JP2006231194A - Blade application apparatus - Google Patents
Blade application apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006231194A JP2006231194A JP2005049178A JP2005049178A JP2006231194A JP 2006231194 A JP2006231194 A JP 2006231194A JP 2005049178 A JP2005049178 A JP 2005049178A JP 2005049178 A JP2005049178 A JP 2005049178A JP 2006231194 A JP2006231194 A JP 2006231194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating liquid
- blade
- coating
- mask
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、ブレード塗布装置に関し、特にマスク上に塗布液を供給する塗布液供給装置を備えたブレード塗布装置に関する。 The present invention relates to a blade coating apparatus, and more particularly to a blade coating apparatus including a coating liquid supply apparatus that supplies a coating liquid onto a mask.
光ディスク等のディスク状記録媒体に塗布液を100μm程度の厚さに塗布して、印刷可能な塗布液層(インク受理層)を形成する従来のブレード塗布装置としては、図12に示すものがある。このブレード塗布装置1は、光ディスクDを吸着載置する吸着台2、光ディスクDを吸着台2と共に上下方向に移動させるエアシリンダ3、円形縁部4aで画成された開口8を有するマスク板(マスク)4、及びマスク板4上を所定の隙間を保ちながら水平駆動されて塗布液6を光ディスクDに塗布し、塗布液層9を形成するブレード5を備えている。
As a conventional blade coating apparatus for forming a printable coating liquid layer (ink receiving layer) by coating a coating liquid on a disc-shaped recording medium such as an optical disk to a thickness of about 100 μm, there is the one shown in FIG. . This blade coating apparatus 1 includes a suction table 2 for sucking and mounting an optical disk D, an
このようなブレード塗布装置1による塗布液6の塗布は、図12(a)に示すように、吸着台2上に光ディスクDを載置して吸着固定した後、エアシリンダ3を作動して光ディスクDを上昇させ、これによりマスク板4を光ディスクD上に重ね合わる。そして、マスク板4上に塗布液6を供給しながら、マスク板4上方でブレード5を矢印A方向に相対移動することにより、塗布液6をマスク板4の開口8から露出する光ディスクDの塗布面に塗布する。次いで、図12(b)に示すように、エアシリンダ3を作動して吸着台2を下降(矢印B方向)させてマスク板4から光ディスクDを離反させ、光ディスクD上にマスク板4の開口8に応じた塗布液層9を形成する。
As shown in FIG. 12A, the application of the coating liquid 6 by the blade coating apparatus 1 is performed by placing the optical disk D on the suction table 2 and fixing it by suction, and then operating the
このようなブレード塗布装置1において、マスク板4上への塗布液6の供給は、マスク板4の上方に配設された塗布液供給機構(図示せず)により行われる。塗布液供給機構は、塗布液供給ノズルと、塗布液供給装置と、ノズル昇降装置とからなり、塗布液供給装置から供給される塗布液6は、塗布液供給ノズルから開口8と待機状態のブレード5との間の
マスク板4上に滴下供給される。塗布液供給ノズルは、ブレード5との干渉を防止するために、塗布液6を滴下供給するときだけノズル昇降装置によってマスク板4の近傍高さに移動(即ち、下降)し、通常は塗布工程に支障とならない位置まで上昇して待機状態とされる。
In such a blade coating apparatus 1, the supply of the coating liquid 6 onto the mask plate 4 is performed by a coating liquid supply mechanism (not shown) disposed above the mask plate 4. The coating solution supply mechanism includes a coating solution supply nozzle, a coating solution supply device, and a nozzle lifting device. The coating solution 6 supplied from the coating solution supply device has an opening 8 and a standby blade from the coating solution supply nozzle. 5 is dripped and supplied onto the mask plate 4. In order to prevent interference with the
また、ブレード塗布装置に類似する技術を有する装置として、フラックス供給装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。図13はフラックス供給装置を示し、図13(a)はフラックス供給装置の要部斜視図、図13(b)は図13(a)におけるP−P矢視縦断面図である。フラックス供給装置10はボールマウンタ(図示せず)のフラックス供給部として用いられる。ボールマウンタは、転写ユニット(図示せず)およびボールマウントヘッドを備え、フラックステーブル91に供給されたフラックス98を転写ユニットに付着して位置決めされたワーク(図示せず)に転写し、更に転写されたフラックス98上にハンダボールをマウントするなどの処理を行う。
Moreover, a flux supply apparatus is known as an apparatus having a technique similar to a blade coating apparatus (see, for example, Patent Document 1). FIG. 13 shows a flux supply device, FIG. 13 (a) is a perspective view of the main part of the flux supply device, and FIG. 13 (b) is a vertical cross-sectional view taken along the line PP in FIG. 13 (a). The
図13に示すように、フラックス供給装置10は、フラックステーブル91、スキージ92、フラックス供給ボトル93、残量センサ94を備える。フラックステーブル91は、その上面に一段低く形成されたフラックス層形成部91aが設けられている。フラックス層形成部91a内にはフラックス吐出口96が開口し、フラックス層形成部91a外のフラックステーブル91の上面にはフラックス供給ボトル93の受け口97が形成され、フラックス吐出口96と受け口97とはフラックス供給路95により連通する。そして、フラックス供給ボトル93から受け口97、フラックス供給路95、およびフラックス吐出口96を通ってフラックス層形成部91aに供給されたフラックス98は、スキージ92が水平方向に作動することにより薄膜状のフラックス層となる。
ところが、図12に示す従来のブレード塗布装置1によると、塗布液供給機構がマスク板4の上方に配置されているので、塗布液6を塗布液供給ノズルからマスク板4上に滴下供給する際、塗布液6の液はねが生じて、その飛沫が光ディスクDの塗布液層9に付着し、塗布液層9の表面性状を劣化させ、その後の印刷等において不具合を生じる問題があった。また、塗布液6の飛沫により、ブレード塗布装置1の周囲を汚染する虞があった。更に、塗布液6を滴下供給するときに空気を巻き込み、塗布液6内に気泡が混入して良好な塗布液層9の確保が困難となる欠点があった。
飛沫の影響を排除するために、光ディスクから、より離れた位置に供給することも考えられるが、マスク板4の非製品部(助走区間)を必要以上に長く確保することとなり、装置の大型化、塗布液の使用量増大等の不具合となる。
However, according to the conventional blade coating apparatus 1 shown in FIG. 12, since the coating liquid supply mechanism is arranged above the mask plate 4, when the coating liquid 6 is dropped onto the mask plate 4 from the coating liquid supply nozzle. The liquid splash of the coating liquid 6 occurs, and the splash adheres to the
In order to eliminate the influence of splashing, it may be possible to supply the optical disc at a position further away from the optical disc, but the non-product part (running section) of the mask plate 4 will be secured longer than necessary, and the apparatus will be enlarged. This causes problems such as an increase in the amount of coating solution used.
