JP2007064731A - Device and method for measuring porous material characteristics - Google Patents

Device and method for measuring porous material characteristics Download PDF

Info

Publication number
JP2007064731A
JP2007064731A JP2005249180A JP2005249180A JP2007064731A JP 2007064731 A JP2007064731 A JP 2007064731A JP 2005249180 A JP2005249180 A JP 2005249180A JP 2005249180 A JP2005249180 A JP 2005249180A JP 2007064731 A JP2007064731 A JP 2007064731A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
storage unit
amount
porous material
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005249180A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4572297B2 (en
Inventor
Hiroshi Iiyama
拓 飯山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinshu University NUC
Original Assignee
Shinshu University NUC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinshu University NUC filed Critical Shinshu University NUC
Priority to JP2005249180A priority Critical patent/JP4572297B2/en
Publication of JP2007064731A publication Critical patent/JP2007064731A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4572297B2 publication Critical patent/JP4572297B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for measuring characteristics for a porous material provided with constitution capable of obtaining easily various characteristics of the porous material. <P>SOLUTION: The device 1 includes a storage part 3 for storing the porous material 2, a pressure detecting part 4 for detecting internal pressure of the storage part 3, a gas storage part 5 for storing prescribed gas introduced into the storage part 3, and a gas exhaust part 6 for exhausting the gas from the storage part 3. In this characteristic measuring instrument 1, an introduction volume of the gas into the storage part 3 and a discharge volume of the gas from the storage part 3 are controlled based on detection pressure detected by the pressure detecting part 4 to maintain the internal pressure in the storage part 3 at a constant level. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、多孔性物質の特性測定装置および多孔性物質の特性測定方法に関する。   The present invention relates to a porous material property measuring apparatus and a porous material property measuring method.

ゼオライトや活性炭等の多孔性物質の内部には、大量の微少空間が形成されている。この微少空間は種々のガスを吸着することから、微少空間を利用したガスの貯蔵や分離、反応が注目されている。近年では、水素やメタン等の貯蔵や、環境負荷物質の除去等を行うための新規な多孔性物質の開発が盛んに行われている。   A large amount of minute space is formed inside a porous material such as zeolite or activated carbon. Since this minute space adsorbs various gases, gas storage, separation, and reaction using the minute space have attracted attention. In recent years, development of new porous materials for storing hydrogen, methane, etc., removing environmentally hazardous materials, and the like has been actively conducted.

微少空間へのガスの取込量、すなわち、ガスの吸着量は、多孔性物質の重要な特性の一つである。そのため、新規な多孔性物質が合成された際等には、必ず、ガスの吸着量の測定が行われている。かかる吸着量の測定方法としては、コイルスプリング等の弾性体の伸長量から多孔性物質の重量増加分を測定することで吸着量を直接的に測定する重量法や、密閉容器内に封入したガスの圧力の変化を測定し気体の状態方程式を用いて吸着量を間接的に測定する容量法が知られている(たとえば、特許文献1から3参照)。   The amount of gas taken into the minute space, that is, the amount of gas adsorbed is one of the important characteristics of the porous material. Therefore, when a new porous material is synthesized, the amount of gas adsorption is always measured. As a method for measuring the amount of adsorption, a gravimetric method in which the amount of adsorption is directly measured by measuring the weight increase of the porous material from the amount of expansion of an elastic body such as a coil spring, or a gas sealed in a sealed container. A capacity method is known in which the amount of adsorption is indirectly measured using a gas equation of state by measuring a change in pressure of the gas (see, for example, Patent Documents 1 to 3).

重量法や容量法では、多孔性物質が収納された収納容器の内部温度を所定の温度に維持した状態で、吸着量の圧力依存性が測定される。すなわち、一定温度下において、収納容器の内圧を変化させたときの多孔性物質の吸着量が測定され、その測定結果に基づいて、一定温度下における多孔性物質の吸着量と収納容器の内圧との関係を示す吸着等温線が作成される。吸着量の圧力依存性の測定は、必要に応じて、収納容器の内部温度を種々変えながら行われ、各温度に対応した吸着等温線が作成される。そして、作成された吸着等温線を用いて吸着量の算出や多孔性物質の他の特性の解析が行われる。   In the weight method and the volume method, the pressure dependency of the adsorption amount is measured in a state in which the internal temperature of the storage container storing the porous substance is maintained at a predetermined temperature. That is, the amount of adsorption of the porous material when the internal pressure of the storage container is changed at a constant temperature is measured. Based on the measurement result, the amount of adsorption of the porous material at a constant temperature and the internal pressure of the storage container An adsorption isotherm showing the relationship is created. The measurement of the pressure dependency of the adsorption amount is performed while changing the internal temperature of the storage container as required, and an adsorption isotherm corresponding to each temperature is created. And the amount of adsorption | suction and the analysis of the other characteristic of a porous substance are performed using the produced adsorption isotherm.

特開2005−69848号公報JP 2005-69848 A 特開2002−277369号公報JP 2002-277369 A 特開2000−292246号公報JP 2000-292246 A

多孔性物質の特性として、上述した吸着量以外にも重要な特性がある。たとえば、吸着されたガスと多孔性物質との結合力の指標となる吸着熱が、多孔性物質の重要な特性として挙げられる。しかしながら、重量法や容量法での測定結果から、直接的に得ることができるのは吸着等温線である。そして、吸着量以外の特性を得るためには、作成された吸着等温線を利用した複雑な解析が必要となる。   As a characteristic of the porous material, there is an important characteristic other than the above-described adsorption amount. For example, the heat of adsorption, which is an index of the binding force between the adsorbed gas and the porous material, is an important characteristic of the porous material. However, it is the adsorption isotherm that can be obtained directly from the measurement results by the gravimetric method or the volumetric method. And in order to obtain characteristics other than the adsorption amount, a complicated analysis using the created adsorption isotherm is required.

そこで、本発明の課題は、多孔性物質の種々の特性を容易に得ることが可能な構成を備えた多孔性物質の特性測定装置および多孔性物質の特性測定方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a porous substance characteristic measuring apparatus and a porous substance characteristic measuring method having a configuration capable of easily obtaining various characteristics of a porous substance.

上記の課題を解決するため、本発明の多孔性物質の特性測定装置は、容積が一定で多孔性物質が収納された収納部と、収納部へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部と、収納部からガスの排気を行うガス排気部とを備えるとともに、収納部の内部圧力を検出する圧力検出部を有し、圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて収納部へのガスの導入量と収納部からのガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して、収納部の内部圧力を一定に維持するフィードバック制御部を備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the device for measuring characteristics of a porous material according to the present invention includes a storage unit having a constant volume and storing a porous material, and a gas storage storing a predetermined gas introduced into the storage unit. And a gas exhaust unit that exhausts gas from the storage unit, and has a pressure detection unit that detects the internal pressure of the storage unit, based on the detected pressure detected by the pressure detection unit. A feedback control unit is provided that controls at least one of the amount of gas introduced and the amount of gas discharged from the storage unit to maintain the internal pressure of the storage unit constant.

本発明の多孔性物質の特性測定装置は、圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて、ガスの導入量と排出量との少なくともいずれか一方を制御して、収納部の内部圧力を一定に維持するフィードバック制御部を備えている。そのため、多孔性物質が収納された収納部の内部圧力を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、収納部の内部の温度や電場、あるいは磁場を変化させることができる。また、収納部の内部圧力を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、強度を変化させつつ多孔性物質に光を照射することができる。したがって、圧力一定下における多孔性物質の種々の特性を容易に測定することができる。たとえば、圧力一定下における多孔性物質の温度と吸着量との関係を測定することができ、その測定結果に基づいて直接的に吸着等圧線の作成が可能となる。   The device for measuring characteristics of a porous material according to the present invention controls the at least one of the gas introduction amount and the gas discharge amount based on the detected pressure detected by the pressure detection unit to keep the internal pressure of the storage unit constant. A feedback control unit for maintaining Therefore, it is possible to change the temperature, electric field, or magnetic field inside the storage unit while introducing gas into the storage unit while keeping the internal pressure of the storage unit in which the porous material is stored constant. Moreover, it is possible to irradiate the porous material with light while changing the strength while introducing the gas into the storage portion while keeping the internal pressure of the storage portion constant. Therefore, various characteristics of the porous material under a constant pressure can be easily measured. For example, it is possible to measure the relationship between the temperature and the amount of adsorption of a porous material under a constant pressure, and it is possible to directly create an adsorption isobaric line based on the measurement result.

本発明において、フィードバック制御部は、収納部とガス貯蔵部との間に配設され、収納部へのガスの導入量を調整する導入量調整部と、収納部とガス排気部との間に配設され、収納部からのガスの排出量を調整する排出量調整部とを備え、圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて収納部の内部圧力を所定の設定値に維持するように、導入量調整部と排出量調整部との少なくともいずれか一方の流量調整を行うことが好ましい。このように構成すると、導入量調整部や排出量調整部によって、ガスの導入量や排出量の調整を容易に行うことができる。   In the present invention, the feedback control unit is disposed between the storage unit and the gas storage unit, and between the storage unit and the gas exhaust unit, an introduction amount adjustment unit that adjusts the amount of gas introduced into the storage unit. A discharge amount adjusting unit that adjusts the discharge amount of gas from the storage unit, and maintains the internal pressure of the storage unit at a predetermined set value based on the detected pressure detected by the pressure detection unit. It is preferable to adjust the flow rate of at least one of the introduction amount adjustment unit and the discharge amount adjustment unit. If comprised in this way, the amount of introduction | transduction and discharge | emission amount of gas can be adjusted easily by the introduction amount adjustment part and the discharge amount adjustment part.

本発明において、収納部の内部圧力が所定の設定値で平衡状態になった以後も、収納部にガスを導入することが好ましい。このように構成すると、より安定した多孔性物質の特性の測定が可能となる。   In the present invention, it is preferable to introduce gas into the storage portion even after the internal pressure of the storage portion reaches an equilibrium state at a predetermined set value. If comprised in this way, the characteristic of the more stable porous substance can be measured.

本発明において、多孔性物質の特性測定装置は、収納部へのガスの導入量を検出する導入量検出部と、収納部からのガスの排出量を検出する排出量検出部とを備え、導入量検出部で検出されたガスの導入量と、排出量検出部で検出されたガスの排出量との差から、多孔性物質へのガスの吸着量を測定することが好ましい。このように構成すると、ガスの導入量および排出量を検出するといった簡易な構成で、多孔性物質へのガスの吸着量を直接的に測定することができる。   In the present invention, the characteristic measurement device for a porous substance includes an introduction amount detection unit that detects the amount of gas introduced into the storage unit, and a discharge amount detection unit that detects the discharge amount of gas from the storage unit. It is preferable to measure the amount of gas adsorbed to the porous material from the difference between the amount of gas introduced detected by the amount detection unit and the amount of gas discharge detected by the discharge amount detection unit. If comprised in this way, the adsorption amount of the gas to a porous substance can be directly measured by simple structure of detecting the introduction amount and discharge amount of gas.

本発明において、多孔性物質の特性測定装置は、収納部の内部圧力の設定値に対応する設定圧力信号を出力する設定圧力出力部と、圧力検出部から出力される検出圧力信号および設定圧力信号が入力され、かつ、設定圧力信号と検出圧力信号との差を増幅して出力する差動増幅回路とを備え、差動増幅回路からの出力に基づいて、ガスの導入量と排出量との少なくともいずれか一方の調整を行うことが好ましい。このように構成すると、設定圧力出力部から出力される設定圧力信号の分解能で収納部の内部圧力を変化させることができる。そのため、たとえば、収納部の内部温度を一定に保った状態で、収納部の内部圧力を多段階にかつ微少量ずつ変化させながら、多孔性物質の吸着量を測定することができる。すなわち、一定温度下において、収納部の内部圧力を変化させたときの多孔性物質の吸着量を連続測定に近い状態で測定することができ、より精度の高い吸着等温線を作成することができる。その結果、吸着等温線の傾き(微分値)を利用して得られる多孔性物質の特性(たとえば、細孔径分布)の精度を飛躍的に向上させることができる。   In the present invention, the characteristic measurement device for a porous material includes a set pressure output unit that outputs a set pressure signal corresponding to a set value of the internal pressure of the storage unit, and a detection pressure signal and a set pressure signal that are output from the pressure detection unit. And a differential amplifier circuit that amplifies and outputs the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal. Based on the output from the differential amplifier circuit, the amount of gas introduced and discharged It is preferable to perform at least one of the adjustments. If comprised in this way, the internal pressure of a storage part can be changed with the resolution of the setting pressure signal output from a setting pressure output part. Therefore, for example, the amount of adsorption of the porous material can be measured while changing the internal pressure of the storage unit in multiple steps and in small increments while keeping the internal temperature of the storage unit constant. That is, the adsorption amount of the porous material when the internal pressure of the storage unit is changed under a constant temperature can be measured in a state close to continuous measurement, and a more accurate adsorption isotherm can be created. . As a result, the accuracy of the characteristics (for example, pore diameter distribution) of the porous material obtained using the slope (differential value) of the adsorption isotherm can be dramatically improved.

本発明において、導入量調整部でのガスの導入量を略一定とし、圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて、ガスの排出量の調整を行うことが好ましい。このように構成すると、排出量の調整のみを行えば良いため、ガスの流量調整が容易になる。また、収納部に導入されるガスの液化を防止することができる。すなわち、導入量の調整を行う場合には、流量調整が可能となるように、たとえば、導入量調整部の入側にある程度高い圧力をかける必要がある。そのため、ガスの種類や雰囲気温度によっては、収納部に導入されるガスが液化するおそれが生じる。これに対して、排出量の調整は、たとえば、排出量調整部の出側に負圧をかければ良いため、収納部に導入されるガスの液化を防止することが可能となる。   In the present invention, it is preferable that the amount of gas introduced by the introduction amount adjusting unit is substantially constant, and the amount of gas discharged is adjusted based on the detected pressure detected by the pressure detecting unit. With this configuration, it is only necessary to adjust the discharge amount, so that the gas flow rate can be easily adjusted. Moreover, liquefaction of the gas introduced into the storage unit can be prevented. That is, when adjusting the introduction amount, for example, it is necessary to apply a certain high pressure to the inlet side of the introduction amount adjustment unit so that the flow rate can be adjusted. Therefore, depending on the type of gas and the ambient temperature, the gas introduced into the storage unit may be liquefied. On the other hand, for adjusting the discharge amount, for example, it is sufficient to apply a negative pressure to the outlet side of the discharge amount adjustment unit, so that liquefaction of the gas introduced into the storage unit can be prevented.

