JP2007008995A - Method for producing penetrated hole-formed adhesive sheet and apparatus for producing the same - Google Patents

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Kiichiro Kato
揮一郎 加藤
Kazuhisa Tsuda
和央 津田
Osamu Kanazawa
治 金沢
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a penetrated hole-formed adhesive sheet, by which the penetrated holes can surely be formed in the adhesive sheet, and all the penetrated holes can improve the appearance of the adhesive sheet, and to provide an apparatus for producing the adhesive sheet. <P>SOLUTION: This method for producing the penetrated hole-formed adhesive sheet 1, comprising irradiating laser beams on the adhesive sheet 1p (adhesive sheet before the formation of the penetrated holes) prepared by laminating an adhesive layer 12 to a substrate 11 to form the penetrated holes 13 in the adhesive sheet 1p, is characterized by making spaces (for example, the suction holes 21A of a support 2A constituting a suction stage of a suction apparatus 3) having depths of ≥150μm to be made to exist on the surface opposite to a laser beam entrance surface in the whole laser beam-irradiated portion of the adhesive sheet 1p on the irradiation of the laser beams. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、空気溜まりやブリスターを防止または除去することのできる貫通孔を有する粘着シートを製造する方法および装置に関するものである。   The present invention relates to a method and an apparatus for producing a pressure-sensitive adhesive sheet having a through-hole that can prevent or remove air pockets and blisters.

粘着シートを手作業で被着体に貼付する際に、被着体と粘着面との間に空気溜まりができ、粘着シートの外観を損ねてしまうことがある。このような空気溜まりは、特に粘着シートの面積が大きい場合に発生し易い。   When the pressure-sensitive adhesive sheet is manually attached to the adherend, air can be trapped between the adherend and the pressure-sensitive adhesive surface, which may impair the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet. Such air pockets are likely to occur particularly when the area of the adhesive sheet is large.

また、アクリル樹脂、ABS樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂材料は、加熱により、または加熱によらなくても、ガスを発生することがあるが、このような樹脂材料からなる被着体に粘着シートを貼付した場合には、被着体から発生するガスによって粘着シートにブリスター(ふくれ)が生じることとなる。   In addition, resin materials such as acrylic resin, ABS resin, polystyrene resin, and polycarbonate resin may generate gas either by heating or not by heating. When an adhesive sheet is affixed, blisters (bulges) are generated in the adhesive sheet by the gas generated from the adherend.

上記のような問題を解決するために、特許文献1には、孔径が0.1〜300μmの貫通孔を30〜50,000個/100cmの孔密度で形成した粘着シートが提案されている。かかる粘着シートによれば、粘着面側の空気やガスを貫通孔から粘着シート表面側に抜くことにより、粘着シートの空気溜まりまたはブリスターを防止することが可能である。 In order to solve the above problems, Patent Document 1 proposes a pressure-sensitive adhesive sheet in which through holes having a hole diameter of 0.1 to 300 μm are formed at a hole density of 30 to 50,000 holes / 100 cm 2 . . According to this pressure-sensitive adhesive sheet, it is possible to prevent air accumulation or blistering of the pressure-sensitive adhesive sheet by drawing air or gas on the pressure-sensitive adhesive side from the through hole to the surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet.

上記粘着シートにおける貫通孔の形成には、レーザ穴開け加工が利用される場合がある。レーザ穴開け加工としては、例えば、多層プリント基板等に対するものが一般的に知られている。しかしながら、多層プリント基板等に対するレーザ穴開け加工では、通常全ての層を貫通させないため、かかるレーザ穴開け加工で使用されるステージは貫通孔形成には配慮されていない。したがって、粘着シートにおける貫通孔の形成に上記のようなステージを使用すると、ステージでのレーザ光反射や蓄熱等により貫通孔の周縁部がダメージを受けて良好な外観の粘着シートが得られないことが多く、場合によっては貫通孔が形成できないこともある。   Laser drilling may be used to form the through holes in the pressure-sensitive adhesive sheet. As laser drilling, for example, a multi-layer printed circuit board is generally known. However, in the laser drilling process for a multilayer printed circuit board or the like, since not all layers are normally penetrated, the stage used in the laser drilling process is not considered for the formation of the through hole. Therefore, if a stage as described above is used to form a through hole in an adhesive sheet, the peripheral part of the through hole is damaged by laser light reflection or heat storage on the stage, and an adhesive sheet with a good appearance cannot be obtained. In many cases, a through hole may not be formed.

また、特許文献2、特許文献3には、多孔ステージ上にワークを載せて、多孔ステージの孔から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法、または複数並設されたローラ上にワークを載せて、各ローラの間隙から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法が開示されており、特許文献4には、紙等の繊維状体を多孔ステージの上に載せ、その繊維状体の上にワークを載せて、多孔ステージの孔から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法が開示されている。
国際公開第2004/061031号パンフレット 特開平8−187586号公報 特開2003−164988号公報 特開平11−267866号公報
In Patent Documents 2 and 3, a work is placed on a perforated stage and the work is irradiated with a laser beam while being sucked from a hole in the perforated stage, or a work is placed on a plurality of rollers arranged in parallel. A method of irradiating a workpiece with laser light while sucking from the gaps between the rollers is disclosed, and Patent Document 4 discloses that a fibrous body such as paper is placed on a perforated stage. And a method of irradiating the workpiece with laser light while sucking from the hole of the perforated stage.
International Publication No. 2004/061031 Pamphlet JP-A-8-187586 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-164988 Japanese Patent Laid-Open No. 11-267866

しかしながら、特許文献2および特許文献3におけるレーザ穴開け加工によっても、上記のようなレーザ光反射や蓄熱等の問題は完全には解決されておらず、貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることは困難であった。また、特許文献4におけるレーザ穴開け加工では、レーザ光が照射された繊維状体の分解物が粘着シートの貫通孔周縁部に付着して、良好な外観の粘着シートが得られないという問題があった。   However, even the laser drilling in Patent Document 2 and Patent Document 3 does not completely solve the problems such as laser light reflection and heat storage as described above. It was difficult to improve the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet for the through holes. Further, in the laser drilling process in Patent Document 4, there is a problem that a decomposed product of the fibrous body irradiated with laser light adheres to the peripheral edge portion of the through hole of the adhesive sheet, and an adhesive sheet having a good appearance cannot be obtained. there were.

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、粘着シートに対し貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることのできる貫通孔形成粘着シートの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to reliably form through holes in the pressure-sensitive adhesive sheet and to improve the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet for all the through-holes. It aims at providing the manufacturing method and manufacturing apparatus of a formation adhesive sheet.

上記目的を達成するために、第1に本発明は、少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法において、レーザ光照射時に、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分におけるレーザ光入射面の反対面に、深さ150μm以上の空間を存在させることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法を提供する(請求項1)。なお、本明細書において、「シート」にはフィルムおよびテープの概念、「フィルム」にはシートおよびテープの概念が含まれるものとする。   In order to achieve the above object, first, the present invention provides a through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet that forms a through-hole in the pressure-sensitive adhesive sheet by irradiating the pressure-sensitive adhesive sheet having at least a base material and a pressure-sensitive adhesive layer with laser light. In the manufacturing method of the above, at the time of laser light irradiation, a space having a depth of 150 μm or more exists on the surface opposite to the laser light incident surface in all portions of the adhesive sheet irradiated with the laser light. A method for producing a formed pressure-sensitive adhesive sheet is provided (claim 1). In this specification, “sheet” includes the concept of film and tape, and “film” includes the concept of sheet and tape.

上記発明(請求項1)においては、粘着シートのレーザ光入射面の反対面に深さ150μm以上の空間が存在することにより、レーザ光は粘着シートを貫通して確実に貫通孔を形成することができるとともに、レーザ光が支持体の表面で反射すること又は粘着シートと支持体との間にレーザ光の熱が蓄熱することによって貫通孔の周縁部が熱変形または溶融(以下「熱変形等」という。)して粘着シートの外観が悪化することを、全ての貫通孔について防止することができる。なお、本明細書における「支持体」とは、レーザ光照射時に粘着シートをレーザ光入射面の反対面から支持するものをいい、吸引装置の吸着部を構成するものであってもよいし、吸引装置の吸着部上に載置されるものであってもよいし、吸引装置とは関係なく提供されるものであってもよい。   In the above invention (invention 1), the presence of a space having a depth of 150 μm or more on the surface opposite to the laser light incident surface of the adhesive sheet ensures that the laser light penetrates the adhesive sheet and reliably forms a through hole. The peripheral portion of the through hole is thermally deformed or melted (hereinafter referred to as “thermal deformation or the like”) by reflecting the laser beam on the surface of the support or storing the heat of the laser beam between the adhesive sheet and the support. It is possible to prevent all the through holes from deteriorating the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet. In addition, the “support” in the present specification refers to the one that supports the adhesive sheet from the opposite surface of the laser light incident surface at the time of laser light irradiation, and may constitute the suction portion of the suction device, It may be placed on the suction part of the suction device, or may be provided regardless of the suction device.

上記発明(請求項1)においては、レーザ光照射時に、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側から吸引を行うことが好ましい(請求項2)。かかる発明(請求項2)によれば、粘着シートと支持体との間におけるレーザ光の熱の蓄熱をより抑制することができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着剤層および基材の分解物(デブリー)を吸引除去することができ、当該デブリーが粘着シート表面における貫通孔の周縁部に付着することを効果的に防止することができる。   In the said invention (invention 1), it is preferable to perform attraction | suction from the surface opposite to the laser beam incident surface of the said adhesive sheet at the time of laser beam irradiation (invention 2). According to this invention (invention 2), the heat storage of the laser beam heat between the pressure-sensitive adhesive sheet and the support can be further suppressed, and the pressure-sensitive adhesive layer generated by the laser beam irradiation and the decomposition product of the substrate (Debris) can be removed by suction, and the debris can be effectively prevented from adhering to the peripheral edge portion of the through-hole on the pressure-sensitive adhesive sheet surface.

上記発明(請求項1,2)においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されている支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい(請求項3)。   In the above inventions (inventions 1 and 2), on the support in which holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions of the adhesive sheet irradiated with the laser beam. You may make it perform laser beam irradiation with respect to the said adhesive sheet (Claim 3).

上記発明(請求項3)において、前記支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ150μm以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていてもよい(請求項4)。かかる発明(請求項4)によれば、吸引装置とは別個の支持体を必要としない。   In the said invention (invention 3), the said support body may comprise the adsorption | suction part of an attraction | suction apparatus, and the said hole of 150 micrometers or more in depth may become the attraction | suction hole of the attraction | suction apparatus (invention 4). According to this invention (Claim 4), a support separate from the suction device is not required.

上記発明(請求項1,2)においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されている、連続空隙を有する多孔質の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい(請求項5)。この場合、前記多孔質の支持体は、吸引装置の吸着部上に位置しており、前記多孔質の支持体を介して前記粘着シートを吸引することが好ましい(請求項6)。   In the above inventions (inventions 1 and 2), continuous voids having holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions of the adhesive sheet irradiated with the laser beam. You may make it perform laser beam irradiation with respect to the said adhesive sheet on the porous support body which has (Claim 5). In this case, it is preferable that the porous support is located on the suction portion of the suction device, and the pressure-sensitive adhesive sheet is sucked through the porous support (Claim 6).

