JP2006343412A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【課題】数Gbpsを越えるより高速な変調が可能な光変調器を提供する。
【解決手段】光導波路コア102は、p型半導体層121、n型半導体層122、絶縁層123、p型半導体からなる変調層124、絶縁層125、p型半導体層126、n型半導体層127が積層されて構成されている。p型半導体からなる変調層124と絶縁層125との接合界面に垂直に電場を印加すると、界面近傍で変調層124のバンドが電場による歪みを生じる。電場を絶縁層125から変調層124へ入射する方向で印加する場合、変調層124のバンドは界面近傍で負の方向に歪み、変調層124の界面近傍の伝導帯のバンドの底が変調層124のフェルミ準位よりも下になると、界面近傍に反転層が形成されて少数キャリアである電子が蓄積される。
【選択図】 図1
【解決手段】光導波路コア102は、p型半導体層121、n型半導体層122、絶縁層123、p型半導体からなる変調層124、絶縁層125、p型半導体層126、n型半導体層127が積層されて構成されている。p型半導体からなる変調層124と絶縁層125との接合界面に垂直に電場を印加すると、界面近傍で変調層124のバンドが電場による歪みを生じる。電場を絶縁層125から変調層124へ入射する方向で印加する場合、変調層124のバンドは界面近傍で負の方向に歪み、変調層124の界面近傍の伝導帯のバンドの底が変調層124のフェルミ準位よりも下になると、界面近傍に反転層が形成されて少数キャリアである電子が蓄積される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高速な変調が可能な光変調器に関するものである。
現在、高密度光集積回路の実現に向けて,微小光回路の研究開発が進展している。この中で、高屈折率光導波路材料として、通信波長帯(近赤外)で透明なシリコンやゲルマニウムなどのIV族元素半導体及びこれらの混晶が着目されている。この理由は、IV族元素は、化合物半導体よりも結晶品質にすぐれて大規模集積化の見通しがある上、既存の半導体素子と融合させることにより、多様な機能を発現させる可能性を有しているためである。
このようなIV族半導体の光機能素子として、光位相変調器及びこれを応用した光強度変調器が提案されまた検証されている。このような従来よりある光位相変調器としては、例えば図7の断面図に示すように、基板701の上に光導波路となるシリコンからなるリッジ形状のコア702を備え、コア702の一部にコア702を挾むようにp型領域703及びn型領域704を備え、各々正孔及び電子を注入可能としている。コア702の一部には、導波方向に垂直な方向に延在する鍔部を備え、この鍔部にイオン注入をすることで、p型領域703及びn型領域704が形成されている。
p型領域703及びn型領域704及びこれらに挾まれたコア702により所謂pin接合が形成され、この領域のコア702には空乏領域が形成される。従って、p型領域703及びn型領域704に順方向に電圧を印加すると、各々より正孔と電子とが、コア702に形成された空乏領域に注入されるようになる。なお、p型領域703及びn型領域704には、各々電極705,電極706が設けられている。上記空乏領域では、注入されたキャリアが結合して消滅する速度と注入速度がつりあいをとりながらも、キャリア密度は電流を印加する前よりも高くなっている。
電子及び正孔の両方を含めたキャリア密度の増大分をΔNとすると、これにより、空乏領域の誘電率はプラズマ効果により低下する。従って、誘電関数の変化分Δεは、以下の(1)式により示せる。
Δε(ω)=−(e2Δn)/(mω2ε0)・・・(1)
なお、(1)式で、mは電子の(有効)質量、eは素電荷、ωは光角周波数、ε0は真空の誘電率である。
なお、(1)式で、mは電子の(有効)質量、eは素電荷、ωは光角周波数、ε0は真空の誘電率である。
上述した空乏領域における誘電率の変化は、実数部分の変化であって、屈折率の実数部分の変化Δnとして、以下の(2)式で示される状態を感受する。
Δn=Δε/{2(εs)1/2}・・・(2)
このような屈折率変化を受ける導波路部分をLだけ進行する光は、以下の(3)式で示されるΔφだけの位相変化を受けることになる。従って、キャリア注入により誘電率を介して位相変調できることになる。
Δφ={(2πΔn)/λ}L=(Lπ/λ){Δε/(εs)1/2}・・・(3)
このような位相変調を利用して、強度変調器を構成することも容易である。例えば、図8に示すように、マッハツェンダー(Mach-Zehnder)干渉計801を構成し、この一方のアーム802の一部に、前述同様にp型領域803及びn型領域804を配して位相変調の機構を組み込むことにより、以下の(4)式に示すように、干渉計の透過波を変調することができる。
|Eeff|2=|E+Eexp(iΔφ)|2=2E2(1+cosΔφ)・・・(4)
従って、Δφが0とπとなるように位相変調の領域を調整することにより、変調度が1近くの良好な強度変調を達成することができる(非特許文献1参照)。
A.Liu, et al.,"A High-speed silicon optical modulator based on a metal-oxide-semiconductor capacitor", Nature, Vol.427, pp.615-618, 2004.
