JP2006337610A - 露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レーザ光の焦点位置の誤差を小さくした露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置を得る。
【解決手段】 感光材料の感光部の光の透過率の違いに基づいて予めピント補正値を設定し、該ピント補正値に基づいて、Zステージをピント補正値分、移動させることで、感光部の光の透過率の違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光ヘッドの光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
【選択図】 図13
【解決手段】 感光材料の感光部の光の透過率の違いに基づいて予めピント補正値を設定し、該ピント補正値に基づいて、Zステージをピント補正値分、移動させることで、感光部の光の透過率の違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光ヘッドの光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
【選択図】 図13
Description
本発明は、露光装置の焦点位置制御方法に関し、特に、画像情報に応じて空間変調素子等により変調された光ビームで感光材料を露光する露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置に関する。
従来から、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)等の空間光変調素子(SLM)を利用し、画像データ(画像情報)に応じて変調された光ビームで画像露光を行う露光装置が種々提案されている。
例えば、DMDは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に2次元状に配列されたミラーデバイスであり、このDMDを用いた従来のデジタル走査露光方式(マスクレス露光方式)の露光装置(例えば、特許文献1)では、レーザ光を照射する光源、光源から照射されたレーザ光をコリメートするレンズ系、レンズ系の略焦点位置に配置されたDMD、DMDで反射されたレーザ光を走査面上に結像するレンズ系、を備えた露光ヘッド(スキャナ)により、画像データ等に応じて生成した制御信号によりDMDのマイクロミラーの各々をオンオフ制御してレーザ光を変調し、変調されたレーザ光で、ステージ上にセットされ走査方向に沿って移動される感光材料(プリント配線基板)に対し画像露光を行っている。
また、この露光装置は、感光材料に対する露光位置ずれ(X,Y方向)を補正するアライメント機能、及び、感光材料のうねりや厚さ(Z方向)のバラツキに追従して被露光面にレーザ光の焦点を合わせるオートフォーカス機能を備えており、感光材料の位置(X,Y方向)を測定するためのアライメント用の基準部として、感光材料に設けられたアライメントマークや基準孔等を検出するアライメント用のCCDカメラが配設され、露光ヘッドの上流側に、感光材料の被露光面との距離(Z方向)を測定するオートフォーカス用の変位センサが配設されている。
露光動作においては、露光前にCCDカメラによる感光材料の位置測定(アライメント基準部の検出)を行い、取得した測定情報に基づいてレーザ光による露光位置ずれの補正制御を行い、このアライメント測定の終了後に、変位センサによる感光材料の被露光面との距離測定(フォーカス測定)を行い、取得した測定情報に基づき、コントローラによる制御を行い露光ヘッドのレーザ光出射側に設けたフォーカス機構を駆動し、あるいは露光ヘッドを光軸方向に移動調整するなどし、被露光面にレーザ光の焦点を一致させるようオートフォーカス制御を行い露光することにより、レーザ光の焦点位置の精度向上を図っている。
しかしながら、このように、感光材料のうねりや厚さ(Z方向)のバラツキを測定する変位センサに、「反射型センサ」を使用した場合、感光材料の感光部(DFR)の種類、厚さ等によってレーザ光の透過率が異なり、光路長が変わる。このため、レーザ光の焦点位置に誤差が生じる。
特許第3305448号公報
本発明は上記事実を考慮し、レーザ光の焦点位置の誤差を小さくした露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置を提供することを課題とする。
請求項1に記載の発明は、画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、前記感光材料を載置し前記露光手段に対して前記感光材料を相対移動させる移動手段と、前記露光手段の露光位置と対応して設けられ、前記移動手段に載置された感光材料の露光面までの距離を検出する距離測定手段と、前記距離測定手段によって測定された数値に基づいて、前記各露光手段の光ビームの焦点位置を調整するフォーカス制御手段と、を備え、前記感光材料毎にピント補正値を設け、各ピント補正値に応じて焦点位置の補正を行うことを特徴とする。
