JP2006313770A - 半導体素子のサイリスタ特性検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 発光ダイオードやレーザダイオードなどの半導体素子のサイリスタ特性を迅速かつ確実に検出する検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 時間経過と共に増加する検査電流Ioを、検査対象の発光ダイオードLEDに印加する定電流回路5と、発光ダイオードLEDの両端電圧Voを受けて、そのピーク値Vpを保持するピークホールド回路7と、ピークホールド回路の出力電圧Vpと共に、発光ダイオードLEDの両端電圧Voを受けて、両者の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動増幅回路8と、差動増幅回路8の出力電圧V2が所定値Vrを超えたことを検出するコンパレータ9とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 時間経過と共に増加する検査電流Ioを、検査対象の発光ダイオードLEDに印加する定電流回路5と、発光ダイオードLEDの両端電圧Voを受けて、そのピーク値Vpを保持するピークホールド回路7と、ピークホールド回路の出力電圧Vpと共に、発光ダイオードLEDの両端電圧Voを受けて、両者の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動増幅回路8と、差動増幅回路8の出力電圧V2が所定値Vrを超えたことを検出するコンパレータ9とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、発光ダイオードやレーザダイオードなどの半導体素子について、サイリスタ特性を示すか否かを検出する検査装置及び検査方法に関する。
発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)や、レーザダイオード(LD:laser diode)は、これらに印加される電流に対応した光を発生する半導体素子である。そして、一般には、電流の増加に合わせて両端電圧が増加する特性を示している。
しかしながら、製造上の不具合などから、印加電流の増加に反して両端電圧が降下するサイリスタ特性を示す素子も存在する。このようなサイリスタ特性は、この種の半導体素子にとっては不良特性であるため、これを検査工程において確実に検出する必要がある。但し、この検査動作のために長時間を要したのでは、製造効率を悪化させることになるので妥当性を欠く。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、迅速かつ確実にサイリスタ特性を検出できる半導体素子の検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、半導体素子のサイリスタ特性を検出する検査装置であって、時間の経過に合わせて増加する検査電流を、検査対象の半導体素子に印加する電流駆動部と、前記検査電流の印加された前記半導体素子の両端電圧を受けて、そのピーク値を保持して出力するピークホールド部と、前記ピークホールド部の出力電圧と共に、前記半導体素子の両端電圧を受けて、両電圧の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動部と、前記差動部の出力電圧が所定値を超えたことを検出する検出部とを特徴的に備えている。
また、本発明は、時間の経過に合わせて増加する検査電流を、検査対象の半導体素子に印加する電流駆動部と、前記検査電流の印加された前記半導体素子の両端電圧を受けて、そのピーク値を保持して出力するピークホールド部と、前記ピークホールド部の出力電圧と共に、前記半導体素子の両端電圧を受けて、両電圧の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動部と、前記差動部の出力電圧が所定値を超えたことを検出する検出部とを備えて半導体素子のサイリスタ特性を検出する検査方法である。
上記各発明における検査電流は、時間の経過に合わせて連続的に増加するものでも良いが、好ましくは、時間の経過に合わせて階段状に増加する階段波である。ここで、階段波とは、必ずしも常に増加する波形に限定されず、1ステップ分のレベル増加ごとに、電圧値が降下する休止期間が設けられている波形も含まれる。
また、本発明に係る電流駆動部は、好ましくは、クロック信号発生部と、発生したクロック信号を計数するカウンタと、前記カウンタのデジタル出力をアナログ信号に変換するD/A変換部と、D/A変換部の出力をそのレベルに対応した検査電流に変換する電流変換部とを備えている。
本発明によれば、発光ダイオードやレーザダイオードなどの半導体素子において、迅速かつ確実にサイリスタ特性を検出することができる。
以下、本発明を実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。図1は、発光ダイオードLEDやレーザダイオードLDなどの半導体素子について、そのサイリスタ特性を検出して良否判定を行う検査装置の概略構成を示す回路ブロック図である。ここでは、検査対象素子が発光ダイオードLEDであるとして説明する。
図示の通り、この検査装置は、クロック信号φを発生するクロック発振回路1と、クロック信号φのクロック周期を分周する分周回路2と、分周回路2の出力である計数パルスCKをカウントしてパラレルデータを出力するカウンタ3と、カウンタ3の出力をアナログ信号に変換するD/Aコンバータ4と、D/Aコンバータ4の出力電圧Vsに応じた検査電流で発光ダイオードLEDを駆動する定電流回路5と、発光ダイオードLEDの両端電圧Voを増幅するプリアンプ6と、プリアンプ6の出力電圧のピーク値Vpを検出するピークホールド回路7と、ピークホールド回路7の出力Vpとプリアンプ6の出力V1を受ける差動増幅回路8と、差動増幅回路8の出力電圧V2と基準電圧Vrを比較してH/Lレベルの判定データVdを出力するコンパレータ9とで構成されている。
クロック発振回路1が生成するクロック信号φのパルス周期は、特に限定されないが、この実施例では、0.1μSのパルス周期に設定されている。また、分周器2の分周比は、この検査装置に要求される検査速度や、検査対象素子の応答速度などに基づいて決定されるが、通常は1/2〜1/256の範囲で決定される。したがって、本実施例では、計数パルスCKのパルス周期は、分周比1/2〜1/256に対応して、0.2μS〜25.6μSとなる。
本実施例のD/Aコンバータ4としては、分解能12ビット、14ビット、16ビット程度のものが使用される。したがって、カウンタ3としては、D/Aコンバータ4の分解能に合わせて、0〜4095を計数する12ビットカウンタ、0〜16383を計数する14ビットカウンタ、0〜65535を計数する16ビットカウンタの何れかが採用される。
何れにしても、カウンタ3は、0〜2n−1のパラレルデータを出力するので、D/Aコンバータ4は、計数パルスCKに同期して、FS(V)/2nずつ増加する階段波状のアナログ検査電圧Vsを出力する。ここで、FS(V)は、D/Aコンバータ4のフルスケールの出力電圧値である。
D/Aコンバータ4の出力電圧Vsは、定電流回路5において、FS(I)/2nずつ増加する階段波Ioに電流変換される。ここで、FS(I)は、定電流回路5のフルスケールの電流値であり、検査対象となる半導体素子の測定範囲に応じて決定されるが、本実施例では、1mA〜10mA程度に設計されている。したがって、例えば、FS(I)=10mAの場合には、12ビット分解能では階段波Ioのステップ幅が2.4μA(=10mA/4096)、16ビット分解能では階段波Ioのステップ幅が0.15μA(=10mA/65536)ということになる。
このような階段波状の検査電圧Vsに対応して、発光ダイオードLEDに流入する検査電流Ioも、ステップ幅が2.4μA〜0.15μA程度の階段波状の電流となり、発光ダイオードLEDの両端電圧Vo(検査電圧)は、検査電流Ioに対応したレベルとなる。この検査電圧Voは、正常な発光ダイオードの場合には、階段波状の検査電流Ioに対応して増加するが、サイリスタ特性を示す発光ダイオードLEDでは、検査電圧Voの増加途中でそのレベルが降下する。
この検査電圧Voはプリアンプ6で増幅されて、ピークホールド回路7及び差動増幅回路8の入力電圧V1となる。ピークホールド回路7では、入力電圧V1の増加に応じてピーク値Vpを更新する。そのため、発光ダイオードLEDがサイリスタ特性を示して、検査電流Ioの増加に拘わらず検査電圧Voが減少した場合でも、ピークホールド回路7の出力電圧Vpは、それまでの最大値を維持することになる。
差動増幅回路8では、ピークホールド回路7の出力電圧であるピーク値Vpと、検査電圧Voの増幅値V1との差(Vp−V1)に対応した差動電圧V2を出力する。そして、コンパレータ9では、差動電圧V2が基準電圧Vrと比較され、差動電圧V2が基準電圧Vrを超えた場合には、レベルデータVdがLレベルからHレベルに遷移して、検査対象素子たる発光ダイオードLEDが、サイリスタ特性を有することを示す。すなわち、V2>Vrの場合には、その発光ダイオードはNG品ということになる。
図2は、サイリスタ特性を示す発光ダイオードLEDについて、検査電流Ioと、差動増幅器に入力されるピーク値Vp及び検査電圧の増幅値V1との関係を図示したものである。最初は、検査電流Ioの増加に応じて、検査電圧の増幅値V1が増加するので、ピーク値Vpは増幅値V1に追随して同一値を示している。ところが、検査電流Ioの増加途中からは、検査電圧の増幅値V1が減少するため、ピーク値Vpは、それまでの値を維持することになり(破線部を参照)、増幅値V1との差電圧(Vp−V1)が増加する。そして、この差電圧(Vp−V1)が基準値Vrを超えると、コンパレータ9からHレベルの検知データが出力されることになる。
図3は、定電流回路5の一例を図示したものであり、D/Aコンバータ4の出力である階段波Vsを差動増幅するOPアンプA1と、ボルテージフォロワとして機能するOPアンプA2と、検査素子である発光ダイオードLEDとが示されている。
図示の回路では、OPアンプA1は、D/Aコンバータ4の出力電圧Vsと、定電流回路5の出力電圧Voとを受ける差動増幅回路として機能する。ここで、R1,R2,R3の抵抗値は、電流制限抵抗Rsの値より十分大きい値が選択される。そして、例えば、R2=R3の条件を満たす場合には、発光ダイオードLEDに印加される出力電流Ioは、Io=(R2/R1)×Vs/Rsの定電流値となる。また、(Rs+R3)=R2に設定した場合にも、出力電流Ioは、ほぼ(R2/R1)×Vs/Rsとなる。したがって、電流制限抵抗Rsの値を選択することで、任意の定電流源(好適には1mA〜10mA程度)を構成することができる。
図4は、ピークホールド回路7と、差動増幅回路7の一例を示す回路図である。ピークホールド回路7は、非反転型整流回路を構成するOPアンプA3と、抵抗R4とコンデンサC1の直列接続部と、直列接続部に並列接続されるスイッチング素子(FET)Qと、ボルテージフォロアであるOPアンプA4とを中心に構成されている。
発光ダイオードLEDの検査出力電圧Voは、プリアンプ6で増幅されるが(図1参照)、プリアンプ6の出力電圧V1は、OPアンプA3を経由してコンデンサC1を充電する。このコンデンサC1は、通常OFF状態であるスイッチング素子Qと、ダイオードD2によって、放電動作が禁止されて充電状態を維持する。一方、出力電圧V1が増加する場合には、コンデンサC1が更に充電されるので、結局、プリアンプ6の出力電圧V1のピーク値Vpが、コンデンサC1の充電電圧として保持されることになる。なお、各発光ダイオードLEDについて、階段波状の検査電流Ioの印加による一回の検査サイクルが終われば、スイッチング素子QにリセットパルスRSが供給されて、コンデンサC1の充電電圧は放電される。
差動増幅回路7の反転入力端子には、コンデンサC1に充電されているピーク値Vpが、OPアンプA4を通して供給されている。一方、差動増幅回路7の非反転入力端子には、プリアンプ6の出力電圧V1が供給されている。そのため、差動増幅回路7の出力は、差電圧V1−Vpに比例した値となる。この差電圧V1−Vpは、発光ダイオードLEDが出力する検査電圧の各瞬時値V1と、それまでの検査電圧のピーク電圧Vpとの差である。
したがって、段階的に増加する検査電流Ioによって発光ダイオードLEDが駆動される本実施例では、正常な発光ダイオードLEDであれば、常にV1>Vpとなって、差動増幅回路7の出力電圧V2が常に正レベルとなる。一方、検査対象の発光ダイオードLEDが、サイリスタ特性を示す場合には、V1<Vpとなって、差動増幅回路7の出力電圧V2が負レベルとなる。
このような差動増幅回路の出力電圧V2は、図1に示すように、コンパレータ9の反転入力端子に供給されている。また、コンパレータ9の非反転入力端子には、基準電圧Vr(この実施例では負レベル)が供給されている。そのため、V1<Vpの状態(サイリスタ特性によって電圧V1が降下している状態)で、差電圧Vp−V1の値が増加すると、コンパレータ9の出力がLレベルから反転して、Hレベルに遷移することになる。
正常な発光ダイオードLEDであれば、常にV1>Vpであり、差動増幅回路の出力V2が正レベルであるから、コンパレータ9の出力は定常的にLレベルである。そのため、コンパレータ9の出力がLレベルからHレベルに反転したことによって、当該発光ダイオードLEDがサイリスタ特性を有することが判定される。
ところで、図1の回路では、発光ダイオードLEDが常に駆動状態になる階段波を使用したが、必ずしも、このような一様に増加する階段波に限定されない。すなわち、発光ダイオードLEDを常に駆動状態とすると、発光ダイオードLEDの発熱によって計測結果が不正確になるおそれがある。そこで、図1の破線で示すように、D/Aコンバータ4の後段にアナログスイッチ10を設けて、階段波の電圧レベルが1ステップ増加するに先立って、その電圧レベルを一度ゼロレベルに戻すのも好適である。この場合には、発光ダイオードLEDが連続駆動されることがなく、制御信号CTRに同期して動作休止期間が設けられるので、発光ダイオードLEDの発熱の問題を最小限に抑えることができる。
アナログスイッチ10を設ける回路構成では、コンパレータ9の出力Vdをそのまま使用することができない。そこで、図5に示すように、2つのアンドゲートG1,G2と、遅延回路DLとによって、必要なタイミングのコンパレータ出力Vdだけを取り出すようにしている。
図5の回路では、遅延回路DLは、抵抗R10とコンデンサC2とで構成され、制御信号CTRを所定時間τだけ遅延させている。そして、アンドゲートG1には、遅延された制御信号CTL’と、元の制御信号CTLとが入力されるので、アンドゲートG1からは、遅延時間τだけパルス幅が短くなったゲートパルスGTが出力されることになる。
図示の通り、アンドゲートG2には、コンパレータ9の出力電圧VdとゲートパルスGTとが入力されているため、発光ダイオードLEDの動作休止期間中におけるコンパレータ出力は、アンドゲートG2によって阻止されることになる。そのため、アンドゲートG2の出力によって、発光ダイオードLEDのサイリスタ特性だけを検出できることになる。
以上、本発明の2つの実施例について具体的に説明したが、具体的な記載内容は、特に本発明を限定ものではなく、本発明の趣旨を逸脱することなく各種の変更が可能である。
例えば、図1のプリアンプ6は、実際には、差動増幅回路で構成されるのが好適であり、また、図4に例示した単純な差動増幅回路に代えて、実際には、計装アンプを使用するのが好適である。なお、ここで計装アンプとは、一対の差動入力端子と、基準端子を電位基準とするシングルエンド出力を持つ回路を意味する。また、図4のピークホールドリセット用のFETは、普通のトランジスタを使用しても良いのは勿論である。
