JP2006323026A - Method for manufacturing electrophoresis display device and electronic apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrophoresis display device having high flexibility and free from damages in a thin film semiconductor circuit layer by an end part of a transparent electrode substrate. <P>SOLUTION: The method includes: a first step of forming a thin film semiconductor circuit layer (12) on a flexible substrate (11) to obtain a semiconductor circuit board (10); and a second step of laminating a common electrode substrate (30) having a transparent electrode layer (32) formed on one surface thereof with the semiconductor circuit board (10) to allow the transparent electrode layer (32) to face the thin film semiconductor circuit layer (12) through an electrophoresis display layer (20) containing charged particles in a dispersion medium. On laminating in the second step, no direct force is added to a region (19) where lines (17) disposed in an outer periphery of the semiconductor circuit board (10) and to be connected to an external connection terminal (15) overlap the rim part of the common electrode substrate (30). <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電気泳動表示装置の製造方法、及び電子機器に関するものである。   The present invention relates to an electrophoretic display device manufacturing method and an electronic apparatus.

電気泳動表示装置は、例えばガラスの表面にITO膜(錫がドープされた酸化インジウム膜)を形成した2つの透明電極基板間に電気泳動表示用分散液が封止されて構成される。電気泳動表示分散液は一つ又は複数の種類の色の電気泳動粒子と電気泳動分散媒を含む。2つの電極間への電圧の印加によって電気泳動粒子が電気泳動分散媒中を移動してその存在位置が変わることによって情報の表示を行っている。   For example, an electrophoretic display device is configured by sealing an electrophoretic display dispersion between two transparent electrode substrates in which an ITO film (indium oxide film doped with tin) is formed on a glass surface. The electrophoretic display dispersion liquid includes electrophoretic particles of one or more kinds of colors and an electrophoretic dispersion medium. Information is displayed by moving the electrophoretic particles through the electrophoretic dispersion medium by applying a voltage between the two electrodes and changing the position of the electrophoretic particles.

電気泳動表示装置の電子ペーパーなどの各種電子機器への応用を考えた場合、全体が柔軟性に富んだ可撓性基板に形成された電気泳動表示装置が望ましい。このような可撓性に富む電気泳動表示装置を得るためには、柔軟性に優れた材料、例えば、プラスチック材料などを薄膜基板として電気泳動表示装置を作成する必要がある。
このような電気泳動表示装置の製造方法は、例えば特許文献1や特許文献2に開示されている。
In consideration of application of the electrophoretic display device to various electronic devices such as electronic paper, an electrophoretic display device formed on a flexible substrate having high flexibility as a whole is desirable. In order to obtain such a flexible electrophoretic display device, it is necessary to produce an electrophoretic display device using a material having excellent flexibility, for example, a plastic material as a thin film substrate.
Such a method of manufacturing an electrophoretic display device is disclosed in, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2.

特許文献1には、可撓性を有する基板上に形成された薄膜半導体回路基板に、薄膜半導体回路基板に、電気泳動分散液層を介して透明電極基板をラミネートすることが記載されている。
また、特許文献2には、対向電極に電気泳動分散媒と電気泳動粒子が封入されたマイクロカプセルを塗布した透明電極基板をラミネートする技術が記載されている。
Patent Document 1 describes laminating a transparent electrode substrate on a thin film semiconductor circuit substrate via an electrophoretic dispersion layer on a thin film semiconductor circuit substrate formed on a flexible substrate.
Patent Document 2 describes a technique of laminating a transparent electrode substrate in which a microcapsule in which an electrophoretic dispersion medium and electrophoretic particles are encapsulated is applied to a counter electrode.

特開2002−169190号公報JP 2002-169190 A 特開2004−271747号公報JP 2004-271747 A

しかしながら、薄膜半導体回路基板に透明電極基板をラミネートする際、薄膜半導体回路基板よりも透明電極基板の方の面積が小さいと、透明電極基板の端部が薄膜半導体回路層のデバイス回路(例えば、薄膜トランジスタ(TFT)回路)に触れてしまう可能性があり、半導体素子を損傷したりデバイス回路にクラックが発生したりして信頼性が低下する。これは特に、薄膜半導体回路基板上の、外部接続端子へ接続される配線部において顕著である。   However, when laminating a transparent electrode substrate on a thin film semiconductor circuit substrate, if the area of the transparent electrode substrate is smaller than that of the thin film semiconductor circuit substrate, the end of the transparent electrode substrate is a device circuit of a thin film semiconductor circuit layer (for example, a thin film transistor (TFT) circuit) may be touched, and the semiconductor element is damaged or a crack is generated in the device circuit, resulting in a decrease in reliability. This is particularly remarkable in the wiring portion connected to the external connection terminal on the thin film semiconductor circuit board.

よって、本発明は、透明基板の端部によって、薄膜半導体回路を損傷しない、フレキシブル性に富む電気泳動表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electrophoretic display device which is rich in flexibility and does not damage a thin film semiconductor circuit by an end portion of a transparent substrate.

上記目的を達成するため本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、可撓性基板上に薄膜半導体回路層を形成して半導体回路基板を得る第1の工程と、一面に透明電極層を形成された透明基板と上記半導体回路基板を、上記透明電極層と上記薄膜半導体回路層が分散媒中に帯電粒子を含む電気泳動表示層を介して対向するように貼り合わせる第2の工程を備え、上記第2の工程で貼り合わせを行う際、上記半導体回路基板の外周部に設けられ外部接続端子へ接続される配線と上記透明基板の周縁部が重なり合う領域には直接力を加えないようにする。   In order to achieve the above object, an electrophoretic display device manufacturing method of the present invention includes a first step of forming a thin film semiconductor circuit layer on a flexible substrate to obtain a semiconductor circuit substrate, and forming a transparent electrode layer on one surface. A second step of bonding the transparent substrate and the semiconductor circuit substrate so that the transparent electrode layer and the thin film semiconductor circuit layer face each other through an electrophoretic display layer containing charged particles in a dispersion medium, When bonding is performed in the second step, a force is not directly applied to a region where the wiring provided on the outer peripheral portion of the semiconductor circuit substrate and connected to the external connection terminal overlaps with the peripheral portion of the transparent substrate. .

