JP2007042665A - Semiconductor device and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device where a mounting area of a transformer component can be reduced and to provide a manufacturing method of the semiconductor device. <P>SOLUTION: The semiconductor device 10 is provided with a structure where a transformer part 13 formed of a circuit forming layer 16, a magnetic core 17 and coil bodies 18a and 18b is formed on a first semiconductor element 11. Thus, a mounting region of the transformer component becomes unnecessary with such constitution, and a wiring board can be miniaturized. Since the transformer component can be formed in a semiconductor manufacture process, the device can sufficiently correspond to miniaturization. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体素子とトランス等の磁気コイル部品とが一体構成された半導体装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a semiconductor device in which a semiconductor element and a magnetic coil component such as a transformer are integrally formed and a method for manufacturing the same.

従来、電子機器などに使用されるトランスは、フェライト、パーマロイ等の磁性体により閉磁路を形成した磁性コアに1次コイルおよび2次コイルを巻回し、これら1次,2次コイルの各々の両端部をトランス外部へ引き出して実装基板上に接続する態様が採用されていた。しかし、この構造ではトランスの実装高さが大きくなり、IC部品等の薄型化が進んでいる他の部品群に比べて厚くなるので、配線基板の薄型化が図れなくなる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a transformer used in an electronic device or the like has a primary coil and a secondary coil wound around a magnetic core having a closed magnetic circuit formed of a magnetic material such as ferrite or permalloy, and both ends of each of the primary and secondary coils. The aspect which pulled out the part to the exterior of a transformer and connected on the mounting board | substrate was employ | adopted. However, in this structure, the mounting height of the transformer is increased, and the thickness of the transformer is increased as compared with other component groups that are becoming thinner, so that it is impossible to reduce the thickness of the wiring board.

そこで、配線基板上に磁性コアを直接マウントし、更にその上からコイルを配線することで、トランス部品の実装領域の薄型化を図る構成が知られている(例えば下記特許文献1参照)。   Therefore, a configuration is known in which a magnetic core is directly mounted on a wiring board, and a coil is further wired from the magnetic core, thereby reducing the mounting area of the transformer component (for example, see Patent Document 1 below).

図18は、下記特許文献1に記載の従来のトランス部品の配線基板への実装形態を示す分解斜視図である。配線基板1の上には、リング状の磁性コア6が配置されるコア配置領域3を横切るように複数の配線パターン2が形成されている。これら配線パターン2の端部には端子挿入孔4がそれぞれ形成されており、磁性コア6の上から取り付けられる上側配線子8の各々の端部がこれらの端子挿入孔4に接続されるようになっている。   FIG. 18 is an exploded perspective view showing a mounting form of a conventional transformer component described in Patent Document 1 on a wiring board. A plurality of wiring patterns 2 are formed on the wiring substrate 1 so as to cross the core arrangement region 3 where the ring-shaped magnetic core 6 is arranged. Terminal insertion holes 4 are respectively formed at the ends of these wiring patterns 2, so that each end of the upper wiring element 8 attached from above the magnetic core 6 is connected to these terminal insertion holes 4. It has become.

磁性コア6は、配線基板1上に接着剤7を介してコア配置領域3上に固定された後、各配線子8が磁性コア6を跨ぐようにしてそれぞれ所定の配線パターン2内の端子挿入孔4に接続される。配線パターン2および配線子8は、磁性コア6に巻回されるコイルを構成し、図示する磁性コア6の一方側のみだけでなく、他方側にも同様に構成される。以上のようにして、配線基板1上にトランス部品が実装される。   After the magnetic core 6 is fixed on the core placement region 3 via the adhesive 7 on the wiring board 1, the terminals 8 are inserted into the predetermined wiring pattern 2 so that each wiring element 8 straddles the magnetic core 6. Connected to hole 4. The wiring pattern 2 and the wiring element 8 constitute a coil wound around the magnetic core 6 and are similarly configured not only on one side of the illustrated magnetic core 6 but also on the other side. The transformer component is mounted on the wiring board 1 as described above.

特開平8−203762号公報JP-A-8-203762

しかしながら、上述した従来のトランス部品の実装構造においては、ICあるいはLSI等の他の電子部品とは別にトランス部品の実装領域を必要とするため、配線基板の小型化を図ることができないという問題がある。   However, the conventional transformer component mounting structure described above requires a transformer component mounting area separately from other electronic components such as an IC or an LSI, and therefore the size of the wiring board cannot be reduced. is there.

特に、従来のトランス部品の構成では、配線子8の微細化、狭ピッチ化に対応することが非常に困難であるため、トランス実装領域の配線パターンの更なる微細化、狭ピッチ化を図る上で大きな障害となっている。   In particular, in the configuration of the conventional transformer component, it is very difficult to cope with the miniaturization and narrowing of the wiring elements 8, and therefore, further miniaturization and narrowing of the wiring pattern in the transformer mounting area is desired. It is a big obstacle.

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、トランス部品の実装面積を削減できる半導体装置およびその製造方法を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a semiconductor device capable of reducing the mounting area of a transformer component and a method for manufacturing the same.