また、塗布液供給ノズルから吐出する塗布液6は、マスク板4上の一点に集中供給されるので、幅の広い塗布面に塗布する場合、塗布液6は横方向、即ち、ブレード5の長手方向に広がり難く、塗布面の全面に亘って厚さが均一な塗布液層9を形成し難かった。即ち、塗布液層9の厚さのバラツキは、縦方向(ブレード5の移動方向)のバラツキに対して横方向(ブレード5の移動方向に直交する方向)のバラツキが大きくなる傾向があり、後の印刷において印刷不良の要因となり、好ましくなかった。また、マスク板4上を往復移動するブレード5との干渉を防止するため、塗布液供給ノズルを昇降させるノズル昇降装置が必要となり、装置が複雑となる問題があった。
Further, since the coating liquid 6 discharged from the coating liquid supply nozzle is concentrated and supplied to one point on the mask plate 4, when coating on a wide coating surface, the coating liquid 6 is lateral, that is, the length of the
特許文献1に開示されているフラックス供給装置10は、フラックステーブル91に設けられたフラックス層形成部91a内にフラックス吐出口96が開口し、該フラックス吐出口96からフラックス98を供給するので、上方に配設されたノズルなどからフラックス98を滴下供給する場合と比較すると、フラックス98の液はね、空気の巻き込みの虞はない。しかし、フラックス吐出口96は、製品部であるフラックス層形成部91aに形成されているので、フラックス吐出口96の配置位置や形状などが制限される場合が多く、均一な塗布液層(フラックス層)が得られない虞があった。
In the
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な機構により、どの方向にも均一な厚さを有し、且つ良好な表面性状を有する塗布液層を形成することができるブレード塗布装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to form a coating liquid layer having a uniform thickness in any direction and a good surface property by a simple mechanism. It is an object of the present invention to provide a blade coating device that can be used.
本発明に係る上記目的は、下記構成により達成できる。
(1) 開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布して、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布装置であって、
前記マスク表面から窪んで形成され前記ブレードの移動方向に対して直交する溝と、
前記溝の底部に設けられ前記塗布液を吐出する塗布液吐出口と、
前記塗布液吐出口に塗布液を供給する塗布液供給手段と、
を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。
The above object of the present invention can be achieved by the following configuration.
(1) A mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask with a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating apparatus for forming a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate,
Grooves recessed from the mask surface and perpendicular to the direction of movement of the blade;
A coating liquid discharge port that is provided at the bottom of the groove and discharges the coating liquid;
A coating solution supply means for supplying a coating solution to the coating solution discharge port;
A blade coating apparatus comprising:
このように構成されたブレード塗布装置によれば、マスク上の溝内の塗布液吐出口から塗布液が供給されると、まず、溝内に塗布液が満たされて、その後、塗布液が溝から盛り上がり、マスク上でブレードと塗布液が接触可能な状態となる。このブレードと接触可能な状態となったときには、塗布液が溝の長手方向に沿って均等に盛られた状態となり、ブレードの長手方向に沿って均等な塗布液の供給が可能となる。また、マスク上方に塗布液供給機構を設けることなく、マスク表面に形成された溝の塗布液吐出口から塗布液を連続的に供給することができる。従って、ブレードの移動機構が塗布液供給機構との干渉を考慮する制約がなくなり、装置全体の機構を簡略化できる。また、液はねや塗布液内への気泡の混入が防止されて塗布液が常に安定して供給される。 According to the blade coating apparatus configured as described above, when the coating liquid is supplied from the coating liquid discharge port in the groove on the mask, the groove is first filled with the coating liquid, and then the coating liquid is grooved. As a result, the blade is brought into contact with the coating liquid on the mask. When the blade can come into contact with the blade, the coating liquid is evenly stacked along the longitudinal direction of the groove, and the coating liquid can be supplied evenly along the longitudinal direction of the blade. Further, the coating liquid can be continuously supplied from the coating liquid discharge port of the groove formed on the mask surface without providing the coating liquid supply mechanism above the mask. Therefore, there is no restriction that the blade moving mechanism considers interference with the coating liquid supply mechanism, and the mechanism of the entire apparatus can be simplified. Further, the splashing of the liquid and the mixing of bubbles into the coating liquid are prevented, and the coating liquid is always supplied stably.
(2) 前記塗布液吐出口が、前記溝内で前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って複数箇所に配置されたことを特徴とする上記(1)記載のブレード塗布装置。 (2) The blade coating apparatus according to (1), wherein the coating liquid discharge ports are arranged at a plurality of locations along a direction orthogonal to the blade moving direction in the groove.