上記発明(請求項5)によれば、多孔質の支持体から熱が逃げ易く、粘着シートと吸引装置の吸着部との間にレーザ光の熱が蓄熱することを効果的に防止することができ、特に上記発明(請求項6)によれば、粘着シート全体を吸引して粘着シートを確実に固定し、貫通孔の精度をより高いものとすることができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着シートのデブリーの除去性を格段に向上させることができ、当該デブリーが粘着シート表面における貫通孔の周縁部に付着することを極めて効果的に防止することができる。   According to the above invention (invention 5), heat easily escapes from the porous support, and it is possible to effectively prevent the heat of the laser light from being stored between the adhesive sheet and the suction portion of the suction device. In particular, according to the above invention (invention 6), the entire pressure-sensitive adhesive sheet can be sucked to securely fix the pressure-sensitive adhesive sheet, and the accuracy of the through-holes can be increased, and it is generated by laser light irradiation. The debris removability of the pressure-sensitive adhesive sheet can be remarkably improved, and the debris can be extremely effectively prevented from adhering to the peripheral edge portion of the through hole on the pressure-sensitive adhesive sheet surface.

上記発明(請求項1,2)においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されているロール状の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい(請求項7)。   In the above inventions (Inventions 1 and 2), a roll-like support in which holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions of the adhesive sheet irradiated with the laser beam. You may make it perform laser beam irradiation with respect to the said adhesive sheet on a body (Claim 7).

上記発明(請求項7)において、前記ロール状の支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることが好ましい(請求項8)。かかる発明(請求項8)によれば、溝がロール状の支持体の軸方向に形成される場合と比較して、レーザ光照射のタイミングに高い精度が要求されない。   In the said invention (invention 7), it is preferable that the said groove | channel is formed in the said roll-shaped support body along the circumferential direction (invention 8). According to this invention (invention 8), high precision is not required for the timing of laser beam irradiation, compared to the case where the grooves are formed in the axial direction of the roll-shaped support.

上記発明(請求項7,8)において、前記ロール状の支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていてもよい(請求項9)。   In the above inventions (Inventions 7 and 8), the roll-shaped support may have a cylindrical shape having a plurality of suction holes and capable of being sucked from the inside (Invention 9).

上記発明(請求項7〜9)においては、前記ロール状の支持体を複数設置し、前記粘着シートを前記複数のロール状の支持体に密着させながら搬送し、前記粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい(請求項10)。かかる発明(請求項10)によれば、貫通孔を連続的に形成することができるとともに、粘着シートの上下方向の振れがない部分で貫通孔を形成することができるため、貫通孔の精度が高いものとなる。   In the said invention (inventions 7-9), the said roll-shaped support body is installed in multiple numbers, and it conveys the said adhesive sheet closely_contact | adhered to the said several roll-shaped support body, The said roll-shaped support sheet of the said adhesive sheet You may make it perform laser beam irradiation with respect to the contact | adherence part vicinity with a support body (Claim 10). According to this invention (invention 10), the through-holes can be formed continuously, and the through-holes can be formed at portions where the adhesive sheet does not shake in the vertical direction. It will be expensive.

第2に本発明は、レーザ光が照射され貫通孔が形成される粘着シートを、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側で支持する粘着シート支持体であって、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されていることを特徴とする粘着シート支持体を提供する(請求項11)。   2ndly this invention is an adhesive sheet support body which supports the adhesive sheet by which a laser beam is irradiated and a through-hole is formed in the opposite surface side of the laser beam incident surface of the said adhesive sheet, Comprising: The said adhesive sheet A pressure-sensitive adhesive sheet support is provided in which holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions irradiated with laser light (claim 11).

上記発明(請求項11)において、前記粘着シート支持体は、平板状となっていてもよい(請求項12)。この場合、前記平板状の粘着シート支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ150μm以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていてもよい(請求項13)。   In the said invention (invention 11), the said adhesive sheet support body may become flat form (invention 12). In this case, the flat pressure-sensitive adhesive sheet support may constitute a suction portion of a suction device, and the hole having a depth of 150 μm or more may be a suction hole of the suction device.

また、上記発明(請求項11)において、前記粘着シート支持体は、連続空隙を有する多孔質体からなっていてもよいし(請求項14)、ロール状となっていてもよい(請求項15)。   Moreover, in the said invention (invention 11), the said adhesive sheet support body may consist of a porous body which has a continuous space | gap (invention 14), and may be roll shape (invention 15). ).

上記発明(請求項15)において、前記ロール状の粘着シート支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることが好ましい(請求項16)。   In the said invention (invention 15), it is preferable that the said groove | channel is formed in the said roll-shaped adhesive sheet support body along the circumferential direction (invention 16).

上記発明(請求項15,16)において、前記ロール状の粘着シート支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていてもよい(請求項17)。   In the above inventions (Inventions 15 and 16), the roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet support may have a cylindrical shape having a plurality of suction holes and capable of being sucked from the inside (Invention 17).

第3に本発明は、前記粘着シート支持体(請求項13,17)を吸着部として備え、前記吸引孔から吸引を行うことのできる吸引装置を提供する(請求項18)。   3rdly, this invention provides the suction device which equips the said adhesive sheet support body (Claims 13 and 17) as an adsorption | suction part, and can perform suction from the said suction hole (Claim 18).

第4に本発明は、複数の前記ロール状の粘着シート支持体(請求項15〜17)と、粘着シートを前記複数のロール状の粘着シート支持体に密着させることができるように、前記ロール状の粘着シート支持体の相互間に設けられた吸引搬送装置と、粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対してレーザ光照射することのできるレーザ光照射装置とを備えたことを特徴とする貫通孔形成粘着シート製造装置を提供する(請求項19)。   4thly, this invention is the said roll-shaped adhesive sheet support body (Claims 15-17), and the said roll so that an adhesive sheet can be closely_contact | adhered to the said several roll-shaped adhesive sheet support body. A suction conveyance device provided between the pressure-sensitive adhesive sheet supports, and a laser light irradiation device capable of irradiating the vicinity of the adhesion portion between the pressure-sensitive adhesive sheet and the roll-shaped support. A through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet manufacturing apparatus is provided (claim 19).

本発明によれば、粘着シートの支持体におけるレーザ光反射や蓄熱等が防止され、粘着シートに対し貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることができる。   According to the present invention, reflection of laser light, heat storage, and the like on the support of the pressure-sensitive adhesive sheet are prevented, and through holes are reliably formed in the pressure-sensitive adhesive sheet, and the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet is improved for all the through-holes. be able to.

以下、本発明の実施形態について説明する。
〔第1の実施形態〕
図1は、本発明の第1の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図2は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an apparatus for producing a through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a pressure-sensitive adhesive sheet support in the same embodiment.

本実施形態では、図1に示すように、基材11と、粘着剤層12とを積層してなる粘着シート1p(貫通孔形成前の粘着シート)を、吸引装置3の吸着ステージを構成する支持体2A上に載置し、吸引装置3により粘着シート1pを吸引しながら当該粘着シート1pに対してレーザ光照射装置Rからレーザ光を照射して、粘着剤層12および基材11を貫通する貫通孔13を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート1(以下「粘着シート1」という場合がある。)とする。   In the present embodiment, as shown in FIG. 1, an adhesive sheet 1 p (adhesive sheet before through-hole formation) formed by laminating a base material 11 and an adhesive layer 12 constitutes the suction stage of the suction device 3. The adhesive sheet 1p is placed on the support 2A, and the adhesive sheet 1p is sucked from the laser light irradiation device R while sucking the adhesive sheet 1p by the suction device 3, and penetrates the adhesive layer 12 and the substrate 11. A plurality of through-holes 13 are formed to form a through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet 1 (hereinafter sometimes referred to as “pressure-sensitive adhesive sheet 1”).

基材11の材料としては、レーザ加工によって貫通孔13が形成され得る材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、樹脂フィルム、金属フィルム、金属を蒸着させた樹脂フィルム、紙、それらの積層体等が挙げられる。基材11が樹脂フィルムからなる場合、基材11は不透明であってもよいし、透明であってもよいが、一般的に基材11が不透明の方が、貫通孔13が目立ち難い。   The material of the base material 11 is not particularly limited as long as the through hole 13 can be formed by laser processing. For example, a resin film, a metal film, a resin film on which a metal is deposited, paper, those materials A laminated body etc. are mentioned. When the base material 11 consists of a resin film, the base material 11 may be opaque or transparent, but generally the through-hole 13 is less noticeable when the base material 11 is opaque.

樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリメタクリル酸メチル、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ABS樹脂、オレフィン系、ウレタン系、エステル系およびスチレン系の熱可塑性エラストマー樹脂、アイオノマー樹脂などの樹脂からなるフィルム、発泡フィルム、またはそれらの積層フィルム等を使用することができる。樹脂フィルムは、市販のものを使用してもよいし、工程材料を用いてキャスティング法等で形成したものを使用してもよい。また、紙としては、例えば、上質紙、グラシン紙、コート紙、ラミネート紙等を使用することができる。   Examples of the resin film include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyesters such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, polyvinyl chloride, polystyrene, polyurethane, polycarbonate, polyamide, polyimide, polymethyl methacrylate, polybutene, polybutadiene, and polymethylpentene. , Ethylene vinyl acetate copolymer, ethylene (meth) acrylic acid copolymer, ethylene (meth) acrylic acid ester copolymer, ABS resin, olefin-based, urethane-based, ester-based and styrene-based thermoplastic elastomer resin, ionomer A film made of a resin such as a resin, a foamed film, or a laminated film thereof can be used. A commercially available resin film may be used, or a resin film formed by a casting method or the like using process materials may be used. Further, as the paper, for example, high-quality paper, glassine paper, coated paper, laminated paper and the like can be used.

基材11の厚さは、通常は1〜500μm、好ましくは3〜300μm程度であるが、貫通孔形成粘着シート1の用途に応じて適宜変更することができる。   The thickness of the substrate 11 is usually 1 to 500 μm, preferably about 3 to 300 μm, but can be appropriately changed depending on the use of the through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet 1.

粘着剤層12を構成する粘着剤の種類としては、上記のような貫通孔13が形成され得る材料であれば特に限定されるものではなく、アクリル系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ゴム系、シリコーン系等のいずれであってもよい。また、粘着剤はエマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。さらに、粘着剤は、粘着力の強い強粘タイプ、粘着力の弱い弱粘タイプ、粘着および剥離を繰り返すことのできる再剥離タイプのいずれであってもよい。   The type of the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer 12 is not particularly limited as long as it is a material that can form the through-hole 13 as described above, and is acrylic, polyester-based, polyurethane-based, rubber-based, silicone, or the like. Any of a system etc. may be sufficient. The pressure-sensitive adhesive may be any of an emulsion type, a solvent type, or a solventless type, and may be a crosslinked type or a non-crosslinked type. Furthermore, the pressure-sensitive adhesive may be either a strong-viscosity type with strong adhesive strength, a weak-viscosity type with weak adhesive strength, or a re-peeling type capable of repeating adhesion and peeling.

粘着剤層12の厚さは、通常は1〜300μm、好ましくは5〜100μm程度であるが、貫通孔形成粘着シート1の用途に応じて適宜変更することができる。   The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 12 is usually 1 to 300 μm, preferably about 5 to 100 μm, but can be appropriately changed depending on the use of the through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet 1.