これにより、透明基板の端部によって、薄膜半導体回路層を損傷しない、フレキシブル性に富んだ電気泳動表示装置の製造方法を得ることができる。   Thereby, the manufacturing method of the electrophoretic display device which was rich in the flexibility which does not damage a thin film semiconductor circuit layer by the edge part of a transparent substrate can be obtained.

上記の第2の工程では、プレス装置で加圧することにより貼り合わせを行い、上記プレス装置は、上記領域に対応する部分が除去されたプレス板を有するようにすれば、容易に上記の製造方法の実現することができる。   In the second step, bonding is performed by pressurizing with a press device, and the press device has a press plate from which a portion corresponding to the region has been removed. Can be realized.

また、本発明の電子機器は上述した構成の電気泳動表示装置を表示部として備える。
かかる構成とすることによって、表示部の信頼性を向上させることができる。ここで電子機器は、携帯電話、電子ペーパー、PDA、電子手帳、電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレイ、その他各種のものが含まれる。
The electronic apparatus of the present invention includes the electrophoretic display device having the above-described configuration as a display unit.
With such a configuration, the reliability of the display portion can be improved. Here, the electronic devices include mobile phones, electronic paper, PDAs, electronic notebooks, electronic bulletin boards, advertising announcement displays, and other various types.

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図1は、電気泳動表示装置1の平面を概略的に示した図である。また、図2は、図1中のA−A’方向の断面の拡大図である。両図において対応する部分には同一符号を付している。
各図に示されるように、電気泳動表示装置1は、大別して可撓性の半導体回路基板10、電気泳動表示層20及び可撓性の共通電極基板30によって構成される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram schematically showing a plane of the electrophoretic display device 1. FIG. 2 is an enlarged view of a cross section in the AA ′ direction in FIG. 1. Corresponding parts in both figures are given the same reference numerals.
As shown in each drawing, the electrophoretic display device 1 is roughly constituted by a flexible semiconductor circuit substrate 10, an electrophoretic display layer 20, and a flexible common electrode substrate 30.

半導体回路基板10は、電気回路を形成する絶縁性下地基板としての可撓性基板11上に薄膜半導体回路層12が形成されている。可撓性基板11は、例えば、膜厚200μmのポリカーボネート基板である。この可撓性基板11上に、例えば、UV(紫外線)硬化型接着剤11aを介して半導体回路層12が積層(貼り合わせ)されている。このような可撓性基板11上に、薄膜半導体回路層12を形成する場合には、例えば、特開平10−125931号公報、特開平11−26733号公報、特開2004−327836号公報等で紹介されている、耐熱基板(ガラス基板)上で薄膜半導体回路を形成し、該耐熱基板からこの薄膜半導体回路を含む薄膜半導体回路層を剥離して樹脂基板上に全体的にあるいは部分的に転写する薄膜回路の転写手法(以下、「薄膜回路転写法」という。)を使用することができる。   In the semiconductor circuit substrate 10, a thin film semiconductor circuit layer 12 is formed on a flexible substrate 11 as an insulating base substrate for forming an electric circuit. The flexible substrate 11 is, for example, a polycarbonate substrate having a film thickness of 200 μm. A semiconductor circuit layer 12 is laminated (bonded) on the flexible substrate 11 via, for example, a UV (ultraviolet) curable adhesive 11a. In the case where the thin film semiconductor circuit layer 12 is formed on such a flexible substrate 11, for example, in Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-125931, 11-26733, and 2004-327836, etc. A thin film semiconductor circuit is formed on a heat resistant substrate (glass substrate) that has been introduced, and the thin film semiconductor circuit layer including the thin film semiconductor circuit is peeled off from the heat resistant substrate, and transferred entirely or partially onto a resin substrate. A thin film circuit transfer method (hereinafter referred to as “thin film circuit transfer method”) can be used.

薄膜半導体回路層12には、行方向及び列方向にそれぞれ複数配列された配線群、画素電極群、画素駆動回路、接続端子等が形成されている。画素駆動回路には既述TFTが使用されている。また、薄膜半導体回路層12には、駆動画素を選択する行デコーダ51及び列デコーダ52(図2参照)が形成されている。   The thin film semiconductor circuit layer 12 is formed with a plurality of wiring groups, pixel electrode groups, pixel driving circuits, connection terminals, and the like arranged in the row direction and the column direction. The aforementioned TFT is used for the pixel drive circuit. The thin film semiconductor circuit layer 12 is formed with a row decoder 51 and a column decoder 52 (see FIG. 2) for selecting drive pixels.