このように構成されたブレード塗布装置によれば、ブレードの移動方向に直交する方向、即ち、ブレードの長手方向に沿う複数箇所に塗布液を供給することができる。これにより、ブレードの長手方向にも塗布液を均等に供給することができ、塗布液の供給量を均一にすることができる。 According to the blade coating apparatus configured as described above, the coating liquid can be supplied to a plurality of locations along the direction perpendicular to the moving direction of the blade, that is, the longitudinal direction of the blade. Thus, the coating liquid can be evenly supplied also in the longitudinal direction of the blade, and the supply amount of the coating liquid can be made uniform.
(3) 前記溝を前記ブレード移動方向に対して異なる位置で、それぞれ溝の長手方向幅を異ならせて複数列形成したことを特徴とする上記(1)または(2)記載のブレード塗布装置。 (3) The blade coating apparatus according to (1) or (2) above, wherein the grooves are formed in a plurality of rows at different positions with respect to the blade moving direction, and the grooves have different longitudinal widths.
このように構成されたブレード塗布装置によれば、塗布液の消費量の多い部分に、複数列の溝を形成し、消費量に見合った多量の塗布液を供給することができる。また、これによって、塗布液層の厚さは、各部で均一な厚さとなる。 According to the blade coating apparatus configured as described above, a plurality of rows of grooves are formed in a portion where the consumption amount of the coating solution is large, and a large amount of coating solution corresponding to the consumption amount can be supplied. This also makes the thickness of the coating liquid layer uniform in each part.
(4) 前記溝を前記ブレード移動方向に直交する方向に沿って溝幅を変化させて形成したことを特徴とする上記(1)又は(2)記載のブレード塗布装置。 (4) The blade coating apparatus according to (1) or (2), wherein the groove is formed by changing a groove width along a direction orthogonal to the blade moving direction.
このように構成されたブレード塗布装置によれば、塗布液消費量の多い塗布面に対応して配置される溝の溝幅を広く形成し、また塗布液消費量の少ない塗布面に対応して配置される溝の溝幅を狭く形成することにより、各部の塗布液消費量に見合った量の塗布液を容易に供給することができる。これにより、各部の塗布液層の厚さを均一化できる。 According to the blade coating apparatus configured in this way, the groove width of the groove disposed corresponding to the coating surface with a large amount of coating liquid consumption is formed wide, and also corresponding to the coating surface with a small amount of coating liquid consumption. By narrowing the groove width of the groove to be disposed, it is possible to easily supply an amount of the coating liquid corresponding to the coating liquid consumption of each part. Thereby, the thickness of the coating liquid layer of each part can be equalized.
(5) 前記溝が前記マスクの開口の両脇側に少なくとも一対設けられ、前記ブレードが前記両脇側の溝を通過する位置までの間を移動することを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれか1項記載のブレード塗布装置。 (5) At least one pair of the grooves is provided on both sides of the opening of the mask, and the blade moves to a position passing through the grooves on both sides. The blade coating apparatus according to any one of 4).
このように構成されたブレード塗布装置によれば、ブレードを往復動させると、その移動パス毎に塗布工程を実施することができ、塗布工程のタクトタイムを短縮することができる。 According to the blade coating apparatus configured as described above, when the blade is reciprocated, the coating process can be performed for each movement path, and the tact time of the coating process can be shortened.
本発明のブレード塗布装置によれば、簡単な機構により、各部の消費量に見合った量の塗布液が安定して供給され、これにより、どの方向にも均一な厚さを有し、且つ良好な表面性状を有する塗布液層を形成することができる。 According to the blade coating apparatus of the present invention, an amount of coating liquid corresponding to the consumption amount of each part is stably supplied by a simple mechanism, thereby having a uniform thickness in any direction and good It is possible to form a coating liquid layer having a satisfactory surface property.
以下、本発明に係るブレード塗布装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a blade coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(第1実施形態)
図1は本発明に係るブレード塗布装置の概略を表す構成図、図2は図1に示したブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a blade coating apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the appearance of the blade coating apparatus shown in FIG.
本実施の形態によるブレード塗布装置100は、例えば平面基板の一例であるディスク状記録媒体(光ディスク)Dを被塗布部材とする液膜の塗布に用いられる。