貫通孔13の横断面形状は特に限定されるものではないが、貫通孔13の基材11および粘着剤層12における孔径は0.1〜300μmであることが好ましく、特に0.1〜150μmであることが好ましい。貫通孔13の孔径が0.1μm未満であると、貫通孔13から空気またはガスが抜け難く、貫通孔13の孔径が300μmを超えると、貫通孔13が目立つようになる。   The cross-sectional shape of the through hole 13 is not particularly limited, but the hole diameter of the through hole 13 in the base material 11 and the pressure-sensitive adhesive layer 12 is preferably 0.1 to 300 μm, particularly 0.1 to 150 μm. Preferably there is. If the hole diameter of the through hole 13 is less than 0.1 μm, it is difficult for air or gas to escape from the through hole 13, and if the hole diameter of the through hole 13 exceeds 300 μm, the through hole 13 becomes conspicuous.

また、貫通孔13の基材11表面における孔径が42μm以下であり、貫通孔13周縁のレーザによる溶融部(ドロス)を含む孔径が50μm以下であると、基材11の条件によっては貫通孔13が肉眼では見えなくなる(貫通孔13の存在が肉眼では認識できなくなる)ため、特に粘着シート1の外観において貫通孔13が見えないことが要求されるような場合には、基材11表面における貫通孔13の孔径の上限を42μm、貫通孔13周縁のドロスを含む孔径の上限を50μmとするのが好ましい。   Moreover, depending on the conditions of the base material 11, the through hole 13 has a hole diameter of 42 μm or less on the surface of the base material 11 and a hole diameter including a melted portion (dross) by the laser around the through hole 13 depending on the conditions of the base material 11. Cannot be seen with the naked eye (the presence of the through-hole 13 cannot be recognized with the naked eye), so that the penetration on the surface of the base material 11 is required particularly when the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 is required to be invisible. It is preferable that the upper limit of the hole diameter of the hole 13 is 42 μm and the upper limit of the hole diameter including dross around the through hole 13 is 50 μm.

貫通孔13の孔径は、粘着シート1の厚さ方向に一定であってもよいし、粘着シート1の厚さ方向に変化していてもよいが、貫通孔13の孔径が粘着シート1の厚さ方向に変化する場合は、粘着剤層12の粘着面から基材11表面にかけて漸次小さくなるのが好ましい。このように貫通孔13の孔径が変化することにより、基材11表面にて貫通孔13がより目立ち難くなり、粘着シート1の外観を良好に保つことができる。   The hole diameter of the through-hole 13 may be constant in the thickness direction of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 or may change in the thickness direction of the pressure-sensitive adhesive sheet 1, but the hole diameter of the through-hole 13 is the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet 1. When changing in the vertical direction, it is preferable that the thickness gradually decreases from the pressure-sensitive adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive layer 12 to the surface of the base material 11. Thus, when the hole diameter of the through-hole 13 changes, the through-hole 13 becomes inconspicuous on the surface of the base material 11, and the external appearance of the adhesive sheet 1 can be kept favorable.

レーザ加工によって貫通孔13を形成する場合、貫通孔13には先細りのテーパがつくことが多いため、上記形状の貫通孔13は、図1に示すように、粘着剤層12の粘着面側からレーザ光を照射することにより形成することができる。   When the through-hole 13 is formed by laser processing, the through-hole 13 often has a tapered taper. Therefore, the through-hole 13 having the above-described shape is formed from the adhesive surface side of the adhesive layer 12 as shown in FIG. It can be formed by irradiation with laser light.

貫通孔13の孔密度は、30〜50,000個/100cmであることが好ましく、特に100〜10,000個/100cmであることが好ましい。貫通孔13の孔密度が30個/100cm未満であると、空気またはガスが抜け難く、貫通孔13の孔密度が50,000個/100cmを超えると、粘着シート1の機械的強度が低下するおそれがある。 The hole density of the through holes 13 is preferably 30 to 50,000 / 100 cm 2 , and more preferably 100 to 10,000 / 100 cm 2 . When the hole density of the through holes 13 is less than 30/100 cm 2 , air or gas is difficult to escape, and when the hole density of the through holes 13 exceeds 50,000 / 100 cm 2 , the mechanical strength of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 is increased. May decrease.

本実施形態における支持体2Aは、図2に示すように、略平板状の形状を有し、当該支持体2Aを厚さ方向に貫通する吸引孔21Aが複数形成されてなる。この支持体2Aは、吸引装置3における吸引ボックス31の上壁部に該当する吸着ステージを構成する。   As shown in FIG. 2, the support 2A in the present embodiment has a substantially flat plate shape, and is formed with a plurality of suction holes 21A penetrating the support 2A in the thickness direction. The support 2 </ b> A constitutes a suction stage corresponding to the upper wall portion of the suction box 31 in the suction device 3.

本実施形態における支持体2Aの吸引孔21Aは、粘着シート1pにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。支持体2Aがこのような構成を有することにより、粘着シート1pにおけるレーザ光入射面の反対面(基材11表面)の下側に空間が存在することとなり、したがって、レーザ光は粘着剤層12および基材11を貫通して確実に貫通孔13を形成することができるとともに、レーザ光が支持体2Aの表面で反射すること又は粘着シート1と支持体2Aとの間にレーザ光の熱が蓄熱することによって貫通孔13の周縁部が熱変形等して粘着シート1の外観が悪化することを、全ての貫通孔13について防止することができる。特に本実施形態では、支持体2Aの吸引孔21Aから吸引を行うため、上記のような蓄熱が起こり難く、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層12および基材11の分解物(デブリー)が吸引除去されて、当該デブリーが基材11表面における貫通孔13の周縁部に付着することが効果的に防止される。   21 A of suction holes of 2 A of support bodies in this embodiment are formed in the position corresponding to all the parts irradiated with a laser beam in the adhesive sheet 1p. Since the support 2A has such a configuration, a space exists below the surface opposite to the laser light incident surface (the surface of the base material 11) in the pressure-sensitive adhesive sheet 1p. In addition, the through hole 13 can be reliably formed through the base material 11, and the laser beam is reflected on the surface of the support 2A or the heat of the laser beam is generated between the adhesive sheet 1 and the support 2A. It can prevent about all the through-holes 13 that the peripheral part of the through-hole 13 carries out a heat deformation etc. by heat storage, and the external appearance of the adhesive sheet 1 deteriorates. In particular, in the present embodiment, since suction is performed from the suction hole 21A of the support 2A, heat storage as described above hardly occurs, and a decomposition product (debris) of the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 generated by laser light irradiation. Is removed by suction, and the debris is effectively prevented from adhering to the peripheral edge portion of the through hole 13 on the surface of the base material 11.

吸引孔21Aの孔径は、貫通孔13の基材11表面における孔径(ドロスを含む孔径)をDtとしたときに、1×Dt〜50×Dtであることが好ましく、特に1×Dt〜30×Dtであることが好ましい。吸引孔21Aの孔径が1×Dt未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、吸引孔21Aの孔径が50×Dtを超えると、貫通孔13の周縁部が吸引孔21Aの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。   The diameter of the suction hole 21A is preferably 1 × Dt to 50 × Dt, particularly 1 × Dt to 30 ×, where Dt is a hole diameter (hole diameter including dross) on the surface of the base material 11 of the through hole 13. Dt is preferred. If the hole diameter of the suction hole 21A is less than 1 × Dt, problems such as laser light reflection and heat storage may occur, and if the hole diameter of the suction hole 21A exceeds 50 × Dt, the peripheral portion of the through hole 13 becomes the suction hole. There is a risk of deformation to become convex toward the space portion side of 21A.

支持体2Aの厚さまたは吸引ボックス31の高さは、粘着シート1pにおけるレーザ光入射面の反対面(基材11表面)の下側に、深さ150μm以上の空間が存在する限り、特に限定されるものではない。   The thickness of the support 2A or the height of the suction box 31 is particularly limited as long as there is a space having a depth of 150 μm or more below the surface opposite to the laser light incident surface (surface of the base material 11) in the adhesive sheet 1p. Is not to be done.

支持体2Aの材質は、レーザ光照射時に粘着シート1pに悪影響を与えないものであれば特に限定されることなく、例えば、アルミニウムまたはアルミニウム合金、表面にアルマイトを形成したアルミニウムまたはアルミニウム合金、スチール、表面にハードクロムメッキ、亜鉛メッキ等を形成したスチール、ステンレス鋼、銅などの各種金属材料またはメッキ処理を施した金属材料の他、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ステアタイト、フォルステライト、ムライト等のセラミックス(非金属無機材料)、両面銅貼りガラスエポキシ基板等の複合材料を使用することができる。   The material of the support 2A is not particularly limited as long as it does not adversely affect the pressure-sensitive adhesive sheet 1p when irradiated with laser light. For example, aluminum or aluminum alloy, aluminum or aluminum alloy with anodized aluminum, aluminum, steel, In addition to various metal materials such as steel, stainless steel, and copper with hard chrome plating and galvanization on the surface, or metal materials that have been plated, alumina, zirconia, silicon carbide, silicon nitride, steatite, forsterite, A composite material such as ceramics (non-metallic inorganic material) such as mullite and a double-sided copper-coated glass epoxy substrate can be used.

粘着シート1pは、支持体2A上に載置されて吸引装置3により吸引されることで平面度が高くなるため、その状態でレーザ加工を施すことにより、貫通孔13を高精度で形成することが可能となる。吸引装置3による吸引力は、粘着シート1pを支持体2A上に吸着・固定するとともに、デブリーを吸引除去することができれば、特に限定されるものではない。   Since the pressure-sensitive adhesive sheet 1p is placed on the support 2A and sucked by the suction device 3 to increase the flatness, by performing laser processing in that state, the through-hole 13 can be formed with high accuracy. Is possible. The suction force by the suction device 3 is not particularly limited as long as the adhesive sheet 1p can be sucked and fixed on the support 2A and the debris can be sucked and removed.

レーザ光照射装置Rの種類は特に限定されるものではなく、例えば、炭酸ガス(CO)レーザ、TEA−COレーザ、YAGレーザ、UV−YAGレーザ、エキシマレーザ、半導体レーザ、YVOレーザ、YLFレーザ、フェムト秒レーザ等を利用することができる。 Kind of laser beam irradiation device R is not particularly limited, for example, carbon dioxide (CO 2) laser, TEA-CO 2 laser, YAG laser, UV-YAG laser, excimer laser, semiconductor laser, YVO 4 laser, A YLF laser, a femtosecond laser, or the like can be used.

本実施形態では、粘着シート1pに複数の貫通孔13を形成するにあたり、レーザ光照射装置Rを移動させてもよいし、支持体2A(吸引装置3)を移動させてもよいが、いずれの場合であっても、レーザ光の照射位置が支持体2Aの吸引孔21Aの位置に一致するように移動させる必要がある。   In the present embodiment, when forming the plurality of through holes 13 in the pressure-sensitive adhesive sheet 1p, the laser beam irradiation device R may be moved, or the support 2A (suction device 3) may be moved. Even in this case, it is necessary to move the laser light so that the irradiation position coincides with the position of the suction hole 21A of the support 2A.

なお、粘着剤層12には、所望により剥離材を積層してもよいが、レーザ光照射時には剥離材は粘着剤層12から剥離しておくことが好ましい。剥離材を粘着剤層12に積層した状態で剥離材側からレーザ光を照射した場合、剥離材の材質によっては、剥離材の貫通孔13開口部周縁に形成されるドロスが、粘着剤層12の貫通孔13開口部を拡げてしまうことがあり、この場合、粘着シート1に形成される貫通孔13の孔径や孔密度の精度が低くなってしまう。また、粘着剤層12の貫通孔13開口部が拡がると、貫通孔13の内部空間が大きくなり、粘着シート1を被着体に貼付した後に、貫通孔13中の空気や貫通孔13中に入った水等が粘着シート1の表面に何らかの影響を与えるおそれがある。   Note that a release material may be laminated on the pressure-sensitive adhesive layer 12 as desired, but it is preferable that the release material is peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer 12 at the time of laser light irradiation. When laser light is irradiated from the release material side in a state where the release material is laminated on the adhesive layer 12, depending on the material of the release material, dross formed at the periphery of the opening of the through hole 13 of the release material may be In this case, the accuracy of the hole diameter and hole density of the through holes 13 formed in the pressure-sensitive adhesive sheet 1 is lowered. Moreover, if the opening part of the through-hole 13 of the adhesive layer 12 spreads, the internal space of the through-hole 13 will become large, and after sticking the adhesive sheet 1 to a to-be-adhered body, in the air in the through-hole 13, and the through-hole 13 There is a possibility that the water or the like entered may have some influence on the surface of the pressure-sensitive adhesive sheet 1.

これに対し、図1に示すように、粘着剤層12に対して直接レーザ光を照射すれば、粘着剤層12の貫通孔13開口部が拡がることがなく、孔径や孔密度の精度が高く、内部空間の小さい貫通孔13を形成することができる。また、粘着剤層12に対するレーザ光照射において、剥離材を介在させないことにより、レーザ光の照射時間を短縮すること、またはレーザの出力エネルギーを小さくすることができる。レーザの出力エネルギーが小さければ、粘着剤層12および基材11に対する熱影響が小さくなり、熱変形等の少ない、形の整った貫通孔13を形成することが可能となる。なお、貫通孔13を形成した後、粘着剤層12には再度剥離材を貼り付けてもよい。   On the other hand, as shown in FIG. 1, if the adhesive layer 12 is directly irradiated with laser light, the opening of the through hole 13 of the adhesive layer 12 does not expand, and the accuracy of the hole diameter and the hole density is high. Through holes 13 having a small internal space can be formed. In addition, in the laser light irradiation to the adhesive layer 12, by not interposing the release material, the laser light irradiation time can be shortened or the output energy of the laser can be reduced. If the output energy of the laser is small, the thermal effect on the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the substrate 11 is small, and it is possible to form a well-shaped through-hole 13 with little thermal deformation or the like. In addition, after forming the through-hole 13, you may affix a peeling material on the adhesive layer 12 again.

以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート1においては、全ての貫通孔13について、レーザ光反射、蓄熱等による基材11表面における貫通孔13の周縁部の熱変形等や、基材11表面における貫通孔13の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、粘着シート1の外観が非常に良好なものとなる。   In the through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet 1 obtained as described above, for all the through-holes 13, thermal deformation of the peripheral portion of the through-hole 13 on the surface of the base material 11 due to laser light reflection, heat storage, etc. Since debris adhesion to the peripheral edge portion of the through-hole 13 on the surface is prevented, the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 becomes very good.

また、上記貫通孔形成粘着シート1においては、貫通孔13が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層12の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔13からスムーズに基材11表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。   Moreover, in the said through-hole formation adhesive sheet 1, since the through-hole 13 is formed reliably, the gas generate | occur | produced from the air between a to-be-adhered body and the adhesive surface of the adhesive layer 12, or a to-be-adhered body is The through hole 13 can be smoothly removed to the outside of the surface of the base material 11, so that air pockets and blisters can be easily prevented or removed.

〔第2の実施形態〕
図3は、本発明の第2の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図4は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
[Second Embodiment]
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an apparatus for producing a through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing a pressure-sensitive adhesive sheet support in the same embodiment.

本実施形態では、図3に示すように、基材11と、粘着剤層12とを積層してなる粘着シート1pを、吸引装置3の吸着ステージ2B上に設けられた多孔質支持体4上に載置し、吸引装置3により多孔質支持体4を介して粘着シート1pを吸引しながら当該粘着シート1pに対してレーザ光照射装置Rからレーザ光を照射して、粘着剤層12および基材11を貫通する貫通孔13を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート1とする。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the pressure-sensitive adhesive sheet 1 p formed by laminating the base material 11 and the pressure-sensitive adhesive layer 12 is placed on the porous support 4 provided on the suction stage 2 </ b> B of the suction device 3. The pressure-sensitive adhesive sheet 1p is irradiated with laser light from the laser light irradiation device R while sucking the pressure-sensitive adhesive sheet 1p through the porous support 4 by the suction device 3, and the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the substrate A plurality of through holes 13 penetrating the material 11 are formed to form the through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet 1.

基材11、粘着剤層12および貫通孔13に関しては、上記第1の実施形態と同じであるため、ここでは説明を省略する(以下の実施形態にて同じ)。   Since the base material 11, the pressure-sensitive adhesive layer 12, and the through-hole 13 are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted here (the same applies to the following embodiments).

本実施形態における多孔質支持体4は、連続空隙を有する多孔質の材料からなり、図4に示すように、シート状の形状を有し、当該多孔質支持体4を厚さ方向に貫通する貫通孔41が複数形成されてなる。   The porous support 4 in the present embodiment is made of a porous material having continuous voids, has a sheet shape as shown in FIG. 4, and penetrates the porous support 4 in the thickness direction. A plurality of through holes 41 are formed.

このような多孔質支持体4を介して吸引装置3により粘着シート1pを吸引することにより、粘着シート1p全体を吸引して粘着シート1pを確実に固定し、貫通孔13の精度をより高いものとすることができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着剤層12および基材11のデブリーの吸引除去性を格段に向上させることができ、当該デブリーが基材11表面における貫通孔13の周縁部に付着することを極めて効果的に防止することができる。また、粘着シート1pと吸着ステージ2Bとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも効果的に防止することができる。   By sucking the adhesive sheet 1p by the suction device 3 through such a porous support 4, the entire adhesive sheet 1p is sucked to securely fix the adhesive sheet 1p, and the accuracy of the through holes 13 is higher. And the suction removal property of the debris of the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 generated by the laser light irradiation can be remarkably improved, and the debris is the peripheral portion of the through hole 13 on the surface of the base material 11 It can prevent very effectively that it adheres to. Further, it is possible to effectively prevent the heat of the laser light from being stored between the adhesive sheet 1p and the suction stage 2B.

多孔質支持体4を構成する材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリウレタン、ポリアクリル、ポリエステル、ポリ塩化ビニル等からなる連続気泡を有する樹脂シートの他、紙、不織布、織布等の繊維集合体などを使用するができる。それらの中でも、連続気泡を有する樹脂シートであって、平面度が高く、耐熱性に優れたものを使用することが好ましい。   Examples of the material constituting the porous support 4 include paper, nonwoven fabric, woven fabric, and the like, in addition to a resin sheet having open cells made of polyolefin such as polyethylene and polypropylene, polyurethane, polyacryl, polyester, polyvinyl chloride, and the like. The fiber assembly can be used. Among them, it is preferable to use a resin sheet having open cells, which has high flatness and excellent heat resistance.

多孔質支持体4の端面部42は、通気性が低くなるように加工されていることが好ましい。これにより、多孔質支持体4の端面部42からの空気吸引量が減るため、粘着シート1pの吸引をより効率良く行うことができる。このような加工は、多孔質支持体4の端面部42に樹脂等を塗布することにより、あるいは、多孔質支持体4が熱可塑性樹脂からなる場合には、多孔質支持体4の端面部42を熱溶融させて連続気泡を潰すことにより行うことができる。   The end surface portion 42 of the porous support 4 is preferably processed so that the air permeability is low. Thereby, since the air suction | attraction amount from the end surface part 42 of the porous support body 4 reduces, the suction of the adhesive sheet 1p can be performed more efficiently. Such processing is performed by applying a resin or the like to the end face portion 42 of the porous support 4, or when the porous support 4 is made of a thermoplastic resin, the end face portion 42 of the porous support 4. Can be carried out by thermally melting and crushing open cells.

本実施形態における多孔質支持体4の貫通孔41は、粘着シート1pにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。多孔質支持体4がこのような構成を有することにより、粘着剤層12および基材11を貫通したレーザ光が多孔質支持体4に当たり、そのレーザ光照射による多孔質支持体4のデブリーが貫通孔13の周縁部に付着して粘着シート1の外観が悪化することを、全ての貫通孔13について防止することができる。   The through holes 41 of the porous support 4 in the present embodiment are formed at positions corresponding to all portions of the adhesive sheet 1p that are irradiated with laser light. Since the porous support 4 has such a configuration, the laser beam penetrating the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 hits the porous support 4 and the debris of the porous support 4 by the laser beam irradiation penetrates. It can prevent about all the through-holes 13 that it adheres to the peripheral part of the hole 13, and the external appearance of the adhesive sheet 1 deteriorates.

貫通孔41の孔径は、貫通孔13の基材11表面における孔径(ドロスを含む孔径)をDtとしたときに、1×Dt〜50×Dtであることが好ましく、特に1×Dt〜30×Dtであることが好ましい。貫通孔41の孔径が1×Dt未満であると、レーザ光照射による多孔質支持体4のデブリーが貫通孔13の周縁部に付着するおそれがあり、貫通孔41の孔径が50×Dtを超えると、貫通孔13の周縁部が貫通孔41の空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。   The hole diameter of the through hole 41 is preferably 1 × Dt to 50 × Dt, particularly 1 × Dt to 30 ×, where Dt is the hole diameter (hole diameter including dross) on the surface of the base material 11 of the through hole 13. Dt is preferred. If the hole diameter of the through hole 41 is less than 1 × Dt, debris of the porous support 4 due to laser light irradiation may adhere to the peripheral edge of the through hole 13, and the hole diameter of the through hole 41 exceeds 50 × Dt. Then, there is a possibility that the peripheral portion of the through hole 13 is deformed so as to be convex toward the space portion side of the through hole 41.

多孔質支持体4の厚さは、150μm以上であることが好ましい。多孔質支持体4がかかる厚さを有することにより、多孔質支持体4に形成されている貫通孔41の高さも150μm以上となり、粘着シート1pにおけるレーザ光入射面の反対面(基材11表面)の下側に深さが150μm以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光が吸着ステージ2Bの表面で反射しても基材11表面にダメージを与えることはなく、また、粘着シート1pと吸着ステージ2Bとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材11表面における貫通孔13の周縁部が熱変形等して粘着シート1の外観が悪化することが防止される。   The thickness of the porous support 4 is preferably 150 μm or more. Since the porous support 4 has such a thickness, the height of the through hole 41 formed in the porous support 4 is also 150 μm or more, and the surface opposite to the laser light incident surface (the surface of the base material 11) in the adhesive sheet 1p. ), A space having a depth of 150 μm or more exists. Thereby, even if the laser beam is reflected on the surface of the suction stage 2B, the surface of the substrate 11 is not damaged, and the heat of the laser beam can be stored between the adhesive sheet 1p and the suction stage 2B. It is suppressed. Therefore, it is possible to prevent the peripheral portion of the through-hole 13 on the surface of the base material 11 from being thermally deformed and the appearance of the adhesive sheet 1 from being deteriorated.

多孔質支持体4の特に好ましい厚さは、150〜3000μmである。多孔質支持体4の厚さが厚すぎると、厚さのばらつきが大きくなり、所望の孔径の貫通孔が得られ難くなるおそれがある。   A particularly preferable thickness of the porous support 4 is 150 to 3000 μm. If the thickness of the porous support 4 is too thick, the variation in thickness becomes large, and it may be difficult to obtain a through hole having a desired hole diameter.

