JP2006295027A - Semiconductor device - Google Patents

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Koji Okada
浩治 岡田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress noise and a leakage signal transmitted through a power line or a ground line according to change in circuit operating frequency, ambient surcumstances, or the like, and thereby to stabilize a semiconductor device to prevent malfunction and degradation in characteristics. <P>SOLUTION: Multiple capacitors C101 to C104 and switch elements S101 to S104 are provided between multiple circuit blocks 101 and 102 formed over a semiconductor substrate for the suppression of noise and leakage signals. The switch elements S101 to S104 are operated to obtain information related to an optimum state of connection in which noise and leakage signals are minimized, and this information is stored in a nonvolatile storage device 111. The switches are kept in the optimum state of connection according to the information in the nonvolatile storage device 111. Noise and leakage signals are thereby suppressed to stabilize the semiconductor device and prevent malfunction and degradation in characteristics. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体装置に係り、特に、半導体基板上に形成された電源ラインあるいはグランドライン上のノイズや干渉を低減するための干渉対策技術に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to an interference countermeasure technique for reducing noise and interference on a power supply line or a ground line formed on a semiconductor substrate.

近年、半導体デバイスは多機能・高集積化が進み、限られたチップサイズの中に様々な回路ブロックを備えた半導体デバイスが開発されている。   In recent years, semiconductor devices have become more multifunctional and highly integrated, and semiconductor devices having various circuit blocks in a limited chip size have been developed.

従来、同一基板上に複数の回路ブロックが存在するような半導体デバイスにおいては回路動作により発生する互いのノイズあるいは漏れ信号による誤動作や特性劣化を防ぐために、電源ラインとグランドライン間にバイパスコンデンサを設けている。   Conventionally, in a semiconductor device in which multiple circuit blocks exist on the same substrate, a bypass capacitor has been provided between the power supply line and the ground line in order to prevent malfunctions and characteristic degradation caused by mutual noise or leakage signals generated by circuit operation. ing.

図6は従来の半導体装置における干渉対策について説明するための回路図である。   FIG. 6 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a conventional semiconductor device.

図6において、R601〜R610は寄生素子、601は回路ブロック(A)、602は回路ブロック(B)、603は半導体デバイス、604は電圧源、605〜608は端子、609は電源ライン、610はグランドライン、C601,C602はコンデンサ(バイパスコンデンサ)である。   In FIG. 6, R601 to R610 are parasitic elements, 601 is a circuit block (A), 602 is a circuit block (B), 603 is a semiconductor device, 604 is a voltage source, 605 to 608 are terminals, 609 is a power supply line, and 610 is The ground lines C601 and C602 are capacitors (bypass capacitors).

回路ブロック(A)601と回路ブロック(B)602は、同一基板上の半導体デバイス603上に存在し、配線により電源ライン609とグランドライン610が端子605〜608を経由して電圧源604に接続されている。配線の長さ、あるいは引き回しの方法により寄生素子R601〜R610が発生する。   The circuit block (A) 601 and the circuit block (B) 602 exist on the semiconductor device 603 on the same substrate, and the power supply line 609 and the ground line 610 are connected to the voltage source 604 via terminals 605 to 608 by wiring. Has been. Parasitic elements R601 to R610 are generated depending on the length of the wiring or the routing method.

この場合、回路ブロック(A)601と回路ブロック(B)602が同時に動作状態になると、電源ライン609あるいはグランドライン610に干渉が発生し、回路ブロック(A)601は、回路ブロック(B)602の動作により発生するノイズあるいは漏れ信号に対して、誤動作や特性劣化を起こしやすくなる。   In this case, when the circuit block (A) 601 and the circuit block (B) 602 are simultaneously operated, interference occurs in the power supply line 609 or the ground line 610, and the circuit block (A) 601 is connected to the circuit block (B) 602. It is easy for malfunction or characteristic deterioration to occur with respect to noise or leakage signals generated by the above operation.