請求項1に記載の発明では、画像情報に応じて変調された光ビームにより露光手段によって感光材料が露光される。感光材料は移動手段に載置され、露光手段と感光材料とは相対移動し、所定範囲に渡って露光される。一方、露光手段と感光材料の被露光面との距離を距離測定手段によって測定し、距離測定手段によって測定された数値に基づいて、各露光手段の光ビームの焦点位置をフォーカス制御手段で調整する。
ここで、感光材料毎にピント補正値を設け、各ピント補正値に応じて補正を行う。例えば、感光材料毎に感光部(DFR)への光の透過率が違うため、距離測定手段として反射型センサを用いた場合、投光して受光するまでの時間が異なり、反射型センサと感光部までの距離が同じでも反射型センサによる測定結果は変わってしまう。
このため、該測定結果に基づいて、露光手段のレーザ光の焦点位置を調整すると、感光材料毎に誤差が生じてしまう。そこで、感光部の光の透過率の違いを予めピント補正値として設定し、該ピント補正値による焦点位置の補正を行うことで、感光部の光の透過率の違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光手段の光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の露光装置の焦点位置制御方法において、前記ピント補正値が、前記感光材料の光の透過率に基づいて設定されたことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の露光装置の焦点位置制御方法において、前記ピント補正値が、前記感光材料の表面に設けられた保護層の厚さに基づいて設定されたことを特徴とする。
感光材料の表面に設けられた保護層の厚さによって屈折率が異なり、光路長が変わる。このため、請求項3に記載の発明では、保護層の厚さに基づいてピント補正値を設定することで、保護層の厚さの違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光手段の光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
また、保護層の厚さ及び感光部の光の透過率の違いを予めピント補正値として設定することで、レーザ光の焦点位置の誤差をさらに小さくし、各露光手段の光ビームの焦点位置の精度をさらに向上させることができる。
請求項4に記載の発明は、露光装置において、画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、前記感光材料を載置し前記露光手段に対して前記感光材料を相対移動させる移動手段と、前記露光手段の露光位置と対応して設けられ、前記移動手段に載置された感光材料の露光面までの距離を検出する距離測定手段と、前記距離測定手段によって測定された数値に基づいて、前記各露光手段の光ビームの焦点位置を調整するフォーカス制御手段と、を備え、前記感光材料毎に設定されたピント補正値に応じて、前記焦点位置の補正を行う焦点位置補正手段を有することを特徴とする。
請求項4に記載の発明では、露光装置において、感光材料毎に設定されたピント補正値に応じて、焦点位置の補正を行う焦点位置補正手段を設けたことで、請求項1に記載の発明と略同一の効果を得ることができる。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の露光装置において、前記距離測定手段が反射型センサであることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項4又は5に記載の露光装置において、前記ピント補正値が、前記感光材料の光の透過率に基づいて設定されたことを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項4又は5に記載の露光装置において、前記ピント補正値が、前記感光材料の表面に設けられた保護層の厚さに基づいて設定されたことを特徴とする。
本発明は上記構成としたので、感光材料毎にピント補正値を設定し、フォーカス制御手段による調整時に該ピント補正値による焦点位置の補正を行うことで、感光材料によるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光手段の光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
次に、本発明の実施の形態に係る露光装置について説明する。
