JP2007007586A - Filter medium for air filter, and air filter - Google Patents
Filter medium for air filter, and air filter Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007007586A JP2007007586A JP2005193207A JP2005193207A JP2007007586A JP 2007007586 A JP2007007586 A JP 2007007586A JP 2005193207 A JP2005193207 A JP 2005193207A JP 2005193207 A JP2005193207 A JP 2005193207A JP 2007007586 A JP2007007586 A JP 2007007586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air filter
- glass fiber
- mass
- content
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Paper (AREA)
Abstract
Description
本発明は、半導体工場などのクリーンルームにおいて使用され、通風時に濾材からのホウ素発生量が少ないエアフィルタ用濾材およびエアフィルタに関する。 The present invention relates to a filter medium for an air filter and an air filter that are used in a clean room such as a semiconductor factory and generate a small amount of boron from the filter medium during ventilation.
近年、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の半導体製品の高集積化や微細化に伴って、エアフィルタには、粒子状汚染物の除去効率が優れることのみならず、半導体製品の品質に影響を及ぼすホウ素等のガス状汚染物質の発生が少ないことが求められている。
従来より、クリーンルームで使用されるエアフィルタ用濾材には、ガラス繊維からなるものが用いられているが、この濾材を構成するガラス繊維は、ガラス繊維紡糸時のガラス溶融温度を下げる目的や、クリーンルーム内の光源による光照射によってガラス繊維が劣化しないように耐候性を付与する目的や、ガラス繊維の強度を向上する目的のため、Ｂ2Ｏ3が８〜１０質量％配合されたホウ珪酸ガラス繊維からなるものが用いられている。しかしながら、このようなＢ2Ｏ3の含有量が多いホウ珪酸ガラス繊維からなる濾材は、空気や窒素等の気体が通過する際に、ガラス繊維中からホウ素が発生し、クリーンルーム内を汚染してしまうという問題があった。例えば、ホウ珪酸ガラス繊維からなる濾材を用いたエアフィルタの場合、クリーンルーム内へのホウ素発生量は、１００〜３００ｎｇ／ｍ3と高かった。
In recent years, with the high integration and miniaturization of semiconductor products such as LSI and VLSI, air filters not only have excellent removal efficiency of particulate contaminants, but also boron that affects the quality of semiconductor products. There is a demand for low generation of gaseous pollutants.
Conventionally, air filter media used in clean rooms have been made of glass fibers. The glass fibers that make up this filter media are used to lower the glass melting temperature during glass fiber spinning, A borosilicate glass fiber containing 8 to 10% by mass of B 2 O 3 for the purpose of imparting weather resistance so that the glass fiber is not deteriorated by light irradiation by an internal light source or for the purpose of improving the strength of the glass fiber. The thing which consists of is used. However, such a filter medium made of borosilicate glass fiber having a high B 2 O 3 content generates boron from the glass fiber when a gas such as air or nitrogen passes and contaminates the inside of the clean room. There was a problem that. For example, in the case of an air filter using a filter medium made of borosilicate glass fiber, the amount of boron generated in the clean room was as high as 100 to 300 ng / m 3 .
濾材からのホウ素発生を防止するため、例えば、特許文献１には、純水中へのホウ素溶出量（６５℃×１２０時間）が１．５×１０-5ｇ／ｇを超えない石英ガラス繊維からなる濾材を用いたエアフィルタが開示されている。このエアフィルタを用いた場合は、クリーンルーム内を非常に高い清浄空間とすることができる。
しかしながら、このようなエアフィルタは、石英ガラス繊維が非常に高価であるため、単価が高くなり、クリーンルームの天井全面にエアフィルタを設ける場合は、非常にコストが高くなるという問題があった。
In order to prevent generation of boron from the filter medium, for example, Patent Document 1 discloses a quartz glass fiber whose boron elution amount (65 ° C. × 120 hours) in pure water does not exceed 1.5 × 10 −5 g / g. An air filter using a filter medium made of is disclosed. When this air filter is used, the interior of the clean room can be made a very high clean space.
However, such an air filter has a problem that the quartz glass fiber is very expensive, so that the unit price is high, and when the air filter is provided on the entire ceiling of the clean room, the cost is very high.
また、濾材からのホウ素発生を防止するため、例えば、特許文献２には、エアフィルタ用の濾材として、Ｂ2Ｏ3含有量が０．０１重量％以下のガラス繊維と有機繊維からなるものが開示されている。この濾材を用いたエアフィルタも、クリーンルーム内を非常に高い清浄空間とすることができる。
しかしながら、このようなエアフィルタも、Ｂ2Ｏ3含有量が０．０１重量％以下のガラス繊維が非常に高価なものであるため、コストが高くなるという問題があった。また、Ｂ2Ｏ3含有量の少ないガラス繊維は、材料と製造方法によっては、繊維強度が弱くなり、このようなガラス繊維からなる濾材をプリーツ加工する際に、繊維がケバ立ってしまう問題があった。また、ガラス繊維の繊維強度が弱いため、このようなガラス繊維からなる濾材は引張強度が弱くなり、濾材としての強度を満たすため有機繊維を配合しなければならないため、有機ガスの発生が増し、燃焼性が悪くなるという問題があった。
However, such an air filter also has a problem that the cost increases because glass fibers having a B 2 O 3 content of 0.01% by weight or less are very expensive. Moreover, the glass fiber with a small B 2 O 3 content has a problem that the fiber strength is weak depending on the material and the manufacturing method, and the fiber becomes flared when a filter medium made of such a glass fiber is pleated. there were. In addition, since the fiber strength of the glass fiber is weak, the filter medium made of such glass fiber has a low tensile strength, and the organic fiber has to be blended to satisfy the strength as the filter medium. There was a problem that the flammability deteriorated.
