JP2006279128A - 超音波送受信器 - Google Patents

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Abstract

【課題】 温度変化や過大な力が加わるような環境下でも、超音波送受信器の発生電圧を放電させ、変換器内の素子を破壊から保護するような超音波送受信器を提供する。
【解決手段】
超音波の送受信を行う超音波送受信器10であって、プラス側接続部2aとマイナス側接続部2bとを有する超音波振動子2と、放電用の電気抵抗7と、を備え、プラス側接続部2aとマイナス側接続部2bとの間に電気抵抗7が接続され、超音波振動子2の発生電圧を放電するような超音波送受信器10とした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、超音波の送受信に用いられる超音波送受信器に関するものである。
超音波送受信器は各種分野で用いられている。その一例であるクランプオン型超音波流量計は、管状体の外周面の一部に装着されて、その管状体の内部を移動する流体の流量を管状体の外側から測定する、というものである。このクランプオン型超音波流量計は、さらに、伝搬時間差式とドップラー式とに分類できる。
伝搬時間差式は、超音波を、管状体の内部を移動する流体を斜めに横切るような経路で往復させて、超音波が往路と復路のそれぞれを伝搬するのに要する時間の差から、流体の流量を測定する方法である。
ドップラー式は、流体中に含まれる浮遊粒子や気泡が、流体と同じ速度で移動すると仮定して、浮遊粒子などの移動速度から流体の流量を測定する方法である。浮遊粒子などの移動速度は、流体中に超音波を送信して、浮遊粒子などに反射された超音波の周波数がドップラー効果により変化することから、超音波の周波数を検出することにより測定する。
このような超音波流量計で用いられる超音波送受信器の従来技術として、例えば特許文献1(特開2001−330485号公報,発明の名所「超音波流量計」)に示されたものがある。この超音波流量計に用いられる超音波送受信器について図を参照しつつ説明する。図5は、従来技術の超音波送受信器を説明する説明図である。超音波送受信器100は、図5で示すように、整合層101、接着剤102、超音波振動子103、フタ104、Oリング105、リード線106、ケース107、電極108、ネジ109を備えている。
整合層101は、接着剤102によって超音波振動子103に接着され、フタ104によりケース107に固定されている。超音波振動子103は、Oリング105を介してケース107に保持されている。超音波振動子103の電極面にハンダ付けされたリード線106は、電極108にネジ109にて接続され、電圧信号が伝達される。電極108にはケーブル(図示せず)がつけられ、変換器(図示せず)へと接続される。
従来技術の超音波送受信器100はこのように構成される。
特開2001−330485号公報 (段落番号0009,図1)
従来技術の超音波送受信器は、本発明者による研究・試験の過程で、自然発生する電圧により問題が生ずる点が知見された。この点について説明する。超音波送受信器に力が加ったり、超音波送受信器に時間経過につれて温度差が生じたりすると、温度変化量や力に応じて電圧が発生する。
このうち外力が加わった場合の出力電圧の計算方法について説明する。超音波振動子に力Fが加えられたことによって発生する電荷量Qは、次式のようになる。
[数1]
Q=C×V=F×d33
33:等価電圧定数[m/V]
:超音波振動子の静電容量[F]
この時の出力電圧Vは、次式のようになる。
[数2]
V=F×(d33/C)=F×g33×L/A
33:電圧出力係数[m/N]
L:超音波振動子の長さ
A:超音波振動子の面積
また、温度変化した場合は、超音波振動子の伸び縮みによる長さLの変化で、見かけ上の力Fが変化し、電圧を発生させる。
このように、超音波振動子に外力が加わったり、温度差が生じたりすると、電圧が発生する。特に超音波送受信器に変換器が接続されずに長期間放置されていた場合には発生電圧が蓄電され続け、例えば1KV等の高電圧に至ることもある。このような状況下で超音波送受信器に対して変換器を接続すると、超音波振動子からの放電により、1KVもの高電圧が変換器に入力され、変換器内に内蔵される変換素子を破壊するおそれがあった。
そこで、本発明は上記した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、温度変化や過大な力が加わるような環境下でも、超音波送受信器の発生電圧を放電させ、変換器内の素子を破壊から保護するような超音波送受信器を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係る発明の超音波送受信器は、
超音波の送受信を行う超音波送受信器であって、
プラス側接続部とマイナス側接続部とを有する超音波振動子と、
放電用の電気抵抗と、
を備え、
プラス側接続部とマイナス側接続部との間に電気抵抗が接続され、超音波振動子の発生電圧を放電することを特徴とする。
また、本発明の請求項2に係る発明の超音波送受信器は、
請求項1に記載の超音波送受信器において、
前記超音波振動子が取付けられる楔と、
前記超音波振動子を囲むように楔に接着固定されたスリーブと、
スリーブに充填されたバッキング材と、
プラス側端子とマイナス側端子とを有し、プラス側端子が前記超音波振動子のプラス側接続部に、また、マイナス側端子が前記超音波振動子のマイナス側接続部に、それぞれ接続されるコネクタ部と、
を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項3に係る発明の超音波送受信器は、
請求項2に記載の超音波送受信器において、
前記電気抵抗は、前記コネクタのプラス側端子とマイナス側端子とに接続されるとともに前記コネクタに内蔵されて一体に形成されることを特徴とする。
また、本発明の請求項4に係る発明の超音波送受信器は、
超音波の送受信を行う超音波送受信器であって、
プラス側接続部とマイナス側接続部とを有する超音波振動子と、
放電用の電気抵抗と、
プラス側接続部と電気抵抗との間、または、マイナス側接続部と電気抵抗との間に電気的に接続されて断続を行うスイッチと、
を備え、
変換器と接続しない場合はスイッチがオンとなって前記超音波振動子の発生電圧を放電し、また、変換器と接続する場合にスイッチがオフとなってプラス側接続部とマイナス側接続部との間が遮断されることを特徴とする。
また、本発明の請求項5に係る発明の超音波送受信器は、
請求項4に記載の超音波送受信器において、
前記超音波振動子が取付けられる楔と、
前記超音波振動子を囲むように楔に接着固定されたスリーブと、
スリーブに充填されたバッキング材と、
プラス側端子とマイナス側端子とを有し、プラス側端子が前記超音波振動子のプラス側接続部に、また、マイナス側端子が前記超音波振動子のマイナス側接続部に、それぞれ接続されるコネクタ部と、
を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項6に係る発明の超音波送受信器は、
請求項5に記載の超音波送受信器において、
前記スイッチは、コネクタ部における相手側コネクタ部の挿抜に応じて断続されるようになされたスイッチであり、
相手側コネクタ部の非結合時にスイッチがオンとなり、また、相手側コネクタ部の結合時にスイッチがオフとなることを特徴とする。
また、本発明の請求項7に係る発明の超音波送受信器は、
請求項6に記載の超音波送受信器において、
前記電気抵抗および前記スイッチは、前記コネクタのプラス側端子またはマイナス側端子に接続されるとともに前記コネクタに内蔵されて一体に形成されることを特徴とする。
以上のような本発明によれば、温度変化や過大な力が加わるような環境下でも、超音波送受信器の発生電圧を放電させ、変換器内の素子を破壊から保護するような超音波送受信器を提供することができる。
続いて、本発明を実施するための最良の形態について、図を参照しつつ説明する。図1は本形態の超音波送受信器の断面構造図である。図2は放電系回路の回路図である。
図1で示すような本形態の超音波送受信器10は、楔1、超音波振動子2、スリーブ3、バッキング材4、リード線5、コネクタ部6、電気抵抗7を備えている。
楔1は、超音波透過材として一般的に用いられているエポキシ系樹脂などのブロックであり、所定角度の角部を有している。
超音波振動子2は、例えば、PZT(Pb(Zr・Ti)0 )のような圧電素子である。この超音波振動子2は、プラス側接続部2aとマイナス側接続部2bとを有する。
図示しないがこれら楔1と超音波振動子2との間には、整合層が介在している。整合層は、超音波を効率よく被検体に放射するとともに被検体からの反射エコーを効率よく受信する役割をもつものである。一般に、整合層の厚みを調整することで通過する超音波の周波数を制御できる。この整合層の音響インピーダンスは主剤と混合物との混合比によって変化させることができる。主材は例えばエポキシ樹脂であり、混合物は例えばタングステン粒子等である。プラス側接続部2aとマイナス側接続部2bとは絶縁体で被覆される。
スリーブ3は、超音波振動子2を囲むように楔1に接着される。
