JP2006215227A - Method for improving light emitting device and light emitting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、発光装置の改善方法及び発光装置に関する。 The present invention relates to a method for improving a light emitting device and a light emitting device.
従来、発光装置の電気光学的素子は、例えば有機エレクロルミネッセンス表示装置(有機EL表示装置)の有機EL素子は、駆動トランジスタが階調データに基づく電流値は供給されその階調データに相対した輝度で発光するようになっている。従って、駆動トランジスタが製造工程で電気的特性に不具合が生じたとき、階調データに基づく輝度で発光しなくなることから、製品出荷をする前に検査を行っている。この種の検査の一つとして、各画素の不良検査する輝点検査がある。この輝点検査は、例えば、有機EL素子が、駆動トランジスタの不具合等でショートし、有機EL素子が最高輝度で発光している欠陥のある画素を探し出す欠陥検査である。 Conventionally, an electro-optical element of a light emitting device, for example, an organic EL element of an organic electroluminescence display device (organic EL display device), a drive transistor is supplied with a current value based on gradation data and is relative to the gradation data. It emits light with brightness. Therefore, when the drive transistor has a defect in the electrical characteristics in the manufacturing process, it does not emit light with the brightness based on the gradation data, and therefore inspection is performed before shipping the product. As one of this type of inspection, there is a bright spot inspection for inspecting each pixel for defects. This bright spot inspection is, for example, a defect inspection in which an organic EL element is short-circuited due to a failure of a drive transistor or the like, and a defective pixel in which the organic EL element emits light with the highest luminance is searched.
欠陥のある画素を見つけ出したとき、その欠陥を改善して製造歩留まりの向上を図る上で重要であり、種々の改善方法が提案されている(例えば、特許文献1)。特許文献1の改善方法は、表示不良を起こした画素(有機EL素子)の第1電極(陽極)又は第2電極(陰極)の少なくとも一方の電極の一部をレーザ光で消失(溶断)させて表示不良を改善するものである。
しかしながら、特許文献1では、第1電極(陽極)は、光透過性の膜で形成されているため、レーザ光を照射しても透過してしまい、除去され難く改善作業効率が悪いとともに有機EL素子の有機EL層に悪影響を与える。また、第2電極は、遮光性金属膜で形成されているため除去し易いが、遮光性金属の粒子が飛び散り他の正常の画素に悪影響を及ぼすおそれがある。さらに、第1及び第2電極は画素領域に依存するため、その面積が大きいため、その分除去するのに時間を要し改善作業効率が悪かった。
However, in
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、正常な画素に対して悪影響を与えることなく効率よく欠陥のある画素を改善できる発光装置の改善方法及び発光装置を提供することである。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a light emitting device improvement method and a light emitting device that can efficiently improve defective pixels without adversely affecting normal pixels. Is to provide.
本発明の発光装置の改善方法は、基板上に発光素子とスイッチング素子が形成され、前記スイッチング素子が導通して電源線からの電源を前記発光素子に供給して同発光素子を発光させる発光装置の改善方法において、前記電源線と前記スイッチング素子の間に形成した配線又は前記発光素子と前記スイッチング素子との間に形成した配線の少なくともいずれか一方を抵抗配線にし、抵抗配線を形成する工程は少なくとも基本型を形成する第1の工程と、基本型をさらに加工する第2の工程を含む。 The light emitting device improvement method of the present invention is a light emitting device in which a light emitting element and a switching element are formed on a substrate, and the switching element is turned on to supply power from a power supply line to the light emitting element to cause the light emitting element to emit light. In the improvement method, at least one of the wiring formed between the power supply line and the switching element or the wiring formed between the light emitting element and the switching element is a resistance wiring, and the process of forming the resistance wiring is It includes at least a first process for forming a basic mold and a second process for further processing the basic mold.
本発明の発光装置の改善方法によれば、抵抗配線の基本形型は、発光素子の電極にくらべその面積(線幅)が小さいので、短時間で抵抗値を調整し、発光素子の輝度を改善することできる。 According to the method for improving a light-emitting device of the present invention, the basic shape of the resistance wiring has a smaller area (line width) than the electrode of the light-emitting element. Can do.
