JP2006351916A - 発光素子 - Google Patents
発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006351916A JP2006351916A JP2005177577A JP2005177577A JP2006351916A JP 2006351916 A JP2006351916 A JP 2006351916A JP 2005177577 A JP2005177577 A JP 2005177577A JP 2005177577 A JP2005177577 A JP 2005177577A JP 2006351916 A JP2006351916 A JP 2006351916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- type
- layer
- insulating layer
- tunnel insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
【課題】シリコンなどのIV族半導体を用いてより容易に発光素子が形成できるようにする。
【解決手段】p型とされたIV族半導体からなる基板101と、基板101の上に形成されたn型領域102と、一部がn型領域102にかかるように基板101の上に形成されたトンネル絶縁層103と、トンネル絶縁層103の上に接して形成されたIV族半導体からなるp型半導体層104とを備える。また、p型半導体層104の上に配置された電極層105と、n型領域102にオーミック接続して形成されたオーミック電極106と、基板101の裏面側に配置された電極層107とを備える。電極層105と電極層107とにより、基板101,トンネル絶縁層103,及びp型半導体層104に、これらの積層方向へ電場を印加可能とされている。
【選択図】 図1
【解決手段】p型とされたIV族半導体からなる基板101と、基板101の上に形成されたn型領域102と、一部がn型領域102にかかるように基板101の上に形成されたトンネル絶縁層103と、トンネル絶縁層103の上に接して形成されたIV族半導体からなるp型半導体層104とを備える。また、p型半導体層104の上に配置された電極層105と、n型領域102にオーミック接続して形成されたオーミック電極106と、基板101の裏面側に配置された電極層107とを備える。電極層105と電極層107とにより、基板101,トンネル絶縁層103,及びp型半導体層104に、これらの積層方向へ電場を印加可能とされている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、シリコンなどのIV族半導体を用いた発光素子に関する。
シリコン(Si)やゲルマニウム(Ge)などに代表されるIV族半導体は、半導体集積電子回路の材料としてよく用いられている。特にSiは、表面近傍でバンド構造を多様に制御して微細なトランジスタを形成することができるため、今日の大規模集積化電子回路の基盤的材料となっている。また、シリコンをはじめとするIV族半導体による光デバイスも数多く開発され、集積電子回路と組み合わせた高機能デバイスも実現され、例えば、マトリックス型に配列されたピクセルから成る電荷結合素子(CCD)型のイメージセンサなどがある。
しかしながら、IV族半導体による素子で光源を実現しようとする場合、直接発光が実質的に困難であることが障害となっている。例えばIV族半導体であるゲルマニウムでは、図5のバンド構造に示すように、価電子帯の頂点Γ25'の波数ベクトルと、伝導帯の底L1の波数ベクトルが一致していない。このため、バンド間遷移は、波数ベクトルが異なる間接遷移であり、バンド間遷移により光子を発生させるためには、点線の矢印で示すようなに、波数保存則を満たすようなフォノンの吸収又は放出が必要となる。このような間接遷移の確率は、光子の放出(又は吸収)過程とフォノンの吸収(又は放出)過程の2つの確率事象の積に比例するため、実効的にはきわめて低くなっている。
このようなIV族半導体における間接遷移の問題を解決する手段として、従来より微小構造による方法が提案・検証されている。例えば、1nm程度もしくはこれ以下の寸法の微小な構造体を形成すると、微小な構造体においては、図6中の横方向の矢印で示すように、電子の位置と運動量の不確定性関係から運動量の不確定性(Δk)が大幅に増大する。このような状態では、価電子帯と伝導帯との間の遷移(帯間遷移)における運動量の保存則が満たされなくなり、図6中の2つの横方向の矢印の重なる領域に示すように、実効的にフォノンを介在させない直接遷移型の光学的過程が実現する。
L.S.Monastyrskii, et al., "Peculiarities of heterostructures made on the base of porous silicon and their physical properties", Proc. SPIE, Vol.4293, pp.181-184, 2001.