前述したように、従来では、キャリアの注入によって光導波路領域の誘電率を制御することにより位相変調を行うようにしていた。しかしながら、半導体光導波路は、高屈折率により光を狭いところに閉じ込めて伝播しているが、波動性に支配されているため、シングルモード導波路であっても、導波路(コア)の大きさ(断面の直径)は少なくともλ/(2n)程度は必要である。例えばλ=155μm、n=3.5としても、断面の直径は220nmである。
さらに、各々200nm程度のp型領域及びn型領域を設けてキャリア注入機構を構成すると、変調に必要なキャリアの移動量は300〜400nmに達する。これらに加え、p型領域及びn型領域へキャリアを注入する外部回路は、数μmから場合によっては数mmの伝播距離を有しており、RC時定数が高速なキャリアの注入を阻害している。従って、従来の光変調器におけるキャリア注入による位相変調では、変調速度が数Gbps程度にとどまっており、より高速な変調には適用できない状況である。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、数Gbpsを越えるより高速な変調が可能な光変調器を提供することを目的とする。
本発明に係る光変調器は、絶縁体から構成された第1クラッド層と、この第1クラッド層の主表面の上に形成されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる変調層と、この変調層の上に接して形成された絶縁層と、絶縁層の上に形成された絶縁体から構成された第2クラッド層と、第1クラッド層と変調層との間に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる第1p型半導体層と、この第1p型半導体層と変調層との間に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる第1n型半導体層と、変調層と第2クラッド層との間に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる第2p型半導体層と、この第2p型半導体層と第2クラッド層との間に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる第2n型半導体層と、第1クラッド層の裏面に形成された第1電極と、第2クラッド層の上に形成された第2電極とを少なくとも備え、第1p型半導体層、第1n型半導体層,変調層,絶縁層,第2p型半導体層、及び第2n型半導体層から光導波路コアが構成されているようにしたものである。第2電極から第1電極にかけて正の電圧が印加されると、変調層の絶縁層との界面近傍に反転層が形成され少数キャリアである電子が蓄積されるようになる。
上記光変調器において、変調層と絶縁層との界面は、光導波路コアの層厚方向の中央部に配置されるようにしてもよく、変調層と絶縁層との界面は、光導波路コアの層厚方向の中央部より外側に配置されていてもよい。また、複数の組の変調層及び絶縁層を備え、変調層及び絶縁層からなる各組の間の絶縁層の側に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる層間p型半導体層と、変調層及び絶縁層からなる各組の間の変調層の側に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる層間n型半導体層とを少なくとも備えるようにしてもよい。なお、変調層の絶縁層が形成されている側とは異なる面に接して形成された他の絶縁層を備えるようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、光導波路コアにp型半導体からなる変調層及び絶縁層を備え、電圧の印加により、変調層の絶縁層との界面近傍に反転層が形成されて少数キャリアである電子が蓄積されるようにしたので、屈折率をより高速に変化させることが可能となり、数Gbpsを越えるより高速な変調が可能な光変調器が実現できるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態における光変調器の構成例を模式的に示す断面図である。図1において、(a)は導波方向に平行な断面を示し、(b)は、導波方向に垂直な断面を示している。図1に示す光変調器は、下部クラッド層101、この上に形成された光導波路コア102、この上に形成された上部クラッド層103、この上に形成された上部電極(第2電極)104、下部クラッド層101の下に形成された下部電極(第1電極)105を備えている。