この発光装置の改善方法において、前記基板は透明基板であって、前記第1の工程によって形成された前記抵抗配線に前記第2の工程によってその抵抗値を調整するようにして
もよい。
In this method for improving a light emitting device, the substrate may be a transparent substrate, and the resistance value of the resistance wiring formed by the first step may be adjusted by the second step.
この発光装置の改善方法によれば、抵抗配線の基本型が第2の工程によって加工されて抵抗値が調整さる。
この発光装置の改善方法において、前記第2の工程は、レーザ光照射工程であり、前記基板を介して前記抵抗配線にレーザ光を照射して前記抵抗配線の一部又は全部を溶断して、その抵抗値を調整するようにしてもよい。
According to this method for improving a light emitting device, the basic type of the resistance wiring is processed in the second step, and the resistance value is adjusted.
In a method of improving the light-emitting device, the second step is a laser beam irradiation step, and fusing some or all of the resistance wiring by irradiating a laser beam to the resistance wire through the substrate The resistance value may be adjusted.
この発光装置の改善方法によれば、透明基板の素子形成面とは反対側の面からレーザ光を抵抗配線に照射して抵抗値を調整し発光素子の輝度を改善することができる。
この発光装置の改善方法において、前記抵抗配線は、複数の抵抗配線要素を並列に接続したものであり、その各抵抗配線要素を適宜選択してレーザ光を照射して切断して、抵抗値を調整するようにしてもよい。
According to this method for improving a light emitting device, the resistance value can be adjusted by irradiating the resistance wiring with laser light from the surface opposite to the element forming surface of the transparent substrate to improve the luminance of the light emitting element.
In this method of improving a light emitting device, the resistance wiring is a plurality of resistance wiring elements connected in parallel, and each resistance wiring element is appropriately selected and cut by irradiating laser light to obtain a resistance value. You may make it adjust.
この発光装置の改善方法によれば、前記抵抗配線の抵抗配線要素にレーザ光を照射して切断するだけで、その抵抗値を正確に調整でき、発光素子の輝度を正確に調整することができる。 According to this method for improving a light-emitting device, the resistance value can be accurately adjusted and the luminance of the light-emitting element can be accurately adjusted simply by irradiating and cutting the resistance wiring element of the resistance wiring with a laser beam. .
この発光装置の改善方法において、前記スイッチング素子は、駆動トランジスタであってもよい。
この発光装置の改善方法によれば、駆動ランジスタを介して発光素子に供給される電流が調整される。
In this method for improving a light emitting device, the switching element may be a drive transistor.
According to this method for improving a light emitting device, the current supplied to the light emitting element via the drive transistor is adjusted.
この発光装置の改善方法において、前記抵抗配線はポリシリコン膜であってもよい。
この発光装置の改善方法によれば、ポリシリコン膜は、レーザ光を吸収し易いため、短時間で抵抗値を調整し、発光素子の輝度を改善することできる。
In this method for improving a light emitting device, the resistance wiring may be a polysilicon film.
According to this method for improving a light emitting device, since the polysilicon film easily absorbs laser light, the resistance value can be adjusted in a short time to improve the luminance of the light emitting element.
この発光装置の改善方法において、前記発光素子はエレクトロルミネッセンス素子または発光ダイオードであってもよい。
この発光装置の改善方法によれば、エレクトロルミネッセンス素子又は発光ダイオードからなる発光装置の輝点検査の結果、不具合のあるエレクトロルミネッセンス素子又は発光ダイオードの輝度を短時間に改善することができる。
In the method for improving the light emitting device, the light emitting element may be an electroluminescence element or a light emitting diode.
According to this method for improving a light-emitting device, the luminance of a defective electroluminescent element or light-emitting diode can be improved in a short time as a result of a bright spot inspection of a light-emitting device composed of an electroluminescent element or light-emitting diode.
この発光装置の改善方法において、前記エレクトロルミネッセンス素子は陽極と陰極の間に形成された発光層及び正孔輸送層が有機材料で構成され、その正孔輸送層側に形成された陽極と駆動トランジスタとの間に抵抗配線が形成されていてもよい。 In this method for improving a light-emitting device, the electroluminescent element has a light-emitting layer and a hole transport layer formed between an anode and a cathode made of an organic material, and an anode and a drive transistor formed on the hole transport layer side. Between the two, a resistance wiring may be formed.