また、上記の課題を解決するため、本発明の多孔性物質の特性測定装置は、容積が一定で多孔性物質が収納された収納部と、収納部へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部と、収納部からガスの排気を行うガス排気部とを備えるとともに、多孔性物質の重量を検出する重量検出部を有し、重量検出部で検出された検出重量に基づいて収納部へのガスの導入量と収納部からのガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して、多孔性物質へのガスの吸着量を一定に維持するフィードバック制御部を備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the device for measuring characteristics of a porous material according to the present invention stores a storage portion in which a porous material is stored with a constant volume, and a predetermined gas introduced into the storage portion. A gas storage unit and a gas exhaust unit that exhausts gas from the storage unit, a weight detection unit that detects the weight of the porous material, and a storage unit based on the detected weight detected by the weight detection unit A feedback control unit that controls at least one of the amount of gas introduced into the gas and the amount of gas discharged from the storage unit to maintain a constant amount of gas adsorbed to the porous material. .

本発明の多孔性物質の特性測定装置は、重量検出部で検出された検出重量に基づいて、ガスの導入量と排出量との少なくともいずれか一方を制御して、多孔性物質へのガスの吸着量を一定に維持するフィードバック制御部を備えている。そのため、多孔性物質に吸着されるガスの吸着量を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、収納部の内部圧力や内部温度、あるいは内部の電場、磁場等を変化させることができる。したがって、吸着量を一定としたときの多孔性物質の種々の特性を容易に測定することができる。たとえば、吸着量を一定としたときの収納部の内部圧力と内部温度との関係を測定することができ、その測定結果に基づいて直接的に吸着等量線の作成が可能となる。また、この吸着等量線を利用して、たとえば、多孔性物質の特性である等量吸着熱を、以下のClapeyron−Clausius式(式(1))から容易に得ることができる。
[式1]

Figure 2007064731

ここで、qstは等量吸着熱、Pは内部圧力、Tは内部温度、Rはガス定数である。このように、本発明では等量吸着熱を求めるため、式(1)右辺に含まれる内部圧力と内部温度との関係を直接に測定することができる。 The device for measuring characteristics of a porous material according to the present invention controls the amount of gas introduced into a porous material by controlling at least one of the amount of gas introduced and discharged based on the detected weight detected by the weight detector. A feedback control unit that maintains the adsorption amount constant is provided. Therefore, changing the internal pressure and temperature of the storage unit, or the internal electric field and magnetic field while introducing the gas into the storage unit while keeping the adsorption amount of the gas adsorbed by the porous substance constant. Can do. Therefore, various characteristics of the porous material when the adsorption amount is constant can be easily measured. For example, it is possible to measure the relationship between the internal pressure and the internal temperature of the storage unit when the adsorption amount is constant, and it is possible to directly create an adsorption equivalence line based on the measurement result. Further, by using this adsorption isotherm, for example, the equivalent heat of adsorption that is a characteristic of the porous material can be easily obtained from the following Clapeyron-Clauus equation (Equation (1)).
[Formula 1]
Figure 2007064731

Here, q st is the equivalent heat of adsorption, P is the internal pressure, T is the internal temperature, and R is the gas constant. As described above, in the present invention, since the equivalent heat of adsorption is obtained, the relationship between the internal pressure and the internal temperature included in the right side of the equation (1) can be directly measured.

本発明において、フィードバック制御部は、収納部とガス貯蔵部との間に配設され、収納部へのガスの導入量を調整する導入量調整部と、収納部とガス排気部との間に配設され、収納部からのガスの排出量を調整する排出量調整部とを備え、重量検出部で検出された検出重量に基づいて多孔性物質へのガスの吸着量を所定の設定値に維持するように、導入量調整部と排出量調整部との少なくともいずれか一方の流量調整を行うことが好ましい。このように構成すると、導入量調整部や排出量調整部によって、ガスの導入量や排出量の調整を容易に行うことができる。   In the present invention, the feedback control unit is disposed between the storage unit and the gas storage unit, and between the storage unit and the gas exhaust unit, an introduction amount adjustment unit that adjusts the amount of gas introduced into the storage unit. A discharge amount adjusting unit that adjusts the amount of gas discharged from the storage unit, and sets the gas adsorption amount to the porous material to a predetermined set value based on the detected weight detected by the weight detection unit. It is preferable to adjust the flow rate of at least one of the introduction amount adjustment unit and the discharge amount adjustment unit so as to maintain. If comprised in this way, the amount of introduction | transduction and discharge | emission amount of gas can be adjusted easily by the introduction amount adjustment part and the discharge amount adjustment part.

本発明において、多孔性物質へのガスの吸着量が所定の設定値となり、かつ、収納部の内部が平衡状態になった以後も、収納部にガスを導入することが好ましい。このように構成すると、より安定した多孔性物質の特性の測定が可能となる。   In the present invention, it is preferable that the gas is introduced into the storage portion even after the gas adsorption amount to the porous material reaches a predetermined set value and the inside of the storage portion is in an equilibrium state. If comprised in this way, the characteristic of the more stable porous substance can be measured.

さらに、上記の課題を解決するため、本発明の多孔性物質の特性測定方法は、容積が一定で多孔性物質が収納された収納部の内部を平衡状態にする工程と、多孔性物質に外部刺激を加える工程と、収納部の内部圧力を検出する圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて収納部へのガスの導入量と収納部からのガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して収納部の内部圧力を維持する工程とを備え、ガスの導入量とガスの排出量との差に基づいて、外部刺激による多孔性物質のガスの吸着量を検出することを特徴とする。   Furthermore, in order to solve the above-mentioned problems, the method for measuring the characteristics of the porous material according to the present invention includes a step of equilibrating the inside of the storage part in which the volume is constant and the porous material is stored, A step of applying a stimulus, and at least one of an introduction amount of gas into the storage portion and a discharge amount of gas from the storage portion based on a detection pressure detected by a pressure detection portion that detects an internal pressure of the storage portion A step of controlling and maintaining the internal pressure of the storage unit, and detecting the amount of adsorption of the porous substance gas by external stimulation based on the difference between the amount of gas introduced and the amount of gas discharged To do.

本発明の多孔性物質の特性測定方法では、圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて、収納部へのガスの導入量や収納部からのガスの排出量を制御して収納部の内部圧力を維持し、ガスの導入量とガスの排出量との差に基づいて、外部刺激による多孔性物質のガスの吸着量を検出している。そのため、多孔性物質が収納された収納部の内部圧力を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、収納部の内部の温度や電場、あるいは磁場等といった外部刺激を変化させた状態で、多孔性物質のガスの吸着量を検出することができる。また、収納部の内部圧力を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、強度を変化させつつ多孔性物質に光を外部刺激として照射し、照射後の多孔性物質のガスの吸着量を検出することができる。したがって、圧力一定下における多孔性物質の種々の特性を容易に測定することができる。   In the method for measuring characteristics of a porous material according to the present invention, the amount of gas introduced into the storage unit and the amount of gas discharged from the storage unit are controlled based on the detected pressure detected by the pressure detection unit. The pressure is maintained, and the gas adsorption amount of the porous substance by the external stimulus is detected based on the difference between the gas introduction amount and the gas discharge amount. Therefore, the external pressure such as temperature, electric field or magnetic field inside the storage unit was changed while introducing gas into the storage unit while keeping the internal pressure of the storage unit storing the porous material constant. In this state, the adsorption amount of the porous substance gas can be detected. In addition, while keeping the internal pressure of the storage unit constant, while introducing gas into the storage unit, the porous material is irradiated with light as an external stimulus while changing the strength, and the porous material gas after irradiation is irradiated. The amount of adsorption can be detected. Therefore, various characteristics of the porous material under a constant pressure can be easily measured.

さらにまた、上記の課題を解決するため、本発明の多孔性物質の特性測定方法は、容積が一定で多孔性物質が収納された収納部の内部を平衡状態にする工程と、多孔性物質に外部刺激を加える工程と、多孔性物質の重量を検出する重量検出部で検出された検出重量に基づいて収納部へのガスの導入量と収納部からのガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して多孔性物質へのガスの吸着量を維持する工程とを備え、外部刺激に対応して変化する多孔性物質の特性を測定することを特徴とする。   Furthermore, in order to solve the above problems, the method for measuring the characteristics of a porous material according to the present invention includes a step of equilibrating the inside of a storage unit in which the volume is constant and the porous material is stored; At least one of the step of applying an external stimulus and the amount of gas introduced into the storage unit and the amount of gas discharged from the storage unit based on the detected weight detected by the weight detection unit that detects the weight of the porous substance And maintaining the amount of gas adsorbed to the porous material, and measuring the characteristics of the porous material that changes in response to an external stimulus.

本発明の多孔性物質の特性測定方法では、重量検出部で検出された検出重量に基づいて、収納部へのガスの導入量や収納部からのガスの排出量を制御して多孔性物質へのガスの吸着量を維持し、外部刺激に対応して変化する多孔性物質の特性を測定している。そのため、多孔性物質に吸着されるガスの吸着量を一定に保った状態で、収納部にガスを導入しながら、収納部の内部圧力や内部温度、あるいは内部の電場、磁場等といった外部刺激を変化させることができる。したがって、吸着量を一定としたときの多孔性物質の種々の特性を容易に測定することができる。   In the method for measuring characteristics of a porous material according to the present invention, the amount of gas introduced into the storage unit and the amount of gas discharged from the storage unit are controlled on the basis of the detected weight detected by the weight detection unit. The characteristics of porous materials that change in response to external stimuli are measured while maintaining the gas adsorption amount. For this reason, while maintaining the amount of gas adsorbed by the porous material constant, while introducing gas into the storage section, external stimuli such as the internal pressure and temperature of the storage section, or the internal electric and magnetic fields are applied. Can be changed. Therefore, various characteristics of the porous material when the adsorption amount is constant can be easily measured.

以上説明したように、本発明の多孔性物質の特性測定装置および多孔性物質の特性測定方法では、多孔性物質の種々の特性を容易に得ることが可能となる。   As described above, according to the porous material property measuring apparatus and the porous material property measuring method of the present invention, various properties of the porous material can be easily obtained.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

[実施の形態1]
(多孔性物質の特性測定装置の構成)
図1は、本発明の実施の形態1にかかる多孔性物質の特性測定装置1の概略構成を示す模式図である。
[Embodiment 1]
(Configuration of device for measuring characteristics of porous materials)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a porous material property measuring apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention.

本形態の多孔性物質の特性測定装置1(以下、「特性測定装置1」と表記する。)は、ゼオライトや活性炭等の多孔性物質2の種々の特性(たとえば、ガスの吸着特性)を測定するための装置である。この特性測定装置1は、図1に示すように、容積が一定で多孔性物質2が収納された収納部3と、収納部3の内部圧力を検出する圧力検出部4と、収納部3へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部5と、収納部3からガスの排出を行うガス排気部6と、収納部3とガス貯蔵部5との間に配設され、収納部3へのガスの導入量を調整する導入量調整部としての導入量調整弁7と、収納部3とガス排気部6との間に配設され、収納部3からのガスの排出量を調整する排出量調整部としての排出量調整弁8とを備えている。なお、圧力検出部4と排出量調整弁8とは、圧力検出部4で検出された検出圧力に基づいて、収納部3の内部圧力を一定に維持するフィードバック制御部の一部を構成している。   The porous substance characteristic measuring apparatus 1 (hereinafter referred to as “characteristic measuring apparatus 1”) of this embodiment measures various characteristics (for example, gas adsorption characteristics) of the porous substance 2 such as zeolite and activated carbon. It is a device for doing. As shown in FIG. 1, the characteristic measuring apparatus 1 includes a storage unit 3 in which a porous material 2 having a constant volume is stored, a pressure detection unit 4 that detects an internal pressure of the storage unit 3, and a storage unit 3. The gas storage unit 5 in which a predetermined gas to be introduced is stored, the gas exhaust unit 6 that discharges gas from the storage unit 3, and the storage unit 3 and the gas storage unit 5 are disposed between the storage unit 3 and the storage unit 3. An introduction amount adjusting valve 7 serving as an introduction amount adjusting unit for adjusting the amount of gas introduced into the storage unit 3 is disposed between the storage unit 3 and the gas exhaust unit 6, and adjusts the gas discharge amount from the storage unit 3. A discharge amount adjusting valve 8 as a discharge amount adjusting unit is provided. Note that the pressure detection unit 4 and the discharge amount adjustment valve 8 constitute a part of a feedback control unit that maintains the internal pressure of the storage unit 3 constant based on the detected pressure detected by the pressure detection unit 4. Yes.

また、特性測定装置1は、図1に示すように、収納部3へのガスの導入量を検出する導入量検出部としての導入側流量計9と、収納部3からのガスの排出量を検出する排出量検出部としての排出側流量計10とを備えている。本形態では、導入側流量計9は、導入量調整弁7とガス貯蔵部5との間に配設され、排出側流量計10は、排出量調整弁8とガス排気部6との間に配設されている。なお、導入側流量計9は、収納部3と導入量調整弁7との間に配設されても良いし、排出側流量計10は、収納部3と排出量調整弁8との間に配設されても良い。   Further, as shown in FIG. 1, the characteristic measuring device 1 has an introduction-side flow meter 9 as an introduction amount detection unit that detects the amount of gas introduced into the storage unit 3, and the amount of gas discharged from the storage unit 3. A discharge-side flow meter 10 as a discharge amount detection unit to be detected is provided. In this embodiment, the introduction-side flow meter 9 is disposed between the introduction amount adjusting valve 7 and the gas storage unit 5, and the discharge-side flow meter 10 is disposed between the discharge amount adjusting valve 8 and the gas exhaust unit 6. It is arranged. The introduction-side flow meter 9 may be disposed between the storage unit 3 and the introduction amount adjustment valve 7, and the discharge-side flow meter 10 is provided between the storage unit 3 and the discharge amount adjustment valve 8. It may be arranged.

さらに、特性測定装置1は、図1に示すように、特性測定装置1の制御等を行う制御部12と、排出量調整弁8に制御信号を出力する差動増幅回路13とを備えている。本形態の制御部12は、収納部3の内部圧力の設定値に対応する設定圧力信号を出力する設定圧力出力部となっている。なお、制御部12と差動増幅回路13とは、圧力検出部4等とともに、フィードバック制御部を構成している。   Further, as shown in FIG. 1, the characteristic measuring apparatus 1 includes a control unit 12 that controls the characteristic measuring apparatus 1 and a differential amplifier circuit 13 that outputs a control signal to the discharge amount adjusting valve 8. . The control unit 12 of this embodiment is a set pressure output unit that outputs a set pressure signal corresponding to the set value of the internal pressure of the storage unit 3. The control unit 12 and the differential amplifier circuit 13 constitute a feedback control unit together with the pressure detection unit 4 and the like.

本形態の特性測定装置1で使用されるガスは多種多様であり、たとえば、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素、メタン、メタノール、クロロホルム、あるいは、ブロモホルム等である。この特性測定装置1では、これらのガスを用いて、たとえば、多孔性物質2の細孔径分布等の構造的な特性や、除湿性能、不純物除去性能、あるいは、有害物質除去性能等の種々の特性が得ることができるようになっている。   There are a wide variety of gases used in the characteristic measurement apparatus 1 of this embodiment, such as nitrogen, hydrogen, water vapor, carbon dioxide, methane, methanol, chloroform, or bromoform. In this characteristic measuring apparatus 1, using these gases, for example, various characteristics such as structural characteristics such as the pore size distribution of the porous substance 2, dehumidifying performance, impurity removing performance, or harmful substance removing performance are used. Is able to get.

