JP2006234632A - Temperature sensor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temperature sensor capable of suppressing the fluctuations of the resistance value of a metal resistor, and suppressing the breakage of a thermosensitive element. <P>SOLUTION: In the second temperature sensor 101, since the thermosensitive element 2 is provided inside a metal tube 114, the thermosensitive element 2 is not brought directly into contact with a measuring object (exhaust gas), to thereby suppress deterioration of the metal resistor 415 due to the influence of the measuring object. A ceramic substrate 414, a ceramic coating layer 417 and a bonding layer 416 of the thermosensitive element 2 are constituted of a material having the alumina purity of 99.9% or higher and has superior migration-proof properties. In the second temperature sensor 101, since the thermosensitive element 2 is provided inside the metal tube 114, waterdrops or the like will not adhere directly to the thermosensitive element 2, to thereby suppress breakages, such as crack generation of the thermosensitive element 2 due to deviations of a temperature distribution generated by waterdrop adhesion. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、内燃機関(例えば、自動車エンジンなど)の排気系において使用される温度センサに関する。   The present invention relates to a temperature sensor used in an exhaust system of an internal combustion engine (for example, an automobile engine).

従来より、内燃機関(例えば、自動車エンジンなど)の排気系において使用される温度センサとして、金属抵抗体(白金抵抗体など)を有する感温素子を備える温度センサが知られている。この温度センサは、温度変化による感温素子の電気抵抗値の変化を利用して、被測定物(被測定ガスなど)の温度を検出する。   Conventionally, as a temperature sensor used in an exhaust system of an internal combustion engine (for example, an automobile engine), a temperature sensor including a temperature sensing element having a metal resistor (such as a platinum resistor) is known. This temperature sensor detects the temperature of an object to be measured (such as a gas to be measured) using a change in the electrical resistance value of the temperature sensing element due to a temperature change.

そして、温度センサは、感温素子が被測定物(被測定ガスなど)に直接触れるように構成されている(特許文献2の図4参照)。
しかし、このような温度センサを高温環境下で使用する場合には、被測定物や環境雰囲気の影響によって金属抵抗体が劣化することがあり、その結果、感温素子としての電気抵抗値が変化して、温度検出に誤差が生じることがある。
And the temperature sensor is comprised so that a temperature sensing element may touch a to-be-measured object (measuring gas etc.) directly (refer FIG. 4 of patent document 2).
However, when such a temperature sensor is used in a high temperature environment, the metal resistor may be deteriorated due to the influence of the object to be measured and the environmental atmosphere, and as a result, the electric resistance value as the temperature sensing element changes. Thus, an error may occur in temperature detection.

このような問題に対して、特許文献1においては、絶縁性基体上に形成された金属抵抗体をガラスなどで被覆することにより、金属抵抗体と外気との接触を防止した構造の感温素子が開示されている。この感温素子によれば、金属抵抗体の劣化の問題を解消できる。
米国特許第4050052号明細書抜粋 特表2002−514310号公報
With respect to such a problem, in Patent Document 1, a temperature sensitive element having a structure in which a metal resistor formed on an insulating substrate is covered with glass or the like to prevent contact between the metal resistor and outside air. Is disclosed. According to this temperature sensitive element, the problem of deterioration of the metal resistor can be solved.
Excerpt from US Pat. No. 4050052 Japanese translation of PCT publication No. 2002-514310

しかし、金属抵抗体をガラスで被覆した感温素子であっても、高温環境下で使用すると、感温素子のうちガラスに含まれる成分によりマイグレーションが発生して、感温素子としての電気抵抗値が変動するという問題が生じる虞がある。このため、ガラスを用いた感温素子を有する温度センサは、高温環境下で使用する場合には、感温素子の電気抵抗値の変動によって検出誤差が生じる虞がある。   However, even if the temperature sensing element is made of a metal resistor coated with glass, if it is used in a high temperature environment, migration occurs due to the components contained in the glass of the temperature sensing element, and the electrical resistance value as the temperature sensing element. There is a possibility that the problem of fluctuation will occur. For this reason, when a temperature sensor having a temperature sensing element using glass is used in a high temperature environment, there is a possibility that a detection error may occur due to fluctuations in the electric resistance value of the temperature sensing element.

また、ガラスとしては耐熱温度が1000℃程度のものも存在するが、このようなガラスは、シリカの純度が極めて高くなるため、絶縁基板(セラミックス基体)との熱膨張係数が異なることになる。このため、このようなガラスを用いた感温素子は、ガラスとセラミックス基体との熱膨張係数の差によって破損する虞があり、感温素子全体としての耐熱性能が低下するという問題がある。   Some glasses have a heat-resistant temperature of about 1000 ° C. However, since such glass has extremely high silica purity, the thermal expansion coefficient differs from that of an insulating substrate (ceramic substrate). For this reason, the temperature sensitive element using such glass has a possibility that it may be damaged by the difference of the thermal expansion coefficient of glass and a ceramic base | substrate, and there exists a problem that the heat resistance performance as the whole temperature sensitive element falls.

これに対して、ガラスとセラミックス基体との熱膨張係数を同等とするためには、シリカとは別の成分を混合してなるガラスを用いる必要があるが、このようなガラスは、耐熱温度が950℃以下と低くなり、高温環境下での使用においてはガラスの成分によりマイグレーションが生じることがある。このため、950℃を超える環境下に晒されることがある用途の温度センサにおいては、ガラスを有する感温素子を使用することができない。   On the other hand, in order to make the thermal expansion coefficients of the glass and the ceramic substrate equal, it is necessary to use a glass in which a component other than silica is mixed. When it is used at a high temperature environment, migration may occur due to glass components. For this reason, in the temperature sensor of the use which may be exposed to the environment over 950 degreeC, the temperature sensitive element which has glass cannot be used.

なお、金属抵抗体を覆う物質としてガラスに代えてセラミックスを用いて感温素子を構成することも考えられる。しかし、セラミックス自身やセラミックスと金属抵抗体とを接合するセラミックス接合層の中にガラス成分(シリカ、アルカリ土類金属など)が含有されていると、それらの成分がマイグレーションの原因となり、感温素子の電気抵抗値の変動を誘発してしまう。   It is also conceivable that the temperature sensitive element is configured using ceramics instead of glass as a material covering the metal resistor. However, if glass components (silica, alkaline earth metal, etc.) are contained in the ceramic itself or the ceramic bonding layer that joins the ceramic and the metal resistor, these components cause migration and the temperature sensitive element. Will induce fluctuations in the electrical resistance.

また、セラミックスを用いて金属抵抗体を気密状に覆うことは困難であり、セラミックスで金属抵抗体を覆った感温素子を直接被測定物に触れるようにして温度センサに組み付けると、金属抵抗体が劣化してしまうことになる。   In addition, it is difficult to hermetically cover a metal resistor with ceramics. If a temperature sensing element with a metal resistor covered with ceramics is directly touched to the object to be measured, it is attached to the temperature sensor. Will deteriorate.

他方、感温素子が被測定物に直接触れる構成の温度センサは、感温素子に対して水滴などが付着することにより局所的な温度分布に偏りが生じて、クラックなどの破損が生じる虞がある。   On the other hand, in a temperature sensor having a structure in which the temperature sensing element is in direct contact with the object to be measured, water droplets or the like adhere to the temperature sensing element, which may cause local temperature distribution to be biased, resulting in damage such as cracks. is there.

そして、内燃機関の排気ガスには水分(凝縮水)が含まれることがあり、このような水分の付着による感温素子の破損が生じる虞がある。このため、上記従来の温度センサは、内燃機関の排気系における温度検出に用いるには、信頼性に欠けるという問題があった。   And the exhaust gas of an internal combustion engine may contain a water | moisture content (condensed water), and there exists a possibility that the thermosensitive element may be damaged by the adhesion of such a water | moisture content. For this reason, the conventional temperature sensor has a problem of lack of reliability when used for temperature detection in an exhaust system of an internal combustion engine.

そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制すると共に、感温素子の破損を抑制できる温度センサを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of these problems, and an object thereof is to provide a temperature sensor that can suppress fluctuations in the resistance value of a metal resistor and can prevent damage to a temperature sensitive element.

かかる目的を達成するためになされた請求項1に記載の発明は、セラミックス基体上に膜状の金属抵抗体が形成されると共に、金属抵抗体のうちセラミックス基体と接する面とは反対側の面において金属抵抗体を被覆するセラミックス被覆層を有する感温素子と、後端側が開口し、先端側が閉塞する有底筒状の素子収容部材と、を備え、セラミックス基体およびセラミックス被覆層は、アルミナ純度99.9%以上で構成され、感温素子は、素子収容部材の内部のうち閉塞側の端部に格納され、感温素子および素子収容部材にそれぞれ接する状態で、素子収容部材の内部に配置される素子固定材を備えること、を特徴とする温度センサである。   In order to achieve this object, the invention according to claim 1 is characterized in that a film-like metal resistor is formed on a ceramic substrate and a surface of the metal resistor opposite to the surface in contact with the ceramic substrate. In which the ceramic substrate and the ceramic coating layer have an alumina purity, and a temperature-sensitive element having a ceramic coating layer covering the metal resistor, and a bottomed cylindrical element housing member that is open at the rear end side and closed at the front end side. 99.9% or more, and the temperature sensitive element is housed in the end of the element accommodating member on the closed side, and is disposed inside the element accommodating member in a state of being in contact with the temperature sensitive element and the element accommodating member. It is a temperature sensor characterized by including an element fixing material.

この温度センサにおいては、感温素子が素子収容部材の内部に備えられることから、感温素子が被測定物(被測定ガスなど)に直接接することが無くなり、被測定物の影響により金属抵抗体の劣化が生じるのを抑制できる。なお、金属抵抗体としては、白金(Pt)を主体とする白金抵抗体などが挙げられる。   In this temperature sensor, since the temperature sensing element is provided inside the element housing member, the temperature sensing element does not directly contact the object to be measured (measured gas, etc.), and the metal resistor is affected by the object to be measured. Can be prevented from deteriorating. Examples of the metal resistor include a platinum resistor mainly composed of platinum (Pt).

また、感温素子のセラミックス基体およびセラミックス被覆層は、アルミナ純度99.9%以上で構成されており、セラミックス基体およびセラミックス被覆層に含まれるアルミナ以外の成分によりマイグレーションが生じるのを抑制できる。   Further, the ceramic substrate and the ceramic coating layer of the temperature sensitive element are configured with an alumina purity of 99.9% or more, and migration can be suppressed from being caused by components other than alumina contained in the ceramic substrate and the ceramic coating layer.

つまり、この温度センサは、被測定物の影響による金属抵抗体の劣化を抑制できるとともに、感温素子自身が耐マイグレーション性に優れることから、高温環境下での使用においても感温素子の電気抵抗値が変動し難くなり、温度検出精度の低下を抑制できる。   In other words, this temperature sensor can suppress the deterioration of the metal resistor due to the influence of the object to be measured, and the temperature sensing element itself has excellent migration resistance, so that the electrical resistance of the temperature sensing element can be used even in a high temperature environment. The value is less likely to fluctuate, and a decrease in temperature detection accuracy can be suppressed.

また、感温素子が素子固定材を介して素子収容部材に支持されるため、振動などの外力を受けやすい使用環境においても、感温素子と素子収容部材との衝突を防止でき、素子収容部材との衝突に起因する感温素子の破損や衝撃、振動による繰り返し応力に起因する破損を防止できる。   In addition, since the temperature sensitive element is supported by the element accommodating member via the element fixing member, it is possible to prevent a collision between the temperature sensitive element and the element accommodating member even in a usage environment that easily receives external force such as vibration. It is possible to prevent damage to the temperature sensing element due to collision with the head and damage due to repeated stress due to impact and vibration.

さらに、感温素子が素子収容部材の内部に備えられることから、感温素子に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因するクラック発生などの破損を抑制できる。   In addition, since the temperature sensing element is provided inside the element housing member, water droplets do not directly adhere to the temperature sensing element, thus preventing damage such as cracks caused by uneven temperature distribution due to water droplet adhesion. it can.

よって、本発明によれば、金属抵抗体の抵抗値の変動を抑制でき、温度検出精度の低下を抑制できると共に、水滴などが付着しやすい使用環境下においても、感温素子の破損を抑制することができる。   Therefore, according to the present invention, it is possible to suppress fluctuations in the resistance value of the metal resistor, to suppress a decrease in temperature detection accuracy, and to prevent damage to the temperature sensitive element even in a use environment where water droplets or the like are likely to adhere. be able to.

次に、上記の温度センサにおいては、感温素子は、素子収容部材のうち先端側に位置する格納先端部内に格納され、格納先端部の内径が、それ以外の素子収容部の部位の内径よりも小径であるとよい。   Next, in the above temperature sensor, the temperature sensitive element is stored in the storage tip portion located on the tip side of the element housing member, and the inner diameter of the storage tip portion is larger than the inner diameter of the other portion of the element housing portion. Also, the diameter should be small.

つまり、素子収容部材のうち感温素子が配置される格納先端部の内径をそれ以外の部位の内径よりも小さくすることで、素子収容部材の内面から感温素子までの距離が小さくなり、被測定物から感温素子までの熱伝導時間を短縮することができる。   In other words, by making the inner diameter of the storage tip where the temperature sensitive element is disposed in the element accommodating member smaller than the inner diameter of the other part, the distance from the inner surface of the element accommodating member to the temperature sensitive element is reduced, and The heat conduction time from the measurement object to the temperature sensitive element can be shortened.

よって、本発明の温度センサによれば、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性の向上を図ることができる。
次に、上記の温度センサにおいては、感温素子は、素子収容部材のうち先端側に位置する格納先端部内に格納され、格納先端部の厚さ寸法が、それ以外の素子収容部の部位の厚さ寸法よりも小さいとよい。
Therefore, according to the temperature sensor of the present invention, the time required for temperature detection can be shortened, and responsiveness in temperature detection can be improved.
Next, in the above-described temperature sensor, the temperature sensitive element is stored in the storage distal end portion located on the distal end side of the element accommodating member, and the thickness dimension of the storage distal end portion is equal to that of the other element accommodating portion. It may be smaller than the thickness dimension.

つまり、素子収容部材の外表面から内表面にかけての厚さ寸法(肉厚)に関して、感温素子が配置される格納先端部の肉厚をそれ以外の部位の肉厚よりも薄くすることで、素子収容部材の外表面から感温素子までの距離が小さくなり、被測定物から感温素子までの熱伝導時間を短縮することができる。   That is, regarding the thickness dimension (thickness) from the outer surface to the inner surface of the element housing member, by making the thickness of the storage tip portion where the temperature sensitive element is arranged thinner than the thickness of the other part, The distance from the outer surface of the element housing member to the temperature sensitive element is reduced, and the heat conduction time from the object to be measured to the temperature sensitive element can be shortened.

よって、本発明の温度センサによれば、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性の向上を図ることができる。
次に、上記の温度センサは、素子収容部材が、閉塞側から開口側に向かう方向に対して垂直となる断面のうち、感温素子の配置位置における断面形状が多角形あるいは楕円形であるとよい。
Therefore, according to the temperature sensor of the present invention, the time required for temperature detection can be shortened, and responsiveness in temperature detection can be improved.
Next, in the above temperature sensor, the cross-sectional shape of the element housing member at the position where the temperature-sensitive element is arranged is a polygon or an ellipse among the cross sections perpendicular to the direction from the closing side to the opening side. Good.

このように、素子収容部材のうち感温素子が備えられる部分の断面形状を多角形あるいは楕円形にする場合には、断面形状を円形状とする場合に比べて、素子収容部材の内部断面における感温素子の占有割合を相対的に大きくできる。つまり、この温度センサにおいては、素子収容部材の内面と感温素子の外面との間の平均距離を小さくすることができ、被測定物から感温素子までの熱伝導時間を短縮することができる。   Thus, in the case where the cross-sectional shape of the portion of the element housing member where the temperature sensitive element is provided is a polygon or an ellipse, compared to the case where the cross-sectional shape is a circular shape, in the internal cross section of the element housing member The occupation ratio of the temperature sensitive element can be relatively increased. That is, in this temperature sensor, the average distance between the inner surface of the element housing member and the outer surface of the temperature sensing element can be reduced, and the heat conduction time from the object to be measured to the temperature sensing element can be shortened. .

よって、本発明の温度センサによれば、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性の向上を図ることができる。   Therefore, according to the temperature sensor of the present invention, the time required for temperature detection can be shortened, and responsiveness in temperature detection can be improved.

以下に、本発明の好適な実施形態を説明する。
尚、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
The preferred embodiments of the present invention will be described below.
In addition, this invention is not limited to the following embodiment at all, and it cannot be overemphasized that various forms may be taken as long as it belongs to the technical scope of this invention.

図1は、本発明の実施の形態である温度センサ1の構造を示す部分破断断面図である。
温度センサ1は、一対の金属芯線7を絶縁保持したシース部材8と、先端側が閉塞して後端側が開口する軸線方向に延びる有底筒状の金属キャップ14と、シース部材8を支持する取り付け部材4と、を備えて構成されている。なお、軸線方向とは、温度センサの長手方向であり、図1においては上下方向に相当する。また、温度センサ1における先端側は図における下側であり、温度センサ1における後端側は図における上側である。
FIG. 1 is a partially broken sectional view showing a structure of a temperature sensor 1 according to an embodiment of the present invention.
The temperature sensor 1 includes a sheath member 8 that insulates and holds a pair of metal core wires 7, a bottomed cylindrical metal cap 14 that is closed in the front end side and opened in the rear end side, and an attachment that supports the sheath member 8. And a member 4. The axial direction is the longitudinal direction of the temperature sensor and corresponds to the vertical direction in FIG. Moreover, the front end side in the temperature sensor 1 is a lower side in the figure, and the rear end side in the temperature sensor 1 is an upper side in the figure.

そして、温度センサ1は、金属キャップ14の閉塞側(先端側)端部の内部に白金抵抗体を有する感温素子2を備えており、例えば、内燃機関の流通管(排気管など)に装着されて、感温素子2を測定対象ガス(排気ガスなど)が流れる流通管内に配置させることで、測定対象ガスの温度検出に使用することができる。つまり、温度センサ1は、いわゆる車両用温度センサに相当する。なお、感温素子2は、温度によって電気的特性(電気抵抗値)が変化する。   The temperature sensor 1 includes a temperature sensing element 2 having a platinum resistor inside the closed end (tip end) of the metal cap 14, and is attached to, for example, a flow pipe (exhaust pipe or the like) of an internal combustion engine. Then, the temperature sensing element 2 can be used for detecting the temperature of the measurement target gas by arranging the temperature sensing element 2 in the flow pipe through which the measurement target gas (exhaust gas or the like) flows. That is, the temperature sensor 1 corresponds to a so-called vehicle temperature sensor. The temperature sensitive element 2 changes its electrical characteristics (electric resistance value) depending on the temperature.

図2に、感温素子2の外観を表す平面図を示し、また、図3に、図2における感温素子2のA−A視断面における断面図を示す。なお、図2では、感温素子2の内部構造の一部を点線で表している。   FIG. 2 is a plan view showing the appearance of the temperature sensing element 2, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the temperature sensing element 2 in FIG. In FIG. 2, a part of the internal structure of the temperature sensitive element 2 is indicated by a dotted line.

感温素子2は、アルミナ純度99.9%のセラミックス基体414と、セラミックス基体414の表面に膜状に形成される金属抵抗体415と、金属抵抗体415のうちセラミックス基体414と接する面とは反対側の面において金属抵抗体415を被覆するアルミナ純度99.9%のセラミックス被覆層417と、を有している。   The temperature sensing element 2 includes a ceramic substrate 414 having an alumina purity of 99.9%, a metal resistor 415 formed in a film shape on the surface of the ceramic substrate 414, and a surface of the metal resistor 415 that contacts the ceramic substrate 414. And a ceramic coating layer 417 having an alumina purity of 99.9% that covers the metal resistor 415 on the opposite surface.

金属抵抗体415は、白金(Pt)を主体に構成されており、温度変化に応じて電気抵抗値が変化する。
セラミックス被覆層417は、セラミックスのグリーンシートを予め焼成することで得られた焼成済みのシートであり、接合層416により焼成済みのセラミックス基体414の先端側(図3における左側)に接合されて、金属抵抗体415の先端側を覆う状態で備えられている。
The metal resistor 415 is mainly composed of platinum (Pt), and the electric resistance value changes according to the temperature change.
The ceramic coating layer 417 is a fired sheet obtained by firing a ceramic green sheet in advance, and is bonded to the front end side (left side in FIG. 3) of the fired ceramic substrate 414 by the bonding layer 416. The metal resistor 415 is provided so as to cover the tip side.

なお、接合層416についても、アルミナ純度99.9%で構成されている。なお、この接合層416は、接合前はアルミナ粉末を含むペーストであり、焼成済みのセラミックス基体414とセラミックス被覆層417とを上記ペーストで貼り合わせた後、熱処理されることで、最終的に接合層416となる。   The bonding layer 416 is also configured with an alumina purity of 99.9%. The bonding layer 416 is a paste containing alumina powder before bonding, and the bonded ceramic base 414 and the ceramic coating layer 417 are bonded to each other with the paste and then heat-treated, whereby the bonding is finally performed. Layer 416 is formed.

そして、金属抵抗体415のうち後端側(図3における右側)は、厚膜パッド418を介して引出リード線409と接続されたあと、接続部分がリード線固定材419により固定されることにより、引出リード線409と電気的に接続される。   The rear end side (the right side in FIG. 3) of the metal resistor 415 is connected to the lead wire 409 via the thick film pad 418, and then the connection portion is fixed by the lead wire fixing material 419. The lead wire 409 is electrically connected.

このように構成された感温素子2は、引出リード線409を介して外部機器などと電気的に接続される。
図1において、金属芯線7は、先端側が感温素子2の引出リード線409と接続されており、後端側が抵抗溶接により加締め端子11と接続されている。これにより、金属芯線7は、自身の後端側が加締め端子11を介して外部回路(例えば、車両の電子制御装置(ECU)等)接続用のリード線12と接続されている。
The temperature sensing element 2 configured in this way is electrically connected to an external device or the like via the lead lead 409.
In FIG. 1, the metal core wire 7 has a leading end connected to the lead wire 409 of the temperature sensitive element 2 and a rear end connected to the crimping terminal 11 by resistance welding. Thereby, the rear end side of the metal core wire 7 is connected to a lead wire 12 for connecting an external circuit (for example, an electronic control unit (ECU) of a vehicle) via the crimping terminal 11.

なお、一対の金属芯線7は、絶縁チューブ15により互いに絶縁され、また、一対の加締め端子11は、絶縁チューブ15により互いに絶縁される。リード線12は、導線を絶縁性の被覆材にて被覆したものである。このリード線12は、耐熱ゴム製の補助リング13の内部を貫通する状態で配置される。   The pair of metal core wires 7 are insulated from each other by the insulating tube 15, and the pair of crimping terminals 11 are insulated from each other by the insulating tube 15. The lead wire 12 is obtained by coating a conductive wire with an insulating coating material. The lead wire 12 is disposed in a state of penetrating the inside of the heat-resistant rubber auxiliary ring 13.

シース部材8は、詳細は図示しないが、金属製の外筒と、導電性金属からなる一対の金属芯線7と、外筒と2本の金属芯線7との間を電気的に絶縁して金属芯線7を保持する絶縁粉末と、を備えて構成される。   Although not shown in detail, the sheath member 8 is a metal that electrically insulates between a metal outer cylinder, a pair of metal core wires 7 made of a conductive metal, and the outer cylinder and the two metal core wires 7. And an insulating powder for holding the core wire 7.

なお、シース部材8には、熱処理が施されており、金属表面に酸化膜が形成されている。
金属キャップ14は、耐腐食性金属(例えば、SUS310SやSUS316などのステンレス合金)からなり、先端側31が閉塞した軸線方向に延びる筒状をなし、筒状の後端側32が開放した形態で構成されている。金属キャップ14は、先端側の内部にセメント17を充填した状態で、感温素子2が接続されたシース部材8の先端側に装着される。なお、セメント17は、アルミナを主成分とする骨材とガラス成分とから構成される。
The sheath member 8 is heat treated, and an oxide film is formed on the metal surface.
The metal cap 14 is made of a corrosion-resistant metal (for example, stainless steel such as SUS310S or SUS316), has a cylindrical shape extending in the axial direction with the front end side 31 closed, and the cylindrical rear end side 32 is open. It is configured. The metal cap 14 is attached to the distal end side of the sheath member 8 to which the temperature sensitive element 2 is connected, with the cement 17 filled in the distal end side. The cement 17 is composed of an aggregate mainly composed of alumina and a glass component.

そして、金属キャップ14は、その後端側32の内周面がシース部材8の外周面に重なり合った状態で、周方向にわたり加締められると共にアルゴン溶接(あるいは電子ビーム溶接)されることで、シース部材8に固定される。この金属キャップ14にも熱処理が施されており、金属キャップ14の内外面に酸化膜が形成されている。   The metal cap 14 is crimped in the circumferential direction and argon-welded (or electron beam welded) in a state where the inner peripheral surface of the rear end side 32 overlaps the outer peripheral surface of the sheath member 8, whereby the sheath member 8 is fixed. The metal cap 14 is also heat-treated, and an oxide film is formed on the inner and outer surfaces of the metal cap 14.

なお、溶接作業により、金属キャップ14の後端側32とシース部材8(詳細には、シース部材8の外筒)とに跨るキャップ溶接部64が形成される。これにより、金属キャップ14の内部空間が密閉される。   In addition, the cap welding part 64 straddling the rear end side 32 of the metal cap 14 and the sheath member 8 (specifically, the outer cylinder of the sheath member 8) is formed by the welding operation. Thereby, the internal space of the metal cap 14 is sealed.

金属製の取り付け部材4は、径方向外側に突出する六角ナット部51と、ネジ溝が形成されたネジ部52と、六角ナット部51の後端から軸線方向の後端側に延びる後端側鞘部42と、を備えている。また、取り付け部材4は、六角ナット部51の先端面として形成される取り付け座45と、取り付け座45よりも先端側においてシース部材8と接合される接合部43と、取り付け座45と接合部43との間においてシース部材8の径方向周囲を取り囲む振動補強部47と、を備えている。   The metal attachment member 4 includes a hexagonal nut portion 51 protruding radially outward, a screw portion 52 having a thread groove, and a rear end side extending from the rear end of the hexagonal nut portion 51 toward the rear end side in the axial direction. And a sheath portion 42. The attachment member 4 includes an attachment seat 45 formed as a distal end surface of the hexagon nut portion 51, a joint portion 43 joined to the sheath member 8 on the distal end side of the attachment seat 45, and the attachment seat 45 and the joint portion 43. And a vibration reinforcing portion 47 surrounding the periphery of the sheath member 8 in the radial direction.

そして、取り付け部材4は、少なくとも金属キャップ14およびシース部材8の先端側部分が外部に露出する状態でシース部材8の外周面を取り囲むことで、シース部材8を支持する。   The attachment member 4 supports the sheath member 8 by surrounding the outer peripheral surface of the sheath member 8 with at least the metal cap 14 and the distal end portion of the sheath member 8 exposed to the outside.

取り付け部材4は、取り付け座45の先端側に環状のシールリング48を配置した状態で、流通管に形成されるセンサ取り付け位置に固定される。このとき、取り付け座45は、シールリング48を介して間接的にセンサ取り付け位置(センサ取り付け面)に接することにより、温度センサ1と流通管との間に隙間が生じるのを防止して、測定対象ガスが外部に漏洩するのを防止する。   The attachment member 4 is fixed to a sensor attachment position formed in the flow pipe in a state where an annular seal ring 48 is disposed on the distal end side of the attachment seat 45. At this time, the mounting seat 45 is in contact with the sensor mounting position (sensor mounting surface) indirectly through the seal ring 48 to prevent a gap from being generated between the temperature sensor 1 and the flow pipe, and measurement is performed. Prevent the target gas from leaking outside.

接合部43は、シース部材8を内部に挿通可能な環状に形成されており、シース部材8の径方向周囲を取り囲んでシース部材8と接合される。また、接合部43は、加締めによる変形が可能となるように、厚さ寸法(環状の内径寸法と外径寸法との径差寸法)が薄く設定されている。   The joint portion 43 is formed in an annular shape through which the sheath member 8 can be inserted, and surrounds the periphery of the sheath member 8 in the radial direction and is joined to the sheath member 8. Further, the thickness of the joint portion 43 (diameter difference between the annular inner diameter dimension and the outer diameter dimension) is set to be thin so that deformation by caulking is possible.

後端側鞘部42は、環状に形成されると共に、先端側に位置する第1段部44と、第1段部44よりも小さい外径を有する第2段部46と、を備える二段形状をなしている。このうち、第2段部46は、加締めによる変形が可能となるように、厚さ寸法(環状の内径寸法と外径寸法との径差寸法)が薄く設定されている。   The rear end side sheath portion 42 is formed in an annular shape, and includes a first step portion 44 located on the front end side and a second step portion 46 having an outer diameter smaller than that of the first step portion 44. It has a shape. Among these, the second step portion 46 is set to have a thin thickness dimension (diameter difference between the annular inner diameter dimension and the outer diameter dimension) so that deformation by caulking is possible.

そして、取り付け部材4は、自身の内部にシース部材8が挿通されたあと、接合部43および第2段部46のそれぞれに対して、径方向内向きの加締め作業およびアルゴン溶接作業(あるいは電子ビーム溶接作業)が行われることで、シース部材8の外周面を取り囲んでシース部材8を支持する。つまり、シース部材8は、接合部43および第2段部46に接合されることにより、取り付け部材4に固定される。   Then, after the sheath member 8 is inserted into the attachment member 4, the attachment member 4 is subjected to a radially inward caulking operation and an argon welding operation (or an electron welding operation) for each of the joint portion 43 and the second step portion 46. By performing the beam welding operation), the sheath member 8 is supported by surrounding the outer peripheral surface of the sheath member 8. That is, the sheath member 8 is fixed to the attachment member 4 by being bonded to the bonding portion 43 and the second step portion 46.

なお、溶接作業により、接合部43とシース部材8(詳細には、シース部材8の外筒)とに跨る先端側溶接部62が形成され、第2段部46とシース部材8(詳細には、シース部材8の外筒)とに跨る後端側溶接部63が形成される。   The welding operation forms a distal end side welded portion 62 straddling the joint portion 43 and the sheath member 8 (specifically, the outer tube of the sheath member 8), and the second step portion 46 and the sheath member 8 (specifically, the details). , The rear end side welding part 63 straddling the outer cylinder of the sheath member 8 is formed.

振動補強部47は、シース部材8を内部に挿通可能な環状に形成されており、シース部材8が取り付け部材4に固定されることで、シース部材8の径方向周囲を取り囲み、シース部材8の移動範囲を制限する。   The vibration reinforcing portion 47 is formed in an annular shape through which the sheath member 8 can be inserted, and the sheath member 8 is fixed to the attachment member 4 so as to surround the periphery of the sheath member 8 in the radial direction. Limit the range of movement.

また、取り付け部材4のうち後端側鞘部42の第1段部44の径方向外側には、金属製の筒状の継手部材6が接合されている。具体的には、後端側鞘部42の第1段部44の外周面に継手部材6の内周面が重なり合うように、継手部材6が後端側鞘部42の第1段部44に圧入され、継手部材6と第1段部44とを周方向にわたってレーザー溶接している。このレーザー溶接がなされることにより、後端側鞘部42の第1段部44と継手部材6とに跨る継手溶接部61が形成される。   Further, a metal tubular joint member 6 is joined to the mounting member 4 on the radially outer side of the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42. Specifically, the joint member 6 is connected to the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 so that the outer peripheral surface of the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 overlaps the inner peripheral surface of the joint member 6. The joint member 6 and the first step portion 44 are laser welded in the circumferential direction. By performing this laser welding, a joint welding portion 61 is formed across the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 and the joint member 6.

継手部材6は、加締め端子11、絶縁チューブ15、補助リング13を内部に収容した状態で、補助リング13に対応する部分が径方向内向きに丸加締め或いは多角加締めされることにより、補助リング13との間の気密性を保ちつつ補助リング13と加締め接合される。   The joint member 6 is a state in which the crimping terminal 11, the insulating tube 15, and the auxiliary ring 13 are accommodated therein, and a portion corresponding to the auxiliary ring 13 is circularly or polygonally crimped inward in the radial direction. While maintaining airtightness between the auxiliary ring 13 and the auxiliary ring 13, it is crimped and joined.

そして、リード線12を介して温度センサ1に接続された外部回路は、測定対象物の温度に応じて変化する感温素子2の電気的特性を取り出し、取り出した電気的特性に基づいて測定対象ガスの温度を検出する。   And the external circuit connected to the temperature sensor 1 via the lead wire 12 takes out the electrical characteristic of the temperature sensing element 2 which changes according to the temperature of the measurement object, and measures the measurement object based on the extracted electrical characteristic. Detect the temperature of the gas.

なお、本実施形態においては、金属キャップ14が特許請求の範囲における素子収容部材に相当し、セメント17が素子固定材に相当している。
以上説明したように、温度センサ1においては、感温素子2が金属キャップ14の内部に備えられることから、感温素子2が被測定物(排気ガス)に直接接することが無くなり、被測定物の影響により金属抵抗体415の劣化が生じるのを抑制できる。
In the present embodiment, the metal cap 14 corresponds to the element housing member in the claims, and the cement 17 corresponds to the element fixing material.
As described above, in the temperature sensor 1, since the temperature sensing element 2 is provided inside the metal cap 14, the temperature sensing element 2 is not in direct contact with the object to be measured (exhaust gas). It is possible to suppress the deterioration of the metal resistor 415 due to the influence of the above.

また、感温素子2のセラミックス基体414、セラミックス被覆層417および接合層416は、アルミナ純度99.9%以上(本実施形態では、99.9%)で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。   Further, the ceramic substrate 414, the ceramic coating layer 417, and the bonding layer 416 of the temperature sensitive element 2 are configured with an alumina purity of 99.9% or higher (99.9% in this embodiment), and are excellent in migration resistance. .

つまり、温度センサ1は、被測定物の影響による金属抵抗体415の劣化を抑制できるとともに、セラミックス基体414、セラミックス被覆層417および接合層416に含まれるアルミナ以外の成分によりマイグレーションが生じるのを抑制できることから、高温環境下(例えば、1000[℃])に晒される場合でも感温素子2の電気抵抗値が変動し難くなり、温度検出精度の低下を抑制できる。   In other words, the temperature sensor 1 can suppress the deterioration of the metal resistor 415 due to the influence of the object to be measured, and suppress the occurrence of migration due to components other than alumina contained in the ceramic base 414, the ceramic coating layer 417, and the bonding layer 416. Therefore, even when exposed to a high temperature environment (for example, 1000 [° C.]), the electric resistance value of the temperature sensitive element 2 is less likely to fluctuate, and a decrease in temperature detection accuracy can be suppressed.

また、セメント17が感温素子2および金属キャップ14にそれぞれ接する状態で金属キャップ14の内部に配置されているため、感温素子2は、セメント17を介して金属キャップ14に支持される状態で備えられる。このため、振動などの外力を受けやすい使用環境においても、感温素子2と金属キャップ14との衝突を防止でき、金属キャップ14との衝突に起因する感温素子2の破損を防止できる。また、感温素子2がセメント17を介して金属キャップ14により支持されることから、金属芯線7に対する感温素子2の相対的位置の移動を防止でき、感温素子2と金属芯線7との接続部分が断線するのを防止できる。   Further, since the cement 17 is disposed inside the metal cap 14 in contact with the temperature sensing element 2 and the metal cap 14, the temperature sensing element 2 is supported by the metal cap 14 via the cement 17. Provided. For this reason, even in a usage environment that is susceptible to external forces such as vibration, the temperature sensitive element 2 and the metal cap 14 can be prevented from colliding, and the temperature sensitive element 2 can be prevented from being damaged due to the collision with the metal cap 14. Moreover, since the temperature sensitive element 2 is supported by the metal cap 14 via the cement 17, the relative position of the temperature sensitive element 2 with respect to the metal core wire 7 can be prevented, and the temperature sensitive element 2 and the metal core wire 7 can be prevented from moving. It is possible to prevent the connection part from being disconnected.

さらに、感温素子2が金属キャップ14の内部に備えられることから、感温素子2に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子2でのクラック発生などの破損を抑制できる。   Further, since the temperature sensing element 2 is provided inside the metal cap 14, water drops or the like do not directly adhere to the temperature sensing element 2, so that the temperature sensing element 2 is caused by uneven temperature distribution due to the adhesion of water drops. Damage such as cracking can be suppressed.

なお、上記実施形態(以下、第1実施形態という)では、シース部材の先端部分を覆う形態の素子収容部材(金属キャップ)を備えて構成される温度センサについて説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることはない。   In the above-described embodiment (hereinafter referred to as the first embodiment), the temperature sensor configured to include an element housing member (metal cap) configured to cover the distal end portion of the sheath member has been described. The present invention is not limited to the embodiment.

次に、第2実施形態として、シース部材のうち取り付け部材よりも先端側に配置される部分の全てを覆う形態の素子収容部材(金属チューブ)を備えて構成される第2温度センサについて説明する。なお、第2温度センサ101は、取り付け部材にはネジ部および六角ナット部が形成されておらず、ネジ部および六角ナット部を有する部材を取り付け部材とは別体に備えて構成される。   Next, as a second embodiment, a second temperature sensor configured to include an element housing member (metal tube) configured to cover all of the portion of the sheath member that is disposed on the tip side of the attachment member will be described. . In addition, the 2nd temperature sensor 101 is provided with the member which has a screw part and a hexagon nut part as a separate body from an attachment member, without a screw part and a hexagon nut part being formed in the attachment member.

図4に、第2温度センサ101の構造を示す部分破断断面図を示す。
第2温度センサ101は、一対の金属芯線7を絶縁保持した第2シース部材108と、先端側が閉塞した軸線方向に延びる筒状の金属チューブ114と、金属チューブ114を支持する第2取り付け部材304と、を備えて構成されている。また、第2温度センサ101は、六角ナット部251およびネジ部252を有するナット部材205を備えて構成されている。
FIG. 4 is a partially broken sectional view showing the structure of the second temperature sensor 101.
The second temperature sensor 101 includes a second sheath member 108 that insulates and holds a pair of metal core wires 7, a cylindrical metal tube 114 that extends in the axial direction with the distal end closed, and a second attachment member 304 that supports the metal tube 114. And is configured. The second temperature sensor 101 includes a nut member 205 having a hexagonal nut portion 251 and a screw portion 252.

そして、第2温度センサ101は、金属チューブ114の内部に感温素子2を備えており、例えば、内燃機関の排気管に装着されて、感温素子2を排気ガスが流れる排気管内に配置させて、排気ガスの温度検出に使用することができる。つまり、第2温度センサ101は、いわゆる車両用温度センサに相当する。なお、感温素子2は、温度によって電気的特性(電気抵抗値)が変化する。   The second temperature sensor 101 includes the temperature sensing element 2 inside the metal tube 114. For example, the second temperature sensor 101 is attached to an exhaust pipe of an internal combustion engine, and the temperature sensing element 2 is disposed in an exhaust pipe through which exhaust gas flows. Thus, it can be used for temperature detection of exhaust gas. That is, the second temperature sensor 101 corresponds to a so-called vehicle temperature sensor. The temperature sensitive element 2 changes its electrical characteristics (electric resistance value) depending on the temperature.

感温素子2は、第1実施形態と同様の構成であり、説明を省略する。
金属芯線7は、先端側が感温素子2の引出リード線409と接続されており、後端側が抵抗溶接により加締め端子11と接続されている。これにより、金属芯線7は、自身の後端側が加締め端子11を介して外部回路(例えば、車両の電子制御装置(ECU)等)接続用のリード線12と接続されている。
The temperature sensitive element 2 has the same configuration as that of the first embodiment, and a description thereof is omitted.
The metal core wire 7 has a leading end connected to the lead wire 409 of the temperature sensitive element 2 and a rear end connected to the crimping terminal 11 by resistance welding. Thereby, the rear end side of the metal core wire 7 is connected to a lead wire 12 for connecting an external circuit (for example, an electronic control unit (ECU) of a vehicle) via the crimping terminal 11.

なお、第2温度センサ101は、温度センサ1と同様に、加締め端子11、絶縁チューブ15、リード線12、補助リング13、継手部材6を備えている。第2温度センサ101の構成部材のうち第1実施形態の温度センサ1と同様の構成部材については、第1実施形態と同一の符号で示すと共に、説明を省略する。   Similar to the temperature sensor 1, the second temperature sensor 101 includes a crimping terminal 11, an insulating tube 15, a lead wire 12, an auxiliary ring 13, and a joint member 6. Among the constituent members of the second temperature sensor 101, the same constituent members as those of the temperature sensor 1 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and description thereof is omitted.

第2シース部材108は、詳細は図示しないが、外筒、一対の金属芯線7、絶縁粉末を備えている点においては、第1実施形態のシース部材8と同様の構成であるが、軸方向寸法については、第1実施形態のシース部材8よりも長く設定された構成である。   Although not shown in detail, the second sheath member 108 has the same configuration as that of the sheath member 8 of the first embodiment in that it includes an outer cylinder, a pair of metal core wires 7, and insulating powder. About a dimension, it is the structure set longer than the sheath member 8 of 1st Embodiment.

金属チューブ114は、耐腐食性金属(例えば、SUS310SやSUS316などのステンレス合金)からなり、鋼板の深絞り加工によりチューブ先端側131が閉塞した軸線方向に延びる有底筒状をなし、筒状のチューブ後端側132が開放した形態で構成されている。金属チューブ114は、チューブ先端側131において感温素子2および第2シース部材108の先端側を収容し、且つ、チューブ後端側132が第2取り付け部材304の第2段部46の内面に当接するように、軸線方向寸法が設定されている。   The metal tube 114 is made of a corrosion-resistant metal (for example, a stainless alloy such as SUS310S or SUS316), has a bottomed cylindrical shape extending in the axial direction in which the tube distal end side 131 is closed by deep drawing of the steel plate, and has a cylindrical shape. The tube rear end side 132 is configured to be open. The metal tube 114 accommodates the temperature sensing element 2 and the distal end side of the second sheath member 108 on the tube distal end side 131, and the tube rear end side 132 contacts the inner surface of the second step portion 46 of the second attachment member 304. The axial dimension is set so as to touch.

なお、金属チューブ114には、熱処理が施されており、内外面に酸化膜が形成されている。
金属チューブ114は、内部に感温素子2および第1実施形態と同様のセメント17を収納している。そして、セメント17は、感温素子2の周囲に充填されることで、感温素子2および金属チューブ114にそれぞれ接する状態で備えられており、感温素子2の揺動を防止している。
The metal tube 114 is heat-treated, and an oxide film is formed on the inner and outer surfaces.
The metal tube 114 accommodates the temperature sensing element 2 and the same cement 17 as in the first embodiment. The cement 17 is provided around the temperature sensing element 2 so as to be in contact with the temperature sensing element 2 and the metal tube 114, respectively, and prevents the temperature sensing element 2 from swinging.

また、金属チューブ114は、感温素子2が配置される格納先端部115の内径寸法がそれ以外の部位の内径寸法よりも小さく形成されている。
第2取り付け部材304は、径方向外側に突出する第2突出部341と、第2突出部341の先端側に位置すると共に軸線方向に延びる第2振動補強部347と、第2振動補強部347の先端側に位置すると共に軸線方向に延びる第2接合部343と、第2突出部341の後端側に位置すると共に軸線方向に延びる後端側鞘部42と、を有している。
Further, the metal tube 114 is formed such that the inner diameter dimension of the storage distal end portion 115 where the temperature sensitive element 2 is disposed is smaller than the inner diameter dimension of the other portions.
The second attachment member 304 includes a second protrusion 341 that protrudes radially outward, a second vibration reinforcement 347 that is positioned on the distal end side of the second protrusion 341 and extends in the axial direction, and a second vibration reinforcement 347. And a rear end side sheath portion 42 that is located on the rear end side of the second projecting portion 341 and extends in the axial direction.

そして、第2取り付け部材304は、少なくとも金属チューブ114の先端が外部に露出する状態で金属チューブ114の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ114を支持する。   The second mounting member 304 supports the metal tube 114 by surrounding the outer peripheral surface on the rear end side of the metal tube 114 with at least the tip of the metal tube 114 exposed to the outside.

第2突出部341は、先端側向き縮径状のテーパ形状となる第2取り付け座345を先端側に有する環状に形成されている。第2取り付け座345は、図示しない排気管のセンサ取り付け位置における後端側向き拡径状のテーパ部に対応したテーパ形状である。   The 2nd protrusion part 341 is formed in the cyclic | annular form which has the 2nd attachment seat 345 used as the taper shape of diameter reduction shape toward the front end side at the front end side. The second mounting seat 345 has a tapered shape corresponding to a tapered portion having a diameter increasing toward the rear end side at a sensor mounting position of an exhaust pipe (not shown).

つまり、第2取り付け部材304は、排気管のセンサ取り付け位置に配置される際には、第2取り付け座345がセンサ取り付け位置のテーパ部に直接密着することで、排気ガスが排気管外部へ漏出するのを防止するよう構成されている。   That is, when the second mounting member 304 is disposed at the sensor mounting position of the exhaust pipe, the second mounting seat 345 is in close contact with the tapered portion of the sensor mounting position, so that the exhaust gas leaks out of the exhaust pipe. It is configured to prevent this.

第2接合部343は、金属チューブ114を内部に挿通可能な環状に形成されており、金属チューブ114の径方向周囲を取り囲んで金属チューブ114と接合される。また、第2接合部343は、加締めによる変形が可能となるように、厚さ寸法(環状の内径寸法と外径寸法との径差寸法)が薄く設定されている。   The second joint portion 343 is formed in an annular shape through which the metal tube 114 can be inserted, and surrounds the circumference of the metal tube 114 in the radial direction and is joined to the metal tube 114. In addition, the second joint portion 343 is set to have a thin thickness dimension (diameter difference between the annular inner diameter dimension and the outer diameter dimension) so that deformation by caulking is possible.

後端側鞘部42は、環状に形成されると共に、先端側に位置する第1段部44と、第1段部44よりも小さい外径を有する第2段部46と、を備える二段形状をなしている。このうち、第2段部46は、加締めによる変形が可能となるように、厚さ寸法(環状の内径寸法と外径寸法との径差寸法)が薄く設定されている。   The rear end side sheath portion 42 is formed in an annular shape, and includes a first step portion 44 located on the front end side and a second step portion 46 having an outer diameter smaller than that of the first step portion 44. It has a shape. Among these, the second step portion 46 is set to have a thin thickness dimension (diameter difference between the annular inner diameter dimension and the outer diameter dimension) so that deformation by caulking is possible.

そして、第2取り付け部材304は、自身の内部に金属チューブ114が挿通されたあと、第2接合部343および第2段部46のそれぞれに対して、径方向内向きの加締め作業およびアルゴン溶接作業(あるいは電子ビーム溶接作業)が行われることで、金属チューブ114の外周面を取り囲んで金属チューブ114を支持する。つまり、金属チューブ114は、第2接合部343および第2段部46に接合されることにより、第2取り付け部材304に固定される。   Then, after the metal tube 114 is inserted into the second attachment member 304, the second attachment member 304 is subjected to caulking work and argon welding inward in the radial direction with respect to the second joint part 343 and the second step part 46, respectively. By performing the work (or electron beam welding work), the metal tube 114 is supported by surrounding the outer peripheral surface of the metal tube 114. That is, the metal tube 114 is fixed to the second attachment member 304 by being joined to the second joint portion 343 and the second step portion 46.

なお、溶接作業により、第2接合部343と金属チューブ114とに跨る第2先端側溶接部362が形成され、第2段部46と金属チューブ114とに跨る第2後端側溶接部363が形成される。   In addition, the 2nd front end side welding part 362 straddling the 2nd junction part 343 and the metal tube 114 is formed by welding operation, and the 2nd rear end side welding part 363 straddling the 2nd step part 46 and the metal tube 114 is formed. It is formed.

第2振動補強部347は、金属チューブ114を内部に挿通可能な環状に形成されており、金属チューブ114が第2取り付け部材304に固定されることで、金属チューブ114の径方向周囲を取り囲み、金属チューブ114の移動範囲を制限する。   The second vibration reinforcing portion 347 is formed in an annular shape that allows the metal tube 114 to be inserted therein, and the metal tube 114 is fixed to the second attachment member 304 so as to surround the metal tube 114 in the radial direction. The movement range of the metal tube 114 is limited.

また、第2取り付け部材304のうち後端側鞘部42の第1段部44の径方向外側には、ステンレス合金からなる筒状の継手部材6が接合されている。具体的には、後端側鞘部42の第1段部44の外周面に継手部材6の内周面が重なり合うように、継手部材6が後端側鞘部42の第1段部44に圧入され、継手部材6と第1段部44とを周方向にわたってレーザー溶接している。このレーザー溶接がなされることにより、後端側鞘部42の第1段部44と継手部材6とに跨る継手溶接部61が形成される。   In addition, a cylindrical joint member 6 made of a stainless alloy is joined to the second attachment member 304 on the radially outer side of the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42. Specifically, the joint member 6 is connected to the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 so that the outer peripheral surface of the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 overlaps the inner peripheral surface of the joint member 6. The joint member 6 and the first step portion 44 are laser welded in the circumferential direction. By performing this laser welding, a joint welding portion 61 is formed across the first step portion 44 of the rear end side sheath portion 42 and the joint member 6.

継手部材6は、加締め端子11、絶縁チューブ15、補助リング13を内部に収容した状態で、補助リング13に対応する部分が径方向内向きに丸加締め或いは多角加締めされることで、補助リング13との間の気密性を保ちつつ補助リング13と加締め接合される。   The joint member 6 is a state in which the crimping terminal 11, the insulating tube 15, and the auxiliary ring 13 are accommodated therein, and a portion corresponding to the auxiliary ring 13 is circularly crimped or polygonally crimped inward in the radial direction. While maintaining airtightness between the auxiliary ring 13 and the auxiliary ring 13, it is crimped and joined.

第2取り付け部材304は、継手部材6の周囲にナット部材205が回動自在に嵌挿された状態で、第2取り付け座345がセンサ取り付け位置のテーパ面に当接するように配置された後、ナット部材205のネジ部252がセンサ取り付け位置の周囲に形成されたネジ溝に螺合されることで、センサ取り付け位置に固定される。つまり、第2取り付け部材304は、ナット部材205とセンサ取り付け位置のテーパ面との間に挟持される状態で固定される。また、第2取り付け部材304は、第2取り付け座345がセンサ取り付け位置のテーパ面に接することで、センサ取り付け位置での挿通方向における配置位置が決定される。   After the second mounting member 304 is disposed so that the second mounting seat 345 contacts the tapered surface of the sensor mounting position in a state where the nut member 205 is rotatably fitted around the joint member 6, The screw portion 252 of the nut member 205 is screwed into a screw groove formed around the sensor attachment position, so that the nut member 205 is fixed to the sensor attachment position. That is, the second attachment member 304 is fixed in a state of being sandwiched between the nut member 205 and the tapered surface at the sensor attachment position. In addition, the second mounting member 304 is arranged in the insertion direction at the sensor mounting position by the second mounting seat 345 coming into contact with the tapered surface of the sensor mounting position.

そして、リード線12を介して第2温度センサ101に接続された外部回路は、測定対象物の温度に応じて変化する感温素子2の電気的特性を取り出し、取り出した電気的特性に基づいて排気ガスの温度を検出する。   And the external circuit connected to the 2nd temperature sensor 101 via the lead wire 12 takes out the electrical property of the temperature sensing element 2 which changes according to the temperature of a measuring object, and based on the taken-out electrical property Detect the exhaust gas temperature.

なお、本実施形態においては、金属チューブ114が特許請求の範囲における素子収容部材に相当し、セメント17が素子固定材に相当している。
以上説明したように、第2温度センサ101は、上述した温度センサ1と同様に、感温素子2が金属チューブ114の内部に備えられることから、感温素子2が被測定物(排気ガス)に直接接することが無い構成である。また、感温素子2のセラミックス基体414、セラミックス被覆層417および接合層416は、アルミナ純度99.9%以上(本実施形態では、99.9%)で構成されており、耐マイグレーション性に優れる。
In the present embodiment, the metal tube 114 corresponds to the element housing member in the claims, and the cement 17 corresponds to the element fixing material.
As described above, the second temperature sensor 101 is provided with the temperature sensing element 2 inside the metal tube 114 in the same manner as the temperature sensor 1 described above. Therefore, the temperature sensing element 2 is the object to be measured (exhaust gas). It is the structure which does not touch directly. Further, the ceramic substrate 414, the ceramic coating layer 417, and the bonding layer 416 of the temperature sensitive element 2 are configured with an alumina purity of 99.9% or higher (99.9% in this embodiment), and are excellent in migration resistance. .

このように、第2温度センサ101は、温度センサ1と同様に、被測定物の影響による金属抵抗体415の劣化を抑制でき、セラミックス基体414、セラミックス被覆層417および接合層416に含まれるアルミナ以外の成分によりマイグレーションが生じるのを抑制できることから、高温環境下(例えば、1000[℃])に晒される場合にも、温度検出精度の低下を抑制できる。   As described above, the second temperature sensor 101 can suppress the deterioration of the metal resistor 415 due to the influence of the object to be measured, similarly to the temperature sensor 1, and the alumina contained in the ceramic base 414, the ceramic coating layer 417, and the bonding layer 416. Since it is possible to suppress the occurrence of migration due to components other than the above, it is possible to suppress a decrease in temperature detection accuracy even when exposed to a high temperature environment (for example, 1000 [° C.]).

また、セメント17が感温素子2および金属チューブ114にそれぞれ接する状態で金属チューブ114の内部に配置されており、感温素子2がセメント17を介して金属チューブ114に支持されることから、振動などの外力を受けやすい使用環境においても、金属チューブ114との衝突に起因する感温素子2の破損を防止できる。また、感温素子2がセメント17を介して金属チューブ114により支持されることから、金属芯線7に対する感温素子2の相対的位置の移動を防止でき、感温素子2と金属芯線7との接続部分が断線するのを防止できる。   Further, since the cement 17 is disposed inside the metal tube 114 in a state of being in contact with the temperature sensing element 2 and the metal tube 114, and the temperature sensing element 2 is supported by the metal tube 114 via the cement 17, vibration is caused. Even in a usage environment that is susceptible to external force such as the above, it is possible to prevent the temperature-sensitive element 2 from being damaged due to a collision with the metal tube 114. Further, since the temperature sensitive element 2 is supported by the metal tube 114 via the cement 17, the relative position of the temperature sensitive element 2 with respect to the metal core wire 7 can be prevented, and the temperature sensitive element 2 and the metal core wire 7 can be prevented from moving. It is possible to prevent the connection part from being disconnected.

さらに、感温素子2が金属チューブ114の内部に備えられることから、感温素子2に水滴などが直接付着することがないため、水滴の付着による温度分布の偏りに起因する感温素子2でのクラック発生などの破損を抑制できる。   Further, since the temperature sensing element 2 is provided inside the metal tube 114, water drops or the like do not directly adhere to the temperature sensing element 2, so that the temperature sensing element 2 is caused by uneven temperature distribution due to adhesion of water drops. Damage such as cracking can be suppressed.

また、第2温度センサ101においては、格納先端部115の内径寸法がそれ以外の部位の内径寸法よりも小さく形成された金属チューブ114を備えている。
このように、金属チューブ114のうち感温素子2が配置される格納先端部115の内径寸法を小さくすることで、金属チューブ114の内面から感温素子2までの距離が小さくなり、被測定物である排気ガスから感温素子2までの熱伝導時間を短縮することができる。
Further, the second temperature sensor 101 includes a metal tube 114 in which the inner diameter dimension of the storage distal end portion 115 is formed smaller than the inner diameter dimension of other portions.
Thus, by reducing the inner diameter of the storage tip 115 where the temperature sensing element 2 is arranged in the metal tube 114, the distance from the inner surface of the metal tube 114 to the temperature sensing element 2 is reduced, and the object to be measured Thus, the heat conduction time from the exhaust gas to the temperature sensing element 2 can be shortened.

よって、第2温度センサ101によれば、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性の向上を図ることができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることはなく、種々の態様をとることができる。
Therefore, according to the second temperature sensor 101, the time required for temperature detection can be shortened, and responsiveness in temperature detection can be improved.
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, It can take a various aspect.

例えば、素子収容部材(金属キャップ、金属チューブなど)については、外表面から内表面にかけての厚さ寸法(肉厚)が均一なものに限られることはなく、部位ごとに厚さ寸法(肉厚)が異なる態様の素子収容部材を用いることもできる。   For example, element housing members (metal caps, metal tubes, etc.) are not limited to those having a uniform thickness dimension (thickness) from the outer surface to the inner surface. ) May be used.

図5に、第2シース部材108の配置部分に比べて感温素子2の配置部分の肉厚が薄く形成された第2金属チューブ214における先端部分の拡大断面図を示す。なお、図においては、感温素子2および第2シース部材108の先端部分が内部に収容された状態の第2金属チューブ214を示している。   FIG. 5 shows an enlarged cross-sectional view of the distal end portion of the second metal tube 214 in which the thickness of the arrangement portion of the thermosensitive element 2 is made thinner than the arrangement portion of the second sheath member 108. In the figure, the second metal tube 214 is shown in a state in which the temperature sensing element 2 and the distal end portion of the second sheath member 108 are accommodated therein.

第2金属チューブ214は、感温素子2の配置部分(第2格納先端部215)の厚さ寸法T1が、第2シース部材108の配置部分(後端側部分)の厚さ寸法T2よりも小さく設定されており、第2金属チューブ214の外表面から感温素子2までの距離が小さくなる。なお、第2金属チューブ214においては、厚さ寸法T1が0.1[mm]であり、厚さ寸法T2が0.3[mm]である。   In the second metal tube 214, the thickness dimension T1 of the arrangement portion (second storage tip 215) of the temperature sensing element 2 is larger than the thickness dimension T2 of the arrangement portion (rear end side portion) of the second sheath member 108. The distance is set small, and the distance from the outer surface of the second metal tube 214 to the temperature sensitive element 2 becomes small. In the second metal tube 214, the thickness dimension T1 is 0.1 [mm], and the thickness dimension T2 is 0.3 [mm].

この第2金属チューブ214を備える温度センサは、被測定物(換言すれば、第2金属チューブ214の外表面)から感温素子2までの距離が小さくなり、被測定物から感温素子2までの熱伝導時間を短縮できることから、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性の向上を図ることができる。   In the temperature sensor including the second metal tube 214, the distance from the object to be measured (in other words, the outer surface of the second metal tube 214) to the temperature sensing element 2 is reduced, and the object from the object to be measured to the temperature sensing element 2 is reduced. Therefore, the time required for temperature detection can be shortened, and the responsiveness in temperature detection can be improved.

また、第2金属チューブ214は、感温素子2が配置される第2格納先端部215の内径寸法L1がそれ以外の部位の内径寸法L2よりも小さく形成されている。
このため、第2金属チューブ214を備える温度センサは、第2金属チューブ214の内面から感温素子2までの距離が小さくなり、被測定物から感温素子2までの熱伝導時間を短縮でき、温度検出に要する時間を短縮できることから、温度検出における応答性の向上を図ることができる。
Further, the second metal tube 214 is formed such that the inner diameter dimension L1 of the second storage distal end portion 215 where the temperature sensitive element 2 is disposed is smaller than the inner diameter dimension L2 of the other portion.
For this reason, in the temperature sensor including the second metal tube 214, the distance from the inner surface of the second metal tube 214 to the temperature sensing element 2 is reduced, and the heat conduction time from the object to be measured to the temperature sensing element 2 can be shortened. Since the time required for temperature detection can be shortened, responsiveness in temperature detection can be improved.

そして、第2金属チューブ214における厚さ寸法T1は、0.1[mm]に限られることはなく、例えば、厚さ寸法T2が0.3[mm]である場合には、厚さ寸法T1は、0.05〜0.2[mm]の範囲内に設定することにより、温度検出における応答性の向上を図ることができる。   The thickness dimension T1 of the second metal tube 214 is not limited to 0.1 [mm]. For example, when the thickness dimension T2 is 0.3 [mm], the thickness dimension T1 Can be set within the range of 0.05 to 0.2 [mm] to improve responsiveness in temperature detection.

なお、金属チューブに限らず、金属キャップにおいても、感温素子の配置部分(先端側部分)の厚さ寸法T1を他の部分(後端側部分)の厚さ寸法T2よりも小さく形成する構成や、感温素子が配置される先端側部分の内径寸法L1を他の部分よりも小さく形成する構成を採用してもよい。   Note that not only the metal tube but also the metal cap is formed such that the thickness dimension T1 of the temperature sensing element arrangement portion (front end side portion) is smaller than the thickness dimension T2 of the other portion (rear end side portion). Or you may employ | adopt the structure which forms the internal-diameter dimension L1 of the front end side part in which a temperature sensing element is arrange | positioned smaller than another part.

次に、素子収容部材は、その閉塞側から開口側に向かう軸線方向に対して垂直となる断面のうち、感温素子の配置位置における断面形状は円形状に限られることはなく、他の形状を採ることもできる。   Next, the element housing member is not limited to the circular shape in the cross-sectional shape at the position where the temperature-sensitive element is arranged among the cross-sections perpendicular to the axial direction from the closed side to the open side, and other shapes Can also be taken.

図6に、金属チューブ114のうち感温素子2の配置位置における断面形状として、3パターン(楕円形断面形状、四角形断面形状、六角形断面形状)の断面形状を表す説明図を示す。なお、図6では、金属チューブのうち図5におけるB−B視断面に相当する部分の断面形状を示している。   FIG. 6 is an explanatory diagram showing cross-sectional shapes of three patterns (an elliptical cross-sectional shape, a square cross-sectional shape, and a hexagonal cross-sectional shape) as the cross-sectional shape at the position where the temperature sensing element 2 is disposed in the metal tube 114. In addition, in FIG. 6, the cross-sectional shape of the part corresponded to the BB view cross section in FIG. 5 among metal tubes is shown.

断面パターン1に示す金属チューブ114は、感温素子2の配置位置における断面形状が楕円形断面形状に形成されており、断面パターン2に示す金属チューブ114は、断面形状が四角形断面形状に形成されており、断面パターン3に示す金属チューブ114は、断面形状が六角形断面形状に形成されている。   The cross-sectional shape of the metal tube 114 shown in the cross-sectional pattern 1 is formed in an elliptical cross-sectional shape at the position where the temperature sensing element 2 is arranged, and the cross-sectional shape of the metal tube 114 shown in the cross-sectional pattern 2 is formed in a square cross-sectional shape. The cross section of the metal tube 114 shown in the cross section pattern 3 is formed in a hexagonal cross section.

これらの金属チューブ114は、半径寸法が一定の円形となる円形断面形状の金属チューブに比べて、金属チューブ114の内部断面におけるセメント17の占有割合が小さくなることにより、相対的に当該内部断面における感温素子2の占有割合を大きくできる。   These metal tubes 114 are relatively smaller in the internal cross section because the occupation ratio of the cement 17 in the internal cross section of the metal tube 114 is smaller than that of the metal tube having a circular cross section having a circular shape with a constant radial dimension. The occupation ratio of the temperature sensitive element 2 can be increased.

つまり、断面形状が楕円形状あるいは多角形形状となる金属チューブ114を用いることで、金属チューブ114の内面と感温素子2との平均距離を小さくすることができ、被測定物から感温素子2までの熱伝導時間をより短縮することができる。   That is, by using the metal tube 114 whose cross-sectional shape is elliptical or polygonal, the average distance between the inner surface of the metal tube 114 and the temperature sensing element 2 can be reduced. The heat conduction time up to can be further shortened.

よって、このような金属チューブ114を備える温度センサは、温度検出に要する時間を短縮することができ、温度検出における応答性をさらに向上できる。
なお、金属チューブに限らず、金属キャップにおいても、感温素子の配置位置における断面形状を多角形あるいは楕円形に形成することで、温度検出における応答性をさらに向上できる。
Therefore, the temperature sensor including such a metal tube 114 can shorten the time required for temperature detection, and can further improve the responsiveness in temperature detection.
Note that not only the metal tube but also the metal cap can be further improved in responsiveness in temperature detection by forming the cross-sectional shape at the arrangement position of the temperature sensing element into a polygon or an ellipse.

また、上記実施形態では、感温素子2として、表面に金属抵抗体415を形成したアルミナ純度99.9%のセラミックス基体414と、同じくアルミナ純度99.9%のセラミックス被覆層417とを接合層416を介して接合した構造の感温素子を用いたが、焼成済みのセラミックス基体414に直接焼成済みのセラミックス被覆層417を載置した上で、両シート414,417の側面を接合部にて接合した構造の感温素子を用いても良い。   In the above embodiment, as the temperature sensitive element 2, the ceramic base 414 having an alumina purity of 99.9%, on which the metal resistor 415 is formed, and the ceramic coating layer 417 having an alumina purity of 99.9% are bonded to the bonding layer. The temperature sensing element having a structure joined via 416 was used. However, after placing the fired ceramic coating layer 417 directly on the fired ceramic base 414, the side surfaces of both sheets 414 and 417 were joined at the joint. A thermosensitive element having a bonded structure may be used.

温度センサの構造を示す部分破断断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of a temperature sensor. 感温素子の外観を表す平面図である。It is a top view showing the external appearance of a temperature sensing element. 図2における感温素子のA−A視断面における断面図である。It is sectional drawing in the AA cross section of the temperature sensing element in FIG. 第2温度センサの構造を示す部分破断断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of a 2nd temperature sensor. 第2金属チューブにおける先端部分の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the tip part in the 2nd metal tube. 金属チューブのうち感温素子の配置位置における断面形状として、3パターンの断面形状を表す説明図である。It is explanatory drawing showing cross-sectional shape of 3 patterns as cross-sectional shape in the arrangement position of a temperature sensing element among metal tubes.

符号の説明Explanation of symbols

1…温度センサ、2…感温素子、4…取り付け部材、7…金属芯線、8…シース部材、14…金属キャップ、15…絶縁チューブ、17…セメント、45…取り付け座、47…振動補強部、64…キャップ溶接部、101…第2温度センサ、108…第2シース部材、114…金属チューブ、214…第2金属チューブ、304…第2取り付け部材、345…第2取り付け座、347…第2振動補強部、409…引出リード線、414…セラミックス基体、415…金属抵抗体、416…接合層、417…セラミックス被覆層、418…厚膜パッド、419…リード線固定材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Temperature sensor, 2 ... Temperature sensing element, 4 ... Mounting member, 7 ... Metal core wire, 8 ... Sheath member, 14 ... Metal cap, 15 ... Insulating tube, 17 ... Cement, 45 ... Mounting seat, 47 ... Vibration reinforcement part , 64 ... Cap welding part, 101 ... Second temperature sensor, 108 ... Second sheath member, 114 ... Metal tube, 214 ... Second metal tube, 304 ... Second attachment member, 345 ... Second attachment seat, 347 ... First 2 vibration reinforcement parts, 409 ... lead wire, 414 ... ceramic substrate, 415 ... metal resistor, 416 ... bonding layer, 417 ... ceramic coating layer, 418 ... thick film pad, 419 ... lead wire fixing material.

Claims (4)

セラミックス基体上に膜状の金属抵抗体が形成されると共に、前記金属抵抗体のうち前記セラミックス基体と接する面とは反対側の面において前記金属抵抗体を被覆するセラミックス被覆層を有する感温素子と、
後端側が開口し、先端側が閉塞する有底筒状の素子収容部材と、を備え、
前記セラミックス基体および前記セラミックス被覆層は、アルミナ純度99.9%以上で構成され、
前記感温素子は、前記素子収容部材の内部に格納され、
前記感温素子および前記素子収容部材にそれぞれ接する状態で、前記素子収容部材の内部に配置される素子固定材を備えること、
を特徴とする温度センサ。
A thermosensitive element having a ceramic coating layer that covers the metal resistor on a surface of the metal resistor opposite to the surface in contact with the ceramic substrate, wherein a film-like metal resistor is formed on the ceramic substrate When,
A bottomed cylindrical element housing member whose rear end side is open and whose front end side is closed;
The ceramic substrate and the ceramic coating layer are configured with an alumina purity of 99.9% or more,
The temperature sensitive element is stored inside the element housing member,
An element fixing member disposed inside the element housing member in a state of being in contact with the temperature sensitive element and the element housing member,
Temperature sensor.
前記感温素子は、前記素子収容部材のうち先端側に位置する格納先端部内に格納され、
前記格納先端部の内径が、それ以外の前記素子収容部の部位の内径よりも小径であること、
を特徴とする請求項1に記載の温度センサ。
The temperature sensitive element is stored in a storage distal end located on the distal end side of the element accommodating member,
The inner diameter of the storage tip is smaller than the inner diameter of the other part of the element housing;
The temperature sensor according to claim 1.
前記感温素子は、前記素子収容部材のうち先端側に位置する格納先端部内に格納され、
前記格納先端部の厚さ寸法が、それ以外の前記素子収容部の部位の厚さ寸法よりも小さいこと、
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の温度センサ。
The temperature sensitive element is stored in a storage distal end located on the distal end side of the element accommodating member,
The thickness dimension of the storage tip is smaller than the thickness dimension of the other part of the element housing;
The temperature sensor according to claim 1, wherein:
前記素子収容部材は、閉塞側から開口側に向かう方向に対して垂直となる断面のうち、前記感温素子の配置位置における断面形状が多角形あるいは楕円形であること、
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の温度センサ。
Of the cross section perpendicular to the direction from the closing side to the opening side, the element housing member has a polygonal or elliptical cross-sectional shape at the position where the temperature sensitive element is disposed,
The temperature sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein:
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009041944A (en) * 2007-08-06 2009-02-26 Ngk Spark Plug Co Ltd Temperature sensor
JP2009085952A (en) * 2007-09-28 2009-04-23 Heraeus Sensor Technology Gmbh 1,200°c film resistor
KR101240911B1 (en) 2011-09-26 2013-03-11 주식회사 우진 Sheathed rtd using an improved resistance temperature detector element in response time and fabrication yield field
DE102015204023A1 (en) 2014-03-07 2015-09-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature-sensitive element and temperature sensor
DE102015204024A1 (en) 2014-03-07 2015-09-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature-sensitive element and temperature sensor
DE102015204059A1 (en) 2014-05-01 2015-11-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102015211546A1 (en) 2014-06-25 2015-12-31 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature sensor
JP2017032495A (en) * 2015-08-05 2017-02-09 日本特殊陶業株式会社 Thermo-sensitive element and temperature sensor
JP2017067458A (en) * 2015-09-28 2017-04-06 日本特殊陶業株式会社 Temperature sensor
DE102016219825A1 (en) 2015-10-13 2017-04-13 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature sensor
JP6150971B1 (en) * 2017-02-10 2017-06-21 株式会社岡崎製作所 Resistance thermometer sensor and manufacturing method thereof
DE102017206913A1 (en) 2016-04-27 2017-11-02 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor element, temperature sensor and method of manufacturing the temperature sensor element
JP7058377B1 (en) * 2021-10-14 2022-04-21 株式会社芝浦電子 Manufacturing method of temperature sensor and temperature sensor

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009041944A (en) * 2007-08-06 2009-02-26 Ngk Spark Plug Co Ltd Temperature sensor
JP2009085952A (en) * 2007-09-28 2009-04-23 Heraeus Sensor Technology Gmbh 1,200°c film resistor
JP2014132272A (en) * 2007-09-28 2014-07-17 Heraeus Sensor Technology Gmbh Film resistor of 1,200°c
KR101240911B1 (en) 2011-09-26 2013-03-11 주식회사 우진 Sheathed rtd using an improved resistance temperature detector element in response time and fabrication yield field
US9766134B2 (en) 2014-03-07 2017-09-19 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102015204023A1 (en) 2014-03-07 2015-09-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature-sensitive element and temperature sensor
DE102015204024A1 (en) 2014-03-07 2015-09-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature-sensitive element and temperature sensor
DE102015204023B4 (en) 2014-03-07 2022-04-28 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
US9989420B2 (en) 2014-05-01 2018-06-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102015204059B4 (en) 2014-05-01 2024-05-23 Niterra Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102015204059A1 (en) 2014-05-01 2015-11-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
US20150316422A1 (en) * 2014-05-01 2015-11-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102015211546B4 (en) 2014-06-25 2021-10-14 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor
JP2016008905A (en) * 2014-06-25 2016-01-18 日本特殊陶業株式会社 Temperature sensor
US9752936B2 (en) 2014-06-25 2017-09-05 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor
DE102015211546A1 (en) 2014-06-25 2015-12-31 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature sensor
JP2017032495A (en) * 2015-08-05 2017-02-09 日本特殊陶業株式会社 Thermo-sensitive element and temperature sensor
DE102016009523A1 (en) 2015-08-05 2017-02-09 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
DE102016009523B4 (en) 2015-08-05 2022-03-31 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensitive element and temperature sensor
JP2017067458A (en) * 2015-09-28 2017-04-06 日本特殊陶業株式会社 Temperature sensor
DE102016219825A1 (en) 2015-10-13 2017-04-13 Ngk Spark Plug Co., Ltd. temperature sensor
DE102016219825B4 (en) 2015-10-13 2024-05-08 Niterra Co., Ltd. Temperature sensor
DE102017206913A1 (en) 2016-04-27 2017-11-02 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor element, temperature sensor and method of manufacturing the temperature sensor element
WO2018146787A1 (en) * 2017-02-10 2018-08-16 株式会社岡崎製作所 Resistance temperature sensor and method for fabricating same
JP6150971B1 (en) * 2017-02-10 2017-06-21 株式会社岡崎製作所 Resistance thermometer sensor and manufacturing method thereof
JP7058377B1 (en) * 2021-10-14 2022-04-21 株式会社芝浦電子 Manufacturing method of temperature sensor and temperature sensor
WO2023062787A1 (en) * 2021-10-14 2023-04-20 株式会社芝浦電子 Temperature sensor and method for manufacturing temperature sensor

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