ところで、クリーンルーム内で製造する半導体製品のグレード等によっては、エアフィルタからクリーンルーム内へ発生するホウ素量が例えば１ｎｇ／ｍ3未満であり、クリーンルーム内を非常に高い清浄空間とするようになるまで、エアフィルタから発生するホウ素量を低減することが必ずしも求められない場合もあった。このような場合に、コストの高いエアフィルタをクリーンルームに設けてしまうと、設備費がかかってしまうという問題があった。
そこで、本発明は、Ｂ2Ｏ3含有量の低いガラス繊維と、このガラス繊維よりもＢ2Ｏ3含有量の多いガラス繊維を主体とする混抄紙を用いることにより、混抄紙中のＢ2Ｏ3含有量を調整し、所望の清浄空間となるようにエアフィルタから発生するホウ素量を低減することができるガラス繊維からなるエアフィルタ用濾材およびエアフィルタを提供することを目的とする。
By the way, depending on the grade of the semiconductor product manufactured in the clean room, the amount of boron generated from the air filter into the clean room is, for example, less than 1 ng / m 3 , until the clean room becomes a very high clean space. In some cases, it is not always necessary to reduce the amount of boron generated from the air filter. In such a case, if an expensive air filter is provided in a clean room, there is a problem that equipment costs are required.
The present invention, B 2 O 3 and a low glass fibers content, by using a mixed paper made mainly of large glass fibers content of B 2 O 3 than the glass fiber, B 2 in the composite paper An object of the present invention is to provide an air filter medium and an air filter made of glass fibers that can adjust the O 3 content and reduce the amount of boron generated from the air filter so that a desired clean space is obtained.
本発明のエアフィルタ用濾材は、請求項１記載の通り、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維が主体となる混抄紙にバインダを添着してなるものであることを特徴とする。
また、請求項２記載のエアフィルタ用濾材は、請求項１記載のエアフィルタ用濾材において、前記混抄紙の主体となるガラス繊維が、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維４０〜８０質量％と、Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維６０〜２０質量％からなることを特徴とする。
また、請求項３記載のエアフィルタ用濾材は、請求項１または２記載のエアフィルタ用濾材において、前記混抄紙をバインダ溶液に浸漬し、バインダを添着してなることを特徴とする。
本発明のエアフィルタは、請求項４記載の通り、請求項１乃至３のいずれかに記載したエアフィルタ用濾材を用いたことを特徴とする。
また、請求項５記載のエアフィルタは、請求項４記載のエアフィルタにおいて、エアフィルタから発生するホウ素量が１〜１０ｎｇ／ｍ3であることを特徴とする。
Medium for an air filter of the present invention, as claimed in claim 1, the glass fiber content less 0.1 wt% B 2 O 3, the glass content of 5 to 15 mass% of B 2 O 3 It is characterized by being formed by adhering a binder to a mixed paper mainly composed of fibers.
The air filter medium according to claim 2 is the air filter medium according to claim 1, wherein the glass fiber that is the main component of the mixed paper has a B 2 O 3 content of 0.1 mass% or less. and 40 to 80 wt% of glass fiber, the content of B 2 O 3 is characterized by comprising the 60 to 20 wt% 5-15 wt% of glass fibers.
The air filter medium according to claim 3 is characterized in that, in the air filter medium according to claim 1 or 2, the mixed paper is immersed in a binder solution and a binder is attached thereto.
As described in
The air filter according to claim 5 is characterized in that, in the air filter according to
本発明のエアフィルタ用濾材は、濾材を構成する混抄紙が、Ｂ2Ｏ3含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、このガラス繊維よりもＢ2Ｏ3含有量が多いガラス繊維の２種類のガラス繊維を主体として混抄紙を形成することによって、混抄紙中のＢ2Ｏ3含有量を調整することができる。従って、このＢ2Ｏ3含有量を調整した混抄紙にバインダを添着することによって、ガラス繊維表面をバインダで被覆して、エアフィルタから発生するホウ素量を低減させたエアフィルタ用濾材およびエアフィルタを提供することができる。また、エアフィルタ用濾材が、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、このガラス繊維よりもＢ2Ｏ3の含有量が多いガラス繊維の２種類のガラス繊維を主体とした混抄紙からなるものであるため、有機繊維等を混抄することなく、濾材として要求される引張強度を確保することができる。 The filter medium for an air filter according to the present invention includes a glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and a glass fiber having a B 2 O 3 content higher than that of the glass fiber. The B 2 O 3 content in the mixed paper can be adjusted by forming the mixed paper mainly composed of the two types of glass fibers. Therefore, a filter medium for an air filter and an air filter in which the glass fiber surface is coated with a binder and the amount of boron generated from the air filter is reduced by attaching a binder to the mixed paper whose B 2 O 3 content is adjusted. Can be provided. In addition, the filter medium for air filter includes two types of glass fibers: a glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and a glass fiber having a B 2 O 3 content higher than that of the glass fiber. Since it is made of a mixed paper made mainly, it is possible to ensure the tensile strength required as a filter medium without mixing organic fibers and the like.
本発明のエアフィルタ用濾材は、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維が主体となる混抄紙にバインダを添着してなるものである。 The filter medium for an air filter of the present invention is a mixed paper mainly composed of glass fibers having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and glass fibers having a B 2 O 3 content of 5 to 15% by mass. It is made by attaching a binder.
本発明のエアフィルタ用濾材に用いるＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維としては、溶融石英ガラス繊維、高珪酸ガラス繊維、ゾルゲル法シリカガラス繊維、珪酸ガラス繊維などを使用することができる。
溶融石英ガラス繊維とは、溶融石英ガラスを火炎ジェットで吹き飛ばし、再溶融して繊維化したものであり、ＳｉＯ2の含有量が９９．９９質量％のものである。また、高珪酸ガラス繊維とは、無アルカリガラス（Ｅガラス）繊維を酸処理などでシリカ以外の成分を溶出させた多孔質ガラス繊維や、この多孔質ガラス繊維を焼成して微孔を潰したガラス繊維や、バイコールガラス（分相ガラス）を出発原料として微細化した多孔質ガラス繊維などであり、いずれのガラス繊維もＳｉＯ2の含有量が９９．８質量％のものである。ゾルゲル法シリカガラス繊維とは、ガラスを構成するケイ素のアルコキシド溶液の水分量を少なくして紡糸した後、６００〜９００℃で焼成したガラス繊維であり、ＳｉＯ2の含有量が９９．９９質量％のものである。これらのＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維のうち、ＳｉＯ2の含有量が９９．８質量％の高珪酸ガラス繊維は、汎用性があるため好ましい。
Examples of the glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less used in the air filter medium of the present invention include fused silica glass fiber, high silicate glass fiber, sol-gel silica glass fiber, and silicate glass fiber. Can be used.