この発光装置の改善方法によれば、エレクトロルミネッセンス素子からなる発光装置の輝点検査の結果、不具合のあるエレクトロルミネッセンス素子について抵抗配線の抵抗値をレーザ光で調整するだけで、欠陥画素の輝度を短時間に改善することができる。 According to this method for improving a light-emitting device, as a result of a bright spot inspection of a light-emitting device composed of an electroluminescent element, the luminance of a defective pixel can be increased only by adjusting the resistance value of a resistance wiring with a laser beam for a defective electroluminescent element. It can be improved in a short time.
本発明の発光装置は、基板上に発光素子とスイッチング素子が形成され、前記スイッチング素子が選択信号に応答して導通し、電源線からの電源を前記発光素子に供給して発光させる画素を複数有した発光装置において、前記各画素の各々を前記電源線と前記スイッチング素子の間に形成した配線又は前記発光素子と前記スイッチング素子との間に形成した配線の少なくともいずれか一方を抵抗配線にし、前記各画素の中の特定画素について同特定画素に対する前記抵抗配線に対してレーザ光にて一部又は全部を溶断して抵抗値を調整した抵抗配線にした。 In the light emitting device of the present invention, a light emitting element and a switching element are formed on a substrate, the switching element is turned on in response to a selection signal, and a plurality of pixels that emit light by supplying power from a power line to the light emitting element. In the light emitting device having, at least one of the wiring formed between the power supply line and the switching element or the wiring formed between the light emitting element and the switching element for each of the pixels is a resistance wiring, With respect to the specific pixel in each of the pixels, a part of or all of the resistance wiring for the specific pixel is melted with a laser beam so that the resistance value is adjusted.
本発明の発光装置によれば、抵抗配線がレーザ光を吸収し易く、しかも、発光素子の電
極にくらべその面積(線幅)が小さいので、短時間で抵抗値を調整でき発光素子の輝度を改善することできる。その結果、歩留まりの向上及び生産効率の向上を図ることができる。
According to the light-emitting device of the present invention, the resistance wiring easily absorbs laser light and has a smaller area (line width) than the electrode of the light-emitting element, so that the resistance value can be adjusted in a short time and the luminance of the light-emitting element can be increased. Can be improved. As a result, yield and production efficiency can be improved.
(第1実施形態)
以下、本発明を具体化した第1実施形態を図1〜図4に従って説明する。図1は、発光装置としての有機エレクトロルミネッセンス表示装置(有機EL表示装置)を示す概略平面図である。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic plan view showing an organic electroluminescence display device (organic EL display device) as a light emitting device.
図1に示すように、有機EL表示装置1には透明基板2が備えられている。透明基板2は、四角形状に形成される無アルカリガラス基板であって、その一側面(図1における表面:パターン形成面としての素子形成面2a)には、四角形状の素子形成領域3が形成されている。
As shown in FIG. 1, the organic
素子形成領域3には、上下方向(列方向)に延びる複数のデータ線Lxが所定の間隔をおいて形成されている。前記複数のデータ線Lxは、それぞれ透明基板2の下側に配設されるデータ線駆動回路4に電気的に接続されている。データ線駆動回路4は、図示しない外部装置から供給される表示データ(階調データ)に基づいてデータ信号を生成し、そのデータ信号を対応するデータ線Lxに所定のタイミングで出力するようになっている。
In the