上記多孔質支持体4は、吸引装置3における吸引ボックス31の吸着ステージ2B上に載置される。吸着ステージ2Bには、当該吸着ステージ2Bを厚さ方向に貫通する吸引孔21Bが複数形成されているが、本実施形態では、粘着シート1pと吸着ステージ2Bとの間に前述した多孔質支持体4が介在しているため、吸着ステージ2Bの吸引孔21Bは、粘着シート1pにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている必要はない。したがって、吸着ステージ2Bは、当該貫通孔形成粘着シート1専用のものにする必要はなく、また、吸引装置3としては、既存のものを使用することができる。   The porous support 4 is placed on the suction stage 2 </ b> B of the suction box 31 in the suction device 3. A plurality of suction holes 21B penetrating the suction stage 2B in the thickness direction are formed in the suction stage 2B. In the present embodiment, the porous support described above is provided between the adhesive sheet 1p and the suction stage 2B. 4 is interposed, the suction holes 21B of the suction stage 2B do not need to be formed at positions corresponding to all the portions of the adhesive sheet 1p that are irradiated with the laser light. Therefore, the suction stage 2B does not need to be dedicated to the through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet 1, and an existing one can be used as the suction device 3.

以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート1においては、全ての貫通孔13について、レーザ光反射、蓄熱等による基材11表面における貫通孔13の周縁部の熱変形等や、基材11表面における貫通孔13の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、粘着シート1の外観が非常に良好なものとなる。また、上記貫通孔形成粘着シート1においては、貫通孔13が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層12の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔13からスムーズに基材11表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。   In the through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet 1 obtained as described above, for all the through-holes 13, thermal deformation of the peripheral portion of the through-hole 13 on the surface of the base material 11 due to laser light reflection, heat storage, etc. Since debris adhesion to the peripheral edge portion of the through-hole 13 on the surface is prevented, the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 becomes very good. Moreover, in the said through-hole formation adhesive sheet 1, since the through-hole 13 is formed reliably, the gas generate | occur | produced from the air between a to-be-adhered body and the adhesive surface of the adhesive layer 12, or a to-be-adhered body is The through hole 13 can be smoothly removed to the outside of the surface of the base material 11, so that air pockets and blisters can be easily prevented or removed.

なお、上記多孔質支持体4の替わりに、上記第1の実施形態における支持体2Aの材料と同様の材料からなる非多孔質の支持体を使用することもできる。   Instead of the porous support 4, a non-porous support made of the same material as that of the support 2A in the first embodiment can be used.

この場合には、吸着ステージ2Bの表面(非多孔質支持体側の面)または非多孔質支持体の裏面(吸着ステージ2B側の面)は粗面となっていることが好ましい。吸着ステージ2Bの表面または非多孔質支持体の裏面がこのように粗面となっていることにより、非多孔質支持体の吸引孔の位置と吸着ステージ2Bの吸引孔の位置が一致していなくても、吸着ステージ2Bと非多孔質支持体の界面を介して非多孔質支持体の吸引孔から吸引することが可能となる。具体的には、吸着ステージ2Bまたは非多孔質支持体の裏面の表面粗さ(Ra)は、0.05〜5μmであることが好ましく、特に0.1〜3μmであることが好ましい。   In this case, the surface of the adsorption stage 2B (surface on the nonporous support side) or the back surface of the nonporous support (surface on the adsorption stage 2B side) is preferably a rough surface. Since the surface of the adsorption stage 2B or the back surface of the non-porous support body is thus rough, the position of the suction holes of the non-porous support body and the position of the suction holes of the adsorption stage 2B do not match. However, it is possible to suck from the suction holes of the non-porous support through the interface between the adsorption stage 2B and the non-porous support. Specifically, the surface roughness (Ra) of the back surface of the adsorption stage 2B or the non-porous support is preferably 0.05 to 5 μm, and particularly preferably 0.1 to 3 μm.

〔第3の実施形態〕
図5は、本発明の第3の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。
本実施形態に係る支持体2Cは、図5に示すように、平板状の形状を有し、支持体2Cの表面側には溝22Cが格子状に形成されている。粘着シート1pは、この支持体2C上に載置されてレーザ光が照射されるが、溝22Cは、粘着シート1pにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。また、溝22Cの深さは150μm以上であることが好ましい。
[Third Embodiment]
FIG. 5 is a perspective view showing an adhesive sheet support according to the third embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 5, the support 2C according to the present embodiment has a flat plate shape, and grooves 22C are formed in a lattice pattern on the surface side of the support 2C. The adhesive sheet 1p is placed on the support 2C and irradiated with laser light, but the grooves 22C are formed at positions corresponding to all portions of the adhesive sheet 1p irradiated with laser light. Further, the depth of the groove 22C is preferably 150 μm or more.

支持体2Cが上記のような構成を有することにより、粘着シート1pにおけるレーザ光入射面の反対面(基材11表面)の下側に深さが150μm以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光は粘着剤層12および基材11を貫通して確実に貫通孔13を形成することができるとともに、レーザ光が支持体2Cの表面で反射することなく、また溝22Cの底面で反射しても基材11表面にダメージを与えることはなく、さらには、粘着シート1pと支持体2Cとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材11表面における貫通孔13の周縁部が熱変形等して粘着シート1の外観が悪化することを、全ての貫通孔13について防止することができる。   When the support 2C has the above-described configuration, a space having a depth of 150 μm or more exists below the surface opposite to the laser light incident surface (the surface of the base material 11) in the adhesive sheet 1p. Thereby, the laser beam can penetrate the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 to form the through hole 13 with certainty, and the laser beam is not reflected on the surface of the support 2C, and the bottom surface of the groove 22C. Even if the light is reflected, the surface of the base material 11 is not damaged, and further, the heat of the laser light is suppressed from being stored between the adhesive sheet 1p and the support 2C. Therefore, it can prevent about the through-hole 13 that the peripheral part of the through-hole 13 in the base material 11 surface heat-deforms etc., and the external appearance of the adhesive sheet 1 deteriorates.

溝22Cの特に好ましい深さは、300μm以上である。また、溝22Cの幅は、貫通孔13の基材11表面における孔径(ドロスを含む孔径)をDtとしたときに、1×Dt〜50×Dtであることが好ましく、特に1×Dt〜30×Dtであることが好ましい。溝22Cの幅が1×Dt未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、溝22Cの幅が50×Dtを超えると、貫通孔13の周縁部が溝22Cの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。   A particularly preferable depth of the groove 22C is 300 μm or more. Further, the width of the groove 22C is preferably 1 × Dt to 50 × Dt, particularly 1 × Dt to 30 when the hole diameter (hole diameter including dross) of the through hole 13 on the surface of the base material 11 is Dt. XDt is preferred. If the width of the groove 22C is less than 1 × Dt, problems such as laser light reflection and heat storage may occur. If the width of the groove 22C exceeds 50 × Dt, the peripheral portion of the through hole 13 is the space of the groove 22C. There is a risk of deformation so as to be convex on the part side.

支持体2Cの材料としては、上記第1の実施形態における支持体2Aの材料または上記第2の実施形態における多孔質支持体4の材料と同様のものを使用することができる。   As the material of the support 2C, the same material as the material of the support 2A in the first embodiment or the material of the porous support 4 in the second embodiment can be used.

ここで、レーザ加工時、支持体2Cが非多孔質の材料からなる場合には、支持体2Cにおける溝22Cの側端開口部から吸引を行うことが好ましく、支持体2Cが多孔質の材料からなる場合には、支持体2Cの裏面側から吸引を行うことが好ましい。このような吸引を行うことにより、上記のような蓄熱がより起こり難くなり、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層12および基材11のデブリーが吸引除去されて、当該デブリーが基材11表面における貫通孔13の周縁部に付着することが抑制される。   Here, at the time of laser processing, when the support 2C is made of a non-porous material, suction is preferably performed from the side end opening of the groove 22C in the support 2C, and the support 2C is made of a porous material. In this case, it is preferable to perform suction from the back side of the support 2C. By performing such suction, the above heat storage is less likely to occur, and the debris of the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 generated by the laser light irradiation is sucked and removed, so that the debris becomes the base material 11. It is suppressed that it adheres to the peripheral part of the through-hole 13 in the surface.

なお、上記支持体2Cの替わりに、図6に示すような支持体2Dを使用することもできる。支持体2Dには、支持体2Cと同様の溝22Dが形成されているとともに、溝22Dの底面から支持体2Dの裏面にかけて貫通する吸引孔21Dが複数形成されている。吸引孔21Dの孔径は、吸引が可能な限り特に限定されるものではない。かかる支持体2Dは、上記第1の実施形態における支持体2Aのように、吸引装置における吸着ステージを構成し得る。   Instead of the support 2C, a support 2D as shown in FIG. 6 can be used. A groove 22D similar to the support 2C is formed in the support 2D, and a plurality of suction holes 21D penetrating from the bottom surface of the groove 22D to the back surface of the support 2D are formed. The hole diameter of the suction hole 21D is not particularly limited as long as suction is possible. Such a support 2D can constitute an adsorption stage in the suction device, like the support 2A in the first embodiment.

上記支持体2Dによれば、粘着シート1pの平面方向の位置の如何によらず、上記のような蓄熱がより起こり難くなり、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層12および基材11のデブリーを効果的に吸引除去することができる。   According to the support 2D, the heat storage as described above is less likely to occur regardless of the position of the pressure-sensitive adhesive sheet 1p in the plane direction, and the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the base material 11 generated by laser light irradiation are less likely to occur. Debris can be effectively removed by suction.

〔第4の実施形態〕
図7は、本発明の第4の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図8は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図であり、図9は、同実施形態における粘着シート支持体の溝部近傍の拡大図である。
[Fourth Embodiment]
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an apparatus for producing a through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a perspective view showing a pressure-sensitive adhesive sheet support in the same embodiment. These are the enlarged views of the groove part vicinity of the adhesive sheet support body in the embodiment.

本実施形態に係る貫通孔形成粘着シート製造装置は、図7に示すように、複数のロール状の支持体5Eと、支持体5Eの相互間に設けられた吸引搬送装置(サクションベルト)7と、支持体5Eの上方に設けられたレーザ光照射装置Rとを備えている。本実施形態では、図7および図9に示すように、基材11と、粘着剤層12とを積層してなる長尺の粘着シート1pを、吸引搬送装置7によって下方に吸引してロール状の支持体5Eの上部外周面に密着させながら搬送し、粘着シート1pの支持体5Eとの密着部近傍に対してレーザ光照射装置Rからレーザ光を照射して、粘着剤層12および基材11を貫通する貫通孔13を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート1とする。   As shown in FIG. 7, the through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a plurality of roll-shaped supports 5E and a suction conveyance device (suction belt) 7 provided between the supports 5E. And a laser beam irradiation device R provided above the support 5E. In this embodiment, as shown in FIG. 7 and FIG. 9, a long pressure-sensitive adhesive sheet 1 p formed by laminating a base material 11 and a pressure-sensitive adhesive layer 12 is sucked downward by a suction conveyance device 7 to form a roll. The adhesive layer 12 and the base material are conveyed while being in close contact with the upper outer peripheral surface of the support 5E and irradiating a laser beam from the laser light irradiation device R to the vicinity of the contact portion of the adhesive sheet 1p with the support 5E. A plurality of through-holes 13 penetrating through 11 are formed to form a through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet 1.