The fused silica glass fiber is obtained by blowing fused silica glass with a flame jet and remelting it into a fiber. The SiO 2 content is 99.99% by mass. The high silicate glass fiber is a porous glass fiber obtained by eluting components other than silica by acid treatment or the like in an alkali-free glass (E glass) fiber, or by firing the porous glass fiber to crush the micropores. Glass fiber, porous glass fiber refined using Vycor glass (phase-separated glass) as a starting material, and the like, each glass fiber having a SiO 2 content of 99.8% by mass. The sol-gel silica glass fiber is a glass fiber which is spun at a low water content of the silicon alkoxide solution constituting the glass and then fired at 600 to 900 ° C., and the content of SiO 2 is 99.99 mass%. belongs to. Among these glass fibers having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less, a high silicate glass fiber having a SiO 2 content of 99.8% by mass is preferable because of its versatility.
また、本発明のエアフィルタ用濾材に用いるＢ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維としては、ホウ珪酸ガラス、Ｃガラスからなるガラス繊維を用いることができる。これらのガラスからなるガラス繊維は、現在広く流通している製品であり、価格が安いため好ましい。Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維としては、その組成として、質量％で表示して、ＳｉＯ2：５０〜６０％、Ｎａ2Ｏ：７〜１４％、ＣａＯ：１〜６％、Ｋ2Ｏ：１〜５％、Ａｌ2Ｏ3：３〜８％、ＭｇＯ：０〜４％、ＺｎＯ：０〜５％、Ｆｅ2Ｏ3：０．３％未満、Ｂ2Ｏ3：５〜１５％、ＢａＯ：３〜６％のものを用いることができる。 As the glass fiber content of B 2 O 3 used in the filter medium for an air filter 5 to 15% by weight of the present invention, it is possible to use a glass fiber made of borosilicate glass, C glass. Glass fibers made of these glasses are products that are currently widely distributed and are preferable because of their low price. The glass fiber having a B 2 O 3 content of 5 to 15% by mass is expressed in terms of mass% as a composition, SiO 2 : 50 to 60%, Na 2 O: 7 to 14%, CaO: 1 ~6%, K 2 O: 1~5 %, Al 2 O 3: 3~8%, MgO: 0~4%, ZnO: 0~5%, Fe 2 O 3: less than 0.3%, B 2 O 3 : 5 to 15%, BaO: 3 to 6% can be used.
本発明のエアフィルタ用濾材を構成する混抄紙は、その主体となるガラス繊維の配合量が、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維が４０〜８０質量％、Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維が６０〜２０質量％からなるものであることが好ましい。
Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維の配合量が８０質量％を超えると、濾材からのホウ素発生量は少なくなるものの、クリーンルーム内の光源による光照射によって耐候性が低下し、引張強度が弱くなるため好ましくない。また、Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維の配合量が４０質量％未満であると、混抄紙を構成するガラス繊維自体に含まれるＢ2Ｏ3の含有量が多くなるため、濾材から発生するホウ素量が多くなり、好ましくない。
Mixed paper constituting the filter medium for an air filter of the present invention, the amount of glass fibers to be the principal, B 2 O 3 content is 0.1 mass% or less of the glass fiber 40 to 80 wt%, B It is preferable that the glass fiber having a content of 2 O 3 of 5 to 15% by mass is composed of 60 to 20% by mass.
When the content of B 2 O 3 is 0.1% by mass or less, the amount of boron generated from the filter medium is reduced when the glass fiber content exceeds 80% by mass. This is not preferable because the tensile strength decreases. Further, if the blending amount of the glass fiber having a content of B 2 O 3 of 0.1% by mass or less is less than 40% by mass, the content of B 2 O 3 contained in the glass fiber itself constituting the mixed paper is obtained. This increases the amount of boron generated from the filter medium, which is not preferable.
本発明に用いるガラス繊維は、例えば、その平均繊維径が０．２〜７０μｍのものである。クリーンルームで用いられる高性能フィルタとして、サブミクロン粒子を捕集するＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）やＵＬＰＡフィルタ（超高性能フィルタ）用の濾材とする場合は、平均繊維径が２．０μｍ以下のガラス繊維を用いることが好ましい。
また、エアフィルタ用濾材は、通常、プリーツ状に形成するので、濾材の引張強度を向上するために、上記のような平均繊維径をもつガラス繊維に、平均繊維径のやや太いガラス繊維を混合して混抄紙とすることが好ましい。本発明に用いるガラス繊維は、例えば、平均繊維径２．０μｍ以下のガラス繊維８０〜２０質量％と、繊維径１〜７０μｍ、繊維長１〜１５ｍｍのガラス繊維２０〜８０質量％を混合することが好ましい。平均繊維径２．０μｍ以下のガラス繊維の配合量が８０質量％を超えると、平均繊維径の太いガラス繊維の配合量が少なくなり、引張強度の低下やプリーツ加工性の低下、圧力損失が増加する等の問題が生じるため好ましくない。平均繊維径２．０μｍ以下のガラス繊維の配合量が２０質量％未満であると、クリーンルーム内のダストの捕集効率が低下するため好ましくない。
The glass fiber used in the present invention has, for example, an average fiber diameter of 0.2 to 70 μm. As a high-performance filter used in a clean room, a glass with an average fiber diameter of 2.0 μm or less is used as a filter medium for HEPA filters (high-performance filters) and ULPA filters (ultra-high performance filters) that collect submicron particles. It is preferable to use fibers.
Moreover, since the filter medium for air filters is usually formed in a pleat shape, in order to improve the tensile strength of the filter medium, a glass fiber having a slightly larger average fiber diameter is mixed with the glass fiber having the average fiber diameter as described above. Thus, a mixed paper is preferable. The glass fiber used in the present invention is, for example, a mixture of 80 to 20% by mass of glass fiber having an average fiber diameter of 2.0 μm or less and 20 to 80% by mass of glass fiber having a fiber diameter of 1 to 70 μm and a fiber length of 1 to 15 mm. Is preferred. When the blending amount of glass fibers having an average fiber diameter of 2.0 μm or less exceeds 80% by mass, the blending amount of glass fibers having a large average fiber diameter decreases, resulting in a decrease in tensile strength, a decrease in pleatability, and an increase in pressure loss. This is not preferable because it causes problems such as When the blending amount of glass fibers having an average fiber diameter of 2.0 μm or less is less than 20% by mass, the dust collection efficiency in the clean room is lowered, which is not preferable.