また、素子形成領域3には、データ線Lxと同じく、列方向に延びる複数の電源線Lvが所定の間隔をおいて各データ線Lxに併設されている。前記複数の電源線Lvは、それぞれ素子形成領域3の下側に形成される共通電源線Lvcに電気的に接続され、図示しない電源電圧生成回路の生成する駆動電源を各電源線Lvに供給するようになっている。
Further, in the
さらに、素子形成領域3には、データ線Lx及び電源線Lvと直交する方向(行方向)に延びる複数の走査線Lyが所定の間隔をおいて形成されている。各走査線Lyは、透明基板2の左側に形成される走査線駆動回路5に電気的にそれぞれ接続されている。走査線駆動回路5は、図示しない制御回路から供給される走査制御信号に基づいて、複数の走査線Lyの中から所定の走査線Lyを所定のタイミングで選択駆動し、その走査線Lyに走査信号を出力するようになっている。
Further, in the
これらデータ線Lxと走査線Lyの交差する位置には、対応するデータ線Lx、電源線Lv及び走査線Lyに接続されることによってマトリックス状に配列される複数の画素6が形成されている。その画素6内には、図1に示すように、制御素子形成領域7と発光素子形成領域8が区画形成されている。
A plurality of
図2は、画素6内に形成される画素回路10を示す電気回路を示す。図2において、画素回路10は、スイッチング素子としての駆動トランジスタQd、スイッチングトランジスタQsw、保持キャパシタCs及び有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)11を備えている。
FIG. 2 shows an electric circuit showing the
本実施形態においては、駆動トランジスタQd、スイッチングトランジスタQswは、それぞれその導電型がn型の薄膜トランジスタ(TFT)であって、発光素子形成領域8に形成されている。有機EL素子11は、その発光層、正孔輸送層が有機材料で構成されたエレクトロルミネッセンス素子である。
In the present embodiment, the drive transistor Qd and the switching transistor Qsw are each an n-type thin film transistor (TFT), and are formed in the light emitting
駆動トランジスタQdは、そのゲート端子にスイッチングトランジスタQswのソース端子が接続されている。スイッチングトランジスタQswは、そのドレイン端子がデータ
線Lxに接続され、ゲート端子が走査線Lyに接続されている。また、駆動トランジスタQdのゲート端子には保持キャパシタCsの一端が接続されている。保持キャパシタCsの他端は電源線Lvに接続され、駆動電圧Vddが供給されている。駆動トランジスタQdのソース端子は有機EL素子11の陽極E1に接続され、有機EL素子11の陰極E2は接地されている。駆動トランジスタQdのドレイン端子は、電源線Lvに接続され、駆動電圧Vddが供給されている。
The drive transistor Qd has its gate terminal connected to the source terminal of the switching transistor Qsw. The switching transistor Qsw has a drain terminal connected to the data line Lx and a gate terminal connected to the scanning line Ly. Further, one end of the holding capacitor Cs is connected to the gate terminal of the driving transistor Qd. The other end of the holding capacitor Cs is connected to the power supply line Lv and is supplied with the drive voltage Vdd. The source terminal of the drive transistor Qd is connected to the anode E1 of the
次に、前記のように構成された画素回路10の動作を簡単に説明する。
まず、走査線駆動回路5から走査線Lyを介して選択信号Syが所定期間出力されると、スイッチングトランジスタQswが所定期間オンして、データ線駆動回路4からデータ線Lxを介してデータ信号Dxが供給される。
Next, the operation of the
First, when the selection signal Sy is output from the scanning
すると、データ信号DxがスイッチングトランジスタQswを介して保持キャパシタCsに供給される。保持キャパシタCsはデータ信号Dxに対応した電荷量を蓄積し保持する。また、駆動トランジスタQdのゲート端子の電位はデータ信号により押し上げられ、駆動トランジスタQdのドレイン/ソースにデータ信号に応じた駆動電流Idが流れ、その駆動電流Idが有機EL素子11に供給する。この駆動電流Idは、保持キャパシタCsに蓄積されたデータ信号Dxに応じた電荷量に相対した値となる。
Then, the data signal Dx is supplied to the holding capacitor Cs via the switching transistor Qsw. The holding capacitor Cs accumulates and holds a charge amount corresponding to the data signal Dx. Further, the potential of the gate terminal of the drive transistor Qd is pushed up by the data signal, the drive current Id corresponding to the data signal flows through the drain / source of the drive transistor Qd, and the drive current Id is supplied to the
