JP2006295227A - レーザ発振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ発振装置であって、レーザガスを満たした放電管と、前記放電管の両端に設けられた電極と、前記電極間に高電圧を印加する高電圧電源とを備え、前記放電管に穴を開け、前記穴部に補助電極を配置し、前記補助電極をどちらか一方の電極に高抵抗を介して接続したことにより放電開始電圧の大幅な低減による放電の安定化が図れ、大幅なレーザ出力の増大を実現できできる。
【選択図】 図20
Description
る。上記電極2、3に、上記電源部4より所定の電圧が印加されると、上記DA5は放電する。その放電と送風機の運転により、レーザガスの温度は上昇する。熱交換機11および12は、温度上昇したレーザガスを冷却するためのものである。
ルダ150aとミラーホルダ150bの平行度が変化する。この平行度の変化により、レーザ出力が下がることがある。
るまで、可能な限りガス流れ方向に対して均一である事が望ましい。ガス流が均一であれば放電状態が安定する。その結果、DA5に注入された電気入力に対するレーザ出力の効率が高まる(レーザ発振効率という)。しかしAFGLOの構成上、DT1に対してレーザガス導入部を同軸に設けることは構成上複雑になる。実際には、図28のようにレーザガス導入部はDT1に対して略直角に配置されるケースが一般的である。また、図28と、図29は、DT1の内部のガスの流れを模式的に示している。図29は、図28における29−29での断面を示す図である。この構造により、図28中に示すように、DT1内の、特にレーザガス入り口137近傍において、ガス流中に渦巻き136が発生しやすい。この渦巻き状のガス流により、DT内のガス流が乱れる。この結果、レーザ発振効率を高めることができなかった。図30は、DA5への電気入力と、レーザ出力の関係を示している。
した放電になるまでに、時間を要する。この突入電流の値は、放電開始電圧に比例する。そのため、放電安定化のために、放電開始電圧を下げることが大きな課題である。
a)DTと、
b)前記DTの両端近くに設けられた電極と、
c)前記電極間に高電圧を印加する高電圧電源と、
を備え、
d)前記DTに穴を開け、
e)前記穴部に補助電極を配置し、
f)前記補助電極をどちらか一方の電極に高抵抗を介して接続する、
ように構成し、
g)DTに設けられた穴の位置は、前記両電極間の距離をLとした時、補助電極と接続されていない側の電極より、0.4L〜0.7Lの位置に設け、
h)高抵抗の抵抗値は、1MΩ以上、100MΩ以下である
レーザ発振装置である。
以下に本発明の参考例を図面によって説明する。図1は本発明の参考例1を示すレーザ発振装置である。図2は、図1に示すレーザ発振装置の共振器部の構成である。図3Aは、図2に示す共振器部の左側面図である。図3Bは、図2に示す共振器部の右側面図である。図25に示した、従来のレーザ発振装置と、同じ機能を持つ構成部分については、同一の符号を記し、その説明を省略する。
(参考例2)
以下に本発明の参考例2を図面によって説明する。
1.1A < B < 1.7A
となるような構成を採った時の、DT内およびレーザガス流路内でのレーザガスの流れを示している。図9において、幅Bのレーザガス流路を矢印9b方向に流れてきたレーザガスは、DTの入り口近傍の幅Bの部分に導入される。この部分から、レーザガスの流れは、DTの内径Aに狭められる。その後、流れ方向が矢印9a方向にDT内を流れる。この時レーザガスは、DT1の入り口近傍の広がった部分(すなわち、幅B)から緩い勾配をもって、DT1の下流側へ流される。このため、ガスの流れは、DT1入り口部分37から、下流側へと、なだらかな流線が形成される(すなわち、渦流は、発生しない)。DT1内でのレーザガス流の分布は、ほぼ全体的に均一に形成される。この時、幅Bが1.1Aより小さい場合(すなわち従来構成の場合)、DT入り口部分に渦流が、発生する。また、幅Bが1.7Aより大きい場合も、DT入り口部分に渦流が、発生する。その渦流により、DT内のレーザガス流分布は乱れる。図11はDTのレーザガス入り口近傍の幅Bと、レーザ出力との相関を示した図である。レーザガス入り口近傍の幅Bが、
1.1A < B < 1.7A
の範囲で、レーザ出力が最大となっている事が判る。この範囲で、放電が安定することによって、レーザ出力が最大となる。
0.5A<C<0.9A
0.7A<D<0.9A
となるように構成している。また、図12は、DT内およびレーザガス流路内でのレーザガスの流れを模式的に示している。図13は、図12に示す13−13の断面のレーザガスの流れを示す模式図である。レーザガス流路を矢印9b方向に流れてきたレーザガスは、DTのレーザガス入り口から導入される。その後、DTのレーザガス入り口対向部に設けられた円柱状の突起部部分へ当たる。そのレーザガスは、さらに、下流側へ流される。このため、DT入り口部分から、下流側へと、なだらかな流線が形成される。この結果、DT内でのレーザガス流分布はほぼ全体的に均一に形成される。
0.5A < C < 0.9A
の範囲で、レーザ出力が最大となっている。この範囲で、放電が安定することによって、レーザ出力が最大となる。
0.7A < D < 0.9A
の範囲で、レーザ出力が最大となっている。この範囲で、放電が安定することによって、レーザ出力が最大となる。