そのため、電源ライン609あるいはグランドライン610を介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制するために、電源ライン609とグランドライン610との間にコンデンサC601,C602を設け、回路ブロック(B)602が発生するノイズを吸収し、電源ライン609とグランドライン610の電位を安定化させ、干渉による誤動作あるいは特性劣化を防止している。   Therefore, capacitors C601 and C602 are provided between the power supply line 609 and the ground line 610 to suppress noise and leakage signals transmitted through the power supply line 609 or the ground line 610, and a circuit block (B) 602 is generated. Noise is absorbed, the potentials of the power supply line 609 and the ground line 610 are stabilized, and malfunction or characteristic deterioration due to interference is prevented.

また、特許文献1には、高周波領域での電源グランドノイズを有効に抑制し、安定的に動作することのできる半導体装置を提供する方法が開示されている。
特開2000−150796号公報
Further, Patent Document 1 discloses a method of providing a semiconductor device that can effectively suppress power source ground noise in a high frequency region and can operate stably.
JP 2000-150796 A

しかしながら、前記従来の干渉対策では、バイパスコンデンサの設置場所や容量値が固定されており、回路動作周波数あるいは周辺環境などの変化に対して容量値を変更することができないため、場合によってはノイズを有効に抑制することができないという問題があった。   However, in the conventional interference countermeasure, the installation location and the capacitance value of the bypass capacitor are fixed, and the capacitance value cannot be changed in response to changes in the circuit operating frequency or the surrounding environment. There was a problem that it could not be effectively suppressed.

本発明は、前記従来技術の問題を解決し、バイパスコンデンサの容量値を変化させることにより回路動作周波数あるいは周辺環境などの変化に対して最適な容量値を実現して、電源ラインあるいはグランドラインを介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制し、安定化して誤動作や特性劣化を防止することができる半導体装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art and realizes an optimum capacitance value with respect to changes in the circuit operating frequency or the surrounding environment by changing the capacitance value of the bypass capacitor. It is an object of the present invention to provide a semiconductor device that can suppress noise and leakage signals transmitted through the signal line and stabilize and prevent malfunction and characteristic deterioration.

前記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、半導体基板上に形成された複数の回路ブロックと、電源ラインとグランドラインに接続される少なくとも1つのバイパスコンデンサと、前記バイパスコンデンサと電源グランドラインを接続する少なくとも1つのスイッチと、前記スイッチに接続した不揮発性記憶装置とを備え、前記スイッチによる前記バイパスコンデンサの接続状態を変化させて得られる、ノイズあるいは漏れ信号などが最小となる前記接続状態の情報を、前記不揮発性記憶装置に記憶させたことを特徴とし、この構成によって、バイパスコンデンサの接続状態を不揮発性記憶装置に記憶された情報に基づいて切り替え、バイパスコンデンサの容量値を変化させ、回路動作周波数あるいは周辺環境などに応じて最適な容量値に設定することにより、電源ラインあるいはグランドラインを介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができるため、誤動作や特性劣化を防止することができる。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a circuit block formed on a semiconductor substrate, at least one bypass capacitor connected to a power supply line and a ground line, the bypass capacitor and a power supply. The at least one switch for connecting a ground line, and a non-volatile memory device connected to the switch, wherein the noise or leakage signal obtained by changing the connection state of the bypass capacitor by the switch is minimized. The connection state information is stored in the nonvolatile storage device. With this configuration, the connection state of the bypass capacitor is switched based on the information stored in the nonvolatile storage device, and the capacitance value of the bypass capacitor is changed. The optimum capacity is selected according to the circuit operating frequency or the surrounding environment. By setting the value, it is possible to stabilize and suppress noise and leakage signals transmitted via the power line or ground line, it is possible to prevent a malfunction or characteristic deterioration.

請求項2に記載の発明は、請求項1記載の半導体装置において、不揮発性記憶装置に記憶された情報を書き換え、スイッチの接続状態を変更するコントローラを備えたことを特徴とし、この構成によって、回路動作周波数や周辺環境などの変化に対応して、バイパスコンデンサを最適な容量値に設定することができる。   According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first aspect, the semiconductor device includes a controller that rewrites information stored in the nonvolatile memory device and changes a connection state of the switch. The bypass capacitor can be set to an optimum capacitance value in response to changes in the circuit operating frequency and the surrounding environment.

請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2記載の半導体装置において、バイパスコンデンサを電源ライン間に接続することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first or second aspect, a bypass capacitor is connected between power supply lines.