図1に示すように、露光装置100は、4本の脚部154に支持された矩形厚板状の設置台156を備えている。設置台156の上面には、長手方向に沿って2本のガイド158が延設されており、これら2本のガイド158上には、矩形平盤状のZステージ152が設けられている。
Zステージ152は、長手方向がガイド158の延設方向を向くよう配置され、ガイド158により設置台156上を往復移動可能に支持されており、図示しない駆動装置に駆動されてガイド158に沿って往復移動する。このZステージ152の上面には、感光材料150が図示しない位置決め部により載置位置を決められた状態で吸着され保持される。
ここで、露光装置100により画像露光を行う感光材料150としては、プリント配線基板や液晶表示装置等のパターンを形成(画像露光)する材料としての基板やガラスプレート等の表面に、感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又ドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
一方、Zステージ152の移動方向(走査方向)の上流側(以下、単に「上流側」ということがある。)の端縁部には、X軸方向に沿って「く」字型に形成されたVスリット120が複数設けられている。なお、X軸方向は主走査方向であり、Y軸方向は副走査方向でもある。
Vスリット120は、上流側に位置するスリット120aと下流側に位置するスリット120bとからなっている。スリット120aとスリット120bとは互いに直交するとともに、Y軸に対してスリット120aは135度、スリット120bは45度の角度を有している。
Vスリット120の下方には、露光ヘッド166からの光量分布の幅及びピークの光量を測定するディテクタ122(図2参照)が形成されており、Vスリット120とディテクタ122とは、Zステージ152とともにY軸方向および上下方向に移動する。これにより、光量分布の幅が最小となりピークの光量が最大となるように、Zステージ152の位置を設定することができる。
なお、スリット120aおよびスリット120bは、走査方向に対して45度の角度を成すように形成されているが、スリット120aおよびスリット120bは、露光ヘッド166の画素配列に対して傾斜していると同時に、走査方向、即ちステージ移動方向に対して傾斜していれば、走査方向に対する角度は特に限定されない。また、露光ヘッド166からの光量分布の幅及びピークの光量をディテクタ122で測定することができれば良いため、Vスリット120に限るものではなく、例えば回折格子を使用してもよい。
一方、設置台156の中央部よりもZステージ152の移動方向の上流側及び下流側には、ゲート160、161が所定の間隔で配置されている。ゲート160、161は、Zステージ152の移動経路を跨ぐようコ字状に形成されており、両先端部が設置台156の両側面に固定されている。
Zステージ152の移動方向の上流側に配置されたゲート160には、その上流側に向けられた前面の上部(Zステージ152の移動経路の上方)に、3台の検出ユニット180がZステージ152の移動方向と直交する方向に沿って所定の間隔で固定配置されている。
検出ユニット180は、上流側に配置されたアライメント検出ユニット182と下流側に配置された変位測定ユニット184とが一体化されて略箱型とされており、アライメント検出ユニット182を構成する各CCDカメラNo.1〜No.4(図5参照)のレンズ部186及び距離測定手段としての変位測定ユニット184を構成する各変位センサ184A〜184H(図5参照)のセンサ部188は共に下方へ向けられている。
Zステージ152の移動方向の下流側に配置されたゲート161には、その下流側に向けられた後面の上部(Zステージ152の移動経路の上方)に、スキャナ162が固定配置されている。このスキャナ162と検出ユニット180との間隔は、スキャナ162に設けられた露光ヘッド166による露光開始位置と、検出ユニット180のCCDカメラ182による撮影位置(レンズ部186の光軸中心)との距離が、感光材料150の長手方向の寸法よりも少し長くなるように設定されている。
また、Zステージ152の駆動装置、スキャナ162及び検出ユニット180は、これらを制御するコントローラ190に接続されている。このコントローラ190により、後述する露光装置100の露光動作時には、Zステージ152は所定の速度で移動するよう制御され、検出ユニット180は所定のタイミングで感光材料150を検出するよう制御され、露光ヘッド166は所定のタイミングで感光材料150を露光するよう制御される。
図2および図3には本発明の実施形態に係る露光ヘッドが示されている。
スキャナ162は、図3及び図4(B)に示すように、m行n列(例えば、2行4列)の略マトリックス状に配列された複数(例えば、8個)の露光ヘッド166を備えている。
露光ヘッド166で露光される領域である露光エリア168は、図3に示すように、短辺が走査方向に沿った矩形状であり、走査方向に対し、所定の傾斜角θで傾斜している。そして、Zステージ152の移動に伴い、感光材料150には露光ヘッド166毎に帯状の露光済み領域170が形成される。なお、図1及び図3に示すように、走査方向は、ステージ移動方向とは向きが反対である。
図4(A)及び(B)に示すように、露光ヘッド166はライン状に配列されている上に、帯状の露光済み領域170のそれぞれが、隣接する露光済み領域170と部分的に重なるように、配列方向に所定間隔(露光エリアの長辺の自然数倍、本実施の形態では1倍)ずらして配置されている。
このため、たとえば、1行目の最も左側に位置する画像領域168Aと、画像領域168Aの右隣に位置する画像領域168Cとの間の露光できない部分は、2行目の最も左側に位置する画像領域168Bにより露光される。同様に、画像領域168Bと、画像領域168Bの右隣に位置する画像領域168Dとの間の露光できない部分は、画像領域168Cにより露光される。
一方、図5は露光ヘッド166を上方から見た図であり、露光ヘッド166とZステージ152、アライメント検出ユニット182、変位測定ユニット184との相対的な位置関係を示している。
図5に示すように、アライメント検出ユニット182は、感光材料150の幅方向に沿ってCCDカメラNo.1〜No.4の4台で構成されている。CCDカメラNo.1は、画像領域168Aおよび画像領域168Bを撮影し、CCDカメラNo.2は、画像領域168Cおよび画像領域168Dを撮影する。そしてCCDカメラNo.3は、画像領域168Eおよび画像領域168Fを撮影し、CCDカメラNo.4は、画像領域168Gおよび画像領域168Hを撮影する。
露光時送り方向即ちY軸方向に沿ってアライメント検出ユニット182の下流側には、変位測定ユニット184が配設されている。この変位測定ユニット184は、反射型のセンサで構成された変位センサ184A〜184Hで構成されており、変位センサ184A〜184Hは、各々、画像領域168A〜画像領域168Hの変位を測定するように配設されている。
次に、図6および図7(A)、(B)には、本発明の実施の形態に係る露光ヘッドの光学系が示されている。
露光ヘッド166A〜166Hの各々は、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)50を備えている。このDMD50は、データ処理部とミラー駆動制御部とを含む露光ヘッド制御部192(図10参照)を備えた前述のコントローラ190に接続されている。このコントローラ190のデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド166毎にDMD50の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。
また、ミラー駆動制御部では、データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド166毎にDMD50の各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。なお、反射面の角度の制御については後述する。
DMD50の光入射側には、光ファイバの出射端部(発光点)が露光エリア168の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたレーザ出射部を備えたファイバアレイ光源66、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光を補正してDMD50上に集光させるレンズ系67、レンズ系67を透過したレーザ光をDMD50に向けて反射する反射鏡69がこの順に配置されている。
レンズ系67は、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光を平行光化する1対の組合せレンズ71、平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正する1対の組合せレンズ73、及び光量分布が補正されたレーザ光をDMD50上に集光する集光レンズ75で構成されている。
組合せレンズ73は、レーザ出射端の配列方向に対しては、レンズの光軸に近い部分は光束を広げ且つ光軸から離れた部分は光束を縮め、且つこの配列方向と直交する方向に対しては光をそのまま通過させる機能を備えており、光量分布が均一となるようにレーザ光を補正する。
またDMD50の光反射側には、図7(A)、(B)に示すように、DMD50で反射されたレーザ光を感光材料150の走査面(露光面)56上に結像するレンズ系54、58、レンズ系54、58を透過したレーザ光の焦点距離を調整するオートフォーカスユニット59がこの順に配置されている。
