JP2006231194A - Blade application apparatus - Google Patents

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Shinsuke Takahashi
伸輔 高橋
Takayoshi Ose
隆義 大瀬
Hiroyuki Kobayashi
浩行 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blade application apparatus which has simple configuration, furthermore stably supplies a coating liquid of a quantity matching with the quantity to be used in each part of a surface to be coated, and consequently forms a coating liquid layer having uniform thickness in any direction and excellent surface profile. <P>SOLUTION: In the blade application apparatus 100, a coating liquid layer corresponding to an opening 27 of a mask 25 on a flat substrate D is formed by lapping the mask 25 having the opening 27 on the flat substrate D, supplying the coating liquid 49 on the mask 25 and applying the coating liquid 49 with a blade 51 moving relatively to the mask. The blade coating apparatus is provided with a groove 39 formed to be recessed from the mask 25 surface and crossing the moving direction of the blade 51 at a right angle, a coating liquid discharge port 41 provided on the bottom part of the groove 39 and for discharging the coating liquid 49 and a coating liquid supply means 81 for supplying the coating liquid 49 to the coating liquid discharge port 41. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ブレード塗布装置に関し、特にマスク上に塗布液を供給する塗布液供給装置を備えたブレード塗布装置に関する。   The present invention relates to a blade coating apparatus, and more particularly to a blade coating apparatus including a coating liquid supply apparatus that supplies a coating liquid onto a mask.

光ディスク等のディスク状記録媒体に塗布液を100μm程度の厚さに塗布して、印刷可能な塗布液層(インク受理層)を形成する従来のブレード塗布装置としては、図12に示すものがある。このブレード塗布装置1は、光ディスクDを吸着載置する吸着台2、光ディスクDを吸着台2と共に上下方向に移動させるエアシリンダ3、円形縁部4aで画成された開口8を有するマスク板(マスク)4、及びマスク板4上を所定の隙間を保ちながら水平駆動されて塗布液6を光ディスクDに塗布し、塗布液層9を形成するブレード5を備えている。   As a conventional blade coating apparatus for forming a printable coating liquid layer (ink receiving layer) by coating a coating liquid on a disc-shaped recording medium such as an optical disk to a thickness of about 100 μm, there is the one shown in FIG. . This blade coating apparatus 1 includes a suction table 2 for sucking and mounting an optical disk D, an air cylinder 3 for moving the optical disk D in the vertical direction together with the suction table 2, and a mask plate having an opening 8 defined by a circular edge 4a ( (Mask) 4 and a blade 5 that forms a coating liquid layer 9 by applying the coating liquid 6 to the optical disc D by being driven horizontally while maintaining a predetermined gap on the mask plate 4.

このようなブレード塗布装置1による塗布液6の塗布は、図12(a)に示すように、吸着台2上に光ディスクDを載置して吸着固定した後、エアシリンダ3を作動して光ディスクDを上昇させ、これによりマスク板4を光ディスクD上に重ね合わる。そして、マスク板4上に塗布液6を供給しながら、マスク板4上方でブレード5を矢印A方向に相対移動することにより、塗布液6をマスク板4の開口8から露出する光ディスクDの塗布面に塗布する。次いで、図12(b)に示すように、エアシリンダ3を作動して吸着台2を下降(矢印B方向)させてマスク板4から光ディスクDを離反させ、光ディスクD上にマスク板4の開口8に応じた塗布液層9を形成する。   As shown in FIG. 12A, the application of the coating liquid 6 by the blade coating apparatus 1 is performed by placing the optical disk D on the suction table 2 and fixing it by suction, and then operating the air cylinder 3 to operate the optical disk. D is raised, whereby the mask plate 4 is overlaid on the optical disk D. Then, while supplying the coating liquid 6 onto the mask plate 4, the blade 5 is relatively moved in the direction of arrow A above the mask plate 4, whereby the coating liquid 6 is applied to the optical disk D exposed from the opening 8 of the mask plate 4. Apply to the surface. Next, as shown in FIG. 12B, the air cylinder 3 is operated to lower the suction table 2 (in the direction of arrow B) to separate the optical disk D from the mask plate 4, and the opening of the mask plate 4 on the optical disk D is opened. A coating liquid layer 9 corresponding to 8 is formed.

このようなブレード塗布装置1において、マスク板4上への塗布液6の供給は、マスク板4の上方に配設された塗布液供給機構(図示せず)により行われる。塗布液供給機構は、塗布液供給ノズルと、塗布液供給装置と、ノズル昇降装置とからなり、塗布液供給装置から供給される塗布液6は、塗布液供給ノズルから開口8と待機状態のブレード5との間の
マスク板4上に滴下供給される。塗布液供給ノズルは、ブレード5との干渉を防止するために、塗布液6を滴下供給するときだけノズル昇降装置によってマスク板4の近傍高さに移動(即ち、下降)し、通常は塗布工程に支障とならない位置まで上昇して待機状態とされる。
In such a blade coating apparatus 1, the supply of the coating liquid 6 onto the mask plate 4 is performed by a coating liquid supply mechanism (not shown) disposed above the mask plate 4. The coating solution supply mechanism includes a coating solution supply nozzle, a coating solution supply device, and a nozzle lifting device. The coating solution 6 supplied from the coating solution supply device has an opening 8 and a standby blade from the coating solution supply nozzle. 5 is dripped and supplied onto the mask plate 4. In order to prevent interference with the blade 5, the coating liquid supply nozzle is moved (that is, lowered) to the vicinity of the mask plate 4 by the nozzle lifting device only when the coating liquid 6 is supplied dropwise, and is usually applied in the coating process. Ascend to a position where it does not interfere with the situation and enter a standby state.

また、ブレード塗布装置に類似する技術を有する装置として、フラックス供給装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。図13はフラックス供給装置を示し、図13(a)はフラックス供給装置の要部斜視図、図13(b)は図13(a)におけるP−P矢視縦断面図である。フラックス供給装置10はボールマウンタ(図示せず)のフラックス供給部として用いられる。ボールマウンタは、転写ユニット(図示せず)およびボールマウントヘッドを備え、フラックステーブル91に供給されたフラックス98を転写ユニットに付着して位置決めされたワーク(図示せず)に転写し、更に転写されたフラックス98上にハンダボールをマウントするなどの処理を行う。   Moreover, a flux supply apparatus is known as an apparatus having a technique similar to a blade coating apparatus (see, for example, Patent Document 1). FIG. 13 shows a flux supply device, FIG. 13 (a) is a perspective view of the main part of the flux supply device, and FIG. 13 (b) is a vertical cross-sectional view taken along the line PP in FIG. 13 (a). The flux supply device 10 is used as a flux supply unit of a ball mounter (not shown). The ball mounter includes a transfer unit (not shown) and a ball mount head, and transfers the flux 98 supplied to the flux table 91 to a workpiece (not shown) positioned by being attached to the transfer unit and further transferred. For example, a solder ball is mounted on the flux 98.

図13に示すように、フラックス供給装置10は、フラックステーブル91、スキージ92、フラックス供給ボトル93、残量センサ94を備える。フラックステーブル91は、その上面に一段低く形成されたフラックス層形成部91aが設けられている。フラックス層形成部91a内にはフラックス吐出口96が開口し、フラックス層形成部91a外のフラックステーブル91の上面にはフラックス供給ボトル93の受け口97が形成され、フラックス吐出口96と受け口97とはフラックス供給路95により連通する。そして、フラックス供給ボトル93から受け口97、フラックス供給路95、およびフラックス吐出口96を通ってフラックス層形成部91aに供給されたフラックス98は、スキージ92が水平方向に作動することにより薄膜状のフラックス層となる。
特開平10−75044号公報
As shown in FIG. 13, the flux supply device 10 includes a flux table 91, a squeegee 92, a flux supply bottle 93, and a remaining amount sensor 94. The flux table 91 is provided with a flux layer forming portion 91a formed one step lower on the upper surface thereof. A flux discharge port 96 is opened in the flux layer forming portion 91a, and a receiving port 97 for the flux supply bottle 93 is formed on the upper surface of the flux table 91 outside the flux layer forming portion 91a. The flux supply path 95 communicates. The flux 98 supplied from the flux supply bottle 93 to the flux layer forming portion 91a through the receiving port 97, the flux supply path 95, and the flux discharge port 96 is a thin film-like flux when the squeegee 92 operates in the horizontal direction. Become a layer.
JP-A-10-75044

ところが、図12に示す従来のブレード塗布装置1によると、塗布液供給機構がマスク板4の上方に配置されているので、塗布液6を塗布液供給ノズルからマスク板4上に滴下供給する際、塗布液6の液はねが生じて、その飛沫が光ディスクDの塗布液層9に付着し、塗布液層9の表面性状を劣化させ、その後の印刷等において不具合を生じる問題があった。また、塗布液6の飛沫により、ブレード塗布装置1の周囲を汚染する虞があった。更に、塗布液6を滴下供給するときに空気を巻き込み、塗布液6内に気泡が混入して良好な塗布液層9の確保が困難となる欠点があった。
飛沫の影響を排除するために、光ディスクから、より離れた位置に供給することも考えられるが、マスク板4の非製品部(助走区間)を必要以上に長く確保することとなり、装置の大型化、塗布液の使用量増大等の不具合となる。
However, according to the conventional blade coating apparatus 1 shown in FIG. 12, since the coating liquid supply mechanism is arranged above the mask plate 4, when the coating liquid 6 is dropped onto the mask plate 4 from the coating liquid supply nozzle. The liquid splash of the coating liquid 6 occurs, and the splash adheres to the coating liquid layer 9 of the optical disc D, which deteriorates the surface properties of the coating liquid layer 9 and causes problems in subsequent printing and the like. In addition, the surroundings of the blade coating apparatus 1 may be contaminated by the spray of the coating liquid 6. Furthermore, there is a drawback that it is difficult to secure a good coating liquid layer 9 because air is entrained when the coating liquid 6 is supplied dropwise, and bubbles are mixed in the coating liquid 6.
In order to eliminate the influence of splashing, it may be possible to supply the optical disc at a position further away from the optical disc, but the non-product part (running section) of the mask plate 4 will be secured longer than necessary, and the apparatus will be enlarged. This causes problems such as an increase in the amount of coating solution used.

