JP2006271065A - Driving device - Google Patents

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昭広 沖
Shigeaki Tochimoto
茂昭 栃本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving device, capable of stably providing a pressing force from a vibrating body to a driven body. <P>SOLUTION: A vibration actuator 1A (driving device) comprises a vibrating body 10A which vibrates according to input signals, a driven body 30 which is driven by the vibration of the vibrating body 10A, and a pressing member 50A which presses the vibrating body 10A against the driven body 30. The pressing member 50A presses the vibrating body 10A against the driven body 30 while contacting the vibrating body 10A at a plurality of positions. The vibrating body 10A and the pressing member 50A contact together, in the plane parallel to the vibration plane of the vibrating body 10A, at a plurality of positions, including two positions C1 and C2 sandwiching a straight line L1, that passes an abutting point P1 between the vibrating body 10A and the driven body 30, while the straight line L1 extends in a direction in which a pressing force FP1 at the abutting point P1 acts. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動体の振動を利用する駆動装置に関する。   The present invention relates to a drive device that uses vibration of a vibrating body.

圧電素子などに交流電圧を印加することによって振動体を振動させ、当該振動体との接触および離反を繰り返すことによって被駆動体を摩擦力で駆動する駆動装置が存在する。このような駆動装置に関する技術としては、例えば特許文献1および特許文献2に記載の技術(以下、それぞれ、第1および第2の従来技術とも称する)が存在する。   There is a drive device that vibrates a vibrating body by applying an AC voltage to a piezoelectric element or the like, and drives the driven body with a frictional force by repeating contact and separation with the vibrating body. As a technique relating to such a drive device, there are techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 (hereinafter also referred to as first and second conventional techniques, respectively).

図21に示すように、特許文献1に記載の駆動装置(圧電アクチュエータ)900Aは、振動体(振動板)910Aの中央の一部分を細長形状の支持部材950Aで固定して支持した状態で、振動体910Aをその一端側に設けられた突起部911Aで被駆動体(ロータ)930Aに押さえ付ける構造を有している。被駆動体930Aは、振動体910Aの振動動作によって回転駆動される。また、支持部材950Aは、その弾性力によって振動板910Aをロータ930A側に付勢した状態で支持している。この支持部材950Aは、振動体の振動を阻害しないように細長い形状とされ、振動体910Aの節(例えば中央)付近に固定されている。   As shown in FIG. 21, the driving device (piezoelectric actuator) 900A described in Patent Document 1 vibrates in a state where a central part of a vibrating body (vibrating plate) 910A is fixed and supported by an elongated support member 950A. It has a structure in which the body 910A is pressed against the driven body (rotor) 930A by a protrusion 911A provided at one end thereof. The driven body 930A is rotationally driven by the vibration operation of the vibrating body 910A. Further, the support member 950A supports the vibration plate 910A with its elastic force biased toward the rotor 930A. The support member 950A has an elongated shape so as not to inhibit the vibration of the vibrating body, and is fixed near a node (for example, the center) of the vibrating body 910A.

図22に示すように、特許文献2に記載の駆動装置(振動モータ)900Bは、加圧レバー950Bによる加圧力を振動体(振動子)910Bに対して1点AP1で付与し、駆動力取出部911Bを介して振動体910Bを被駆動体(摺動ローラ)930Bに押さえつけて、被駆動体930Bを回転駆動させる構造を有している。また、振動体910Bのがたつきを防ぐため、振動体910Bは、がた寄せバネ941Bによる付勢力が加えられた状態で振動体910Bの両側部を挟持され、摩擦摺動可能となるように構成されている。   As shown in FIG. 22, the driving device (vibration motor) 900B described in Patent Document 2 applies a pressing force by the pressure lever 950B to the vibrating body (vibrator) 910B at one point AP1 to extract the driving force. The vibrating body 910B is pressed against the driven body (sliding roller) 930B via the portion 911B to rotate the driven body 930B. In order to prevent rattling of the vibrating body 910B, the vibrating body 910B is sandwiched on both sides of the vibrating body 910B in a state where the biasing force of the backlash spring 941B is applied, and can be slid by friction. It is configured.

特開2000−333480号公報JP 2000-333480 A 特開2000−324864号公報JP 2000-324864 A

しかしながら、第1の従来技術に係る駆動装置においては、細長い支持部材950Aで振動体910Aを固定支持するため、その駆動力を付与するときに、被駆動体930Aからの反力によって支持部材950Aに大きな曲げモーメントがかかり、この曲げモーメントによって支持部材950Aが変形する。そのため、振動体910Aが被駆動体930Aから逃げてしまい、振動体910Aから被駆動体930Aへの押し付け力を安定的に付与することが難しい。   However, in the drive device according to the first conventional technique, the vibrating body 910A is fixedly supported by the elongated support member 950A. Therefore, when the driving force is applied, the reaction force from the driven body 930A is applied to the support member 950A. A large bending moment is applied, and the support member 950A is deformed by this bending moment. Therefore, the vibrating body 910A escapes from the driven body 930A, and it is difficult to stably apply the pressing force from the vibrating body 910A to the driven body 930A.

また、第2の従来技術に係る駆動装置においては、がた寄せバネ941Bによる付勢力を伴って振動体910Bがその両側部で挟持され、摩擦摺動可能となっている。そのため、振動体910Bから被駆動体930Bへの押し付け力を所望の値にするためには、摩擦力の大きさに応じて加圧力を定めることが必要になる。しかしながら、摩擦力の大きさは製造時の組み付け状態等によって異なるので、振動体から被駆動体への押し付け力を安定的に付与することが難しい。   Further, in the driving device according to the second conventional technique, the vibrating body 910B is sandwiched between the both side portions with the biasing force of the loosening spring 941B, and is frictionally slidable. Therefore, in order to set the pressing force from the vibrating body 910B to the driven body 930B to a desired value, it is necessary to determine the applied pressure according to the magnitude of the frictional force. However, since the magnitude of the frictional force varies depending on the assembly state at the time of manufacture, it is difficult to stably apply the pressing force from the vibrating body to the driven body.

以上のように、上記各従来技術においては、振動体から被駆動体への押し付け力を安定的に付与することが難しいという問題が存在する。   As described above, in each of the above conventional techniques, there is a problem that it is difficult to stably apply the pressing force from the vibrating body to the driven body.

そこで、この発明の課題は、振動体から被駆動体への押し付け力を安定的に付与することが可能な駆動装置を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a drive device that can stably apply a pressing force from a vibrating body to a driven body.

上記課題を解決すべく、請求項1の発明は、駆動装置であって、入力信号に応じて振動する振動体と、前記振動体の振動によって駆動される被駆動体と、前記振動体を前記被駆動体に向けて押し付ける押圧部材とを備え、前記押圧部材は、前記振動体に複数の位置で接触した状態で前記振動体を前記被駆動体に向けて押し付け、前記振動体と前記押圧部材とは、前記振動体の振動面に平行な平面内において、前記振動体と前記被駆動体との当接点を通る直線であって当該当接点での押し付け力が作用する方向に伸びる直線を挟む2つの位置を含む前記複数の位置で接触していることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 is a drive device, comprising: a vibrating body that vibrates according to an input signal; a driven body that is driven by vibration of the vibrating body; A pressing member that presses against the driven body, and the pressing member presses the vibrating body toward the driven body in contact with the vibrating body at a plurality of positions, and the vibrating body and the pressing member Means a straight line passing through a contact point between the vibrating body and the driven body in a plane parallel to the vibration surface of the vibrating body and extending in a direction in which the pressing force at the contact point acts. The plurality of positions including two positions are in contact with each other.

請求項2の発明は、請求項1の発明に係る駆動装置において、前記押圧部材は、前記振動体に対して離反可能に接触していることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the drive device according to the first aspect of the invention, the pressing member is in contact with the vibrating body so as to be separated.

請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明に係る駆動装置において、前記押圧部材と前記振動体とは2つの接触部において接触しており、前記2つの接触部のうちの一方においては、前記押圧部材と前記振動体との両者は当該両者の相対的な並進運動を拘束するとともに当該両者の相対的な回転運動を可能にするように接触し、前記2つの接触部のうちの他方においては、前記両者は前記相対的な回転運動を拘束するように接触することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the drive device according to the first or second aspect of the invention, the pressing member and the vibrating body are in contact at two contact portions, and one of the two contact portions. In this case, both the pressing member and the vibrating body are in contact with each other so as to constrain the relative translational movement of the two and enable the relative rotational movement of the two, of the two contact portions. On the other hand, the two are in contact with each other so as to restrain the relative rotational movement.

請求項4の発明は、請求項3の発明に係る駆動装置において、前記2つの接触部のうちの前記一方においては、前記両者のうちの一方に設けられたV溝と前記両者のうちの他方に設けられた円弧状の凸部とが接触していることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the drive device according to the third aspect of the present invention, in the one of the two contact portions, a V-groove provided in one of the two and the other of the two An arcuate convex portion provided on the surface is in contact.

請求項5の発明は、請求項1の発明に係る駆動装置において、前記押圧部材は、前記振動体に対して、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、およびエポキシ系接着剤のいずれかで接着されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the drive device according to the first aspect of the invention, the pressing member is bonded to the vibrating body with any of a rubber-based adhesive, a silicone-based adhesive, and an epoxy-based adhesive. It is characterized by being.

請求項6の発明は、請求項1から請求項5のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記押圧部材と前記振動体とは面接触していることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the driving device according to any one of the first to fifth aspects, the pressing member and the vibrating body are in surface contact.

請求項7の発明は、請求項1から請求項6のいずれかの発明に係る駆動装置において、前記押圧部材は、前記平面内において所定の回転中心軸を中心に回動可能であることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the drive device according to any one of the first to sixth aspects, the pressing member is rotatable around a predetermined rotation center axis in the plane. And

請求項8の発明は、請求項7の発明に係る駆動装置において、前記振動体は、前記押圧部材に取り付けられた弾性部材の弾性力によって、前記被駆動体に押し付けられており、前記弾性力の前記押圧部材への作用点と前記所定の回転中心軸との距離は、前記当接点と前記所定の回転中心軸との距離よりも大きいことを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in the drive device according to the seventh aspect of the invention, the vibrating body is pressed against the driven body by an elastic force of an elastic member attached to the pressing member. The distance between the point of application to the pressing member and the predetermined rotation center axis is greater than the distance between the contact point and the predetermined rotation center axis.

請求項1から請求項8に記載の発明によれば、振動体は押圧部材に複数の位置で接触した状態で押圧部材によって被駆動体に向けて押し付けられ被駆動体に当接しているので、振動体は被駆動体に対して安定的に押し付けられて保持されることが可能である。また特に、振動体と押圧部材とは、振動体の振動面に平行な平面内において、当接点を通り且つ押し付け力が作用する方向に伸びる直線を挟む2つの位置を含む複数の位置で接触しているので、振動体はより安定的に保持される。   According to the first to eighth aspects of the invention, the vibrating body is pressed against the driven body by the pressing member in contact with the pressing member at a plurality of positions, and is in contact with the driven body. The vibrating body can be stably pressed against the driven body and held. In particular, the vibrating body and the pressing member are in contact with each other at a plurality of positions including two positions sandwiching a straight line extending in the direction in which the pressing force acts through a contact point in a plane parallel to the vibration surface of the vibrating body. Therefore, the vibrating body is held more stably.

特に請求項2に記載の発明によれば、押圧部材は、振動体に対して離反可能に接触しており、振動体に対して強固に固定されていないので、振動体の振動特性に対する影響を抑制することができる。   In particular, according to the second aspect of the present invention, the pressing member is in contact with the vibrating body so as to be separated from the vibrating body and is not firmly fixed to the vibrating body. Can be suppressed.

また、請求項3に記載の発明によれば、振動体と押圧部材との相対的位置関係を安定させることが可能になる。   According to the invention described in claim 3, it is possible to stabilize the relative positional relationship between the vibrating body and the pressing member.

さらに、請求項5に記載の発明によれば、押圧部材は、振動体に対して、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、エポキシ系接着剤のいずれかで接着されているので、振動体の剛性向上を抑制して、振動体1の共振周波数の変動を抑制することができる。   Furthermore, according to the invention described in claim 5, since the pressing member is bonded to the vibrating body with any of a rubber adhesive, a silicone adhesive, and an epoxy adhesive, The rigidity improvement can be suppressed, and the fluctuation of the resonance frequency of the vibrating body 1 can be suppressed.

また、請求項8に記載の発明によれば、梃子の原理によって、より小さな弾性力で適切な押し付け力を発生させることができる。   According to the eighth aspect of the present invention, an appropriate pressing force can be generated with a smaller elastic force by the lever principle.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<1.第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動アクチュエータ1A(駆動装置)を示す図である。図2は、振動アクチュエータ1Aに用いられる振動体10Aを示す図であり、図3は、振動体10Aに用いられる圧電素子11(あるいは12)を示す図である。
<1. First Embodiment>
FIG. 1 is a diagram showing a vibration actuator 1A (drive device) according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a vibrating body 10A used in the vibration actuator 1A, and FIG. 3 is a diagram showing a piezoelectric element 11 (or 12) used in the vibrating body 10A.

図1に示すように、振動アクチュエータ1Aは、駆動源である振動体10Aと、振動体10Aにより駆動される被駆動体(ロータ)30と、振動体10Aを被駆動体に押し付ける押圧部材50Aと、押圧部材50Aに取り付けられた弾性部材60とを備えている。   As shown in FIG. 1, the vibration actuator 1A includes a vibrating body 10A that is a drive source, a driven body (rotor) 30 that is driven by the vibrating body 10A, and a pressing member 50A that presses the vibrating body 10A against the driven body. And an elastic member 60 attached to the pressing member 50A.

図2にも示すように、振動体10Aは、2つの圧電素子11,12を用いたトラス型の振動発生体として構成される。この振動体10Aは、2つの圧電素子11,12と、チップ部材13と、ベース部材14とを備えている。振動体10Aは、後述するように、入力信号(詳細には高周波電圧(高周波信号))の印加に応じて振動する。   As shown in FIG. 2, the vibrating body 10 </ b> A is configured as a truss-type vibration generator using two piezoelectric elements 11 and 12. The vibrating body 10 </ b> A includes two piezoelectric elements 11, 12, a chip member 13, and a base member 14. As will be described later, the vibrating body 10A vibrates in response to application of an input signal (specifically, a high frequency voltage (high frequency signal)).

2本の圧電素子11,12は、直角に交差して配置され、圧電素子11,12の交差側端部はチップ部材13に接合されている。これら圧電素子11,12の他端は、ベース部材14に接合されている。チップ部材13は、安定して高い摩擦係数を得ることができるとともに高い耐摩耗性を得ることができる材料(例えば超硬合金などの金属材料)で形成されることが好ましい。ベース部材14は、製造しやすく高い強度を有する材料(例えばステンレスなどの金属材料)で形成されることが好ましい。また、圧電素子11,12と各部材13,14とは、接着剤を用いて接合されている。   The two piezoelectric elements 11 and 12 are arranged so as to intersect at right angles, and the end portions on the intersecting side of the piezoelectric elements 11 and 12 are joined to the chip member 13. The other ends of the piezoelectric elements 11 and 12 are joined to the base member 14. The tip member 13 is preferably formed of a material (for example, a metal material such as a cemented carbide) that can stably obtain a high coefficient of friction and obtain high wear resistance. The base member 14 is preferably formed of a material that is easy to manufacture and has high strength (for example, a metal material such as stainless steel). The piezoelectric elements 11 and 12 and the members 13 and 14 are bonded using an adhesive.

図3に示すように、圧電素子11は、積層型圧電素子であり、圧電特性を有する複数のセラミック薄板21と電極22,23とを交互に積層した構造を有している。各セラミック薄板21と隣接する各電極22,23とは、接着剤等により固定されている。電極22および電極23は複数のセラミック薄板21の間に1つおきに交互に配置されている。電極22は信号線24を介して駆動電源26に接続され、電極23は信号線25を介して駆動電源26に接続されている。   As shown in FIG. 3, the piezoelectric element 11 is a laminated piezoelectric element, and has a structure in which a plurality of ceramic thin plates 21 and electrodes 22 and 23 having piezoelectric characteristics are alternately laminated. The ceramic thin plates 21 and the adjacent electrodes 22 and 23 are fixed with an adhesive or the like. Every other electrode 22 and electrode 23 are alternately arranged between the plurality of ceramic thin plates 21. The electrode 22 is connected to the drive power supply 26 via the signal line 24, and the electrode 23 is connected to the drive power supply 26 via the signal line 25.

この圧電素子11は、印加電圧の変更に応じて積層方向に伸縮する変位素子である。具体的には、信号線24と信号線25との間に所定の符号の電圧を圧電素子11に印加すると、各セラミック薄板21の積層方向において印加電圧に応じた電界が発生し、全てのセラミック薄板21は、同一の向きに変形する(具体的には伸びる)。逆に、信号線24と信号線25との間に逆符号の電圧を圧電素子11に印加すると圧電素子11は縮む。したがって、交流電圧を印加すれば、圧電素子11は当該交流電圧の周期に応じて伸縮を繰り返すことになる。また、駆動交流電圧の周波数が、圧電素子11の共振周波数と一致する場合には、さらに大きな振動が励起されることになる。   The piezoelectric element 11 is a displacement element that expands and contracts in the stacking direction according to a change in applied voltage. Specifically, when a voltage having a predetermined sign is applied between the signal line 24 and the signal line 25 to the piezoelectric element 11, an electric field corresponding to the applied voltage is generated in the stacking direction of the ceramic thin plates 21, and all ceramics The thin plate 21 deforms in the same direction (specifically, extends). Conversely, when a voltage having an opposite sign is applied to the piezoelectric element 11 between the signal line 24 and the signal line 25, the piezoelectric element 11 contracts. Therefore, when an AC voltage is applied, the piezoelectric element 11 repeats expansion and contraction according to the cycle of the AC voltage. Further, when the frequency of the drive AC voltage matches the resonance frequency of the piezoelectric element 11, a larger vibration is excited.

圧電素子12も圧電素子11と同様の構成を備えており、印加電圧の変更に応じて積層方向に伸縮する。   The piezoelectric element 12 has the same configuration as that of the piezoelectric element 11, and expands and contracts in the stacking direction in accordance with the change in applied voltage.

このように、交流電圧を印加することによって、圧電素子11,12を振動させることができる。そして、次述するように、印加電圧を制御することによれば、チップ部材13を楕円軌道(円軌道を含む)または直線軌道を描くように移動させることができる。   Thus, the piezoelectric elements 11 and 12 can be vibrated by applying an alternating voltage. Then, as described below, by controlling the applied voltage, the tip member 13 can be moved so as to draw an elliptical orbit (including a circular orbit) or a linear orbit.

図4は、振動体10Aによる駆動動作を示す図である。図4に示すように、振動体10Aの圧電素子11,12に対する駆動交流電圧における駆動周波数を同一にするとともに、その位相差を制御することによって、チップ部材13の移動動作を制御することができる。   FIG. 4 is a diagram illustrating a driving operation by the vibrating body 10A. As shown in FIG. 4, the moving operation of the chip member 13 can be controlled by making the drive frequency in the drive AC voltage for the piezoelectric elements 11 and 12 of the vibrating body 10A the same and controlling the phase difference. .

たとえば、2つの圧電素子11,12に対して、同一周波数且つ同一位相の高周波交流電圧を付与することによれば、圧電素子11,12は常に同一の向きに振動し、図4(a)に示すように、チップ部材13が上下方向に駆動される。   For example, by applying a high frequency AC voltage having the same frequency and the same phase to the two piezoelectric elements 11 and 12, the piezoelectric elements 11 and 12 always vibrate in the same direction, as shown in FIG. As shown, the tip member 13 is driven in the vertical direction.

また、2つの圧電素子11,12に対して、同一周波数且つ「逆位相」の高周波交流電圧を付与することによれば、圧電素子11,12は常に逆向きに振動し、図4(c)に示すように、チップ部材13が左右方向に駆動される。   Further, by applying a high-frequency AC voltage having the same frequency and “reverse phase” to the two piezoelectric elements 11 and 12, the piezoelectric elements 11 and 12 always vibrate in opposite directions, and FIG. As shown, the tip member 13 is driven in the left-right direction.

そして、2つの圧電素子11,12に対して、90度(deg)の位相差を有する同一周波数の高周波交流電圧を付与することによれば、図4(b)に示すように、チップ部材13は楕円軌道(理想的には真円)を描くように駆動される。また、両駆動電圧の位相差を様々な値に変更することによって、楕円軌道の形状を細長いものにすることが可能である。   Then, by applying a high-frequency alternating voltage of the same frequency having a phase difference of 90 degrees (deg) to the two piezoelectric elements 11 and 12, as shown in FIG. Is driven to draw an elliptical orbit (ideally a perfect circle). Further, by changing the phase difference between the two drive voltages to various values, it is possible to make the elliptical orbital shape elongated.

振動体10Aは、このような楕円軌道を含む面(振動面とも称する)における振動動作を用いて、被駆動体30を駆動する。   The vibrating body 10 </ b> A drives the driven body 30 using a vibrating operation on a plane including such an elliptical orbit (also referred to as a vibrating plane).

再び図1を参照する。図1に示すように、被駆動体30は、台板(台部)70から突出した回転軸71に軸支されており、回転軸71(詳細には中心軸AR1)を中心に回転する円盤状部材である。被駆動体30は、その外周分の一部分(詳細には、当接点P1)において振動体10Aに接している。後述するように、被駆動体30と振動体10Aとの接触動作において、チップ部材13の楕円運動等が被駆動体30の回転運動に変換され、被駆動体30が回転駆動される。   Refer to FIG. 1 again. As shown in FIG. 1, the driven body 30 is supported by a rotating shaft 71 protruding from a base plate (base portion) 70, and is a disk that rotates around the rotating shaft 71 (specifically, the central axis AR1). It is a shaped member. The driven body 30 is in contact with the vibrating body 10A at a part of the outer periphery (specifically, the contact point P1). As will be described later, in the contact operation between the driven body 30 and the vibrating body 10A, the elliptical motion or the like of the tip member 13 is converted into the rotational motion of the driven body 30, and the driven body 30 is rotationally driven.

また、押圧部材50Aは、L字形の形状(正確にはその左右が反転した形状)を有している。台板70から突出した回転軸72は、このL字型の押圧部材50Aの一端側(垂直部分の上端側)に設けられた孔を貫通しており、押圧部材50Aは回転軸72によって軸支されている。押圧部材50Aは、この回転軸72(詳細には回転中心軸AR2)を中心に回動動作を行うことが可能である。   Further, the pressing member 50A has an L shape (more precisely, a shape in which the right and left sides are inverted). The rotating shaft 72 protruding from the base plate 70 passes through a hole provided on one end side (the upper end side of the vertical portion) of the L-shaped pressing member 50A. The pressing member 50A is pivotally supported by the rotating shaft 72. Has been. The pressing member 50A can rotate around the rotation shaft 72 (specifically, the rotation center axis AR2).

さらに、L字型の押圧部材50Aの他端側(水平部分の先端部分)には切り欠き部59が設けられている。また、台板70からは突出部73が突出している。切り欠き部59と突出部73との間には、弾性部材60(ここでは、コイルバネ)が掛け渡されている。すなわち、切り欠き部59および突出部73はコイルバネの取付部として機能する。   Further, a cutout portion 59 is provided on the other end side (the tip portion of the horizontal portion) of the L-shaped pressing member 50A. Further, a projecting portion 73 projects from the base plate 70. An elastic member 60 (here, a coil spring) is spanned between the notch 59 and the protrusion 73. That is, the notch 59 and the protrusion 73 function as an attachment portion for the coil spring.

また、L字形の押圧部材50Aの水平中央部付近には、2つの円弧状の凸部51,52が設けられており、振動体10Aと押圧部材50Aとはこれらの2つの凸部51,52における各接触点(接触位置)C1,C2で接触している。振動体10Aと押圧部材50Aとが2つの接触点C1,C2で接触した状態において、弾性部材60はその自然長よりも伸びた状態になっており、弾性部材60は押圧部材50Aを中心軸AR2を中心に時計方向に回転させる向きの付勢力を付与している。この結果、弾性部材60による付勢力は両接触点C1,C2を介して振動体10Aに伝達され、振動体10Aによる被駆動体30への押し付け力(「押し当て力」とも称する)FP1に変換される。このように、押圧部材50Aは、弾性部材60の弾性力によって、振動体10Aを被駆動体30に向けて押し付ける。このような押し付け力を付与することによれば、振動体10Aによって被駆動体30をより大きな力で駆動することができる。   In addition, two arc-shaped convex portions 51 and 52 are provided in the vicinity of the horizontal center portion of the L-shaped pressing member 50A, and the vibrating body 10A and the pressing member 50A include these two convex portions 51 and 52. Contact is made at each contact point (contact position) C1, C2. In a state where the vibrating body 10A and the pressing member 50A are in contact with each other at two contact points C1 and C2, the elastic member 60 is extended beyond its natural length, and the elastic member 60 has the pressing member 50A on the central axis AR2. An urging force is applied in a direction to rotate clockwise about the axis. As a result, the urging force by the elastic member 60 is transmitted to the vibrating body 10A via both contact points C1 and C2, and is converted to a pressing force (also referred to as “pressing force”) FP1 by the vibrating body 10A to the driven body 30. Is done. Thus, the pressing member 50 </ b> A presses the vibrating body 10 </ b> A toward the driven body 30 by the elastic force of the elastic member 60. By applying such pressing force, the driven body 30 can be driven with a greater force by the vibrating body 10A.

図5は、被駆動体30の駆動状態を示す概念図である。なお、図5においては、各構成部材をモデル化して示している。   FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating a driving state of the driven body 30. In FIG. 5, each component is modeled.

チップ部材13が楕円軌道PBの上側に存在する場合には、振動体10Aのチップ部材13が被駆動体30に摩擦接触した状態で接触開始位置から接触終了位置まで移動することによって、回転方向DXの駆動力が伝達される(図5(a))。そして、チップ部材13が楕円軌道PBの下側に存在する場合には、チップ部材13が被駆動体30から離れた状態で接触開始位置側へと向かい(図5(b))、再び図5(a)と同様の状態(図5(c))へと復帰する。以降同様の動作を繰り返し、チップ部材13と被駆動体30との間に生じる摩擦力によって被駆動体30が回転方向DXに駆動される。すなわち、被駆動体30は、振動体10Aの振動動作に応じて振動体10Aとの接触および振動体10Aからの離反を繰り返しつつ、振動体10Aとの間に生じる摩擦力によって駆動される。   When the tip member 13 exists on the upper side of the elliptical orbit PB, the tip member 13 of the vibrating body 10A moves from the contact start position to the contact end position in a state of frictional contact with the driven body 30, thereby rotating the direction DX. Is transmitted (FIG. 5A). When the tip member 13 is present below the elliptical orbit PB, the tip member 13 moves toward the contact start position with the tip member 13 away from the driven body 30 (FIG. 5B), and again in FIG. The state returns to the same state as in (a) (FIG. 5C). Thereafter, the same operation is repeated, and the driven body 30 is driven in the rotational direction DX by the frictional force generated between the tip member 13 and the driven body 30. That is, the driven body 30 is driven by a frictional force generated between the driven body 30 and the vibrating body 10A while repeating contact with the vibrating body 10A and separation from the vibrating body 10A according to the vibration operation of the vibrating body 10A.

上述したように、駆動力を大きくするため、押圧部材50Aおよび弾性部材60によって、振動体10Aは適度の押し付け力FP1で被駆動体30に対して押し付けられている。なお、振動体10Aから押圧部材50Aへの押し付け力FP1は適度な大きさを有する力であり、且つ、振動体10Aの振動周期は弾性部材60の弾性力による押圧部材50Aの伸縮動作が追従できない程に短い(すなわち非常に高い周波数である)ため、振動体10Aのチップ部材13は、押圧部材50Aによる押し付け力FP1に抗して、被駆動体30に対して接触と離反とを繰り返すことができる。したがって、上述のような駆動動作を行うことが可能である。   As described above, the vibrating body 10A is pressed against the driven body 30 with an appropriate pressing force FP1 by the pressing member 50A and the elastic member 60 in order to increase the driving force. The pressing force FP1 from the vibrating body 10A to the pressing member 50A is a force having an appropriate magnitude, and the vibration period of the vibrating body 10A cannot follow the expansion / contraction operation of the pressing member 50A due to the elastic force of the elastic member 60. Since the chip member 13 of the vibrating body 10A repeats contact and separation against the driven body 30 against the pressing force FP1 by the pressing member 50A because it is short (that is, has a very high frequency). it can. Therefore, it is possible to perform the driving operation as described above.

ここにおいて、図1に示すように、振動体10Aの振動面に平行な平面(たとえば図1の紙面)内において、振動体10Aと押圧部材50Aとは、直線L1(次述)を挟む2つの接触点C1,C2で接触している。直線L1は、振動体10Aと被駆動体30との当接点P1を通り、且つ、当該当接点P1での押し付け力FP1が作用する方向に伸びる直線である。押し付け力FP1は、直線L2(次述)に対して垂直な直線L1に沿う方向に作用する。直線L2は、押圧部材50Aの中心軸AR2と当接点P1とを結ぶ直線である。   Here, as shown in FIG. 1, in a plane parallel to the vibration surface of the vibration body 10A (for example, the paper surface of FIG. 1), the vibration body 10A and the pressing member 50A are two pieces sandwiching a straight line L1 (described below). Contact is made at contact points C1 and C2. The straight line L1 is a straight line that passes through the contact point P1 between the vibrating body 10A and the driven body 30 and extends in the direction in which the pressing force FP1 at the contact point P1 acts. The pressing force FP1 acts in a direction along the straight line L1 perpendicular to the straight line L2 (described below). The straight line L2 is a straight line connecting the central axis AR2 of the pressing member 50A and the contact point P1.

このような3つの点C1,C2,P1での接触保持によれば、振動体10Aは被駆動体30に対して安定的に押し付けられ、振動体10Aは安定的に保持されることが可能である。   According to such contact holding at the three points C1, C2, and P1, the vibrating body 10A can be stably pressed against the driven body 30, and the vibrating body 10A can be stably held. is there.

仮に、図18に示すように、1つの固定接合部分FCに局所的な曲げモーメントが加わる場合(第1の比較例)を想定する。この第1の比較例に係る振動アクチュエータ200Aにおいては、押圧部材250Aの水平中央部付近に設けられた細長形状の凸部91が振動体10Aに固定されている。図19に示すように、このような第1の比較例においては、局所的な曲げモーメントが細長形状の凸部91に生じるため、被駆動体30からの駆動反力によって凸部91が変形し、振動体10Aが(二点鎖線BLで示す位置から実線SLで示す位置へと)移動し、振動体10Aの被駆動体30に対する「逃げ」が生じてしまう。そのため、被駆動体30に対する駆動力が不安定になる。   As shown in FIG. 18, it is assumed that a local bending moment is applied to one fixed joint portion FC (first comparative example). In the vibration actuator 200A according to the first comparative example, an elongated convex portion 91 provided near the horizontal center portion of the pressing member 250A is fixed to the vibrating body 10A. As shown in FIG. 19, in such a first comparative example, since a local bending moment is generated in the elongated convex portion 91, the convex portion 91 is deformed by the driving reaction force from the driven body 30. The vibrating body 10A moves (from the position indicated by the two-dot chain line BL to the position indicated by the solid line SL), and “escape” of the vibrating body 10A with respect to the driven body 30 occurs. Therefore, the driving force for the driven body 30 becomes unstable.

これに対して、上記実施形態においては、押圧部材50Aは、振動体10Aに2つの位置で接触した状態で振動体10Aを被駆動体30に向けて押し付けている。詳細には、押圧部材50Aの2点以上(この場合は2点)と当接点P1との3点以上(この場合は3点C1,C2,P1)で振動体10Aが接触支持されている(図1参照)。このような構成によれば、局所的に曲げモーメントが加わることによる部材の変形を防止できるので、上述の第1の比較例(あるいは上記第1の従来技術)のような「逃げ」が生じる可能性を低減することができる。すなわち、振動体10Aを被駆動体30に対して安定的に押し付けて保持することが可能である。   On the other hand, in the above embodiment, the pressing member 50A presses the vibrating body 10A toward the driven body 30 in a state where the pressing member 50A is in contact with the vibrating body 10A at two positions. Specifically, the vibrating body 10A is contact-supported at three or more points (in this case, three points C1, C2, P1) of two or more points (in this case, two points) of the pressing member 50A and the contact point P1 (in this case, three points C1, C2, P1). (See FIG. 1). According to such a configuration, the deformation of the member due to the local application of a bending moment can be prevented, so that “escape” as in the first comparative example (or the first conventional technique) described above can occur. Can be reduced. That is, it is possible to stably press and hold the vibrating body 10A against the driven body 30.

また仮に、図20に示すように、バネ260による加圧力を振動体に対して1点AP2で付与して、振動体10Aを被駆動体30に押さえつける場合(第2の比較例)を想定する。この第2の比較例に係る振動アクチュエータ200Bにおいては、図20の左右方向のがたつきを抑えるため、振動体10Aは、がた寄せバネ241Bによる付勢力を加えた状態で、振動体10Aの両側部で挟まれて保持(挟持)されている。振動体10Aは、がた寄せバネ241Bによる挟持力に応じた大きさの摩擦力に抗して図20の上下方向に摺動する。ここで、がた寄せバネ241Bによる挟持力は、製造時の組み付け状態等によって異なり、ばらつきが大きいという事情が存在する。また、振動体10Aとがた寄せバネ241Bとの接触部の摩擦係数、および振動体10Aと側壁部250Bとの接触部の摩擦係数は、それぞれ、各接触部における表面状態等で異なり、ばらつきが大きい。そのため、摩擦力(最大静止摩擦力および動摩擦力)もばらつきが大きくなる。このような「挟持力および摩擦係数に応じた摩擦力」という変動要因の存在によって、振動体10Aから被駆動体30へと所望の押し付け力を安定的に付与することが困難になる。   Further, as shown in FIG. 20, it is assumed that the pressure applied by the spring 260 is applied to the vibrating body at one point AP2 and the vibrating body 10A is pressed against the driven body 30 (second comparative example). . In the vibration actuator 200B according to the second comparative example, the vibration body 10A is applied with the biasing force of the rattling spring 241B in order to suppress the rattling in the left-right direction in FIG. It is sandwiched and held (clamped) on both sides. The vibrating body 10A slides in the vertical direction in FIG. 20 against a frictional force having a magnitude corresponding to the clamping force by the loosening spring 241B. Here, the clamping force by the rattling spring 241B varies depending on the assembly state at the time of manufacture, and there is a situation that the variation is large. Further, the friction coefficient of the contact portion between the vibrating body 10A and the springing spring 241B and the friction coefficient of the contact portion between the vibrating body 10A and the side wall portion 250B are different depending on the surface condition in each contact portion and vary. large. For this reason, the frictional force (maximum static frictional force and dynamic frictional force) also varies greatly. Due to the presence of such a variation factor “friction force according to the clamping force and the friction coefficient”, it is difficult to stably apply a desired pressing force from the vibrating body 10 </ b> A to the driven body 30.

これに対して、上記実施形態においては、押圧部材50Aは、振動体10Aに2つの位置で接触した状態で振動体10Aを被駆動体30に向けて押し付けている。この結果、押圧部材50Aの2点以上(この場合は2点)と当接点P1との3点以上(この場合は3点C1,C2,P1)で振動体10Aが接触支持されている。そのため、上述の第2の比較例(あるいは上記第2の従来技術)のような挟持力を作用させて振動体10Aを挟持する必要がない。したがって、「挟持力および摩擦係数に応じた摩擦力」という変動要因を排除することができるので、振動体10Aから被駆動体30への押し付け力を安定的に付与することができる。   On the other hand, in the above embodiment, the pressing member 50A presses the vibrating body 10A toward the driven body 30 in a state where the pressing member 50A is in contact with the vibrating body 10A at two positions. As a result, the vibrating body 10A is contact-supported at three or more points (in this case, three points C1, C2, P1) of two or more points (in this case, two points) of the pressing member 50A and the contact point P1. Therefore, it is not necessary to sandwich the vibrating body 10A by applying a clamping force as in the second comparative example (or the second conventional technique). Therefore, since the fluctuation factor “friction force according to the clamping force and the friction coefficient” can be eliminated, the pressing force from the vibrating body 10 </ b> A to the driven body 30 can be stably applied.