マトリクス状に配列された複数の画素電極(駆動電極)13aは画像(2次元情報)を表示する表示領域部13を形成している。また、薄膜半導体回路層12の外周部(表示領域部13の外周)には共通電極基板30の透明電極層32と半導体回路基板10の回路配線との接続用の接続電極14が形成されている。半導体回路基板10の膜厚は、例えば、薄膜回路形成の際の基板の物理的強度の点から25μm以上あることが望ましく、基板の可撓性(フレキシビリティ)確保の点からは200μm以下であることが望ましい。   A plurality of pixel electrodes (drive electrodes) 13a arranged in a matrix form a display area 13 for displaying an image (two-dimensional information). A connection electrode 14 for connecting the transparent electrode layer 32 of the common electrode substrate 30 and the circuit wiring of the semiconductor circuit substrate 10 is formed on the outer peripheral portion of the thin film semiconductor circuit layer 12 (the outer periphery of the display region portion 13). . The film thickness of the semiconductor circuit substrate 10 is preferably 25 μm or more from the viewpoint of physical strength of the substrate when forming a thin film circuit, for example, and is 200 μm or less from the viewpoint of ensuring the flexibility of the substrate. It is desirable.

半導体回路基板10の表示領域部13上及びその外周領域に多数のマイクロカプセル21がバインダ22で固定されて電気泳動表示層20を形成している。電気泳動表示層20の形成領域16が図2中に梨地で示されている。マイクロカプセル21内には電気泳動分散媒、電気泳動粒子が含まれている。電気泳動粒子は印加電圧に応じて電気泳動分散媒中を移動する性質を有し、一種類(一色)以上の電気泳動粒子が使用される。電気泳動表示層20の膜厚は、例えば、50〜75μmである。   A large number of microcapsules 21 are fixed by a binder 22 on the display area 13 of the semiconductor circuit substrate 10 and on the outer peripheral area thereof to form an electrophoretic display layer 20. The formation region 16 of the electrophoretic display layer 20 is shown in satin in FIG. The microcapsule 21 contains an electrophoretic dispersion medium and electrophoretic particles. The electrophoretic particles have a property of moving in the electrophoretic dispersion medium according to an applied voltage, and one type (one color) or more of electrophoretic particles are used. The film thickness of the electrophoretic display layer 20 is, for example, 50 to 75 μm.

この電気泳動表示層20上を共通電極基板30が覆っている。共通電極基板30は下面に透明電極層32が形成された薄膜フィルム(透明な絶縁性合成樹脂基材)31で構成されている。薄膜フィルム31は電気泳動表示層20の封止及び保護の役割を担っている。例えば、共通電極基板30の下地となる薄膜フィルム31はポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムである。共通電極基板30の膜厚は、10〜200μmが望ましく、より好ましくは25〜75μmである。   A common electrode substrate 30 covers the electrophoretic display layer 20. The common electrode substrate 30 is composed of a thin film film (transparent insulating synthetic resin base material) 31 having a transparent electrode layer 32 formed on the lower surface. The thin film 31 plays a role of sealing and protecting the electrophoretic display layer 20. For example, the thin film 31 that is the base of the common electrode substrate 30 is a polyethylene terephthalate (PET) film. The film thickness of the common electrode substrate 30 is desirably 10 to 200 μm, and more preferably 25 to 75 μm.

透明電極層32は、例えば、錫がドープされた酸化インジウム膜(ITO膜)である。透明電極層32の領域は図2中に斜線で示されており、共通電極基板30と同じ領域になっている。   The transparent electrode layer 32 is, for example, an indium oxide film (ITO film) doped with tin. The area of the transparent electrode layer 32 is indicated by hatching in FIG. 2 and is the same area as the common electrode substrate 30.

半導体回路基板10の外周部には、外部回路との電気的接続を行う接続端子15が設けられており、接続端子15へつながる半導体回路基板10の回路配線17は、共通電極基板30の外縁部と交差している。   A connection terminal 15 for electrical connection with an external circuit is provided on the outer periphery of the semiconductor circuit board 10, and the circuit wiring 17 of the semiconductor circuit board 10 connected to the connection terminal 15 is an outer edge of the common electrode substrate 30. Intersects.

半導体回路基板10の回路配線と共通電極基板30の透明電極層32とは、電気泳動表示層20の形成領域16の外側にて接続されている。具体的には、透明電極層32と薄膜半導体回路層12の接続電極(端子)14とが導電性接続部材23を介して接続される。   The circuit wiring of the semiconductor circuit substrate 10 and the transparent electrode layer 32 of the common electrode substrate 30 are connected outside the formation region 16 of the electrophoretic display layer 20. Specifically, the transparent electrode layer 32 and the connection electrode (terminal) 14 of the thin film semiconductor circuit layer 12 are connected via the conductive connection member 23.

次に、上述した電気泳動表示装置の製造方法について図3及び図4を参照して説明する。両図において、図1と対応する部分には同一符号を付している。   Next, a method for manufacturing the above-described electrophoretic display device will be described with reference to FIGS. In both figures, parts corresponding to those in FIG.

まず、図3(A)に示すように、共通電極基板30を作製する。共通電極基板30は、透明な絶縁材料である、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム31上に透明な導電膜としてITO32をスパッタ法などによって蒸着し、ITO膜が形成されたPETフィルムを得ることができる。   First, as shown in FIG. 3A, a common electrode substrate 30 is manufactured. The common electrode substrate 30 is a transparent insulating material. For example, ITO 32 is deposited as a transparent conductive film on a polyethylene terephthalate (PET) film 31 by a sputtering method or the like to obtain a PET film on which an ITO film is formed. it can.

次に、図3(B)に示すように、共通電極基板30のITO面上にマイクロカプセル21とバインダ22の混合液を、例えば、ロールコーターを用いて均一に塗布する。塗布後、80℃で20分間乾燥させ、共通電極基板30上に電気泳動表示層20を形成して、例えば、膜厚100μmの電気泳動表示シートを形成する。   Next, as shown in FIG. 3B, the mixed liquid of the microcapsule 21 and the binder 22 is uniformly applied on the ITO surface of the common electrode substrate 30 using, for example, a roll coater. After application, the electrophoretic display layer 20 is formed on the common electrode substrate 30 by drying at 80 ° C. for 20 minutes, and an electrophoretic display sheet having a film thickness of, for example, 100 μm is formed.