L.Pavesi, et al.,"Optical gain in silicon nanocrystals",Proc. SPIE, Vol.4293, pp.162-171, 2001.
しかしながら、上述した直接遷移型の光学遷移を実現させるために必要な運動量の不確定性(L点からΓ点まで)は極めて大きく、従って、要求される微小領域の大きさは極めて小さく、前述したようにnmオーダの寸法となる。このような微小領域を従来のリソグラフ技術で実現することは、極めて困難であり、ポーラス状に結晶成長する微小構造体を利用するか、又は、アモルファス化する必要があった。しかし、これらの構造体は、平坦な半導体表面に多数のトランジスタ回路を集積化する電子回路との整合性が悪く、集積化するための光学素子として適用することが困難である。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、シリコンなどのIV族半導体を用いてより容易に発光素子が形成できるようにすることを目的とする。
本発明に係る発光素子は、p型のIV族半導体から構成された基板と、この基板の主表面に接して形成されて電子がトンネル可能な膜厚に形成されたトンネル絶縁層と、このトンネル絶縁層の上に接して形成されたp型のIV族半導体からなるp型半導体層と、基板の上に形成されてトンネル絶縁層の端部の領域と一部が重なるn型の領域と、基板、トンネル絶縁層、及びp型半導体層に、これらの積層方向へ電場を印加可能とする電極構造とを少なくとも備えるようにしたものである。基板、トンネル絶縁層、及びp型半導体層に、これらの積層方向へ電場が印加し、基板のトンネル絶縁層との接合部の近傍に、IV族半導体の伝導帯の底以外のΓ点を含む他の極点にまで到達する反転層が形成される状態とすれば、反転層におけるΓ点を含む伝導帯の他の極点に属する電子が、直接遷移型でトンネル絶縁層をトンネルして遷移し、p型半導体層において正孔と再結合してフォトンを放出する。
上記発光素子において、p型半導体層の上に形成されて電極構造の一部を構成する電極層と、基板の裏面側に電極層と対向した状態で配置された分布反射型のミラーとを少なくとも備え、電極層とミラーとにより共振器が構成されているようにしてもよい。このとき、IV族半導体の価電子帯頂点と、この頂点と同じ波数ベクトルを持つ伝導帯の頂点とのエネルギー差の2分の1のエネルギーに対応した波長が固有モードとなるように、共振器の光学長が整合されていればよい。また、基板の上に形成されてトンネル絶縁層の対向する2つの端部の領域と各々一部が重なる2つのn型の領域を備えるようにすれば、共振器の実行長を制御や、反転層形成領域の電子数密度を変化させて屈折率を制御することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、p型のIV族半導体からなる基板、トンネル絶縁層、及びp型半導体層を積層し、これらの積層方向へ電場を印加可能としたので、トンネル絶縁層をトンネルすることにより直接遷移型で電子の遷移を起こすことが可能となり、正孔との再結合が起きるようになり、シリコンなどのIV族半導体を用いてより容易に発光素子が形成できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態における発光素子の構成例を示す模式的な断面図である。図1に示す発光素子は、p型とされたIV族半導体からなる基板101と、基板101の上に形成されたn型領域102と、一部がn型領域102にかかる(重なる)ように基板101の上に形成されたトンネル絶縁層103と、トンネル絶縁層103の上に接して形成されたIV族半導体からなるp型半導体層104とを備える。n型領域102の一部とトンネル絶縁層103の端部の領域とが、重なっている。また、図1に示す発光素子は、p型半導体層104の上に配置された電極層105と、n型領域102にオーミック接続して形成されたオーミック電極106と、基板101の裏面側に配置された電極層107とを備える。電極層105と電極層107とにより、基板101,トンネル絶縁層103,及びp型半導体層104に、これらの積層方向へ電場を印加可能とされている。
IV族半導体がシリコンの場合、基板101及びp型半導体層104は、例えば、リンがドープされることでp型とされている。一方、n型領域102は、イオン注入により選択的にボロンを注入することで形成可能である。なお、電極106は、n型領域102に設けられた凹部の内部に配置されている。また、トンネル絶縁層103は、例えば酸化シリコンから構成されている。トンネル絶縁層103は、トンネル電子が流れる程度に薄く形成されていればよいが、薄いほど絶縁破壊による耐圧が低下するので、膜厚数十nmとされていればよい。