本発明のエアフィルタ用濾材を構成する混抄紙に添着するバインダとしては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、スチレン系樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリビニルエーテル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂などを使用することができる。
バインダを混抄紙に添着する方法としては、混抄紙を構成するガラス繊維を工業用水又は水道水に分散させたスラリー中にバインダを添加してバインダとともに混抄紙を抄造することによって、バインダを添着してもよいし、混抄紙をバインダ溶液に浸漬してバインダを添着してもよく、また、この両方の方法によってバインダを添着してもよい。また、混抄紙の上からバインダ溶液を掛け流してバインダを添着してもよく、混抄紙にバインダ溶液を噴霧してバインダを添着してもよい。
混抄紙をバインダ溶液に浸漬し、バインダを添着した場合は、混抄紙を構成するガラス繊維１本１本の表面にバインダが被覆されるため好ましい。
バインダは、混抄紙１００質量％に対して、４〜７外質量％添着することが好ましい。混抄紙に添着するバインダが少ないと、混抄紙の引張強度が不足するとともに、ガラス繊維表面に均一にバインダが被覆されないため好ましくない。また、バインダが多いと、バインダが混抄紙を構成するガラス繊維の隙間を塞ぎ、この混抄紙からなる濾材の圧力損失が高くなるため好ましくない。また、バインダが多いと燃焼成分量が増加し、有機ガスの発生が増し、燃焼性が悪くなるため好ましくない。
Examples of the binder to be attached to the mixed paper constituting the air filter medium of the present invention include acrylic resin, epoxy resin, styrene resin, polyvinyl alcohol resin, polyvinyl chloride resin, polyvinyl ether resin, polyester resin, and polyvinyl acetate. Resins can be used.
As a method of attaching the binder to the mixed paper, the binder is attached by adding the binder to the slurry in which the glass fibers constituting the mixed paper are dispersed in industrial water or tap water and making the mixed paper together with the binder. Alternatively, the binder may be attached by immersing the mixed paper in a binder solution, or the binder may be attached by both methods. Further, the binder solution may be applied by pouring the binder solution over the mixed paper, or the binder solution may be applied by spraying the binder solution onto the mixed paper.
It is preferable to immerse the mixed paper in a binder solution and attach the binder because the binder is coated on the surface of each glass fiber constituting the mixed paper.
The binder is preferably 4 to 7% by mass with respect to 100% by mass of the mixed paper. If the binder attached to the mixed paper is small, the tensile strength of the mixed paper is insufficient, and the glass fiber surface is not uniformly coated with the binder, which is not preferable. Also, if the binder is large, the binder closes the gaps between the glass fibers constituting the mixed paper, and the pressure loss of the filter medium made of the mixed paper becomes high. Moreover, when there are many binders, the amount of combustion components increases, generation | occurrence | production of organic gas increases, and combustibility worsens, and is unpreferable.
以下、本発明の実施例を比較例とともに説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Examples of the present invention will be described below together with comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.
（実施例１）
Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維として、質量％で表示して、その成分がＳｉＯ2：７０．０％、Ｎａ2Ｏ：１０．０％、ＣａＯ：６．０％、Ｋ2Ｏ：５．０％、Ａｌ2Ｏ3：３．０％、ＭｇＯ：３．０％、ＺｎＯ：１．０％、Ｆｅ2Ｏ3：０．２％未満、Ｂ2Ｏ3：０．１％未満の組成の平均繊維径０．７μｍと平均繊維径３μｍの溶融紡糸ガラス繊維と、前記組成の平均繊維径６μｍのチョップドストランドガラス繊維から構成されるガラス繊維を用いた。
また、Ｂ2Ｏ3の含有量が５〜１５質量％のガラス繊維として、質量％で表示して、その成分がＳｉＯ2：６０．０％、Ｎａ2Ｏ：１０．０％、ＣａＯ：５．０％、Ｋ2Ｏ：３．０％、Ａｌ2Ｏ3：６．０％、ＭｇＯ：１．０％、ＺｎＯ：３．０％、Ｆｅ2Ｏ3：０．２％未満、Ｂ2Ｏ3：１０．０％、ＢａＯ：４．０％の組成のホウ珪酸ガラスからなる平均繊維径０．７μｍと平均繊維径３μｍの溶融紡糸ガラス繊維と、前記組成の平均繊維径６μｍのチョップドストランドガラス繊維から構成されるガラス繊維を用いた。前記Ｂ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維４０質量％と、前記Ｂ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維６０質量％を工業用水中にパルパーで解離し、これらの２種類のガラス繊維を主体として、抄紙機で混抄紙を形成した。この混抄紙を、アクリル系ラテックスとフッ素系界面活性剤の混合液からなるバインダ溶液に浸漬し、混抄紙１００質量％に対してバインダ量が６外質量％となるように、混抄紙にバインダを添着し、その後ドライヤーで乾燥して、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。
このエアフィルタ用濾材をジグザグ状に折り畳み、濾材の折り山間隔をリボン材又はセパレータで保持したエアフィルタ用パックを、縦６１０ｍｍ×横６１０ｍｍ×奥行６５ｍｍのアルミニウム製の外枠内に収容し、エアフィルタ用パックの周囲をウレタン系樹脂にて接着してエアフィルタを作製した。
Example 1
As a glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less, expressed in mass%, the components are SiO 2 : 70.0%, Na 2 O: 10.0%, CaO: 6. 0%, K 2 O: 5.0 %, Al 2 O 3: 3.0%, MgO: 3.0%, ZnO: 1.0%, Fe 2 O 3: less than 0.2%, B 2 O 3 : Glass fibers composed of melt-spun glass fibers having an average fiber diameter of 0.7 μm and an average fiber diameter of 3 μm having a composition of less than 0.1% and chopped strand glass fibers having an average fiber diameter of 6 μm were used.