以上の課題を解決するに当たり、本発明の半導体装置は、半導体素子と、この半導体素子の表面に積層された磁性コアと、半導体素子の表面上で磁性コアに巻回されたコイル体とを備えている。   In order to solve the above problems, a semiconductor device of the present invention includes a semiconductor element, a magnetic core laminated on the surface of the semiconductor element, and a coil body wound around the magnetic core on the surface of the semiconductor element. ing.

また、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体素子の表面に、導体ランドを複数組備えた回路形成層を形成する工程と、この回路形成層の上にシート状の磁性コアを積層する工程と、この磁性コアを跨ぐようにして上記導体ランド間にボンディングワイヤを接合する工程とを有する。   The method for manufacturing a semiconductor device of the present invention includes a step of forming a circuit forming layer having a plurality of sets of conductor lands on a surface of a semiconductor element, and a step of laminating a sheet-like magnetic core on the circuit forming layer. And bonding a bonding wire between the conductor lands so as to straddle the magnetic core.

上述のようにして構成され製造される本発明の半導体装置においては、半導体素子上にトランス部品が積層された構造を有しているので、事実上、トランス部品の実装領域が不要となり、配線基板の小型化が図れるようになる。また、トランス部品の製作を半導体製造プロセスで実施できるので小型化にも十分に対応可能となる。   The semiconductor device of the present invention constructed and manufactured as described above has a structure in which transformer parts are stacked on semiconductor elements, so that a mounting area for the transformer parts is virtually unnecessary, and the wiring board Can be reduced in size. Further, since the transformer parts can be manufactured by the semiconductor manufacturing process, it is possible to sufficiently cope with downsizing.

なお、上述した構成は、トランス部品に限らず、例えばトロイダルコイルやチョークコイル、インダクタ素子等の他の磁気コイル部品にも適用可能である。   In addition, the structure mentioned above is applicable not only to transformer components but other magnetic coil components, such as a toroidal coil, a choke coil, an inductor element, for example.

以上のように、本発明によれば、例えばトランス等の部品単独の実装領域を削減できるので配線基板の小型化、薄型化を図ることが可能となる。また、トランス部品の微細化にも十分に対応可能となる。   As described above, according to the present invention, for example, the mounting area of a single component such as a transformer can be reduced, so that the wiring board can be reduced in size and thickness. Further, it is possible to sufficiently cope with miniaturization of transformer parts.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1A,Bは本発明の実施の形態による半導体装置10の構成を模式的に示しており、Aは装置内部の素子平面図、Bは側断面図である。まず、この半導体装置10の全体構成について説明する。   1A and 1B schematically show a configuration of a semiconductor device 10 according to an embodiment of the present invention. A is an element plan view inside the device, and B is a side sectional view. First, the overall configuration of the semiconductor device 10 will be described.

本実施の形態の半導体装置10は、第1半導体素子11と、この第1半導体素子11の裏面側に配置された第2半導体素子12と、第1半導体素子11の表面に積層されたトランス部13とからなる半導体モジュールMを、モールド樹脂14で封止した半導体パッケージ部品として構成されている。   The semiconductor device 10 according to the present embodiment includes a first semiconductor element 11, a second semiconductor element 12 disposed on the back side of the first semiconductor element 11, and a transformer unit stacked on the surface of the first semiconductor element 11. The semiconductor module M composed of 13 is configured as a semiconductor package component sealed with a mold resin 14.

第1半導体素子11および第2半導体素子12はともにICあるいはLSI等の半導体ベアチップで構成されている。なお、第1,第2半導体素子11,12は、これ以外にも例えばSAW(弾性表面波)素子等のように半導体製造プロセスを経て製造される機能デバイスやMEMS(Micro Electro Mechanical System)部品等であってもよい。また、第2半導体素子12の設置は任意であり、必要に応じて省略可能である。   Both the first semiconductor element 11 and the second semiconductor element 12 are constituted by semiconductor bare chips such as IC or LSI. In addition, the first and second semiconductor elements 11 and 12 are, for example, functional devices manufactured through a semiconductor manufacturing process such as SAW (surface acoustic wave) elements, MEMS (Micro Electro Mechanical System) parts, and the like. It may be. Moreover, the installation of the second semiconductor element 12 is arbitrary and can be omitted as necessary.

半導体装置10の外周部には複数本のリード端子15が突出形成されている。これらのリード端子15は、金線等のボンディングワイヤW1,W2を介して第1,第2半導体素子11,12にそれぞれ接続されており、図示しない配線基板上に表面実装または挿入実装される外部接続端子として機能する。   A plurality of lead terminals 15 protrude from the outer periphery of the semiconductor device 10. These lead terminals 15 are connected to the first and second semiconductor elements 11 and 12 via bonding wires W1 and W2 such as gold wires, respectively, and are externally mounted on the wiring board (not shown) or mounted on the surface. Functions as a connection terminal.

次に、トランス部13は、第1半導体素子11の表面に形成された回路形成層16の上に、磁性コア17と、この磁性コア17に巻回されたコイル体18a,18bとで構成されている。   Next, the transformer unit 13 includes a magnetic core 17 and coil bodies 18 a and 18 b wound around the magnetic core 17 on the circuit forming layer 16 formed on the surface of the first semiconductor element 11. ing.