請求項4に記載の発明は、請求項1または請求項2記載の半導体装置において、バイパスコンデンサをグランドライン間に接続することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first or second aspect, a bypass capacitor is connected between the ground lines.

請求項5に記載の発明は、請求項1または請求項2記載の半導体装置において、バイパスコンデンサを電源ラインと半導体基板との間に接続することを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first or second aspect, a bypass capacitor is connected between the power supply line and the semiconductor substrate.

本発明によれば、複数の回路ブロックが存在する半導体デバイスの干渉対策として設けるバイパスコンデンサの容量値を可変することにより、回路動作周波数あるいは周辺環境などの変化に応じて、電源ラインあるいはグランドラインを介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制することができるため安定化し、誤動作や特性劣化を防止する干渉対策として有効である。   According to the present invention, by varying the capacitance value of a bypass capacitor provided as an interference countermeasure for a semiconductor device having a plurality of circuit blocks, the power supply line or the ground line can be changed according to changes in the circuit operating frequency or the surrounding environment. Noise and leakage signals transmitted through the terminal can be suppressed, which is effective as a countermeasure against interference that stabilizes and prevents malfunction and characteristic deterioration.

以下、本発明の実施形態である半導体装置の干渉対策方法について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, a semiconductor device interference countermeasure method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.

図1において、回路ブロック(A)101と回路ブロック(B)102は同一基板上の半導体デバイス103上に存在し、配線により電源ライン109とグランドライン110が端子105〜108を経由して電圧源104に接続されている。配線の長さや引き回しの方法により寄生素子R101〜R112が発生する。さらに不揮発性記憶装置111を備え、電源ライン109とグランドライン110間には、複数のコンデンサ(バイパスコンデンサ)C101〜C104と、不揮発性記憶装置111と接続した複数のスイッチ素子S101〜S104が接続されている。   In FIG. 1, a circuit block (A) 101 and a circuit block (B) 102 exist on a semiconductor device 103 on the same substrate, and a power source line 109 and a ground line 110 are connected to a voltage source via terminals 105 to 108 by wiring. 104 is connected. Parasitic elements R101 to R112 are generated depending on the length of the wiring and the routing method. Further, a nonvolatile memory device 111 is provided, and a plurality of capacitors (bypass capacitors) C101 to C104 and a plurality of switch elements S101 to S104 connected to the nonvolatile memory device 111 are connected between the power supply line 109 and the ground line 110. ing.

前記回路構成において、回路ブロック(A)101と回路ブロック(B)102が同時に動作状態になると、電源ライン109やグランドライン110に干渉が起こり、回路ブロック(A)101は、回路ブロック(B)102の動作により発生するノイズや漏れ信号にて誤動作や特性劣化を発生しやすくなる。   In the circuit configuration, when the circuit block (A) 101 and the circuit block (B) 102 are simultaneously operated, interference occurs in the power supply line 109 and the ground line 110, and the circuit block (A) 101 is connected to the circuit block (B). Malfunctions and characteristic degradation are likely to occur due to noise and leakage signals generated by the operation 102.

そのため、電源ライン109あるいはグランドライン110を介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制するために、電源ライン109とグランドライン110との間にバイパスコンデンサを設けるが、その設置場所あるいは容量値が固定されていると、回路動作周波数あるいは周辺環境などによりノイズや漏れ信号を充分抑制することができない場合がある。   For this reason, a bypass capacitor is provided between the power supply line 109 and the ground line 110 in order to suppress noise and leakage signals transmitted through the power supply line 109 or the ground line 110, but the installation location or capacitance value is fixed. If this is the case, noise and leakage signals may not be sufficiently suppressed depending on the circuit operating frequency or the surrounding environment.

そこで本実施形態では、不揮発性記憶装置111と接続した複数のスイッチ素子S101〜S104を動作させ、電源ライン109とグランドライン110との間に設けた複数のコンデンサC101〜C104の接続状態を変えることにより、ノイズや漏れ信号が最小となる最適な接続状態の情報を得て、その情報を不揮発性記憶装置111に記憶する。   Therefore, in the present embodiment, the plurality of switch elements S101 to S104 connected to the nonvolatile memory device 111 are operated, and the connection state of the plurality of capacitors C101 to C104 provided between the power supply line 109 and the ground line 110 is changed. Thus, information on the optimum connection state that minimizes noise and leakage signals is obtained, and the information is stored in the nonvolatile storage device 111.