まず、ブレード塗布装置100の基本構成について説明する。
図1に示すように、ブレード塗布装置100の塗布部11には、光ディスクDが吸着載置可能となる円形状の吸着台13が設けられる。この吸着台13の上面には複数の吸着孔15が開口されて、各吸着孔15には吸引路17を介して真空ポンプ19が接続される。吸着台13は、真空ポンプ19が作動することで吸着孔15を介して光ディスクDを上面に吸着保持することができる。
The
First, the basic configuration of the
As shown in FIG. 1, the applicator 11 of the
また、吸着台13は、昇降軸21によって下面中央が上下方向に移動自在に支持される。この昇降軸21の上下移動は、マスク剥離手段の一例であるエアシリンダ23の駆動によりなされる。そして、吸着台13の上方にはマスク板(マスク)25が設けられ、マスク板25は光ディスクDの塗布面57を露出させる開口27を有している。吸着台13に載置された光ディスクDは、エアシリンダ23の駆動によって昇降軸21が上昇して、上限位置に到達したときに、外周縁がマスク板25の開口縁部25aによって覆われる。
Further, the suction table 13 is supported by the lifting
また、塗布部11には、光ディスクDの中央部上方に、マスクキャップ着脱手段29が具備される。マスクキャップ着脱手段29は、キャップ吸着ノズル31と、真空ポンプ33と、昇降手段35とからなる。マスクキャップ着脱手段29は、真空ポンプ33の駆動によってキャップ吸着ノズル31の下端に、マスクキャップ37を吸着保持する。この状態で昇降手段35が駆動されることで、キャップ吸着ノズル31が下降して、光ディスクDの中央部の穴にマスクキャップ37が挿着されるようになっている。なお、マスクキャップ(センターキャップ)37は、これに限らず、他の機械的手段で脱着してもよい。例えば、マスクキャップ37の下方から突き上げてマスク板25から浮き上がらせ、マスクキャップ37を、その側方からすくい取る等の方法がある。
The coating unit 11 is provided with a mask cap attaching / detaching means 29 above the center of the optical disc D. The mask cap attaching / detaching means 29 includes a
開口27より外側のマスク板25の表面には、後述するブレード51の移動方向(図1において左右方向)に対して直交する方向、即ち、紙面に垂直方向に沿って長手方向を有する長溝39が、マスク板25の表面より一段低く窪んで形成されている。長溝39の長手方向長さは、マスク板25の開口27の長さ(ブレード51の移動方向に対して直交する方向長さ)と略同じ長さに設定される。長溝39の底面には、ブレード51の移動方向に対して直交する方向に複数の塗布液吐出口41が形成されている。各塗布液吐出口41は互いに連通しており、マスク板25に形成された塗布液供給路43を介して塗布液供給手段81に接続されている。塗布液供給手段81は、塗布液供給ポンプ45および塗布液タンク47を備える。そして、塗布液供給ポンプ45は、塗布液タンク47に貯留された塗布液49を圧送して、塗布液吐出口41から吐出して長溝39内に供給する。
On the surface of the
ここで、塗布液49は、例えば、液粘度が150cP〜800cPのものが利用でき、特に、200cP〜600cPの塗布液49が好適に用いられる。なお、ここでいう液粘度は、25℃の環境下でB型粘度計(ビスメトロン)により測定した値である。
Here, as the
長溝39のさらに外側には、ブレード51が待機状態で配置される。換言すれば、塗布液49は、塗布液吐出口41からブレード51の助走区間に供給されることになる。ブレード51は、移動手段53によってマスク板25上を所定の隙間Gを保ちながら水平駆動され、前側面55で塗布液49を押しながら、図2に示すように、マスク板25の開口27によって露出された光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布するように移動する。
The
ブレード51は、図1の紙面垂直方向に長尺に形成されたステンレス材等の金属材料からなり、ブレード51長手方向に垂直方向の断面形状が、略台形形状に形成されている。また、ブレード51の下面59とマスク板25との間には隙間(ギャップ)Gが形成され、塗布液49はブレード51の前側面55により流れが案内されるに伴い押圧されることで、このギャップGに押し込まれる。そして、塗布面57に対面するブレード51の下面(押圧面)59を通過することで塗布液49がマスク板25の開口27内に充填される。その結果、塗布面57に塗布液49が平坦に塗布されるようになる。
The
上記した真空ポンプ19、エアシリンダ23、真空ポンプ33、昇降手段35、塗布液供給ポンプ45、移動手段53は、それぞれが制御部63によって動作が制御される。
The operations of the
また、マスク板25の開口27は、ブレード51の長手方向に沿って連続する少なくとも50mmを超える開口を有することで、詳細を後述する本発明に係るブレード塗布による均一塗布性の効果が顕著となる。本実施の形態においては、開口27が直径120mm程度の円形状に形成される。
Further, the
本実施の形態によるブレード塗布装置100においては、塗布時における塗布液層の膜厚が、少なくとも100μm以上で塗布される。このような100μm以上の厚みで塗布液が塗布される場合、薄膜の塗布の場合と比較して、塗布液層の表面性状は塗布面57の表面に倣う傾向が低くなり、ブレード51の形状が大きな影響を及ぼすことになる。つまり、塗布面57の凹凸に影響されにくく、ブレード51による塗布液49の圧力、ブレード51形状による塗布液49の濡れ上がり性等が、塗布液層の表面性状を決定する主要因となる。
In the
また、直径120mm程度の比較的大きな塗布面57に塗布液49を塗布する場合、塗布必要量に見合った量の塗布液49がバランスよく供給されることが肝要である。ここで、塗布必要量とは、塗布面57に塗布される総量での必要量だけでなく、幅の大きい塗布面57に対して直線移動するブレード51で塗布する場合、塗布面57をブレード51の幅方向に複数に区画し、それぞれの区画ごとの塗布必要量を考慮する必要がある。これは、マスク板25上に供給された塗布液49は、ブレード51の移動方向に伸ばされながら塗布面57に塗布され、ブレード51の移動方向と直交する方向にはあまり伸ばされないからである。
Further, when the
本ブレード塗布装置100は、ディスク状記録媒体の記録層の少なくとも1層を形成するディスク塗布装置として使用する場合、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を形成することができる。このディスク塗布装置によれば、印刷層への印刷の際、良好な色再現性が確保できるように、必要十分な厚みの印刷層を形成することができる。実際には、塗布液層が塗布時100μm程度の厚みであると、乾燥後の目減り時において30μm程度の塗膜が形成され、この30μm程度のインク受理層が良好な色再現性を可能にする。
When this
次に、このブレード塗布装置100を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図3は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(c)で表した説明図、図4は本発明に係る塗布方法の手順を(d)〜(g)で表した説明図である。
まず、制御部63の指令により、図3(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着され、図3(b)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。次いで、図3(c)に示すように、マスクキャップ着脱手段29の駆動により、マスクキャップ37が光ディスクDの中央穴に挿着される。
Next, a coating solution coating method using the
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (a) to (c), and FIG. 4 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (d) to (g). is there.