収納部3は、図1に示すように、多孔性物質2が収納される収納容器14と、導入量調整弁7および排出量調整弁8と収納容器14との間に配設される中間容器15と、収納容器14と中間容器15とを接続する接続路16とを備えている。   As shown in FIG. 1, the storage unit 3 includes a storage container 14 in which the porous substance 2 is stored, and an intermediate container disposed between the introduction amount adjustment valve 7, the discharge amount adjustment valve 8, and the storage container 14. 15, and a connection path 16 that connects the storage container 14 and the intermediate container 15.

収納容器14は、多孔性物質2の出し入れが可能で、かつ、密閉可能な容器で構成されている。中間容器15は、ガスの導入あるいはガスの排出によって収納容器14の内部圧力が急激に変化するのを防止するバッファとしての機能を備えている。この中間容器15は、密閉容器となっている。接続路16は、収納容器14と中間容器15との間でガスが自由に往来できるように、収納容器14と中間容器15とを接続している。この接続路16は、往来するガスが外部へ漏出しないように構成されている。   The storage container 14 is composed of a container that can take in and out the porous material 2 and can be sealed. The intermediate container 15 has a function as a buffer that prevents the internal pressure of the storage container 14 from rapidly changing due to the introduction or discharge of gas. The intermediate container 15 is a sealed container. The connection path 16 connects the storage container 14 and the intermediate container 15 so that gas can freely pass between the storage container 14 and the intermediate container 15. The connection path 16 is configured so that incoming and outgoing gas does not leak to the outside.

ガス貯蔵部5は、収納部3へ導入されるガスが貯蔵される密閉容器であり、たとえば、ガス貯蔵部5はガスボンベである。このガス貯蔵部5は図示を省略する開閉弁を備えている。また、ガス貯蔵部5には、必要に応じて所定の内圧がかけられている。   The gas storage unit 5 is a sealed container in which the gas introduced into the storage unit 3 is stored. For example, the gas storage unit 5 is a gas cylinder. The gas storage unit 5 includes an on-off valve (not shown). In addition, a predetermined internal pressure is applied to the gas storage unit 5 as necessary.

ガス排気部6は、収納部3からガスの排出を行う真空ポンプ(図示省略)を備えている。この真空ポンプは、収納部3の内部圧力を真空(より具体的には、たとえば、10−6Torr)にすることができる能力を備えている。 The gas exhaust unit 6 includes a vacuum pump (not shown) that exhausts gas from the storage unit 3. This vacuum pump has a capability of making the internal pressure of the storage unit 3 vacuum (more specifically, for example, 10 −6 Torr).

本形態の導入量調整弁7および排出量調整弁8はともに、ピエゾ素子を利用してガスの流量を調整するピエゾバルブである。ピエゾバルブを使用することで、導入量調整弁7および排出量調整弁8は、ガスの流量の微調整が可能で、かつ、この微調整を高速で行うことが可能となっている。また、導入量調整弁7は、所定の配管によって、中間容器15と導入側流量計9とに接続され、排出量調整弁8は、所定の配管によって、中間容器15と排出側流量計10とに接続されている。   Both the introduction amount adjusting valve 7 and the discharge amount adjusting valve 8 of this embodiment are piezo valves that adjust the flow rate of gas by using a piezo element. By using the piezo valve, the introduction amount adjusting valve 7 and the discharge amount adjusting valve 8 can finely adjust the gas flow rate, and can make this fine adjustment at high speed. The introduction amount adjustment valve 7 is connected to the intermediate container 15 and the introduction side flow meter 9 by a predetermined pipe, and the discharge amount adjustment valve 8 is connected to the intermediate container 15 and the discharge side flow meter 10 by a predetermined pipe. It is connected to the.

本形態では、導入量調整弁7は、一定流量のガスを収納部3へ導入するように調整されている。この導入量調整弁7での流量は、たとえば、制御部12で設定され、制御部12からの制御信号を受けて、導入量調整弁7での流量調整が行われている。なお、導入量調整弁7は、ピエゾバルブには限定されず、一定流量のガスを収納部3へ導出することが可能な流量調整弁であれば良い。   In this embodiment, the introduction amount adjustment valve 7 is adjusted so as to introduce a constant flow rate of gas into the storage unit 3. The flow rate at the introduction amount adjusting valve 7 is set by the control unit 12, for example, and the flow rate adjustment at the introduction amount adjusting valve 7 is performed in response to a control signal from the control unit 12. The introduction amount adjusting valve 7 is not limited to a piezo valve, but may be any flow adjusting valve capable of deriving a constant flow rate of gas to the storage unit 3.

また、本形態では、排出量調整弁8での流量は、圧力検出部4で検出された収納部3内部の検出圧力に基づいて調整されている。より具体的には、後述のように、差動増幅回路13には、圧力検出部4で検出される収納部3の検出圧力に対応する検出圧力信号と、収納部3の内部圧力の設定値に対応する設定圧力信号とが入力され、かつ、差動増幅回路13は、設定圧力信号と検出圧力信号との差を増幅して出力するように構成されている。そして、排出量調整弁8での流量は、差動増幅回路13から出力された制御信号に基づいて、収納部3の内部圧力を設定値に近づけるように調整されている。なお、排出量調整弁8は、ピエゾバルブには限定されず、差動増幅回路13からの電気信号によって自動で流量調整を行うことが可能な流量調整弁であれば良い。   Further, in this embodiment, the flow rate at the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted based on the detected pressure inside the storage unit 3 detected by the pressure detection unit 4. More specifically, as described later, the differential amplifier circuit 13 includes a detection pressure signal corresponding to the detected pressure of the storage unit 3 detected by the pressure detection unit 4 and a set value of the internal pressure of the storage unit 3. And the differential amplifier circuit 13 is configured to amplify and output the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal. The flow rate at the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted based on the control signal output from the differential amplifier circuit 13 so that the internal pressure of the storage unit 3 approaches the set value. The discharge amount adjusting valve 8 is not limited to a piezo valve, and may be any flow rate adjusting valve that can automatically adjust the flow rate by an electric signal from the differential amplifier circuit 13.

このように本形態では、導入量調整弁7での流量が一定に調整され、排出量調整弁8での流量が差動増幅回路13から出力された制御信号に基づいて調整されることで、収納部3の内部圧力が設定値となるように、ガスの流量が調整(制御)されている。すなわち、収納部3の内部圧力が設定値の近辺で一定に維持されるように、導入量調整弁7および排出量調整弁8の調整が行われている。   As described above, in this embodiment, the flow rate at the introduction amount adjustment valve 7 is adjusted to be constant, and the flow rate at the discharge amount adjustment valve 8 is adjusted based on the control signal output from the differential amplifier circuit 13. The gas flow rate is adjusted (controlled) so that the internal pressure of the storage unit 3 becomes a set value. That is, the introduction amount adjustment valve 7 and the discharge amount adjustment valve 8 are adjusted so that the internal pressure of the storage unit 3 is kept constant in the vicinity of the set value.

本形態の導入側流量計9および排出側流量計10はともに、通過するガスの流速を測定する流速カウンタである。図1に示すように、導入側流量計9および排出側流量計10で検出されたガスの流速に対応する信号は、制御部12に入力されるようになっている。そして、導入側流量計9で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、収納部3へのガスの導入量が算出されるようになっている。同様に、排出側流量計10で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、収納部3からのガスの排出量が算出されるようになっている。また、算出されたガスの導入量とガスの排出量との差から、制御部12で、多孔性物質2へのガスの吸着量が算出されるようになっている。   Both the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 of this embodiment are flow rate counters that measure the flow velocity of the passing gas. As shown in FIG. 1, a signal corresponding to the gas flow velocity detected by the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 is input to the control unit 12. The amount of gas introduced into the storage unit 3 is calculated by the control unit 12 from the time history of the gas flow velocity detected by the introduction-side flow meter 9. Similarly, the amount of gas discharged from the storage unit 3 is calculated by the control unit 12 from the time history of the gas flow velocity detected by the discharge-side flow meter 10. Further, from the difference between the calculated gas introduction amount and the gas discharge amount, the control unit 12 calculates the gas adsorption amount to the porous material 2.

図1に示すように、導入側流量計9は、所定の配管によって、導入量調整弁7とガス貯蔵部5とに接続されている。排出側流量計10は、所定の配管によって、排出量調整弁8とガス排気部6とに接続されている。   As shown in FIG. 1, the introduction-side flow meter 9 is connected to the introduction amount adjusting valve 7 and the gas storage unit 5 by a predetermined pipe. The discharge-side flow meter 10 is connected to the discharge amount adjusting valve 8 and the gas exhaust unit 6 by a predetermined pipe.

圧力検出部4は、たとえば、高精度の圧力センサであり、中間容器15の内部圧力を検出するようになっている。この圧力検出部4は、検出された収納部3の検出圧力に対応する検出圧力信号をデジタル信号として差動増幅回路13に向かって出力するようになっている。   The pressure detector 4 is a high-precision pressure sensor, for example, and detects the internal pressure of the intermediate container 15. The pressure detection unit 4 outputs a detected pressure signal corresponding to the detected pressure of the storage unit 3 toward the differential amplifier circuit 13 as a digital signal.

制御部12は、たとえば、パーソナルコンピュータである。この制御部12では、上述のように、導入量調整弁7での流量が入力されたり、導入側流量計9や排出側流量計10で検出されたガスの流速に基づいて、収納部3へのガスの導入量や収納部3からのガスの排出量、多孔性物質2へのガスの吸着量等が算出されるようになっている。また、制御部12には収納部3の内部圧力の設定値が入力されるようになっており、制御部12は、この設定値に対応する設定圧力信号を差動増幅回路13に向かって出力するようになっている。より具体的には、制御部12は、ADコンバータによってデジタル信号に変換された設定圧力信号を出力するようになっている。すなわち、制御部12は、ADコンバータの分解能(刻み値)で、多段階にかつ微少量ずつ変化させた設定圧力信号を出力できるようになっている。   The control unit 12 is, for example, a personal computer. In the control unit 12, as described above, the flow rate at the introduction amount adjustment valve 7 is input, or the flow rate of the gas detected by the introduction side flow meter 9 or the discharge side flow meter 10 is transferred to the storage unit 3. The amount of gas introduced, the amount of gas discharged from the storage 3, the amount of gas adsorbed on the porous material 2, and the like are calculated. Further, a set value of the internal pressure of the storage unit 3 is input to the control unit 12, and the control unit 12 outputs a set pressure signal corresponding to this set value toward the differential amplifier circuit 13. It is supposed to be. More specifically, the control unit 12 outputs a set pressure signal converted into a digital signal by the AD converter. That is, the control unit 12 can output a set pressure signal that is changed in multiple steps and in small increments with the resolution (step value) of the AD converter.

差動増幅回路13には、圧力検出部4から出力された検出圧力信号と、制御部12から出力された設定圧力信号とが入力されように構成されている。また、差動増幅回路13は、設定圧力信号と検出圧力信号との差を増幅した信号を制御信号として排出量調整弁8に向かって出力するように構成されている。   The differential amplifier circuit 13 is configured to receive the detected pressure signal output from the pressure detector 4 and the set pressure signal output from the controller 12. The differential amplifier circuit 13 is configured to output a signal obtained by amplifying the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal toward the discharge amount adjusting valve 8 as a control signal.

(多孔性物質の特性測定方法)
図2は、図1の特性測定装置1での測定結果に基づいて作成された吸着等温線を示すグラフである。図3は、図1の特性測定装置1での測定結果に基づいて作成された吸着等圧線を示すグラフである。
(Method for measuring the characteristics of porous materials)
FIG. 2 is a graph showing an adsorption isotherm created based on the measurement result of the characteristic measurement apparatus 1 of FIG. FIG. 3 is a graph showing adsorption isobaric lines created based on the measurement results obtained by the characteristic measuring apparatus 1 of FIG.

以上のように構成された特性測定装置1を用いて、多孔性物質2の種々の特性が測定される。以下では、多孔性物質2の特性測定方法の代表的なものとして、収納部3の内部温度を一定に保った状態で、収納部3の内部圧力を変化させたときの多孔性物質2のガスの吸着量の測定方法の一例と、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3の内部温度を変化させたときの多孔性物質2のガスの吸着量の測定方法の一例との2つの特性測定方法を説明する。   Various characteristics of the porous material 2 are measured using the characteristic measuring apparatus 1 configured as described above. Hereinafter, as a representative method for measuring the characteristics of the porous material 2, the gas of the porous material 2 when the internal pressure of the storage unit 3 is changed while the internal temperature of the storage unit 3 is kept constant. An example of a method for measuring the amount of adsorption of the porous material 2 and an example of a method for measuring the amount of adsorption of the gas of the porous material 2 when the internal temperature of the storage unit 3 is changed while the internal pressure of the storage unit 3 is kept constant Two characteristic measurement methods will be described.

はじめに、収納部3の内部温度を一定に保った状態で、収納部3の内部圧力を変化させたときの多孔性物質2のガスの吸着量の測定方法の一例について説明する。   First, an example of a method for measuring the gas adsorption amount of the porous material 2 when the internal pressure of the storage unit 3 is changed while the internal temperature of the storage unit 3 is kept constant will be described.

まず、ガス貯蔵部5の開閉弁(図示省略)を閉じた状態で、収納部3(すなわち、収納容器14、中間容器15および接続路16)の内部温度を一定の温度T1にする。より具体的には、たとえば、図示を省略する恒温槽の中に収納部3を配置して、収納部3の内部温度を温度T1にする。その後、ガス排気部6に設けられた真空ポンプ(図示省略)によって、収納部3を真空状態にする。   First, with the on-off valve (not shown) of the gas storage unit 5 closed, the internal temperature of the storage unit 3 (that is, the storage container 14, the intermediate container 15 and the connection path 16) is set to a constant temperature T1. More specifically, for example, the storage unit 3 is arranged in a thermostat not shown, and the internal temperature of the storage unit 3 is set to the temperature T1. Thereafter, the storage unit 3 is evacuated by a vacuum pump (not shown) provided in the gas exhaust unit 6.

