JP2006258438A - 高精度三次元形状測定方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高精度三次元形状測定装置20は、多光束干渉計を組み込んだ多光束干渉縞投影装置1または11または13と、テレビカメラ17と、形状解析装置18とから構成され、多光束干渉によって形成した、線幅が狭く輝度およびコントラストの大きい多光束干渉縞を被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから被測定物の全体形状と欠陥などの微細形状を同時に、オンラインで高精度に測定する。
【選択図】 図6
Description
本発明は、上記従来の問題を解決することを目的とするものであり、全体形状と欠陥などの微細形状とを同時にオンラインで高精度に測定する方法および装置を提供するものである。
なお、二光束干渉縞も多光束干渉縞も縞の周期は同じで、例えば二つの反射面が10秒角の楔に、波長500nmの青色単色光を照射すると、得られる縞間隔は、5mmである。
2 レーザービーム
3 レーザー光源
4 顕微鏡対物レンズ
5 コリメートレンズ
6 直進機構
7 両面高反射率平行平面ガラス
8 x軸回りの回転による傾斜機構
9 y軸回りの回転による傾斜機構
10 投影レンズ
11 多光束干渉縞投影装置の第二の例
12 両面高反射率楔平面ガラス
13 多光束干渉縞投影装置の第三の例
14 一枚目の片面高反射率平面ガラス板
15 二枚目の片面高反射率平面ガラス板
16 波長選択フィルター
17 TVカメラ
18 形状解析装置
19 被測定物
20 精度三次元形状測定装置
Claims (6)
- 多光束干渉によって形成した、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い干渉縞を被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから三次元形状を高い精度で求めることを特徴とする高精度三次元形状測定方法。
- 多光束干渉計によって、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い多光束干渉縞を形成し,該多光束干渉縞を被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから三次元形状を高い精度で求める高精度三次元形状測定方法において、上記多光束干渉計は、両面が高反射率の一枚の平行平面ガラスに対して、曲率を変えた球面波を入射させることによって多光束干渉縞を生成することを特徴とする高精度三次元形状測定方法。
- 多光束干渉計によって、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い多光束干渉縞を形成し、該多光束干渉縞を被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから三次元形状を高い精度で求める高精度三次元形状測定方法において、上記多光束干渉計は、両面が高反射率で互いにわずかに傾いたたくさび状を成す一枚の平面ガラスに対して、平面波を入射させることによって多光束干渉縞を生成することを特徴とする高精度三次元形状測定方法。
- 多光束干渉計によって、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い多光束干渉縞を形成し、該多光束干渉縞を被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから三次元形状を高い精度で求める高精度三次元形状測定方法において、上記多光束干渉計は、高反射率平面鏡を垂直に配置し、この第1の平面鏡に対向し且つわずかに傾斜可能な第2の高反射率平面鏡を配置して成ることを特徴とする高精度三次元形状測定方法。
- 一定の発光スペクトル分布を有する被測定物に、該発光スペクトル分布と重複しない波長のレーザー光による多光束干渉によって形成した、直線状で平行かつ等間隔な、線幅が狭く輝度およびコントラストの強い干渉縞を、該被測定物に投影し、投影された干渉縞の曲がりから三次元形状を高い精度で求めることを特徴とする高精度三次元形状測定方法。
- 多光束干渉縞格子を生成する多光束干渉計と、該多光束干渉縞格子を被測定物に投影する投影機と、該被測定物に投影された該多光束干渉縞格子によって生じる変形格子画像を撮影するテレビカメラと、該変形格子像を取り込んで画像処理および解析するパーソナルコンピュータから成る高精度三次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005072458A JP4427632B2 (ja) | 2005-03-15 | 2005-03-15 | 高精度三次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005072458A JP4427632B2 (ja) | 2005-03-15 | 2005-03-15 | 高精度三次元形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006258438A true JP2006258438A (ja) | 2006-09-28 |
JP4427632B2 JP4427632B2 (ja) | 2010-03-10 |
Family
ID=37097889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005072458A Active JP4427632B2 (ja) | 2005-03-15 | 2005-03-15 | 高精度三次元形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4427632B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US9091529B2 (en) | 2011-07-14 | 2015-07-28 | Faro Technologies, Inc. | Grating-based scanner with phase and pitch adjustment |
US9170098B2 (en) | 2011-07-13 | 2015-10-27 | Faro Technologies, Inc. | Device and method using a spatial light modulator to find 3D coordinates of an object |
US10466032B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-11-05 | Optonor As | Optical interferometry |
-
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US10466032B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-11-05 | Optonor As | Optical interferometry |
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---|---|
JP4427632B2 (ja) | 2010-03-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071204 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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