First, as shown in FIG. 3A, the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating
そして、図4(d)に示すように、塗布液49が塗布液供給手段81により塗布液吐出口41から吐出して長溝39内に溜まり、やがて長溝39から盛り上がるようにマスク板25上(ブレード51の助走区間)に供給される。このとき、複数の塗布液吐出口41は互いに連通しているので、塗布液49は複数の塗布液吐出口41から同一のタイミングで供給される。供給される塗布液49の量は、光ディスクDの塗布面57の面積により必要量が適宜調整される。
Then, as shown in FIG. 4D, the
ここで、塗布液49の供給について図5を参照して詳述する。図5(a)〜(e)は塗布液吐出口から吐出する塗布液が長溝に溜まる状態を示す平面図である。図5に示すように、長溝39内に形成された複数の塗布液吐出口41から吐出する塗布液49は、吐出初期において、その表面張力により互いに独立した平面形状円形(実質は半球状)であるが(a)、吐出量が多くなるに従って横方向に広がり、長溝39の長辺39aに案内されて次第に平面形状楕円形となる(b)。塗布液49が更に供給されると、独立していた平面形状楕円形の両端同士が接触して繋がり(c)、やがて長溝39内が塗布液49で充満し(d)、ついには長溝39から溢れ出して平面形状長円形となって長溝39上に盛り上がり(e)、必要量の塗布液49が供給される。
Here, the supply of the
この状態においては、溢れるように長溝39上に溜まった塗布液49は、レベリング効果により長溝39の長手方向に流れて長手方向に均等な量の塗布液49が供給される。即ち、各塗布液吐出口41から供給される塗布液49の供給量に多少のバラツキがあっても、長溝39内に一時貯留することにより、最終的にはレベリング効果によって塗布液49は長溝39の長手方向(即ち、ブレード51の長手方向)に均等な量となる。
In this state, the
図4(e)に示すように、ブレード51は、長溝39に一時貯留されてブレード51の長手方向に均等な量が供給された塗布液49を押圧しながら、移動手段53によって図中右方から左方に移動する。すると、ブレード51が光ディスクDの塗布面57を塗布液49と共に通過して、光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層が形成される。
As shown in FIG. 4E, the
尚、塗布液吐出口41から長溝39内、即ち、マスク板25上に供給される塗布液49の供給量は、一回の塗布により光ディスクDの塗布面57に塗布される量より僅かに多い程度に設定されているので、ブレード51が移動終端位置(図において左端)に達したときには、殆ど残っていることはない。また、塗布液49は、長溝39内に一時溜められて長溝39の長手方向に均等な量とした後、塗布されるので、塗布液がノズルなどから集中供給される場合と比較すると、塗布液層の厚さを遥かに均一なものとすることができる。
なお、塗布液49としては、光ディスクDにインク受理層を形成するための塗布液49である表1に示す組成物が例示される。
Note that the supply amount of the
Examples of the
次いで、図4(f)に示すように、マスクキャップ着脱手段29が駆動され、マスクキャップ37が光ディスクDから脱着される。これにより、光ディスクDの中央部には塗布液49の塗布されない円形段部69が形成されることとなる。次いで、図4(g)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が下降することにより、マスク板25の開口縁部25aから光ディスクDが下方へと離反される。これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。この結果、光ディスクDの外周縁にはマスク板25に覆われていたことで、塗布液49の塗布されていない非塗布部71が形成されることとなる。
なお、マスク板25の開口形状を適宜変更することによって、塗布部の形状は自由に設定できる。
Next, as shown in FIG. 4 (f), the mask cap attaching / detaching means 29 is driven, and the
Note that the shape of the application part can be freely set by appropriately changing the opening shape of the
このようにして塗布液49の塗布が完了した光ディスクDは、図示は省略するが、吸着台13から取り外され、次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。同時に、移動手段53によってブレード51が図中左方から右方に移動して元の位置に戻り、次の塗布液49の塗布準備を行う。
The optical disk D in which the application of the
なお、上記のブレード塗布装置100においては、ブレード51をステンレス材により形成したが、本発明はこれに限らず、例えば樹脂材料や硬質ゴムであってもよい。また、本実施形態では、光ディスクの印刷面の塗布に本ブレード塗布装置を用いているが、対象物はこれに限らず、厚膜を形成するものであれば、種々の対象物に塗布することができる。
In the
(第2実施形態)
図6は第2実施形態のブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図、図7は図6に示したブレード塗布装置の縦断面図、図8は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(f)で表した説明図である。
(Second Embodiment)
6 is a perspective view showing an outline of the outer appearance of the blade coating apparatus of the second embodiment, FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the blade coating apparatus shown in FIG. 6, and FIG. 8 shows the procedure of the coating method according to the present invention ( It is explanatory drawing represented by a)-(f).
図6および図7に示すように、第2実施形態のブレード塗布装置200は、ブレード51の往動および復動のそれぞれの移動時に、ブレード51が光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布して所定厚の塗布液層を形成する。マスク板25の開口27の両脇側、更に詳細にはブレード51の移動方向において開口27の両脇側に、ブレード51の移動方向と直交する方向に長手方向を一致させて、マスク板25の表面から一段低く掘り込まれた一対の長溝39(39A,39B)が形成されている。それぞれの長溝39(39A,39B)の底部には、複数の塗布液吐出口41(41A,41B)が設けられている。
As shown in FIGS. 6 and 7, in the
複数の塗布液吐出口41(41A,41B)は、マスク板25に形成された塗布液供給路43(43A,43B)を介して塗布液供給手段81に接続されている。塗布液供給手段81は、切替弁83、塗布液供給ポンプ45および塗布液タンク47を備える。塗布液供給手段81は、切替弁83で塗布液供給ポンプ45に連通する供給路を塗布液供給路43Aまたは塗布液供給路43Bに切り換え、塗布液タンク47に貯留された塗布液49を塗布液供給ポンプ45により塗布液吐出口41Aまたは塗布液吐出口41Bから吐出して長溝39Aまたは長溝39B内に供給する。
The plurality of coating liquid discharge ports 41 (41 </ b> A, 41 </ b> B) are connected to the coating liquid supply means 81 via coating liquid supply paths 43 (43 </ b> A, 43 </ b> B) formed in the
ブレード51は、開口27の両脇側に設けられた一対の長溝39A,39Bを通過する位置、換言すれば、一対の長溝39A,39Bの外側までの間を移動する。また、ブレード51は、長手方向に垂直方向の断面形状が、下方部分で先細りとなる略6角形に形成されており、両側面に塗布液49の流れを案内する傾斜面である前側面55A、および後側面55Bが形成されている。そして、ブレード51の往動時には前側面55Aで塗布液49を押圧し、ブレード51の復動時には後側面55Bで塗布液49を押圧して光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布する。
その他の部分は、第1実施形態のブレード塗布装置100と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化、または省略する。
The
Since other parts are the same as those of the
次に、このブレード塗布装置200を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図8は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(f)で表した説明図である。
まず、制御部63の指令により、図8(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着された後、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。次いで、図8(b)に示すように、切替弁83を塗布液供給路43Aに切り換え、塗布液タンク47に貯留された塗布液49をブレード51が待機している側の塗布液吐出口41(図8においては左側の塗布液吐出口41A)から吐出して長溝39Aに供給する。長溝39Aの底部に形成された複数の塗布液吐出口41Aから吐出した塗布液49は、レベリング効果によって次第に長溝39A内に広がり、長溝39Aの形状に沿った平面形状長円形となって盛り上がる(図5参照)。このとき、塗布液49は、長溝39Aの長手方向に均等な量となっている。
Next, a coating solution coating method using the
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (a) to (f).
First, as shown in FIG. 8A, after the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating
図8(c)に示すように、塗布液吐出口41Aから所定量(光ディスクDに一回の塗布を行うのに必要な量)の塗布液49が長溝39Aに供給されると、ブレード51が移動手段53によって図中左方から右方に塗布液49を押圧しながら移動して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層が形成される。塗布液49はブレード51の長手方向に均等な量が供給されているので、塗布面57に塗布される塗布液層の厚さも均一となる。そして、ブレード51は、長溝39Bを通過して右移動終端位置に達して停止する。このとき、塗布液49は塗布面57の塗布に消費されて殆ど残っていない。次いで、図8(d)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって、吸着台13が下降することによりマスク板25の開口縁部25aから光ディスクDが下方へと離反される。これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。そして、吸着台13の下降位置において、塗布液49の塗布が完了した光ディスクDが取り外されて次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。
As shown in FIG. 8 (c), when a predetermined amount of coating liquid 49 (a quantity necessary for performing one coating on the optical disk D) is supplied to the
次に、図8(e)に示すように、吸着台13上に新しい光ディスクD(未塗布の光ディスク)が吸着され、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。光ディスクDの交換作業と同時に、切替弁83は塗布液供給路43を塗布液供給路43Aから塗布液供給路43Bに切り換え、所定量の塗布液49を複数の塗布液吐出口41Bから吐出して長溝39B内に供給する。複数の塗布液吐出口41B、換言すれば、複数箇所に供給された塗布液49は、先と同様にレベリング効果により長溝39B内に広がり、やがてそれぞれが繋がって一体となり長溝39Bの形状に沿った平面形状長円形に盛り上がる。これにより、長溝39Bに供給された塗布液49も、ブレード51の長手方向に均等となる。そして、図8(f)に示すように、ブレード51が移動手段53によって図中右方から左方に塗布液49を押圧しながら移動して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層を形成する。
Next, as shown in FIG. 8 (e), a new optical disk D (uncoated optical disk) is adsorbed on the adsorption table 13, and the adsorption table 13 is raised by driving the
以後、同様に動作を繰り返し行って、ブレード51の往動および復動において、塗布液49を塗布して光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層を形成し、効率よく塗布液49が光ディスクDに塗布される。
Thereafter, the operation is repeated in the same manner, and in the forward and backward movements of the
本実施形態のブレード塗布装置200によれば、複数の塗布液吐出口41から供給された塗布液49は、長溝39内でブレード51の長手方向に広がり、やがてそれぞれが繋がって平面形状長円形の一体となって盛り上がり、ブレード51の長手方向に均等な量の塗布液49が供給される。そして、光ディスクDの塗布面57の幅(ブレード51の長手方向の長さ)と略同じ幅に横方向に広がって1つの塊となった塗布液49を、ブレード51が押圧しながら移動して塗布するので、従来、横方向(ブレード51の長手方向)に厚さのバラツキができ易かった、即ち、ブレード51の移動方向と平行にスジができ易かった光ディスクDの塗布面57に均一な厚さの塗布液層を形成することができる。
According to the
(第3実施形態)
図9は第3実施形態のブレード塗布装置の要部縦断面図である。
図9に示すように、第3実施形態のブレード塗布装置300は、ブレード51の移動方向においてマスク板25の開口27の両脇側に、ブレード51の移動方向と直交する方向に長手方向を一致させて、長さL1の一対の長溝39(39A,39B)がマスク板25の表面から一段低く掘り込まれて形成されている。それぞれの長溝39A,39Bの開口27側には、更に長さL2の一対の補助長溝39C,39Dが長溝39A,39Bと平行に形成されている。
(Third embodiment)
FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a main part of the blade coating apparatus according to the third embodiment.
