JP2007052223A - レチクルパターンデータ作成方法、レチクルパターン作成装置、及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】レチクルパターンの寸法検査の仕様データを効率よくかつ正確に作成することができるレチクルパターン作成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレチクルパターン作成装置は、検査用パターン内部の寸法検査を行うべき位置に前記寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する検査仕様付検査用パターン作成部１３と、前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する検査仕様付チップ内パターン作成部１６と、前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、検査仕様付レチクルパターンを作成する検査仕様付レチクルパターン作成部２１と、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記複数の寸法値情報それぞれの座標を算出することにより、複数の前記座標付寸法値情報を作成する座標付寸法値情報作成部２５とを具備する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レチクルパターン作成方法、レチクルパターン作成装置、及びプログラムに関する。特に本発明は、レチクルパターンの寸法検査の仕様データを効率よくかつ正確に作成することができるレチクルパターン作成方法、レチクルパターン作成装置、及びプログラムに関する。

フォトレジスト膜の露光に用いられるレチクルは、ガラス基板上に所定のクロムパターンを形成したものである。このクロムパターン又はガラス部の寸法精度が、フォトレジスト膜に露光されるパターンの精度に直接影響する。このため、クロムパターン又はガラス部の寸法精度を保証するために、レチクルに所定の検査用のパターンを形成し、この検査用パターンの寸法を測定し、その誤差を検証することが行われている。また、露光により形成された回路の寸法を部分的に測定し、その誤差を検証する場合もある。

これらの場合において、測定すべき場所の座標、及び寸法測定に必要な情報（例えば求められる寸法値）は、クロムパターンを示すデータとは別のファイル、又は紙等を用いて受け渡されている（例えば特許文献１参照）。
特開平１０−３１９５７１号公報（第９段落）

上記したように寸法検査に必要な情報を、パターンを示すデータとは別の媒体を用いて受け渡す場合、人が、測定すべき場所の座標をパターンから読み取る必要がある。また、人が、読み取った座標を、寸法検査に必要なほかの情報（例えば求められる寸法値）に対応させた上で、紙や別のファイルに転記する必要がある。このため、寸法検査に必要なデータの作成効率が悪く、人が長時間関わる必要があった。また、読み取りミスや転記ミスが生じる可能性があった。

本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、レチクルパターンの寸法検査の仕様データを効率よくかつ正確に作成することができるレチクルパターン作成方法、レチクルパターン作成装置、及びプログラムを提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明に係るレチクルパターン作成方法は、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成方法であって、
前記半導体チップ内のパターンと、前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンとを準備する工程と、
前記検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する工程と、
前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する工程と、
コンピュータが、前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターンの内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、
コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する工程とを具備する。

このレチクルパターン作成方法によれば、前記検査仕様付レチクルパターンにおいて、前記検査用パターンの寸法検査すべき位置に、前記寸法値情報が配置されている。このため、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報それぞれの座標を算出し、算出した座標に前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成することができる。

前記検査仕様付レチクルパターンは、前記検査仕様付チップ内パターンを複数配置することにより形成される。前記検査仕様付検査用パターンは、前記検査用パターン内部の寸法検査を行うべき位置に、前記寸法値情報を配置したものである。このため、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の位置は正確である。

従って、レチクルパターンの寸法検査の仕様データ（すなわち前記座標付寸法値情報）を、効率よくかつ正確に作成することができる。

前記半導体チップ内のパターン、前記検査用パターン、前記検査仕様付検査用パターン、及び前記検査仕様付チップ内パターンが、それぞれＧＤＳIIフォーマットで作成され、前記寸法値情報は、ＧＤＳIIフォーマットに従ったテキストデータで作成されるのが好ましい。ＧＤＳIIフォーマットにはテキストデータの座標も含まれているため、容易に前記座標付寸法値情報をテキストデータで作成することができる。なお、前記検査仕様付レチクルパターンは、ＧＤＳIIフォーマットであってもよいが、前記検査仕様付チップ内パターンをコンピュータ上で仮想的に配置することで作成されても良い。

本発明に係る他のレチクルパターン作成方法は、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成方法であって、
コンピュータが、前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する工程と、
コンピュータが、前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、
コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した複数の座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する工程とを具備する。