このようにして、バイパスコンデンサとしての複数のコンデンサC101〜C104の接続状態を、不揮発性記憶装置111に記憶された情報に基づいて適宜切り替え、バイパスコンデンサの容量値を変化させることにより、回路動作周波数あるいは周辺環境などの変化に対応して最適な容量値に設定することができ、電源ライン109あるいはグランドライン110を介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができ、誤動作や特性劣化を良好に防止することができる。   In this way, the connection state of the plurality of capacitors C101 to C104 as bypass capacitors is appropriately switched based on the information stored in the nonvolatile storage device 111, and the capacitance value of the bypass capacitor is changed to thereby change the circuit operating frequency. Alternatively, it can be set to an optimal capacitance value corresponding to changes in the surrounding environment, etc., and noise and leakage signals transmitted via the power supply line 109 or the ground line 110 can be suppressed and stabilized. It is possible to satisfactorily prevent characteristic deterioration.

(第2の実施形態)
図2は本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図である。
(Second Embodiment)
FIG. 2 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a semiconductor device according to the second embodiment of the present invention.

第2の実施形態において、第1の実施形態と異なる点は、図1の半導体デバイス上に不揮発性記憶装置211を制御するコントローラ212を備えた構成である。   The second embodiment is different from the first embodiment in that the controller 212 for controlling the nonvolatile memory device 211 is provided on the semiconductor device of FIG.

第2の実施形態では、第1の実施形態と同様に電源ライン209あるいはグランドライン210を介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制するために、不揮発性記憶装置211と接続した複数のスイッチ素子S201〜S204を動作させ、電源ライン209とグランドライン210との間に設けた複数のコンデンサC201〜C204の接続状態を変えることにより、ノイズや漏れ信号が最小となる最適な接続状態を既述したように不揮発性記憶装置211に記憶する。   In the second embodiment, as in the first embodiment, a plurality of switch elements S201 connected to the nonvolatile memory device 211 are used to suppress noise and leakage signals transmitted through the power supply line 209 or the ground line 210. As described above, the optimum connection state in which noise and leakage signals are minimized by operating S204 and changing the connection state of the plurality of capacitors C201 to C204 provided between the power supply line 209 and the ground line 210. Is stored in the nonvolatile storage device 211.

そして、回路ブロックが増え、回路動作が複雑になるとノイズや漏れ信号も複雑かつ増加する。これらを抑制するために不揮発性記憶装置211を制御するコントローラ212を設け、半導体デバイス203の使用状況に応じてコントローラ212により不揮発性記憶装置211の内容を書き換え、ノイズや漏れ信号が最小となる最適なスイッチ接続状態を保持する。この動作を繰り返すことにより、電源ライン209あるいはグランドライン210を介して伝達する様々な条件下におけるノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができ、誤動作や特性劣化を防止することが可能になる。   As the number of circuit blocks increases and the circuit operation becomes complicated, noise and leakage signals also increase in complexity. In order to suppress these, a controller 212 for controlling the nonvolatile memory device 211 is provided, and the contents of the nonvolatile memory device 211 are rewritten by the controller 212 in accordance with the usage state of the semiconductor device 203, so that noise and leakage signals are minimized. Keeps the switch connected. By repeating this operation, it is possible to suppress and stabilize noise and leakage signals under various conditions transmitted through the power supply line 209 or the ground line 210, and to prevent malfunction and characteristic deterioration. Become.

(第3の実施形態)
図3は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図である。
(Third embodiment)
FIG. 3 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a semiconductor device according to the third embodiment of the present invention.

前記第2の実施形態では電源ライン209とグランドライン210の間に、コンデンサC201〜C204およびスイッチ素子S201〜S204を設ける構成としたが、これらを図3に示す第3の実施形態のように電源ライン309間に設けてもよい。   In the second embodiment, the capacitors C201 to C204 and the switch elements S201 to S204 are provided between the power supply line 209 and the ground line 210. However, as in the third embodiment shown in FIG. You may provide between the lines 309.

