JP2006282747A - 拭取り溶剤 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体製造装置等の電気部品の接点不良を起こしてしまう危険がなく、また有機則や環境法令を遵守することができ、とくに金属鏡面を手拭き掃除する場合に汚れ残りがなく、乾きやすく、環境にやさしい手拭き溶剤を提供する。
【解決手段】 金属鏡面を拭き取るための拭取り溶剤が、エタノールとシクロヘキサンの混合液からなる。とくにエタノールとシクロヘキサンの混合比を重量モル比で４．５：５．５と５．５：４．５との間の割合にする。
【選択図】 なし
【解決手段】 金属鏡面を拭き取るための拭取り溶剤が、エタノールとシクロヘキサンの混合液からなる。とくにエタノールとシクロヘキサンの混合比を重量モル比で４．５：５．５と５．５：４．５との間の割合にする。
【選択図】 なし
Description
本発明は、金属鏡面を拭き取るための拭取り溶剤に関する。
従来から、ガラス、プラスチック等の表面の手拭き溶剤として、様々なものが知られている（例えば特許文献１）。
また、古くからアルコール類とシロキサンを混合した手拭き用仕上げ液が知られている（例えば特許文献２）。
さらに、金属鏡面の手拭き溶剤としてメタノールが用いられていた。
特開平１０−２８７８９９号公報
特開平５−３３１４９４号公報
しかしながら、金属鏡面の手拭き溶剤としてシロキサンを用いた場合、半導体製造装置等の電気部品の接点不良を起こしてしまう危険性がある。
また、メタノールを用いた場合、有機則や環境法令に違反してしまう。
このため、従来の手拭き溶剤に代替する溶剤が求められていた。
そこで、本発明は、電気部品の接点不良を起こしてしまう危険がなく、また有機則や環境法令を遵守することができ、とくに金属鏡面を手拭き掃除する場合に汚れ残りがなく、乾きやすく、環境にやさしい手拭き溶剤を提供することを目的とする。
そこで、上記課題を解決するため、本発明は、金属鏡面を拭き取るための拭取り溶剤において、エタノールとシクロヘキサン、イソヘキサンまたはシクロペンタンの混合液からなることを特徴とする拭取り溶剤である。
また、本発明は、エタノールとシクロヘキサン、イソヘキサンまたはシクロペンタンの混合比を重量モル比で４．５：５．５と５．５：４．５との間の割合にしたことを特徴とする拭取り溶剤である。
本発明によれば、エタノールとシクロヘキサン、イソヘキサンまたはシクロペンタンの混合液からなる拭取り溶剤であることから、電気部品の接点不良を起こすこともなく、また有機則や環境法令を遵守することができ、メタノールの代替溶剤として用いることができ、とくに金属鏡面を手拭き掃除する場合に汚れ残りがなく、乾きやすく、環境にやさしい溶剤を提供することができる。
本発明の手拭き溶剤は、シクロヘキサンとエタノールの混合液からなり、好ましい溶剤の混合比、およびその溶剤での作業結果は、以下の表１に示すとおりである。なお、混合比は、重量モル（％）による。
表１に示す実験結果からも理解されるように、シクロヘキサンとエタノールの混合比を所定の割合、たとえば５：５の割合にすると、優れた手拭き効果を得られることがわかる。なお、混合比は５：５の割合に限定されず、シクロヘキサンとエタノールの混合比を４．５：５．５〜５．５：４．５の間の任意の割合にしても同様の効果を奏する。
この溶剤を、実際に金属表面の手拭き剤として用いたところ、鏡面の拭き取りシミの発生がなかった。
比較例として、従来のシロキサンからなる手拭き剤を実際に同じ金属鏡面に用いたところ、例えばシリコーンに対しては、汚れが残りやすく、汚れが残ったときには、特に電気部品の接点不良の問題を起こしてしまった。
また、紫外線域を使用する光学系にシロキサンからなる手拭き剤を用いたところ、表面にシリカが堆積して透過率が低下し、位相差特性が変わる問題が生じてしまった。
しかしながら、本発明によるエタノールとシクロヘキサンの混合液からなる拭取り溶剤を用いると、上記のような問題が発生せず、優れた手拭き溶剤の効果を奏することができた。
なお、上記実施例に限定されず、シクロヘキサンの代りにイソヘキサンやシクロペンタンであってもよい。
Claims (2)
- 金属鏡面を拭き取るための拭取り溶剤において、
エタノールとシクロヘキサン、イソヘキサンまたはシクロペンタンとの混合液からなることを特徴とする拭取り溶剤。 - 請求項１に記載の拭取り溶剤において、
エタノールとシクロヘキサン、イソヘキサンまたはシクロペンタンとの混合比を重量モル比で４．５：５．５と５．５：４．５との間の割合にしたことを特徴とする拭取り溶剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005101838A JP2006282747A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 拭取り溶剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005101838A JP2006282747A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 拭取り溶剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006282747A true JP2006282747A (ja) | 2006-10-19 |
Family
ID=37404998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005101838A Pending JP2006282747A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 拭取り溶剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006282747A (ja) |
-
2005
- 2005-03-31 JP JP2005101838A patent/JP2006282747A/ja active Pending
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