前記半導体チップ内のパターン及び前記検査仕様付チップ内パターンが、それぞれＧＤＳIIフォーマットで作成され、前記寸法値情報は、ＧＤＳIIフォーマットに従ったテキストデータで作成されるのが好ましい。この場合、容易に前記座標付寸法値情報を、文字データで構成されるテキストファイルで作成することができる。なお、前記検査仕様付レチクルパターンは、ＧＤＳIIフォーマットであってもよいが、前記検査仕様付チップ内パターンをコンピュータ上で仮想的に配置することで作成されても良い。

前記座標付寸法値情報が文字データで構成されるテキストファイルで作成される場合、他の装置（例えば製造されたレチクルの寸法検査を行う装置）は、容易に前記座標付寸法値情報を解釈することができる。

前記検査仕様付検査用パターンは、テキストデータである前記寸法値情報の配置方向を示す情報を含んでおり、前記座標付寸法値情報を作成する工程において、前記寸法値情報の配置方向を、前記検査用パターンの寸法測定方向として前記座標付寸法値情報に含めるのが好ましい。

複数の寸法値情報のうち、一部の寸法値情報を選択し、選択した寸法値情報に関してのみ寸法検査を行う場合、以下のようにしてもよい。すなわち、前記検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、前記座標付寸法値情報を作成する工程の間に、コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンに含まれる複数の前記寸法値情報から、実際に測定するべき場所として、一部の前記寸法値情報を選択する工程と、コンピュータが、選択された前記寸法値情報の、前記レチクルパターンの中における位置を表示する工程と、コンピュータが、ユーザーからの入力により、選択された前記寸法値情報を他の前記寸法値情報に変更する工程とを具備する。そして、前記座標付寸法値情報を作成する工程において、選択されなかった前記寸法値情報に関する前記座標付寸法値情報を作成しない。
このようにすると、フレキシビリティを確保しつつ、ユーザーの労力を減らすことができる。

前記寸法値情報は、さらに、検査すべき部分が、開口部分であるか遮光部分であるかを示す情報を含んでいるのが好ましい。

本発明に係るレチクルパターン作成装置は、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する、レチクルパターン作成装置であって、
前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンを取得し、該検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、前記寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する検査仕様付検査用パターン作成部と、
ユーザーからの入力に従って、前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する検査仕様付チップ内パターン作成部と、
前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する検査仕様付レチクルパターン作成部と、
前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する座標付寸法値情報作成部とを具備する。

本発明に係る他のレチクルパターン作成装置は、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成装置であって、
前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する検査仕様付チップ内パターン作成部と、
前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する検査仕様付レチクルパターン作成部と、
前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する座標付寸法値情報作成部とを具備する。

本発明に係るプログラムは、コンピュータに実行可能であり、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する為のプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンを取得し、該検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、前記寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する機能と、
ユーザーからの入力に従って、前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する機能と、
前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する機能と、
前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する機能とを実現させる。

本発明に係る他のプログラムは、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する為のプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する機能と、
前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する機能と、
前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する機能とを実現させる。

発明を実施するための形態

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るレチクルパターン作成装置の構成を説明する為のブロック図である。このレチクルパターン作成装置は、チップ内パターン作成装置１０、及び座標付寸法値情報作成装置２０を具備している。

チップ内パターン作成装置１０は、検査仕様付チップ内パターンを作成する。検査仕様付チップ内パターンは、半導体チップ内のパターンに、レチクルパターンの寸法検査に用いられる検査仕様付検査用パターンを付加したものである。検査仕様付検査用パターンは、検査用パターン内部の寸法検査すべき位置に、この位置に求められる寸法値を示す寸法値情報を付加したものである。

座標付寸法値情報作成装置２０は、レチクルパターン及び座標付寸法値情報を作成する。レチクルパターンは、半導体チップ内のパターンを複数配置したパターンである。座標付寸法値情報は、検査用パターンの検査すべき位置を示す座標を、この検査用パターンの寸法値情報に付加したものである。なお、座標はレチクルパターン内で定義されている。