LED 半導体素子(発光ダイオード)
Io 検査電流
Vo 半導体素子の両端電圧(検査電圧)
Vp ピーク値
5 電流駆動部(定電流回路)
7 ピークホールド部(ピークホールド回路)
8 差動部(差動増幅回路)
9 検出部(コンパレータ)
Io 検査電流
Vo 半導体素子の両端電圧(検査電圧)
Vp ピーク値
5 電流駆動部(定電流回路)
7 ピークホールド部(ピークホールド回路)
8 差動部(差動増幅回路)
9 検出部(コンパレータ)
Claims (5)
- 半導体素子のサイリスタ特性を検出する検査装置であって、
時間の経過に合わせて増加する検査電流を、検査対象の半導体素子に印加する電流駆動部と、
前記検査電流の印加された前記半導体素子の両端電圧を受けて、そのピーク値を保持して出力するピークホールド部と、
前記ピークホールド部の出力電圧と共に、前記半導体素子の両端電圧を受けて、両電圧の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動部と、
前記差動部の出力電圧が所定値を超えたことを検出する検出部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記検査電流は、時間の経過に合わせて階段状に増加する階段波である請求項1に記載の検査装置。
- 前記階段波には、1ステップ分のレベル増加ごとに、電圧値が降下する休止期間が設けられている請求項2に記載の検査装置。
- 前記電流駆動部は、クロック信号発生部と、発生したクロック信号を計数するカウンタと、前記カウンタのデジタル出力をアナログ信号に変換するD/A変換部と、D/A変換部の出力をそのレベルに対応した検査電流に変換する電流変換部とを備えている請求項1〜3の何れかに記載の検査装置。
- 時間の経過に合わせて増加する検査電流を、検査対象の半導体素子に印加する電流駆動部と、
前記検査電流の印加された前記半導体素子の両端電圧を受けて、そのピーク値を保持して出力するピークホールド部と、
前記ピークホールド部の出力電圧と共に、前記半導体素子の両端電圧を受けて、両電圧の差電圧に対応した出力電圧を発生する差動部と、
前記差動部の出力電圧が所定値を超えたことを検出する検出部と、
を備えて半導体素子のサイリスタ特性を検出する検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005134919A JP2006313770A (ja) | 2005-05-06 | 2005-05-06 | 半導体素子のサイリスタ特性検査装置及び方法 |
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Publications (1)
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JP2006313770A true JP2006313770A (ja) | 2006-11-16 |
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ID=37535148
Family Applications (1)
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JP2005134919A Withdrawn JP2006313770A (ja) | 2005-05-06 | 2005-05-06 | 半導体素子のサイリスタ特性検査装置及び方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006313770A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010097606A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置を用いた無線タグ |
CN114664702A (zh) * | 2022-03-18 | 2022-06-24 | 东莞市中麒光电技术有限公司 | Led芯片筛选方法及显示屏 |
-
2005
- 2005-05-06 JP JP2005134919A patent/JP2006313770A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010097606A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置を用いた無線タグ |
US9607975B2 (en) | 2008-09-19 | 2017-03-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and wireless tag using the same |
CN114664702A (zh) * | 2022-03-18 | 2022-06-24 | 东莞市中麒光电技术有限公司 | Led芯片筛选方法及显示屏 |
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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