一方、図4(A)に示すように、半導体回路基板10は上記電気泳動表示シートとは別途の工程によって作製される。一般的に耐熱温度が低い樹脂基板上への薄膜半導体回路の形成においては、低温プロセスの半導体製造技術を使用することが可能であるが、半導体膜の性能が低く、従ってTFTの性能も低い。そこで、実施例では、既述した薄膜回路転写法を使用して半導体回路基板10を形成する。   On the other hand, as shown in FIG. 4A, the semiconductor circuit substrate 10 is manufactured by a process separate from the electrophoretic display sheet. In general, in the formation of a thin film semiconductor circuit on a resin substrate having a low heat-resistant temperature, it is possible to use a semiconductor manufacturing technique of a low temperature process, but the performance of the semiconductor film is low, and thus the performance of the TFT is also low. Therefore, in the embodiment, the semiconductor circuit substrate 10 is formed using the thin film circuit transfer method described above.

すなわち、図示しない石英ガラス基板などの耐熱基板上に剥離層を介してポリシリコンの半導体膜を成膜し、薄膜トランジスタ(TFT)、信号配線、画素電極群などのマトリクス表示器用回路を形成した薄膜半導体回路層12を形成する。この薄膜半導体回路層12上に図示しない仮転写基板を水溶性接着剤で貼り合わせ、剥離層を光照射などによって破壊して薄膜半導体回路12を仮転写基板側に転写する。次に、仮転写基板の薄膜半導体回路12を非溶解性接着剤を介して可撓性の樹脂基板11に貼り合わせる。可撓性基板11は、例えば、膜厚200μmのポリカーボネート基板である。更に、仮転写基板と薄膜半導体回路基板間の水溶性接着剤を溶解して除去し、仮転写基板を分離する。   That is, a thin film semiconductor in which a polysilicon semiconductor film is formed on a heat resistant substrate such as a quartz glass substrate (not shown) through a release layer, and a circuit for a matrix display such as a thin film transistor (TFT), a signal wiring, and a pixel electrode group is formed. The circuit layer 12 is formed. A temporary transfer substrate (not shown) is bonded onto the thin film semiconductor circuit layer 12 with a water-soluble adhesive, and the release layer is broken by light irradiation or the like to transfer the thin film semiconductor circuit 12 to the temporary transfer substrate side. Next, the thin film semiconductor circuit 12 of the temporary transfer substrate is bonded to the flexible resin substrate 11 through an insoluble adhesive. The flexible substrate 11 is, for example, a polycarbonate substrate having a film thickness of 200 μm. Further, the water-soluble adhesive between the temporary transfer substrate and the thin film semiconductor circuit substrate is dissolved and removed to separate the temporary transfer substrate.

このようにして、仮転写基板から可撓性基板11上に電極配線13や接続電極14、接続端子15等が形成された薄膜半導体回路12を剥離転写して半導体回路基板10を形成する。   In this way, the semiconductor circuit substrate 10 is formed by peeling and transferring the thin film semiconductor circuit 12 in which the electrode wiring 13, the connection electrode 14, the connection terminal 15, and the like are formed on the flexible substrate 11 from the temporary transfer substrate.

次に、図4(B)に示すように、半導体回路基板10上に設けられている透明電極層32(図4(C)参照)との通電用の接続電極14上に、導電性接続部材23を配置する。   Next, as shown in FIG. 4B, a conductive connection member is formed on the connection electrode 14 for energization with the transparent electrode layer 32 (see FIG. 4C) provided on the semiconductor circuit substrate 10. 23 is arranged.

なお、インクジェット(液滴吐出)法、オフセット印刷法等によって導電性接続部材23を接続電極14上に適量配置することとしてもよい。   An appropriate amount of the conductive connection member 23 may be disposed on the connection electrode 14 by an inkjet (droplet discharge) method, an offset printing method, or the like.

次に、図4(C)に示すように、半導体回路基板10と電気泳動表示シート(20,30)とを貼り合わせる。   Next, as shown in FIG. 4C, the semiconductor circuit substrate 10 and the electrophoretic display sheets (20, 30) are bonded together.

まず、半導体回路基板10上の表示領域部13に電気泳動表示層20が位置するように、電気泳動表示シートと、半導体回路基板10とを対向させて位置合せし、後述のプレス装置にて減圧雰囲気下で90℃、0.8MPaの圧力によってラミネート加工を行い、半導体回路基板10、電気泳動表示層20及び共通電極基板30を貼り合わせて電気泳動表示装置1を作製する。   First, the electrophoretic display sheet and the semiconductor circuit substrate 10 are aligned so as to face each other so that the electrophoretic display layer 20 is positioned in the display region portion 13 on the semiconductor circuit substrate 10, and the pressure is reduced by a press device described later. Lamination is performed at 90 ° C. and a pressure of 0.8 MPa in an atmosphere, and the electrophoretic display device 1 is manufactured by bonding the semiconductor circuit substrate 10, the electrophoretic display layer 20, and the common electrode substrate 30.

ラミネート加工の際、半導体回路基板10の回路配線17と交差する共通電極基板30の端部18に局所的な力が加わると、端部18が半導体回路基板10のデバイス回路(回路配線17)に当たって素子を破壊したりクラックを生じさせたりすることがある。   During the laminating process, when a local force is applied to the end 18 of the common electrode substrate 30 that intersects the circuit wiring 17 of the semiconductor circuit substrate 10, the end 18 hits the device circuit (circuit wiring 17) of the semiconductor circuit substrate 10. The device may be broken or cracks may be generated.