磁性コア17は、シート状の磁性体シートをリング状に打ち抜いて形成されている。磁性コア17の材質は軟磁気特性を有する磁性材料であれば特に制限されず、例えば鉄片、あるいはフェライト、パーマロイ、センダスト等の磁性粉をバインダーとともに混合した複合材料、あるいはFe−Si−B系等のアモルファス薄帯などが適用可能である。   The magnetic core 17 is formed by punching a sheet-like magnetic sheet into a ring shape. The material of the magnetic core 17 is not particularly limited as long as it is a magnetic material having soft magnetic properties. For example, an iron piece, a composite material obtained by mixing magnetic powder such as ferrite, permalloy, sendust and the like together with a binder, or an Fe-Si-B system, etc. Amorphous thin ribbons can be applied.

コイル体18a,18bは磁性コア17に巻回される1次コイルおよび2次コイルにそれぞれ対応し、回路形成層16上に磁性コア17を横切るように形成された導体ランド19a(19a1,19a2)および導体ランド19b(19b1,19b2)と、磁性コア17を跨ぐようにして導体ランド19a,19bに各々結線された金線等のボンディングワイヤWa,Wbとから構成されている。   The coil bodies 18a and 18b correspond to the primary coil and the secondary coil wound around the magnetic core 17, and are formed on the circuit forming layer 16 so as to cross the magnetic core 17 (19a1 and 19a2). And conductor lands 19b (19b1, 19b2) and bonding wires Wa, Wb such as gold wires respectively connected to the conductor lands 19a, 19b so as to straddle the magnetic core 17.

ここで、導体ランド19a,19bの各々について、磁性コア17を挟んで対向する導体ランド19a1,19a2同士および導体ランド19b1,19b2同士は、回路形成層16内で互いに導通している。   Here, for each of the conductor lands 19 a and 19 b, the conductor lands 19 a 1 and 19 a 2 and the conductor lands 19 b 1 and 19 b 2 that face each other across the magnetic core 17 are electrically connected to each other in the circuit forming layer 16.

ボンディングワイヤWaは、隣接する導体ランド19a,19aのうち一方側の導体ランド19a1と他方側の導体ランド19a2との間を連絡するように接続されている。ボンディングワイヤWbも同様に導体ランド19b1,19b2間に接続されるが、2次コイル側を1次コイル側よりも巻数を少なくするため、図示の例では、導体ランド19bを1列ずつとばしてボンディングワイヤWbが接続されている。   The bonding wire Wa is connected so as to communicate between the conductor land 19a1 on one side and the conductor land 19a2 on the other side of the adjacent conductor lands 19a, 19a. Similarly, the bonding wire Wb is connected between the conductor lands 19b1 and 19b2. However, in order to reduce the number of turns on the secondary coil side compared to the primary coil side, in the illustrated example, the conductor lands 19b are skipped one row at a time. Wire Wb is connected.

回路形成層16の表面周囲には、上述のコイル接続用の導体ランド19a,19bのほか、第1半導体素子11と電気的に接続されている複数の電極パッド20が設けられている。これらの電極パッド20は、ボンディングワイヤW11を介して、対応するリード端子15に各々接続されている。第2半導体素子12とリード端子15との間は、ボンディングワイヤW2によって電気的に接続されている。   Around the surface of the circuit forming layer 16, a plurality of electrode pads 20 electrically connected to the first semiconductor element 11 are provided in addition to the above-described conductor lands 19 a and 19 b for coil connection. These electrode pads 20 are connected to corresponding lead terminals 15 via bonding wires W11. The second semiconductor element 12 and the lead terminal 15 are electrically connected by a bonding wire W2.

また、電極パッド20の一部は、各導体ランド19a,19bへの入/出力部に割り当てられており、これらの間は金線等のボンディングワイヤWcを介して接続されている。なお、ボンディングワイヤWcに代えて、回路形成層16内に形成した配線層で上記接続を図るようにしてもよい。   A part of the electrode pad 20 is assigned to an input / output portion to each of the conductor lands 19a and 19b, and these are connected via a bonding wire Wc such as a gold wire. Instead of the bonding wire Wc, the connection may be achieved by a wiring layer formed in the circuit forming layer 16.

本実施の形態の半導体装置10は、例えば図2に示す回路ブロック図のように構成されている。図2において、整流定電圧回路は第1半導体素子11で構成され、ロジック回路は第2半導体素子12で構成されている。整流定電圧回路(第1半導体素子11)はトランス部13の2次コイル18bに接続されており、1次コイルとしてのコイル体18aは交流電源20に接続されている。   The semiconductor device 10 of the present embodiment is configured as shown in a circuit block diagram shown in FIG. 2, for example. In FIG. 2, the rectification constant voltage circuit is composed of a first semiconductor element 11, and the logic circuit is composed of a second semiconductor element 12. The rectified constant voltage circuit (first semiconductor element 11) is connected to the secondary coil 18 b of the transformer unit 13, and the coil body 18 a as the primary coil is connected to the AC power supply 20.