Further, the glass fiber having a B 2 O 3 content of 5 to 15% by mass is expressed in mass%, and the components are SiO 2 : 60.0%, Na 2 O: 10.0%, CaO: 5 0.0%, K 2 O: 3.0%, Al 2 O 3 : 6.0%, MgO: 1.0%, ZnO: 3.0%, Fe 2 O 3 : less than 0.2%, B 2 Melted-spun glass fibers having an average fiber diameter of 0.7 μm and an average fiber diameter of 3 μm made of borosilicate glass having a composition of O 3 : 10.0% and BaO: 4.0%, and chopped strands having an average fiber diameter of 6 μm. Glass fiber composed of glass fiber was used. 40% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and 60% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 10.0% by mass in industrial water with a pulper The paper was dissociated and a mixed paper was formed using a paper machine mainly composed of these two types of glass fibers. This mixed paper is immersed in a binder solution composed of a mixture of an acrylic latex and a fluorosurfactant, and the binder is added to the mixed paper so that the binder amount is 6% by mass with respect to 100% by mass of the mixed paper. It was attached and then dried with a drier to obtain a filter medium for air filter having a basis weight of 70 g / m 2 .
The air filter pack is folded in a zigzag shape and the air filter pack holding the filter media with a ribbon material or a separator is housed in an aluminum outer frame having a length of 610 mm, a width of 610 mm, and a depth of 65 mm. The periphery of the filter pack was bonded with a urethane resin to produce an air filter.
（実施例２）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維５０質量％と、実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維５０質量％を主体として混抄紙を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 2)
50% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less similar to that in Example 1 and a glass fiber having a content of B 2 O 3 of 10.0% by mass as in Example 1 A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mixed paper was formed mainly with 50% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例３）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維６０質量％と、実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維４０質量％を主体として混抄を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 3)
60% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less as in Example 1 and 10.0% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content as in Example 1 A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a mixed paper was formed mainly with 40% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例４）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維７０質量％と、実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維３０質量％を主体として混抄を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
Example 4
70% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less as in Example 1 and 10.0% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content as in Example 1 A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a mixed paper was formed mainly with 30% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例５）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維８０質量％と、実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維２０質量％を主体として混抄を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 5)
80% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less as in Example 1 and a glass fiber having a content of B 2 O 3 of 10.0% by mass as in Example 1 A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a mixed paper was formed mainly with 20% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例６）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維９０質量％と、実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維１０質量％を主体として混抄を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 6)
90% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less as in Example 1 and 10.0% by mass of glass fiber having the same B 2 O 3 content as in Example 1 A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a mixed paper was formed mainly with 10% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例７）
実施例３と同様に形成した混抄紙を、実施例１と同様のアクリル系ラテックスとフッ素系界面活性剤の混合液からなるバインダ溶液に浸漬して、前記混抄紙１００質量％に対してバインダ量が４外質量％となるようにバインダを添着したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 7)
The mixed paper formed in the same manner as in Example 3 was immersed in a binder solution composed of a mixture of an acrylic latex and a fluorosurfactant similar to that in Example 1, and the amount of binder with respect to 100% by mass of the mixed paper. A filter medium for air filters having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the binder was added so that the external mass was 4% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例８）
実施例３と同様に形成した混抄紙を、実施例１と同様のアクリル系ラテックスとフッ素系界面活性剤の混合液からなるバインダ溶液に浸漬して、前記混抄紙１００質量％に対してバインダ量が１０外質量％となるようにバインダを添着したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Example 8)
The mixed paper formed in the same manner as in Example 3 was immersed in a binder solution composed of a mixture of an acrylic latex and a fluorosurfactant similar to that in Example 1, and the amount of binder with respect to 100% by mass of the mixed paper. A filter medium for air filters having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that a binder was attached so that the mass was 10% by mass. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（実施例９）
実施例３と同様に形成した混抄紙に対し、実施例１と同様のアクリル系ラテックスとフッ素系界面活性剤の混合液からなるバインダ溶液を、前記混抄紙１００質量％に対してバインダ量が６外質量％となるように噴霧によって添着したこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
Example 9
For the mixed paper formed in the same manner as in Example 3, a binder solution composed of a mixture of an acrylic latex and a fluorosurfactant similar to that in Example 1 was used with a binder amount of 6 with respect to 100% by mass of the mixed paper. A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the addition was performed by spraying so that the external mass was. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（従来例１）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が１０．０質量％のガラス繊維１００質量％を主体として形成した混抄紙を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Conventional example 1)
Similar to Example 1, except that a mixed paper mainly composed of 100% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 10.0% by mass was used, and a basis weight of 70 g / An air filter medium of m 2 was obtained. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（従来例２）
実施例１と同様のＢ2Ｏ3の含有量が０．１質量％以下のガラス繊維１００質量％を主体として形成した混抄紙を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Conventional example 2)
The basis weight is 70 g in the same manner as in Example 1 except that a mixed paper made mainly of 100% by mass of glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less is used. A filter medium for air filter of / m 2 was obtained. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
（比較例）
実施例３と同様の混抄紙に、バインダを添着していないこと以外は、実施例１と同様にして、目付７０ｇ／ｍ2のエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材を用いて、実施例１と同様にしてエアフィルタを作製した。
(Comparative example)
A filter medium for an air filter having a basis weight of 70 g / m 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the binder paper was not attached to the same mixed paper as in Example 3. Using this air filter medium, an air filter was produced in the same manner as in Example 1.
実施例１〜９と、従来例１〜２と、比較例のエアフィルタについて、次の試験を行った。結果を表１に示す。 The following test was done about the air filter of Examples 1-9, Conventional Examples 1-2, and a comparative example. The results are shown in Table 1.
（エアフィルタ用濾材中に含まれるホウ素含有量）
エアフィルタ用濾材を酸溶液に溶解し、この溶解液をＩＣＰ−ＡＥＳにて定量分析を行い、エアフィルタ用濾材中のホウ素量を測定した。
(Boron content in air filter media)
The filter material for air filters was melt | dissolved in the acid solution, this solution was quantitatively analyzed by ICP-AES, and the amount of boron in the filter media for air filters was measured.