図5(A)は、本発明によるプレス装置を用いたラミネート加工を説明する平面図、図5(B)は、同図(A)のA−A’方向の断面の拡大図である。また、図6(A)は、比較例によるプレス装置を用いたラミネート加工を説明する平面図、図6(B)は、同図(A)のA−A’方向の断面の拡大図である。   FIG. 5A is a plan view for explaining laminating using the press device according to the present invention, and FIG. 5B is an enlarged view of a cross section in the A-A ′ direction of FIG. FIG. 6A is a plan view for explaining laminating using a press device according to a comparative example, and FIG. 6B is an enlarged view of a cross section in the AA ′ direction of FIG. .

図6(A)、(B)に示すように、比較例ではプレス装置のプレス用平板101は、半導体回路基板10の回路配線17と交差する共通電極基板30の端部18とオーバーラップしている。この場合、共通電極基板30と半導体回路基板10のラミネート時に、端部18に力が加わり、端部18が薄膜半導体層12の領域19に突き当たる状態が生じ得る。これは薄膜半導体層12のクラック発生の原因となる。また、可撓性基板の場合にはクラックが成長し易い。特に、領域19は外部回路との電気的接続を行う接続端子15へとつながる回路配線17が配置されている領域であり、回路配線17が破壊されると、デバイスの信頼性低下の原因となる。   As shown in FIGS. 6A and 6B, in the comparative example, the pressing flat plate 101 of the pressing device overlaps with the end portion 18 of the common electrode substrate 30 intersecting the circuit wiring 17 of the semiconductor circuit substrate 10. Yes. In this case, when the common electrode substrate 30 and the semiconductor circuit substrate 10 are laminated, a force may be applied to the end 18, and the end 18 may abut against the region 19 of the thin film semiconductor layer 12. This causes cracks in the thin film semiconductor layer 12. In the case of a flexible substrate, cracks are likely to grow. In particular, the region 19 is a region where the circuit wiring 17 connected to the connection terminal 15 that performs electrical connection with an external circuit is disposed. If the circuit wiring 17 is destroyed, the reliability of the device is reduced. .

一方、図5(A)、(B)に示すように、本発明のプレス装置を用いた場合は、プレス装置のプレス用平板101は、半導体回路基板10の回路配線17と交差する共通電極基板30の端部18とオーバーラップする部分が除去されている。このため、共通電極基板30の端部18に直接力がかからず、端部18が薄膜半導体層12の領域19に突き当たる状態を回避出来、素子の破壊や、クラックの発生を防ぐことができる。   On the other hand, as shown in FIGS. 5A and 5B, when the pressing device of the present invention is used, the pressing flat plate 101 of the pressing device intersects the circuit wiring 17 of the semiconductor circuit substrate 10. The part which overlaps the edge part 18 of 30 is removed. For this reason, no force is directly applied to the end portion 18 of the common electrode substrate 30, a state where the end portion 18 abuts against the region 19 of the thin film semiconductor layer 12 can be avoided, and element breakdown and generation of cracks can be prevented. .

なお、上述した実施例では各種膜材料の一例を示したが、これに限定されるものではなく、種々の材料を使用可能である。   In the above-described embodiments, examples of various film materials have been shown. However, the present invention is not limited to this, and various materials can be used.

例えば、可撓性基板11としては軽量性、可撓性、弾性などに優れた樹脂材料を用いることができる。例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂の何れでもよく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン-プロピレン共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ-(4-メチルペンテン-1)、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリル-スチレン共重合体、ブタジエンースチレン共重合体、ポリオ共重合体(EVOH)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリシクロへキサンテレフタレート(PCT)等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン(PEEK)、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、変性ポリフェニレンオキシド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル(液晶ポリマー)、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不蝕和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば2層以上の積層体として)用いることができる。可撓性基板11の厚みは1〜500μm程度、より好ましくは、機械的強度と可撓性の点から25〜200μm程度である。   For example, as the flexible substrate 11, a resin material excellent in lightness, flexibility, elasticity, and the like can be used. For example, any of a thermoplastic resin and a thermosetting resin may be used. For example, polyolefins such as polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, cyclic polyolefin, modified polyolefin, polyvinyl chloride, Vinylidene chloride, polystyrene, polyamide, polyimide, polyamideimide, polycarbonate, poly- (4-methylpentene-1), ionomer, acrylic resin, polymethylmethacrylate, acrylic-styrene copolymer, butadiene-styrene copolymer, polyol Polyester such as copolymer (EVOH), polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), polycyclohexane terephthalate (PCT), polyether, polyether ketone (PEEK), poly -Terimide, polyacetal, polyphenylene oxide, modified polyphenylene oxide, polyarylate, aromatic polyester (liquid crystal polymer), polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, other fluorine resins, styrene, polyolefin, polyvinyl chloride, polyurethane, Various thermoplastic elastomers such as fluororubber and chlorinated polyethylene, epoxy resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, non-corrosive polyester, silicone resin, polyurethane, etc., or copolymers and blends mainly composed of these , Polymer alloys, and the like, and one or more of these can be used in combination (for example, as a laminate of two or more layers). The thickness of the flexible substrate 11 is about 1 to 500 μm, and more preferably about 25 to 200 μm from the viewpoint of mechanical strength and flexibility.

薄膜半導体回路層12としては、例えば、図示しないゲート線及びデータ線に接続されたTFT及びこれに接続された電極を含む画素部と、ゲート線及びデータ線に電圧を与えて画素部を駆動するためのTFTを含むドライバ部とから構成されている。   As the thin film semiconductor circuit layer 12, for example, a pixel portion including a TFT connected to a gate line and a data line (not shown) and an electrode connected to the TFT, and a voltage is applied to the gate line and the data line to drive the pixel portion. And a driver portion including a TFT for the purpose.