つまり、駆動トランジスタQdは、データ信号Dxに応答して導通し、その導通状態が保持されて有機EL素子11に駆動電流Idを供給する。すると、このタイミングで有機EL素子11が発光する。
That is, the drive transistor Qd is turned on in response to the data signal Dx, and the conduction state is maintained and the drive current Id is supplied to the
次に、上記する画素6の構成について以下に説明する。図3は、画素6のレイアウトを示す概略平面図である。
図3に示すように、各画素6の下側には、制御素子形成領域7が形成され、その制御素子形成領域7内には、スイッチングトランジスタQsw、駆動トランジスタQd及び保持キャパシタCsが備えられている。
Next, the configuration of the
As shown in FIG. 3, a control
スイッチングトランジスタQswは、ポリシリコン型の薄膜トランジスタ(TFT)であって、ゲート電極がゲート配線G1を介して走査線Lyと、ソース領域がゲート配線G2を介して駆動トランジスタQdのゲート電極と接続され、ドレイン領域がデータ線Lxと接続されている。また、スイッチングトランジスタQswのソース領域は、ゲート配線G2から分岐した配線L1を介して保持キャパシタCsの一端(下部電極)と接続され、その保持キャパシタCsの他端(上部電極)は配線L2を介して電源線Lvと電気的に接続されている。 The switching transistor Qsw is a polysilicon thin film transistor (TFT) having a gate electrode connected to the scanning line Ly via the gate wiring G1, and a source region connected to the gate electrode of the driving transistor Qd via the gate wiring G2. The drain region is connected to the data line Lx. The source region of the switching transistor Qsw is connected to one end (lower electrode) of the holding capacitor Cs via the wiring L1 branched from the gate wiring G2, and the other end (upper electrode) of the holding capacitor Cs is connected to the wiring L2. Are electrically connected to the power line Lv.
駆動トランジスタQdは、スイッチングトランジスタQswと同じく、ポリシリコン型のTFTであって、ゲート電極がゲート配線G2を介してスイッチングトランジスタQswのソース領域と、ドレイン領域が配線L2を介して電源線Lvと接続されている。また、駆動トランジスタQdのソース領域は、配線L3を介して中継電極20を介して有機EL素子11の陽極E1と電気的に接続されている。陽極E1は、発光素子形成領域8に形成されその上側に有機EL素子11を構成する有機EL層21が形成されている。
Similarly to the switching transistor Qsw, the driving transistor Qd is a polysilicon TFT, the gate electrode is connected to the source region of the switching transistor Qsw via the gate wiring G2, and the drain region is connected to the power supply line Lv via the wiring L2. Has been. The source region of the drive transistor Qd is electrically connected to the anode E1 of the
図4は、駆動トランジスタQdと有機EL素子11の構造及びその電気的配線構造を説明するための要部縦断面図を示す。
図4において、駆動トランジスタQdは、チャンネル領域31、ソース領域32及びドレイン領域33を有した半導体膜を透明基板2の素子形成面2aに形成している。又、半導体膜の一部は、そのソース領域32から前記配線L3を延出形成させている。この半導体膜の配線L3は、厚みを一定にすると、半導体配線L3の幅と長さを調整することによ
って所定抵抗値を有する抵抗配線(配線L3を抵抗配線L3という)することが可能である。むろん、半導体膜に対する厚みを変化させたり、ドーピング濃度を変化させたりすることで抵抗値を調整してもよい。すなわち、抵抗値Rは、半導体膜の配線L3の抵抗率をρ、長さをD、幅をW、厚みをtとすると、
R=ρ・D/(W・t)
となる。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a main part for explaining the structure of the drive transistor Qd and the
In FIG. 4, the driving transistor Qd has a semiconductor film having a
R = ρ · D / (W · t)
It becomes.