収納部3を真空状態にしたところで、ガス貯蔵部5の開閉弁を開き、収納部3の内部が、第1の設定値に対応する圧力で平衡状態になるまで、収納部3にガスを導入する。この際には、制御部12から、収納部3の内部圧力の第1の設定値に対応する設定圧力信号が出力され、圧力検出部4から、検出された収納部3の検出圧力に対応する検出圧力信号が出力されている。また、差動増幅回路13から、設定圧力信号と検出圧力信号との差を増幅した制御信号が出力され、この制御信号が排出量調整弁8に入力されている。そして、制御信号に基づいて、収納部3の内部圧力を第1の設定値に近づけるように(すなわち、収納部3の内部圧力を第1の設定値に対応する圧力のままで一定に維持するように)、排出量調整弁8でのガスの排出量が調整される。なお、この際には、導入量調整弁7でのガスの導入量は一定となっている。また、この際には、必要に応じてガス排気部6に設けられた真空ポンプを駆動している。   When the storage unit 3 is in a vacuum state, the on-off valve of the gas storage unit 5 is opened, and gas is introduced into the storage unit 3 until the inside of the storage unit 3 is in an equilibrium state at a pressure corresponding to the first set value. To do. At this time, the control unit 12 outputs a set pressure signal corresponding to the first set value of the internal pressure of the storage unit 3, and the pressure detection unit 4 corresponds to the detected detected pressure of the storage unit 3. The detected pressure signal is output. Further, a control signal obtained by amplifying the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal is output from the differential amplifier circuit 13, and this control signal is input to the discharge amount adjusting valve 8. Then, based on the control signal, the internal pressure of the storage unit 3 is brought close to the first set value (that is, the internal pressure of the storage unit 3 is kept constant with the pressure corresponding to the first set value). As described above, the gas discharge amount at the discharge amount adjustment valve 8 is adjusted. At this time, the amount of gas introduced by the introduction amount adjusting valve 7 is constant. At this time, a vacuum pump provided in the gas exhaust unit 6 is driven as necessary.

やがて、収納部3の内部が第1の設定値に対応する内部圧力で平衡状態となる。収納部3へガスを導入してから、収納部3の内部が平衡状態となるまでの、導入側流量計9および排出側流量計10で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、多孔性物質2へのガスの吸着量を算出する。なお、収納部3の内部が平衡状態になると、収納部3へのガスの導入量と収納部3からのガスの排出量とが等しくなる。   Eventually, the inside of the storage unit 3 becomes in an equilibrium state with the internal pressure corresponding to the first set value. From the time history of the flow velocity of the gas detected by the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 from the introduction of the gas into the storage unit 3 until the inside of the storage unit 3 reaches an equilibrium state, the control unit 12 Then, the amount of gas adsorbed on the porous material 2 is calculated. When the inside of the storage unit 3 is in an equilibrium state, the amount of gas introduced into the storage unit 3 and the amount of gas discharged from the storage unit 3 become equal.

収納部3の内部が平衡状態になった後、収納部3の内部圧力の設定値を、第1の設定値から第2の設定値へ変更する。より具体的には、制御部12から出力される設定圧力信号を第2の設定値に対応したものに変更する。収納部3の内部圧力の設定値が変更されると、収納部3の内部圧力を変更後の設定値に近づけるように、排出量調整弁8でのガスの排出量が調整される。やがて、収納部3の内部が第2の設定値に対応する内部圧力で平衡状態となる。収納部3の内部圧力の設定値を変更してから収納部3の内部が平衡状態となるまでの、導入側流量計9および排出側流量計10で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、多孔性物質2へのガスの吸着量を算出する。   After the inside of the storage unit 3 is in an equilibrium state, the set value of the internal pressure of the storage unit 3 is changed from the first set value to the second set value. More specifically, the set pressure signal output from the control unit 12 is changed to one corresponding to the second set value. When the set value of the internal pressure of the storage unit 3 is changed, the discharge amount of the gas in the discharge amount adjustment valve 8 is adjusted so that the internal pressure of the storage unit 3 approaches the set value after the change. Eventually, the inside of the storage unit 3 becomes in an equilibrium state with an internal pressure corresponding to the second set value. From the time history of the flow velocity of the gas detected by the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 from when the set value of the internal pressure of the storage unit 3 is changed to when the inside of the storage unit 3 becomes an equilibrium state, The controller 12 calculates the amount of gas adsorbed on the porous material 2.

収納部3の内部圧力の設定値を変えながら、以上の測定を繰り返すことで、収納部3の内部温度を一定の温度T1としたときの、収納部3の内部圧力と多孔性物質2のガスの吸着量との関係を測定することができる。また、この測定結果から、吸着等温線を作成することができ、たとえば、図2の曲線L1で示すような吸着等温線を得ることができる。なお、図2では、横軸が収納部3内部の相対圧力Po、縦軸が多孔性物質2の吸着量mとなっている。また、収納部3の内部温度を温度T1よりも低い一定の温度T2として、上記と同様の測定を行うと、図2の曲線L2で示すような吸着等温線を得ることができる。   By repeating the above measurement while changing the set value of the internal pressure of the storage unit 3, the internal pressure of the storage unit 3 and the gas of the porous material 2 when the internal temperature of the storage unit 3 is set to a constant temperature T1. It is possible to measure the relationship with the adsorption amount. Moreover, an adsorption isotherm can be created from this measurement result, and for example, an adsorption isotherm as shown by a curve L1 in FIG. 2 can be obtained. In FIG. 2, the horizontal axis represents the relative pressure Po inside the storage unit 3, and the vertical axis represents the adsorption amount m of the porous material 2. In addition, when the same measurement as described above is performed with the internal temperature of the storage unit 3 being a constant temperature T2 lower than the temperature T1, an adsorption isotherm as shown by a curve L2 in FIG. 2 can be obtained.

ここで、上述のように、設定圧力信号は、ADコンバータの分解能で段階的に変化させることができるため、非常に多くの測定値を得ることができる。具体的には、本形態では、収納部3の内部圧力の設定値を0.01Torrずつ変化させながら、多孔性物質2の吸着量を測定することができる。しかし、特性測定装置1での測定結果からでは、直接、完全に連続した曲線L1、L2を得ることはできない。したがって、特性測定装置1での測定結果から吸着等温線を作成する場合には、内挿法によって、測定点と測定点との間の値を補完している。   Here, as described above, the set pressure signal can be changed step by step with the resolution of the AD converter, so that a very large number of measured values can be obtained. Specifically, in this embodiment, the adsorption amount of the porous material 2 can be measured while changing the set value of the internal pressure of the storage unit 3 by 0.01 Torr. However, from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1, it is not possible to obtain the curves L1 and L2 that are completely continuous directly. Therefore, when an adsorption isotherm is created from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1, the value between the measurement points is complemented by the interpolation method.

また、この特性測定装置1において、収納部3の内部圧力を変化させながら、多孔性物質2の吸着量の測定を行う測定時間は、従来の重量法や容量法で同等の情報量を得るための測定時間の約1/3から1/5程度とすることが可能である。   Moreover, in this characteristic measuring apparatus 1, the measurement time for measuring the adsorption amount of the porous material 2 while changing the internal pressure of the storage unit 3 is to obtain an equivalent amount of information by the conventional weight method or the volume method. About 1/3 to 1/5 of the measurement time.

続いて、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3の内部温度を変化させたときの多孔性物質2のガスの吸着量の測定方法の一例について説明する。   Next, an example of a method for measuring the gas adsorption amount of the porous material 2 when the internal temperature of the storage unit 3 is changed while the internal pressure of the storage unit 3 is kept constant will be described.

まず、上述した測定方法と同様に、ガス貯蔵部5の開閉弁(図示省略)を閉じた状態で、収納部3の内部温度を一定の温度T3にする。その後、ガス排気部6に設けられた真空ポンプ(図示省略)によって、収納部3を真空状態にする。収納部3を真空状態にしたところで、ガス貯蔵部5の開閉弁を開き、収納部3の内部が平衡状態になるまで、収納部3にガスを導入する。   First, as in the measurement method described above, the internal temperature of the storage unit 3 is set to a constant temperature T3 with the on-off valve (not shown) of the gas storage unit 5 closed. Thereafter, the storage unit 3 is evacuated by a vacuum pump (not shown) provided in the gas exhaust unit 6. When the storage unit 3 is in a vacuum state, the on-off valve of the gas storage unit 5 is opened, and gas is introduced into the storage unit 3 until the inside of the storage unit 3 reaches an equilibrium state.

このとき、収納部3の内部圧力を、たとえば、圧力P1に設定する。排出量調整弁8は、入力された制御信号に基づいて、収納部3の内部圧力を圧力P1に近づけるように(すなわち、収納部3の内部圧力を一定圧力P1に維持するように)、ガスの排出量を調整する。なお、このときには、導入量調整弁7でのガスの導入量は一定となっている。また、このときには、必要に応じてガス排気部6に設けられた真空ポンプを駆動している。   At this time, the internal pressure of the storage unit 3 is set to, for example, the pressure P1. Based on the input control signal, the discharge amount adjusting valve 8 adjusts the gas so as to bring the internal pressure of the storage unit 3 closer to the pressure P1 (that is, to maintain the internal pressure of the storage unit 3 at a constant pressure P1). Adjust the discharge amount. At this time, the amount of gas introduced by the introduction amount adjusting valve 7 is constant. At this time, a vacuum pump provided in the gas exhaust unit 6 is driven as necessary.

やがて、収納部3の内部が圧力P1で平衡状態となる。収納部3へガスを導入してから、収納部3の内部が平衡状態となるまでの、導入側流量計9および排出側流量計10で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、多孔性物質2へのガスの吸着量を算出する。   Eventually, the inside of the storage part 3 becomes an equilibrium state at the pressure P1. From the time history of the flow velocity of the gas detected by the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 from the introduction of the gas into the storage unit 3 until the inside of the storage unit 3 reaches an equilibrium state, the control unit 12 Then, the amount of gas adsorbed on the porous material 2 is calculated.

その後、収納部3の内部圧力の設定値は変更せずに、収納部3の内部温度を変更する。より具体的には、たとえば、収納部3が配置された恒温槽の設定温度を変更する。収納部3の内部温度を変更すると、収納部3の内部の平衡状態がくずれる。また、多孔性物質2へ新たにガスが吸着され、あるいは、多孔性物質2に吸着されたガスが放出される。ここで、収納部3の内部圧力の設定値は変更されていないため、排出量調整弁8は、収納部3の内部圧力を圧力P1に近づけるように(すなわち、収納部3の内部圧力を一定圧力P1に維持するように)、ガスの排出量を調整する。やがて、収納部3の内部は圧力P1で再び平衡状態となる。収納部3の内部温度を変更してから、収納部3の内部が再び平衡状態となるまでの、導入側流量計9および排出側流量計10で検出されたガスの流速の時間履歴から、制御部12で、多孔性物質2へのガスの新たな吸着量、あるいは、多孔性物質2からのガスの放出量を算出する。なお、収納部3の内部温度を変更した場合であっても、導入量調整弁7でのガスの導入量は一定となっている。   Thereafter, the internal temperature of the storage unit 3 is changed without changing the set value of the internal pressure of the storage unit 3. More specifically, for example, the set temperature of the thermostatic chamber in which the storage unit 3 is arranged is changed. When the internal temperature of the storage unit 3 is changed, the equilibrium state inside the storage unit 3 is lost. Further, a new gas is adsorbed on the porous material 2 or a gas adsorbed on the porous material 2 is released. Here, since the set value of the internal pressure of the storage unit 3 is not changed, the discharge amount adjustment valve 8 causes the internal pressure of the storage unit 3 to approach the pressure P1 (that is, the internal pressure of the storage unit 3 is constant). The gas discharge is adjusted to maintain the pressure P1. Eventually, the inside of the storage unit 3 is brought into an equilibrium state again at the pressure P1. Control from the time history of the flow velocity of the gas detected by the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10 from when the internal temperature of the storage unit 3 is changed to when the inside of the storage unit 3 becomes equilibrium again. The unit 12 calculates a new amount of gas adsorbed on the porous material 2 or the amount of gas released from the porous material 2. Even when the internal temperature of the storage unit 3 is changed, the amount of gas introduced by the introduction amount adjusting valve 7 is constant.

収納部3の内部が平衡状態になった後、再び、収納部3の内部圧力の設定値は変更せずに、収納部3の内部温度を変更して、多孔性物質2へのガスの吸着量、あるいは、多孔性物質2からのガスの放出量を算出する。収納部3の内部温度を変更しながら、以上の測定を繰り返すことで、収納部3の内部圧力を一定の圧力P1としたときの、収納部3の内部温度と多孔性物質2のガスの吸着量との関係を測定することができる。また、この測定結果から、吸着等圧線を作成することができ、たとえば、図3の曲線L3で示すような吸着等圧線を得ることができる。なお、図3では、横軸が収納部3の内部温度T、縦軸が多孔性物質2の吸着量mとなっている。また、収納部3の内部圧力を圧力P1よりも高い一定の圧力P2として、上記と同様の測定を行うと、図3の曲線L4で示すような吸着等圧線を得ることができる。   After the inside of the storage unit 3 is in an equilibrium state, the internal temperature of the storage unit 3 is changed again without changing the set value of the internal pressure of the storage unit 3, and the adsorption of gas to the porous material 2 is performed. The amount of gas released from the porous material 2 is calculated. By repeating the above measurement while changing the internal temperature of the storage unit 3, the internal temperature of the storage unit 3 and the adsorption of the gas of the porous material 2 when the internal pressure of the storage unit 3 is set to a constant pressure P1. The relationship with the quantity can be measured. Moreover, an adsorption isobaric line can be created from this measurement result, and for example, an adsorption isobaric line as shown by a curve L3 in FIG. 3 can be obtained. In FIG. 3, the horizontal axis represents the internal temperature T of the storage unit 3, and the vertical axis represents the adsorption amount m of the porous material 2. Further, if the same measurement as described above is performed with the internal pressure of the storage unit 3 being a constant pressure P2 higher than the pressure P1, an adsorption isobaric line as shown by a curve L4 in FIG. 3 can be obtained.

なお、収納部3の内部温度は段階的に変化させることしかできないため、特性測定装置1での測定結果から直接、連続的な曲線L3、L4を得ることはできない。したがって、特性測定装置1での測定結果から吸着等圧線を作成する場合には、内挿法によって、測定点と測定点との間の値を補完している。   In addition, since the internal temperature of the storage part 3 can only be changed in steps, the continuous curves L3 and L4 cannot be obtained directly from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1. Therefore, when the adsorption isobaric line is created from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1, the value between the measurement points is complemented by the interpolation method.

(実施の形態1の主な効果)
以上説明したように、実施の形態1の特性測定装置1では、圧力検出部4で検出された検出圧力に基づいて、多孔性物質2が収納された収納部3の内部圧力を一定に維持するように排出量調整弁8の流量調整を行っている。すなわち、収納部3の内部が所定の設定圧力で平衡状態を維持するように、収納部3にガスを導入し、また、収納部3からガスの排出している。そのため、収納部3の内部圧力の設定値を変えたり、所定の圧力の下で、収納部3の内部温度を変化させても、収納部3の内部は、変更後の設定値に対応する圧力や所定圧力ですぐに平衡状態となる。したがって、たとえば、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3にガスを導入しながら、収納部3の内部温度を変化させることができる。その結果、圧力一定下における収納部3の内部温度と多孔性物質2の吸着量との関係を容易に測定することができ、その測定結果に基づいて直接的に吸着等圧線の作成が可能となる。
(Main effects of the first embodiment)
As described above, in the characteristic measurement device 1 according to the first embodiment, the internal pressure of the storage unit 3 in which the porous substance 2 is stored is kept constant based on the detected pressure detected by the pressure detection unit 4. Thus, the flow rate of the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted. That is, gas is introduced into the storage unit 3 and gas is discharged from the storage unit 3 so that the inside of the storage unit 3 maintains an equilibrium state at a predetermined set pressure. Therefore, even if the set value of the internal pressure of the storage unit 3 is changed or the internal temperature of the storage unit 3 is changed under a predetermined pressure, the inside of the storage unit 3 has a pressure corresponding to the changed set value. Or immediately at a given pressure, the equilibrium state is reached. Therefore, for example, it is possible to change the internal temperature of the storage unit 3 while introducing gas into the storage unit 3 while keeping the internal pressure of the storage unit 3 constant. As a result, it is possible to easily measure the relationship between the internal temperature of the storage unit 3 and the amount of adsorption of the porous material 2 under a constant pressure, and it is possible to create an adsorption isobaric line directly based on the measurement result. .