トランス部13は、交流電源20の電源電圧を1次コイル18aと2次コイル18bとの巻数比に応じた電圧に変圧(変成)して整流定電圧回路11へ供給する。整流定電圧回路11は、トランス部13の出力電圧を整流および定電圧化してロジック回路12へ供給する機能を果たす。   The transformer unit 13 transforms (transforms) the power supply voltage of the AC power supply 20 into a voltage corresponding to the turn ratio of the primary coil 18 a and the secondary coil 18 b and supplies the transformed voltage to the rectifying constant voltage circuit 11. The rectified constant voltage circuit 11 functions to rectify and constant the output voltage of the transformer unit 13 and supply it to the logic circuit 12.

以上のように、本実施の形態の半導体装置10は、トランス部13によって必要な駆動電圧を起電する自己起電型の電子部品として構成される。これにより、外部交流電源から必要電圧を取り出して駆動することが可能となる。また、独自に電源回路を備えることになるので、大きな容量の電源を搭載する必要がなくなる。従って、例えばモバイル機器等の電子機器に適用した際に当該機器の小型化・軽量化を図れる点で非常に有利となる。   As described above, the semiconductor device 10 of the present embodiment is configured as a self-electromotive type electronic component that generates a necessary drive voltage by the transformer unit 13. As a result, it is possible to drive the required voltage from the external AC power supply. In addition, since the power supply circuit is uniquely provided, it is not necessary to mount a large capacity power supply. Therefore, when applied to an electronic device such as a mobile device, it is very advantageous in that the device can be reduced in size and weight.

さらに、1次コイル18aをアンテナ状に形成することも可能であり、これにより電波で電源の供給を受けることが可能となるので、ワイヤレスキーボードやマウス等の機器のバッテリレス化を図ることができるようになる。また、非接触ICカード等のRFID(Radio Frequency Identification)機能を備えた非接触通信媒体にも適用可能である。   Further, it is possible to form the primary coil 18a in an antenna shape, so that it is possible to receive power supply by radio waves, and thus it is possible to achieve battery-less devices such as a wireless keyboard and a mouse. It becomes like this. The present invention is also applicable to a non-contact communication medium having an RFID (Radio Frequency Identification) function such as a non-contact IC card.

一方、本実施の形態の半導体装置10によれば、半導体素子11の上にトランス部13を積層形成したので、従来のようにトランス部品を独立して用意する必要がなくなる。これにより、部品点数および実装領域の大きな削減を図れるようになり、配線基板の小型化と薄型化、軽量化を図ることができる。   On the other hand, according to the semiconductor device 10 of the present embodiment, since the transformer part 13 is laminated on the semiconductor element 11, there is no need to prepare transformer parts independently as in the prior art. As a result, the number of components and the mounting area can be greatly reduced, and the wiring board can be reduced in size, thickness, and weight.

また、トランス部品を第1半導体素子11の表面に、後述する半導体製造プロセスを経て製造することができるので、トランス部品の微細化を図ることが可能となる。これにより、配線基板の更なる小型化、薄型化が実現可能となる。さらに、磁性コア17が放熱層としても機能する場合には、部品の放熱性が向上する。   Further, since the transformer component can be manufactured on the surface of the first semiconductor element 11 through a semiconductor manufacturing process to be described later, the transformer component can be miniaturized. As a result, the wiring board can be further reduced in size and thickness. Furthermore, when the magnetic core 17 also functions as a heat dissipation layer, the heat dissipation performance of the component is improved.

次に、以上のように構成される本実施の形態の半導体装置10の製造方法の一例につき図3〜図16を参照して説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the semiconductor device 10 of the present embodiment configured as described above will be described with reference to FIGS.

(第1半導体素子11の準備工程)
第1半導体素子11を用意する。図3に示すように、第1半導体素子11は、Si基板21上に配線やコンデンサ等の必要な素子層22が形成されているとともに、所定の配線部位には後述する回路形成層16との電気的接続を図るための開口23がそれぞれ形成されている。なお、素子層22は、上述のように整流定電圧回路としての機能を有する素子群で構成されている。
(Preparation process of the first semiconductor element 11)
A first semiconductor element 11 is prepared. As shown in FIG. 3, the first semiconductor element 11 has a necessary element layer 22 such as a wiring or a capacitor formed on a Si substrate 21, and a predetermined wiring portion with a circuit forming layer 16 described later. Openings 23 are formed for electrical connection. In addition, the element layer 22 is comprised by the element group which has a function as a rectification constant voltage circuit as mentioned above.

(回路形成層16の形成工程)
まず、第1半導体素子11の表面全域に、電界めっき用のシード層(給電層)24として、Ti/Cu層をスパッタリング法によって形成する。開口23はシード層24で埋め尽くされる。
(Formation process of the circuit formation layer 16)
First, a Ti / Cu layer is formed as a seed layer (feeding layer) 24 for electroplating over the entire surface of the first semiconductor element 11 by a sputtering method. The opening 23 is filled with the seed layer 24.

次に、図4に示すように、シード層24の表面所定領域に、めっき用レジストパターン25をフォトリソグラフィー技術を用いて形成する。めっき用レジストパターン25は、開口23の形成領域を含む所定の領域を開口するパターンに形成されている。   Next, as shown in FIG. 4, a plating resist pattern 25 is formed in a predetermined region on the surface of the seed layer 24 by using a photolithography technique. The plating resist pattern 25 is formed in a pattern that opens a predetermined region including a region where the opening 23 is formed.