図8に示すように、ロール状の支持体5Eは、全体として円筒状になっている。ロール状の支持体5Eには、その周方向に沿って溝52Eが複数形成されており、また、図8および図9に示すように、溝52Eの底面から支持体5Eの内壁にかけて貫通する吸引孔51Eが複数形成されている。   As shown in FIG. 8, the roll-shaped support body 5E has a cylindrical shape as a whole. A plurality of grooves 52E are formed along the circumferential direction of the roll-shaped support body 5E, and as shown in FIGS. 8 and 9, suction that penetrates from the bottom surface of the groove 52E to the inner wall of the support body 5E. A plurality of holes 51E are formed.

上記溝52Eは、粘着シート1pにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。また、溝52Eの深さは150μm以上であることが好ましい。   The said groove | channel 52E is formed in the position corresponding to all the parts irradiated with a laser beam in the adhesive sheet 1p. The depth of the groove 52E is preferably 150 μm or more.

支持体5Eが上記のような構成を有することにより、粘着シート1pにおけるレーザ光入射面の反対面(基材11表面)の下側に深さが150μm以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光は粘着剤層12および基材11を貫通して確実に貫通孔13を形成することができるとともに、レーザ光が支持体5Eの表面で反射することなく、また溝52Eの底面で反射しても基材11表面にダメージを与えることはなく、さらには、粘着シート1pと支持体5Eとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材11表面における貫通孔13の周縁部が熱変形等して粘着シート1の外観が悪化することを、全ての貫通孔13について防止することができる。特に本実施形態では、支持体5Eの吸引孔51Eから吸引を行うため、上記のような蓄熱が起こり難く、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層12および基材11のデブリーが吸引除去されて、当該デブリーが基材11表面における貫通孔13の周縁部に付着することが効果的に防止される。   When the support 5E has the above-described configuration, a space having a depth of 150 μm or more exists below the surface opposite to the laser light incident surface (the surface of the base material 11) in the adhesive sheet 1p. As a result, the laser beam can surely pass through the adhesive layer 12 and the base material 11 to form the through hole 13, and the laser beam is not reflected by the surface of the support 5E, and the bottom surface of the groove 52E. Even if the light is reflected, the surface of the base material 11 is not damaged, and further, the heat of the laser light is suppressed from being stored between the adhesive sheet 1p and the support 5E. Therefore, it can prevent about the through-hole 13 that the peripheral part of the through-hole 13 in the base material 11 surface heat-deforms etc., and the external appearance of the adhesive sheet 1 deteriorates. In particular, in the present embodiment, since the suction is performed from the suction hole 51E of the support 5E, the heat storage as described above hardly occurs, and the adhesive layer 12 and the debris of the base material 11 generated by the laser light irradiation are sucked and removed. Thus, the debris is effectively prevented from adhering to the peripheral edge portion of the through hole 13 on the surface of the base material 11.

溝52Eの特に好ましい深さは、300μm以上である。また、溝52Eの幅は、貫通孔13の基材11表面における孔径(ドロスを含む孔径)をDtとしたときに、1×Dt〜50×Dtであることが好ましく、特に1×Dt〜30×Dtであることが好ましい。溝52Eの幅が1×Dt未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、溝52Eの幅が50×Dtを超えると、貫通孔13の周縁部が溝52Eの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。   A particularly preferable depth of the groove 52E is 300 μm or more. The width of the groove 52E is preferably 1 × Dt to 50 × Dt, particularly 1 × Dt to 30 when the hole diameter (hole diameter including dross) on the surface of the base material 11 of the through hole 13 is Dt. XDt is preferred. If the width of the groove 52E is less than 1 × Dt, problems such as laser light reflection and heat storage may occur, and if the width of the groove 52E exceeds 50 × Dt, the peripheral portion of the through hole 13 is the space of the groove 52E. There is a risk of deformation so as to be convex on the part side.

一方、吸引孔51Eの孔径は、吸引が可能な限り特に限定されるものではなく、図8および図9に示すように、溝52Eの幅よりも小さくてもよいし、図10に示す支持体5Fの吸引孔51Fのように、溝52Fの幅よりも大きくてもよい。   On the other hand, the hole diameter of the suction hole 51E is not particularly limited as long as suction is possible, and may be smaller than the width of the groove 52E as shown in FIGS. 8 and 9, or the support shown in FIG. Like the 5F suction hole 51F, it may be larger than the width of the groove 52F.

なお、支持体5Eに溝52Eを設けることなく吸引孔51Eのみを設け、吸引孔51E上に位置する粘着シート1pに対してレーザ光を照射することにより、上記と同様の効果を得ることも可能であるが、その場合には、支持体5Eの回転角(吸引孔51Eの位置)とレーザ光照射のタイミングに高い精度が要求されることとなる。   It is possible to obtain the same effect as described above by providing only the suction hole 51E without providing the groove 52E in the support 5E and irradiating the adhesive sheet 1p positioned on the suction hole 51E with laser light. However, in that case, high accuracy is required for the rotation angle of the support 5E (position of the suction hole 51E) and the timing of laser beam irradiation.

支持体5Eの径は、特に限定されるものではないが、通常は半径2.5〜30cm程度であり、好ましくは半径3〜25cm程度である。   The diameter of the support 5E is not particularly limited, but is usually about 2.5 to 30 cm in radius, and preferably about 3 to 25 cm in radius.

支持体5Eの材料としては、上記第1の実施形態における支持体2Aの材料と同様のものを使用することができる。   As a material of the support 5E, the same material as that of the support 2A in the first embodiment can be used.

本実施形態では、支持体5Eの内部に、上部が側面視扇状に切り欠かれて吸引部61となっている芯体6が設けられており、支持体5Eはこの芯体6の周りを回転する。この芯体6の吸引部61から吸引することにより、支持体5Eの上部に位置する吸引孔51Eを介して粘着シート1pが吸引され、吸引搬送装置7による吸引と相まって、支持体5Eの上部外周面に粘着シート1pが密着する。   In the present embodiment, the core body 6 is provided in the support body 5E so that the upper portion is cut out in a fan shape when viewed from the side to form the suction portion 61, and the support body 5E rotates around the core body 6 To do. By sucking from the suction portion 61 of the core body 6, the adhesive sheet 1 p is sucked through the suction hole 51 </ b> E located at the upper part of the support body 5 </ b> E, and coupled with suction by the suction transport device 7, the upper outer periphery of the support body 5 </ b> E The adhesive sheet 1p is in close contact with the surface.

粘着シート1pに対するレーザ光照射位置は、上記のように支持体5Eに密着している粘着シート1pの当該密着部分の近傍とすることが好ましい。このような位置にレーザ光を照射することにより、粘着シート1pの上下方向の振れがなく、貫通孔13を高い精度で形成することができる。   It is preferable that the laser beam irradiation position with respect to the adhesive sheet 1p is in the vicinity of the contact portion of the adhesive sheet 1p that is in close contact with the support 5E as described above. By irradiating such a position with laser light, the adhesive sheet 1p does not shake in the vertical direction, and the through hole 13 can be formed with high accuracy.

本実施形態では、粘着シート1pに複数の貫通孔13を形成するにあたり、レーザ光照射装置Rを支持体5Eの軸方向に移動させるのが一般的である。また、本実施形態ではレーザ光照射装置Rは複数存在するが、各レーザ光照射装置Rのレーザ光照射位置の区分けは特に限定されるものではなく、粘着シート1pの長手方向で区分けしてもよいし、粘着シート1pの短手方向で区分けしてもよいし、粘着シート1pの長手方向および短手方向の両方で区分けしてもよい。   In this embodiment, when forming the several through-hole 13 in the adhesive sheet 1p, it is common to move the laser beam irradiation apparatus R to the axial direction of the support body 5E. In the present embodiment, there are a plurality of laser light irradiation devices R. However, the laser light irradiation position of each laser light irradiation device R is not particularly limited, and may be divided in the longitudinal direction of the adhesive sheet 1p. It may be divided in the short direction of the adhesive sheet 1p, or may be divided in both the longitudinal direction and the short direction of the adhesive sheet 1p.

本実施形態のように、長尺の粘着シート1pに対して複数の各レーザ光照射装置Rを使用して連続的に貫通孔13を形成することにより、貫通孔形成粘着シート1を非常に効率良く製造することができる。   Like this embodiment, the through-hole formation adhesive sheet 1 is made very efficient by continuously forming the through-holes 13 on the long adhesive sheet 1p using a plurality of laser light irradiation devices R. Can be manufactured well.

以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート1においては、全ての貫通孔13について、レーザ光反射、蓄熱等による基材11表面における貫通孔13の周縁部の熱変形等や、基材11表面における貫通孔13の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、貫通孔形成粘着シート1の外観が非常に良好なものとなる。また、上記貫通孔形成粘着シート1においては、貫通孔13が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層12の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔13からスムーズに基材11表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。   In the through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet 1 obtained as described above, for all the through-holes 13, thermal deformation of the peripheral portion of the through-hole 13 on the surface of the base material 11 due to laser light reflection, heat storage, etc. Since debris is prevented from adhering to the peripheral edge of the through hole 13 on the surface, the appearance of the through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet 1 becomes very good. Moreover, in the said through-hole formation adhesive sheet 1, since the through-hole 13 is formed reliably, the gas generate | occur | produced from the air between a to-be-adhered body and the adhesive surface of the adhesive layer 12, or a to-be-adhered body is The through hole 13 can be smoothly removed to the outside of the surface of the base material 11, so that air pockets and blisters can be easily prevented or removed.

なお、上記ロール状の支持体5Eの替わりに、図11に示すようなロール状の支持体5Gを使用することもできる。支持体5Gには、支持体5Eと同様の溝52Gが形成されているが、吸引孔は形成されていない。かかる支持体5Gを使用しても、全ての貫通孔13について、レーザ光反射、蓄熱等による基材11表面における貫通孔13の周縁部の熱変形等が防止されるため、粘着シート1の外観は良好なものとなる。   In place of the roll-shaped support 5E, a roll-shaped support 5G as shown in FIG. 11 can also be used. A groove 52G similar to that of the support 5E is formed in the support 5G, but no suction hole is formed. Even when such a support 5G is used, since the thermal deformation of the peripheral portion of the through hole 13 on the surface of the base material 11 due to laser light reflection, heat storage, etc. is prevented for all the through holes 13, the appearance of the pressure-sensitive adhesive sheet 1 Will be good.

また、上記実施形態において、吸引搬送装置7は、剥離材を積層していない粘着シート1pの粘着剤層12に対して直接レーザ光を照射する場合に有効な手段であり、この場合、粘着剤層12の貫通孔13には前述した剥離材による不具合は生じない。しかし、吸引搬送装置7の替わりに、粘着剤層12が貼り付き難い材料からなる回転ロールを粘着剤層12側(粘着シート1pを挟んで支持体5Eの反対側)に設けてもよいし、粘着剤層12上に剥離材を積層した場合には、通常の回転ロールを粘着剤層12側に設けてもよい。   Moreover, in the said embodiment, the suction conveyance apparatus 7 is an effective means when irradiating a laser beam directly with respect to the adhesive layer 12 of the adhesive sheet 1p which has not laminated | stacked the peeling material, In this case, an adhesive is used. The through holes 13 of the layer 12 do not have the above-described problems due to the release material. However, instead of the suction conveyance device 7, a rotary roll made of a material to which the adhesive layer 12 is difficult to stick may be provided on the adhesive layer 12 side (opposite side of the support 5E with the adhesive sheet 1p interposed), When a release material is laminated on the pressure-sensitive adhesive layer 12, a normal rotating roll may be provided on the pressure-sensitive adhesive layer 12 side.