実施の形態1では、導入側流量計9で検出されたガスの流速から収納部3へのガスの導入量が算出され、排出側流量計10で検出されたガスの流速から収納部3からのガスの排出量が算出されている。そして、算出されたガスの導入量とガスの排出量との差から、多孔性物質2へのガスの吸着量が算出されている。すなわち、導入側流量計9で検出されたガスの流速と、排出側流量計10で検出されたガスの流速との差から、多孔性物質2へのガスの吸着量を測定できるようになっている。そのため、ガスの流速を検出するといった簡易な構成で、多孔性物質2へのガスの吸着量を直接的に測定することができる。   In the first embodiment, the amount of gas introduced into the storage unit 3 is calculated from the gas flow velocity detected by the introduction-side flow meter 9, and the gas flow rate detected from the discharge-side flow meter 10 is calculated from the storage unit 3. Gas emissions are calculated. The amount of gas adsorbed on the porous material 2 is calculated from the difference between the calculated gas introduction amount and the gas discharge amount. That is, the amount of gas adsorbed on the porous material 2 can be measured from the difference between the gas flow rate detected by the introduction-side flow meter 9 and the gas flow rate detected by the discharge-side flow meter 10. Yes. Therefore, the gas adsorption amount to the porous material 2 can be directly measured with a simple configuration in which the gas flow rate is detected.

実施の形態1では、制御部12からデジタル信号として出力される設定圧力信号と圧力検出部4からデジタル信号として出力される検出圧力信号とが、差動増幅回路13に入力されるようになっている。また、差動増幅回路13は、設定圧力信号と検出圧力信号との差を増幅した信号を制御信号として排出量調整弁8に向かって出力し、その制御信号に基づいて、排出側調整弁8は流量調整を行うように構成されている。そのため、収納部3の内部温度を一定に保ちつつ、制御部12から出力される設定圧力信号の分解能で収納部3の内部圧力を多段階にかつ微少量ずつ変化させながら、多孔性物質2の吸着量を測定することができる。すなわち、一定温度下において、収納部3の内部圧力を変化させたときの多孔性物質2の吸着量を連続測定に近い状態で測定することができる。その結果、特性測定装置1での測定結果から吸着等温線を作成する場合にも、内挿法によって、高い精度の補完が可能となり、精度の高い吸着等温線を作成することができる。したがって、吸着等温線の傾き(微分値)を利用して得られる細孔径分布等の多孔性物質2の特性の精度を飛躍的に向上させることができる。また、制御部12から出力される設定圧力信号の分解能で収納部3の内部圧力を多段階にかつ微少量ずつ変化させることができるため、収納部3の内部圧力を変化させた場合であっても、より短時間で収納部3の内部を平衡状態に戻すことができる。   In the first embodiment, the set pressure signal output as a digital signal from the control unit 12 and the detected pressure signal output as a digital signal from the pressure detection unit 4 are input to the differential amplifier circuit 13. Yes. Further, the differential amplifier circuit 13 outputs a signal obtained by amplifying the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal as a control signal toward the discharge amount adjusting valve 8, and based on the control signal, the discharge side adjusting valve 8. Is configured to adjust the flow rate. Therefore, while keeping the internal temperature of the storage unit 3 constant, the internal pressure of the storage unit 3 is changed in multiple steps and in small increments with the resolution of the set pressure signal output from the control unit 12. The amount of adsorption can be measured. That is, the adsorption amount of the porous material 2 when the internal pressure of the storage unit 3 is changed at a constant temperature can be measured in a state close to continuous measurement. As a result, even when an adsorption isotherm is created from the measurement result of the characteristic measuring device 1, high accuracy complementation is possible by interpolation, and a highly accurate adsorption isotherm can be created. Therefore, the accuracy of the characteristics of the porous material 2 such as the pore size distribution obtained by using the slope (differential value) of the adsorption isotherm can be dramatically improved. Further, since the internal pressure of the storage unit 3 can be changed in multiple steps and in small increments with the resolution of the set pressure signal output from the control unit 12, the internal pressure of the storage unit 3 is changed. However, the inside of the storage part 3 can be returned to the equilibrium state in a shorter time.

実施の形態1では、導入量調整弁7でのガスの導入量を一定とし、圧力検出部4で検出された検出圧力に基づいて、排出量調整弁8の流量調整を行っている。そのため、収納部3に導入されるガスの液化を防止することができる。すなわち、導入量調整弁7で流量調整を行う場合には、流量調整が可能となるように、導入量調整弁7の入側にある程度高い圧力をかける必要がある。そのため、ガスの種類や雰囲気温度によっては、ガスが液化するおそれが生じる。これに対して、実施の形態1では、排出量調整弁8で流量調整を行っているため、ガス排気部6に設けられた真空ポンプで排出量調整弁8の出側に負圧をかければ良い。その結果、導入量調整弁7の入側に高い圧力をかける必要がなくなり、ガスの液化を防止することができる。   In the first embodiment, the amount of gas introduced by the introduction amount adjustment valve 7 is constant, and the flow rate adjustment of the discharge amount adjustment valve 8 is performed based on the detected pressure detected by the pressure detection unit 4. Therefore, liquefaction of the gas introduced into the storage unit 3 can be prevented. That is, when the flow rate is adjusted by the introduction amount adjusting valve 7, it is necessary to apply a certain high pressure to the inlet side of the introduction amount adjusting valve 7 so that the flow rate can be adjusted. Therefore, the gas may be liquefied depending on the type of gas and the ambient temperature. On the other hand, in Embodiment 1, since the flow rate is adjusted by the discharge amount adjusting valve 8, if a negative pressure is applied to the outlet side of the discharge amount adjusting valve 8 by the vacuum pump provided in the gas exhaust unit 6. good. As a result, it is not necessary to apply a high pressure to the inlet side of the introduction amount adjusting valve 7, and gas liquefaction can be prevented.

[実施の形態2]
(多孔性物質の特性測定装置の構成)
図4は、本発明の実施の形態2にかかる多孔性物質の特性測定装置51の概略構成を示す模式図である。
[Embodiment 2]
(Configuration of device for measuring characteristics of porous materials)
FIG. 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a porous material characteristic measuring apparatus 51 according to the second embodiment of the present invention.

実施の形態2の多孔性物質の特性測定装置51(以下、「特性測定装置51」と表記する。)と実施の形態1の特性測定装置1との主要な相違点は、多孔性物質2の重量を検出する重量検出部61を備えている点、および、重量検出部61で検出された検出重量に基づいて、多孔性物質2の重量を一定に維持するように(すなわち、ガスの吸着量を一定に維持するように)、排出量調整弁8の流量調整を行う点である。以下では、この相違点を中心に、実施の形態2の特性測定装置51の構成、および、特性測定装置51を用いた多孔性物質2の特性測定方法について説明する。なお、以下の説明では、実施の形態1の特性測定装置1の構成と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。   The main difference between the porous material property measuring apparatus 51 of the second embodiment (hereinafter referred to as “characteristic measuring device 51”) and the characteristic measuring device 1 of the first embodiment is that Based on the point provided with the weight detection unit 61 for detecting the weight and the detected weight detected by the weight detection unit 61, the weight of the porous material 2 is maintained constant (that is, the amount of gas adsorption) The flow rate of the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted so as to maintain a constant value. Below, centering on this difference, the structure of the characteristic measurement apparatus 51 of Embodiment 2 and the characteristic measurement method of the porous substance 2 using the characteristic measurement apparatus 51 are demonstrated. In the following description, components that are the same as those of the characteristic measuring apparatus 1 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.

図4に示すように、特性測定装置51は、容積が一定で多孔性物質2が収納された収納部53と、収納部53の内部圧力を検出する圧力検出部4と、収納部53へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部5と、収納部3からガスの排出を行うガス排気部6と、収納部3とガス貯蔵部5との間に配設され、収納部3へのガスの導入量を調整する導入量調整弁7と、収納部3とガス排気部6との間に配設され、収納部3からのガスの排出量を調整する排出量調整弁8と、多孔性物質2の重量を検出する重量検出部61とを備えている。また、特性測定装置51は、図4に示すように、特性測定装置51の制御等を行う制御部12と、排出量調整弁8に制御信号を出力する差動増幅回路13とを備えている。なお、重量検出部61と排出量調整弁8と制御部12と差動増幅回路13とは、重量検出部61で検出された検出重量に基づいて、多孔性物質2へのガスの吸着量を一定に維持するフィードバック制御部を構成している。   As shown in FIG. 4, the characteristic measuring device 51 is introduced into the storage unit 53 in which the volume is constant and the porous material 2 is stored, the pressure detection unit 4 that detects the internal pressure of the storage unit 53, and the storage unit 53. The gas storage unit 5 in which a predetermined gas is stored, the gas exhaust unit 6 that discharges gas from the storage unit 3, and the storage unit 3 and the gas storage unit 5 are disposed between the storage unit 3 and the storage unit 3. An introduction amount adjustment valve 7 that adjusts the amount of gas introduced, a discharge amount adjustment valve 8 that is disposed between the storage portion 3 and the gas exhaust portion 6 and adjusts the discharge amount of gas from the storage portion 3; A weight detection unit 61 that detects the weight of the porous material 2. As shown in FIG. 4, the characteristic measuring device 51 includes a control unit 12 that controls the characteristic measuring device 51 and a differential amplifier circuit 13 that outputs a control signal to the discharge amount adjusting valve 8. . Note that the weight detection unit 61, the discharge amount adjustment valve 8, the control unit 12, and the differential amplifier circuit 13 calculate the gas adsorption amount to the porous material 2 based on the detected weight detected by the weight detection unit 61. It constitutes a feedback control unit that keeps constant.

実施の形態1の特性測定装置1と同様に、実施の形態2の特性測定装置51で使用されるガスは多種多様であり、たとえば、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素、メタン、メタノール、クロロホルム、あるいは、ブロモホルム等である。   Similar to the characteristic measurement apparatus 1 of the first embodiment, there are various gases used in the characteristic measurement apparatus 51 of the second embodiment. For example, nitrogen, hydrogen, water vapor, carbon dioxide, methane, methanol, chloroform, Or, bromoform or the like.

収納部53は、多孔性物質2の出し入れが可能で、かつ、密閉可能な容器で構成されている。また、後述の光学式の位置センサ63によって、多孔性物質2の位置検出を行うため、収納部53の下端側は、光が透過可能となるように透明になっている。   The accommodating part 53 is comprised with the container which can take in and out the porous substance 2, and can be sealed. In addition, since the position of the porous material 2 is detected by an optical position sensor 63 described later, the lower end side of the storage portion 53 is transparent so that light can be transmitted.

重量検出部61は、収納部53の内部で多孔性物質2を浮上させる浮上手段62と、多孔性物質2の位置検出を行う位置センサ63とを備えている。   The weight detection unit 61 includes a levitation unit 62 that levitates the porous material 2 inside the storage unit 53 and a position sensor 63 that detects the position of the porous material 2.

浮上手段62は、多孔性物質2が載置されるとともに永久磁石(図示省略)が固定された可動部64と、可動部64を浮上させる電磁石(図示省略)を有する固定部65とを備えている。可動部64は、図4に示すように、多孔性物質2が載置された状態で収納部53の内部に移動可能に配設されている。固定部65は、図4に示すように、収納部53の下側に固定された状態で配設されている。そして、固定部65の電磁石を通電状態にすると、この電磁石と可動部64の永久磁石との反発力で、可動部64が収納部53の内部で浮上するようになっている。   The levitation means 62 includes a movable portion 64 on which the porous material 2 is placed and a permanent magnet (not shown) is fixed, and a fixed portion 65 having an electromagnet (not shown) that levitates the movable portion 64. Yes. As shown in FIG. 4, the movable portion 64 is movably disposed inside the storage portion 53 with the porous material 2 placed thereon. As shown in FIG. 4, the fixing portion 65 is disposed in a state of being fixed to the lower side of the storage portion 53. When the electromagnet of the fixed portion 65 is energized, the movable portion 64 floats inside the storage portion 53 by the repulsive force between the electromagnet and the permanent magnet of the movable portion 64.

位置センサ63は、発光素子(図示省略)を有する発光部66と、発光素子からの光を受光する受光素子(図示省略)を有する受光部67とを備えた光学式のセンサである。この位置センサ63は、図4に示すように、収納部53の下端側の側方に配設されている。より具体的には、位置センサ63は、収納部53の下端側の側方であって、可動部64とともに浮上した状態の多孔性物質2を検出できる位置に配設されている。   The position sensor 63 is an optical sensor including a light emitting unit 66 having a light emitting element (not shown) and a light receiving unit 67 having a light receiving element (not shown) that receives light from the light emitting element. As shown in FIG. 4, the position sensor 63 is disposed on the side of the lower end side of the storage portion 53. More specifically, the position sensor 63 is disposed on the side of the lower end side of the storage portion 53 and at a position where the porous substance 2 in a state of floating with the movable portion 64 can be detected.

重量検出部61では、可動部64に載置された多孔性物質2が位置センサ63の検出範囲内で浮上した状態となるように、固定部65の電磁石に電流が供給されるようになっている。すなわち、重量検出部61では、位置センサ63(具体的には受光部67)からの検出信号に基づいて、固定部65の電磁石に供給される電流が測定されたり、調整されるようになっている。そして、固定部65の電磁石に供給される電流値から多孔性物質2の重量が検出されるようになっている。より具体的には、図4に示すように、固定部65には、圧力検出部4で検出された収納部53の内部圧力に対応する検出信号が入力されるようになっており、固定部65では、収納部53の内部圧力の変化の影響を排除した多孔性物質2の重量が検出されるようになっている。また、固定部65は、検出された多孔性物質2の重量に対応する検出重量信号をデジタル信号として差動増幅回路13に向かって出力するようになっている。   In the weight detection unit 61, an electric current is supplied to the electromagnet of the fixed unit 65 so that the porous substance 2 placed on the movable unit 64 floats within the detection range of the position sensor 63. Yes. That is, in the weight detection unit 61, the current supplied to the electromagnet of the fixed unit 65 is measured or adjusted based on the detection signal from the position sensor 63 (specifically, the light receiving unit 67). Yes. Then, the weight of the porous material 2 is detected from the current value supplied to the electromagnet of the fixed portion 65. More specifically, as shown in FIG. 4, a detection signal corresponding to the internal pressure of the storage unit 53 detected by the pressure detection unit 4 is input to the fixing unit 65. In 65, the weight of the porous material 2 excluding the influence of the change in the internal pressure of the storage portion 53 is detected. The fixing unit 65 outputs a detected weight signal corresponding to the detected weight of the porous substance 2 as a digital signal toward the differential amplifier circuit 13.