また、光導波路コア102は、p型半導体層121、n型半導体層122、絶縁層123、p型半導体からなる変調層124、絶縁層125、p型半導体層126、n型半導体層127が積層されて構成されている。光導波路コア102は、厚さ400nm程度に形成されていればよく、この中で、上記各層は10nm以上の厚さがあればよい。例えば、p型半導体層121が60nm、n型半導体層122が60nm、絶縁層123が65nm、変調層124が60nm、絶縁層125が30nm、p型半導体層126が60nm、n型半導体層127が60nm程度の膜厚に形成されていればよい。
また、図1(b)に示すように、下部クラッド層101の一部から光導波路コア102及び上部クラッド層103は、リッジ状に形成され、これらの側部を埋めるように、埋め込み絶縁層106が形成されている。なお、下部クラッド層101,上部クラッド層103は、例えば酸化シリコンから構成され、上記p型半導体層は、例えば不純物としてホウ素が導入されたシリコンから構成され、上記n型半導体層は、例えば不純物としてリンが導入されたシリコンから構成されている。また、変調層124を挾む絶縁層123,絶縁層125は、例えば酸化シリコンから構成され、埋め込み絶縁層106は、例えばポリイミドなどの樹脂から構成されている。なお、シリコンに限らず、他の半導体から構成されていてもよい。
以下、図1に示す光変調器の動作について説明する。図2に示すように、p型半導体からなる変調層124と絶縁層125との接合界面に垂直に電場を印加すると、界面近傍で変調層124のバンドが電場による歪みを生じる。電場を絶縁層125から変調層124へ入射する方向で印加する場合、変調層124のバンドは界面近傍で負の方向に歪む。電場の増大とともにこの歪みは大きくなり、変調層124の界面近傍の伝導帯のバンドの底が変調層124のフェルミ準位(FE)よりも下になると、界面近傍に反転層201が形成されて少数キャリアである電子が蓄積される。この電子は、p型半導体である変調層124の価電子帯から供給されたものである。なお、図2において、変調層124のフェルミ準位近傍に示している複数の点は、変調層124をp型とするために添加されているドーパント(アクセプタ)の準位を示している。
このような反転層201に出現する電子は、プラズマ効果により従来技術と同様に変調層124の誘電率を低下させて屈折率を変化させる。一方、電場が印加されずに電子が価電子帯にある場合には、これは半導体原子に局在している電子とみなせ、原子の電子分極による寄与として誘電率への算出に組み込まれる。従って、電場が印加される反転層201が形成されていない場合は、原子の平均の屈折率は大きく変化することない。これに対し、電場が印加され、反転層201へ引き出されたことによりフリーキャリアとなった電子は、屈折率変化の主因となる。
このような反転層201へのキャリア(電子)の出現に必要な距離は、きわめて短い。実効的に、バイアス電圧印加により価電子帯の電子の一部が励起してフリーキャリアになるとみなせる。このような電圧印加による電子の遷移は本質的に高速であり、キャリアが移動することによる速度制限を受けることはない。
また、反転層201の電子数は、印加電圧により次のように制御可能であり、印加電圧を変化させることにより、屈折率を連続的に変化させることが可能である。まず、真性半導体のフェルミエネルギーをEIとした(5)式により定義されるポテンシャルを、(6)式に導入することで、反転層201への電子数は計算される。なお、(6)式中のF(u,uB)は、以下の(7)式を用いる。
uB≡{e/(kT)}(EF−EI)・・・(5)
F(u,uB)=21/2{cosh(u)−cosh(ub)+(u−uB)sinh(uB)}1/2・・・(7)
なお、LDはデバイス長、usは表面ポテンシャル、Niは真性キャリア密度である。またキャリア密度N(u)はボルツマン近似により以下の(8)式で与えられる。
N(u)=Niexp(u)・・・(8)
以上示したように、反転層201の電子の総数は印加電圧に関連した実効的なポテンシャルuの直接的な関数である。従って、印加電圧により反転層201の電子の総数を制御することが可能である。 このように、電子密度を外部電圧によりアナログ的に制御することが可能であり、光の位相も、印加する電圧によりアナログ的に制御することが可能である。なお、これらの定量的な評価は、ポテンシャルuを実効的に定める内部構造を考慮すればよい。
ところで、図1に示す光変調器においては、光導波路コア102が絶縁体の下部クラッド層101及び上部クラッド層103挟まれ、これらの外側に設けられた下部電極105及び上部電極104より、変調層124に対して層厚方向に電圧が印加される。このように、図1に示す光変調器では、下部電極105及び上部電極104の間隔が比較的広く、光導波路コア102の中心部に配置される変調層124に印加される実効電場が小さくなる。