〔その他の実施形態〕
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
[Other Embodiments]
The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

例えば、図5に示す支持体2Cの溝22Cまたは図6に示す支持体2Dの溝22Dは、格子状ではなく、一方向のみに延在するように形成されていてもよいし、また、支持体2Dの吸引孔21Dの径は、溝22Dの幅よりも大きくてもよい(図10参照)。   For example, the groove 22C of the support body 2C shown in FIG. 5 or the groove 22D of the support body 2D shown in FIG. 6 may be formed so as to extend only in one direction instead of the lattice shape. The diameter of the suction hole 21D of the body 2D may be larger than the width of the groove 22D (see FIG. 10).

以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example etc. demonstrate this invention further more concretely, the scope of the present invention is not limited to these Examples etc.

〔粘着シートの作製〕
アクリル系粘着剤(日本合成化学工業社製,コーポニールN−2147,固形分:35質量%)100質量部に酢酸エチル25質量部を配合し、次いでイソシアネート系架橋剤(日本ポリウレタン工業社製,コロネートL)を1質量部配合し、十分に攪拌して粘着剤の塗布剤とした。
[Preparation of adhesive sheet]
25 parts by mass of ethyl acetate is blended with 100 parts by mass of an acrylic pressure-sensitive adhesive (manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd., Coponil N-2147, solid content: 35% by mass), and then an isocyanate-based crosslinking agent (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., 1 part by mass of Coronate L) was mixed and sufficiently stirred to obtain a pressure-sensitive adhesive coating agent.

上質紙の両面をポリエチレンでラミネートし、片面にシリコーン系剥離剤を塗布した剥離材(リンテック社製,FPM−11,厚さ:175μm)の剥離処理面に、上記粘着剤の塗布剤を乾燥後の厚さが30μmになるようにナイフコーターによって塗布し、90℃で1分間乾燥させた。このようにして形成した粘着剤層に、ポリ塩化ビニルからなる黒色不透明の基材(厚さ:100μm)を圧着し、これを粘着シートとした。   After drying the pressure-sensitive adhesive coating agent on the release-treated surface of a release material (Lintec Corp., FPM-11, thickness: 175 μm), which is laminated with polyethylene on both sides of fine paper and coated with a silicone release agent on one side The film was coated with a knife coater so as to have a thickness of 30 μm, and dried at 90 ° C. for 1 minute. A black opaque base material (thickness: 100 μm) made of polyvinyl chloride was pressure-bonded to the pressure-sensitive adhesive layer thus formed, and this was used as a pressure-sensitive adhesive sheet.

〔実施例1〕
粘着シートの支持体として、両面銅貼りガラスエポキシ基板(日立化成工業社製,FR−4,厚さ1.6mm)に、0.3mmφの貫通孔を2mmピッチで形成したものを用意し、吸引装置(図3参照)における吸引ボックスの吸着ステージ上に載置した。なお、吸着ステージは、表面にアルマイトが形成された厚さ10mm、表面粗さ(Ra)0.7μmのアルミニウム合金からなり、3mmφの吸引孔が20mmピッチで形成されたものであった。
[Example 1]
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a double-sided copper-coated glass epoxy substrate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., FR-4, thickness 1.6 mm) with 0.3 mmφ through-holes formed at a 2 mm pitch is prepared and suctioned. It mounted on the adsorption | suction stage of the suction box in an apparatus (refer FIG. 3). The suction stage was made of an aluminum alloy having a thickness of 10 mm with an alumite formed on the surface and a surface roughness (Ra) of 0.7 μm, and suction holes of 3 mmφ were formed at a pitch of 20 mm.

剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記支持体上に載置した。そして、吸引装置によって粘着シートを吸引しながら、レーザ加工機として松下産業機器社製のYB−HCS03を使用して、粘着剤層側から上記粘着シートに対してCOレーザを照射した。このとき、レーザ光の照射位置は、上記支持体の貫通孔に対応する位置とした。すなわち、貫通孔の孔密度は、2500個/100cmであった。 The pressure-sensitive adhesive sheet from which the release material had been peeled was placed on the support with the pressure-sensitive adhesive layer facing upward. Then, while sucking the adhesive sheet with the suction device, YB-HCS03 manufactured by Matsushita Industrial Equipment Co., Ltd. was used as a laser processing machine, and the CO 2 laser was irradiated from the adhesive layer side to the adhesive sheet. At this time, the irradiation position of the laser beam was set to a position corresponding to the through hole of the support. That is, the hole density of the through holes was 2500/100 cm 2 .

このようにして得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の基材表面における孔径(ドロスを含まない孔径・ドロスを含む孔径)および粘着面における孔径を測定した。結果を表1に示す。   Thus, the hole diameter in the base-material surface of the through-hole of the through-hole formation adhesive sheet obtained (the hole diameter which does not contain dross, the hole diameter containing dross) and the hole diameter in an adhesive surface were measured. The results are shown in Table 1.

〔実施例2〕
粘着シートの支持体として、超高分子量ポリエチレンからなる多孔質シート(日東電工社製,サンマップLC,厚さ2mm)に、0.3mmφの貫通孔を2mmピッチで形成したものを使用して、実施例1と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
[Example 2]
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a porous sheet made of ultra-high molecular weight polyethylene (manufactured by Nitto Denko Corporation, Sunmap LC, thickness 2 mm) with 0.3 mmφ through-holes formed at a 2 mm pitch, A through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1. The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例3〕
吸着ステージにおける吸引孔の孔径が0.5mmφ、ピッチが2mmである以外、実施例1と同様の吸引装置を用意した。そして、剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記吸引装置の吸着ステージ上に直接載置して、実施例1と同様にしてレーザ加工を行った。ただし、レーザ光の照射位置は、上記吸着ステージの吸引孔に対応する位置とした。すなわち、貫通孔の孔密度は、2500個/100cmであった。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
Example 3
A suction device similar to that of Example 1 was prepared except that the suction hole diameter in the suction stage was 0.5 mmφ and the pitch was 2 mm. Then, the pressure-sensitive adhesive sheet from which the release material had been peeled was placed directly on the suction stage of the suction device with the pressure-sensitive adhesive layer facing upward, and laser processing was performed in the same manner as in Example 1. However, the irradiation position of the laser beam was a position corresponding to the suction hole of the suction stage. That is, the hole density of the through holes was 2500/100 cm 2 . The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例4〕
粘着シートの支持体として、超高分子量ポリエチレンからなる多孔質シート(日東電工社製,サンマップLC,厚さ2mm)に、幅0.5mm、深さ0.2mmの溝を2mmピッチで格子状に形成したものを使用して、実施例1と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。ただし、レーザ光の照射位置は、上記支持体の溝に対応する位置とし、貫通孔の孔密度は、2500個/100cmとした。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
Example 4
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a porous sheet made of ultrahigh molecular weight polyethylene (manufactured by Nitto Denko Corporation, Sunmap LC, thickness 2 mm) is formed in a grid of grooves with a width of 0.5 mm and a depth of 0.2 mm at a pitch of 2 mm A through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 using what was formed in the above. However, the irradiation position of the laser light was a position corresponding to the groove of the support, and the hole density of the through holes was 2500/100 cm 2 . The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例5〕
粘着シートの支持体として、両面銅貼りガラスエポキシ基板(日立化成工業社製,FR−4,厚さ1.6mm)に、幅0.5mm、深さ0.5mmの溝を2mmピッチで格子状に形成し、格子の交差点に該当する溝の底面に0.3mmφの貫通孔を4mmピッチで形成したものを使用して、実施例1と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
Example 5
As a support for the adhesive sheet, double-sided copper-coated glass epoxy substrate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., FR-4, thickness 1.6 mm), 0.5 mm wide and 0.5 mm deep grooves in a 2 mm pitch grid A through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1 using a sheet having 0.3 mmφ through-holes formed at a 4 mm pitch on the bottom surface of the groove corresponding to the lattice intersection. The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例6〕
粘着シートの支持体として、アルミニウム合金からなるロール(300mmφ)に、幅0.5mm、深さ0.5mmの溝を周方向に2mmピッチで複数形成したもの(図11参照)を複数用意した。そして、それら支持体の間に、粘着シートを下方に吸引しながら搬送することのできる吸引搬送装置を設置した(図7参照)。
Example 6
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a plurality of rolls (300 mmφ) made of an aluminum alloy were prepared by forming a plurality of grooves having a width of 0.5 mm and a depth of 0.5 mm at a pitch of 2 mm in the circumferential direction (see FIG. 11). And the suction conveyance apparatus which can be conveyed between these support bodies, attracting | sucking an adhesive sheet below was installed (refer FIG. 7).

剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記支持体の上部外周面に密着させながら、上記吸引搬送装置を使用して搬送し、粘着シートの支持体との密着部分に対して実施例1と同様にしてCOレーザを照射した。このとき、レーザ光の照射位置は、上記支持体の溝に対応する位置とし、貫通孔の孔密度は、2500個/100cmとした。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。 The pressure-sensitive adhesive sheet from which the release material has been peeled is conveyed using the suction conveyance device while being in close contact with the upper outer peripheral surface of the support with the pressure-sensitive adhesive layer facing upward, and the adhesive sheet is in contact with the support. In the same manner as in Example 1, the CO 2 laser was irradiated. At this time, the irradiation position of the laser light was a position corresponding to the groove of the support, and the hole density of the through holes was 2500/100 cm 2 . The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例7〕
粘着シートの支持体として、実施例6におけるロールの溝の底面に0.4mmφの吸引孔を周方向に10mmピッチで複数形成し(図8参照)、その吸引孔から吸引しながらレーザ加工を施す以外、実施例6と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
Example 7
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a plurality of 0.4 mmφ suction holes are formed at a pitch of 10 mm in the circumferential direction on the bottom surface of the roll groove in Example 6 (see FIG. 8), and laser processing is performed while suctioning from the suction holes. A through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as Example 6 except for the above. The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔比較例1〕
粘着シートの支持体として、貫通孔なしの両面銅貼りガラスエポキシ基板(日立化成工業社製,FR−4,厚さ1.6mm)を使用し、吸引を行わない以外、実施例1と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
As a support for the pressure-sensitive adhesive sheet, a double-sided copper-coated glass epoxy substrate (Hitachi Kasei Kogyo Co., Ltd., FR-4, thickness 1.6 mm) without through-holes is used, and the suction is not performed. Thus, a through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was produced. The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔比較例2〕
実施例1で使用した吸引装置の吸着ステージ上に、粘着シートの支持体としてコピー用紙(富士ゼロックスオフィスサプライ社製,Cカラー/モノクロ兼用紙,厚さ85μm)、および粘着シートをその順に重ねて載置した。そして、実施例1と同様にして吸引およびレーザ光照射を行い、貫通孔形成粘着シートを作製した。ただし、レーザ光の照射位置は、上記吸着ステージの貫通孔の位置には対応しなかった。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
[Comparative Example 2]
On the suction stage of the suction device used in Example 1, stacked copy paper (Fuji Xerox Office Supply Co., Ltd., C 2 color / monochrome and paper, thickness 85 .mu.m), and the adhesive sheet in this order as a support of the adhesive sheet Placed. Then, suction and laser light irradiation were performed in the same manner as in Example 1 to produce a through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet. However, the irradiation position of the laser beam did not correspond to the position of the through hole of the suction stage. The hole diameter of the through hole of the obtained through hole forming pressure-sensitive adhesive sheet was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔試験例〕
実施例および比較例で得られた粘着シートについて、以下のようにして空気溜まり消失性試験、孔可視性検査およびデブリーの付着検査を行った。結果を表1に示す。
[Test example]
The pressure-sensitive adhesive sheets obtained in Examples and Comparative Examples were subjected to an air retention disappearance test, a hole visibility test, and a debris adhesion test as follows. The results are shown in Table 1.