レンズ系54、58は、DMD50と露光面56とが共役な関係となるように配置されており、本実施形態では、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光が均一化され、DMD50に入射された後、各画素がこれらのレンズ系54、58によって約5倍に拡大され、集光されるように設定されている。
ここで、オートフォーカスユニット59による焦点位置の調整(フォーカス制御)について説明する。
オートフォーカスユニット59は、透明ガラス材料によって楔状(台形柱状)に形成された一対のガラス部材であるペア楔ガラス210、212を備えている。本実施形態では、ペア楔ガラス210、212は、屈折率:nがn=1.53に設定され、しかも互いに反転した向きでレーザ光の光軸に沿って隣接配置されている。
1対のペア楔ガラス210、212のうち、ペア楔ガラス210は、レーザ光の入射側(DMD50側)に配設されている。そして、ペア楔ガラス210において両側面に対して直角に形成された側の面が、レーザ光が入射する側の面、即ち光入射面210Aになり、しかも光入射面210Aがレーザ光の入射方向に対して直角になるように配設されている。したがって光入射面210Aに相対する側の面がレーザ光が出射する光出射面210Bになる。光出射面210Bは、ペア楔ガラス210の側面に対して傾斜している。
一方、ペア楔ガラス212は、ペア楔ガラス210に隣接し、しかもレーザ光の出射側(露光面56側)に配設されている。そして、ペア楔ガラス212において両側面に対して傾斜した側の面が光入射面212Aになり、両側面に対して直角な面が光出射面212Bになるように配設されている。なお、ペア楔ガラス212は、光出射面212Bがレーザ光の光軸に対して略直交し、光入射面212Aが傾斜する向きに配置されている。
そしてこの一対のペア楔ガラス210、212は、図8(A)、(B)に示すように、ペア楔ガラス210の光出射面210Bとペア楔ガラス212の光入射面212Aとが僅かな隙間をあけて相対する非接触の状態で、ペア楔ガラス210の光入射面210Aとペア楔ガラス212の光出射面212Bとが平行にされる共に上記のようにレーザ光の光軸に対して略直交している。また本実施形態では、ペア楔ガラス210の光出射面210Bとペア楔ガラス212の光入射面212Aの間隔が0.1mmに設定されている。
ところで、図9に示すように、ペア楔ガラス210が保持するスライドホルダ216には、フォーカシングモータ240が連結されており、コントローラ190(図10参照)からの信号によってフォーカシングモータ240が駆動制御されると、スライドホルダ216に保持されたペア楔ガラス210は、図8(A)、(B)に示す図中の二点鎖線で示した基準位置から、図8(A)に示す矢印SA方向、又は、図8(B)に示す矢印SB方向へ移動する。
ここで、ペア楔ガラス210が基準位置にある場合のペア楔ガラス210の光入射面210Aとペア楔ガラス212の光出射面212Bとの距離、すなわち互いの間に設けられた僅かな隙間を含むペア楔ガラス210、212のトータルの厚さ寸法をtとすると、厚さ寸法:tは、ペア楔ガラス210が基準位置から矢印SA方向へ所定距離だけ移動した場合にはΔtだけ減少し(−Δt)、ペア楔ガラス210が基準位置から矢印SB方向へ所定距離だけ移動した場合にはΔtだけ増加する(+Δt)。
このように、ペア楔ガラス210、212の厚さ寸法:tが変化すると(±Δt)、レーザ光がペア楔ガラス210、212を透過する透過距離が変化して、レーザ光の焦点距離:FDが変化する(±ΔFD)。なお、PSは結像面を表している。
また、ペア楔ガラス210、212の屈折率:n(本実施形態ではn=1.53)とすると、このペア楔ガラス210、212の厚さ寸法:tの変化量に応じたレーザ光の焦点距離:FDの変化量は、下式によって求められる。
+ΔFD=+Δt−(+Δt)/n
−ΔFD=−Δt−(−Δt)/n
次に、上記のように構成された露光装置100を制御するコントローラ190の構成について説明する。
−ΔFD=−Δt−(−Δt)/n
次に、上記のように構成された露光装置100を制御するコントローラ190の構成について説明する。
図10に示すように、コントローラ190は、露光装置100の各露光ヘッド166A〜166Hを駆動する駆動ユニット191A〜191Hと接続している。コントローラ190から入力された画像データは、画像処理ユニット193A〜193Hによって、各画像領域168A〜168H(図4(A)、(B)参照)で露光すべき画像の画像データに分割され、駆動ユニット191A〜191Hに入力されることとなる。