続いて図5に示すように、電界めっき法によって、シード層24の表面にCuめっき層26を形成する。これにより、めっき用レジストパターン25の開口領域がCuめっき層26で充填されて、所定形状のCuめっきパターンが形成される。その後、図6に示すようにめっき用レジスト25およびその下のシード層24を除去する。   Subsequently, as shown in FIG. 5, a Cu plating layer 26 is formed on the surface of the seed layer 24 by electroplating. Thereby, the opening area | region of the resist pattern 25 for metal plating is filled with the Cu plating layer 26, and Cu plating pattern of a predetermined shape is formed. Thereafter, as shown in FIG. 6, the plating resist 25 and the seed layer 24 thereunder are removed.

次に、図7に示すように、素子表面の全域に感光性ポリイミドを塗布し、公知のフォトリソグラフィ技術を用いて所定形状のポリイミド層(絶縁層)27を形成する。続いて図8に示すように、ポリイミド層27の上からアルミニウムを蒸着させ、所定厚のAl膜28を成膜する。   Next, as shown in FIG. 7, photosensitive polyimide is applied to the entire surface of the element, and a polyimide layer (insulating layer) 27 having a predetermined shape is formed using a known photolithography technique. Subsequently, as shown in FIG. 8, aluminum is vapor-deposited from above the polyimide layer 27 to form an Al film 28 having a predetermined thickness.

次に、図9に示すように、形成したAl膜28の上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いて所定形状のレジストパターン29を形成する。そして、このレジストパターン29をマスクとするAl膜28のエッチングを行った後、レジストパターン29を除去する。   Next, as shown in FIG. 9, a resist is applied on the formed Al film 28, and a resist pattern 29 having a predetermined shape is formed using a photolithography technique. Then, after the Al film 28 is etched using the resist pattern 29 as a mask, the resist pattern 29 is removed.

これにより、図10に示すように、導体ランド19a,19bおよび電極パッド20がそれぞれ形成される。導体ランド19a,19bはそれぞれ、各列が共通のCuめっき層26上に形成されることで、対向する導体ランド間が電気的に接続される。その後、図11に示すように、素子表面に所定形状の感光性ポリイミド層30を形成することで、回路形成層16の形成工程が完了する。   Thereby, as shown in FIG. 10, the conductor lands 19a and 19b and the electrode pad 20 are formed. Each of the conductor lands 19a and 19b is formed on the common Cu plating layer 26 so that the opposing conductor lands are electrically connected. Then, as shown in FIG. 11, the formation process of the circuit formation layer 16 is completed by forming the photosensitive polyimide layer 30 of a predetermined shape on the element surface.

(トランス部13の作製工程)
次に、図12に示すように、半導体素子11を支持するダイパッド部34とリード端子15が形成された第1リードフレーム31と、磁性コア17の外形形状が形成されたシート状の第2リードフレーム32を準備する。これら第1,第2リードフレーム31,32には、周縁部に位置決め孔31a,32aがそれぞれ形成されており、位置決めピン33の挿入によって第1,第2リードフレーム31,32が相互に位置合わせされる。
(Manufacturing process of the transformer section 13)
Next, as shown in FIG. 12, the die pad part 34 that supports the semiconductor element 11 and the first lead frame 31 on which the lead terminals 15 are formed, and the sheet-like second lead on which the outer shape of the magnetic core 17 is formed. A frame 32 is prepared. The first and second lead frames 31 and 32 are formed with positioning holes 31a and 32a at the peripheral portions, respectively, and the first and second lead frames 31 and 32 are aligned with each other by inserting the positioning pins 33. Is done.

半導体素子11は、第1リードフレーム31と第2リードフレーム32との間に配置される。図13に示すように、半導体素子11は、第1リードフレーム31のダイパッド部34上に載置されるとともに、表面の導体ランド19a(19a1,19a2)間および導体ランド19b(19b1,19b2)間には磁性コア17が圧着により積層される。   The semiconductor element 11 is disposed between the first lead frame 31 and the second lead frame 32. As shown in FIG. 13, the semiconductor element 11 is mounted on the die pad portion 34 of the first lead frame 31, and between the conductor lands 19a (19a1, 19a2) on the surface and between the conductor lands 19b (19b1, 19b2). The magnetic core 17 is laminated by pressure bonding.

このとき、回路形成層16表面の導体ランド19a間および19b間に位置するポリイミド層30が磁性コア17の形成幅に対応するように形成されることで、磁性コア17との密着が図られる。また、ポリイミド層30は導体ランド19a,19bおよび電極パッド20の表面より高く形成されている。これにより、磁性コア17の圧着時に当該ポリイミド層30が逆テーパー状に変形して磁性コア17の抜け止め層として機能する。なお、このポリイミド層30の高さは後のワイヤボンディング工程においてボンディングツール(図示略)の移動の妨げとならない程度の高さに設定される(図14)。   At this time, the polyimide layer 30 located between the conductor lands 19 a and 19 b on the surface of the circuit forming layer 16 is formed so as to correspond to the formation width of the magnetic core 17, thereby achieving close contact with the magnetic core 17. The polyimide layer 30 is formed higher than the surfaces of the conductor lands 19a and 19b and the electrode pad 20. Thereby, the polyimide layer 30 is deformed in a reverse taper shape when the magnetic core 17 is pressure-bonded, and functions as a retaining layer for the magnetic core 17. The height of the polyimide layer 30 is set to a height that does not hinder the movement of the bonding tool (not shown) in the subsequent wire bonding step (FIG. 14).