実施の形態1と同様に、実施の形態2の導入量調整弁7および排出量調整弁8はともにピエゾバルブである。導入量調整弁7は、所定の配管によって、収納部3とガス貯蔵部5とに接続され、排出量調整弁8は、所定の配管によって、収納部3とガス排気部6とに接続されている。   Similar to the first embodiment, both the introduction amount adjusting valve 7 and the discharge amount adjusting valve 8 of the second embodiment are piezo valves. The introduction amount adjustment valve 7 is connected to the storage unit 3 and the gas storage unit 5 by a predetermined pipe, and the discharge amount adjustment valve 8 is connected to the storage unit 3 and the gas exhaust unit 6 by a predetermined pipe. Yes.

また、実施の形態1と同様に、実施の形態2では、導入量調整弁7は、一定流量のガスを収納部53へ導出するように調整されている。また、排出量調整弁8での流量は、重量検出部61で検出された多孔性物質2の検出重量に基づいて調整されている。より具体的には、差動増幅回路13には、重量検出部61で検出される多孔性物質2の検出重量に対応する検出重量信号と、多孔性物質2の重量の設定値に対応する設定重量信号とが入力され、かつ、差動増幅回路13は、設定重量信号と検出重量信号との差を増幅して出力するように構成されている。そして、排出量調整弁8での流量は、差動増幅回路13から出力された制御信号に基づいて、多孔性物質2の重量を設定値に近づけるように調整(制御)されている。   Similarly to the first embodiment, in the second embodiment, the introduction amount adjusting valve 7 is adjusted so as to lead a gas having a constant flow rate to the storage portion 53. Further, the flow rate at the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted based on the detected weight of the porous substance 2 detected by the weight detection unit 61. More specifically, the differential amplifier circuit 13 has a detection weight signal corresponding to the detection weight of the porous substance 2 detected by the weight detection unit 61 and a setting corresponding to the set value of the weight of the porous substance 2. The weight signal is input, and the differential amplifier circuit 13 is configured to amplify and output the difference between the set weight signal and the detected weight signal. The flow rate at the discharge amount adjusting valve 8 is adjusted (controlled) so that the weight of the porous material 2 approaches the set value based on the control signal output from the differential amplifier circuit 13.

このように実施の形態2でも、実施の形態1と同様に、導入量調整弁7での流量が一定に調整され、排出量調整弁8での流量が差動増幅回路13から出力された制御信号に基づいて調整されることで、多孔性物質2の重量が設定値に近づくように、ガスの流量が調整されている。すなわち、多孔性物質2の重量が設定値の近辺で一定に維持されるように、導入量調整弁7および排出量調整弁8の調整が行われている。   As described above, in the second embodiment, similarly to the first embodiment, the flow rate at the introduction amount adjustment valve 7 is adjusted to be constant, and the flow rate at the discharge amount adjustment valve 8 is output from the differential amplifier circuit 13. By adjusting based on the signal, the gas flow rate is adjusted so that the weight of the porous material 2 approaches the set value. That is, the introduction amount adjustment valve 7 and the discharge amount adjustment valve 8 are adjusted so that the weight of the porous material 2 is kept constant in the vicinity of the set value.

図4に示すように、制御部12には、圧力検出部4で検出された収納部53の内部圧力に対応する検出信号が入力されるようになっている。また、制御部12には多孔性物質2の重量の設定値が入力されるようになっており、制御部12は、この設定値に対応する設定重量信号を差動増幅回路13に向かって出力するようになっている。より具体的には、制御部12は、ADコンバータによってデジタル信号に変換された設定重量信号を出力するようになっている。すなわち、制御部12は、ADコンバータの分解能(刻み値)で、多段階にかつ微少量ずつ変化させた設定重量信号を出力できるようになっている。   As shown in FIG. 4, a detection signal corresponding to the internal pressure of the storage unit 53 detected by the pressure detection unit 4 is input to the control unit 12. Further, a set value of the weight of the porous material 2 is input to the control unit 12, and the control unit 12 outputs a set weight signal corresponding to the set value to the differential amplifier circuit 13. It is supposed to be. More specifically, the control unit 12 outputs a set weight signal converted into a digital signal by the AD converter. That is, the control unit 12 can output a set weight signal that is changed in multiple steps and in small increments with the resolution (step value) of the AD converter.

(多孔性物質の特性測定方法)
図5は、図4の特性測定装置51での測定結果に基づいて作成された吸着等量線を示すグラフである。
(Method for measuring the characteristics of porous materials)
FIG. 5 is a graph showing an adsorption equivalence line created based on the measurement result of the characteristic measuring device 51 of FIG.

以上のように構成された特性測定装置51を用いて、多孔性物質2の種々の特性が測定される。以下では、多孔性物質2の重量を一定に保った状態で(すなわち、多孔性物質2へのガスの吸着量を一定に保った状態で)、収納部53の内部温度を変化させたときの収納部53の内部圧力の測定方法の一例を説明する。   Various characteristics of the porous material 2 are measured using the characteristic measuring apparatus 51 configured as described above. Hereinafter, when the internal temperature of the storage portion 53 is changed while the weight of the porous material 2 is kept constant (that is, the amount of gas adsorbed on the porous material 2 is kept constant). An example of a method for measuring the internal pressure of the storage unit 53 will be described.

まず、ガス貯蔵部5の開閉弁(図示省略)を閉じた状態で、収納部53の内部温度を一定の温度T4にする。たとえば、図示を省略する恒温槽の中に収納部53を配置して、収納部53の内部温度を温度T4にする。その後、ガス排気部6に設けられた真空ポンプ(図示省略)によって、収納部53を真空状態にする。収納部53を真空状態にしたところで、ガス貯蔵部5の開閉弁を開き、収納部53の内部が平衡状態になるまで、収納部53にガスを導入する。   First, with the on-off valve (not shown) of the gas storage unit 5 closed, the internal temperature of the storage unit 53 is set to a constant temperature T4. For example, the storage part 53 is arrange | positioned in the thermostat which abbreviate | omits illustration, and the internal temperature of the storage part 53 is made into temperature T4. Thereafter, the storage unit 53 is evacuated by a vacuum pump (not shown) provided in the gas exhaust unit 6. When the storage unit 53 is in a vacuum state, the on-off valve of the gas storage unit 5 is opened, and gas is introduced into the storage unit 53 until the inside of the storage unit 53 reaches an equilibrium state.

このとき、収納部53の内部圧力の変化の影響を排除した多孔性物質2の重量を、たとえば、重量M1に設定する。排出量調整弁8では、入力された制御信号に基づいて、多孔性物質2の重量を重量M1に近づけるように(すなわち、多孔性物質2の重量を一定の重量M1に維持するように)、ガスの排出量が調整される。なお、このときには、導入量調整弁7でのガスの導入量は一定となっている。また、このときには、必要に応じてガス排気部6に設けられた真空ポンプを駆動している。   At this time, the weight of the porous material 2 excluding the influence of the change in the internal pressure of the storage portion 53 is set to, for example, the weight M1. In the discharge amount adjusting valve 8, based on the input control signal, the weight of the porous material 2 is brought close to the weight M 1 (that is, the weight of the porous material 2 is maintained at a constant weight M 1). Gas emissions are adjusted. At this time, the amount of gas introduced by the introduction amount adjusting valve 7 is constant. At this time, a vacuum pump provided in the gas exhaust unit 6 is driven as necessary.

やがて、収納部53の内部が平衡状態となる。このときの収納部53の内部圧力を測定する。より具体的には、たとえば、圧力検出部4からの検出信号に基づいて制御部12で収納部53の内部圧力を算出する。   Eventually, the inside of the storage portion 53 becomes in an equilibrium state. The internal pressure of the storage part 53 at this time is measured. More specifically, for example, the control unit 12 calculates the internal pressure of the storage unit 53 based on a detection signal from the pressure detection unit 4.

収納部53の内部が平衡状態となった後、収納部53の内部温度を変更する。たとえば、収納部53が配置された恒温槽の設定温度を変更する。収納部53の内部温度を変更し、収納部53の内部が平衡状態となった後、再び、収納部53の内部圧力を測定する。ここで、収納部53の内部温度を変更すると、多孔性物質2へのガス吸着現象、あるいは、多孔性物質2に吸着されたガス放出現象が発生するが、排出量調整弁8では、入力された制御信号に基づいて、多孔性物質2の重量を重量M1に近づけるようにガスの排出量が調整されるため、収納部53の内部圧力の変化の影響を排除した多孔性物質2の重量は一定の重量M1に維持されている。   After the inside of the storage unit 53 reaches an equilibrium state, the internal temperature of the storage unit 53 is changed. For example, the set temperature of the thermostatic chamber in which the storage unit 53 is arranged is changed. After the internal temperature of the storage part 53 is changed and the inside of the storage part 53 is in an equilibrium state, the internal pressure of the storage part 53 is measured again. Here, when the internal temperature of the storage portion 53 is changed, a gas adsorption phenomenon to the porous material 2 or a gas release phenomenon adsorbed to the porous material 2 occurs. On the basis of the control signal, the gas discharge amount is adjusted so that the weight of the porous material 2 approaches the weight M1, so the weight of the porous material 2 excluding the influence of the change in the internal pressure of the storage portion 53 is A constant weight M1 is maintained.

その後さらに、収納部53の内部温度を変更し、収納部53の内部が平衡状態となった後、収納部53の内部圧力を測定する。収納部53の内部温度を変更しながら、以上の測定を繰り返すことで、多孔性物質2の重量を一定の重量M1としたときの、収納部53の内部温度と内部圧力との関係を測定することができる。また、この測定結果から、吸着等量線を作成することができ、たとえば、図5の曲線L5で示すような吸着等量線を得ることができる。なお、図3では、横軸が収納部53の内部温度T、縦軸が収納部53の内部圧力Pとなっている。また、多孔性物質2の重量を重量M1よりも重い一定の重量M2として、上記と同様の測定を行うと、図5の曲線L6で示すような吸着等量線を得ることができる。   Thereafter, the internal temperature of the storage unit 53 is further changed, and after the inside of the storage unit 53 is in an equilibrium state, the internal pressure of the storage unit 53 is measured. By repeating the above measurement while changing the internal temperature of the storage unit 53, the relationship between the internal temperature of the storage unit 53 and the internal pressure when the weight of the porous material 2 is set to a constant weight M1 is measured. be able to. Further, from this measurement result, an adsorption equivalence line can be created. For example, an adsorption equivalence line as shown by a curve L5 in FIG. 5 can be obtained. In FIG. 3, the horizontal axis represents the internal temperature T of the storage unit 53, and the vertical axis represents the internal pressure P of the storage unit 53. Further, when the same measurement as described above is performed by setting the weight of the porous material 2 to a constant weight M2 heavier than the weight M1, an adsorption equivalence curve as shown by a curve L6 in FIG. 5 can be obtained.

また、特性測定装置1での測定結果から得られた吸着等量線を利用して、上述した式(1)から多孔性物質2の特性の1つである等量吸着熱を容易に算出することができる。   In addition, by using the adsorption equivalence line obtained from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1, the equivalent adsorption heat which is one of the characteristics of the porous material 2 is easily calculated from the above-described equation (1). be able to.

なお、収納部3の内部温度は段階的に変化させることしかできないため、特性測定装置1での測定結果から直接、連続的な曲線L5、L6を得ることはできない。したがって、特性測定装置1での測定結果から吸着等量線を作成する場合には、内挿法によって、測定点と測定点との間の値を補完している。   In addition, since the internal temperature of the accommodating part 3 can only be changed in steps, the continuous curves L5 and L6 cannot be obtained directly from the measurement result of the characteristic measuring device 1. Therefore, when creating an adsorption equivalence line from the measurement result of the characteristic measuring apparatus 1, the value between the measurement points is complemented by the interpolation method.

(実施の形態2の主な効果)
以上説明したように、実施の形態2の特性測定装置51では、重量検出部61で検出された検出重量に基づいて、多孔性物質2へのガスの吸着量を一定に維持するように排出量調整弁8の流量調整を行っている。そのため、多孔性物質2に吸着されたガスの吸着量を一定に保った状態で、収納部53にガスを導入しながら、収納部53の内部温度を変化させることができる。したがって、吸着量を一定としたときの収納部53の内部圧力と内部温度との関係を容易に測定することができ、その測定結果に基づいて直接的に吸着等量線の作成が可能となる。また、この吸着等量線を利用して、たとえば、多孔性物質の特性である等量吸着熱を容易に得ることができる。
(Main effects of the second embodiment)
As described above, in the characteristic measurement device 51 according to the second embodiment, the discharge amount so as to maintain the gas adsorption amount to the porous material 2 constant based on the detected weight detected by the weight detection unit 61. The flow rate of the regulating valve 8 is adjusted. Therefore, it is possible to change the internal temperature of the storage portion 53 while introducing the gas into the storage portion 53 in a state where the adsorption amount of the gas adsorbed on the porous material 2 is kept constant. Therefore, it is possible to easily measure the relationship between the internal pressure and the internal temperature of the storage portion 53 when the adsorption amount is constant, and it is possible to directly create an adsorption equivalence line based on the measurement result. . In addition, by using this adsorption isotherm, for example, it is possible to easily obtain an equivalent adsorption heat which is a characteristic of a porous substance.

実施の形態2では、導入量調整弁7でのガスの導入量を一定とし、重量検出部61で検出された検出重量に基づいて、排出量調整弁8の流量調整を行っている。そのため、収納部53に導入されるガスの液化を防止することができる。   In the second embodiment, the amount of gas introduced by the introduction amount adjustment valve 7 is constant, and the flow rate adjustment of the discharge amount adjustment valve 8 is performed based on the detected weight detected by the weight detection unit 61. Therefore, liquefaction of the gas introduced into the storage unit 53 can be prevented.

[他の実施の形態]
上述した各形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。たとえば、上述した各形態の説明では、収納部3、53の容積が「一定」であり、また、収納部3、53の内部圧力や内部温度、あるいは、多孔性物質2のガスの吸着量を「一定」にしたときの多孔性物質2の種々の特性を測定しているが、この「一定」は、全くの同一状態を意味するのではなく、測定や検出の際に許される誤差の範囲や、求められる測定値の精度から許容される範囲で変化するものも含む。
[Other embodiments]
Each form mentioned above is an example of a suitable form of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the description of each embodiment described above, the volume of the storage units 3 and 53 is “constant”, and the internal pressure and internal temperature of the storage units 3 and 53 or the gas adsorption amount of the porous material 2 are determined. Various characteristics of the porous material 2 are measured when “constant” is set, but this “constant” does not mean exactly the same state, but a range of errors allowed in measurement and detection. Also included are those that vary within the allowable range from the accuracy of the required measurement values.