ここで、画像処理ユニット193A〜193Hおよびアライメント測定ユニット194メイン制御ユニット195には、相互にデータを授受すると同時にメイン制御ユニット195ともデータや指示を授受するBUSが設けられている。コントローラ190からの指示およびデータは、該BUSを介して、画像処理ユニット193A〜193H、アライメント測定ユニット194及びメイン制御ユニット195へ入力されることとなる。
一方、アライメント検出ユニット182を構成するCCDカメラNo.1〜No.4からの画像データがメイン制御ユニット195へ入力されると、アライメント測定ユニット194で求めたアライメントデータに基づき、アライメント調整ユニット196によってZステージ152のアライメントが調整される。
次に、露光ヘッド制御部192では、各露光ヘッド166A〜166Hに対応する変位センサ184A〜184Hにおける変位測定結果等に基づいて、オートフォーカスユニット59を構成するフォーカシングモータ240A〜240Hが制御され、各露光ヘッド166A〜166Hのフォーカシングが行なわれ、露光動作が行われる。
具体的には、図11に示すように、各変位センサ184では、感光材料150の先端と後端を含む露光面56(感光材料150の表面)までの距離測定を行い、その測定した距離データをコントローラ190の露光ヘッド制御部192(図10参照)へ入力する。
そして、露光ヘッド制御部192では、入力されたデータに基づいて感光材料150の先端及び後端を認識すると共に、感光材料150のうねりや厚さ寸法誤差を把握するための演算処理を実行する。
この処理結果に基づいて、各露光ヘッド166A〜166Hのオートフォーカスユニット59を駆動制御する制御信号を生成して露光ヘッド制御部192へ出力し、各露光ヘッド166A〜166Hから照射される光ビームの焦点位置を感光材料150の露光面56に一致させるためフォーカス制御を行う。走査露光においては、オートフォーカスユニット59によるフォーカス制御により、走査に同期してレーザ光の焦点が露光面56の形状に倣い滑らかに追従するよう露光面56上に合わせられる。
ここで、図12(A)、(B)に示すように、感光材料150毎に感光部150B(DFR)への光の透過率が違うため、変位センサ184の発光素子(図示省略)によって発光された光が感光材料150の表面に設けられた透明の保護層(いわゆるPET層)150Aを経て、感光部150Bに到達し、反射して受光素子(図示省略)に到達するまでの時間が異なり、変位センサ184と感光材料150の露光面56までの距離が同じであっても、変位センサ184による測定結果は変わってしまう。このため、該測定結果に基づいて、露光ヘッド166のレーザ光の焦点位置を調整すると、感光材料150毎に誤差が生じてしまう。
そこで、本形態では、図13に示すように、感光部150Bの光の透過率の違いによる露光ヘッド166のレーザ光の焦点位置のズレ(以下、「ピント補正値」という)を感光材料150毎にID化し、ピント補正値を設定し、このデータを予めコントローラ190(図10参照)に記憶させておく。そして、感光材料150を露光するとき、図14に示すフローチャートに従って処理が行われる。
まず、ステップ100において、感光材料150のID番号がコントローラ190へ入力されると、ステップ102において、図13に示すデータの読出しが行われる。これにより、感光材料150に対応するピント補正値が設定されることとなる。
次に、ステップ104において、図10に示すメイン制御ユニット195を介して、パルスモータ198が駆動し、該ピント補正値に基づいてZステージ152の昇降が行われる。そして、Zステージ152がピント補正値分、移動すると、ステップ106において、パルスモータ198の駆動が停止する。
このように、感光材料150の感光部150Bの光の透過率の違いに基づいて予めピント補正値を設定し、該ピント補正値に基づいて、Zステージ152をピント補正値分、移動させることで、感光部150Bの光の透過率の違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくし、各露光ヘッド166の光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
なお、ここでは、感光部150Bへの光の透過率の違いによって、ピント補正値を設定したが、感光材料150の表面に設けられた保護層150Aの厚さに基づいて、ピント補正値を設定しても良い。保護層150Aは、その厚さによって屈折率が異なるため、光路長が変わる。従って、保護層150Aの厚さに基づいてピント補正値を設定することで、保護層150Aの厚さの違いによるレーザ光の焦点位置の誤差を小さくすることができ、各露光ヘッド166の光ビームの焦点位置の精度を向上させることができる。