次に、抵抗配線を形成する第1の工程しての製造方法を簡単に説明する。透明基板2上に半導体膜を形成する。半導体膜としては、ポリシリコンが数KΩ/□の適度な抵抗値を有するため好ましいが、その他アモルファスシリコン、連続粒界シリコン等を用いてもよい。形成方法としては、例えば低温プラズマCVD法によってアモルファスシリコンを堆積させた後エキシマレーザ等を用いてレーザにより結晶化する。但しその他の技術、例えばスピンコート法、気相堆積法を利用することができる。半導体膜形成後、必要な抵抗値になるように、公知のフォトリソグラフィ法等を用いてパターニングする。尚、半導体膜形成後、液滴吐出法でパターンを形成する場合フォトリソグラフィ工程を省くことができる。
Next, a manufacturing method as a first step for forming a resistance wiring will be briefly described. A semiconductor film is formed on the
また、その半導体膜の上側には、ゲート絶縁膜34を介してゲート電極35が形成されている。ゲート電極35は、タンタルやアルミニウム等の低抵抗金属膜であって、図3に示すように前記ゲート配線G2を介してスイッチングトランジスタQswのドレイン及び保持キャパシタCsの一端と電気的に接続されている。ゲート電極35は、図4に示すように、ゲート絶縁膜34の上側に堆積される透明な第1層間絶縁膜36によって電気的に絶縁されている。
A
ドレイン領域33は、この第1層間絶縁膜36を貫通するコンタクトホールを介して配線L2に電気的に接続され、前記保持キャパシタCsの他端及び前記電源線Lvに電気的に接続されている。また、抵抗配線L3は、第1層間絶縁膜36を貫通するコンタクトホールを介して前記中継電極20に電気的に接続されている。これら配線L2及び中継電極20は、第1層間絶縁膜36の上側に堆積される透明な第2層間絶縁膜37によって電気的に絶縁されている。
The
第2層間絶縁膜37の上側には、透明電極としての陽極E1が形成されている。陽極E1は、光透過性を有する透明導電膜であって、ITO(Indium Tin Oxide)膜によって形成されている。そして、陽極E1は、その一端が第2層間絶縁膜37を貫通するコンタクトホールを介して前記中継電極20と電気的に接続されている。
On the upper side of the second
陽極E1の上側には、各陽極E1を互いに絶縁する絶縁膜38、隔壁層39が形成されている。絶縁膜38は、二酸化ケイ素(SiO2)で形成されている。隔壁層39は、アクリル系感光性樹脂やポリイミド系感光性樹脂等で形成されている。その絶縁膜38及び隔壁層39であって陽極E1の略中央位置には、上側に向かって断面円弧状に開口する収容孔40が形成されている。そして、隔壁層39に収容孔40が形成されることによって、陽極E1上面を囲う隔壁41が形成される。
On the upper side of the anode E1, an insulating
そして、本実施形態では、隔壁41によって囲まれる領域に有機エレクトロルミネッセンス層(有機EL層)21が形成される。有機EL層21は、正孔輸送層21aと発光層21bの2層からなる有機化合物層である。
In this embodiment, the organic electroluminescence layer (organic EL layer) 21 is formed in a region surrounded by the
有機EL層21の上側には、アルミニウム等の光反射性を有する金属膜からなる陰極E2が形成されている。陰極E2は、素子形成領域3の素子形成面2a側全面を覆うように形成され、各画素6が共有することによって各発光素子形成領域8に共通する電位を供給
するようになっている。本実施形態では、これら陽極E1、有機EL層21及び陰極E2によって、発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子11)を構成している。
On the upper side of the
そして、データ信号Dxに応じた駆動電流Idが陽極E1に供給されると、有機EL層21(発光層21b)は、その駆動電流Idに応じた輝度で発光する。この際、有機EL層21から陰極E2側(図4における上側)に向かって発光された光は、同陰極E2によって反射される。そのため、有機EL層21から発光された光は、その殆どが、陽極E1、層間絶縁膜37,36及び透明基板2を通過して、透明基板2の裏面(表示面2b)側から外方に向かって出射される。すなわち、データ信号Dxに基づく画像が有機EL表示装置1の表示面2bに表示される。
When the drive current Id corresponding to the data signal Dx is supplied to the anode E1, the organic EL layer 21 (
尚、陰極E2(有機EL素子11)の上側には、エポキシ樹脂等からなる図示しない接着層が形成され、その接着層を介して素子形成領域3を覆う図示しない封止基板が貼着されている。封止基板は、無アルカリガラス基板であって、各有機EL素子11及び各種配線Lx,Ly,Lv,Lvc等の酸化等を防止するようになっている。
An adhesive layer (not shown) made of an epoxy resin or the like is formed on the upper side of the cathode E2 (organic EL element 11), and a sealing substrate (not shown) that covers the