空気溜まり消失性試験:50mm×50mmに裁断した貫通孔形成粘着シートを、直径約15mmの円形の空気溜まりができるようにメラミン塗装板に貼り、その粘着シートをスキージにより圧着した。その結果、空気溜まりが消失したものを○、空気溜まりがそのまま残存したものを×で表す。   Air reservoir disappearance test: A through-hole-formed adhesive sheet cut to 50 mm × 50 mm was attached to a melamine coated plate so as to form a circular air reservoir having a diameter of about 15 mm, and the adhesive sheet was pressure-bonded with a squeegee. As a result, the case where the air pocket disappeared is represented by ◯, and the case where the air pool remained is represented by x.

孔可視性検査:30mm×30mmに裁断した貫通孔形成粘着シートを白色のメラミン塗装板に貼り、室内蛍光灯の下、肉眼によって、貫通孔形成粘着シート表面(基材表面)において貫通孔が見えるか否かについて検査した。なお、目から貫通孔形成粘着シートまでの距離は約30cmとし、貫通孔形成粘着シートを見る角度は種々変えた。その結果、貫通孔が見えなかったものを○、貫通孔が見えたものを×で表す。   Hole visibility inspection: A through-hole-formed adhesive sheet cut to 30 mm x 30 mm is attached to a white melamine-coated plate, and through-holes are visible on the surface of the through-hole-formed adhesive sheet (substrate surface) with the naked eye under an indoor fluorescent lamp Inspected whether or not. The distance from the eyes to the through hole forming adhesive sheet was about 30 cm, and the angle at which the through hole forming adhesive sheet was viewed was variously changed. As a result, the case where the through-hole was not visible is indicated by ◯, and the case where the through-hole was visible is indicated by ×.

デブリーの付着検査:30mm×30mmに裁断した貫通孔形成粘着シートの表面(基材表面)において、貫通孔の周縁にデブリーが付着しているかどうかを、室内蛍光灯の下、肉眼によって検査した。その結果、白っぽいものが付着していなかったものを○、白っぽいものがわずかに付着していたものを△、白っぽいものが連続的に付着していたものを×で表す。   Debris adhesion inspection: On the surface (base material surface) of the through-hole forming pressure-sensitive adhesive sheet cut to 30 mm × 30 mm, whether or not debris adhered to the periphery of the through-hole was examined with the naked eye under an indoor fluorescent lamp. As a result, the case where the whitish material was not attached is indicated by ◯, the case where the whitish material is slightly attached is indicated by Δ, and the case where the whitish material is continuously attached is indicated by ×.

Figure 2007008995
Figure 2007008995

表1から明らかなように、実施例で得られた粘着シートは、空気溜まりが容易に除去され得るとともに、粘着シート表面において貫通孔が肉眼で見えず、極めて良好な外観を有する。   As is apparent from Table 1, the pressure-sensitive adhesive sheets obtained in the examples have an excellent appearance because air pockets can be easily removed and through-holes cannot be seen with the naked eye on the pressure-sensitive adhesive sheet surface.

本発明は、一般的に粘着シートに空気溜まりやブリスターが生じやすい場合、例えば粘着シートの面積が大きい場合や、被着体からガスが発生する場合等であって、貫通孔が見えず外観が極めて良好であることが要求される粘着シートの製造に有用である。   In general, the present invention is a case where air pockets or blisters are likely to occur in the pressure-sensitive adhesive sheet, for example, when the pressure-sensitive adhesive sheet has a large area, or when gas is generated from the adherend, etc. This is useful for the production of pressure-sensitive adhesive sheets that are required to be extremely good.

本発明の第1の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing apparatus of the through-hole formation adhesive sheet which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body in the same embodiment. 本発明の第2の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing apparatus of the through-hole formation adhesive sheet which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body in the same embodiment. 本発明の第3の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing apparatus of the through-hole formation adhesive sheet which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body in the same embodiment. 同実施形態における粘着シート支持体の溝部近傍の拡大図である。It is an enlarged view of the groove part vicinity of the adhesive sheet support body in the embodiment. 本発明の他の実施形態に係る粘着シート支持体の溝および吸引孔を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the groove | channel and suction hole of the adhesive sheet support body which concern on other embodiment of this invention. 本発明の別の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive sheet support body which concerns on another embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1p…粘着シート(貫通孔形成前)
1…貫通孔形成粘着シート
11…基材
12…粘着剤層
13…貫通孔
2A,2C,2D,5E,5F,5G…支持体
21A,21D,51E,51F…吸引孔
22C,22D,52E,52F,52G…溝
2B…吸着ステージ(吸着部)
21B…吸引孔
3…吸引装置
31…吸引ボックス
4…多孔質支持体
41…貫通孔
42…端面部
6…芯体
61…吸引部
7…吸引搬送装置
R…レーザ光照射装置
1p ... Adhesive sheet (before through-hole formation)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Through-hole formation adhesive sheet 11 ... Base material 12 ... Adhesive layer 13 ... Through-hole 2A, 2C, 2D, 5E, 5F, 5G ... Support body 21A, 21D, 51E, 51F ... Suction hole 22C, 22D, 52E, 52F, 52G ... groove 2B ... suction stage (suction part)
21B ... Suction hole 3 ... Suction device 31 ... Suction box 4 ... Porous support 41 ... Through hole 42 ... End face part 6 ... Core body 61 ... Suction part 7 ... Suction conveyance device R ... Laser light irradiation device

Claims (19)

少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法において、
レーザ光照射時に、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分におけるレーザ光入射面の反対面に、深さ150μm以上の空間を存在させることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法。
In the method for producing a through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet that forms a through-hole in the pressure-sensitive adhesive sheet by irradiating a laser beam to the pressure-sensitive adhesive sheet having at least a base material and a pressure-sensitive adhesive layer,
Manufacturing of a through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet characterized in that a space having a depth of 150 μm or more exists on the surface opposite to the laser light incident surface in all portions of the pressure-sensitive adhesive sheet irradiated with the laser light during laser light irradiation. Method.
レーザ光照射時に、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側から吸引を行うことを特徴とする請求項1に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   The method for producing a through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein suction is performed from the surface opposite to the laser light incident surface of the pressure-sensitive adhesive sheet during laser light irradiation. 前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されている支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   Laser light irradiation is performed on the pressure-sensitive adhesive sheet on the support in which holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions of the pressure-sensitive adhesive sheet irradiated with the laser light. The manufacturing method of the through-hole formation adhesive sheet of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ150μm以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていることを特徴とする請求項3に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   The said support body comprises the adsorption | suction part of a suction device, and the said hole of 150 micrometers or more is a suction hole of the said suction device, The manufacture of the through-hole formation adhesive sheet of Claim 3 characterized by the above-mentioned. Method. 前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されている、連続空隙を有する多孔質の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   In the pressure-sensitive adhesive sheet on a porous support having continuous voids, holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all the portions of the pressure-sensitive adhesive sheet irradiated with the laser light. On the other hand, laser beam irradiation is performed, The manufacturing method of the through-hole formation adhesive sheet of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記多孔質の支持体は、吸引装置の吸着部上に位置しており、前記多孔質の支持体を介して前記粘着シートを吸引することを特徴とする請求項5に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   The through-hole-forming adhesive according to claim 5, wherein the porous support is located on an adsorption portion of a suction device, and sucks the adhesive sheet through the porous support. Sheet manufacturing method. 前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されているロール状の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   Laser light is applied to the pressure-sensitive adhesive sheet on the roll-shaped support member in which holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions irradiated with the laser light of the pressure-sensitive adhesive sheet. Irradiation is performed, The manufacturing method of the through-hole formation adhesive sheet of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記ロール状の支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることを特徴とする請求項7に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   The method for producing a through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 7, wherein the groove is formed in the roll-shaped support body along a circumferential direction. 前記ロール状の支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていることを特徴とする請求項7または8に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   The method for producing a through-hole-forming pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 7 or 8, wherein the roll-shaped support has a plurality of suction holes and has a cylindrical shape that can be sucked from the inside. 前記ロール状の支持体を複数設置し、前記粘着シートを前記複数のロール状の支持体に密着させながら搬送し、前記粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。   A plurality of the roll-shaped supports are installed, and the pressure-sensitive adhesive sheet is conveyed while being in close contact with the plurality of roll-shaped supports, and the laser is applied to the vicinity of the contact portion of the pressure-sensitive adhesive sheet with the roll-shaped support. Light irradiation is performed, The manufacturing method of the through-hole formation adhesive sheet in any one of Claims 7-9 characterized by the above-mentioned. レーザ光が照射され貫通孔が形成される粘着シートを、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側で支持する粘着シート支持体であって、
前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ150μm以上の孔および/または溝が形成されていることを特徴とする粘着シート支持体。
A pressure-sensitive adhesive sheet support that supports a pressure-sensitive adhesive sheet that is irradiated with laser light to form a through-hole, on the opposite side of the laser light incident surface of the pressure-sensitive adhesive sheet,
A pressure-sensitive adhesive sheet support, wherein holes and / or grooves having a depth of 150 μm or more are formed at positions corresponding to all portions of the pressure-sensitive adhesive sheet irradiated with the laser beam.
前記粘着シート支持体は、平板状となっていることを特徴とする請求項11に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 11, wherein the pressure-sensitive adhesive sheet support has a flat plate shape. 前記平板状の粘着シート支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ150μm以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていることを特徴とする請求項12に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 12, wherein the plate-shaped pressure-sensitive adhesive sheet support constitutes a suction portion of a suction device, and the holes having a depth of 150 µm or more serve as suction holes of the suction device. Support. 前記粘着シート支持体は、連続空隙を有する多孔質体からなることを特徴とする請求項11に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 11, wherein the pressure-sensitive adhesive sheet support comprises a porous body having continuous voids. 前記粘着シート支持体は、ロール状となっていることを特徴とする請求項11に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 11, wherein the pressure-sensitive adhesive sheet support has a roll shape. 前記ロール状の粘着シート支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることを特徴とする請求項15に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 15, wherein the groove is formed along the circumferential direction of the roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet support. 前記ロール状の粘着シート支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていることを特徴とする請求項15または16に記載の粘着シート支持体。   The pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 15 or 16, wherein the roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet support has a plurality of suction holes and has a cylindrical shape that can be sucked from the inside. 請求項13または17に記載の粘着シート支持体を吸着部として備え、前記吸引孔から吸引を行うことのできる吸引装置。   A suction device comprising the pressure-sensitive adhesive sheet support according to claim 13 or 17 as a suction portion and capable of performing suction from the suction hole. 請求項15〜17のいずれかに記載の複数のロール状の粘着シート支持体と、
粘着シートを前記複数のロール状の粘着シート支持体に密着させることができるように、前記ロール状の粘着シート支持体の相互間に設けられた吸引搬送装置と、
粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対してレーザ光照射することのできるレーザ光照射装置と
を備えたことを特徴とする貫通孔形成粘着シート製造装置。
A plurality of roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet supports according to any one of claims 15 to 17,
A suction conveyance device provided between the roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet supports so that the pressure-sensitive adhesive sheet can be adhered to the plurality of roll-shaped pressure-sensitive adhesive sheet supports;
A through-hole-formed pressure-sensitive adhesive sheet manufacturing apparatus comprising: a laser light irradiation device capable of irradiating laser light to the vicinity of a close contact portion between the pressure-sensitive adhesive sheet and the roll-shaped support.
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