座標付寸法値情報作成装置２０は、検査仕様付チップ内パターンをマトリックス状に複数配置することによりレチクルパターンを作成する。上記したように、検査仕様付チップ内パターンに付加された検査仕様付検査用パターンは、寸法検査すべき位置に寸法値情報を有している。従って、座標付寸法値情報作成装置２０は、レチクルパターン内における寸法値情報の座標を算出することにより、レチクルパターン内における検査すべき位置の座標を算出することができる。

チップ内パターン作成装置１０は、寸法値情報作成部１１、検査用パターン作成部１２、検査仕様付検査用パターン作成部１３、チップ内パターン作成部１４、ユーザー入力部１５、検査仕様付チップ内パターン作成部１６、及び表示装置１７を有している。
座標付寸法値情報作成装置２０は、検査仕様付レチクルパターン作成部２１、ユーザー入力部２２、検査位置選択部２３、表示装置２４、及び座標付寸法値情報作成部２５を有している。
これらの動作の詳細は後述する。

次に、図２〜図５の各図を用いて、チップ内パターン作成装置１０の動作の詳細を説明する。

図２は、チップ内パターン作成装置１０の動作を説明するフローチャートである。まず、寸法値情報作成部１１が、データベース（図示せず）から寸法検査仕様を読み出し、テキストデータである寸法値情報を作成する（Ｓ１１）。また、検査用パターン作成部１２が、データベース（図示せず）から検査用パターン仕様を読み出し、検査用パターン仕様から検査用パターンを、ＧＤＳIIフォーマットに従って作成する（Ｓ１２）。

次いで、検査仕様付検査用パターン作成部１３が、検査用パターンに、テキストデータである寸法値情報を付加し、検査仕様付検査用パターンを作成する（Ｓ１３）。検査仕様付検査用パターンも、ＧＤＳIIフォーマットに従っている。寸法値情報が付加される位置は、検査用パターンの寸法検査を行うべき位置であるが、検査仕様付検査用パターン作成部１３は、この位置を、例えばデータベース（図示せず）から読み込むことにより認識する。

一方、チップ内パターン作成部１４は、データベース（図示せず）からチップ内パターン仕様を読み出し、チップ内パターン仕様からチップ内パターンを、ＧＤＳIIフォーマットに従って作成する（Ｓ１４）。

その後、検査仕様付チップ内パターン作成部１６が、チップ内パターンと検査仕様付検査用パターンを表示装置１７に表示する。ユーザーは、ユーザー入力部１５に、チップ内パターンにおける検査仕様付検査用パターンの位置を入力する。検査仕様付チップ内パターン作成部１６は、入力された位置に検査仕様付検査用パターンを配置することにより、検査仕様付チップ内パターンをＧＤＳIIフォーマットに従って作成し、座標付寸法値情報作成装置２０に出力する（Ｓ１５）。

図３は、図２のＳ１１で作成された寸法値情報６０の一例を示す図である。寸法値情報６０は、要求される寸法値を示す寸法値情報６２の他に、検査用パターンの種類を示す種類情報６１、測定すべき場所がレチクルの遮光部分（クロムが塗布された部分）であるか開口部であるかを示す遮光情報６３、検査用パターン以外にレチクルパターンそのものを測定するか否かを示す追加測定情報６４、及び測定位置の寸法を保証すべきか否かを示す保証情報６５を有している。なお、それぞれの情報を示すテキストの間には、区切りを示す文字（例えば＿）が配置されている。

図４（Ａ）は、図２のＳ１３で作成された検査仕様付検査用パターン５０の第１の例を示す図である。本例において、検査用パターン５１は細長い長方形であり、その中央部に、寸法値情報６０が配置されている。寸法値情報６０の向きは、検査用パターン５１の寸法検査すべき方向を示しているが、本図においてその向きは、検査用パターン５１の幅方向である。これにより、本図の例において、検査用パターン５１は、中央部の幅の寸法を測定すべきことが分かる。

図４（Ｂ）は、図２のＳ１３で作成された検査仕様付検査用パターン５０の第２の例を示す図である。本例において、検査用パターン５１は正方形である。また、２つの寸法値情報６０がそれぞれ検査用パターン５１の中央部に配置されているが、これらの向きはそれぞれ縦方向と横方向である。本例の場合、検査用パターン５１には、縦方向の寸法検査と横方向の寸法検査が行われる。