バッキング材4は、不要な超音波の振動を吸収する機能を有しており、楔1およびスリーブ3で囲まれる空間に充填される。バッキング材4により、超音波振動子2、リード線3、コネクタ部6の下側が覆われる。
リード線5は二本あり、超音波振動子2のプラス側接続部2aと、マイナス側接続部2bとにそれぞれ一本ずつ接続される。
コネクタ部6は、プラス側端子6aとマイナス側端子6bとを備え、リード線5を介して、超音波振動子2のプラス側接続部2aとプラス側端子6aとが、また、マイナス側接続部2bとマイナス側端子6bとが、それぞれ接続される。このコネクタ部6は変換器(図示せず)に接続された他のコネクタ部(図示せず)と接続される。本形態では、例えば図1で示すようにコネクタ部6は雌型コネクタが採用されており、この場合、変換器に接続された相手側のコネクタ部は雄型コネクタとなる。なお、このコネクタ部6にはプラス側端子6a、マイナス側端子6bおよび電気抵抗7が接続された状態でプラスチック樹脂により一体にモールド形成されており、省スペース化、力からの保護、および組立て時の手間の低減などを実現している。
電気抵抗7は、プラス側端子6aとマイナス側端子6bとにそれぞれ電気的に接続されている。つまり、超音波振動子2のプラス側接続部2aと、マイナス側接続部2bと、に電気的に接続されることとなる。この電気抵抗7は、数Ωから数百kΩの範囲である。この場合、図2で示すように、超音波振動子2のインピーダンスと、接続している電気抵抗7の抵抗値と、で分圧する形となるため、超音波振動子2の駆動に十分な電圧となるように接続する電気抵抗7の抵抗値を決定する。
このような本形態の超音波送受信器10は、超音波送受信器10に力が加ったり、超音波送受信器10に時間経過につれて温度差が生じたりして、温度変化量や力に応じて電圧が発生したとしても、超音波振動子2のプラス側接続部2aと、マイナス側接続部2bと、に電気的に接続される電気抵抗7により発生電圧が消費放電されるため、超音波振動子2が高電圧に至る事態が回避される。特に単体の超音波送受信器10を設置する場合や、複数個所にある複数の超音波送受信器10を配管に取り付けたままとして1台の変換器に代わるがわる接続して測定する場合などでも変換器へ超音波送受信器10から高電圧が変換器に入力されることがなくなり、変換器内に内蔵される変換素子を破壊するという事態の発生も回避される。
続いて、本発明の他の形態について、図を参照しつつ説明する。図3は他の形態の超音波送受信器の断面構造図である。図4は放電系回路の回路図であり、図4(a)は端子(コネクタ)接続前の回路図、図4(b)は端子(コネクタ)接続後の回路図である。
図3で示すような本形態の超音波送受信器10’は、楔1、超音波振動子2、スリーブ3、バッキング材4、リード線5、コネクタ部6、電気抵抗7、スイッチ8を備えている。本形態の超音波送受信器10’は、先の図1,図2を用いて説明した超音波送受信器10と比較すると、スイッチ8を備える点のみが相違している。以下、相違点となるスイッチ8に関する事項を重点的に説明するとともに、他の構成は同じ符号を付すとともに同じ構成であるとして重複する説明を省略する。
スイッチ8は、コネクタ部6のプラス側端子6a(つまり超音波振動子2のプラス側端子2a)と、数Ωから数百kΩの範囲であってマイナス側端子6bに接続された電気抵抗7と、の間に電気的に接続されて断続を行う。なお、接続はコネクタ部6のマイナス側端子6b(つまり超音波振動子2のマイナス側端子2b)と、プラス側端子6aに接続された電気抵抗7と、の間に電気的に接続するようにしても良い。
このスイッチ8は検出子8aを備えている。検出子8aは、コネクタ部6の内部まで突出しており、コネクタ部6内に変換器側の相手側コネクタ部が差し込まれたとき、検出子8aがスイッチ側(図3では下側)に押し込まれて、変換器側の相手側コネクタ部が差し込まれたことを検出する。このコネクタ部6にはプラス側端子6a、マイナス側端子6b、電気抵抗7およびスイッチ8が接続された状態で一体に形成されており、省スペース化、力からの保護、機械的精度の確保、および組立て時の手間の低減などを実現している。
この検出子8aの位置によりスイッチ8は断続されるものであり、変換器側の相手側コネクタ部が差し込まれていない場合はスイッチ8がオンとなって超音波振動子2のプラス側接続部2aと、マイナス側接続部2bとが、電気抵抗7を介して接続されて前記超音波振動子2の発生電圧を放電する。また、変換器側の相手側コネクタ部が差し込まれた場合にスイッチ8がオフとなってプラス側接続部2aとマイナス側接続部2bとの間が遮断される。