可撓性基板11と薄膜半導体回路層12との間の接着層として用いられる材料は、例えば、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤等の光硬化型接着剤、嫌気硬化型接着剤等の各種硬化型接着剤を用いることができる。特に、工程のタクトタイム低減の観点からは光硬化性接着剤を用いることが好ましい。上記の光硬化性材料としては、例えば、エポキシ系、アクリレート系、シリコーン系の光硬化性材料を用いることができる。また、接着層の厚さは、1nm〜1mm程度、さらに好ましくは10nm〜10μm程度である。   The material used as the adhesive layer between the flexible substrate 11 and the thin film semiconductor circuit layer 12 is, for example, a photo-curing adhesive such as a reactive curable adhesive, a thermosetting adhesive, or an ultraviolet curable adhesive, Various curable adhesives such as anaerobic curable adhesive can be used. In particular, it is preferable to use a photocurable adhesive from the viewpoint of reducing the cycle time of the process. As said photocurable material, an epoxy type, an acrylate type, and a silicone type photocurable material can be used, for example. The thickness of the adhesive layer is about 1 nm to 1 mm, more preferably about 10 nm to 10 μm.

上述したように、本発明の電気泳動表示装置は電気泳動分散媒と分散媒中に封入された電気泳動粒子とを封入したマイクロカプセルとバインダとで均一に塗工されている。   As described above, the electrophoretic display device of the present invention is uniformly coated with the microcapsules enclosing the electrophoretic dispersion medium and the electrophoretic particles encapsulated in the dispersion medium and the binder.

電気泳動分散媒としては、例えば、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブ等のアルコール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル等の各種エステル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ペンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン等の芳香族炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化炭化水素、カルボン酸塩又はその他の種々の油類等の単独又はこれらの混合物に界面活性剤等を配合したものを用いることができる。   Examples of the electrophoretic dispersion medium include alcohol solvents such as water, methanol, ethanol, isopropanol, butanol, octanol, and methyl cellosolve, various esters such as ethyl acetate and butyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone. Ketones, aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane and octane, alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane and methylcyclohexane, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and hexylbenzene, methylene chloride, chloroform and carbon tetrachloride , 1,2-dichloroethane and other halogenated hydrocarbons, carboxylates or other various oils, or a mixture of these with a surfactant or the like can be used.

電気泳動粒子は、前述したように、電気泳動分散媒中で電位差による電気泳動を行って所望の電極側に移動する性質を有する粒子(高分子あるいはコロイド)である。例えば、アニリンブラックやカーボンブラック等の黒色顔料、二酸化チタンや亜鉛華、三酸化アンチモン、酸化アルミニウム等の白色顔料、モノアゾやジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料、イソインドリノンや黄鉛、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、チタンイエロー、アンチモン等の黄色顔料、キナクリドンレッドやクロムバーミリオン等の赤色顔料、フタロシアニンブルーやインダスレンブルー、アントラキノン系染料、紺青、群青、コバルトブルー等の青色顔料、フタロシアニングリーン等の緑色顔料等である。此等の粒子は単独で使用しても良いし、或いは二種類以上を共に用いても良い。さらにこれらの顔料には必要に応じて電解質や界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、或いはチタンカップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤等を添加することができる。   As described above, the electrophoretic particles are particles (polymer or colloid) having a property of moving to a desired electrode side by performing electrophoresis based on a potential difference in an electrophoretic dispersion medium. For example, black pigments such as aniline black and carbon black, white pigments such as titanium dioxide, zinc white, antimony trioxide, aluminum oxide, azo pigments such as monoazo, disazo, polyazo, isoindolinone, yellow lead, yellow iron oxide , Yellow pigments such as cadmium yellow, titanium yellow and antimony, red pigments such as quinacridone red and chrome vermillion, phthalocyanine blue and indanthrene blue, anthraquinone dyes, blue pigments such as bitumen, ultramarine blue and cobalt blue, phthalocyanine green, etc. Green pigments and the like. These particles may be used alone or in combination of two or more. Furthermore, these pigments include electrolytes, surfactants, metal soaps, resins, rubbers, oils, varnishes, charge control agents composed of particles such as compounds, or dispersing agents such as titanium coupling agents, lubricants, as necessary. Stabilizers and the like can be added.

マイクロカプセル21を構成する材料としては、アラビアゴム・ゼラチン系の化合物やウレタン系の化合物等の柔軟性を有するものを用いるのが好ましい。マイクロカプセル21は界面重合法や不溶化反応法、相分離法或いは界面沈殿法等の公知のマイクロカプセル化手法を用いて形成できる。またマイクロカプセル21は、大きさがほぼ均一であることが優れた表示機能を発揮せしめる上で好ましい。大きさがほぼ均一なマイクロカプセル21は、例えば、濾過又は比重差分級等を用いて得ることができる。マイクロカプセル21の大きさは通常30〜60μm程度である。   As a material constituting the microcapsule 21, it is preferable to use a flexible material such as a gum arabic / gelatin compound or a urethane compound. The microcapsule 21 can be formed using a known microencapsulation method such as an interfacial polymerization method, an insolubilization reaction method, a phase separation method, or an interfacial precipitation method. Further, the microcapsules 21 are preferably substantially uniform in size in order to exhibit an excellent display function. The microcapsule 21 having a substantially uniform size can be obtained by using, for example, filtration or specific gravity differential class. The size of the microcapsule 21 is usually about 30 to 60 μm.