図1に示す発光素子の動作を説明すると、電極層105に正の電圧が印加された状態とし、トンネル絶縁層103及びこれに接合しているp型の半導体領域に電圧(電場)が印加された状態とすることで、トンネル絶縁層103と基板101との界面近傍の基板101に反転層が形成され、電子が蓄積されるようになる。また、形成された反転層は、近傍に配置されているn型領域102と結合し、オーミック電極106により電源が供給されたn型領域102より電子が供給される状態となる。一方、トンネル絶縁層103とp型半導体層104との界面近傍のp型半導体層104には、正孔の蓄積領域が形成されるようになる。上記反転層に蓄積(供給)された電子は、印加されている電圧により駆動され、トンネル絶縁層103をトンネルし、p型半導体層104に形成されている正孔と再結合し、フォトンを放出する。
以下、上述した発光過程についてより詳細に説明する。電極層105よりp型半導体層104から絶縁層103を介して基板101の側へ電圧を印加すると、図2のバンド図に示すように、基板101と絶縁層103との界面近傍のポテンシャル、及びp型半導体層104と絶縁層103との界面のポテンシャルが歪み、電場の低い方であるp型半導体層104側の界面近傍に、反転層201が形成されるようになる。また、電場の高い方である基板101側の界面近傍には、正孔の蓄積領域202が形成される。なお、図2において、グレー(灰色)で示す領域が、電子が存在領域を示している。
このように電場が印加されている状態で、印加する電圧を高くすると反転層201が深くなり、反転層201は、伝導帯の底(例えばGeではL点)だけではなく、Γ(ガンマ)点を含む他の極点にも形成されるようになる。ここで、絶縁層103は、電子がトンネリングする程度に薄く、印加された電場に誘導されてた電子は、絶縁層103をトンネル(通過)する。トンネリングにより電子は散乱を受けないものとすると、絶縁層103を通過した電子の波数ベクトルは通過前と同じである。
ここで、L点から放出された電子は、前述したように、フォノンが介在する間接遷移により正孔と結合することになるため、正孔との再結合の確率が極めて小さい。このため、L点に属する電子に対しては、トンネリングの確率自体が小さくなっている。一方、Γ点を含む伝導帯の他の極点に属する電子は、遷移による運動量変化がないため直接遷移型となり、Γ点に属する電子のバンド間遷移により、前述したように、光子(フォトン)が放出されるようになる。
上述したようにして、p型半導体層104の中で生成された光は、p型半導体層104の側部端面より放出される。ここで、図1に示す発光素子では、オーミック電極106がn型領域102に設けられた凹部の内部に配置され、p型半導体層104の側部端面からの光放出を阻害しないようにされている。なお、図1に示す発光素子では、基板101の上に形成されてトンネル絶縁層103の対向する2つの端部の領域と各々一部が重なるように2つのn型領域102を設けるようにしたが、これに限るものではなく、1つのn型領域102が設けられている状態でもよい。なお、上述した過程による発光が行われる領域、すなわち反転層が形成される領域は、放出させようとする光の半波長よりも大きい方がよい。所望とする発光波長が可視から近赤外域の場合、反転層が形成される領域は、一辺が1μm以上の正方形の領域であればよい。
次に、本発明の実施の形態における他の発光素子について説明する。図3は、本発明の実施の形態における他の発光素子の構成例を模式的に示す断面図である。図3に示す発光素子は、p型とされたIV族半導体からなる基板301と、基板301の上に形成されたn型領域302と、一部がn型領域302にかかるように基板301の上に形成されたトンネル絶縁層303と、トンネル絶縁層303の上に接して形成されたIV族半導体からなるp型半導体層304とを備える。また、図3に示す発光素子は、p型半導体層304の上に配置された電極層305と、n型領域302にオーミック接続して形成されたオーミック電極306とを備える。加えて、図3に示す発光素子は、基板301の裏面側に凹部301aを備え、かつ、電極層305に対向して凹部301の底面に配置されたミラー307を備える。
IV族半導体がシリコンの場合、基板301及びp型半導体層304は、例えば、リンがドープされることでp型とされている。一方、n型領域302は、イオン注入により選択的にボロンを注入することで形成可能である。なお、電極306は、n型領域302に設けられた凹部の内部に配置されている。また、トンネル絶縁層303は、例えば酸化シリコンから構成されている。トンネル絶縁層303は、トンネル電子が流れる程度に薄く形成されていればよいが、薄いほど絶縁破壊による耐圧が低下するので、膜厚数十nmとされていればよい。