続いて、図14に示したように、第1半導体素子11の裏面側に、予め準備しておいた第2半導体素子12を搭載する。この第2半導体素子12は、ダイパッド部34を介して第1半導体素子11と裏面同士で対向配置される。   Subsequently, as shown in FIG. 14, the second semiconductor element 12 prepared in advance is mounted on the back side of the first semiconductor element 11. The second semiconductor element 12 is disposed opposite to the first semiconductor element 11 on the back surface with the die pad portion 34 interposed therebetween.

次に、図15に示すように、回路形成層16の周囲領域に形成された第1半導体素子11の電極パッド20および第2半導体素子12の電極パッド35がリード端子15に対してそれぞれボンディングワイヤW1,W2が接続される。   Next, as shown in FIG. 15, the electrode pad 20 of the first semiconductor element 11 and the electrode pad 35 of the second semiconductor element 12 formed in the peripheral region of the circuit forming layer 16 are respectively bonded to the lead terminals 15 by bonding wires. W1 and W2 are connected.

また、この工程において、回路形成層16上の導体ランド19a1,19a2間および導体ランド19b1,19b2間に、磁性コア17を跨ぐようにしてボンディングワイヤWa,Wbがそれぞれ接続されるとともに、入/出力部に対応する導体ランド部にあっては、所定の電極パッド20に対してボンディングワイヤWcが接続される。以上のようにしてトランス部13が製造されると同時に、半導体モジュールMが完成する。   In this step, bonding wires Wa and Wb are connected between the conductor lands 19a1 and 19a2 on the circuit forming layer 16 and between the conductor lands 19b1 and 19b2 so as to straddle the magnetic core 17, and input / output In the conductor land portion corresponding to the portion, the bonding wire Wc is connected to the predetermined electrode pad 20. The semiconductor module M is completed at the same time as the transformer part 13 is manufactured as described above.

このように、第1,第2半導体素子11,12とリード端子15との間のワイヤボンディング工程の際に、トランス部13の結線工程を導入することで、ボンディング設備の共有化が図れると同時に、生産効率の向上を図ることができる。なお、上述の例に限らず、半導体素子11,12とリード端子15との間の結線工程に先だって、磁性コア17の積層後直ちにボンディングワイヤWa〜Wcの接続を行うようにしてもよい(図14)。   As described above, by introducing the wire connecting step of the transformer unit 13 in the wire bonding step between the first and second semiconductor elements 11 and 12 and the lead terminal 15, the bonding equipment can be shared. The production efficiency can be improved. Note that the bonding wires Wa to Wc may be connected immediately after the magnetic core 17 is stacked prior to the connection step between the semiconductor elements 11 and 12 and the lead terminal 15 without being limited to the above-described example (see FIG. 14).

(最終工程)
続いて、図16に示すように、製作した半導体モジュールMをモールド樹脂14で封止する工程と、第1,第2リードフレーム31,32の不要部を除去する工程と、リード端子15のベンディング工程とを経て、本実施の形態の半導体装置10が製造される。
(Final process)
Subsequently, as shown in FIG. 16, the process of sealing the manufactured semiconductor module M with the mold resin 14, the process of removing unnecessary portions of the first and second lead frames 31 and 32, and the bending of the lead terminals 15. Through the steps, the semiconductor device 10 of the present embodiment is manufactured.

以上のように、本実施の形態の半導体装置10の製造方法においては、半導体製造プロセスにより、回路形成層16およびトランス部13を第1半導体素子11の上に形成するようにしているので、トランス部13の構成の微細かつ高精度に形成することが可能となり、トランス部品の微小化を容易に図ることができるようになる。   As described above, in the method for manufacturing the semiconductor device 10 according to the present embodiment, the circuit forming layer 16 and the transformer unit 13 are formed on the first semiconductor element 11 by the semiconductor manufacturing process. It becomes possible to form the portion 13 with a fine and high precision, and the transformer parts can be easily miniaturized.

特に、回路形成層16への磁性コア17の積層工程を、第1リードフレーム31と位置合わせした状態で半導体素子11に一体化するようにしているので、トランス部13の微細化に伴って要求される磁性コア17の取付精度も確保でき、作業性の改善も図れる。   In particular, the step of laminating the magnetic core 17 on the circuit forming layer 16 is integrated with the semiconductor element 11 in a state of being aligned with the first lead frame 31. The mounting accuracy of the magnetic core 17 can be ensured, and workability can be improved.

また、回路形成層16上に予め複数組の導体ランド19a,19bの各パターンを形成しておき、後に必要箇所のみボンディングワイヤWa,Wbで接続するようにしているので、トランスの仕様が異なる複数品種の部品の製造にも容易に対応可能である。   In addition, each pattern of a plurality of sets of conductor lands 19a and 19b is formed in advance on the circuit forming layer 16, and only necessary portions are connected later by bonding wires Wa and Wb. It can easily handle the production of various types of parts.