電気泳動表示層20は、上述のマイクロカプセル21をバインダ樹脂22中に所望の誘電率調節剤とともに混合し、得られた樹脂組成物(エマルジョンあるいは有機溶媒溶液)を基材上にロールコーターを用いる方法やロールラミネータを用いる方法、スクリーン印刷による方法、スプレー法等の公知のコーティング法を用いて形成することができる。   The electrophoretic display layer 20 is obtained by mixing the above-described microcapsules 21 in a binder resin 22 together with a desired dielectric constant regulator, and using the obtained resin composition (emulsion or organic solvent solution) on a substrate using a roll coater. It can be formed by a known coating method such as a method, a method using a roll laminator, a method by screen printing, or a spray method.

使用できるバインダ樹脂22としては、マイクロカプセル21と親和性が良好で電極との密着性に優れ、かつ絶縁性を有するものであれば特に制限はない。   The binder resin 22 that can be used is not particularly limited as long as it has good affinity with the microcapsule 21, excellent adhesion to the electrode, and has insulating properties.

かかるバインダ樹脂22として、上述した絶縁性合成樹脂基材と同様、下記に例示するものを用いることができる。   As this binder resin 22, the thing illustrated below can be used similarly to the insulating synthetic resin base material mentioned above.

例えば、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、ポリプロピレン、ABS樹脂、メタクリル酸メチル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニルアクリル酸エステル共重合体、塩化ビニル−メタクリル酸共重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、エチレン−ビニルアルコール−塩化ビニル共重合体、プロピレン−塩化ビニル共重合体、塩化ビニリデン樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、セルロース系樹脂等の熱可塑性樹脂。ポリアミド系樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキサイド、ポリスルホン、ポリアミドイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルホン、ポリアリレート、グラフト化ポリフィニレンエーテル、ポリエーテルエテルケトン、ポリエーテルイミド等の高分子。ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化エチレンプロピレン、四フッ化エチレン−パーフロロアルコキシエチレン共重合体、エチレン−四フッ化エチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリ三フッ化塩化エチレン、フッ素ゴム等のフッ素系樹脂。シリコーン樹脂、シリコンゴム等の珪素樹脂。その他のバインダ材として、メタクリル酸−スチレン共重合体、ポリブチレン、メタクリル酸メチル−ブタジエン−スチレン共重合体等を用いることができる。また、バインダ材は、特開平10−149118号公報に記載の如く、電気泳動表示液の誘電率と分散剤の誘電率を略同じとするのが好ましい。   For example, polyethylene, chlorinated polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, polypropylene, ABS resin, methyl methacrylate resin, vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride -Vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride acrylate copolymer, vinyl chloride-methacrylic acid copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, ethylene-vinyl alcohol-vinyl chloride copolymer, propylene-vinyl chloride copolymer Thermoplastic resins such as coalescence, vinylidene chloride resin, vinyl acetate resin, polyvinyl alcohol, polyvinyl formal, and cellulose resin. Polyamide resin, polyacetal, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyphenylene oxide, polysulfone, polyamideimide, polyaminobismaleimide, polyethersulfone, polyphenylenesulfone, polyarylate, grafted polyfinylene ether, polyetheretherketone, poly Polymers such as etherimide. Fluorine such as polytetrafluoroethylene, polyfluoroethylenepropylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, polyvinylidene fluoride, polytrifluoroethylene chloride, fluororubber Resin. Silicon resins such as silicone resin and silicon rubber. As other binder materials, methacrylic acid-styrene copolymer, polybutylene, methyl methacrylate-butadiene-styrene copolymer, and the like can be used. In addition, as described in JP-A-10-149118, the binder material preferably has substantially the same dielectric constant of the electrophoretic display liquid and that of the dispersant.

共通電極基板30は、前述したように、薄膜フィルム31上に透明電極層32が形成されたものである。薄膜フィルム31としては絶縁性の透明基材であれば、上述した可撓性基板11の種々の材料を用いることができる。薄膜フィルム31の厚みは可撓性基板11の厚みよりも薄い方がよい。より好ましくは可撓性基板11の厚みの半分以下程度である。   As described above, the common electrode substrate 30 is obtained by forming the transparent electrode layer 32 on the thin film 31. As the thin film 31, various materials for the flexible substrate 11 described above can be used as long as they are insulating transparent base materials. The thickness of the thin film 31 is preferably thinner than the thickness of the flexible substrate 11. More preferably, it is about half or less of the thickness of the flexible substrate 11.

用いられる透明電極層32としては、例えば、上述したITO膜の他に、フッ素がドープされた酸化スズ膜(FTO膜)、アンチモンがドープされた酸化亜鉛膜、インジウムがドープされた酸化亜鉛膜、アルミニウムがドープされた酸化亜鉛膜等を例示することができる。薄膜フィルム31上に透明電極を形成する方法には特に制限はないが、例えば、スパッタ法、電子ビーム法、イオンプレーティング法、真空蒸着法又は化学的気相成長法(CVD法)等により形成することができる。   As the transparent electrode layer 32 to be used, for example, in addition to the above-mentioned ITO film, a tin oxide film doped with fluorine (FTO film), a zinc oxide film doped with antimony, a zinc oxide film doped with indium, A zinc oxide film doped with aluminum can be exemplified. The method for forming the transparent electrode on the thin film 31 is not particularly limited. For example, the transparent electrode is formed by sputtering, electron beam, ion plating, vacuum deposition, chemical vapor deposition (CVD) or the like. can do.