また、さらに、保護層150Aの厚さおよび感光部150Bの光の透過率の違いをピント補正値として設定しても良い。これにより、レーザ光の焦点位置の誤差をさらに小さくすることができ、各露光ヘッドの光ビームの焦点位置の精度をさらに向上させることができる。
また、ここでは、ピント補正値をZステージ152の移動によって吸収させるようにしたが、オートフォーカスユニット59で該ピント補正値を吸収させるようにしても良い。
59 フォーカシングユニット(フォーカス制御手段焦点位置補正手段)
100 露光装置
122 ディテクタ(ピント検出手段)
150 感光材料
152 Zステージ(移動手段)
166 露光ヘッド(露光手段)
184 変位測定ユニット(距離測定手段)
195 メイン制御ユニット(焦点位置補正手段)
100 露光装置
122 ディテクタ(ピント検出手段)
150 感光材料
152 Zステージ(移動手段)
166 露光ヘッド(露光手段)
184 変位測定ユニット(距離測定手段)
195 メイン制御ユニット(焦点位置補正手段)
Claims (7)
- 画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、
前記感光材料を載置し前記露光手段に対して前記感光材料を相対移動させる移動手段と、
前記露光手段の露光位置と対応して設けられ、前記移動手段に載置された感光材料の露光面までの距離を検出する距離測定手段と、
前記距離測定手段によって測定された数値に基づいて、前記各露光手段の光ビームの焦点位置を調整するフォーカス制御手段と、
を備え、
前記感光材料毎にピント補正値を設け、各ピント補正値に応じて前記焦点位置の補正を行うことを特徴とする露光装置の焦点位置制御方法。 - 前記ピント補正値が、前記感光材料の光の透過率に基づいて設定されたことを特徴とする請求項1に記載の露光装置の焦点位置制御方法。
- 前記ピント補正値が、前記感光材料の表面に設けられた保護層の厚さに基づいて設定されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置の焦点位置制御方法。
- 画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、
前記感光材料を載置し前記露光手段に対して前記感光材料を相対移動させる移動手段と、
前記露光手段の露光位置と対応して設けられ、前記移動手段に載置された感光材料の露光面までの距離を検出する距離測定手段と、
前記距離測定手段によって測定された数値に基づいて、前記各露光手段の光ビームの焦点位置を調整するフォーカス制御手段と、
を備え、
前記感光材料毎に設定されたピント補正値に応じて、前記焦点位置の補正を行う焦点位置補正手段を有することを特徴とする露光装置。 - 前記距離測定手段が反射型センサであることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記ピント補正値が、前記感光材料の光の透過率に基づいて設定されたことを特徴とする請求項4又は5に記載の露光装置。
- 前記ピント補正値が、前記感光材料の表面に設けられた保護層の厚さに基づいて設定されたことを特徴とする請求項4又は5に記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005160695A JP2006337610A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005160695A JP2006337610A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006337610A true JP2006337610A (ja) | 2006-12-14 |
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ID=37558232
Family Applications (1)
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JP2005160695A Pending JP2006337610A (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | 露光装置の焦点位置制御方法及び露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006337610A (ja) |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005160695A patent/JP2006337610A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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