また、塗布液供給ノズルから吐出する塗布液6は、マスク板4上の一点に集中供給されるので、幅の広い塗布面に塗布する場合、塗布液6は横方向、即ち、ブレード5の長手方向に広がり難く、塗布面の全面に亘って厚さが均一な塗布液層9を形成し難かった。即ち、塗布液層9の厚さのバラツキは、縦方向(ブレード5の移動方向)のバラツキに対して横方向(ブレード5の移動方向に直交する方向)のバラツキが大きくなる傾向があり、後の印刷において印刷不良の要因となり、好ましくなかった。また、マスク板4上を往復移動するブレード5との干渉を防止するため、塗布液供給ノズルを昇降させるノズル昇降装置が必要となり、装置が複雑となる問題があった。   Further, since the coating liquid 6 discharged from the coating liquid supply nozzle is concentrated and supplied to one point on the mask plate 4, when coating on a wide coating surface, the coating liquid 6 is lateral, that is, the length of the blade 5. It was difficult to spread in the direction, and it was difficult to form the coating liquid layer 9 having a uniform thickness over the entire coated surface. That is, the variation in the thickness of the coating liquid layer 9 tends to increase in the lateral direction (direction perpendicular to the moving direction of the blade 5) with respect to the vertical direction (moving direction of the blade 5). This is not preferable because it causes printing failure. Further, in order to prevent interference with the blade 5 reciprocatingly moving on the mask plate 4, a nozzle lifting device that lifts and lowers the coating liquid supply nozzle is required, which causes a problem that the device becomes complicated.

特許文献1に開示されているフラックス供給装置10は、フラックステーブル91に設けられたフラックス層形成部91a内にフラックス吐出口96が開口し、該フラックス吐出口96からフラックス98を供給するので、上方に配設されたノズルなどからフラックス98を滴下供給する場合と比較すると、フラックス98の液はね、空気の巻き込みの虞はない。しかし、フラックス吐出口96は、製品部であるフラックス層形成部91aに形成されているので、フラックス吐出口96の配置位置や形状などが制限される場合が多く、均一な塗布液層(フラックス層)が得られない虞があった。   In the flux supply device 10 disclosed in Patent Document 1, the flux discharge port 96 is opened in the flux layer forming portion 91a provided in the flux table 91, and the flux 98 is supplied from the flux discharge port 96. Compared with the case where the flux 98 is supplied dropwise from a nozzle or the like disposed in the nozzle, there is no risk of splashing of the flux 98 or air entrainment. However, since the flux discharge port 96 is formed in the flux layer forming portion 91a which is a product portion, the arrangement position and shape of the flux discharge port 96 are often limited, and a uniform coating liquid layer (flux layer) ) May not be obtained.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な機構により、どの方向にも均一な厚さを有し、且つ良好な表面性状を有する塗布液層を形成することができるブレード塗布装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to form a coating liquid layer having a uniform thickness in any direction and a good surface property by a simple mechanism. It is an object of the present invention to provide a blade coating device that can be used.

本発明に係る上記目的は、下記構成により達成できる。
(1) 開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布して、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布装置であって、
前記マスク表面から窪んで形成され前記ブレードの移動方向に対して直交する溝と、
前記溝の底部に設けられ前記塗布液を吐出する塗布液吐出口と、
前記塗布液吐出口に塗布液を供給する塗布液供給手段と、
を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。
The above object of the present invention can be achieved by the following configuration.
(1) A mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask with a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating apparatus for forming a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate,
Grooves recessed from the mask surface and perpendicular to the direction of movement of the blade;
A coating liquid discharge port that is provided at the bottom of the groove and discharges the coating liquid;
A coating solution supply means for supplying a coating solution to the coating solution discharge port;
A blade coating apparatus comprising:

このように構成されたブレード塗布装置によれば、マスク上の溝内の塗布液吐出口から塗布液が供給されると、まず、溝内に塗布液が満たされて、その後、塗布液が溝から盛り上がり、マスク上でブレードと塗布液が接触可能な状態となる。このブレードと接触可能な状態となったときには、塗布液が溝の長手方向に沿って均等に盛られた状態となり、ブレードの長手方向に沿って均等な塗布液の供給が可能となる。また、マスク上方に塗布液供給機構を設けることなく、マスク表面に形成された溝の塗布液吐出口から塗布液を連続的に供給することができる。従って、ブレードの移動機構が塗布液供給機構との干渉を考慮する制約がなくなり、装置全体の機構を簡略化できる。また、液はねや塗布液内への気泡の混入が防止されて塗布液が常に安定して供給される。   According to the blade coating apparatus configured as described above, when the coating liquid is supplied from the coating liquid discharge port in the groove on the mask, the groove is first filled with the coating liquid, and then the coating liquid is grooved. As a result, the blade is brought into contact with the coating liquid on the mask. When the blade can come into contact with the blade, the coating liquid is evenly stacked along the longitudinal direction of the groove, and the coating liquid can be supplied evenly along the longitudinal direction of the blade. Further, the coating liquid can be continuously supplied from the coating liquid discharge port of the groove formed on the mask surface without providing the coating liquid supply mechanism above the mask. Therefore, there is no restriction that the blade moving mechanism considers interference with the coating liquid supply mechanism, and the mechanism of the entire apparatus can be simplified. Further, the splashing of the liquid and the mixing of bubbles into the coating liquid are prevented, and the coating liquid is always supplied stably.

(2) 前記塗布液吐出口が、前記溝内で前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って複数箇所に配置されたことを特徴とする上記(1)記載のブレード塗布装置。   (2) The blade coating apparatus according to (1), wherein the coating liquid discharge ports are arranged at a plurality of locations along a direction orthogonal to the blade moving direction in the groove.

このように構成されたブレード塗布装置によれば、ブレードの移動方向に直交する方向、即ち、ブレードの長手方向に沿う複数箇所に塗布液を供給することができる。これにより、ブレードの長手方向にも塗布液を均等に供給することができ、塗布液の供給量を均一にすることができる。   According to the blade coating apparatus configured as described above, the coating liquid can be supplied to a plurality of locations along the direction perpendicular to the moving direction of the blade, that is, the longitudinal direction of the blade. Thus, the coating liquid can be evenly supplied also in the longitudinal direction of the blade, and the supply amount of the coating liquid can be made uniform.

(3) 前記溝を前記ブレード移動方向に対して異なる位置で、それぞれ溝の長手方向幅を異ならせて複数列形成したことを特徴とする上記(1)または(2)記載のブレード塗布装置。   (3) The blade coating apparatus according to (1) or (2) above, wherein the grooves are formed in a plurality of rows at different positions with respect to the blade moving direction, and the grooves have different longitudinal widths.

このように構成されたブレード塗布装置によれば、塗布液の消費量の多い部分に、複数列の溝を形成し、消費量に見合った多量の塗布液を供給することができる。また、これによって、塗布液層の厚さは、各部で均一な厚さとなる。   According to the blade coating apparatus configured as described above, a plurality of rows of grooves are formed in a portion where the consumption amount of the coating solution is large, and a large amount of coating solution corresponding to the consumption amount can be supplied. This also makes the thickness of the coating liquid layer uniform in each part.

(4) 前記溝を前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って溝幅を変化させて形成したことを特徴とする上記(1)又は(2)記載のブレード塗布装置。   (4) The blade coating apparatus according to (1) or (2), wherein the groove is formed by changing a groove width along a direction orthogonal to the blade moving direction.

このように構成されたブレード塗布装置によれば、塗布液消費量の多い塗布面に対応して配置される溝の溝幅を広く形成し、また塗布液消費量の少ない塗布面に対応して配置される溝の溝幅を狭く形成することにより、各部の塗布液消費量に見合った量の塗布液を容易に供給することができる。これにより、各部の塗布液層の厚さを均一化できる。   According to the blade coating apparatus configured in this way, the groove width of the groove disposed corresponding to the coating surface with a large amount of coating liquid consumption is formed wide, and also corresponding to the coating surface with a small amount of coating liquid consumption. By narrowing the groove width of the groove to be disposed, it is possible to easily supply an amount of the coating liquid corresponding to the coating liquid consumption of each part. Thereby, the thickness of the coating liquid layer of each part can be equalized.

(5) 前記溝が前記マスクの開口の両脇側に少なくとも一対設けられ、前記ブレードが前記両脇側の溝を通過する位置までの間を移動することを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれか1項記載のブレード塗布装置。   (5) At least one pair of the grooves is provided on both sides of the opening of the mask, and the blade moves to a position passing through the grooves on both sides. The blade coating apparatus according to any one of 4).

このように構成されたブレード塗布装置によれば、ブレードを往復動させると、その移動パス毎に塗布工程を実施することができ、塗布工程のタクトタイムを短縮することができる。   According to the blade coating apparatus configured as described above, when the blade is reciprocated, the coating process can be performed for each movement path, and the tact time of the coating process can be shortened.

本発明のブレード塗布装置によれば、簡単な機構により、各部の消費量に見合った量の塗布液が安定して供給され、これにより、どの方向にも均一な厚さを有し、且つ良好な表面性状を有する塗布液層を形成することができる。   According to the blade coating apparatus of the present invention, an amount of coating liquid corresponding to the consumption amount of each part is stably supplied by a simple mechanism, thereby having a uniform thickness in any direction and good It is possible to form a coating liquid layer having a satisfactory surface property.

以下、本発明に係るブレード塗布装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a blade coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1は本発明に係るブレード塗布装置の概略を表す構成図、図2は図1に示したブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a blade coating apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the appearance of the blade coating apparatus shown in FIG.

本実施の形態によるブレード塗布装置100は、例えば平面基板の一例であるディスク状記録媒体(光ディスク)Dを被塗布部材とする液膜の塗布に用いられる。
まず、ブレード塗布装置100の基本構成について説明する。
図1に示すように、ブレード塗布装置100の塗布部11には、光ディスクDが吸着載置可能となる円形状の吸着台13が設けられる。この吸着台13の上面には複数の吸着孔15が開口されて、各吸着孔15には吸引路17を介して真空ポンプ19が接続される。吸着台13は、真空ポンプ19が作動することで吸着孔15を介して光ディスクDを上面に吸着保持することができる。
The blade coating apparatus 100 according to the present embodiment is used for coating a liquid film using, for example, a disk-shaped recording medium (optical disk) D, which is an example of a flat substrate, as a member to be coated.
First, the basic configuration of the blade coating apparatus 100 will be described.
As shown in FIG. 1, the applicator 11 of the blade applicator 100 is provided with a circular suction table 13 on which the optical disk D can be sucked and placed. A plurality of suction holes 15 are opened on the upper surface of the suction table 13, and a vacuum pump 19 is connected to each suction hole 15 via a suction path 17. The suction table 13 can hold the optical disk D on the upper surface through the suction holes 15 by operating the vacuum pump 19.

また、吸着台13は、昇降軸21によって下面中央が上下方向に移動自在に支持される。この昇降軸21の上下移動は、マスク剥離手段の一例であるエアシリンダ23の駆動によりなされる。そして、吸着台13の上方にはマスク板(マスク)25が設けられ、マスク板25は光ディスクDの塗布面57を露出させる開口27を有している。吸着台13に載置された光ディスクDは、エアシリンダ23の駆動によって昇降軸21が上昇して、上限位置に到達したときに、外周縁がマスク板25の開口縁部25aによって覆われる。   Further, the suction table 13 is supported by the lifting shaft 21 so that the center of the lower surface is movable in the vertical direction. The vertical movement of the elevating shaft 21 is performed by driving an air cylinder 23 which is an example of a mask peeling means. A mask plate (mask) 25 is provided above the suction table 13, and the mask plate 25 has an opening 27 for exposing the application surface 57 of the optical disk D. The optical disk D placed on the suction table 13 is covered with the opening edge 25 a of the mask plate 25 when the elevating shaft 21 is raised by driving the air cylinder 23 and reaches the upper limit position.

また、塗布部11には、光ディスクDの中央部上方に、マスクキャップ着脱手段29が具備される。マスクキャップ着脱手段29は、キャップ吸着ノズル31と、真空ポンプ33と、昇降手段35とからなる。マスクキャップ着脱手段29は、真空ポンプ33の駆動によってキャップ吸着ノズル31の下端に、マスクキャップ37を吸着保持する。この状態で昇降手段35が駆動されることで、キャップ吸着ノズル31が下降して、光ディスクDの中央部の穴にマスクキャップ37が挿着されるようになっている。なお、マスクキャップ(センターキャップ)37は、これに限らず、他の機械的手段で脱着してもよい。例えば、マスクキャップ37の下方から突き上げてマスク板25から浮き上がらせ、マスクキャップ37を、その側方からすくい取る等の方法がある。   The coating unit 11 is provided with a mask cap attaching / detaching means 29 above the center of the optical disc D. The mask cap attaching / detaching means 29 includes a cap suction nozzle 31, a vacuum pump 33, and an elevating means 35. The mask cap attaching / detaching means 29 sucks and holds the mask cap 37 at the lower end of the cap suction nozzle 31 by driving the vacuum pump 33. When the elevating means 35 is driven in this state, the cap suction nozzle 31 is lowered, and the mask cap 37 is inserted into the hole in the center of the optical disc D. Note that the mask cap (center cap) 37 is not limited to this, and may be detached by other mechanical means. For example, there is a method in which the mask cap 37 is pushed up from below and lifted from the mask plate 25, and the mask cap 37 is scooped from the side.

開口27より外側のマスク板25の表面には、後述するブレード51の移動方向(図1において左右方向)に対して直交する方向、即ち、紙面に垂直方向に沿って長手方向を有する長溝39が、マスク板25の表面より一段低く窪んで形成されている。長溝39の長手方向長さは、マスク板25の開口27の長さ(ブレード51の移動方向に対して直交する方向長さ)と略同じ長さに設定される。長溝39の底面には、ブレード51の移動方向に対して直交する方向に複数の塗布液吐出口41が形成されている。各塗布液吐出口41は互いに連通しており、マスク板25に形成された塗布液供給路43を介して塗布液供給手段81に接続されている。塗布液供給手段81は、塗布液供給ポンプ45および塗布液タンク47を備える。そして、塗布液供給ポンプ45は、塗布液タンク47に貯留された塗布液49を圧送して、塗布液吐出口41から吐出して長溝39内に供給する。   On the surface of the mask plate 25 outside the opening 27, there is a long groove 39 having a longitudinal direction in a direction perpendicular to the moving direction of the blade 51 (left and right direction in FIG. 1), that is, a direction perpendicular to the paper surface. The mask plate 25 is formed so as to be recessed one step lower than the surface. The length of the long groove 39 in the longitudinal direction is set to be substantially the same as the length of the opening 27 of the mask plate 25 (the length in the direction perpendicular to the moving direction of the blade 51). A plurality of coating liquid discharge ports 41 are formed on the bottom surface of the long groove 39 in a direction orthogonal to the moving direction of the blade 51. The coating liquid discharge ports 41 communicate with each other and are connected to the coating liquid supply means 81 via a coating liquid supply path 43 formed in the mask plate 25. The coating liquid supply means 81 includes a coating liquid supply pump 45 and a coating liquid tank 47. The coating liquid supply pump 45 pumps the coating liquid 49 stored in the coating liquid tank 47, discharges it from the coating liquid discharge port 41, and supplies it into the long groove 39.

ここで、塗布液49は、例えば、液粘度が150cP〜800cPのものが利用でき、特に、200cP〜600cPの塗布液49が好適に用いられる。なお、ここでいう液粘度は、25℃の環境下でB型粘度計(ビスメトロン)により測定した値である。   Here, as the coating liquid 49, for example, one having a liquid viscosity of 150 cP to 800 cP can be used, and in particular, the coating liquid 49 of 200 cP to 600 cP is preferably used. In addition, the liquid viscosity here is a value measured with a B-type viscometer (bismetholone) in an environment of 25 ° C.

長溝39のさらに外側には、ブレード51が待機状態で配置される。換言すれば、塗布液49は、塗布液吐出口41からブレード51の助走区間に供給されることになる。ブレード51は、移動手段53によってマスク板25上を所定の隙間Gを保ちながら水平駆動され、前側面55で塗布液49を押しながら、図2に示すように、マスク板25の開口27によって露出された光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布するように移動する。   The blade 51 is arranged in a standby state further outside the long groove 39. In other words, the coating liquid 49 is supplied from the coating liquid discharge port 41 to the running section of the blade 51. The blade 51 is horizontally driven on the mask plate 25 while maintaining a predetermined gap G by the moving means 53, and is exposed through the opening 27 of the mask plate 25 as shown in FIG. It moves so that the coating liquid 49 may be apply | coated to the application | coating surface 57 of the optical disk D made.

ブレード51は、図1の紙面垂直方向に長尺に形成されたステンレス材等の金属材料からなり、ブレード51長手方向に垂直方向の断面形状が、略台形形状に形成されている。また、ブレード51の下面59とマスク板25との間には隙間(ギャップ)Gが形成され、塗布液49はブレード51の前側面55により流れが案内されるに伴い押圧されることで、このギャップGに押し込まれる。そして、塗布面57に対面するブレード51の下面(押圧面)59を通過することで塗布液49がマスク板25の開口27内に充填される。その結果、塗布面57に塗布液49が平坦に塗布されるようになる。   The blade 51 is made of a metal material such as a stainless steel material that is elongated in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, and the cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the blade 51 is formed in a substantially trapezoidal shape. Further, a gap (gap) G is formed between the lower surface 59 of the blade 51 and the mask plate 25, and the coating liquid 49 is pressed as the flow is guided by the front side surface 55 of the blade 51. It is pushed into the gap G. The coating liquid 49 is filled in the opening 27 of the mask plate 25 by passing through the lower surface (pressing surface) 59 of the blade 51 facing the coating surface 57. As a result, the coating liquid 49 is applied to the coating surface 57 flatly.

上記した真空ポンプ19、エアシリンダ23、真空ポンプ33、昇降手段35、塗布液供給ポンプ45、移動手段53は、それぞれが制御部63によって動作が制御される。   The operations of the vacuum pump 19, the air cylinder 23, the vacuum pump 33, the lifting / lowering means 35, the coating liquid supply pump 45, and the moving means 53 are controlled by the control unit 63.

また、マスク板25の開口27は、ブレード51の長手方向に沿って連続する少なくとも50mmを超える開口を有することで、詳細を後述する本発明に係るブレード塗布による均一塗布性の効果が顕著となる。本実施の形態においては、開口27が直径120mm程度の円形状に形成される。   Further, the opening 27 of the mask plate 25 has an opening exceeding at least 50 mm continuous along the longitudinal direction of the blade 51, so that the effect of uniform application by the blade application according to the present invention, which will be described in detail later, becomes remarkable. . In the present embodiment, the opening 27 is formed in a circular shape having a diameter of about 120 mm.

本実施の形態によるブレード塗布装置100においては、塗布時における塗布液層の膜厚が、少なくとも100μm以上で塗布される。このような100μm以上の厚みで塗布液が塗布される場合、薄膜の塗布の場合と比較して、塗布液層の表面性状は塗布面57の表面に倣う傾向が低くなり、ブレード51の形状が大きな影響を及ぼすことになる。つまり、塗布面57の凹凸に影響されにくく、ブレード51による塗布液49の圧力、ブレード51形状による塗布液49の濡れ上がり性等が、塗布液層の表面性状を決定する主要因となる。   In the blade coating apparatus 100 according to the present embodiment, the coating liquid layer is coated at a thickness of at least 100 μm or more during coating. When the coating solution is applied in such a thickness of 100 μm or more, the surface property of the coating solution layer is less likely to follow the surface of the coating surface 57 than in the case of thin film coating, and the shape of the blade 51 is It will have a big impact. That is, the surface of the coating liquid layer is determined by the pressure of the coating liquid 49 by the blade 51, the wettability of the coating liquid 49 by the shape of the blade 51, and the like.

また、直径120mm程度の比較的大きな塗布面57に塗布液49を塗布する場合、塗布必要量に見合った量の塗布液49がバランスよく供給されることが肝要である。ここで、塗布必要量とは、塗布面57に塗布される総量での必要量だけでなく、幅の大きい塗布面57に対して直線移動するブレード51で塗布する場合、塗布面57をブレード51の幅方向に複数に区画し、それぞれの区画ごとの塗布必要量を考慮する必要がある。これは、マスク板25上に供給された塗布液49は、ブレード51の移動方向に伸ばされながら塗布面57に塗布され、ブレード51の移動方向と直交する方向にはあまり伸ばされないからである。   Further, when the coating liquid 49 is applied to a relatively large coating surface 57 having a diameter of about 120 mm, it is important that the amount of the coating liquid 49 commensurate with the required coating amount is supplied in a balanced manner. Here, the application required amount is not only the total amount applied to the application surface 57 but also when the application surface 57 is applied by the blade 51 that moves linearly with respect to the application surface 57 having a large width. It is necessary to consider the required amount of coating for each section. This is because the coating liquid 49 supplied onto the mask plate 25 is applied to the coating surface 57 while being stretched in the moving direction of the blade 51 and is not stretched much in the direction perpendicular to the moving direction of the blade 51. .

本ブレード塗布装置100は、ディスク状記録媒体の記録層の少なくとも1層を形成するディスク塗布装置として使用する場合、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を形成することができる。このディスク塗布装置によれば、印刷層への印刷の際、良好な色再現性が確保できるように、必要十分な厚みの印刷層を形成することができる。実際には、塗布液層が塗布時100μm程度の厚みであると、乾燥後の目減り時において30μm程度の塗膜が形成され、この30μm程度のインク受理層が良好な色再現性を可能にする。   When this blade coating apparatus 100 is used as a disk coating apparatus for forming at least one recording layer of a disk-shaped recording medium, it forms a printing layer (ink receiving layer) for printing using, for example, an ink jet printer. be able to. According to this disk coating apparatus, it is possible to form a printing layer having a necessary and sufficient thickness so that good color reproducibility can be ensured when printing on the printing layer. Actually, when the coating liquid layer has a thickness of about 100 μm at the time of coating, a coating film of about 30 μm is formed at the time of reduction after drying, and the ink receiving layer of about 30 μm enables good color reproducibility. .

次に、このブレード塗布装置100を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図3は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(c)で表した説明図、図4は本発明に係る塗布方法の手順を(d)〜(g)で表した説明図である。
まず、制御部63の指令により、図3(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着され、図3(b)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。次いで、図3(c)に示すように、マスクキャップ着脱手段29の駆動により、マスクキャップ37が光ディスクDの中央穴に挿着される。
Next, a coating solution coating method using the blade coating apparatus 100 will be described.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (a) to (c), and FIG. 4 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (d) to (g). is there.
First, as shown in FIG. 3A, the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating shaft 21, as shown in FIG. 3A, and an air cylinder is obtained as shown in FIG. The suction table 13 is lifted by the driving of 23 and the optical disk D comes into contact with the opening edge 25 a of the mask plate 25. Next, as shown in FIG. 3C, the mask cap 37 is inserted into the central hole of the optical disc D by driving the mask cap attaching / detaching means 29.

そして、図4(d)に示すように、塗布液49が塗布液供給手段81により塗布液吐出口41から吐出して長溝39内に溜まり、やがて長溝39から盛り上がるようにマスク板25上(ブレード51の助走区間)に供給される。このとき、複数の塗布液吐出口41は互いに連通しているので、塗布液49は複数の塗布液吐出口41から同一のタイミングで供給される。供給される塗布液49の量は、光ディスクDの塗布面57の面積により必要量が適宜調整される。   Then, as shown in FIG. 4D, the coating liquid 49 is discharged from the coating liquid discharge port 41 by the coating liquid supply means 81 and accumulates in the long groove 39, and eventually rises on the mask plate 25 so as to rise from the long groove 39 (blade). 51 run-up sections). At this time, since the plurality of coating liquid discharge ports 41 communicate with each other, the coating liquid 49 is supplied from the plurality of coating liquid discharge ports 41 at the same timing. The amount of the coating liquid 49 to be supplied is appropriately adjusted according to the area of the coating surface 57 of the optical disc D.

ここで、塗布液49の供給について図5を参照して詳述する。図5(a)〜(e)は塗布液吐出口から吐出する塗布液が長溝に溜まる状態を示す平面図である。図5に示すように、長溝39内に形成された複数の塗布液吐出口41から吐出する塗布液49は、吐出初期において、その表面張力により互いに独立した平面形状円形(実質は半球状)であるが(a)、吐出量が多くなるに従って横方向に広がり、長溝39の長辺39aに案内されて次第に平面形状楕円形となる(b)。塗布液49が更に供給されると、独立していた平面形状楕円形の両端同士が接触して繋がり(c)、やがて長溝39内が塗布液49で充満し(d)、ついには長溝39から溢れ出して平面形状長円形となって長溝39上に盛り上がり(e)、必要量の塗布液49が供給される。   Here, the supply of the coating liquid 49 will be described in detail with reference to FIG. 5A to 5E are plan views showing a state in which the coating liquid discharged from the coating liquid discharge port is accumulated in the long groove. As shown in FIG. 5, the coating liquid 49 ejected from the plurality of coating liquid ejection ports 41 formed in the long groove 39 is a planar circular shape (substantially hemispherical) independent from each other due to the surface tension at the initial stage of ejection. However, (a) spreads in the lateral direction as the discharge amount increases, and is gradually guided to the long side 39a of the long groove 39 to gradually become a planar elliptical shape (b). When the coating liquid 49 is further supplied, both ends of the independent plane shape ellipse come into contact with each other (c), and the long groove 39 is eventually filled with the coating liquid 49 (d). It overflows and becomes a planar shape oval and rises on the long groove 39 (e), and a required amount of coating liquid 49 is supplied.

この状態においては、溢れるように長溝39上に溜まった塗布液49は、レベリング効果により長溝39の長手方向に流れて長手方向に均等な量の塗布液49が供給される。即ち、各塗布液吐出口41から供給される塗布液49の供給量に多少のバラツキがあっても、長溝39内に一時貯留することにより、最終的にはレベリング効果によって塗布液49は長溝39の長手方向(即ち、ブレード51の長手方向)に均等な量となる。   In this state, the coating liquid 49 accumulated on the long groove 39 so as to overflow flows in the longitudinal direction of the long groove 39 due to the leveling effect, and an equal amount of the coating liquid 49 is supplied in the longitudinal direction. That is, even if there is some variation in the supply amount of the coating liquid 49 supplied from each coating liquid discharge port 41, the coating liquid 49 is finally stored in the long groove 39 by the leveling effect by temporarily storing it in the long groove 39. In the longitudinal direction (that is, the longitudinal direction of the blade 51).

図4(e)に示すように、ブレード51は、長溝39に一時貯留されてブレード51の長手方向に均等な量が供給された塗布液49を押圧しながら、移動手段53によって図中右方から左方に移動する。すると、ブレード51が光ディスクDの塗布面57を塗布液49と共に通過して、光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層が形成される。   As shown in FIG. 4E, the blade 51 is moved rightward in the figure by the moving means 53 while pressing the coating liquid 49 temporarily stored in the long groove 39 and supplied in an equal amount in the longitudinal direction of the blade 51. Move left from. Then, the blade 51 passes through the coating surface 57 of the optical disk D together with the coating liquid 49, and a coating liquid layer having a predetermined thickness is formed on the coating surface 57 of the optical disk D.

尚、塗布液吐出口41から長溝39内、即ち、マスク板25上に供給される塗布液49の供給量は、一回の塗布により光ディスクDの塗布面57に塗布される量より僅かに多い程度に設定されているので、ブレード51が移動終端位置(図において左端)に達したときには、殆ど残っていることはない。また、塗布液49は、長溝39内に一時溜められて長溝39の長手方向に均等な量とした後、塗布されるので、塗布液がノズルなどから集中供給される場合と比較すると、塗布液層の厚さを遥かに均一なものとすることができる。
なお、塗布液49としては、光ディスクDにインク受理層を形成するための塗布液49である表1に示す組成物が例示される。
Note that the supply amount of the coating liquid 49 supplied from the coating liquid discharge port 41 into the long groove 39, that is, on the mask plate 25, is slightly larger than the amount applied to the coating surface 57 of the optical disc D by a single coating. Therefore, when the blade 51 reaches the movement end position (the left end in the figure), the blade 51 hardly remains. Further, since the coating liquid 49 is temporarily stored in the long groove 39 and applied after being made to have an equal amount in the longitudinal direction of the long groove 39, the coating liquid is compared with the case where the coating liquid is concentratedly supplied from a nozzle or the like. The layer thickness can be made much more uniform.
Examples of the coating liquid 49 include the compositions shown in Table 1 which are the coating liquid 49 for forming an ink receiving layer on the optical disc D.

Figure 2006231194
Figure 2006231194

次いで、図4(f)に示すように、マスクキャップ着脱手段29が駆動され、マスクキャップ37が光ディスクDから脱着される。これにより、光ディスクDの中央部には塗布液49の塗布されない円形段部69が形成されることとなる。次いで、図4(g)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が下降することにより、マスク板25の開口縁部25aから光ディスクDが下方へと離反される。これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。この結果、光ディスクDの外周縁にはマスク板25に覆われていたことで、塗布液49の塗布されていない非塗布部71が形成されることとなる。
なお、マスク板25の開口形状を適宜変更することによって、塗布部の形状は自由に設定できる。
Next, as shown in FIG. 4 (f), the mask cap attaching / detaching means 29 is driven, and the mask cap 37 is detached from the optical disc D. As a result, a circular step 69 to which the coating liquid 49 is not applied is formed at the center of the optical disc D. Next, as shown in FIG. 4G, the suction table 13 is lowered by driving the air cylinder 23, so that the optical disk D is separated downward from the opening edge 25 a of the mask plate 25. As a result, the coating liquid 49 applied to the coating surface 57 is separated from the coating liquid 49 on the mask plate 25 by shearing. As a result, since the outer peripheral edge of the optical disk D is covered with the mask plate 25, the non-application part 71 where the application liquid 49 is not applied is formed.
Note that the shape of the application part can be freely set by appropriately changing the opening shape of the mask plate 25.

このようにして塗布液49の塗布が完了した光ディスクDは、図示は省略するが、吸着台13から取り外され、次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。同時に、移動手段53によってブレード51が図中左方から右方に移動して元の位置に戻り、次の塗布液49の塗布準備を行う。   The optical disk D in which the application of the coating liquid 49 has been completed in this manner is omitted from the drawing table 13 and is transferred to the drying process of the coating liquid 49 in the next process, although not shown. At the same time, the blade 51 is moved from the left to the right in the drawing by the moving means 53 to return to the original position, and preparation for coating the next coating liquid 49 is performed.

なお、上記のブレード塗布装置100においては、ブレード51をステンレス材により形成したが、本発明はこれに限らず、例えば樹脂材料や硬質ゴムであってもよい。また、本実施形態では、光ディスクの印刷面の塗布に本ブレード塗布装置を用いているが、対象物はこれに限らず、厚膜を形成するものであれば、種々の対象物に塗布することができる。   In the blade coating apparatus 100 described above, the blade 51 is formed of a stainless material. However, the present invention is not limited to this, and may be, for example, a resin material or hard rubber. In this embodiment, the blade coating apparatus is used for coating the printing surface of the optical disc. However, the object is not limited to this, and any object that forms a thick film may be coated. Can do.

(第2実施形態)
図6は第2実施形態のブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図、図7は図6に示したブレード塗布装置の縦断面図、図8は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(f)で表した説明図である。
(Second Embodiment)
6 is a perspective view showing an outline of the outer appearance of the blade coating apparatus of the second embodiment, FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the blade coating apparatus shown in FIG. 6, and FIG. 8 shows the procedure of the coating method according to the present invention ( It is explanatory drawing represented by a)-(f).

図6および図7に示すように、第2実施形態のブレード塗布装置200は、ブレード51の往動および復動のそれぞれの移動時に、ブレード51が光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布して所定厚の塗布液層を形成する。マスク板25の開口27の両脇側、更に詳細にはブレード51の移動方向において開口27の両脇側に、ブレード51の移動方向と直交する方向に長手方向を一致させて、マスク板25の表面から一段低く掘り込まれた一対の長溝39(39A,39B)が形成されている。それぞれの長溝39(39A,39B)の底部には、複数の塗布液吐出口41(41A,41B)が設けられている。   As shown in FIGS. 6 and 7, in the blade coating apparatus 200 of the second embodiment, the blade 51 applies the coating liquid 49 to the coating surface 57 of the optical disc D when the blade 51 moves forward and backward. Thus, a coating liquid layer having a predetermined thickness is formed. Both sides of the opening 27 of the mask plate 25, more specifically, both sides of the opening 27 in the moving direction of the blade 51, the longitudinal direction of the mask plate 25 is made to coincide with the direction orthogonal to the moving direction of the blade 51. A pair of long grooves 39 (39A, 39B) dug one step down from the surface is formed. A plurality of coating liquid discharge ports 41 (41A, 41B) are provided at the bottom of each of the long grooves 39 (39A, 39B).

複数の塗布液吐出口41(41A,41B)は、マスク板25に形成された塗布液供給路43(43A,43B)を介して塗布液供給手段81に接続されている。塗布液供給手段81は、切替弁83、塗布液供給ポンプ45および塗布液タンク47を備える。塗布液供給手段81は、切替弁83で塗布液供給ポンプ45に連通する供給路を塗布液供給路43Aまたは塗布液供給路43Bに切り換え、塗布液タンク47に貯留された塗布液49を塗布液供給ポンプ45により塗布液吐出口41Aまたは塗布液吐出口41Bから吐出して長溝39Aまたは長溝39B内に供給する。   The plurality of coating liquid discharge ports 41 (41 </ b> A, 41 </ b> B) are connected to the coating liquid supply means 81 via coating liquid supply paths 43 (43 </ b> A, 43 </ b> B) formed in the mask plate 25. The coating liquid supply unit 81 includes a switching valve 83, a coating liquid supply pump 45, and a coating liquid tank 47. The coating liquid supply means 81 switches the supply path communicating with the coating liquid supply pump 45 by the switching valve 83 to the coating liquid supply path 43A or the coating liquid supply path 43B, and applies the coating liquid 49 stored in the coating liquid tank 47 to the coating liquid. The liquid is discharged from the coating liquid discharge port 41A or the coating liquid discharge port 41B by the supply pump 45 and supplied into the long groove 39A or the long groove 39B.

ブレード51は、開口27の両脇側に設けられた一対の長溝39A,39Bを通過する位置、換言すれば、一対の長溝39A,39Bの外側までの間を移動する。また、ブレード51は、長手方向に垂直方向の断面形状が、下方部分で先細りとなる略6角形に形成されており、両側面に塗布液49の流れを案内する傾斜面である前側面55A、および後側面55Bが形成されている。そして、ブレード51の往動時には前側面55Aで塗布液49を押圧し、ブレード51の復動時には後側面55Bで塗布液49を押圧して光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布する。
その他の部分は、第1実施形態のブレード塗布装置100と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化、または省略する。
The blade 51 moves to a position where it passes through the pair of long grooves 39A and 39B provided on both sides of the opening 27, in other words, to the outside of the pair of long grooves 39A and 39B. Further, the blade 51 is formed in a substantially hexagonal shape in which a cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction is tapered at a lower portion, and a front side surface 55A that is an inclined surface that guides the flow of the coating liquid 49 on both side surfaces, And the rear side surface 55B is formed. Then, when the blade 51 moves forward, the coating liquid 49 is pressed by the front side 55A, and when the blade 51 returns, the coating liquid 49 is pressed by the rear side 55B to apply the coating liquid 49 to the coating surface 57 of the optical disc D.
Since other parts are the same as those of the blade coating apparatus 100 of the first embodiment, the same parts are denoted by the same reference numerals or corresponding signs, and the description thereof is simplified or omitted.

次に、このブレード塗布装置200を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図8は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(f)で表した説明図である。
まず、制御部63の指令により、図8(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着された後、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。次いで、図8(b)に示すように、切替弁83を塗布液供給路43Aに切り換え、塗布液タンク47に貯留された塗布液49をブレード51が待機している側の塗布液吐出口41(図8においては左側の塗布液吐出口41A)から吐出して長溝39Aに供給する。長溝39Aの底部に形成された複数の塗布液吐出口41Aから吐出した塗布液49は、レベリング効果によって次第に長溝39A内に広がり、長溝39Aの形状に沿った平面形状長円形となって盛り上がる(図5参照)。このとき、塗布液49は、長溝39Aの長手方向に均等な量となっている。
Next, a coating solution coating method using the blade coating apparatus 200 will be described.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (a) to (f).
First, as shown in FIG. 8A, after the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating shaft 21 by the command of the control unit 63, the adsorption table 13 is driven by the air cylinder 23. The optical disk D rises and comes into contact with the opening edge 25a of the mask plate 25. Next, as shown in FIG. 8B, the switching valve 83 is switched to the coating liquid supply path 43 </ b> A, and the coating liquid discharge port 41 on the side where the blade 51 is waiting for the coating liquid 49 stored in the coating liquid tank 47. It is discharged from the coating liquid discharge port 41A on the left side in FIG. 8 and supplied to the long groove 39A. The coating liquid 49 discharged from the plurality of coating liquid discharge ports 41A formed at the bottom of the long groove 39A gradually spreads into the long groove 39A due to the leveling effect, and rises as a planar oval shape along the shape of the long groove 39A (FIG. 5). At this time, the coating liquid 49 is a uniform amount in the longitudinal direction of the long groove 39A.

図8(c)に示すように、塗布液吐出口41Aから所定量(光ディスクDに一回の塗布を行うのに必要な量)の塗布液49が長溝39Aに供給されると、ブレード51が移動手段53によって図中左方から右方に塗布液49を押圧しながら移動して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層が形成される。塗布液49はブレード51の長手方向に均等な量が供給されているので、塗布面57に塗布される塗布液層の厚さも均一となる。そして、ブレード51は、長溝39Bを通過して右移動終端位置に達して停止する。このとき、塗布液49は塗布面57の塗布に消費されて殆ど残っていない。次いで、図8(d)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって、吸着台13が下降することによりマスク板25の開口縁部25aから光ディスクDが下方へと離反される。これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。そして、吸着台13の下降位置において、塗布液49の塗布が完了した光ディスクDが取り外されて次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。   As shown in FIG. 8 (c), when a predetermined amount of coating liquid 49 (a quantity necessary for performing one coating on the optical disk D) is supplied to the long groove 39A from the coating liquid discharge port 41A, the blade 51 is moved. The moving means 53 moves while pressing the coating liquid 49 from the left to the right in the drawing to form a coating liquid layer having a predetermined thickness on the coating surface 57 of the optical disc D. Since the coating liquid 49 is supplied in an equal amount in the longitudinal direction of the blade 51, the thickness of the coating liquid layer applied to the coating surface 57 is also uniform. Then, the blade 51 passes through the long groove 39B, reaches the right movement end position, and stops. At this time, the coating liquid 49 is consumed for coating the coating surface 57 and hardly remains. Next, as shown in FIG. 8 (d), the optical disk D is separated downward from the opening edge 25 a of the mask plate 25 by lowering the suction table 13 by driving the air cylinder 23. As a result, the coating liquid 49 applied to the coating surface 57 is separated from the coating liquid 49 on the mask plate 25 by shearing. Then, at the lowered position of the suction table 13, the optical disc D on which the coating liquid 49 has been applied is removed and transferred to the drying process of the next coating liquid 49.

次に、図8(e)に示すように、吸着台13上に新しい光ディスクD(未塗布の光ディスク)が吸着され、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。光ディスクDの交換作業と同時に、切替弁83は塗布液供給路43を塗布液供給路43Aから塗布液供給路43Bに切り換え、所定量の塗布液49を複数の塗布液吐出口41Bから吐出して長溝39B内に供給する。複数の塗布液吐出口41B、換言すれば、複数箇所に供給された塗布液49は、先と同様にレベリング効果により長溝39B内に広がり、やがてそれぞれが繋がって一体となり長溝39Bの形状に沿った平面形状長円形に盛り上がる。これにより、長溝39Bに供給された塗布液49も、ブレード51の長手方向に均等となる。そして、図8(f)に示すように、ブレード51が移動手段53によって図中右方から左方に塗布液49を押圧しながら移動して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層を形成する。   Next, as shown in FIG. 8 (e), a new optical disk D (uncoated optical disk) is adsorbed on the adsorption table 13, and the adsorption table 13 is raised by driving the air cylinder 23, so that the optical disk D becomes the mask plate 25. It contacts the opening edge 25a. Simultaneously with the replacement operation of the optical disk D, the switching valve 83 switches the coating liquid supply path 43 from the coating liquid supply path 43A to the coating liquid supply path 43B, and discharges a predetermined amount of the coating liquid 49 from the plurality of coating liquid discharge ports 41B. Supply into the long groove 39B. A plurality of coating liquid discharge ports 41B, in other words, the coating liquid 49 supplied to a plurality of places spreads in the long groove 39B by the leveling effect as before, and eventually they are connected and integrated to follow the shape of the long groove 39B. It rises in a planar shape oval. As a result, the coating liquid 49 supplied to the long groove 39 </ b> B is also uniform in the longitudinal direction of the blade 51. Then, as shown in FIG. 8 (f), the blade 51 moves while pressing the coating liquid 49 from the right to the left in the drawing by the moving means 53, and a coating liquid layer having a predetermined thickness is applied to the coating surface 57 of the optical disc D. Form.

以後、同様に動作を繰り返し行って、ブレード51の往動および復動において、塗布液49を塗布して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層を形成し、効率よく塗布液49が光ディスクDに塗布される。   Thereafter, the operation is repeated in the same manner, and in the forward and backward movements of the blade 51, the coating liquid 49 is applied to form a coating liquid layer having a predetermined thickness on the coating surface 57 of the optical disc D. It is applied to the optical disc D.

本実施形態のブレード塗布装置200によれば、複数の塗布液吐出口41から供給された塗布液49は、長溝39内でブレード51の長手方向に広がり、やがてそれぞれが繋がって平面形状長円形の一体となって盛り上がり、ブレード51の長手方向に均等な量の塗布液49が供給される。そして、光ディスクDの塗布面57の幅(ブレード51の長手方向の長さ)と略同じ幅に横方向に広がって1つの塊となった塗布液49を、ブレード51が押圧しながら移動して塗布するので、従来、横方向(ブレード51の長手方向)に厚さのバラツキができ易かった、即ち、ブレード51の移動方向と平行にスジができ易かった光ディスクDの塗布面57に均一な厚さの塗布液層を形成することができる。   According to the blade coating apparatus 200 of the present embodiment, the coating liquid 49 supplied from the plurality of coating liquid discharge ports 41 spreads in the longitudinal direction of the blade 51 within the long groove 39, and is eventually connected to each other to form a planar oval shape. As a result, the coating liquid 49 rises as a unit, and an equal amount of the coating liquid 49 is supplied in the longitudinal direction of the blade 51. Then, the blade 51 moves while pressing the coating liquid 49 that spreads in the lateral direction to be substantially the same width as the width of the coating surface 57 of the optical disc D (the length in the longitudinal direction of the blade 51). Since the coating is applied, the thickness of the coating layer 57 of the optical disk D, which has conventionally been easy to vary in thickness in the lateral direction (longitudinal direction of the blade 51), that is, easily streaks parallel to the moving direction of the blade 51, is uniform. A coating liquid layer can be formed.

(第3実施形態)
図9は第3実施形態のブレード塗布装置の要部縦断面図である。
図9に示すように、第3実施形態のブレード塗布装置300は、ブレード51の移動方向においてマスク板25の開口27の両脇側に、ブレード51の移動方向と直交する方向に長手方向を一致させて、長さL1の一対の長溝39(39A,39B)がマスク板25の表面から一段低く掘り込まれて形成されている。それぞれの長溝39A,39Bの開口27側には、更に長さL2の一対の補助長溝39C,39Dが長溝39A,39Bと平行に形成されている。
(Third embodiment)
FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a main part of the blade coating apparatus according to the third embodiment.
As shown in FIG. 9, the blade coating apparatus 300 according to the third embodiment has the longitudinal direction coincided with the direction orthogonal to the moving direction of the blade 51 on both sides of the opening 27 of the mask plate 25 in the moving direction of the blade 51. Thus, a pair of long grooves 39 (39A, 39B) having a length L1 are formed by being dug one step down from the surface of the mask plate 25. On the opening 27 side of each of the long grooves 39A and 39B, a pair of auxiliary long grooves 39C and 39D having a length L2 are further formed in parallel with the long grooves 39A and 39B.

長溝39A,39Bの長さL1は、マスク板25の開口27の幅(ブレード51の移動方向と直交する方向の長さ)と略同じであり、補助長溝39C,39Dの長さL2は、長溝39A,39Bの長さL1より短くなっている(L1>L2)。それぞれの長溝39(39A,39B,39C,39D)の底部には、複数の塗布液吐出口41(41A,41B,41C,41D)が設けられている。
その他の部分は、第2実施形態のブレード塗布装置200と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化、または省略する。
The length L1 of the long grooves 39A and 39B is substantially the same as the width of the opening 27 of the mask plate 25 (the length in the direction orthogonal to the moving direction of the blade 51), and the length L2 of the auxiliary long grooves 39C and 39D is the long groove. It is shorter than the length L1 of 39A and 39B (L1> L2). A plurality of coating liquid discharge ports 41 (41A, 41B, 41C, 41D) are provided at the bottoms of the respective long grooves 39 (39A, 39B, 39C, 39D).
Since other parts are the same as those of the blade coating apparatus 200 of the second embodiment, the same parts are denoted by the same reference numerals or the corresponding reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

一対の長溝39A,39B、および長溝39A,39Bの長さL1より短い長さL2の補助長溝39C,39Dを有するブレード塗布装置300は、塗布面57をブレード51の移動方向と直交する方向に複数の区画に区分けしたとき、それぞれの区画の面積が異なるような形状の塗布面に塗布液49を塗布する場合、極めて有効に作用して、均一な厚さを有する塗布液層を形成することができる。即ち、広い面積を有する区画に対応させて補助長溝39C,39Dを配置することにより、部分的に塗布液49の供給量を増量して、長溝39A,39Bからの供給量だけでは不足する塗布液49を補充する。   The blade coating apparatus 300 having a pair of long grooves 39A and 39B and auxiliary long grooves 39C and 39D having a length L2 shorter than the length L1 of the long grooves 39A and 39B includes a plurality of coating surfaces 57 in a direction orthogonal to the moving direction of the blade 51. When the coating liquid 49 is applied to the coating surface having a shape in which the areas of the respective sections are different, the coating liquid layer having a uniform thickness can be formed extremely effectively. it can. That is, by arranging the auxiliary long grooves 39C and 39D corresponding to the sections having a large area, the supply amount of the coating liquid 49 is partially increased, and the coating liquid that is insufficient only by the supply amount from the long grooves 39A and 39B. Refill 49.

図10は光ディスクの塗布面に塗布液を塗布する場合の塗布液供給量(a)と、塗布面の面積(b)を示す図である。図10(b)に示すように、光ディスクDの塗布面57をブレード51の移動方向と直交する方向に複数の区画に区分けしたとき、それぞれの区画の面積(塗布面積)Sは、塗布面57の両端部が少なく、中心に向かうに従って次第に増加する。塗布面57の中心部には塗布液49が塗布されないマスクキャップ37が挿着されているので、面積Sは中心部が少なくなった中凹み形状となる。   FIG. 10 is a diagram showing the coating liquid supply amount (a) and the area (b) of the coating surface when the coating solution is applied to the coating surface of the optical disk. As shown in FIG. 10B, when the application surface 57 of the optical disc D is divided into a plurality of sections in a direction orthogonal to the moving direction of the blade 51, the area (application area) S of each section is the application surface 57. There are few both ends, and it increases gradually toward the center. Since the mask cap 37 to which the coating liquid 49 is not applied is inserted in the central portion of the coating surface 57, the area S has a hollow shape with a reduced central portion.

一方、図9に示すように、光ディスクDの塗布面57の幅と同じ長さL1を有する長溝39A,39B、および塗布面57の中心に対応して配置された長さL2の補助長溝39C,39Dを有するブレード塗布装置300による塗布液49の供給量は、図10(a)に示すように、中心付近の供給量が補助長溝39C,39Dによって増量された略2段ピラミッド形となる。従って、多くの塗布液49を必要とする塗布面57の中心部には多くの塗布液49が供給されるので、光ディスクDの塗布面57に均一な厚さの塗布液層を形成することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 9, long grooves 39A and 39B having the same length L1 as the width of the coating surface 57 of the optical disc D, and auxiliary long grooves 39C having a length L2 arranged corresponding to the center of the coating surface 57, As shown in FIG. 10A, the supply amount of the coating liquid 49 by the blade coating apparatus 300 having 39D has a substantially two-stage pyramid shape in which the supply amount near the center is increased by the auxiliary long grooves 39C and 39D. Accordingly, since a large amount of the coating liquid 49 is supplied to the central portion of the coating surface 57 that requires a large amount of the coating liquid 49, a coating liquid layer having a uniform thickness can be formed on the coating surface 57 of the optical disc D. it can.

尚、第3実施形態のブレード塗布装置においては、補助長溝の位置を中心に配置して光ディスクの円形塗布面に対応するようにしたが、マスク板の開口形状、即ち、塗布面積に応じて補助長溝の位置を大きな塗布面積を有する塗布部に対応して配置することができ、これにより、所望の供給分布となるように供給量を調整して塗布液を供給することができる。
また、長溝39Aと補助長溝39Cの溝同士、及び長溝39Bと補助長溝39Dの溝同士を互いに連通させることにより、それぞれの溝に設けていた塗布液吐出口を共通化して、例えば、長溝39A,39Bの塗布液吐出口41A,41Bで両溝に塗布液を供給する構成にできる。
なお、ここでは、ブレードの往復動において塗布液を塗布するものとして説明したが、長溝および補助長溝を開口の一方側に配置してブレードの往動時にのみ、塗布液を塗布するようにしてもよいことは言うまでもない。この場合には、更にブレード塗布装置の機構を簡素化できる。
In the blade coating apparatus according to the third embodiment, the auxiliary long groove is arranged at the center so as to correspond to the circular coating surface of the optical disk. However, the auxiliary coating according to the opening shape of the mask plate, that is, the coating area. The position of the long groove can be arranged corresponding to the application portion having a large application area, and thereby the application liquid can be supplied by adjusting the supply amount so as to obtain a desired supply distribution.
Further, by making the grooves of the long groove 39A and the auxiliary long groove 39C and the grooves of the long groove 39B and the auxiliary long groove 39D communicate with each other, the coating liquid discharge ports provided in the respective grooves are made common, for example, the long grooves 39A, It can be configured that the coating liquid is supplied to both grooves through the coating liquid discharge ports 41A and 41B of 39B.
Here, the coating liquid is applied in the reciprocating motion of the blade, but the long groove and the auxiliary long groove are arranged on one side of the opening so that the coating liquid is applied only when the blade moves forward. Needless to say, it is good. In this case, the mechanism of the blade coating device can be further simplified.

(第4実施形態)
図11は第4実施形態のブレード塗布装置に装備されるマスク板の要部拡大平面図である。
図11に示すように、第4実施形態のマスク板25は、開口27の外側に、幅Wが中央から端部に向かうに従って次第に狭くなる略菱形の菱形長溝91が、マスク板25の表面から一段低くされて形成されている。菱形長溝91の底部には、図示しない塗布液供給手段に接続された複数の塗布液吐出口93(93A,93B)が設けられている。菱形長溝91の長手方向中央の幅の広い底部に設けられた塗布液吐出口93Aの穴径は、他の塗布液吐出口93Bの穴径よりも大きく、より多くの塗布液49が吐出される。
(Fourth embodiment)
FIG. 11 is an enlarged plan view of a main part of a mask plate provided in the blade coating apparatus according to the fourth embodiment.
As shown in FIG. 11, the mask plate 25 of the fourth embodiment has a substantially rhombic long groove 91 that gradually narrows from the surface of the mask plate 25 on the outside of the opening 27. It is formed one step lower. A plurality of coating liquid discharge ports 93 (93A, 93B) connected to a coating liquid supply means (not shown) are provided at the bottom of the rhombic long groove 91. The hole diameter of the coating liquid discharge port 93A provided at the wide bottom at the center in the longitudinal direction of the rhombic long groove 91 is larger than the hole diameter of the other coating liquid discharge port 93B, and more coating liquid 49 is discharged. .

塗布液49は、塗布液供給手段によって複数の塗布液吐出口93(93A,93B)から吐出して菱形長溝91内に供給される。複数の塗布液吐出口93(93A,93B)から吐出した塗布液49は、吐出初期においては菱形長溝91内で互いに独立しているが、吐出量が増えるのに伴ってレベリング効果により菱形長溝91内に広がり、やがてそれぞれが繋がって一体となって盛り上がる。このとき、菱形長溝91の中央部は幅Wが広いので、より多くの塗布液49が供給されている。このような菱形長溝91は、中央部の塗布面積が大きい被塗布体、例えば光ディスクDの塗布面57(図9参照)の塗布に用いるのに好適である。   The coating liquid 49 is discharged from a plurality of coating liquid discharge ports 93 (93 </ b> A, 93 </ b> B) by the coating liquid supply means and is supplied into the rhombic long groove 91. The coating liquid 49 discharged from the plurality of coating liquid discharge ports 93 (93A, 93B) is independent from each other in the rhombic long groove 91 in the initial stage of discharging, but the rhombic long groove 91 is caused by a leveling effect as the discharge amount increases. It spreads inside, and eventually they are connected and become one. At this time, since the central portion of the rhombic long groove 91 has a wide width W, more coating liquid 49 is supplied. Such a rhombic long groove 91 is suitable for use in coating an object to be coated having a large coating area at the center, for example, the coating surface 57 (see FIG. 9) of the optical disc D.

長溝の形状は菱形に限定されるものではなく、開口の形状、即ち、塗布面積に応じて任意の形状とすることができる。より具体的には、塗布面積が大きい部分に対応する長溝の幅を大きくすることにより、多くの塗布液が必要となる部分に多くの塗布液を供給するようにして、所望の供給分布となるように供給量を調整して塗布液を供給することができる。
これによって均一な厚さを有する塗布液層を形成することができる。また、部分的に多くの塗布液を供給する場合、塗布液吐出口の穴径を大きくする以外に、塗布液吐出口の配置密度を高めて対応するようにしてもよい。
The shape of the long groove is not limited to a rhombus, and may be an arbitrary shape depending on the shape of the opening, that is, the coating area. More specifically, by increasing the width of the long groove corresponding to the portion where the coating area is large, a large amount of coating liquid is supplied to a portion where a large amount of coating liquid is required, thereby obtaining a desired supply distribution. Thus, it is possible to supply the coating liquid by adjusting the supply amount.
As a result, a coating liquid layer having a uniform thickness can be formed. In addition, when a large amount of coating liquid is supplied partially, in addition to increasing the hole diameter of the coating liquid discharge port, the arrangement density of the coating liquid discharge ports may be increased.

なお、本発明に係るブレード塗布装置は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良等が可能である。   Note that the blade coating apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately modified and improved.

本発明に係る第1実施形態のブレード塗布装置の概略を表す構成図である。It is a block diagram showing the outline of the blade coating device of 1st Embodiment which concerns on this invention. 図1に示したブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。It is the perspective view showing the outline of the external appearance of the blade coating device shown in FIG. 第1実施形態のブレード塗布装置に係る塗布方法の手順を(a)〜(c)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the procedure of the coating method which concerns on the blade coating device of 1st Embodiment by (a)-(c). 第1実施形態のブレード塗布装置に係る塗布方法の手順を(d)〜(g)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the procedure of the coating method which concerns on the blade coating device of 1st Embodiment by (d)-(g). (a)〜(e)は塗布液吐出口から吐出する塗布液が時間経過と共に長溝に溜まる状態を示す平面図である(A)-(e) is a top view which shows the state which the coating liquid discharged from a coating liquid discharge port accumulates in a long groove with progress of time. 第2実施形態のブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。It is a perspective view showing the outline of the appearance of the blade application device of a 2nd embodiment. 図6に示したブレード塗布装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the blade coating device shown in FIG. 第2実施形態のブレード塗布装置に係る塗布方法の手順を(a)〜(f)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the procedure of the coating method which concerns on the blade coating device of 2nd Embodiment by (a)-(f). 第3実施形態のブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。It is a perspective view showing the outline of the appearance of the blade application device of a 3rd embodiment. 光ディスクの塗布面に塗布液を塗布する場合の塗布液供給量(a)と、塗布面の面積分布(b)を示す図である。It is a figure which shows the coating liquid supply amount (a) in the case of apply | coating a coating liquid to the application surface of an optical disk, and the area distribution (b) of an application surface. 第4実施形態のブレード塗布装置に装備されるマスク板の要部拡大平面図である。It is a principal part enlarged plan view of the mask board with which the blade coating device of 4th Embodiment is equipped. 従来のディスク塗布装置により塗布液を塗布する状態を示し、(a)はブレードにより光ディスクに塗布液が塗布された状態を示す斜視図、(b)はマスク板から光ディスクが離反した状態を示す斜視図である。A state in which a coating liquid is applied by a conventional disk coating apparatus is shown, (a) is a perspective view showing a state in which the coating liquid is applied to the optical disk by a blade, and (b) is a perspective view showing a state in which the optical disk is separated from the mask plate. FIG. 特許文献1に開示されたフラックス供給装置を示し、(a)はフラックス供給装置の要部斜視図、(b)は(a)におけるP−P矢視縦断面図である。The flux supply apparatus disclosed by patent document 1 is shown, (a) is a principal part perspective view of a flux supply apparatus, (b) is a PP arrow longitudinal cross-sectional view in (a).

符号の説明Explanation of symbols

25 マスク
27 開口
39A,39B 長溝(溝)
39C,39D 補助長溝(溝)
41(41A,41B,41C,41D) 塗布液吐出口
49 塗布液
51 ブレード
81 塗布液供給手段
91 菱形長溝(溝)
93(93A,93B) 塗布液吐出口
100 ブレード塗布装置
200 ブレード塗布装置
300 ブレード塗布装置
D 光ディスク(平面基板)
L1 長溝の長さ(溝の長手方向幅)
L2 補助長溝の長さ(溝の長手方向幅)
W 溝幅
25 Mask 27 Opening 39A, 39B Long groove (groove)
39C, 39D Auxiliary long groove (groove)
41 (41A, 41B, 41C, 41D) coating liquid discharge port 49 coating liquid 51 blade 81 coating liquid supply means 91 rhombus long groove (groove)
93 (93A, 93B) Coating liquid discharge port 100 Blade coating device 200 Blade coating device 300 Blade coating device D Optical disc (planar substrate)
L1 Length of long groove (longitudinal width of groove)
L2 Length of auxiliary long groove (longitudinal width of groove)
W Groove width

Claims (5)

開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布して、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布装置であって、
前記マスク表面から窪んで形成され前記ブレードの移動方向に対して直交する溝と、
前記溝の底部に設けられ前記塗布液を吐出する塗布液吐出口と、
前記塗布液吐出口に塗布液を供給する塗布液供給手段と、
を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。
A mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask with a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating apparatus for forming a coating liquid layer according to the opening of the mask on a substrate,
Grooves recessed from the mask surface and perpendicular to the direction of movement of the blade;
A coating liquid discharge port that is provided at the bottom of the groove and discharges the coating liquid;
A coating solution supply means for supplying a coating solution to the coating solution discharge port;
A blade coating apparatus comprising:
前記塗布液吐出口が、前記溝内で前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って複数箇所に配置されたことを特徴とする請求項1記載のブレード塗布装置。   The blade coating apparatus according to claim 1, wherein the coating liquid discharge ports are arranged at a plurality of locations along a direction orthogonal to the blade moving direction in the groove. 前記溝を前記ブレード移動方向に対して異なる位置で、それぞれ溝の長手方向幅を異ならせて複数列形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のブレード塗布装置   3. The blade coating apparatus according to claim 1, wherein the grooves are formed in a plurality of rows at different positions with respect to the blade movement direction, with the longitudinal widths of the grooves being different from each other. 4. 前記溝を前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って溝幅を変化させて形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のブレード塗布装置。   3. The blade coating apparatus according to claim 1, wherein the groove is formed by changing a groove width along a direction orthogonal to the blade moving direction. 前記溝が前記マスクの開口の両脇側に少なくとも一対設けられ、前記ブレードが前記両脇側の溝を通過する位置までの間を移動することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項記載のブレード塗布装置。   5. The structure according to claim 1, wherein at least a pair of the grooves are provided on both sides of the opening of the mask, and the blade moves to a position where it passes through the grooves on both sides. The blade coating apparatus according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010541118A (en) * 2007-10-04 2010-12-24 プリンコ アメリカ コーポレイション Optical disc coating tool, optical disc coating method, and optical disc manufacturing method
CN109967314A (en) * 2019-04-23 2019-07-05 上海艾郎风电科技发展(集团)有限公司 The accurate size applicator of wind electricity blade web
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