なお、図４（Ａ），（Ｂ）のいずれの場合においても、検査仕様付検査用パターン５０はＧＤＳIIフォーマットに従っているため、寸法値情報６０の向きは、テキストデータの角度データとして保持されている。

図５は、図２のＳ１５で出力された検査仕様付チップ内パターン７０の一例を示す図である。本図において、検査仕様付チップ内パターン７０が有するパターンは、検査仕様付検査用パターン５０を除いて省略している。

本図に示す例において、検査仕様付チップ内パターン７０は略正方形であり、４つの角部７１〜７４それぞれに、検査仕様付検査用パターン５０が配置されている。検査仕様付検査用パターン５０の向きは、角部７１〜７４それぞれ毎に異なる。検査仕様付チップ内パターン７０はＧＤＳIIフォーマットに従っているため、検査仕様付検査用パターン５０の向きは、角度データとして保持されているが、この角度データが保持されている階層は、寸法値情報６０の向きを示す角度データが保持されている階層とは異なる。

次に、図６〜図８の各図を用いて、座標付寸法値情報作成装置２０の動作の詳細を説明する。

図６は、座標付寸法値情報作成装置２０の動作を説明するフローチャートである。まず、検査仕様付レチクルパターン作成部２１が、データベース（図示せず）からレチクルにおけるチップの配置仕様を読み出し、この配置仕様に従って検査仕様付チップ内パターンを複数マトリックス状に配置する。これにより、検査仕様付レチクルパターンが、ＧＤＳIIフォーマットに従って生成される（Ｓ２１）。ただし、検査仕様付レチクルパターンは、ＧＤＳIIフォーマットではなく、検査仕様付チップ内パターンをコンピュータ上で仮想的に配置することにより作成されても良い。

次いで、検査位置選択部２３が、検査仕様付レチクルパターンに含まれる複数の検査仕様付検査用パターンから、予め定められた数の検査仕様付検査用パターンを、実際に測定すべき検査位置として選択する（Ｓ２２）。次いで、検査位置選択部２３が、選択された検査仕様付検査用パターンの、レチクルパターンの内部における位置を識別できるように、表示装置２４に表示を行わせる（Ｓ２３）。ユーザーは、検査位置選択部２３による選択結果が適当であるか否かを、表示装置２４上において目視で確認し、適当でない場合は、ユーザー入力部２２に、選択した検査仕様付検査用パターンを別の検査仕様付検査用パターンに変更する旨の入力を行う。検査位置選択部２３は、入力された情報に従って、検査仕様付検査用パターンの選択を変更する（Ｓ２４）。

次いで、座標付寸法値情報作成部２５が、選択された検査仕様付検査用パターンを用いて、座標付寸法値情報を作成する（Ｓ２５）。その後、検査仕様付レチクルパターンから、テキストデータである検査仕様情報を除去することにより、レチクルパターンを作成する。そして、座標付寸法値情報作成部２５が、レチクルパターン及び座標付寸法値情報を出力する（Ｓ２６）。

図７は、検査仕様付レチクルパターンの一例を説明する為の図である。本図において、検査仕様付レチクルパターンは、１２個の検査仕様付チップ内パターン７０を、４×３のマトリックス状に配置したものである。図５に示したように、各々の検査仕様付チップ内パターン７０には、４つの検査仕様付検査用パターン５０が配置されているため、本例に示す検査仕様付レチクルパターンは、４８個の検査仕様付検査用パターン５０を有することになる。検査仕様付レチクルパターンは、ＧＤＳIIフォーマット、又はコンピュータ上で仮想的に作成されているため、座標付寸法値情報作成部２５は、レチクルパターン内における検査仕様付チップ内パターン７０の座標と、検査仕様付チップ内パターン７０内における検査仕様付検査用パターン５０の座標を有している。そして、これら２つの座標を用いることにより、４８個の検査仕様付検査用パターン５０それぞれの、レチクルパターン内における座標を算出することができる。

図８は、座標付寸法値情報の作成方法（図６のＳ２５）を詳細に説明するフローチャートである。まず、座標付寸法値情報作成部２５は、レチクルパターン内における検査仕様付検査用パターン５０の座標を算出する（Ｓ２５１）。

次いで、座標付寸法値情報作成部２５は、検査用パターン内部における寸法値情報の向きと、レチクルパターン内における検査仕様付チップ内パターンの向きから、レチクルパターン内における寸法値情報の向きを算出し、算出した向きを、検査用パターンの寸法検査の向きとする（Ｓ２５２）。

次いで、座標付寸法値情報作成部２５は、テキストデータである寸法値情報に、算出した座標及び向きを付加することにより、座標付寸法値情報を作成する（Ｓ２５３）。図３を用いて説明したように、寸法値情報には、要求される寸法値を示す寸法値情報６２、及び測定すべき場所がレチクルの遮光部分か開口部かを示す遮光情報６３が含まれている。このため、座標付寸法値情報には、寸法検査に必要な最低限の情報が含まれる。

生成された座標付寸法値情報は、文字データで構成されるテキストファイルであり、他の装置（例えば製造されたレチクルの寸法検査を行う装置）へ入力される。上記したように、座標付寸法作成情報において、それぞれの情報を示す文字列の間には、区切りを示す文字（例えば，（カンマ）又は＿）が配置されている。このため、座標付寸法値情報が入力された装置は、座標付寸法値情報から、各々の情報を容易に取得することができる。

なお、上記したチップ内パターン作成装置１０、及び座標付寸法値情報作成装置２０は、それぞれ、上記した機能を有するプログラムをコンピュータシステムにインストールすることにより、実現される。このプログラムは、例えば記録媒体を介してコンピュータシステムにインストールされる。プログラムを格納する記録媒体は、例えばフロッピーディスク（登録商標）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−Ｒ／Ｗ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＭＯ、及び半導体メモリー等のリムーバブルディスク、若しくはハードディスクであるが、これら以外であってもよい。また、このプログラムは、インターネット等の通信回線を介してダウンロードされることにより、コンピュータシステムにインストールされてもよい。

以上、本発明の第１の実施形態によれば、検査用パターンの寸法検査をすべき位置に、寸法検査に必要な情報である寸法値情報を付加して、検査仕様付検査用パターンを生成している。そして、検査仕様付検査用パターンをチップ内パターンに付加して検査仕様付チップ内パターンを作成し、検査仕様付チップ内パターンをマトリックス状に配置することにより、レチクルパターン内に検査仕様付検査用パターンを付加したデータ（検査仕様付レチクルパターン）を作成している。このため、検査仕様付レチクルパターンにおける寸法値情報の座標を算出することにより、確実にレチクルパターンにおける検査位置の座標を、効率よくかつ正確に得ることができる。

従って、算出した座標値に寸法値情報を付加することにより、効率よくかつ正確に、寸法検査に必要な情報を有する座標付寸法値情報を作成することができる。

また、作成された座標付寸法値情報は、文字列で構成されたテキストファイルであるため、他の装置（例えば製造されたレチクルの寸法検査を行う装置）への入力が容易に行える。また、座標付寸法作成情報において、それぞれの情報を示すテキストの間には、区切りを示す文字（例えば，（カンマ）又は＿）が配置されている。このため、座標付寸法値情報が入力された装置は、座標付寸法値情報から、各々の情報を容易に取得することができる。

また、検査仕様付レチクルパターンには複数の検査用パターンが含まれているが、実際にはこれらの一部が検査に用いられる。本実施形態では、いずれの検査用パターンを検査に用いるべきかを、まず座標付寸法値情報作成装置２０が選択し、その後ユーザーが、表示されたパターンを見ながら修正を加える。従って、フレキシビリティを確保しつつ、ユーザーの労力を減らすことができる。

図９は、本発明の第２の実施形態に係るレチクルパターン作成装置の構成を説明する為のブロック図である。このレチクルパターン作成装置は、検査用パターンを用いずに、レチクルパターンを直接検査する場合に用いられる装置である。以下、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

本実施形態において、チップ内パターン作成装置１０は、チップ内パターン作成部１４のみを有しており、作成したチップ内パターンを、座標付寸法値情報作成装置２０に出力する。

座標付寸法値情報作成装置２０は、検査仕様付レチクルパターン作成部２１、ユーザー入力部２２、検査位置選択部２３、表示装置２４、及び座標付寸法値情報作成部２５に、検査仕様付チップ内パターン作成部２６を加えた構成である。