また、振動体10Aと押圧部材50Aとの2つの接触点C1,C2が直線L1(押し付け力の作用方向に伸びる直線)を挟むことによれば、振動体10Aは押圧部材50Aによってさらに安定的に保持され得る。   Further, when the two contact points C1 and C2 between the vibrating body 10A and the pressing member 50A sandwich the straight line L1 (a straight line extending in the direction of the pressing force), the vibrating body 10A is more stably supported by the pressing member 50A. Can be retained.

図6は、接触点C1回りの回転モーメントを考察するための図である。図6を参照しながら、接触点C1回りの回転モーメントについて考察する。   FIG. 6 is a diagram for considering the rotational moment around the contact point C1. The rotational moment around the contact point C1 will be considered with reference to FIG.

図6(a)に示すように、点P1に作用する押し付け力FP1の反力F1を中心向き成分F1rとその直交成分F1θとに分解すると、成分F1θのみが点C1回りの回転モーメントに寄与する。また、図6(b)に示すように、点C1,C2が直線L1を挟むことなくいずれも直線L1の一方側に存在するときには、当該反力F1の成分F1θによって点C1を中心に反時計回りの回転モーメントが働く。このとき、点C2では振動体10Aおよび押圧部材50Aは接着されておらず離反可能であるため、この力F1θに起因する回転モーメントを打ち消すための抗力を点C2において発生することができない。この結果、振動体10Aは、点C1を中心に反時計回りに回転しまうことになり、不安定になる。   As shown in FIG. 6A, when the reaction force F1 of the pressing force FP1 acting on the point P1 is decomposed into a central component F1r and its orthogonal component F1θ, only the component F1θ contributes to the rotational moment around the point C1. . Further, as shown in FIG. 6B, when the points C1 and C2 are present on one side of the straight line L1 without sandwiching the straight line L1, the counterclockwise around the point C1 by the component F1θ of the reaction force F1. Rotational moment around works. At this time, since the vibrating body 10A and the pressing member 50A are not bonded at the point C2 and can be separated from each other, a drag force for canceling the rotational moment due to the force F1θ cannot be generated at the point C2. As a result, the vibrating body 10A is rotated counterclockwise around the point C1 and becomes unstable.

これに対して、上記実施形態においては、図6(a)に示すように、2つの接触点C1,C2は、直線L1を挟む位置に存在し、当該反力F1の成分F1θによって点C1を中心に時計回りの回転モーメントが働く。この場合には、この反力F1の成分F1θに起因する時計回りの回転モーメントを打ち消すような回転モーメントを、点C2における垂直抗力によって発生することが可能である。したがって、点C1を中心とする回転モーメントはつりあいの関係を有しており、安定的な保持が可能になる。   On the other hand, in the above embodiment, as shown in FIG. 6A, the two contact points C1 and C2 exist at positions sandwiching the straight line L1, and the point C1 is set by the component F1θ of the reaction force F1. A clockwise rotational moment works at the center. In this case, a rotational moment that cancels the clockwise rotational moment caused by the component F1θ of the reaction force F1 can be generated by the normal force at the point C2. Therefore, the rotational moment about the point C1 has a balanced relationship and can be stably held.

点C2回りの回転モーメントについても同様の議論が成立し、2つの接触点C1,C2が直線L1を挟む位置に存在することによれば、振動体10Aをより安定的に保持することが可能である。   The same argument holds for the rotational moment around the point C2, and the presence of the two contact points C1 and C2 between the straight line L1 makes it possible to hold the vibrating body 10A more stably. is there.

さらに、上記実施形態においては、押圧部材50Aが、振動体10Aに2つの接触点C1,C2で接触した状態で振動体10Aを被駆動体30に向けて押し付けている。そして、接触点C1,C2において比較的大きな垂直抗力が生じ、接触点C1,C2において発生可能な静止摩擦力(最大静止摩擦力)は比較的大きな値となり、接触点C1,C2における振動体10Aと押圧部材50Aとの間の「滑り」が生じにくくなっている。なお、この「滑り」の発生をより確実に防止するためには、各接触点C1,C2における各接線がそれぞれ点P1における接線(あるいは直線L2)に対して平行に近くなるように構成することが好ましい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the pressing member 50A presses the vibrating body 10A toward the driven body 30 in a state where the pressing member 50A is in contact with the vibrating body 10A at the two contact points C1 and C2. A relatively large vertical drag is generated at the contact points C1 and C2, the static friction force (maximum static friction force) that can be generated at the contact points C1 and C2 is a relatively large value, and the vibrating body 10A at the contact points C1 and C2 And “slip” between the pressing member 50 </ b> A are less likely to occur. In order to more reliably prevent the occurrence of this “slip”, each tangent at each of the contact points C1 and C2 is configured to be nearly parallel to the tangent at the point P1 (or the straight line L2). Is preferred.

また、上記実施形態においては、振動体10Aと押圧部材50Aとが離反可能に接触している。これによれば、振動体と押圧部材との両者が強固に固定されていないので、両者が強固に固定された場合に生じ得る振動特性への影響を抑制することができる。特に、振動アクチュエータ1Aにおいては、振動体10Aの共振現象を用いてチップ部材13の振幅を大きくすることが可能である。この場合には、振動体10Aの共振周波数を適切な値に設定することが求められるため、振動特性への影響を抑制することが特に重要になる。   Moreover, in the said embodiment, 10 A of vibrating bodies and 50 A of press members are contacting so that separation | separation is possible. According to this, since both the vibrating body and the pressing member are not firmly fixed, it is possible to suppress the influence on the vibration characteristics that may occur when both are firmly fixed. In particular, in the vibration actuator 1A, it is possible to increase the amplitude of the chip member 13 by using the resonance phenomenon of the vibrating body 10A. In this case, since it is required to set the resonance frequency of the vibrating body 10A to an appropriate value, it is particularly important to suppress the influence on the vibration characteristics.

仮に、振動体10Aと押圧部材50Aとを接着剤を用いて強固に固定する場合を想定すると、振動体10Aの剛性が向上してしまい、振動体10Aの共振周波数が変動してしまい、所望の値に設定することが困難になることがある。   If it is assumed that the vibrating body 10A and the pressing member 50A are firmly fixed using an adhesive, the rigidity of the vibrating body 10A is improved, and the resonance frequency of the vibrating body 10A varies, resulting in a desired Setting it to a value can be difficult.

これに対して、上記の実施形態によれば、振動体10Aと押圧部材50Aとは、接触点C1,C2において接着剤等で強固に固定されていない。換言すれば、押圧部材50Aは、振動体10Aに対して離反可能に接触した状態で振動体10Aを被駆動体30に向けて押し付けている。したがって、振動体10Aと押圧部材50Aとが接着剤を用いて強固に固定されている場合に比べて、剛性向上等に起因する振動体10Aの振動特性に対する影響を抑制することができる。このような構成は、共振現象を用いて振動体10Aの振動を増大させる場合に特に有用である。   On the other hand, according to the above embodiment, the vibrating body 10A and the pressing member 50A are not firmly fixed with an adhesive or the like at the contact points C1 and C2. In other words, the pressing member 50 </ b> A presses the vibrating body 10 </ b> A toward the driven body 30 in a state where the pressing member 50 </ b> A contacts the vibrating body 10 </ b> A so as to be separated. Therefore, compared with the case where the vibrating body 10A and the pressing member 50A are firmly fixed using an adhesive, it is possible to suppress the influence on the vibration characteristics of the vibrating body 10A due to the rigidity improvement or the like. Such a configuration is particularly useful when increasing the vibration of the vibrating body 10A using a resonance phenomenon.

また、上記実施形態のように、押し付け力FP1の方向は、当接点P1における法線(接線L4(図1)に垂直な直線)L3の方向に近いことが好ましい。端的に言えば、押圧部材50Aの回転軸72(回転中心軸AR2)を、接線L4に近い位置に配置することが好ましい。具体的には、図7に示すように、直線L1と直線L3との間の角度(直線L2と直線L4との間の角度とも表現される)αは、30度(deg)以下(理想的には0度)であることがより好ましい。これによれば、角度αが比較的大きい場合に比べて押し付け力FP1の法線L3方向成分を大きくすることができるので、弾性部材60の弾性力を効率的に押し付け力FP1の法線成分に変換することができる。   Further, as in the above-described embodiment, the direction of the pressing force FP1 is preferably close to the direction of the normal line (a straight line perpendicular to the tangent line L4 (FIG. 1)) L3 at the contact point P1. In short, it is preferable to arrange the rotation shaft 72 (rotation center axis AR2) of the pressing member 50A at a position close to the tangent L4. Specifically, as shown in FIG. 7, the angle between the straight line L1 and the straight line L3 (also expressed as the angle between the straight line L2 and the straight line L4) α is 30 degrees (deg) or less (ideal Is more preferably 0 degree). According to this, since the normal L3 direction component of the pressing force FP1 can be increased as compared with the case where the angle α is relatively large, the elastic force of the elastic member 60 is efficiently converted into the normal component of the pressing force FP1. Can be converted.

また、上記実施形態においては、図8に示すように、弾性部材60による弾性力の押圧部材50Aへの作用点B1と回転中心軸AR2との距離D2は、当接点P1と回転中心軸AR2との距離D1よりも大きい。例えばここでは、D2/D1=2.7に設定されている。   In the above embodiment, as shown in FIG. 8, the distance D2 between the point B1 of the elastic force exerted by the elastic member 60 on the pressing member 50A and the rotation center axis AR2 is equal to the contact point P1 and the rotation center axis AR2. Is greater than the distance D1. For example, D2 / D1 = 2.7 is set here.

このような構成によれば、梃子の原理によって、より小さな弾性力で適切な押し付け力を発生させることができる。   According to such a configuration, an appropriate pressing force can be generated with a smaller elastic force by the principle of the lever.

<2.第2実施形態>
上記第1実施形態においては、当接点P1と2つの接触点C1,C2との3点で振動体10Aを保持する場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、当接点P1に加えて、振動体と押圧部材との接触面によって、振動体を保持するようにしてもよい。第2実施形態に係る振動アクチュエータ1Bは、このような変形例に関する。
<2. Second Embodiment>
In the first embodiment, the case where the vibrating body 10A is held at the three points of the contact point P1 and the two contact points C1 and C2 is illustrated, but the present invention is not limited to this. For example, the vibrating body may be held by the contact surface between the vibrating body and the pressing member in addition to the contact point P1. The vibration actuator 1B according to the second embodiment relates to such a modification.

図9は第2実施形態に係る振動アクチュエータ1Bを示す図である。図9に示すように、振動アクチュエータ1Bは、振動体10Aに代えて振動体10Bを備え、押圧部材50Aに代えて押圧部材50Bを備える点以外は、第1実施形態と同様である。以下、説明の重複を回避するため、振動アクチュエータ1Aとの相違点を中心に説明する。   FIG. 9 is a diagram showing a vibration actuator 1B according to the second embodiment. As shown in FIG. 9, the vibration actuator 1B is the same as that of the first embodiment except that the vibration body 10B is provided instead of the vibration body 10A and the pressure member 50B is provided instead of the pressure member 50A. Hereinafter, in order to avoid duplication of description, the description will focus on differences from the vibration actuator 1A.

図9に示すように、振動アクチュエータ1Bにおいては、振動体10Bの下側の辺と押圧部材50Bの水平部分の上側の辺とが接触領域CRにおいて連続的に接している。振動体10Bと押圧部材50Bとは、振動体10Bの振動面に平行な平面内(例えば図9の紙面)において、当接点P1を通り当該当接点P1での押し付け力FP1が作用する方向に伸びる直線L1を挟む2点以上の位置において接触していることになる。このように、直線L1を挟む連続的な接触領域CRと当接点P1とで接触保持することによれば、被駆動体30に対する押し付け力FP1を安定的に付与することができる。   As shown in FIG. 9, in the vibration actuator 1B, the lower side of the vibrating body 10B and the upper side of the horizontal portion of the pressing member 50B are continuously in contact with each other in the contact region CR. The vibrating body 10B and the pressing member 50B extend in a direction in which the pressing force FP1 at the contact point P1 acts through the contact point P1 in a plane parallel to the vibration surface of the vibration body 10B (for example, the paper surface of FIG. 9). The contact is made at two or more positions across the straight line L1. As described above, by holding the contact between the continuous contact region CR sandwiching the straight line L1 and the contact point P1, the pressing force FP1 against the driven body 30 can be stably applied.

なお、振動体と押圧部材との接触領域CRの形状は、図9に示すような直線に限定されず、図10に示すように曲線であってもよい。なお、図10は、第2実施形態の変形例に係る振動アクチュエータ1Cを示す図である。図10の変形例に係る振動アクチュエータ1Cは、振動体10Bに代えて振動体10Cを備え、押圧部材50Bに代えて押圧部材50Cを備える点以外は、第2実施形態と同様である。   Note that the shape of the contact region CR between the vibrating body and the pressing member is not limited to a straight line as shown in FIG. 9, but may be a curve as shown in FIG. FIG. 10 is a diagram illustrating a vibration actuator 1C according to a modification of the second embodiment. A vibration actuator 1C according to the modification of FIG. 10 is the same as that of the second embodiment except that a vibration body 10C is provided instead of the vibration body 10B, and a pressing member 50C is provided instead of the pressing member 50B.

このような振動アクチュエータ1B,1Cによっても、振動アクチュエータ1Aと同様の効果を得ることが可能である。   Such vibration actuators 1B and 1C can obtain the same effects as those of the vibration actuator 1A.

<3.第3実施形態>
図11は、第3実施形態に係る振動アクチュエータ1Dを示す図である。後述するように、この振動アクチュエータ1Dによれば、振動体と押圧部材との間の「滑り」をより確実に防止すること、換言すれば、振動体と押圧部材との相対的位置ずれの発生をより確実に防止することが可能になる。
<3. Third Embodiment>
FIG. 11 is a diagram illustrating a vibration actuator 1D according to the third embodiment. As will be described later, according to the vibration actuator 1D, “slip” between the vibrating body and the pressing member can be prevented more reliably, in other words, the relative displacement between the vibrating body and the pressing member can be generated. Can be more reliably prevented.

図11に示すように、振動アクチュエータ1Dは、振動体10Aに代えて振動体10Dを備え、押圧部材50Aに代えて押圧部材50Dを備える点以外は、第1実施形態と同様である。以下、説明の重複を回避するため、振動アクチュエータ1Aとの相違点を中心に説明する。   As shown in FIG. 11, the vibration actuator 1D is the same as the first embodiment except that the vibration body 1OD includes a vibration body 10D and the pressure member 50D instead of the pressure member 50A. Hereinafter, in order to avoid duplication of description, the description will focus on differences from the vibration actuator 1A.

振動体10Dは、ベース部材14Dを有している。このベース部材14Dは、上述のベース部材14とは異なり、押圧部材50D側に円弧状の凸部15,16を有している。また、押圧部材50Dは、凸部51の代わりにV溝部53を有しており、凸部52の代わりに平坦部54を有している。そして、振動体10Dの凸部15が押圧部材50DのV溝部53のV溝の両表面VS1,VS2に接触しており、さらに振動体10Dの凸部16が押圧部材50Dの平坦部54に接触している。このように、押圧部材50Dと振動体10Dとは、2つの接触部(具体的には、V溝部53と凸部15とで構成される接触部、および平坦部54と凸部16とで構成される接触部)において接触している。   The vibrating body 10D has a base member 14D. Unlike the above-described base member 14, the base member 14D has arcuate convex portions 15 and 16 on the pressing member 50D side. The pressing member 50 </ b> D has a V-groove portion 53 instead of the convex portion 51, and has a flat portion 54 instead of the convex portion 52. The convex portion 15 of the vibrating body 10D is in contact with both surfaces VS1 and VS2 of the V groove of the V groove portion 53 of the pressing member 50D, and the convex portion 16 of the vibrating body 10D is in contact with the flat portion 54 of the pressing member 50D. is doing. As described above, the pressing member 50D and the vibrating body 10D include two contact portions (specifically, a contact portion constituted by the V groove portion 53 and the convex portion 15, and a flat portion 54 and the convex portion 16). Contact portion).

振動体10Dと押圧部材50Dとの相対運動は、振動体10Dの振動面に平行な平面内において、並進2自由度と回転1自由度との合計3自由度を有している。これらの3自由度のうちの並進2自由度は、凸部15がV溝部53に接触することによって拘束(規制)される。また、凸部16が平坦部54に接触することによって、残りの回転1自由度が拘束される。この結果、振動体10Dと押圧部材50Dとの相対的な位置関係が幾何学的に決定される。   The relative motion between the vibrating body 10D and the pressing member 50D has a total of 3 degrees of freedom including 2 translational freedom degrees and 1 rotational degree of freedom in a plane parallel to the vibration surface of the vibrating body 10D. Of these three degrees of freedom, two translational degrees of freedom are constrained (restricted) when the convex portion 15 contacts the V-groove portion 53. Further, when the convex portion 16 contacts the flat portion 54, the remaining one degree of freedom of rotation is constrained. As a result, the relative positional relationship between the vibrating body 10D and the pressing member 50D is geometrically determined.

換言すれば、2つの接触部のうちの一方(具体的には、凸部15とV溝部53との接触部)においては、押圧部材50Dと振動体10Dとの両者は当該両者の相対的な並進運動を拘束するとともに当該両者の相対的な回転運動を可能にするように接触している。また、2つの接触部のうちの他方(具体的には、凸部16と平坦部54との接触部)においては、両者は相対的な回転運動を拘束するように接触している。   In other words, in one of the two contact portions (specifically, the contact portion between the convex portion 15 and the V groove portion 53), both the pressing member 50D and the vibrating body 10D are relative to each other. They are in contact so as to constrain translational motion and allow relative rotational movement of the two. Further, in the other of the two contact portions (specifically, the contact portion between the convex portion 16 and the flat portion 54), both are in contact with each other so as to restrain relative rotational motion.

このような構成によれば、振動体10Dと押圧部材50Dとの間の摩擦力による影響を受けることなく、振動体10Dと押圧部材50Dとの相対的位置関係を安定させることが可能になる。そのため、外部からの振動および衝撃を受けた場合であっても、振動体10Dの相対的な位置ずれが発生することを防止できる。また、組み立て調整時においても、振動体10Dの位置調整が容易になる。   According to such a configuration, it is possible to stabilize the relative positional relationship between the vibrating body 10D and the pressing member 50D without being affected by the frictional force between the vibrating body 10D and the pressing member 50D. Therefore, even when subjected to external vibration and impact, it is possible to prevent the relative displacement of the vibrating body 10D from occurring. Further, the position adjustment of the vibrating body 10D can be easily performed during assembly adjustment.

なお、この第3実施形態においては、V溝部を押圧部材50Dに設ける場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、逆に振動体側にV溝部を設けるようにしてもよい。図12はこのような変形例に係る振動アクチュエータ1Eを示す図である。   In addition, in this 3rd Embodiment, although the case where a V-groove part was provided in pressing member 50D was illustrated, it is not limited to this. For example, a V-groove portion may be provided on the vibration body side. FIG. 12 is a view showing a vibration actuator 1E according to such a modification.

図12の変形例に係る振動アクチュエータ1Eは、振動体10Dに代えて振動体10Eを備え、押圧部材50Dに代えて押圧部材50Eを備える点以外は、第2実施形態と同様である。   A vibration actuator 1E according to the modification of FIG. 12 is the same as that of the second embodiment except that a vibration body 10E is provided instead of the vibration body 10D, and a pressing member 50E is provided instead of the pressing member 50D.

この変形例に係る振動アクチュエータ1Eにおいては、第3実施形態に係る振動アクチュエータ1Dとは異なり、V溝部17がベース部材14Eに設けられており、当該V溝部17に接触する凸部51が押圧部材50Eに設けられている。また、ベース部材14Eは凸部16Eを有しており、押圧部材50Eは平坦部54Eを有している。なお、この変形例では、凸部16に代えて凸部16Eを設け、平坦部54に代えて平坦部54Eを設けているが、第3実施形態と同様の凸部16および平坦部54を設けるようにしてもよい。   In the vibration actuator 1E according to this modification, unlike the vibration actuator 1D according to the third embodiment, the V-groove portion 17 is provided in the base member 14E, and the convex portion 51 in contact with the V-groove portion 17 is the pressing member. 50E. Further, the base member 14E has a convex portion 16E, and the pressing member 50E has a flat portion 54E. In this modification, the convex portion 16E is provided instead of the convex portion 16, and the flat portion 54E is provided instead of the flat portion 54. However, the same convex portion 16 and flat portion 54 as in the third embodiment are provided. You may do it.

このような振動アクチュエータ1Eによっても、振動アクチュエータ1Dと同様の効果を得ることが可能である。   Such a vibration actuator 1E can provide the same effect as that of the vibration actuator 1D.

<4.第4実施形態>
上記第3実施形態においては、V溝部を用いて振動体と押圧部材との相対的移動の発生を防止する場合を例示したが、この第4実施形態においては、接着剤を用いて振動体と押圧部材との相対的移動を防止する場合を例示する。
<4. Fourth Embodiment>
In the said 3rd Embodiment, although the case where the generation | occurrence | production of the relative movement of a vibrating body and a press member was prevented using a V-groove part was illustrated in this 4th Embodiment using an adhesive agent, The case where the relative movement with a pressing member is prevented is illustrated.

図13は、第4実施形態に係る振動アクチュエータ1Fを示す図である。   FIG. 13 is a diagram illustrating a vibration actuator 1F according to the fourth embodiment.

図13に示すように、振動アクチュエータ1Fは、振動アクチュエータ1Aとほぼ同様の構成を有している。ただし、第1実施形態に係る振動アクチュエータ1Aにおいては、振動体10Aと押圧部材50Aとが離反可能に接触しているのに対して、第4実施形態に係る振動アクチュエータ1Fにおいては、接着剤を用いて振動体10Aと押圧部材50Aとの相対運動が拘束されている。   As shown in FIG. 13, the vibration actuator 1F has substantially the same configuration as the vibration actuator 1A. However, in the vibration actuator 1A according to the first embodiment, the vibrating body 10A and the pressing member 50A are in contact with each other in a separable manner, whereas in the vibration actuator 1F according to the fourth embodiment, an adhesive is used. The relative motion between the vibrating body 10A and the pressing member 50A is restricted.

図14は、ベース部材14と凸部51との接触点C1付近を示す拡大図である。ベース部材14の下側平坦部と凸部51とが接触する部分において、両者の空隙に接着剤が埋め込まれている。このような状態で、両者が接着されている。   FIG. 14 is an enlarged view showing the vicinity of a contact point C1 between the base member 14 and the convex portion 51. In the portion where the lower flat portion of the base member 14 and the convex portion 51 are in contact with each other, an adhesive is embedded in the gap between them. In such a state, both are adhered.

同様に、押圧部材50Aの凸部52とベース部材14の下側平坦部とが接触する部分において、両者の空隙に接着剤が埋め込まれており、両者が接着されている。   Similarly, in a portion where the convex portion 52 of the pressing member 50A and the lower flat portion of the base member 14 are in contact with each other, an adhesive is embedded in the gap between the two, and both are bonded.

このような構成によれば、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができるとともに、振動体と押圧部材との相対的位置関係を安定させることもできる。   According to such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained, and the relative positional relationship between the vibrating body and the pressing member can be stabilized.

ただし、第1実施形態においては、振動体10Aと押圧部材50Aとが離反可能に接触しているのに対して、この第4実施形態においては、振動体10Aと押圧部材50Aとが接着剤によって接着されている。そのため、上述したように、振動体10Aが押圧部材50Aと一体化することによって剛性が向上し、それによって振動体10Aの共振周波数が変動してしまうことが考えられる。このような剛性向上に起因する共振周波数の変動は最小限にとどめることが好ましい。   However, in the first embodiment, the vibrating body 10A and the pressing member 50A are detachably contacted, whereas in the fourth embodiment, the vibrating body 10A and the pressing member 50A are made of an adhesive. It is glued. Therefore, as described above, it is conceivable that the vibration body 10A is integrated with the pressing member 50A to improve the rigidity, and thereby the resonance frequency of the vibration body 10A varies. It is preferable to minimize the variation of the resonance frequency due to such rigidity improvement.

このような剛性向上に起因する共振周波数の変動を抑制するため、振動体10Aと押圧部材50Aとを接着する接着剤として、その弾性係数が小さなものを用いることが好ましい。たとえば、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、エポキシ系接着剤のいずれかを用いることが好ましい。また、別の表現を用いれば、その縦弾性係数が500MPa以下の接着剤を用いることが好ましい。このような接着剤を用いることによれば、振動体10Aと押圧部材50Aとの間の振動は当該接着剤の部分を介しては伝わりにくくなるので、振動体10Aの剛性向上を抑制できる。したがって、剛性向上に起因する振動体10Aの共振周波数の変動を抑制することができる。   In order to suppress the fluctuation of the resonance frequency due to such rigidity improvement, it is preferable to use an adhesive having a small elastic coefficient as an adhesive for bonding the vibrating body 10A and the pressing member 50A. For example, it is preferable to use any of a rubber adhesive, a silicone adhesive, and an epoxy adhesive. If another expression is used, it is preferable to use an adhesive having a longitudinal elastic modulus of 500 MPa or less. Using such an adhesive makes it difficult for vibration between the vibrating body 10A and the pressing member 50A to be transmitted through the portion of the adhesive, so that improvement in rigidity of the vibrating body 10A can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress fluctuations in the resonance frequency of the vibrating body 10A due to the improvement in rigidity.

なお、この第4実施形態においては、2点C1,C2で振動体10Aと押圧部材50Aとを接着する場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、第2実施形態のように振動体10Bと押圧部材50Bとが連続的に接触する場合において、その接触領域CRの全てにわたって接着剤を挟み込んで接着するようにしてもよい。   In addition, in this 4th Embodiment, although the case where the vibrating body 10A and the pressing member 50A were adhere | attached by 2 points | pieces C1 and C2 was illustrated, it is not limited to this. For example, when the vibrating body 10B and the pressing member 50B are in continuous contact as in the second embodiment, an adhesive may be sandwiched and bonded over the entire contact region CR.

図15および図16は、このような変形例に係る振動アクチュエータ1Gを示す図である。図16は接触領域CR付近を示す拡大図である。   15 and 16 are views showing a vibration actuator 1G according to such a modification. FIG. 16 is an enlarged view showing the vicinity of the contact region CR.

図15に示すように、この振動アクチュエータ1Gは、振動アクチュエータ1B(図9)とほぼ同様の構成を有している。ただし、図16に示すように、振動アクチュエータ1Gにおいては、振動体10Bと押圧部材50Bとが離反可能に接触しているのではなく、振動体10Bと押圧部材50Bとが接着剤を用いて接着され、両者の相対運動が拘束されている。このような振動アクチュエータ1Gによっても上記の振動アクチュエータ1Fと同様の効果を得ることができる。   As shown in FIG. 15, the vibration actuator 1G has a configuration substantially similar to that of the vibration actuator 1B (FIG. 9). However, as shown in FIG. 16, in the vibration actuator 1G, the vibrating body 10B and the pressing member 50B are not in detachable contact with each other, but the vibrating body 10B and the pressing member 50B are bonded using an adhesive. The relative motion of both is constrained. Such a vibration actuator 1G can provide the same effects as those of the vibration actuator 1F.

また、この振動アクチュエータ1Gにおいては、接触領域CRの全領域に接着剤を塗布することによって振動体10Bと押圧部材50Bとを接着する場合を例示したが、これに限定されず、接触領域CRの一部分のみ(たとえば、図1の凸部51,52に対応する2カ所のみ)に接着剤を塗布して接着するようにしてもよい。   Moreover, in this vibration actuator 1G, the case where the vibrating body 10B and the pressing member 50B are bonded to each other by applying an adhesive to the entire region of the contact region CR is exemplified. An adhesive may be applied and bonded to only a part (for example, only two portions corresponding to the convex portions 51 and 52 in FIG. 1).

あるいは、振動アクチュエータ1C(図10)において、振動体10Cと押圧部材50Cとをその曲線状の接触面で接着するようにしてもよい。   Alternatively, in the vibration actuator 1C (FIG. 10), the vibrating body 10C and the pressing member 50C may be bonded with their curved contact surfaces.

<5.その他>
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
<5. Other>
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the contents described above.

たとえば、上記各実施形態においては、被駆動体30が回転体(ロータ)として形成され回転運動する場合を例示したが、これに限定されず、被駆動体が直線運動する場合にも本発明を適用することが可能である。具体的には、ガイドによって案内された矩形状の被駆動体を図1の左右方向に直線駆動するようにしてもよい。   For example, in each of the above embodiments, the case where the driven body 30 is formed as a rotating body (rotor) and rotates is illustrated. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is also applied when the driven body moves linearly. It is possible to apply. Specifically, a rectangular driven body guided by a guide may be linearly driven in the left-right direction in FIG.

また、上記第3実施形態においては、V溝部53(図11)と円弧状の凸部15とが接触することによって、並進2自由度が拘束される場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、図17に示すように、V溝部(V字状の凹部)53(図11)の代わりに円弧状の凹部53Hを設けるようにしてもよい。このようにして、振動体と押圧部材との両者の一方に凹部を他方に凸部を設け、且つ、当該凹部と当該凸部とを接触させることによって、当該両者の相対的な並進運動を拘束するようにしてもよい。   Moreover, in the said 3rd Embodiment, although the case where the V groove part 53 (FIG. 11) and the circular-arc-shaped convex part 15 contacted and the translation 2 freedom degree was restrained was illustrated, it is not limited to this. For example, as shown in FIG. 17, an arcuate recess 53H may be provided in place of the V-groove (V-shaped recess) 53 (FIG. 11). In this way, a concave portion is provided on one side of both the vibrating body and the pressing member, and a convex portion is provided on the other side, and the relative translational motion of the both is restricted by bringing the concave portion and the convex portion into contact with each other. You may make it do.

また、上記各実施形態においては、各振動体が楕円振動する場合を例示したが、これに限定されない。たとえば、振動体による振動は、単振動であってもよい。   Moreover, in each said embodiment, although the case where each vibrating body vibrates elliptically was illustrated, it is not limited to this. For example, the vibration by the vibrating body may be simple vibration.

第1実施形態に係る振動アクチュエータ(駆動装置)を示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator (drive device) which concerns on 1st Embodiment. 振動体を示す図である。It is a figure which shows a vibrating body. 圧電素子を示す図である。It is a figure which shows a piezoelectric element. 振動体による駆動動作を示す図である。It is a figure which shows the drive operation by a vibrating body. 被駆動体の駆動状態を示す図である。It is a figure which shows the drive state of a to-be-driven body. 接触点C1回りの回転モーメントを考察するための図である。It is a figure for considering the rotational moment around contact point C1. 直線L1と直線L3との間の角度αを示す図である。It is a figure which shows angle (alpha) between the straight line L1 and the straight line L3. 回転中心軸AR2回りの回転モーメントを考察する図である。It is a figure which considers the rotational moment around the rotation center axis AR2. 第2実施形態に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on 2nd Embodiment. 変形例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on a modification. 第3実施形態に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on 3rd Embodiment. 別の変形例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on another modification. 第4実施形態に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on 4th Embodiment. 図13の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG. さらに別の変形例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on another modification. 図15の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of FIG. さらなる変形例に係る振動アクチュエータを示す部分拡大図である。It is the elements on larger scale which show the vibration actuator which concerns on the further modification. 第1の比較例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on a 1st comparative example. 第1の比較例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on a 1st comparative example. 第2の比較例に係る振動アクチュエータを示す図である。It is a figure which shows the vibration actuator which concerns on a 2nd comparative example. 第1の従来技術を示す図である。It is a figure which shows the 1st prior art. 第2の従来技術を示す図である。It is a figure which shows the 2nd prior art.

符号の説明Explanation of symbols

1A〜1G 振動アクチュエータ
10A〜10E 振動体
11,12 圧電素子
13 チップ部材
14,14D,14E ベース部材
30 被駆動体(ロータ)
50A〜50E 押圧部材
60 弾性部材
70 台板
AR2 回転中心軸
C1,C2 接触点
P1 当接点
1A to 1G Vibration actuator 10A to 10E Vibration body 11, 12 Piezoelectric element 13 Chip member 14, 14D, 14E Base member 30 Driven body (rotor)
50A to 50E Pressing member 60 Elastic member 70 Base plate AR2 Center of rotation axis C1, C2 Contact point P1 Current contact

Claims (8)

駆動装置であって、
入力信号に応じて振動する振動体と、
前記振動体の振動によって駆動される被駆動体と、
前記振動体を前記被駆動体に向けて押し付ける押圧部材と、
を備え、
前記押圧部材は、前記振動体に複数の位置で接触した状態で前記振動体を前記被駆動体に向けて押し付け、
前記振動体と前記押圧部材とは、前記振動体の振動面に平行な平面内において、前記振動体と前記被駆動体との当接点を通る直線であって当該当接点での押し付け力が作用する方向に伸びる直線を挟む2つの位置を含む前記複数の位置で接触していることを特徴とする駆動装置。
A driving device comprising:
A vibrating body that vibrates in response to an input signal;
A driven body driven by vibration of the vibrating body;
A pressing member that presses the vibrating body toward the driven body;
With
The pressing member presses the vibrating body against the driven body in a state of contacting the vibrating body at a plurality of positions.
The vibrating body and the pressing member are straight lines passing through a contact point between the vibrating body and the driven body in a plane parallel to the vibration surface of the vibrating body, and a pressing force is applied at the contact point. A drive device characterized by contacting at a plurality of positions including two positions sandwiching a straight line extending in the direction of the movement.
請求項1に記載の駆動装置において、
前記押圧部材は、前記振動体に対して離反可能に接触していることを特徴とする駆動装置。
The drive device according to claim 1,
The driving device according to claim 1, wherein the pressing member is in contact with the vibrating body so as to be separated.
請求項1または請求項2に記載の駆動装置において、
前記押圧部材と前記振動体とは2つの接触部において接触しており、
前記2つの接触部のうちの一方においては、前記押圧部材と前記振動体との両者は当該両者の相対的な並進運動を拘束するとともに当該両者の相対的な回転運動を可能にするように接触し、前記2つの接触部のうちの他方においては、前記両者は前記相対的な回転運動を拘束するように接触することを特徴とする駆動装置。
The drive device according to claim 1 or 2,
The pressing member and the vibrating body are in contact at two contact portions,
In one of the two contact portions, both the pressing member and the vibrating body are in contact with each other so as to constrain the relative translational movement of the two and allow the relative rotational movement of the two. In the other of the two contact portions, the two are in contact with each other so as to restrain the relative rotational movement.
請求項3に記載の駆動装置において、
前記2つの接触部のうちの前記一方においては、前記両者のうちの一方に設けられたV溝と前記両者のうちの他方に設けられた円弧状の凸部とが接触していることを特徴とする駆動装置。
The drive device according to claim 3, wherein
In the one of the two contact portions, a V-groove provided in one of the two contacts an arcuate convex portion provided in the other of the two. A drive device.
請求項1に記載の駆動装置において、
前記押圧部材は、前記振動体に対して、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、およびエポキシ系接着剤のいずれかで接着されていることを特徴とする駆動装置。
The drive device according to claim 1,
The driving device, wherein the pressing member is bonded to the vibrating body with any of a rubber-based adhesive, a silicone-based adhesive, and an epoxy-based adhesive.
請求項1から請求項5のいずれかに記載の駆動装置において、
前記押圧部材と前記振動体とは面接触していることを特徴とする駆動装置。
The drive device according to any one of claims 1 to 5,
The driving device, wherein the pressing member and the vibrating body are in surface contact.
請求項1から請求項6のいずれかに記載の駆動装置において、
前記押圧部材は、前記平面内において所定の回転中心軸を中心に回動可能であることを特徴とする駆動装置。
The drive device according to any one of claims 1 to 6,
The driving device according to claim 1, wherein the pressing member is rotatable about a predetermined rotation center axis in the plane.
請求項7に記載の駆動装置において、
前記振動体は、前記押圧部材に取り付けられた弾性部材の弾性力によって、前記被駆動体に押し付けられており、
前記弾性力の前記押圧部材への作用点と前記所定の回転中心軸との距離は、前記当接点と前記所定の回転中心軸との距離よりも大きいことを特徴とする駆動装置。
The drive device according to claim 7, wherein
The vibrating body is pressed against the driven body by the elastic force of an elastic member attached to the pressing member,
The drive device according to claim 1, wherein a distance between an application point of the elastic force to the pressing member and the predetermined rotation center axis is larger than a distance between the contact point and the predetermined rotation center axis.
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