このため、p型半導体層121、n型半導体層122及びp型半導体層126、n型半導体層127を備え、図3と図4とに比較して示すように、電圧が印加されるときに分極が形成されて内部電場が増強されるようにしている。なお、図3は、電圧が印加されていない状態のポテンシャルダイヤグラムを示し、図4は、電圧が印加されている状態のポテンシャルダイヤグラムを示している。また、p型半導体層121、n型半導体層122及びp型半導体層126、n型半導体層127を備えることで、逆に電流が流れる状態が抑制され、電圧が印加されたときに変調層124において励起されてフリーキャリアとなった電子が、下部クラッド層101の側へ流れていくことを抑制している。
ところで、反転層201が、光導波路コア102の中心部(中央部)に形成されるようにすれば、光導波路コア102を伝播する光が、図1(b)に点線の楕円で示すように単一横モードの場合、最もモードフィールドが高い部分が反転層201と重なる。例えば、変調層124と絶縁層125との界面が、光導波路コア102の中心部に配置されていればよい。このように構成すれば、形成される反転層201の屈折率変化により効率よく伝播する光に位相変化を与えることができる。なお、前述したように、反転層201は、変調層124と絶縁層125との界面近傍に形成されるものであり、絶縁層123は、必ずしも必要なものではない。ただし、光導波路コア102における反転層201の形成領域を中心とした屈折率の対称性を考慮した場合、絶縁層125に対応して絶縁層123を設けるようにした方がよい。
次に、本発明の実施の形態における他の光変調器について説明する。図5は、本発明の実施の形態における光変調器の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図5は、導波方向に平行な断面を示している。図5に示す光変調器は、下部クラッド層501、この上に形成された光導波路コア502、この上に形成された上部クラッド層503、この上に形成された上部電極504、下部クラッド層501の下に形成された下部電極505を備えている。
図5に示す光変調器においても、光導波路コア502は、p型半導体層521、n型半導体層522、絶縁層523、p型半導体からなる変調層524、絶縁層525、p型半導体層526、n型半導体層527が積層されて構成されている。これらは、図1に示す光変調器とほぼ同様である。ただし、図5に示す光変調器では、p型半導体層521、n型半導体層522が、光導波路コア502を構成する他の層に比較して厚く形成され、反転層の形成される変調層524と絶縁層525との界面領域が、光導波路コア502のXX’線で示すコア中心より上部電極504の側にずれて配置されている。従って、図5に示す光変調器によれば、光導波路コア502による導波路を導波する光の、上部電極504の部分が位相変調の対象となる。言い換えると、図5に示す光変調器では、導波路コア502に異なる2つの屈折率の領域が形成されるようになる。
ここで、光導波の媒質となる光導波路コア502の不均一性について示す。まず、以下の(9)式に示す光変調器の伝搬距離Lに対する光の電場の合成を考える。
ただし、一般に、伝搬距離Lが大きくなると散乱によるモード間でのエネルギー交換が発生し、Lが無限大の極限では、2つの領域の屈折率が合成して得られる単一の伝搬モードが形成されるが、ここでは、Lが十分に小さいものとし、上記モードが形成されないものとしている。さらに、一般性を損なわない範囲で簡単化できるものとし、a=0とするとともに、横モードの分布関数を以下の(10)式で示されるものとすると、合成電場は、以下の(11)式で示されるものとなる。
A(y)=1(|y|≦h/2);0(|y|>h/2)・・・(10)
従って、2πΔnL/λ=πを満足するようにLを定めると、屈折率変化Δnの有無により、透過強度を変調度1で強度変調することが可能となる。このような強度変調は、従来よりあるマッハツェンダー(Mach-Zehnder)共振器を用いた強度変調と同様となる。また、図5に示す光変調器によれば、マッハツェンダー共振器に比較して分岐光回路が必要ないため、同様の強度変調がより簡略された構成で実現できるようになる。
次に、本発明の実施の形態における他の光変調器について説明する。図6は、本発明の実施の形態における光変調器の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図6は、導波方向に平行な断面を示している。図6に示す光変調器は、下部クラッド層601、この上に形成された光導波路コア602、この上に形成された上部クラッド層603、この上に形成された上部電極604、下部クラッド層601の下に形成された下部電極605を備えている。