また、ミラー307は、金属からなる電極層305(とp型半導体層304との界面)と組み合わせることで共振器を構成するようにしたものであり、2種類の4分の1波長膜が周期的に複数積層された分布反射(DBR)ミラーである。このように構成されたミラー307と電極層305とにより、ファブリペロー共振器が構成される。従って、図3に示す発光素子では、光軸が基板301の平面に対して垂直な方向となっている。
図3に示す発光素子においても、図1に示す発光素子と同様に、例えば、電極層305に正の電圧が印加された状態とし、トンネル絶縁層303を介して接合しているp型の半導体領域に電圧(電場)が印加された状態とすることで、トンネル絶縁層303と基板301との界面近傍の基板301に反転層が形成され、電子が蓄積されるようになる。また、形成された反転層は、近傍に配置されているn型領域302と結合し、n型領域302より電子が供給される状態となる。一方、トンネル絶縁層303とp型半導体層304との界面近傍のp型半導体層304には、正孔の蓄積領域が形成されるようになる。上記反転層に蓄積(供給)された電子は、印加されている電圧により駆動され、トンネル絶縁層303をトンネルし、p型半導体層304に形成されている正孔と再結合し、フォトンを放出する。
しかしながら、バンド間遷移により放出される光子のエネルギーは電子遷移のエネルギー差に等しいため、例えば、Γ2'からΓ25'への直接遷移の際のエネルギーは、半導体のバンドギャップを超えてしまう場合がある。この波長の光に対してp型半導体層304は不透明な媒質として作用するので、発光作用が損なわれる恐れがある。これを解決する手段として、2光子放出過程の利用が有効である。2光子放出過程の確率を増強するためには、発光領域を含むように、共振器を設けるようにすればよい。共振器の固有モードλmは、例えば長さlのファブリペロー(Fabry-Perot)共振器の場合、次の(1)式に示すようになる。
λm=(2nl)/m・・・(1)
ここで、共振器の長さlを制御して固有モードが電子遷移エネルギーの2分の1に相当する波長λgとなるように設定すると、「mλg=nl・・・(2)」となる。また、「(2m)λg=2nl」とすれば、波長が電子遷移エネルギーと一致している場合も固有モードがあるといえる。
しかし、屈折率の波長分散により、上記2つの波長で同時に固有モードが与えられることはない。分散による屈折率変移を「n(λg)=n0+δn・・・(3)」、(なおn0≡n(λg/2)である、)とすると、共振器の中を周回する毎に、光は 「δφ=4mπ+4π(δnl)/λg・・・(4)」という位相変化を受ける。従って、「l=λg/(4δn)・・・(5)」が満たされれば、電子遷移エネルギーに相当する波長の光に対しては反共鳴状態となる(図4参照)。
次に、エネルギーがEaの状態からEbの状態(E=Eb−Ea)に電子が遷移して角周波数ωでフォトンを真空に1個放出する確率は、以下の(6)式で示される。
P〜|〈a|p|b〉|2|〈γ|E|0|〉2δρδ(ω−Ω)・・・(6)
なお、pは電子分極、Ω=(Eb−Ea)/hである。また、δρはモード密度である。
なお、pは電子分極、Ω=(Eb−Ea)/hである。また、δρはモード密度である。
モード密度は、一様な真空の場合には「ω2/(π2c3)」であり、光角周波数の二乗に比例するが、共振器の中ではモード密度は変調され、真空のモード密度よりも高くなる場合及び低くなる場合がある。ファブリペロー共振器の場合も同様で、図4に示す共振器のスペクトル応答関数と整合するようにモード密度が変調され、モード密度は、共鳴状態で最大となり、反共鳴状態で最小となる。特に共振器のQ値が高い場合には、反共鳴状態でモード密度が0に漸近するため、このモード近傍の波長帯で遷移確率が0となる。従って、λ=λg/2で共鳴し、λ=λgで反共鳴するように共振器を設定すれば、1光子を放出する電子遷移を抑圧し、効率よく2光子放出を伴う電子遷移を増強することが可能となる。
図3に示す発光素子では、ミラー307の中心波長(真空波長)が、電子遷移のエネルギーの2分の1に整合した波長「λ=2hc/(Eb−Ea)」に等しくなるように設定されていればよい。言い換えると、IV族半導体の価電子帯頂点と、この頂点と同じ波数ベクトルを持つ伝導帯の頂点とのエネルギー差の2分の1のエネルギーに対応した波長が固有モードとなるように、上記共振器の光学長が整合されていればよい。DBRが形成する禁止帯により高反射率のミラーが提供されることになるが、ミラー307により有効に反射される波長範囲は、ブラッグ波長近傍に限定される。このため、波長がブラッグ波長の2分の1となる近傍の光では、ミラー307の反射率は極めて小さくなる。従って、1光子を放出する間接型の電子遷移の確率は、ミラー307による共振器の中で増強されることはなく、効率よく2光子放出を伴う電子遷移を増強することが可能となる。この結果、図3に示す発光素子によれば、ミラー307より、基板301の裏面側(図3の紙面下方向)に光が放出されるようになる。
なお、図3に示すように、基板301の上に形成されてトンネル絶縁層303の対向する2つの端部の領域と各々一部が重なるように2つのn型領域302を設け、これらの間に形成されて結合する反転層の電子数密度を制御することにより、反転層が形成されている領域の屈折率を制御し、ミラー307による共振器の実行長を制御することで、ブラッグ波長で直接遷移型の電子遷移を増強しながら間接型の電子遷移を防止することも可能である。ここで、上述した電子数密度による屈折率制御は、電子のプラズマ効果により屈折率が電子数密度に比例して低下することによるものである。なお、上述したように、2つのn型領域302により反転層形成領域の電子数密度を変化させて屈折率を制御することにより発光効率を制御し、最終的には光出力を制御することができる。従って、図3に示す発光素子によれば、2つのn型領域302に加えるバイアス電圧に制御信号を重畳することにより、光信号のトランスミッタとして利用することも可能である。
101…基板、102…n型領域、103…トンネル絶縁層、104…p型半導体層、105…電極、106…オーミック電極、107…電極、201…反転層、202…正孔の蓄積領域。
Claims (4)
- p型のIV族半導体から構成された基板と、
この基板の主表面に接して形成されて電子がトンネル可能な膜厚に形成されたトンネル絶縁層と、
このトンネル絶縁層の上に接して形成されたp型のIV族半導体からなるp型半導体層と、
前記基板の上に形成されて前記トンネル絶縁層の端部の領域と一部が重なるn型の領域と、
前記基板、前記トンネル絶縁層、及び前記p型半導体層に、これらの積層方向へ電場を印加可能とする電極構造と
を少なくとも備えることを特徴とする発光素子。 - 請求項1記載の発光素子において、
前記p型半導体層の上に形成されて前記電極構造の一部を構成する電極層と、
前記基板の裏面側に前記電極層と対向した状態で配置された分布反射型のミラーと
を少なくとも備え、
前記電極層と前記ミラーとにより共振器が構成されている
ことを特徴とする発光素子。 - 請求項2記載の発光素子において、
前記基板の上に形成されて前記トンネル絶縁層の対向する2つの端部の領域と各々一部が重なる2つのn型の領域を備える
ことを特徴とする発光素子。 - 請求項2又は3記載の発光素子において、
前記IV族半導体の価電子帯頂点と、この頂点と同じ波数ベクトルを持つ伝導帯の頂点とのエネルギー差の2分の1のエネルギーに対応した波長が固有モードとなるように、前記共振器の光学長が整合されている
ことを特徴とする発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005177577A JP2006351916A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005177577A JP2006351916A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006351916A true JP2006351916A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37647428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005177577A Pending JP2006351916A (ja) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006351916A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010041048A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Commissariat A L'energie Atomique | 半導体材料からなる発光ダイオード及び当該発光ダイオードの製造方法 |
JP2017123370A (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 日本電信電話株式会社 | 電磁波発生装置 |
-
2005
- 2005-06-17 JP JP2005177577A patent/JP2006351916A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010041048A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Commissariat A L'energie Atomique | 半導体材料からなる発光ダイオード及び当該発光ダイオードの製造方法 |
JP2017123370A (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 日本電信電話株式会社 | 電磁波発生装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7212621B2 (ja) | 量子光光源素子およびその量子光学回路 | |
Benson et al. | Regulated and entangled photons from a single quantum dot | |
Kurzmann et al. | Auger recombination in self-assembled quantum dots: quenching and broadening of the charged exciton transition | |
US5187715A (en) | Quantum well optical device | |
EP1955383B1 (en) | Light emitting slot-waveguide device | |
JP4163004B2 (ja) | 光取り出し手段を持つ電界発光素子 | |
US7120332B1 (en) | Placement of lumiphores within a light emitting resonator in a visual display with electro-optical addressing architecture | |
US20060291769A1 (en) | Light emitting source incorporating vertical cavity lasers and other MEMS devices within an electro-optical addressing architecture | |
US20130148682A1 (en) | Plasmon lasers at deep subwavelength scale | |
JP2019149503A (ja) | 発光装置およびその製造方法、ならびにプロジェクター | |
US7352926B2 (en) | Visual display with electro-optical addressing architecture | |
JP2698394B2 (ja) | 非線形光学素子 | |
JP5829375B2 (ja) | 光学素子とこれを用いた光子発生装置、光発生装置、光記録装置および光検出装置 | |
US20170207414A1 (en) | Dielectric layer, display substrate comprising the dielectric layer, and method for manufacturing the display substrate | |
JP2019029522A (ja) | 発光装置およびプロジェクター | |
JP2021530858A (ja) | イントリンシック・プラズモン−励起子ポラリトンに基づく光電子デバイス | |
US10574029B2 (en) | Photonic crystal device | |
JP4870706B2 (ja) | 光双安定素子及びメモリ安定化方法 | |
JP2006351916A (ja) | 発光素子 | |
JP2013517534A (ja) | 偏光もつれ光子対発生源及びその製造方法 | |
US20220173574A1 (en) | System and method for topological lasers generating and multiplexing optical beams with unbounded orbital angular momenta | |
Zhang et al. | Single-mode emission from Ge quantum dots in photonic crystal nanobeam cavity | |
JP2006173562A (ja) | アンチモン系材料を用いた光通信波長用面発光レーザ素子及びその画像生成装置並びに情報中継装置 | |
US6631151B1 (en) | Parametrical generation laser | |
TWI810493B (zh) | 介電光電相移器 |