（エアフィルタから発生するホウ素量）
図１にエアフィルタから発生するホウ素量を測定する測定装置を示す。図１に示すように、エアフィルタから発生するホウ素量の測定装置１においては、ファン３とケミカルフィルタ４を通過した清浄空気が、上流側サンプリング室５に流入し、上流側サンプリング室５から試験用エアフィルタ２を通じて下流側サンプリング室６を流通し、流出口７から外部に流出するようになっている。試験用エアフィルタ２には、ファン３とケミカルフィルタ４を通過した清浄空気を、面風速０．３５ｍ／ｓで通過させている。この試験用エアフィルタ２を通過する前の清浄空気と、試験用エアフィルタ２を通過した後の清浄空気を、上流側サンプリング室５と下流側サンプリング室６からそれぞれインピンジャ８，９で２．０Ｌ／ｍｉｎ、２４時間を目安にサンプリングした。サンプリングした捕集液をＩＣＰ−ＭＳで分析し、上流側サンプリング室５からサンプリングした捕集液中のホウ素濃度と下流側サンプリング室６からサンプリングした捕集液中のホウ素濃度を測定し、このホウ素濃度の差からエアフィルタから発生したホウ素量を算出した。
(Boron amount generated from air filter)
FIG. 1 shows a measuring apparatus for measuring the amount of boron generated from an air filter. As shown in FIG. 1, in the apparatus 1 for measuring the amount of boron generated from an air filter, clean air that has passed through a fan 3 and a
（クリーンルーム内のホウ素収束濃度）
図２にクリーンルームにエアフィルタを設置した場合のクリーンルーム内のホウ素収束濃度を推定するモデルを示す。クリーンルーム内のホウ素収束濃度とは、クリーンルームを運転した際に、クリーンルーム内のホウ素濃度が安定した時のホウ素濃度をいう。
図２に示すように、クリーンルーム施設１０内のクリーンルーム１１の天井にエアフィルタ１２を設置し、各エアフィルタ１２の上流側にファン１３を設置する。このファン１３の上流側に所定の積載率でケミカルフィルタ１４を設置する。クリーンルーム１１内の空気は、床部１５から排出され、その一部が循環路１６を通じて、再び、ケミカルフィルタ１４とエアフィルタ１２を通過して、クリーンルーム１１内に供給されるようになっている。
ここで、クリーンルーム施設１０へ供給する空気の風量をＱ１とし、この空気中のホウ素濃度をＣ１とする。クリーンルーム施設１０内に流入した空気の風量をＱ２とし、この空気中のホウ素濃度をＣ２とする。ケミカルフィルタ１４とエアフィルタ１２を通過して、エアフィルタ１２から発生するホウ素を含む空気中のホウ素濃度をＣ３とし、クリーンルーム１１内のホウ素収束濃度をＣ４とする。また、クリーンルーム１１の床部１５から流出して、循環路１６内を循環する空気の風量をＱ５とし、この空気中のホウ素濃度をＣ５とする。クリーンルーム１１の床部１５から流出し、排出口１７を通じて、外部に排出した空気の風量をＱ６とし、この空気中のホウ素濃度をＣ６とする。なお、ケミカルフィルタの積載率をＬとし、このケミカルフィルタの除去効率をηとする。また、クリーンルーム１１から循環路１６を通じて、再びクリーンルーム１１内に供給される空気のリターン率をＲとする。クリーンルーム１１内のホウ素の物質収支は、次式で表すことができる。
(Boron convergence concentration in clean room)
FIG. 2 shows a model for estimating the boron convergence concentration in the clean room when an air filter is installed in the clean room. The boron convergence concentration in the clean room refers to the boron concentration when the boron concentration in the clean room is stabilized when the clean room is operated.
As shown in FIG. 2, an
Here, the air volume supplied to the
Ｃ２・Ｑ２・（１−η・Ｌ）＋Ｃ３・Ｑ２＝Ｃ４・（Ｑ５＋Ｑ６） ・・・（１） C2 · Q2 · (1−η · L) + C3 · Q2 = C4 · (Q5 + Q6) (1)
ここで、Ｑ２＝Ｑ１＋Ｑ５、Ｑ１＝Ｑ６、Ｑ５＝Ｑ２・Ｒ、Ｃ５＝Ｃ６＝Ｃ４、Ｃ２・Ｑ２＝Ｃ１・Ｑ１＋Ｃ５・Ｑ５として、式（１）をＣ４について整理すると次式で表すことができる。 Here, when Q2 = Q1 + Q5, Q1 = Q6, Q5 = Q2 · R, C5 = C6 = C4, and C2 · Q2 = C1 · Q1 + C5 · Q5, Equation (1) can be expressed by the following equation when arranged for C4: .
Ｃ４＝｛Ｃ１・Ｑ１（１−η・Ｌ）＋Ｃ３・Ｑ２｝／Ｑ２｛Ｒ・η・Ｌ＋（１−Ｒ）｝
・・・（２）
C4 = {C1 · Q1 (1−η · L) + C3 · Q2} / Q2 {R · η · L + (1−R)}
... (2)
クリーンルーム施設内に供給する空気中には、ホウ素が含まれないと仮定すると、Ｃ１＝０である。このＣ１＝０を代入して、式（２）を整理すると、次式で表すことができる。 Assuming that boron is not contained in the air supplied into the clean room facility, C1 = 0. Substituting this C1 = 0 and rearranging the equation (2), it can be expressed by the following equation.
Ｃ４＝Ｃ３／｛Ｒ・η・Ｌ＋（１−Ｒ）｝ ・・・（３） C4 = C3 / {R · η · L + (1-R)} (3)
上記式（３）に基づいて、エアフィルタからクリーンルーム内に発生するホウ素量を算出した。なお、ホウ素量の算出に際しては、Ｒ＝０．９６、η＝０．８、Ｌ＝０．２を代入した。 Based on the above formula (3), the amount of boron generated in the clean room from the air filter was calculated. In calculating the amount of boron, R = 0.96, η = 0.8, and L = 0.2 were substituted.