また、上述した実施の形態1では、収納部3の内部温度を一定に保った状態で、収納部3にガスを導入しながら、収納部3の内部圧力を次第に変化させたり、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3にガスを導入しながら、収納部3の内部温度を変化させている。すなわち、収納部3の内部圧力や内部温度を外部刺激として多孔性物質2に加えている。この他にもたとえば、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3にガスを導入しながら、収納部3の内部の電場や磁場を変化させても良い。また、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、収納部3にガスを導入しながら、光の強度を変化させつつ多孔性物質2に光を照射しても良い。このようにすると、圧力一定下における多孔性物質2の種々の特性を容易に測定することができる。たとえば、多孔性物質2の吸着量と電界の強さとの関係を容易に測定することができる。同様に、実施の形態2においても、多孔性物質2に吸着されるガスの吸着量を一定に保った状態で、収納部53にガスを導入しながら、収納部53の内部の電場や磁場等を変化させても良い。すなわち、多孔性物質2に対する外部刺激は、収納部3、53の内部圧力や内部温度の他、収納部3、53の内部の電場や磁場、あるいは、多孔性物質2に照射される光等の様々な刺激とすることができる。   In Embodiment 1 described above, the internal pressure of the storage unit 3 is gradually changed while gas is introduced into the storage unit 3 while the internal temperature of the storage unit 3 is kept constant. While the internal pressure is kept constant, the internal temperature of the storage unit 3 is changed while introducing gas into the storage unit 3. That is, the internal pressure and internal temperature of the storage unit 3 are applied to the porous material 2 as external stimuli. In addition, for example, the electric field or magnetic field inside the storage unit 3 may be changed while introducing gas into the storage unit 3 while keeping the internal pressure of the storage unit 3 constant. Alternatively, the porous material 2 may be irradiated with light while changing the intensity of light while introducing gas into the storage unit 3 while keeping the internal pressure of the storage unit 3 constant. In this way, various characteristics of the porous material 2 under a constant pressure can be easily measured. For example, the relationship between the amount of adsorption of the porous material 2 and the strength of the electric field can be easily measured. Similarly, in the second embodiment, an electric field, a magnetic field, and the like inside the storage unit 53 are introduced while introducing the gas into the storage unit 53 while keeping the adsorption amount of the gas adsorbed by the porous material 2 constant. May be changed. That is, external stimuli for the porous material 2 include not only the internal pressure and internal temperature of the storage units 3 and 53 but also the electric field and magnetic field inside the storage units 3 and 53, or the light irradiated to the porous material 2. It can be a variety of stimuli.

また、収納部3、53の内部の電場や磁場、あるいは、多孔性物質2に照射される光等を外部刺激とすることで、たとえば、これらの外部刺激によって、多孔性物質2の内部に形成された微小空間の形状に変形が生じ、ガスの吸着量が変化するというスイッチング機能の探索も可能となる。このスイッチング機能の探索が進むと多孔性物質2へのガスの容易な貯蔵と、多孔性物質2からのガスの容易な取り出しが可能となる。また、外部刺激によって、多孔性物質2の内部に形成された微小空間で分子の秩序構造の形成が行われる可能性が指摘されており、特性測定装置1、51を用いることで、微小空間で分子の秩序構造の形成が行われるか否かの探索も可能となる。   Further, the external electric stimulus is an electric field or a magnetic field inside the storage units 3 and 53, or the light irradiated on the porous material 2 is formed inside the porous material 2 by these external stimuli, for example. It is possible to search for a switching function in which the shape of the minute space is deformed and the gas adsorption amount changes. As the search for the switching function proceeds, the gas can be easily stored in the porous material 2 and the gas can be easily taken out from the porous material 2. In addition, it has been pointed out that the possibility of the formation of an ordered structure of molecules in the minute space formed inside the porous material 2 by an external stimulus has been pointed out. It is also possible to search for the formation of an ordered structure of molecules.

さらに、上述した各形態では、導入量調整弁7でのガスの導入量を一定とし、圧力検出部4(または重量検出部61)での検出結果に基づいて、排出量調整弁8の流量調整を行っている。この他にも、たとえば、排出量調整弁8でのガスの排出量を一定とし、圧力検出部4(または重量検出部61)での検出結果に基づいて、導入量調整弁7の流量調整を行っても良い。すなわち、差動増幅回路13からの制御信号が導入量調整弁7に入力され、その制御信号に基づいて、導入量調整弁7の流量調整を行うように構成しても良い。この場合、導入量調整弁7はフィードバック制御部の一部を構成する。また、導入量調整弁7および排出量調整弁8の両者に差動増幅回路13からの制御信号が入力されるように構成し、導入量調整弁7および排出量調整弁8の両者の流量調整を行うようにしても良い。この場合には、導入量調整弁7および排出量調整弁8の両者がフィードバック制御部の一部を構成する。   Furthermore, in each embodiment described above, the amount of gas introduced by the introduction amount adjustment valve 7 is constant, and the flow rate adjustment of the discharge amount adjustment valve 8 is performed based on the detection result of the pressure detection unit 4 (or the weight detection unit 61). It is carried out. In addition to this, for example, the amount of gas discharged from the discharge amount adjusting valve 8 is made constant, and the flow rate of the introduction amount adjusting valve 7 is adjusted based on the detection result of the pressure detecting unit 4 (or the weight detecting unit 61). You can go. That is, the control signal from the differential amplifier circuit 13 may be input to the introduction amount adjusting valve 7 and the flow rate of the introduction amount adjusting valve 7 may be adjusted based on the control signal. In this case, the introduction amount adjusting valve 7 constitutes a part of the feedback control unit. Further, both the introduction amount adjusting valve 7 and the discharge amount adjusting valve 8 are configured to receive a control signal from the differential amplifier circuit 13, and the flow rate adjustment of both the introduction amount adjusting valve 7 and the discharge amount adjusting valve 8 is achieved. May be performed. In this case, both the introduction amount adjustment valve 7 and the discharge amount adjustment valve 8 constitute a part of the feedback control unit.

さらにまた、上述した各形態では、多孔性物質2の種々の特性の測定に際して、ガスの導入と排出を維持しつつ種々の特性の測定を行っているが、ガスの導入と排出を止めてから、種々の特性の測定を行っても良い。すなわち、収納部3、53の内部が平衡状態となったら、導入量調整弁7と排出量調整弁8とを一旦閉じ、その後、特性の測定を行っても良い。   Furthermore, in each of the above-described embodiments, when measuring various characteristics of the porous material 2, various characteristics are measured while maintaining the introduction and discharge of the gas. Various characteristics may be measured. That is, when the insides of the storage units 3 and 53 are in an equilibrium state, the introduction amount adjustment valve 7 and the discharge amount adjustment valve 8 may be closed once, and then the characteristics may be measured.

また、上述した実施の形態1では、導入側流量計9および排出側流量計10を用いて多孔性物質2へのガスの吸着量を測定している。この他にも、たとえば、導入側流量計9および排出側流量計10に代えて、実施の形態2で説明した重量検出部61を実施の形態1の特性測定装置1に配設し、重量検出部61を用いて、多孔性物質2へのガスの吸着量を測定しても良い。この場合であっても、収納部3の内部圧力を一定に保った状態で、多孔性物質2へのガスの吸着量と収納部3の内部圧力との関係等の種々の関係を測定することができる。   In the first embodiment described above, the amount of gas adsorbed on the porous material 2 is measured using the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10. In addition to this, for example, instead of the introduction-side flow meter 9 and the discharge-side flow meter 10, the weight detection unit 61 described in the second embodiment is arranged in the characteristic measurement device 1 of the first embodiment to detect the weight. The amount of gas adsorbed on the porous material 2 may be measured using the unit 61. Even in this case, various relationships such as the relationship between the amount of gas adsorbed to the porous material 2 and the internal pressure of the storage unit 3 are measured while the internal pressure of the storage unit 3 is kept constant. Can do.

さらに、上述した各形態では、ガス貯蔵部5とは別の構成として導入量調整弁7や導入側流量計9を備え、また、ガス排気部6とは別の構成として排出量調整弁8や排出側流量計10を備えている。この他にもたとえば、ガス貯蔵部5にガスの導入量の調整機能や計測機能を持たせたり、ガス排気部6にガスの排出量の調整機能や計測機能を持たせても良い。   Furthermore, in each form mentioned above, the introduction amount adjustment valve 7 and the introduction side flowmeter 9 are provided as a configuration different from the gas storage unit 5, and the discharge amount adjustment valve 8 as a configuration different from the gas exhaust unit 6 A discharge flow meter 10 is provided. In addition, for example, the gas storage unit 5 may be provided with a gas introduction amount adjustment function and a measurement function, or the gas exhaust unit 6 may be provided with a gas discharge amount adjustment function and a measurement function.

さらにまた、上述した各形態では、導入量検出部は、流速カウンタからなる導入側流量計9であり、排出量検出部は、流速カウンタからなる排出側流量計10である。この他にも、たとえば、導入量検出部や排出量検出部は、通過するガスの分子量を直接測定することができる分子量カウンタであっても良い。   Furthermore, in each form mentioned above, an introduction amount detection part is the introduction side flow meter 9 which consists of a flow rate counter, and a discharge amount detection part is the discharge side flow meter 10 which consists of a flow rate counter. In addition to this, for example, the introduction amount detection unit and the discharge amount detection unit may be a molecular weight counter capable of directly measuring the molecular weight of the passing gas.

また、上述した実施の形態2では、多孔性物質2の吸着量を一定に保った状態で、収納部53の内部温度を変化させたときの収納部53の内部圧力の変化を測定している。この他にもたとえば、収納部53の内部圧力を変化させたときの収納部53の内部温度の変化を測定し、その結果から吸着等量線を作成しても良い。   Moreover, in Embodiment 2 mentioned above, the change of the internal pressure of the accommodating part 53 when the internal temperature of the accommodating part 53 is changed in the state which kept the adsorption amount of the porous substance 2 constant is measured. . In addition to this, for example, a change in the internal temperature of the storage unit 53 when the internal pressure of the storage unit 53 is changed may be measured, and an adsorption equivalence curve may be created from the result.

さらに、上述した実施の形態1では、収納部3の内部温度を一定に保った状態で、収納部3の内部圧力を変化させたときの多孔性物質2のガスの吸着量を測定する際に、まず、収納部3を真空状態としている。この他にも、たとえば、初期状態として、収納部3の内部圧力を所定の圧力に設定し、その後、内部圧力を次第に上げながら、また、内部圧力を次第に下げながら、温度一定下での多孔性物質2のガスの吸着量を測定しても良い。   Furthermore, in Embodiment 1 mentioned above, when measuring the gas adsorption amount of the porous substance 2 when the internal pressure of the storage unit 3 is changed while the internal temperature of the storage unit 3 is kept constant. First, the storage unit 3 is in a vacuum state. In addition to this, for example, as an initial state, the internal pressure of the storage unit 3 is set to a predetermined pressure, and then the porosity at a constant temperature while the internal pressure is gradually increased and the internal pressure is gradually decreased. The gas adsorption amount of the substance 2 may be measured.

なお、収納部3、53の内部圧力は、真空から1気圧の範囲や1気圧から20気圧の範囲等、用いられるガスに合わせて種々設定することが可能である。また、本発明の構成で採用されるガスは、超臨界ガス等の特殊な状態のガスであっても良い。   The internal pressure of the storage units 3 and 53 can be variously set in accordance with the gas used, such as a range from vacuum to 1 atm or a range from 1 to 20 atm. The gas employed in the configuration of the present invention may be a special state gas such as a supercritical gas.

本発明の実施の形態1にかかる多孔性物質の特性測定装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the characteristic measuring apparatus of the porous substance concerning Embodiment 1 of this invention. 図1の特性測定装置での測定結果に基づいて作成された吸着等温線を示すグラフである。It is a graph which shows the adsorption isotherm created based on the measurement result in the characteristic measuring apparatus of FIG. 図1の特性測定装置での測定結果に基づいて作成された吸着等圧線を示すグラフである。It is a graph which shows the adsorption isobaric line produced based on the measurement result in the characteristic measuring apparatus of FIG. 本発明の実施の形態2にかかる多孔性物質の特性測定装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the characteristic measuring apparatus of the porous substance concerning Embodiment 2 of this invention. 図4の特性測定装置での測定結果に基づいて作成された吸着等量線を示すグラフである。It is a graph which shows the adsorption | suction equivalent curve created based on the measurement result in the characteristic measuring apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1、51 特性測定装置
2 多孔性物質
3、53 収納部
4 圧力検出部(フィードバック制御部の一部)
5 ガス貯蔵部
6 ガス排気部
7 導入量調整弁(導入量調整部、フィードバック制御部の一部)
8 排出量調整弁(排出量調整部、フィードバック制御部の一部)
9 導入側流量計(導入量検出部)
10 排出側流量計(排出量検出部)
12 制御部(設定圧力出力部、フィードバック制御部の一部)
13 差動増幅回路(フィードバック制御部の一部)
61 重量検出部(フィードバック制御部の一部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,51 Characteristic measuring apparatus 2 Porous substance 3,53 Storage part 4 Pressure detection part (a part of feedback control part)
5 Gas storage part 6 Gas exhaust part 7 Introduction amount adjustment valve (part of introduction amount adjustment part and feedback control part)
8 Emission control valve (part of the emission control unit and feedback control unit)
9 Introduction-side flow meter (introduction amount detector)
10 Discharge flow meter (discharge amount detection unit)
12 Control unit (set pressure output unit, part of feedback control unit)
13 Differential amplifier circuit (part of feedback controller)
61 Weight detector (part of feedback controller)

Claims (11)