As shown in FIG. 9, the
長溝39A,39Bの長さL1は、マスク板25の開口27の幅(ブレード51の移動方向と直交する方向の長さ)と略同じであり、補助長溝39C,39Dの長さL2は、長溝39A,39Bの長さL1より短くなっている(L1>L2)。それぞれの長溝39(39A,39B,39C,39D)の底部には、複数の塗布液吐出口41(41A,41B,41C,41D)が設けられている。
その他の部分は、第2実施形態のブレード塗布装置200と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化、または省略する。
The length L1 of the
Since other parts are the same as those of the
一対の長溝39A,39B、および長溝39A,39Bの長さL1より短い長さL2の補助長溝39C,39Dを有するブレード塗布装置300は、塗布面57をブレード51の移動方向と直交する方向に複数の区画に区分けしたとき、それぞれの区画の面積が異なるような形状の塗布面に塗布液49を塗布する場合、極めて有効に作用して、均一な厚さを有する塗布液層を形成することができる。即ち、広い面積を有する区画に対応させて補助長溝39C,39Dを配置することにより、部分的に塗布液49の供給量を増量して、長溝39A,39Bからの供給量だけでは不足する塗布液49を補充する。
The
図10は光ディスクの塗布面に塗布液を塗布する場合の塗布液供給量(a)と、塗布面の面積(b)を示す図である。図10(b)に示すように、光ディスクDの塗布面57をブレード51の移動方向と直交する方向に複数の区画に区分けしたとき、それぞれの区画の面積(塗布面積)Sは、塗布面57の両端部が少なく、中心に向かうに従って次第に増加する。塗布面57の中心部には塗布液49が塗布されないマスクキャップ37が挿着されているので、面積Sは中心部が少なくなった中凹み形状となる。
FIG. 10 is a diagram showing the coating liquid supply amount (a) and the area (b) of the coating surface when the coating solution is applied to the coating surface of the optical disk. As shown in FIG. 10B, when the
一方、図9に示すように、光ディスクDの塗布面57の幅と同じ長さL1を有する長溝39A,39B、および塗布面57の中心に対応して配置された長さL2の補助長溝39C,39Dを有するブレード塗布装置300による塗布液49の供給量は、図10(a)に示すように、中心付近の供給量が補助長溝39C,39Dによって増量された略2段ピラミッド形となる。従って、多くの塗布液49を必要とする塗布面57の中心部には多くの塗布液49が供給されるので、光ディスクDの塗布面57に均一な厚さの塗布液層を形成することができる。
On the other hand, as shown in FIG. 9,
尚、第3実施形態のブレード塗布装置においては、補助長溝の位置を中心に配置して光ディスクの円形塗布面に対応するようにしたが、マスク板の開口形状、即ち、塗布面積に応じて補助長溝の位置を大きな塗布面積を有する塗布部に対応して配置することができ、これにより、所望の供給分布となるように供給量を調整して塗布液を供給することができる。
また、長溝39Aと補助長溝39Cの溝同士、及び長溝39Bと補助長溝39Dの溝同士を互いに連通させることにより、それぞれの溝に設けていた塗布液吐出口を共通化して、例えば、長溝39A,39Bの塗布液吐出口41A,41Bで両溝に塗布液を供給する構成にできる。
なお、ここでは、ブレードの往復動において塗布液を塗布するものとして説明したが、長溝および補助長溝を開口の一方側に配置してブレードの往動時にのみ、塗布液を塗布するようにしてもよいことは言うまでもない。この場合には、更にブレード塗布装置の機構を簡素化できる。
In the blade coating apparatus according to the third embodiment, the auxiliary long groove is arranged at the center so as to correspond to the circular coating surface of the optical disk. However, the auxiliary coating according to the opening shape of the mask plate, that is, the coating area. The position of the long groove can be arranged corresponding to the application portion having a large application area, and thereby the application liquid can be supplied by adjusting the supply amount so as to obtain a desired supply distribution.
Further, by making the grooves of the
Here, the coating liquid is applied in the reciprocating motion of the blade, but the long groove and the auxiliary long groove are arranged on one side of the opening so that the coating liquid is applied only when the blade moves forward. Needless to say, it is good. In this case, the mechanism of the blade coating device can be further simplified.
(第4実施形態)
図11は第4実施形態のブレード塗布装置に装備されるマスク板の要部拡大平面図である。
図11に示すように、第4実施形態のマスク板25は、開口27の外側に、幅Wが中央から端部に向かうに従って次第に狭くなる略菱形の菱形長溝91が、マスク板25の表面から一段低くされて形成されている。菱形長溝91の底部には、図示しない塗布液供給手段に接続された複数の塗布液吐出口93(93A,93B)が設けられている。菱形長溝91の長手方向中央の幅の広い底部に設けられた塗布液吐出口93Aの穴径は、他の塗布液吐出口93Bの穴径よりも大きく、より多くの塗布液49が吐出される。
(Fourth embodiment)
FIG. 11 is an enlarged plan view of a main part of a mask plate provided in the blade coating apparatus according to the fourth embodiment.
As shown in FIG. 11, the
塗布液49は、塗布液供給手段によって複数の塗布液吐出口93(93A,93B)から吐出して菱形長溝91内に供給される。複数の塗布液吐出口93(93A,93B)から吐出した塗布液49は、吐出初期においては菱形長溝91内で互いに独立しているが、吐出量が増えるのに伴ってレベリング効果により菱形長溝91内に広がり、やがてそれぞれが繋がって一体となって盛り上がる。このとき、菱形長溝91の中央部は幅Wが広いので、より多くの塗布液49が供給されている。このような菱形長溝91は、中央部の塗布面積が大きい被塗布体、例えば光ディスクDの塗布面57(図9参照)の塗布に用いるのに好適である。
The
長溝の形状は菱形に限定されるものではなく、開口の形状、即ち、塗布面積に応じて任意の形状とすることができる。より具体的には、塗布面積が大きい部分に対応する長溝の幅を大きくすることにより、多くの塗布液が必要となる部分に多くの塗布液を供給するようにして、所望の供給分布となるように供給量を調整して塗布液を供給することができる。
これによって均一な厚さを有する塗布液層を形成することができる。また、部分的に多くの塗布液を供給する場合、塗布液吐出口の穴径を大きくする以外に、塗布液吐出口の配置密度を高めて対応するようにしてもよい。
The shape of the long groove is not limited to a rhombus, and may be an arbitrary shape depending on the shape of the opening, that is, the coating area. More specifically, by increasing the width of the long groove corresponding to the portion where the coating area is large, a large amount of coating liquid is supplied to a portion where a large amount of coating liquid is required, thereby obtaining a desired supply distribution. Thus, it is possible to supply the coating liquid by adjusting the supply amount.
As a result, a coating liquid layer having a uniform thickness can be formed. In addition, when a large amount of coating liquid is supplied partially, in addition to increasing the hole diameter of the coating liquid discharge port, the arrangement density of the coating liquid discharge ports may be increased.
なお、本発明に係るブレード塗布装置は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良等が可能である。 Note that the blade coating apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately modified and improved.
25 マスク
27 開口
39A,39B 長溝(溝)
39C,39D 補助長溝(溝)
41(41A,41B,41C,41D) 塗布液吐出口
49 塗布液
51 ブレード
81 塗布液供給手段
91 菱形長溝(溝)
93(93A,93B) 塗布液吐出口
100 ブレード塗布装置
200 ブレード塗布装置
300 ブレード塗布装置
D 光ディスク(平面基板)
L1 長溝の長さ(溝の長手方向幅)
L2 補助長溝の長さ(溝の長手方向幅)
W 溝幅
25
39C, 39D Auxiliary long groove (groove)
41 (41A, 41B, 41C, 41D) coating
93 (93A, 93B) Coating
L1 Length of long groove (longitudinal width of groove)
L2 Length of auxiliary long groove (longitudinal width of groove)
W Groove width
Claims (5)
前記マスク表面から窪んで形成され前記ブレードの移動方向に対して直交する溝と、
前記溝の底部に設けられ前記塗布液を吐出する塗布液吐出口と、
前記塗布液吐出口に塗布液を供給する塗布液供給手段と、
を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。 A mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask with a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating apparatus for forming a coating liquid layer according to the opening of the mask on a substrate,
Grooves recessed from the mask surface and perpendicular to the direction of movement of the blade;
A coating liquid discharge port that is provided at the bottom of the groove and discharges the coating liquid;
A coating solution supply means for supplying a coating solution to the coating solution discharge port;
A blade coating apparatus comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005049178A JP2006231194A (en) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Blade application apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005049178A JP2006231194A (en) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Blade application apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006231194A true JP2006231194A (en) | 2006-09-07 |
Family
ID=37039423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005049178A Pending JP2006231194A (en) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | Blade application apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006231194A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010541118A (en) * | 2007-10-04 | 2010-12-24 | プリンコ アメリカ コーポレイション | Optical disc coating tool, optical disc coating method, and optical disc manufacturing method |
CN109967314A (en) * | 2019-04-23 | 2019-07-05 | 上海艾郎风电科技发展(集团)有限公司 | The accurate size applicator of wind electricity blade web |
US20220161547A1 (en) * | 2019-03-26 | 2022-05-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for Stencil Printing a Layer and Printing Device |
-
2005
- 2005-02-24 JP JP2005049178A patent/JP2006231194A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010541118A (en) * | 2007-10-04 | 2010-12-24 | プリンコ アメリカ コーポレイション | Optical disc coating tool, optical disc coating method, and optical disc manufacturing method |
US20220161547A1 (en) * | 2019-03-26 | 2022-05-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for Stencil Printing a Layer and Printing Device |
CN109967314A (en) * | 2019-04-23 | 2019-07-05 | 上海艾郎风电科技发展(集团)有限公司 | The accurate size applicator of wind electricity blade web |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100659362B1 (en) | Screen printing machine and printing method thereof | |
JP4852257B2 (en) | Solution coating apparatus and coating method | |
JP2006068592A (en) | Substrate-mounting stage and method for adsorbing or detaching substrate | |
TW201637724A (en) | Fluid discharging device, method for discharging fluid and fluid coating device | |
JP2014172031A (en) | Applicator, pattern coating apparatus and pattern coating method | |
JP2006231194A (en) | Blade application apparatus | |
KR101360021B1 (en) | apparatus for providing solder cream used in screen printer | |
JP2004216642A (en) | Ink jet recorder, cleaning method of its ink jet head, process for manufacturing image display element using ink jet recording method and process for manufacturing optical recording medium | |
CN107443902A (en) | Formation equipment for pattern lines | |
KR20070043029A (en) | Application device and method of preventing application head clogging | |
JP2006231231A (en) | Blade application apparatus | |
KR102596840B1 (en) | Fluid discharge device and fluid discharge method | |
US20240059064A1 (en) | Electrohydrodynamic print head with ink pinning | |
JP2011031177A (en) | Discharge nozzle, discharging apparatus, coater and coating method | |
JPH11227228A (en) | Ink jet recording head | |
JP2004294113A (en) | Method for filling functional liquid in functional liquid drop discharge head, functional liquid filling apparatus and liquid drop discharging apparatus having the same, method for manufacturing probe carrier, probe carrier and analyzer, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic equipment | |
JP2006231235A (en) | Blade coating method | |
JP2006247473A (en) | Ink anti-splashing apparatus and pattern formation apparatus | |
KR100551399B1 (en) | Pattern forming apparatus using inkzet printing method | |
JP2006231122A (en) | Blade application apparatus and blade application method | |
JPH10151744A (en) | Ink jet recording head, its manufacture, and ink jet recording device | |
JP6609977B2 (en) | NOZZLE PLATE, INKJET HEAD, INKJET DEVICE, AND NOZZLE PLATE MANUFACTURING METHOD | |
JP2005199129A (en) | Coater | |
JPH08318613A (en) | Screen printer for cream solder | |
JP5033939B2 (en) | Method for forming printed pattern on substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20061124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |