートされる、請求項4記載の半導体集積回路。   The semiconductor integrated circuit according to claim 4, wherein in the test mode, the first terminal and the second terminal are short-circuited externally.
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