更に、トランス部13の配線工程にワイヤボンディング法を採用しているので、従来のように配線子を1個ずつマウントする場合に比べて、作業が迅速、高精度、高効率であるとともに、配線ピッチの微細化も容易に図れるようになる。   Furthermore, since the wire bonding method is adopted in the wiring process of the transformer unit 13, the operation is quicker, more accurate, and more efficient than the conventional case where the wiring elements are mounted one by one. Fine pitch can be easily achieved.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。   The embodiment of the present invention has been described above. Of course, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.

例えば以上の実施の形態では、整流定電圧用の第1半導体素子11とロジック機能用の第2半導体素子12とを備えたマルチチップタイプの半導体装置10を例に挙げて説明したが、これに限らず、図17に示すように第2半導体素子を省略し、第1半導体素子11およびこれに積層したトランス部13のみで本発明に係る半導体装置を構成してもよい。   For example, in the above embodiment, the multi-chip type semiconductor device 10 including the first semiconductor element 11 for the rectified constant voltage and the second semiconductor element 12 for the logic function has been described as an example. Not limited to this, as shown in FIG. 17, the second semiconductor element may be omitted, and the semiconductor device according to the present invention may be configured by only the first semiconductor element 11 and the transformer section 13 stacked thereon.

また、以上の実施の形態では、半導体製造プロセスを用いて回路形成層16を第1半導体素子11の上に直接形成したが、配線基板等で上記回路形成層を別途作製しておき、これを半導体素子11上に積層した構造としてもよい。   In the above embodiment, the circuit forming layer 16 is directly formed on the first semiconductor element 11 using a semiconductor manufacturing process. However, the circuit forming layer is separately manufactured using a wiring board or the like, A structure in which the semiconductor element 11 is stacked may be employed.

また、半導体素子と一体化される磁気コイル部品は、上述のトランス部品だけでなく、磁性コアに1次コイルのみ形成した単コイル型の磁気コイル部品、例えば、チョークコイルあるいはトロイダルコイル、インダクタ部品等も同様に適用可能である。   Further, the magnetic coil component integrated with the semiconductor element is not only the above-described transformer component, but also a single coil type magnetic coil component in which only the primary coil is formed on the magnetic core, for example, a choke coil, a toroidal coil, an inductor component, etc. Is equally applicable.

更に、半導体モジュールMをモールド樹脂14で封止したパッケージ部品に限らず、例えば回路形成層16上にスタッドバンプを設けて、配線基板上にフリップチップ方式で実装する部品形態も採用可能である。   Furthermore, not only a package component in which the semiconductor module M is sealed with the mold resin 14, but also a component form in which a stud bump is provided on the circuit forming layer 16 and mounted on the wiring board by a flip chip method can be employed.

本発明の実施の形態による半導体装置10の構成を示す図であり、Aは装置内部の素子平面図、Bは要部断面図である。1 is a diagram illustrating a configuration of a semiconductor device 10 according to an embodiment of the present invention, in which A is an element plan view inside the device, and B is a cross-sectional view of an essential part. 半導体装置10の構成を示す等価回路ブロック図である。2 is an equivalent circuit block diagram showing a configuration of a semiconductor device 10. FIG. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、第1半導体素子11の要部断面図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing the semiconductor device 10 and is a cross-sectional view of a main part of a first semiconductor element 11. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、めっき用レジストパターン25の形成工程を示している。It is a figure explaining the manufacturing method of the semiconductor device 10, and has shown the formation process of the resist pattern 25 for plating. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、Cuめっき層26の形成工程を示している。It is a figure explaining the manufacturing method of the semiconductor device 10, and the formation process of Cu plating layer 26 is shown. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、めっき用レジスト25およびシード層24の除去工程を示している。It is a figure explaining the manufacturing method of the semiconductor device 10, and has shown the removal process of the resist 25 for plating, and the seed layer 24. FIG. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、ポリイミド層27の形成工程を示している。FIG. 4 is a diagram for explaining a method for manufacturing the semiconductor device 10 and shows a step of forming a polyimide layer 27. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、Al膜28の成膜工程を示している。FIG. 4 is a diagram for explaining a method for manufacturing the semiconductor device 10 and shows a film forming process of an Al film 28; 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、Al膜28のパターニング用レジストパターン29の形成工程を示している。FIG. 8 is a diagram for explaining a method for manufacturing the semiconductor device 10 and shows a step of forming a resist pattern 29 for patterning the Al film 28. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、Al膜28をパターニングして導体ランド19a,19bおよび電極パッド20を形成する工程を示す平面図および側断面図である。4A and 4B are diagrams illustrating a method for manufacturing the semiconductor device 10 and are a plan view and a side cross-sectional view illustrating a process of patterning an Al film 28 to form conductor lands 19a and 19b and electrode pads 20. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、ポリイミド層30の形成工程を示している。FIG. 2 is a diagram for explaining a method for manufacturing the semiconductor device 10 and shows a step of forming a polyimide layer 30. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、第1,第2リードフレーム31,32の積層工程を示す平面図および側断面図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a manufacturing method of the semiconductor device 10, and is a plan view and a side sectional view showing a stacking process of first and second lead frames 31 and 32. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、半導体素子11に第1,第2リードフレーム31,32を積層した状態を示している。1 is a diagram for explaining a method for manufacturing a semiconductor device 10 and shows a state in which first and second lead frames 31 and 32 are stacked on a semiconductor element 11. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、第2半導体素子12の積層工程を示している。FIG. 4 is a diagram for explaining a method for manufacturing the semiconductor device 10 and shows a stacking process of the second semiconductor elements 12. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、各部のワイヤボンディング工程を示している。It is a figure explaining the manufacturing method of the semiconductor device 10, and has shown the wire bonding process of each part. 半導体装置10の製造方法を説明する図であり、モールド樹脂による封止工程を示している。It is a figure explaining the manufacturing method of the semiconductor device 10, and has shown the sealing process by mold resin. 本発明の実施の形態の半導体装置の構成の変形例を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the modification of the structure of the semiconductor device of embodiment of this invention. 従来のトランス部品の実装工程を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the mounting process of the conventional transformer component.