1.1A < B < 1.7A
0.5A < C < 0.9A
0.7A < D < 0.9A
の関係が成り立つように構成されている。また、前記DTのレーザガス入り口対向部に設けられた、円柱状の突起部38は、セラミックなどの誘電体より成っている。
(実施の形態1)
以下に本発明の実施の形態を図面によって説明する。図20は、本発明の実施の形態1のレーザ発振装置である。図21は、図20に示すレーザ発振装置におけるDT部の詳細な構成を示した模式図である。
助電極156を取り付ける。また、この補助電極156を、誘電体材料からなる絶縁シート162を介して、DT1壁面に接合させている。補助電極156と電極3間とは、誘電体を介した容量結合である。この構成は、電流の通り道にあるレーザガスを電離し、放電開始電圧を下げるという試みであった。放電開始電圧を低減する効果を上げる為に、誘電体の厚みを薄くすることも試みたが、コロナ放電によりDTの壁面に経時的に穴があくという問題があった。本発明は、放電開始の際の微少電流の通過用に、DT1の補助電極56取り付け部に穴55を開けているため、経時的に穴が開くような問題は無く、長期的な信頼性にも優れている。
2、3 電極
4 電源部
5 放電空間
6 終段鏡
7 出力鏡
8 レーザビーム
9 ガス循環方向
10 レーザガス流路
11、12 熱交換器
13 送風機
14 ミラーホルダ連結棒
15a、150a 出力ミラーホルダ
15b、150b 終段ミラーホルダ
16、160 放電管ホルダ
17、170 放電管ホルダベース
18、180 接続管
19 回転軸
20a 支持部
20b 回転軸支持部
21 支持棒
22 回転体
23 回転体支持部
200 回転支持部
220 スライダー構造
24 ばね材
25 ばね押え
26 ピローボール
27 リブ
36、136 渦流
37、137 レーザガス入り口
38 円柱状突起部
55 穴
56、156 補助電極
57 Oリング
58、158 高抵抗
59 レーザガスの流れる方向
159 導体
162 絶縁シート
Claims (3)
- レーザ発振装置であって、
a.レーザガスを満たした放電管と、
b.前記放電管の両端に設けられた電極と、
c.前記電極間に高電圧を印加する高電圧電源と、
を備え、
d.前記放電管に穴を開け、前記穴部に補助電極を配置し、前記補助電極をどちらか一方の電極に高抵抗を介して接続した
レーザ発振装置。 - 前記放電管に設けられた穴の位置は、前記両電極間の距離をLとした時、補助電極と接続されていない側の電極より、0.4L〜0.7Lの位置に設けた請求項1記載のレーザ発振装置。
- 前記高抵抗の抵抗値は、1MΩ以上、100MΩ以下である請求項1記載のレーザ発振装置。
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JP2006209670A JP3953088B2 (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | レーザ発振装置 |
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JP2006209670A JP3953088B2 (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | レーザ発振装置 |
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JP2001542113A Division JP3858695B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | レーザ発振装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010114318A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Fanuc Ltd | ガスレーザ発振器で補助放電の消滅を判別する方法およびガスレーザ発振器 |
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- 2006-08-01 JP JP2006209670A patent/JP3953088B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2010114318A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Fanuc Ltd | ガスレーザ発振器で補助放電の消滅を判別する方法およびガスレーザ発振器 |
JP4598852B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2010-12-15 | ファナック株式会社 | ガスレーザ発振器で補助放電の消滅を判別する方法およびガスレーザ発振器 |
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JP3953088B2 (ja) | 2007-08-01 |
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