このような本形態の超音波送受信器10’は、変換器側の相手側コネクタ部を接続しない状態にあっては、図4(a)の等価回路で示すように、スイッチ8により電気抵抗7が超音波振動子2に接続された状態であって、超音波送受信器10’に力が加ったり、超音波送受信器に時間経過につれて温度差が生じたりして、温度変化量や力に応じて電圧が発生したとしても、超音波振動子2のプラス側接続部2aと、マイナス側接続部2bと、に電気的に接続される電気抵抗7により発生電圧が消費放電されるため、超音波振動子2が高電圧に至る事態が回避される。特に単体の超音波送受信器10’を設置する場合や、複数個所にある複数の超音波送受信器10’を配管に取り付けたままとして1台の変換器に代わるがわる接続して測定する場合などでも変換器へ超音波送受信器10’から高電圧が変換器に入力されることがなくなり、変換器内に内蔵される変換素子を破壊するという事態の発生も回避される。
また、変換器側のコネクタを接続した状態にあっては、図4(b)の等価回路で示すように、スイッチ8により電気抵抗7が超音波振動子に接続されていない状態となっているが、超音波振動子2からのリード線5のプラス側とマイナス側がオープンとなり、変換器からの送信電圧の全てを超音波振動子2に印加することができる。なお、動作中において超音波送受信器10’に力が加ったり、超音波送受信器に時間経過につれて温度差が生じたりして、温度変化量や力に応じて電圧が発生したとしても低電圧であって瞬時に放電されるため、発生電圧が蓄積されるような事態は生じず、超音波振動子2が高電圧に至る事態が回避される。そして、高電圧が変換器に入力され、変換器内に内蔵される変換素子を破壊するという事態の発生が回避される。
本発明を実施するための最良の形態の超音波送受信器の断面構造図である。 放電系回路の回路図である。 他の形態の超音波送受信器の断面構造図である。 放電系回路の回路図であり、図4(a)は端子(コネクタ)接続前の回路図、図4(b)は端子(コネクタ)接続後の回路図である。 従来技術の超音波送受信器を説明する説明図である。
符号の説明
10,10’:超音波送受信器
1:楔
2:超音波振動子
2a:プラス側接続部
2b:マイナス側接続部
3:スリーブ
4:バッキング材
5:リード線
6:コネクタ部
6a:プラス側端子
6b:マイナス側端子
7:電気抵抗
8:スイッチ
8a:検出子

Claims (7)

  1. 超音波の送受信を行う超音波送受信器であって、
    プラス側接続部とマイナス側接続部とを有する超音波振動子と、
    放電用の電気抵抗と、
    を備え、
    プラス側接続部とマイナス側接続部との間に電気抵抗が接続され、超音波振動子の発生電圧を放電することを特徴とする超音波送受信器。
  2. 請求項1に記載の超音波送受信器において、
    前記超音波振動子が取付けられる楔と、
    前記超音波振動子を囲むように楔に接着固定されたスリーブと、
    スリーブに充填されたバッキング材と、
    プラス側端子とマイナス側端子とを有し、プラス側端子が前記超音波振動子のプラス側接続部に、また、マイナス側端子が前記超音波振動子のマイナス側接続部に、それぞれ接続されるコネクタ部と、
    を備えることを特徴とする超音波送受信器。
  3. 請求項2に記載の超音波送受信器において、
    前記電気抵抗は、前記コネクタのプラス側端子とマイナス側端子とに接続されるとともに前記コネクタに内蔵されて一体に形成されることを特徴とする超音波送受信器。
  4. 超音波の送受信を行う超音波送受信器であって、
    プラス側接続部とマイナス側接続部とを有する超音波振動子と、
    放電用の電気抵抗と、
    プラス側接続部と電気抵抗との間、または、マイナス側接続部と電気抵抗との間に電気的に接続されて断続を行うスイッチと、
    を備え、
    変換器と接続しない場合はスイッチがオンとなって前記超音波振動子の発生電圧を放電し、また、変換器と接続する場合にスイッチがオフとなってプラス側接続部とマイナス側接続部との間が遮断されることを特徴とする超音波送受信器。
  5. 請求項4に記載の超音波送受信器において、
    前記超音波振動子が取付けられる楔と、
    前記超音波振動子を囲むように楔に接着固定されたスリーブと、
    スリーブに充填されたバッキング材と、
    プラス側端子とマイナス側端子とを有し、プラス側端子が前記超音波振動子のプラス側接続部に、また、マイナス側端子が前記超音波振動子のマイナス側接続部に、それぞれ接続されるコネクタ部と、
    を備えることを特徴とする超音波送受信器。
  6. 請求項5に記載の超音波送受信器において、
    前記スイッチは、コネクタ部における相手側コネクタ部の挿抜に応じて断続されるようになされたスイッチであり、
    相手側コネクタ部の非結合時にスイッチがオンとなり、また、相手側コネクタ部の結合時にスイッチがオフとなることを特徴とする超音波送受信器。
  7. 請求項6に記載の超音波送受信器において、
    前記電気抵抗および前記スイッチは、前記コネクタのプラス側端子またはマイナス側端子に接続されるとともに前記コネクタに内蔵されて一体に形成されることを特徴とする超音波送受信器。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008140998A1 (en) * 2007-05-10 2008-11-20 Daniel Industries, Inc. Systems and methods of a transducer having a plastic matching layer
RU2471155C1 (ru) * 2011-07-20 2012-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "ЭлМетроГрупп" Ультразвуковой преобразователь расходомера
CN108605186A (zh) * 2016-06-09 2018-09-28 松下知识产权经营株式会社 层叠体、超声波收发器和超声波流量计

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001197592A (ja) * 2000-01-05 2001-07-19 Murata Mfg Co Ltd 超音波送受波器
JP2005031052A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Kazumasa Onishi 管状もしくは溝状の流路を移動する流体の流量の測定方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001197592A (ja) * 2000-01-05 2001-07-19 Murata Mfg Co Ltd 超音波送受波器
JP2005031052A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Kazumasa Onishi 管状もしくは溝状の流路を移動する流体の流量の測定方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008140998A1 (en) * 2007-05-10 2008-11-20 Daniel Industries, Inc. Systems and methods of a transducer having a plastic matching layer
US7557490B2 (en) 2007-05-10 2009-07-07 Daniel Measurement & Control, Inc. Systems and methods of a transducer having a plastic matching layer
US7900338B2 (en) 2007-05-10 2011-03-08 Daniel Measurement And Control, Inc. Method of making a transducer having a plastic matching layer
RU2509983C2 (ru) * 2007-05-10 2014-03-20 Дэниел Мэжэмэнт энд Кэнтроул, Инк. Преобразователь и способ его изготовления, ультразвуковой расходомер и способ измерения характеристик текучей среды
CN105043472A (zh) * 2007-05-10 2015-11-11 丹尼尔度量和控制公司 具有塑性匹配层的换能器的系统和方法
RU2471155C1 (ru) * 2011-07-20 2012-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "ЭлМетроГрупп" Ультразвуковой преобразователь расходомера
CN108605186A (zh) * 2016-06-09 2018-09-28 松下知识产权经营株式会社 层叠体、超声波收发器和超声波流量计

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