回路ブロック(A)301と回路ブロック(B)302を接続している電源ライン309間に、複数のコンデンサC301,C302と不揮発性記憶装置311と接続した複数のスイッチ素子S301〜S303が接続されている。   A plurality of switch elements S301 to S303 connected to a plurality of capacitors C301 and C302 and a nonvolatile memory device 311 are connected between a power supply line 309 connecting the circuit block (A) 301 and the circuit block (B) 302. Yes.

第3の実施形態において、既述したと同様に半導体デバイス303の使用状況に応じてコントローラ312により不揮発性記憶装置311の内容を書き換え、スイッチ素子S301〜S303を動作させ、電源ライン309間に設けたコンデンサC301,C302の接続状態を変えることにより、ノイズや漏れ信号が最小となる最適なスイッチ接続状態を保持する。この動作を繰り返すことにより、電源ライン309を介して伝達する様々な条件下でのノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができ、誤動作や特性劣化を防止することが可能になる。   In the third embodiment, as described above, the contents of the nonvolatile memory device 311 are rewritten by the controller 312 in accordance with the usage status of the semiconductor device 303, the switch elements S301 to S303 are operated, and the power supply line 309 is provided. By changing the connection state of the capacitors C301 and C302, the optimum switch connection state that minimizes noise and leakage signals is maintained. By repeating this operation, it is possible to suppress and stabilize noise and leakage signals under various conditions transmitted through the power supply line 309, and to prevent malfunction and characteristic deterioration.

また、スイッチ素子S301を開放にすることにより、半導体デバイス303の内部で共通になっている電源ライン309を開放することができる。   Further, by opening the switch element S301, the power supply line 309 that is common in the semiconductor device 303 can be opened.

(第4の実施形態)
図4は本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図である。
(Fourth embodiment)
FIG. 4 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a semiconductor device according to the fourth embodiment of the present invention.

前記第2の実施形態では電源ライン209とグランドライン210の間に、コンデンサC201〜C204およびスイッチ素子S201〜S204を設ける構成としたが、これらを図4に示す第4の実施形態のように、グランドライン410間に設けてもよい。   In the second embodiment, the capacitors C201 to C204 and the switch elements S201 to S204 are provided between the power supply line 209 and the ground line 210. However, as in the fourth embodiment shown in FIG. It may be provided between the ground lines 410.

第4の実施形態において、回路ブロック(A)401と回路ブロック(B)402を接続しているグランドライン410間に、複数のコンデンサC401,C402と、不揮発性記憶装置411と接続した複数のスイッチ素子S401〜S403が接続されている。   In the fourth embodiment, a plurality of capacitors C401 and C402 and a plurality of switches connected to the nonvolatile memory device 411 are provided between the ground lines 410 connecting the circuit block (A) 401 and the circuit block (B) 402. Elements S401 to S403 are connected.

そして、既述したと同様に半導体デバイス403の使用状況に応じてコントローラ412により不揮発性記憶装置411の内容を書き換え、スイッチ素子S401〜S403を動作させ、グランドライン410間に設けたコンデンサC401,C402の接続状態を変えることにより、ノイズや漏れ信号が最小となる最適なスイッチ接続状態を保持する。この動作を繰り返すことにより、グランドライン410を介して伝達する様々な条件下でのノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができ、誤動作や特性劣化を防止することが可能になる。   As described above, the contents of the nonvolatile memory device 411 are rewritten by the controller 412 according to the usage state of the semiconductor device 403, the switch elements S 401 to S 403 are operated, and the capacitors C 401 and C 402 provided between the ground lines 410. By changing the connection state, the optimum switch connection state that minimizes noise and leakage signals is maintained. By repeating this operation, it is possible to suppress and stabilize noise and leakage signals under various conditions transmitted through the ground line 410, and to prevent malfunction and characteristic deterioration.

また、スイッチ素子S401を開放にすることにより、半導体デバイス403の内部で共通になっているグランドライン410を開放することができる。   Further, by opening the switch element S401, the ground line 410 that is common in the semiconductor device 403 can be opened.