（ＰＡＯの捕集効率）
ラスキンノズルで発生させた多分散ＰＡＯ（polyalphaolefin）粒子を含む空気を、有効面積１００ｃｍ2のエアフィルタ用濾材に、面風速５．３ｃｍ／秒で通風し、エアフィルタ用濾材のＰＡＯ捕集効率をリオン社製レーザーパーティクルカウンタで測定した。なお、対象粒径は０．１〜０．１５μｍとした。
(PAO collection efficiency)
The air containing polydispersed PAO (polyalphaolefin) particles generated by the Ruskin nozzle is passed through a filter medium for air filter having an effective area of 100 cm 2 at a surface air velocity of 5.3 cm / sec to improve the PAO collection efficiency of the filter medium for air filter. It was measured with a laser particle counter manufactured by Rion. The target particle size was 0.1 to 0.15 μm.
（圧力損失）
有効面積１００ｃｍ2のエアフィルタ用濾材に、面風速５．３ｃｍ／秒で通風し、その時のエアフィルタ濾材前後の差圧を微差圧計（マノメータ）で測定した。
(Pressure loss)
The air filter medium having an effective area of 100 cm 2 was ventilated at a surface wind speed of 5.3 cm / sec, and the differential pressure before and after the air filter medium at that time was measured with a fine differential pressure gauge (manometer).
（引張強度）
幅２５．４ｍｍのエアフィルタ用濾材を、つかみ間隔１０２ｍｍ、引張速度１２．７ｍｍ／ｍｉｎで引っ張り、破断時の強度を測定した。従来例１のエアフィルタ用濾材の破断時の強度を１００として、この従来例１の破断時の強度との対比による相対評価で濾材の強度を表した。
(Tensile strength)
An air filter medium having a width of 25.4 mm was pulled at a gripping interval of 102 mm and a pulling speed of 12.7 mm / min, and the strength at break was measured. The strength at the time of breakage of the filter medium for air filter of Conventional Example 1 was taken as 100, and the strength of the filter medium was expressed by relative evaluation by comparison with the strength at break of Conventional Example 1.
表１の実施例１〜９に示す通り、エアフィルタ用濾材を構成する混抄紙を、Ｂ2Ｏ3含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、Ｂ2Ｏ3含有量が５〜１５質量％のガラス繊維の２種類のガラス繊維を混抄して得ることで、混抄紙中のＢ2Ｏ3含有量を適宜調整することができた。この混抄紙にバインダを添着してガラス繊維表面にバインダを被覆したものをエアフィルタ用濾材として用いたエアフィルタによれば、発生するホウ素量を低減することができた。すなわち、実施例１〜９のエアフィルタから発生するホウ素量はその最大量が１５ｎｇ／ｍ3であり、従来例１のエアフィルタから発生するホウ素量の３００ｎｇ／ｍ3と比較して、発生するホウ素量が５％に低減されていた。また、実施例１〜６によれば、
エアフィルタから発生するホウ素量が１〜１０ｎｇ／ｍ3と低く、クリーンルーム内のホウ素収束濃度も５〜５０ｎｇ／ｍ3と低減することができた。
また、実施例６に示すように、Ｂ2Ｏ3含有量が０．１質量％以下のガラス繊維の配合量が８０質量％を超えるガラス繊維を主体とした混抄紙からなるエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタは、エアフィルタから発生するホウ素量が１ｎｇ／ｍ3未満と非常に低くくなるものの、エアフィルタ用濾材の強度が若干低くなった。
実施例７、８に示すように、バインダの添着量が多くなる程、エアフィルタから発生するホウ素量と、クリーンルーム内のホウ素収束濃度は低くなるが、バインダの添着量が多くなる程、エアフィルタの圧力損失が高くなった。また、実施例９に示すように、混抄紙にバインダ溶液を噴霧してバインダを添着したエアフィルタは、実施例１〜８のように混抄紙をバインダ溶液に浸漬させてバインダを添着したエアフィルタと比較して、エアフィルタから発生するホウ素量と、クリーンルーム内のホウ素収束濃度がともに増大していた。
これに対し、従来例１のエアフィルタは、エアフィルタから発生するホウ素量が３００ｎｇ／ｍ3、クリーンルーム内のホウ素収束濃度が１５５０ｎｇ／ｍ3と高かった。また、従来例２のように、Ｂ2Ｏ3含有量が０．１質量％以下のガラス繊維を主体として抄紙したエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタは、エアフィルタから発生するホウ素量、クリーンルーム内のホウ素収束濃度が１ｎｇ／ｍ3未満と低いものの、エアフィルタ用濾材の強度が若干低かった。
比較例のように、Ｂ2Ｏ3含有量が０．１質量％以下のガラス繊維と、Ｂ2Ｏ3含有量が５〜１５質量％のガラス繊維の２種類のガラス繊維を主体とした混抄紙からなるエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタであっても、この混抄紙にバインダを添着しない場合は、エアフィルタから発生するホウ素量が５０ｎｇ／ｍ3と高く、クリーンルーム内のホウ素収束濃度も２５８ｎｇ／ｍ3と高かった。
As shown in Examples 1-9 of Table 1, the mixed paper constituting the filter medium for an air filter, B 2 and O 3 content of 0.1 wt% or less of the glass fiber, the content of B 2 O 3 5 The B 2 O 3 content in the mixed paper could be appropriately adjusted by obtaining two types of glass fibers of 15% by mass of glass fiber. According to an air filter in which a binder is attached to the mixed paper and the glass fiber surface is coated with the binder, the amount of boron generated can be reduced. That is, the maximum amount of boron generated from the air filters of Examples 1 to 9 is 15 ng / m 3, which is generated in comparison with the boron amount of 300 ng / m 3 generated from the air filter of Conventional Example 1. The boron content was reduced to 5%. Moreover, according to Examples 1-6,
The amount of boron generated from the air filter was as low as 1 to 10 ng / m 3, and the boron concentration in the clean room could be reduced to 5 to 50 ng / m 3 .
Further, as shown in Example 6, an air filter medium comprising a mixed paper mainly composed of glass fibers having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and a glass fiber content of more than 80% by mass is provided. In the air filter used, the amount of boron generated from the air filter was very low at less than 1 ng / m 3 , but the strength of the air filter medium was slightly reduced.
As shown in Examples 7 and 8, as the amount of binder attached increases, the amount of boron generated from the air filter and the boron concentration in the clean room decrease, but as the amount of binder attached increases, the air filter The pressure loss increased. In addition, as shown in Example 9, the air filter in which the binder solution was sprayed on the mixed paper and the binder was attached thereto was an air filter in which the mixed paper was immersed in the binder solution and the binder was attached as in Examples 1-8. As compared with, both the amount of boron generated from the air filter and the boron concentration in the clean room increased.
In contrast, the air filter of the conventional example 1, boron amount generated from the air filter 300 ng / m 3, boron convergence concentration in the clean room was as high as 1550ng / m 3. Further, as in Conventional Example 2, an air filter using a filter medium for air filter made mainly of glass fiber having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less is the amount of boron generated from the air filter, clean room Although the boron concentration inside was as low as less than 1 ng / m 3 , the strength of the air filter medium was slightly low.
As in the comparative example, a mixture mainly composed of two types of glass fibers, glass fibers having a B 2 O 3 content of 0.1% by mass or less and glass fibers having a B 2 O 3 content of 5 to 15% by mass. Even in the case of an air filter using a filter material for air filter made of paper, if the binder is not attached to the mixed paper, the amount of boron generated from the air filter is as high as 50 ng / m 3, and the boron concentration in the clean room is also high. It was as high as 258 ng / m 3 .
１ エアフィルタから発生するホウ素量の測定装置
２ 試験用エアフィルタ
３ ファン
４ ケミカルフィルタ
５ 上流側サンプリング室
６ 下流側サンプリング室
７ 流出口
８ インピンジャ
９ インピンジャ
１０ クリーンルーム施設
１１ クリーンルーム
１２ エアフィルタ
１３ ファン
１４ ケミカルフィルタ
１５ 床部
１６ 循環路
１７ 排出口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Measuring apparatus of the amount of boron generated from an air filter 2 Test air filter 3
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005193207A JP2007007586A (en) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | Filter medium for air filter, and air filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005193207A JP2007007586A (en) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | Filter medium for air filter, and air filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007007586A true JP2007007586A (en) | 2007-01-18 |
Family
ID=37746740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005193207A Withdrawn JP2007007586A (en) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | Filter medium for air filter, and air filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007007586A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877370A (en) * | 2012-09-20 | 2013-01-16 | 蚌埠凤凰滤清器有限责任公司 | Hollow polyester staple fiber doped filter paper for diesel filter and preparation method for filter paper |
| CN102912688A (en) * | 2012-09-25 | 2013-02-06 | 蚌埠凤凰滤清器有限责任公司 | Preparation method of filter paper for filter containing nanometer titania |
| CN103938491A (en) * | 2014-03-18 | 2014-07-23 | 蚌埠市风驰滤清器有限公司 | Water and oil resistant oil filter paper added with nano-titanium dioxide and preparation method thereof |
| CN103966885A (en) * | 2014-03-31 | 2014-08-06 | 蚌埠德美过滤技术有限公司 | Solid, durable and flexible ceramic composite engine oil filter paper and manufacturing method thereof |
-
2005
- 2005-06-30 JP JP2005193207A patent/JP2007007586A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877370A (en) * | 2012-09-20 | 2013-01-16 | 蚌埠凤凰滤清器有限责任公司 | Hollow polyester staple fiber doped filter paper for diesel filter and preparation method for filter paper |
| CN102912688A (en) * | 2012-09-25 | 2013-02-06 | 蚌埠凤凰滤清器有限责任公司 | Preparation method of filter paper for filter containing nanometer titania |
| CN103938491A (en) * | 2014-03-18 | 2014-07-23 | 蚌埠市风驰滤清器有限公司 | Water and oil resistant oil filter paper added with nano-titanium dioxide and preparation method thereof |
| CN103938491B (en) * | 2014-03-18 | 2015-10-28 | 蚌埠市风驰滤清器有限公司 | A kind of Waterproofing/oilproofing oil filter filter paper adding nano titanium oxide and preparation method thereof |
| CN103966885A (en) * | 2014-03-31 | 2014-08-06 | 蚌埠德美过滤技术有限公司 | Solid, durable and flexible ceramic composite engine oil filter paper and manufacturing method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8709120B2 (en) | Filter media including glass fibers | |
| JP4927329B2 (en) | Filter media containing mineral fibers obtained by centrifugation | |
| CN106400599B (en) | A kind of preparation method of high temperature resistant filter paper | |
| CN103657258B (en) | Air filtration glass fiber cotton composite material of series F5-F9 and manufacturing method thereof | |
| TWI647189B (en) | Large diameter slag wool, composition and manufacturing method thereof | |
| JP2007007586A (en) | Filter medium for air filter, and air filter | |
| KR101516981B1 (en) | Mineral wool fiber composition having improved saline solubility and construction material containing the mineral wool fiber obtained therefrom | |
| CN109481989B (en) | High-temperature-resistant dehumidifying ceramic filter element and preparation method thereof | |
| CN111892301B (en) | Glass antibacterial micro-beads and glass antibacterial resin | |
| KR20110008153A (en) | Filter material for air filters | |
| JP2017060932A (en) | Filter paper for filter and production method of the same | |
| JP5536537B2 (en) | Air filter media | |
| US10899652B2 (en) | Glass fibers | |
| KR100900818B1 (en) | A/C pre-filter with micro-pores | |
| JPH0970512A (en) | Filter material for air filter and air filter | |
| JP4494325B2 (en) | Manufacturing method of glass preform for optical fiber | |
| JP7093732B2 (en) | Manufacturing method of glass base material for optical fiber | |
| JP3761239B2 (en) | Air filter medium and air filter | |
| JP6964033B2 (en) | Filter material for air filter | |
| JP2000300919A (en) | Air filter | |
| CN2198964Y (en) | Film composite filtering material | |
| JP2008212828A (en) | Functional fiber sheet and its manufacturing method | |
| Yinger et al. | FUTURE‐PROOFING YOUR DUST COLLECTION SYSTEM BEST PRACTICES IN DUST COLLECTION FOR THE GLASS INDUSTRY | |
| JPH04284803A (en) | Glass fiber filter sheet for use in air filter of high performance | |
| JP6941462B2 (en) | Filter media for air filters and air filters |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080528 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090501 |