また、図6に示す光変調器では、光導波路コア602に複数の反転層が形成されるように、複数組の変調層624及び絶縁層625(及び絶縁層623)を備えている。また、各変調層624及び絶縁層625の組を挾むように、p型半導体層621及びn型半導体層622からなる複数のpn接合層を備えている。図6では、3組の変調層624及び絶縁層625を備える例を示している。
図6に示す光変調器によれば、p型半導体層621及びn型半導体層622からなる複数のpn接合層が、絶縁層で隔離されており、電場の印加により、p型半導体層621で正孔が、n型半導体層622で電子が各々表面に蓄積され、分極が形成されるようになる。各pn接合内部では、外部から加えられた電場を打ち消す反転電場が形成され、反転電場が形成されるpn接合部分の外側では、電場が増強される。これらの作用は、強誘電体の作用と同様である。また、図6に示す光変調器によれば、複数組の変調層624及び絶縁層625を備えるので、光導波路コア602の中のより広い領域に渡って、光変調が行われる反転層が形成されるようになる。これらの結果、図6に示す光変調器によれば、複数の反転層を低電圧で効率よく形成することが可能となり、より低電圧で効率よく変調することが可能となる。
101…下部クラッド層、102…光導波路コア、103…上部クラッド層、104…上部電極、105…下部電極、121…p型半導体層、122…n型半導体層、123…絶縁層、124…変調層、125…絶縁層、126…p型半導体層、127…n型半導体層、201…反転層。
Claims (5)
- 絶縁体から構成された第1クラッド層と、
この第1クラッド層の主表面の上に形成されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる変調層と、
この変調層の上に接して形成された絶縁層と、
前記絶縁層の上に形成された絶縁体から構成された第2クラッド層と、
前記第1クラッド層と前記変調層との間に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる第1p型半導体層と、
この第1p型半導体層と前記変調層との間に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる第1n型半導体層と、
前記変調層と前記第2クラッド層との間に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる第2p型半導体層と、
この第2p型半導体層と前記第2クラッド層との間に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる第2n型半導体層と、
前記第1クラッド層の裏面に形成された第1電極と、
前記第2クラッド層の上に形成された第2電極と
を少なくとも備え、
前記第1p型半導体層、前記第1n型半導体層,前記変調層,前記絶縁層,前記第2p型半導体層、及び前記第2n型半導体層から光導波路コアが構成されている
ことを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
前記変調層と前記絶縁層との界面は、前記光導波路コアの層厚方向の中央部に配置される
ことを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
前記変調層と前記絶縁層との界面は、前記光導波路コアの層厚方向の中央部より外側に配置される
ことを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
複数の組の前記変調層及び前記絶縁層を備え、
前記変調層及び前記絶縁層からなる各組の間の前記絶縁層の側に配置されてp型不純物が導入されたp型半導体からなる層間p型半導体層と、
前記変調層及び前記絶縁層からなる各組の間の前記変調層の側に配置されてn型不純物が導入されたn型半導体からなる層間n型半導体層と
を少なくとも備える
ことを特徴とする光変調器。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光変調器において、
前記変調層の前記絶縁層が形成されている側とは異なる面に接して形成された他の絶縁層を備えることを特徴とする光変調器。
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