検査仕様付チップ内パターン作成部２６は、チップ内パターンの寸法検査すべき位置の座標と、この位置に求められる寸法値情報とを含む寸法検査仕様を読み込む。寸法検査仕様に含まれる情報は第１の実施形態と同一である。寸法検査仕様は、例えばユーザーが、テキストファイルに必要な情報を記述することにより作成される。

そして、検査仕様付チップ内パターン作成部２６は、寸法検査仕様に含まれる寸法値情報を、寸法検査仕様に示されたチップ内パターンの座標に配置する。これにより、検査仕様付チップ内パターンが作成される。作成された検査仕様付チップ内パターンは、検査仕様付レチクルパターン作成部２１に出力される。

これ以降の処理は、第１の実施形態と同一である。
本実施形態によっても、第１の実施形態と同一の効果を得ることができる。

図１０は、本発明の第３の実施形態に係るレチクルパターン作成装置の構成を説明する為のブロック図である。本図に示すレチクルパターン作成装置は、レチクルパターンそのもの寸法を測定することにより、レチクルパターンの誤差を保証する際に用いられる。このため、このレチクルパターン作成装置によって作成される検査仕様付レチクルパターンには検査仕様付検査用パターンがなく、その代わりにレチクルパターンに寸法値情報が付加されている。

本図に示すレチクルパターン作成装置は、チップ内パターン作成装置１０の構成の一部を除いて、第１の実施形態に係るレチクルパターン作成装置の構成と同一である。以下、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

本図に示すチップ内パターン作成装置１０の構成は、寸法値情報作成部１１、検査用パターン作成部１２、及び検査仕様付検査用パターン作成部１３がない点が、第１の実施形態と異なる。また、チップ内パターン作成部１４の動作は第１の実施形態と同一であるが、ユーザー入力部１５及び検査仕様付チップ内パターン作成部１６の動作は、第１の実施形態と異なる。

本実施形態において、ユーザー入力部１５には、寸法値情報及びその位置がユーザーによって入力される。検査仕様付チップ内パターン作成部１６は、ユーザー入力部１５に入力された寸法値情報を、チップ内パターンにおける、ユーザー入力部１５に入力された位置に配置する。これにより、検査仕様付チップ内パターンが作成される。

なお、座標付寸法値情報作成装置２０の動作は第１の実施形態と同一である。
本実施形態によっても、第１の実施形態と同一の効果を得ることができる。

尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。

第１の実施形態に係る装置の構成を説明する為のブロック図 チップ内パターン作成装置１０の動作を説明するフローチャート。 寸法値情報６０の一例を示す図。 （Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ検査仕様付検査用パターン５０の例を示す図。 検査仕様付チップパターン７０の一例を示す図。 座標付寸法値情報作成装置２０の動作を説明するフローチャート。 検査仕様付レチクルパターンの一例を説明する為の図。 図６のＳ２５を詳細に説明するフローチャート。 第２の実施形態に係る装置を説明する為のブロック図。 第３の実施形態に係る装置を説明する為のブロック図。

符号の説明

１０…チップ内パターン作成装置、１１…寸法値情報作成部、１２…検査用パターン作成部、１３…検査仕様付検査用パターン作成部、１４…チップ内パターン作成部、１５…ユーザー入力部、１６，２６…検査仕様付チップ内パターン作成部、１７…表示装置、２０…座標付寸法値情報作成装置、２１…検査仕様付レチクルパターン作成部、２２…ユーザー入力部、２３…検査位置選択部、２４…表示装置、２５…座標付寸法値情報作成部、５０…検査仕様付検査用パターン、５１…検査用パターン、６０…寸法値情報、６１…種類情報、６２…寸法値情報、６３…遮光情報、６４…追加測定情報、６５…保証情報、７０…検査仕様付チップ内パターン、７１，７２，７３，７４…角部

Claims (12)