容積が一定で多孔性物質が収納された収納部と、該収納部へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部と、上記収納部から上記ガスの排気を行うガス排気部とを備えるとともに、
上記収納部の内部圧力を検出する圧力検出部を有し、該圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて、上記収納部への上記ガスの導入量と上記収納部からの上記ガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して、上記収納部の内部圧力を一定に維持するフィードバック制御部を備えることを特徴とする多孔性物質の特性測定装置。
A storage unit having a constant volume and storing a porous material, a gas storage unit storing a predetermined gas introduced into the storage unit, and a gas exhaust unit for exhausting the gas from the storage unit With
A pressure detection unit that detects an internal pressure of the storage unit, and based on the detected pressure detected by the pressure detection unit, the amount of the gas introduced into the storage unit and the discharge of the gas from the storage unit; A device for measuring characteristics of a porous material, comprising a feedback control unit that controls at least one of the amount and maintains the internal pressure of the storage unit constant.
前記フィードバック制御部は、前記収納部と前記ガス貯蔵部との間に配設され、前記収納部への前記ガスの導入量を調整する導入量調整部と、前記収納部と前記ガス排気部との間に配設され、前記収納部からの前記ガスの排出量を調整する排出量調整部とを備え、前記圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて前記収納部の内部圧力を所定の設定値に維持するように、上記導入量調整部と上記排出量調整部との少なくともいずれか一方の流量調整を行うことを特徴とする請求項1記載の多孔性物質の特性測定装置。   The feedback control unit is disposed between the storage unit and the gas storage unit, and adjusts an introduction amount of the gas into the storage unit, and includes the storage unit and the gas exhaust unit. A discharge amount adjusting unit that adjusts the discharge amount of the gas from the storage unit, and the internal pressure of the storage unit is set to a predetermined value based on the detected pressure detected by the pressure detection unit. 2. The porous material characteristic measuring apparatus according to claim 1, wherein flow rate adjustment of at least one of the introduction amount adjusting unit and the discharge amount adjusting unit is performed so as to maintain a set value. 前記収納部の内部圧力が所定の設定値で平衡状態になった以後も、前記収納部に前記ガスを導入することを特徴とする請求項2記載の多孔性物質の特性測定装置。   The apparatus for measuring characteristics of a porous material according to claim 2, wherein the gas is introduced into the storage portion even after the internal pressure of the storage portion reaches an equilibrium state at a predetermined set value. 前記収納部への前記ガスの導入量を検出する導入量検出部と、前記収納部からの前記ガスの排出量を検出する排出量検出部とを備え、
上記導入量検出部で検出された前記ガスの導入量と、上記排出量検出部で検出された前記ガスの排出量との差から、前記多孔性物質への前記ガスの吸着量を測定することを特徴とする請求項1から3いずれかに記載の多孔性物質の特性測定装置。
An introduction amount detection unit that detects an introduction amount of the gas into the storage unit; and a discharge amount detection unit that detects a discharge amount of the gas from the storage unit,
Measuring the amount of the gas adsorbed to the porous material from the difference between the amount of the gas introduced detected by the introduction amount detector and the amount of the gas detected detected by the exhaust amount detector. The device for measuring characteristics of a porous material according to any one of claims 1 to 3.
前記収納部の内部圧力の設定値に対応する設定圧力信号を出力する設定圧力出力部と、
前記圧力検出部から出力される検出圧力信号および上記設定圧力信号が入力され、かつ、上記設定圧力信号と上記検出圧力信号との差を増幅して出力する差動増幅回路とを備え、
該差動増幅回路からの出力に基づいて、前記ガスの導入量と排出量との少なくともいずれか一方の調整を行うことを特徴とする請求項1から4いずれかに記載の多孔性物質の特性測定装置。
A set pressure output unit that outputs a set pressure signal corresponding to a set value of the internal pressure of the storage unit;
A differential amplifier circuit that receives the detected pressure signal output from the pressure detector and the set pressure signal, and amplifies and outputs the difference between the set pressure signal and the detected pressure signal;
The characteristic of the porous material according to any one of claims 1 to 4, wherein at least one of the introduction amount and the discharge amount of the gas is adjusted based on an output from the differential amplifier circuit. measuring device.
前記ガスの導入量を略一定とし、前記圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて、前記ガスの排出量の調整を行うことを特徴とする請求項1から5いずれかに記載の多孔性物質の特性測定装置。   The porosity according to any one of claims 1 to 5, wherein the gas introduction amount is set to be substantially constant, and the discharge amount of the gas is adjusted based on the detected pressure detected by the pressure detection unit. Material property measuring device. 容積が一定で多孔性物質が収納された収納部と、該収納部へ導入される所定のガスが貯蔵されたガス貯蔵部と、上記収納部から上記ガスの排気を行うガス排気部とを備えるとともに、
上記多孔性物質の重量を検出する重量検出部を有し、該重量検出部で検出された検出重量に基づいて、上記収納部への上記ガスの導入量と上記収納部からの上記ガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して、上記多孔性物質への上記ガスの吸着量を一定に維持するフィードバック制御部を備えることを特徴とする多孔性物質の特性測定装置。
A storage unit having a constant volume and storing a porous material, a gas storage unit storing a predetermined gas introduced into the storage unit, and a gas exhaust unit for exhausting the gas from the storage unit With
A weight detection unit for detecting the weight of the porous material, and based on the detected weight detected by the weight detection unit, the amount of the gas introduced into the storage unit and the discharge of the gas from the storage unit; A device for measuring characteristics of a porous material, comprising a feedback control unit that controls at least one of the amount and the amount of adsorption of the gas to the porous material to be constant.
前記フィードバック制御部は、前記収納部と前記ガス貯蔵部との間に配設され、前記収納部への前記ガスの導入量を調整する導入量調整部と、前記収納部と前記ガス排気部との間に配設され、前記収納部からの前記ガスの排出量を調整する排出量調整部とを備え、前記重量検出部で検出された検出重量に基づいて前記多孔性物質への前記ガスの吸着量を所定の設定値に維持するように、上記導入量調整部と上記排出量調整部との少なくともいずれか一方の流量調整を行うことを特徴とする請求項7記載の多孔性物質の特性測定装置。   The feedback control unit is disposed between the storage unit and the gas storage unit, and adjusts an introduction amount of the gas into the storage unit, and includes the storage unit and the gas exhaust unit. A discharge amount adjustment unit that adjusts the discharge amount of the gas from the storage unit, and based on the detected weight detected by the weight detection unit, the gas to the porous material 8. The characteristic of a porous material according to claim 7, wherein the flow rate of at least one of the introduction amount adjustment unit and the discharge amount adjustment unit is adjusted so that the adsorption amount is maintained at a predetermined set value. measuring device. 前記多孔性物質への前記ガスの吸着量が所定の設定値となり、かつ、前記収納部の内部が平衡状態になった以後も、前記収納部に前記ガスを導入することを特徴とする請求項8記載の多孔性物質の特性測定装置。   The gas is introduced into the storage portion even after the amount of adsorption of the gas to the porous material reaches a predetermined set value and the inside of the storage portion is in an equilibrium state. 8. A device for measuring characteristics of a porous material according to 8. 容積が一定で多孔性物質が収納された収納部の内部を平衡状態にする工程と、上記多孔性物質に外部刺激を加える工程と、上記収納部の内部圧力を検出する圧力検出部で検出された検出圧力に基づいて上記収納部への上記ガスの導入量と上記収納部からの上記ガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して上記収納部の内部圧力を維持する工程とを備え、
上記ガスの導入量と上記ガスの排出量との差に基づいて、上記外部刺激による上記多孔性物質の上記ガスの吸着量を検出することを特徴とする多孔性物質の特性測定方法。
Detected by a step of equilibrating the inside of the storage unit in which the volume is constant and the porous material is stored, a step of applying an external stimulus to the porous material, and a pressure detection unit that detects the internal pressure of the storage unit And maintaining the internal pressure of the storage unit by controlling at least one of the introduction amount of the gas into the storage unit and the discharge amount of the gas from the storage unit based on the detected pressure. ,
A method for measuring a characteristic of a porous material, wherein the gas adsorption amount of the porous material by the external stimulus is detected based on a difference between the gas introduction amount and the gas discharge amount.
容積が一定で多孔性物質が収納された収納部の内部を平衡状態にする工程と、上記多孔性物質に外部刺激を加える工程と、上記多孔性物質の重量を検出する重量検出部で検出された検出重量に基づいて上記収納部への上記ガスの導入量と上記収納部からの上記ガスの排出量との少なくともいずれか一方を制御して上記多孔性物質への上記ガスの吸着量を維持する工程とを備え、
上記外部刺激に対応して変化する上記多孔性物質の特性を測定することを特徴とする多孔性物質の特性測定方法。
Detected by a step of bringing the inside of the storage unit having a constant volume and storing the porous material into an equilibrium state, a step of applying an external stimulus to the porous material, and a weight detection unit for detecting the weight of the porous material. Based on the detected weight, the amount of the gas introduced into the storage portion and the amount of the gas discharged from the storage portion are controlled to maintain the amount of the gas adsorbed onto the porous material. Comprising the steps of:
A method for measuring a property of a porous material, wherein the property of the porous material that changes in response to the external stimulus is measured.
JP2005249180A 2005-08-30 2005-08-30 Device for measuring properties of porous materials Active JP4572297B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005249180A JP4572297B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 Device for measuring properties of porous materials

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005249180A JP4572297B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 Device for measuring properties of porous materials

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007064731A true JP2007064731A (en) 2007-03-15
JP4572297B2 JP4572297B2 (en) 2010-11-04

Family

ID=37927109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005249180A Active JP4572297B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 Device for measuring properties of porous materials

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4572297B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011107072A (en) * 2009-11-20 2011-06-02 Rion Co Ltd Inspection apparatus of through hole
JP2011112404A (en) * 2009-11-24 2011-06-09 Shinshu Univ Method for measuring information for adsorption isostere creation, method for adsorption isostere creation, adsorption heat calculation method, program, and measurement system
KR101248531B1 (en) 2011-12-05 2013-04-03 한국지질자원연구원 Apparatus and method for measuring porosity and permeability of dioxide carbon underground storage medium
JP2015203657A (en) * 2014-04-16 2015-11-16 国立大学法人信州大学 Apparatus and method for measuring characteristic of porous material
JP2016133395A (en) * 2015-01-20 2016-07-25 国立大学法人信州大学 Method for measuring absorption rate

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965241A (en) * 1982-10-06 1984-04-13 Shokubai Kasei Kogyo Kk Small pore-distribution analyzing apparatus
JPH03115951A (en) * 1989-09-29 1991-05-16 Shimadzu Corp Measuring device for adsorption amount
JPH06265459A (en) * 1993-03-15 1994-09-22 Toshiba Corp Cracked gas detector
JPH07198637A (en) * 1993-12-29 1995-08-01 Three D Compo Res:Kk Pvt measuring method and measuring device
JPH10132646A (en) * 1996-10-29 1998-05-22 Ricoh Co Ltd Liquid phase surface treatment device, and method for measuring change in mass of a body to be treated using it
JP2000121527A (en) * 1998-10-12 2000-04-28 Shimadzu Corp Moisture meter
JP2000292246A (en) * 1999-04-12 2000-10-20 Agency Of Ind Science & Technol Automatic measuring apparatus for adsorption amount by gravimetric method
JP2002277369A (en) * 2001-03-22 2002-09-25 Katsumi Kaneko Instrument for measuring gas adsorption amount
JP2005069848A (en) * 2003-08-25 2005-03-17 Katsumi Kaneko Apparatus and system for measuring amount of gas adsorption

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965241A (en) * 1982-10-06 1984-04-13 Shokubai Kasei Kogyo Kk Small pore-distribution analyzing apparatus
JPH03115951A (en) * 1989-09-29 1991-05-16 Shimadzu Corp Measuring device for adsorption amount
JPH06265459A (en) * 1993-03-15 1994-09-22 Toshiba Corp Cracked gas detector
JPH07198637A (en) * 1993-12-29 1995-08-01 Three D Compo Res:Kk Pvt measuring method and measuring device
JPH10132646A (en) * 1996-10-29 1998-05-22 Ricoh Co Ltd Liquid phase surface treatment device, and method for measuring change in mass of a body to be treated using it
JP2000121527A (en) * 1998-10-12 2000-04-28 Shimadzu Corp Moisture meter
JP2000292246A (en) * 1999-04-12 2000-10-20 Agency Of Ind Science & Technol Automatic measuring apparatus for adsorption amount by gravimetric method
JP2002277369A (en) * 2001-03-22 2002-09-25 Katsumi Kaneko Instrument for measuring gas adsorption amount
JP2005069848A (en) * 2003-08-25 2005-03-17 Katsumi Kaneko Apparatus and system for measuring amount of gas adsorption

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011107072A (en) * 2009-11-20 2011-06-02 Rion Co Ltd Inspection apparatus of through hole
JP2011112404A (en) * 2009-11-24 2011-06-09 Shinshu Univ Method for measuring information for adsorption isostere creation, method for adsorption isostere creation, adsorption heat calculation method, program, and measurement system
EP2325620A3 (en) * 2009-11-24 2012-05-16 Shinshu University Method of measuring information for adsorption isostere creation, adsorption isostere creation method, adsorption heat calculation method, computer program, and measurement system
US8480786B2 (en) 2009-11-24 2013-07-09 Shinshu University Method of measuring information for adsorption isostere creation, adsorption isostere creation method, adsorption heat calculation method, computer program, and measurement system
KR101248531B1 (en) 2011-12-05 2013-04-03 한국지질자원연구원 Apparatus and method for measuring porosity and permeability of dioxide carbon underground storage medium
US9291541B2 (en) 2011-12-05 2016-03-22 Korea Institute Of Geoscience And Mineral Resources Apparatus and method of measuring porosity and permeability of dioxide carbon underground storage medium
JP2015203657A (en) * 2014-04-16 2015-11-16 国立大学法人信州大学 Apparatus and method for measuring characteristic of porous material
JP2016133395A (en) * 2015-01-20 2016-07-25 国立大学法人信州大学 Method for measuring absorption rate

Also Published As

Publication number Publication date
JP4572297B2 (en) 2010-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6981426B2 (en) Method and apparatus to measure gas amounts adsorbed on a powder sample
JP4572297B2 (en) Device for measuring properties of porous materials
Durrill et al. Diffusion and solution of gases in thermally softened or molten polymers: Part I. Development of technique and determination of data
Pye et al. Measurement of gas permeability of polymers. I. Permeabilities in constant volume/variable pressure apparatus
EP3036510A2 (en) Pressure-based gas flow controller with dynamic self-calibration
CN104990827B (en) The measuring method and equipment of low volatility organic gas adsorbance on the adsorbent material
US20190072453A1 (en) Device and process for determining the size of a leak hole in a sample
KR20040058057A (en) Gas permeability measurement method and gas permeability measurement device
JP2010520451A (en) Method and apparatus for test gas leak detection
US6637265B1 (en) Apparatus for measuring physical properties of matter
JP2008541120A (en) Method for measuring porosity by ellipsometry and device for carrying out one such method
CN108613670B (en) Detection laser frequency stabilization device and method for atomic spin gyro
CN102253168B (en) Method and apparatus for producing mercury vapor with standard concentration
JP2004219407A (en) Method of measuring gas permeability and apparatus for measuring gas permeability
JP6618672B2 (en) Porous substance characteristic measuring apparatus and porous substance characteristic measuring method
Brewer et al. A dynamic gravimetric standard for trace water
US6845651B2 (en) Quick BET method and apparatus for determining surface area and pore distribution of a sample
JP2007248320A (en) Gas flowmeter and apparatus for controlling quantity of gas flow
JP2019203825A (en) Pore diameter distribution measuring device for nanoporous membrane
RU2364842C1 (en) Method for calibration of gas flow metre and device for its realisation
Hudoklin et al. Uncertainty evaluation of the new setup for measurement of water-vapor permeation rate by a dew-point sensor
Setina et al. Measuring volume ratios of vacuum vessels using non-evaporable getters
Bach et al. Role of molecular diffusion in the theory of gas flow through crimped-capillary leaks
JP2013156273A (en) Micropore filter for gas leak calibrated in advance
Jena et al. Characterization of water vapor permeable membranes

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080214

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100401

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100511

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100720

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100730

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150