(電子機器)
本発明の電気泳動表示装置は各種の電子機器の表示部に適用可能である。図7は、電気泳動表示装置を表示部に使用した電子機器の例を示している。
(Electronics)
The electrophoretic display device of the present invention can be applied to display portions of various electronic devices. FIG. 7 illustrates an example of an electronic device using an electrophoretic display device as a display portion.

同図は携帯電話への適用例であり、携帯電話530は、アンテナ部531、音声出力部532、音声入力部533、操作部534、及び本発明の電気泳動表示装置100を備えている。このように本発明の電気泳動表示装置100を携帯電話530の表示部として利用可能である。   This figure is an example applied to a mobile phone, and the mobile phone 530 includes an antenna portion 531, an audio output portion 532, an audio input portion 533, an operation portion 534, and the electrophoretic display device 100 of the present invention. As described above, the electrophoretic display device 100 of the present invention can be used as a display unit of the mobile phone 530.

上記例に限らず本発明の電気泳動表示装置は、画像表示や文字表示を行う種々の電子機器に適用可能である。例えば、電子ペーパー、PDA、電子手帳、電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレイなどにも活用することができる。   The electrophoretic display device of the present invention is not limited to the above example, and can be applied to various electronic devices that perform image display and character display. For example, it can also be used for electronic paper, PDA, electronic notebook, electric bulletin board, display for advertising notice, and the like.

図1は本発明の電気泳動表示装置の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an electrophoretic display device of the present invention. 図2は図1のA−A’方向の断面の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a cross section in the A-A ′ direction of FIG. 1. 図3(A)、(B)は本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明する図である。3A and 3B are diagrams for explaining a method for manufacturing an electrophoretic display device of the present invention. 図4(A)〜(C)は本発明の電気泳動表示装置の製造方法を説明する図である。4A to 4C are views for explaining a method for manufacturing an electrophoretic display device of the present invention. 図5(A)は、本発明によるプレス装置を用いたラミネート加工を説明する平面図、図5(B)は、同図(A)のA−A’方向の断面の拡大図である。FIG. 5A is a plan view for explaining laminating using the press device according to the present invention, and FIG. 5B is an enlarged view of a cross section in the A-A ′ direction of FIG. 図6(A)は、本発明によるプレス装置を用いたラミネート加工を説明する平面図、図6(B)は、同図(A)のA−A’方向の断面の拡大図である。6A is a plan view for explaining laminating using the press device according to the present invention, and FIG. 6B is an enlarged view of a cross section in the A-A ′ direction of FIG. 図7は本発明の電子機器の例を説明する説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating an example of an electronic apparatus according to the invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 電気泳動表示装置、10 半導体回路基板、11 可撓性基板、11a 接着剤層、12 薄膜半導体回路層、13 表示領域部、13a 駆動(画素)電極配線、14 接続電極、15 接続端子、16 電気泳動表示層形成領域、17 回路配線、18 端部、19 領域、20 電気泳動表示層、21 マイクロカプセル、22 バインダ、23 導電性接続部材、30 共通電極基板(透明基板)、31 薄膜フィルム、32 透明電極層、51 行デコーダ、52 列デコーダ、101 プレス用平板、530 携帯電話

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electrophoretic display apparatus, 10 Semiconductor circuit board, 11 Flexible board, 11a Adhesive layer, 12 Thin film semiconductor circuit layer, 13 Display area | region part, 13a Drive (pixel) electrode wiring, 14 Connection electrode, 15 Connection terminal, 16 Electrophoretic display layer forming region, 17 circuit wiring, 18 edge, 19 region, 20 electrophoretic display layer, 21 microcapsule, 22 binder, 23 conductive connecting member, 30 common electrode substrate (transparent substrate), 31 thin film, 32 transparent electrode layers, 51 row decoder, 52 column decoder, 101 flat plate for press, 530 mobile phone

Claims (3)

可撓性基板上に薄膜半導体回路層を形成して半導体回路基板を得る第1の工程と、
一面に透明電極層を形成された透明基板と前記半導体回路基板を、前記透明電極層と前記薄膜半導体回路層が分散媒中に帯電粒子を含む電気泳動表示層を介して対向するように貼り合わせる第2の工程を備え、
前記第2の工程で貼り合わせを行う際、前記半導体回路基板の外周部に設けられ外部接続端子へ接続される配線と前記透明基板の周縁部が重なり合う領域には直接力を加えない、電気泳動表示装置の製造方法。
Forming a thin film semiconductor circuit layer on a flexible substrate to obtain a semiconductor circuit substrate;
The transparent substrate having a transparent electrode layer formed on one surface and the semiconductor circuit substrate are bonded together so that the transparent electrode layer and the thin film semiconductor circuit layer face each other through an electrophoretic display layer containing charged particles in a dispersion medium. Comprising a second step,
When bonding is performed in the second step, no force is directly applied to a region where the wiring connected to the external connection terminal provided on the outer peripheral portion of the semiconductor circuit substrate and the peripheral portion of the transparent substrate overlap. Manufacturing method of display device.
前記第2の工程では、プレス装置で加圧することにより貼り合わせを行い、
前記プレス装置は、前記領域に対応する部分が除去されたプレス板を有する請求項1記載の電気泳動表示装置の製造方法。
In the second step, bonding is performed by pressurizing with a press device,
The method of manufacturing an electrophoretic display device according to claim 1, wherein the press device includes a press plate from which a portion corresponding to the region is removed.
請求項1または請求項2に記載の電気泳動表示装置の製造方法により製造した電気泳動表示装置を表示部に備えた電子機器。

An electronic apparatus comprising an electrophoretic display device manufactured by the method for manufacturing an electrophoretic display device according to claim 1 or 2 in a display unit.

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