1. 半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成方法であって、
   前記半導体チップ内のパターンと、前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンとを準備する工程と、
   前記検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する工程と、
   前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する工程と、
   コンピュータが、前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターンの内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、
   コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する工程と、
   を具備するレチクルパターン作成方法。
2. 前記半導体チップ内のパターン、前記検査用パターン、前記検査仕様付検査用パターン、及び前記検査仕様付チップ内パターンは、それぞれＧＤＳIIフォーマットで作成され、
   前記寸法値情報は、ＧＤＳIIフォーマットに従ったテキストデータで作成される請求項１に記載のレチクルパターン作成方法。
3. 半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成方法であって、
   コンピュータが、前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する工程と、
   コンピュータが、前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、
   コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した複数の座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する工程と、
   を具備するレチクルパターン作成方法。
4. 前記半導体チップ内のパターン及び前記検査仕様付チップ内パターンは、それぞれＧＤＳIIフォーマットで作成され、
   前記寸法値情報は、ＧＤＳIIフォーマットに従ったテキストデータで作成される請求項３に記載のレチクルパターン作成方法。
5. 前記座標付寸法値情報は、文字データで構成されるファイルで作成される請求項２又は４に記載のレチクルパターン作成方法。
6. 前記検査仕様付検査用パターンは、テキストデータである前記寸法値情報の配置方向を示す情報を含んでおり、
   前記座標付寸法値情報を作成する工程において、前記寸法値情報の配置方向を、前記検査用パターンの寸法測定方向として前記座標付寸法値情報に含める請求項５に記載のレチクルパターン作成方法。
7. 前記検査仕様付レチクルパターンを作成する工程と、前記座標付寸法値情報を作成する工程の間に、
   コンピュータが、前記検査仕様付レチクルパターンに含まれる複数の前記寸法値情報から、実際に測定するべき場所として、一部の前記寸法値情報を選択する工程と、
   コンピュータが、選択された前記寸法値情報の、前記レチクルパターン内における位置を表示する工程と、
   コンピュータが、ユーザーからの入力により、選択された前記寸法値情報を他の前記寸法値情報に変更する工程と、
   を具備し、
   前記座標付寸法値情報を作成する工程において、選択されなかった前記寸法値情報に関する前記座標付寸法値情報を作成しない、請求項１〜６のいずれか一項に記載のレチクルパターンデータ作成方法。
8. 前記寸法値情報は、さらに、検査すべき部分が、開口部分であるか遮光部分であるかを示す情報を含んでいる請求項１〜７のいずれか一項に記載のレチクルパターンデータ作成方法。
9. 半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する、レチクルパターン作成装置であって、
   前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンを取得し、該検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、前記寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する検査仕様付検査用パターン作成部と、
   ユーザーからの入力に従って、前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する検査仕様付チップ内パターン作成部と、
   前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する検査仕様付レチクルパターン作成部と、
   前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する座標付寸法値情報作成部と、
   を具備するレチクルパターン作成装置。
10. 半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成するレチクルパターン作成装置であって、
    前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する検査仕様付チップ内パターン作成部と、
    前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する検査仕様付レチクルパターン作成部と、
    前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する座標付寸法値情報作成部と、
    を具備するレチクルパターン作成装置。
11. コンピュータに実行可能であり、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する為のプログラムであって、
    前記コンピュータに、
    前記レチクルパターンの寸法精度を検査するための検査用パターンを取得し、該検査用パターンの寸法検査を行うべき位置に、前記寸法値情報を配置することにより、検査仕様付検査用パターンを作成する機能と、
    ユーザーからの入力に従って、前記検査仕様付検査用パターンを前記半導体チップ内のパターンの中に配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する機能と、
    前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する機能と、
    前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する機能と、
    を実現させるプログラム。
12. コンピュータに実行可能であり、半導体チップ内のパターンを複数並べることによりレチクルパターンを作成する為のプログラムであって、
    前記コンピュータに、
    前記半導体チップ内のパターンのうち寸法検査をすべき位置に、該位置に求められる寸法値を含む寸法値情報を配置することにより、検査仕様付チップ内パターンを作成する機能と、
    前記検査仕様付チップ内パターンを複数並べることにより、複数の前記寸法値情報が前記レチクルパターン内部に配置された検査仕様付レチクルパターンを作成する機能と、
    前記検査仕様付レチクルパターンにおける前記寸法値情報の座標を算出し、算出した座標に、対応する前記寸法値情報を付加することにより、前記座標付寸法値情報を作成する機能と、
    を実現させるプログラム。

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