(第5の実施形態)
図5は本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の干渉対策方法を示す回路図である。
(Fifth embodiment)
FIG. 5 is a circuit diagram showing an interference countermeasure method for a semiconductor device according to the fifth embodiment of the present invention.

前記第2の実施形態では、電源ライン209とグランドライン210の間に、コンデンサC201〜C204およびスイッチ素子S201〜S204を設ける構成としたが、これらを図5に示す第5の実施形態のように、電源ライン509と半導体基板513の間に設けてもよい。   In the second embodiment, the capacitors C201 to C204 and the switch elements S201 to S204 are provided between the power supply line 209 and the ground line 210. However, as in the fifth embodiment shown in FIG. The power supply line 509 and the semiconductor substrate 513 may be provided.

第5の実施形態において、回路ブロック(A)501と回路ブロック(B)502を接続している電源ライン509と半導体基板513の間に、複数のコンデンサC501〜C504と、不揮発性記憶装置511と接続した複数のスイッチ素子S501〜S504が接続されている。これを既述したと同様に半導体デバイス503の使用状況に応じてコントローラ512により不揮発性記憶装置511の内容を書き換え、スイッチ素子S501〜S504を動作させ、電源ライン509と半導体基板513の間に設けたコンデンサC501〜C504の接続状態を変えることにより、ノイズや漏れ信号が最小となる最適なスイッチ接続状態を保持する。この動作を繰り返すことにより、グランドライン510を介して伝達する様々な条件下でのノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができ、誤動作や特性劣化を防止することが可能になる。   In the fifth embodiment, a plurality of capacitors C501 to C504, a nonvolatile memory device 511, and a power supply line 509 connecting the circuit block (A) 501 and the circuit block (B) 502 and the semiconductor substrate 513 are provided. A plurality of connected switch elements S501 to S504 are connected. As described above, the contents of the nonvolatile memory device 511 are rewritten by the controller 512 in accordance with the usage state of the semiconductor device 503 and the switch elements S501 to S504 are operated to be provided between the power supply line 509 and the semiconductor substrate 513. By changing the connection state of the capacitors C501 to C504, the optimum switch connection state that minimizes noise and leakage signals is maintained. By repeating this operation, it is possible to suppress and stabilize the noise and leakage signal under various conditions transmitted through the ground line 510, and to prevent malfunction and characteristic deterioration.

以上、本発明の実施形態を説明したが、前記実施形態を適宜組み合わせて使用することも可能であり、ノイズや漏れ信号を抑制して安定化させ、誤動作や特性劣化を防止することが可能になる。   As described above, the embodiments of the present invention have been described. However, it is also possible to use the embodiments in combination as appropriate, and it is possible to suppress and stabilize noise and leakage signals, and to prevent malfunctions and characteristic deterioration. Become.

このように、本実施形態によれば、複数の回路ブロックが存在する半導体デバイスの干渉対策として設ける複数のバイパスコンデンサの接続状態を、FeRAM(強誘電体ランダムアクセスメモリ)に代表される不揮発性記憶装置に記憶された情報に基づいてスイッチ切り替えを行い、バイパスコンデンサの容量値を変化させることにより、回路動作周波数あるいは周辺環境などの変化に対して最適な容量値を設定することができ、電源ラインあるいはグランドラインを介して伝達するノイズや漏れ信号を抑制して安定化させることができるため、誤動作や特性劣化を防止する良好な干渉対策となる。   As described above, according to the present embodiment, the connection state of a plurality of bypass capacitors provided as a countermeasure for interference of a semiconductor device having a plurality of circuit blocks is stored in a nonvolatile memory represented by FeRAM (ferroelectric random access memory). By switching the switch based on the information stored in the device and changing the capacitance value of the bypass capacitor, the optimum capacitance value can be set for changes in the circuit operating frequency or the surrounding environment. Alternatively, noise and leakage signals transmitted through the ground line can be suppressed and stabilized, which is a good countermeasure against interference that prevents malfunction and characteristic deterioration.

本発明は、半導体装置の干渉対策として有効であり、特に、半導体基板上に形成された電源ラインあるいはグランドライン上のノイズや干渉を低減するために実施して有用である。   The present invention is effective as a countermeasure against interference of a semiconductor device, and is particularly useful when implemented to reduce noise and interference on a power supply line or a ground line formed on a semiconductor substrate.

本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図FIG. 3 is a circuit diagram for explaining countermeasures against interference in the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention; 本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図Circuit diagram for explaining interference countermeasures of a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention 本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図Circuit diagram for explaining interference countermeasures of a semiconductor device according to a third embodiment of the present invention 本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図The circuit diagram for demonstrating the interference countermeasure of the semiconductor device which concerns on the 4th Embodiment of this invention 本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の干渉対策について説明するための回路図Circuit diagram for explaining interference countermeasures of a semiconductor device according to a fifth embodiment of the present invention 従来の半導体装置における干渉対策について説明するための回路図Circuit diagram for explaining countermeasures against interference in a conventional semiconductor device

符号の説明Explanation of symbols

101,201,301,401,501,601 回路ブロックA
102,202,302,402,502,602 回路ブロックB
103,203,303,403,503,603 半導体デバイス
104,204,304,404,504,604 電圧源
105〜108,205〜208,305〜308,405〜408,505〜508,605〜608 端子
109,209,309,409,509,609 電源ライン
110,210,310,410,510,610 グランドライン
111,211,311,411,511 不揮発性記憶装置
212,312,412,512 コントローラ
513 半導体基板
R101〜R112,R201〜R212,R301〜R310,R401〜R410,R501〜R513,R601〜R610 寄生素子
C101〜C104,C201〜C204,C301,C302,C401,C402,C501〜C504,C601,C602 コンデンサ
S101〜S104,S201〜S204,S301〜S303,S401〜S403,S501〜S504 スイッチ素子
101, 201, 301, 401, 501, 601 Circuit block A
102, 202, 302, 402, 502, 602 Circuit block B
103, 203, 303, 403, 503, 603 Semiconductor devices 104, 204, 304, 404, 504, 604 Voltage sources 105-108, 205-208, 305-308, 405-408, 505-508, 605-608 terminals 109, 209, 309, 409, 509, 609 Power line 110, 210, 310, 410, 510, 610 Ground line 111, 211, 311, 411, 511 Nonvolatile memory device 212, 312, 412, 512 Controller 513 Semiconductor substrate R101-R112, R201-R212, R301-R310, R401-R410, R501-R513, R601-R610 Parasitic elements C101-C104, C201-C204, C301, C302, C401, C402, C501, C501 , C601, C602 capacitor S101~S104, S201~S204, S301~S303, S401~S403, S501~S504 switch element

Claims (5)

半導体基板上に形成された複数の回路ブロックと、電源ラインとグランドラインに接続される少なくとも1つのバイパスコンデンサと、前記バイパスコンデンサと電源グランドラインを接続する少なくとも1つのスイッチと、前記スイッチに接続した不揮発性記憶装置とを備え、前記スイッチによる前記バイパスコンデンサの接続状態を変化させて得られる、ノイズあるいは漏れ信号などが最小となる前記接続状態の情報を、前記不揮発性記憶装置に記憶させたことを特徴とする半導体装置。   A plurality of circuit blocks formed on a semiconductor substrate, at least one bypass capacitor connected to a power supply line and a ground line, at least one switch connecting the bypass capacitor and the power supply ground line, and connected to the switch A non-volatile storage device, and information on the connection state that minimizes noise or a leakage signal obtained by changing the connection state of the bypass capacitor by the switch is stored in the non-volatile storage device. A semiconductor device characterized by the above. 前記不揮発性記憶装置に記憶された情報を書き換え、前記スイッチの接続状態を変更するコントローラを備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。   2. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a controller that rewrites information stored in the nonvolatile storage device and changes a connection state of the switch. 前記バイパスコンデンサを前記電源ライン間に接続することを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the bypass capacitor is connected between the power supply lines. 前記バイパスコンデンサを前記グランドライン間に接続することを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the bypass capacitor is connected between the ground lines. 前記バイパスコンデンサを前記電源ラインと前記半導体基板との間に接続することを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, wherein the bypass capacitor is connected between the power supply line and the semiconductor substrate.
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