符号の説明Explanation of symbols

10…半導体装置、11…第1半導体素子、12…第2半導体素子、13…トランス部、14…モールド樹脂、15…リード端子、16…回路形成層、17…磁性コア、18…コイル体、18a…1次コイル、18b…2次コイル、19a,19b…導体ランド、20…電極パッド、31…第1リードフレーム、32…第2リードフレーム、33…位置決めピン、M…半導体モジュール、W1,W2,Wa,Wb,Wc…ボンディングワイヤ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor device, 11 ... 1st semiconductor element, 12 ... 2nd semiconductor element, 13 ... Transformer part, 14 ... Mold resin, 15 ... Lead terminal, 16 ... Circuit formation layer, 17 ... Magnetic core, 18 ... Coil body, 18a ... primary coil, 18b ... secondary coil, 19a, 19b ... conductor land, 20 ... electrode pad, 31 ... first lead frame, 32 ... second lead frame, 33 ... positioning pin, M ... semiconductor module, W1, W2, Wa, Wb, Wc ... Bonding wire

Claims (10)

半導体素子と、
この半導体素子の表面に積層された磁性コアと、
前記半導体素子の表面上で前記磁性コアに巻回されたコイル体とを備えた
ことを特徴とする半導体装置。
A semiconductor element;
A magnetic core laminated on the surface of the semiconductor element;
A semiconductor device comprising: a coil body wound around the magnetic core on a surface of the semiconductor element.
前記磁性コアはリング状のシート体からなり、
前記コイル体は、前記リング状の磁性コアに各々巻回された1次コイルおよび2次コイルからなる
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
The magnetic core is composed of a ring-shaped sheet body,
The semiconductor device according to claim 1, wherein the coil body includes a primary coil and a secondary coil wound around the ring-shaped magnetic core.
前記コイル体は、
前記半導体素子の表面に形成され複数組の導体ランドを備えた回路形成層と、
前記磁性コアを跨ぐようにして前記導体ランド間に接合されたボンディングワイヤとからなる
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
The coil body is
A circuit forming layer having a plurality of conductor lands formed on the surface of the semiconductor element;
The semiconductor device according to claim 1, further comprising a bonding wire joined between the conductor lands so as to straddle the magnetic core.
前記半導体素子はリードフレームの一方の面に電気的に接続されているとともに、前記半導体素子全体がモールド樹脂で被覆されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor element is electrically connected to one surface of a lead frame, and the entire semiconductor element is covered with a mold resin.
前記リードフレームの他方の面には、第2の半導体素子が電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
The semiconductor device according to claim 4, wherein a second semiconductor element is electrically connected to the other surface of the lead frame.
半導体素子の表面に、導体ランドを複数組備えた回路形成層を形成する工程と、
前記回路形成層の上にシート状の磁性コアを積層する工程と、
前記磁性コアを跨ぐようにして前記導体ランド間にボンディングワイヤを接合する工程とを有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Forming a circuit forming layer including a plurality of conductor lands on a surface of a semiconductor element;
Laminating a sheet-like magnetic core on the circuit forming layer;
Bonding a bonding wire between the conductor lands so as to straddle the magnetic core. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising:
前記半導体素子をリードフレームの一方の面に搭載する工程を有し、
前記磁性コアを前記リードフレームと相対的に位置合わせした上で前記半導体素子の表面に積層する
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
A step of mounting the semiconductor element on one surface of a lead frame;
The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 6, wherein the magnetic core is stacked on the surface of the semiconductor element after being relatively aligned with the lead frame.
前記半導体素子をリードフレームの一方の面に搭載する工程を有し、
前記ボンディングワイヤを接合する工程を、前記半導体素子と前記リードフレームとの電気的接合工程と同時に行う
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
A step of mounting the semiconductor element on one surface of a lead frame;
The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 6, wherein the step of bonding the bonding wire is performed simultaneously with the step of electrically bonding the semiconductor element and the lead frame.
前記リードフレームの他方の面に、第2の半導体素子を搭載する工程を更に有する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 8, further comprising a step of mounting a second semiconductor element on the other surface of the lead frame.
前記半導体素子全体をモールド樹脂で被覆する工程を有する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。

The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 8, further comprising a step of covering the entire semiconductor element with a mold resin.

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