JP2006216973A - メモリーの作製方法 - Google Patents
メモリーの作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006216973A JP2006216973A JP2006065233A JP2006065233A JP2006216973A JP 2006216973 A JP2006216973 A JP 2006216973A JP 2006065233 A JP2006065233 A JP 2006065233A JP 2006065233 A JP2006065233 A JP 2006065233A JP 2006216973 A JP2006216973 A JP 2006216973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon film
- amorphous silicon
- substrate
- film
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】非晶質珪素膜の表面全体に、非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素を含む溶液を塗布し、加熱処理により触媒元素と非晶質珪素膜とを反応させてシリサイド化し、シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、薄膜トランジスタを用いてメモリーを形成する。
【選択図】図2
Description
(1)触媒元素が導入された領域において生じる結晶化であり、基板に垂直な方向に結晶成長が行われる。
(2)触媒元素が導入された領域から触媒元素が導入されなかった領域へと基板に平行な方向に結晶成長が行われる。
の結晶成長が行われた領域を横成長領域と称することとする。
従って、本発明のように縦成長および横成長の結晶状態を独立に制御することは、必要な領域に必要とする特性を有するTFTを形成せんとする場合には極めて有用である。
の非晶質珪素膜203を成膜する。次に連続的に厚さ500〜2000Å、例えば1000Åの酸化珪素膜204をプラズマCVD法によって成膜する。そして、この酸化珪素膜204を選択的にエッチングして、非晶質珪素膜203の露出した領域を形成する。この工程において、図2に示す画素領域用のTFTにおいては、酸化珪素膜204が全面的に取り除かれて、非晶質珪素膜203の表面全体が露呈する。また図3に示す周辺回路用のTFTの領域においては、酸化珪素膜204を残存させ、非晶質珪素膜203の表面がマスクされた状態となる。
において示される活性層領域301はニッケルが導入された領域209から基板に平行に横方向に結晶成長(横成長)した結晶性珪素膜で構成されている。
ドーズ量は1×1015〜8×1015cm-2、例えば、4×1015cm-2とする。
この結果、N型の不純物領域212と213を形成することができる。図からも明らかなように不純物領域とゲイト電極とは距離xだけ放れたオフセット状態となる。このようなオフセット状態は、特にゲイト電極に逆電圧(NチャネルTFTの場合はマイナス)を印加した際のリーク電流(オフ電流ともいう)を低減する上で有効である。
さらに層間絶縁物214、215にコンタクトホールを形成して、金属材料、例えば、窒化チタンとアルミニウムの多層膜によってTFTの電極・配線217、218を形成する。この際、図2(F)の配線218は画素電極であるITO電極219に接続させる。最後に、1気圧の水素雰囲気で350℃、30分のアニールを行い、TFTを完成する。こうしてアクティブマトリクス液晶表示装置のおける画素部分のTFT(図2(F))と周辺回路部分のTFT(図3(F))
とを同時にガラス基板上に形成することができる。
202・・・下地膜(酸化珪素膜)
203・・・珪素膜
204・・・酸化珪素膜
205・・・ニッケルを含有した酢酸塩溶液(ニッケルを10ppm含有)
206・・・酸化珪素膜
207・・・ニッケルを含有した酢酸塩溶液(ニッケルを100ppm含有)
210・・・ゲイト電極
211・・・陽極酸化物
Claims (10)
- 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素としてNi、Pd、Pt、Cuのうち一種または複数種を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いてメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素であるNi、Pd、Pt、Cuのうち、一種または複数種の元素の化合物を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いてメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に酸化膜を形成し、
前記酸化膜を介して、前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素としてNi、Pd、Pt、Cuのうち一種または複数種を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いてメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に酸化膜を形成し、
前記酸化膜を介して、前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素であるNi、Pd、Pt、Cuのうち、一種または複数種の元素の化合物を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いてメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素としてNi、Pd、Pt、Cuのうち一種または複数種を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
レーザー光の照射により前記結晶性珪素膜の結晶性を助長させ、
前記結晶性を助長させた結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いて前記基板上にメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素であるNi、Pd、Pt、Cuのうち、一種または複数種の元素の化合物を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
レーザー光の照射により前記結晶性珪素膜の結晶性を助長させ、
前記結晶性を助長させた結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いて前記基板上にメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に酸化膜を形成し、
前記酸化膜を介して、前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素としてNi、Pd、Pt、Cuのうち一種または複数種を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
レーザー光の照射により前記結晶性珪素膜の結晶性を助長させ、
前記結晶性を助長させた結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いて前記基板上にメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 絶縁表面を有する基板上に非晶質珪素膜を形成し、
前記非晶質珪素膜の表面全体に酸化膜を形成し、
前記酸化膜を介して、前記非晶質珪素膜の表面全体に、前記非晶質珪素膜の結晶化を助長する触媒元素であるNi、Pd、Pt、Cuのうち、一種または複数種の元素の化合物を含む溶液を塗布し、
加熱処理により前記触媒元素と前記非晶質珪素膜とを反応させて前記非晶質珪素膜の表面をシリサイド化し、前記シリサイド化された表面から基板に向かって結晶成長させることによって結晶性珪素膜を形成し、
レーザー光の照射により前記結晶性珪素膜の結晶性を助長させ、
前記結晶性を助長させた結晶性珪素膜を用いて薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタを用いて前記基板上にメモリーを形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 請求項3、請求項4、請求項7または請求項8において、
前記酸化膜は熱酸化法または酸素雰囲気中のUV光の照射によって形成することを特徴とするメモリーの作製方法。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか一項において、
前記絶縁表面を有する基板として酸化珪素膜が形成されたガラス基板を用いることを特徴とするメモリーの作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065233A JP4105197B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | メモリーの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065233A JP4105197B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | メモリーの作製方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001280261A Division JP3824898B2 (ja) | 2001-09-14 | 2001-09-14 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216973A true JP2006216973A (ja) | 2006-08-17 |
JP4105197B2 JP4105197B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=36979862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006065233A Expired - Fee Related JP4105197B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | メモリーの作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4105197B2 (ja) |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006065233A patent/JP4105197B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4105197B2 (ja) | 2008-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3562590B2 (ja) | 半導体装置作製方法 | |
US6624445B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP3221473B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2860869B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
US7186601B2 (en) | Method of fabricating a semiconductor device utilizing a catalyst material solution | |
JP2791635B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP3025814B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4712156B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP3824898B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2762218B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP4105197B2 (ja) | メモリーの作製方法 | |
JP3242884B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3105492B2 (ja) | 薄膜トランジスタの作製方法 | |
JP3435561B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP3545289B2 (ja) | 半導体装置作製方法 | |
JP4684246B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP3618604B2 (ja) | 半導体装置作製方法 | |
JP3600092B2 (ja) | 半導体装置作製方法 | |
JP3573969B2 (ja) | 半導体装置作製方法 | |
JP3950307B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP3626102B2 (ja) | 集積回路の作製方法 | |
JP3939718B2 (ja) | 集積回路の作製方法 | |
JP2001338877A (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2001332496A (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JPH1055961A (ja) | 半導体装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080325 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |