JP2007009837A - ダイヤフラムポンプ - Google Patents

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Abstract

【課題】 比較的簡単な調整で一定の吐出能力を持つように調整できるダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム8を装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸2に固着された偏心カム20が中枠3の空洞部3a内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラム8のロッド19に偏心カム20が連結され、中枠3の上部に吸入部屋7、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、流体供給室4は外壁12とカバー22によって密室構造に形成され、吸入部屋7は中枠3の空洞部3aと吸入口5により連通され、吸入部屋7と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔6aと排出弁9を有する排出孔9aによって連通され、吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、緩衝部屋13の外壁12に外部と連通する圧力調整手段を設ける構成とした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、小型のダイヤフラムポンプに係り、特に、製品ごとの気体、液体及び気液混合体の流体の吐出圧力が調整可能なダイヤフラムポンプに関する。
従来、医療機器等に使用される小型のダイヤフラムポンプとして、ダイヤフラムを使用したマイクロエアポンプ等が知られている。このエアマイクロポンプは電動モータを使用して円板状のダイヤフラムを往復動させて、吸入弁・排出弁を作動させるもので、この種のダイヤフラムポンプとして、特開2002−332970号公報に示すエアマイクロポンプがあった。
特開2002−332970号公報第1頁
しかしながら、上述した特許文献1のエアマイクロポンプにあっては、構成部品であるダイヤフラムや吸入弁・排出弁等は材料がゴムである場合が多く、そのため金属材料に比べて寸法精度はあまり高くない、また、その材料の硬度等の物理特性にもバラツキがあるため、ポンプとしての性能も部品のロット間でのバラツキの影響を受けるので、吐出能力等にバラツキを発生することがあった。そのため、ポンプとして組立後に、吐出能力等の性能が一定になるように調整を行っていたが、熟練の技術を必要とし、それぞれのポンプにより、性能に関係する複数の箇所を調整しなければならず、簡単にできることではなかった。
本発明は、上述した従来の問題に鑑みなされたもので、比較的簡単な調整で一定の吐出能力を持つように調整できるダイヤフラムポンプを提供するものである。
本発明は、上記課題を解決するため、電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、前記排出弁から排出された流体を吐出する外部機関に連通している緩衝部屋の外壁に外気と連通する圧力調節部材を配置し、この圧力調節部材によって流体の吐出圧力を一定に制御することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段を設けたことを特徴とするものである。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段が設けられ、前記圧力調整手段は前記外壁に着脱可能に取り付けられたオリフィスであることを特徴としている。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段が設けられ、この圧力調整手段は、外部との連通孔の孔径を任意に調整できる圧力調整弁であることを特徴としている。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋から外部を経由して前記吸入部屋に連通する外部循環路が設けられ、圧力調整手段として外部循環路の途中にオリフィスが着脱可能に設けられていることを特徴としている。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋から外部を経由して前記吸入部屋に連通する外部循環路が設けられ、圧力調整手段として前記外部循環路の途中に流量を任意に調整できる調整弁が設けられていることを特徴としている。
また、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記吐出部屋から内部を経由して前記吸入部屋に連通する内部循環路が設けられ、圧力調整手段として前記内部循環路の途中にオリフィスが着脱可能に設けられていることを特徴としている。
さらに、本発明は、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋と吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記吐出部屋から内部を経由して前記吸入部屋に連通する内部循環路が設けられ、圧力調整手段として前記内部循環路の途中に流量を任意に調整できる調整弁が設けられていることを特徴とするものである。
本発明は上述のように構成されたことにより、構成部品であるダイヤフラムや吸入弁、或いは排出弁の材料に寸法精度や硬度などの物理特性のバラツキがあり、ポンプ能力に差が生じても、圧力調整手段により、外部に吐出される流体の圧力を一定に調整できるものである。
また、本発明は、圧力調整手段をオリフィスとしたことにより、オリフィスの径により圧力の調整が簡単にできるようになり、圧力調整手段を調整弁としたことにより、圧力の調整が自在に行うことができる。
さらに、本発明は、外部循環路や内部循環路を設けて吐出側からリークさせた流体を吸気側へ戻すので、流量を低下させずに圧力の調整を行うことができる。
本発明に係るダイヤフラムポンプの最良の形態について図面を参照して説明する。
図1は本発明に係るダイヤフラムポンプの実施の形態を示す外筐を取り外した状態を示す斜視図、図2は図1のダイヤフラムポンプの流体供給室を取り外した状態を示す斜視図、図3は図2のダイヤフラムポンプの中枠を除去した状態を示す説明用の正面図と側面図、図4は本発明のダイヤフラムポンプの全体を示す斜視図である。
本発明に係るダイヤフラムポンプAは、図1乃至図5に示すように、電動モータ1が内蔵され、この電動モータ1の回転軸2に固着した偏心カム20によりダイヤフラム8が往復動作し、吸入弁6と排出弁9が作動することにより連続的に流体を送り込むダイヤフラムポンプであり、電動モータ1は中枠3に並列して横位置に配置されており、中枠3の底部から吸気し、中枠3の上部に設けられた流体供給室4に吐出口14が設けられている。
この電動モータ1に隣接して固定された中枠3には空洞部3aが形成されており、この空洞部3a内に電動モータ1の回転軸2が延設され、この回転軸2に偏心カム20が固着されている。そして、この偏心カム20にロッド19が嵌装され、このロッド19にダイヤフラム8が一体に取り付けられるものである。
このダイヤフラム8は、流体供給室4に設けられた図示しないダイヤフラム室に密接されてある。この流体供給室4は、中枠3の空洞部3aに連通する吸入口5、吸入孔6aを備え吸入弁6を有する吸入部屋7、この吸入部屋7より大きく形成した吐出部屋10および吐出口14を配置してある緩衝室13とから構成されている。吐出部屋10はダイヤフラム室から排出弁9による排出孔9aの開閉により、吸入部屋7の空気が供給される。
また、緩衝室13を囲む外壁12には、この緩衝室13内の空気の一部を外部に逃がし、緩衝室13内の空気の圧力を調整するための圧力調整手段としてオリフィス11が設けられている。このオリフィス11は、構成部品であるダイヤフラム8や吸入弁6、排出弁9等は材料がゴムである場合が多く、その材料の硬度などのバラツキがあるため、ポンプとしての性能も部品のロット間でバラツキが発生することがあるので、ポンプとして組立後に、吐出口14からの吐出量が一定の性能になるように調整を行なうものである。従って、
このオリフィス11の径は、このダイヤフラムポンプの性能に合わせて個別に決定するものであり、様々な径のオリフィス11が準備され、当該のダイヤフラムポンプに適合したものが取り付けられる。
このオリフィス11は、外観形状が円形である必要はなく、種々の形状のものが使用できる。例えば、三角形、六角形などのデザインに工夫を凝らしても良い。また、オリフィス11の径は一定である必要も無く、径が調節可能にしてもよい。
このように構成されたダイヤフラムポンプAは、図3に示すように、電動モータ1の回転により回転軸2に固着された偏心カム20が回転して、ダイヤフラム8のロッド19を往復動させる。このダイヤフラム8の往復動により、吸入弁6および排出弁9が作動して、中枠3の空洞部3a内の空気が吸入口5、吸入孔6aを経由して図示しないダイヤフラム室に入り、このダイヤフラム室から排出孔9aおよび排出弁9を経由して吐出室10と緩衝室13内に一時溜められ、緩衝室13の吐出口14から外部に吐出される。この緩衝室13内に一時溜められた時に、オリフィス11により流体の一部が外部に放出され、圧力の調整が行われる。
また、図5に示すダイヤフラムポンプBは、ダイヤフラムポンプAと同様に、電動モータ1が内蔵され、この電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁6と排出弁9が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、この中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、この中枠3の上部に吸入部屋7、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、この流体供給室4は外壁12とカバーによって密室構造に形成され、この吸入部屋7は中枠3の空洞部と吸入部屋7の吸入口5により連通され、この吸入部屋5と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔と排出弁9を有する排出孔によって連通され、この吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、この緩衝部屋13の外壁12に外部と連通する圧力調整手段を設け、この圧力調整手段は、外部との連通孔の孔径を任意に調整できる圧力調整弁15としたものである。この圧力調整弁15は、個々のダイヤフラムポンプBの能力に応じて簡単に調整できるものである。
また、図6に示すダイヤフラムポンプCは、ダイヤフラムポンプAと同様に、電動モータ1が内蔵され、この電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁6と排出弁9が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、この中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、この中枠3の上部に吸入部屋7、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、この流体供給室4は外壁12とカバーによって密室構造に形成され、この吸入部屋5は中枠3の空洞部と吸入部屋7の吸入口により連通され、この吸入部屋7と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔と排出弁9を有する排出孔によって連通され、この吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、この緩衝部屋13から外部を経由して吸入部屋7に連通する外部循環路16が設けられ、この外部循環路16の途中に圧力調整手段としてオリフィス11が形成されたものである。
また、図7に示すダイヤフラムポンプDは、ダイヤフラムポンプBと同様に、電動モータ1が内蔵され、この電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁6と排出弁9が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、この中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、この中枠3の上部に吸入部屋7、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、この流体供給室4は外壁12とカバーによって密室構造に形成され、この吸入部屋7は中枠3の空洞部と吸入部屋7の吸入口により連通され、この吸入部屋7と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔と排出弁9を有する排出孔によって連通され、この吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、この緩衝部屋13から外部を経由して吸入部屋7に連通する外部循環路16が設けられ、この外部循環路16の途中に圧力調整手段として圧力調整弁15が設けられたものである。
また、図8に示すダイヤフラムポンプEは、ダイヤフラムポンプA等と同様に、電動モータ1が内蔵され、この電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁6と排出弁9が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、この中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、この中枠3の上部に吸入部屋7、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、この流体供給室4は外壁12とカバーによって密室構造に形成され、この吸入部屋7は中枠3の空洞部と吸入部屋7の吸入口により連通され、この吸入部屋7と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔と排出弁9を有する排出孔によって連通され、この吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、この緩衝部屋13から内部を経由して吸入部屋5に連通する外部循環路17が設けられ、この内部循環路17の途中に圧力調整手段としてオリフィス11が着脱可能に取り付けられたものである。
さらに、図9に示すダイヤフラムポンプFは、ダイヤフラムポンプBと同様に、電動モータ1が内蔵され、この電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁6と排出弁9が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠3が台枠18上に配置され、この中枠3の外側面に取り付けられた電動モータ1の回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、この中枠3の上部に吸入部屋5、吐出部屋10、緩衝部屋13を備えた流体供給室4が配置され、この流体供給室4は外壁12とカバーによって密室構造に形成され、この吸入部屋7は中枠3の空洞部と吸入部屋7の吸入口により連通され、この吸入部屋7と吐出部屋10は吸入弁6を有する吸入孔と排出弁9を有する排出孔によって連通され、この吐出部屋10に隣接して吐出口14を備えた緩衝部屋13が配置され、この吐出部屋10から内部を経由して吸入部屋5に連通する内部循環路17が設けられ、この内部循環路17の途中に圧力調整手段として圧力調整弁15が設けられたものである。
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内で様々の態様が可能なことは勿論である。例えば、形状、材料などは適宜選択できることは勿論である。
本発明に係るダイヤフラムポンプの実施の形態を示す外筐を取り外した状態を示す斜視図である。 図1のダイヤフラムポンプの流体供給室を取り外した状態を示す斜視図である。 図2のダイヤフラムポンプの中枠を除去した状態を示す説明用の正面図と側面図である。 本発明のダイヤフラムポンプの全体を示す斜視図である。 本発明のダイヤフラムポンプの実施例を示す斜視図である。 本発明のダイヤフラムポンプの実施例を示す斜視図である。 本発明のダイヤフラムポンプの実施例を示す斜視図である。 本発明のダイヤフラムポンプの実施例を示す斜視図である。 本発明のダイヤフラムポンプの実施例を示す斜視図である。
符号の説明
A ダイヤフラムポンプ
B ダイヤフラムポンプ
C ダイヤフラムポンプ
D ダイヤフラムポンプ
E ダイヤフラムポンプ
F ダイヤフラムポンプ
1 電動モータ
2 回転軸
3 中枠
3a 空洞部
4 流体供給室
5 吸入口
6 吸入弁
6a 吸入孔
7 吸入部屋
8 ダイヤフラム
9 排出弁
9a 排出孔
10 吐出部屋
11 オリフィス
12 外壁
13 緩衝室
14 吐出口
15 圧力調整弁
16 外部循環路
17 内部循環路
18 台枠
19 ロッド
20 偏心カム
21 カバー


Claims (8)

  1. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    前記排出弁から排出された流体を吐出する外部機関に連通している緩衝部屋の外壁に外気と連通する圧力調節部材を配置し、この圧力調節部材によって流体の吐出圧力を一定に制御することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  2. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、
    前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段を設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  3. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段が設けられ、前記圧力調整手段は前記外壁に着脱可能に取り付られたオリフィスであることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  4. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記緩衝部屋の外壁に外部と連通する圧力調整手段が設けられ、この圧力調整手段は、外部との連通孔の孔径を任意に調整できる圧力調整弁であることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  5. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に気体、液体または気液混合の流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、
    前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記緩衝部屋から外部を経由して前記吸入部屋に連通する外部循環路が設けられ、圧力調整手段として外部循環路の途中にオリフィスが着脱可能に設けられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  6. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に気体、液体または気液混合の流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、
    前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記緩衝部屋から外部を経由して前記吸入部屋に連通する外部循環路が設けられ、圧力調整手段として外部循環路の途中に流量を任意に調整できる圧力調整弁が設けられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  7. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に気体、液体または気液混合の流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、
    前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記吐出部屋から内部を経由して前記吸入部屋に連通する内部循環路が設けられ、圧力調整手段として内部循環路の途中にオリフィスが着脱可能に設けられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
  8. 電動モータが内蔵され、前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムによりダイヤフラムが往復動作されて吸入弁と排出弁が作動し、連続的に気体、液体または気液混合の流体を送り込むように構成されたダイヤフラムポンプにおいて、
    ダイヤフラムを装着する円形状の開口部を有する中枠が台枠上に配置され、前記中枠の外側面に取り付けられた前記電動モータの回転軸に固着された偏心カムが前記中枠の空洞部内に配置されると共に前記開口部に配置されたダイヤフラムのロッドに偏心カムが連結され、
    前記中枠の上部に吸入部屋、吐出部屋、緩衝部屋を備えた流体供給室が配置され、前記流体供給室は外壁とカバーによって密室構造に形成され、
    前記吸入部屋は中枠の空洞部と吸入部屋の吸入口により連通され、前記吸入部屋と吐出部屋は吸入弁を有する吸入孔と排出弁を有する排出孔によって連通され、前記吐出部屋に隣接して吐出口を備えた緩衝部屋が配置され、
    前記吐出部屋から内部を経由して前記吸入部屋に連通する内部循環路が設けられ、圧力調整手段として内部循環路の途中に流量を任意に調整できる圧力調整弁が設けられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
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