次に、上記のように構成される有機EL表示装置1の抵抗配線の抵抗値を調整する方法について説明する。いま、図4に示す状態まで有機EL表示装置1が形成されたとき、輝度検査が行われる。そして、この輝点検査は、有機EL素子11が、例えば駆動トランジスタQdの不具合等でショートし、階調データに関係なく最高輝度で発光している輝点欠陥のある画素6を探し出す欠陥検査である。輝点欠陥のある画素6(特定画素)を探し出すと、この画素6を暗点化して不良を目立たなくする。
Next, a method for adjusting the resistance value of the resistance wiring of the organic
画素6の暗点化は、有機EL素子11に大きな値の駆動電流Idが流れていることが原因なので、この駆動電流Idを遮断することである。本実施形態では、前記抵抗配線L3を溶断して、駆動トランジスタQdの状態に関係なく駆動電流Idを有機EL素子11に流さなくしている。抵抗配線L3の溶断は、レーザ光を同抵抗配線L3に照射することによって行われる。このレーザ光を用いて抵抗配線に照射して抵抗値を調整する工程(レーザ光照射工程)を第2の工程と呼ぶ。このとき、図4に示すように、透明基板2の裏面(表示面2b)側から抵抗配線L3に向けてレーザ光を照射する。基本型の抵抗配線L3は、ポリシリコン膜にて形成されていることから、レーザ光のエネルギーを吸収し易く容易に溶断、即ち、切断(加工)される。しかも、抵抗配線L3に近い透明基板2の裏面(表示面2b)側からレーザ光を照射するため、レーザ光のエネルギー損失が少なくエネルギー効率のよい抵抗配線L3の切断が行える。さらに、抵抗配線L3が溶断される際に発生するパーティクルは、抵抗配線L3の回りが透明基板2、第1層間絶縁膜36等に囲まれて飛散することがないため、他の画素6に悪影響を与えることはない。
The darkening of the
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、駆動トランジスタQdと有機EL素子11の間に形成された抵抗配線L3にレーザ光を照射して切断した。従って、陽極E1や陰極E2にくらべて面積の小さい抵抗配線L3を溶断するため、切断が短時間に済み切断効率がよい。その結果、有機EL表示装置1の生産性を向上させることができる。
Next, effects of the present embodiment configured as described above will be described below.
(1) According to the above embodiment, the resistance wiring L3 formed between the drive transistor Qd and the
(2)上記実施形態によれば、抵抗配線L3がポリシリコンで形成されているので、レーザ光のエネルギー吸収効率が、ITOよりなる陽極E1よりよいため、切断が短時間に済み切断効率がよい。その結果、有機EL表示装置1の生産性を向上させることができる。
(2) According to the above embodiment, since the resistance wiring L3 is made of polysilicon, the energy absorption efficiency of the laser light is better than that of the anode E1 made of ITO. . As a result, the productivity of the organic
(3)上記実施形態によれば、抵抗配線L3に近い透明基板2の裏面側から同透明基板
2を介してレーザ光を照射するため、レーザ光のエネルギー損失が少なくエネルギー効率のよく抵抗配線L3を短時間で切断することができる。その結果、有機EL表示装置1の生産性を向上させることができる。
(3) According to the above embodiment, since the laser beam is irradiated from the back surface side of the
(4)上記実施形態によれば、抵抗配線L3の回りが透明基板2、第1層間絶縁膜36等で囲まれた抵抗配線L3を切断するため、抵抗配線L3の溶断によって発生するパーティクルは他の画素6まで飛散することがなく、他の画素6に悪影響を与えることはない。(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態と、第2の工程において、抵抗配線L3を完全に切断するか否かが異なるだけなので、その相違する点だけを説明する。
(4) According to the above embodiment, since the resistance wiring L3 surrounded by the
Next, a second embodiment of the present invention will be described. This embodiment is different from the first embodiment only in whether or not the resistance wiring L3 is completely cut in the second step, and only the difference will be described.
本実施形態では、抵抗配線L3の一部だけを切断することによって、抵抗配線13の抵抗値を調整することができる。また、駆動トランジスタQd及び有機EL素子11の特性バラツキにより、発光素子間輝度バラツキが生じている一部の有機EL素子11について、その発光輝度を小さくしたい改善をする場合、抵抗配線L3を適宜の幅だけ切断して駆動電流Idを小さくすることによって、有機EL素子11を所望の輝度に調整することができる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図5について説明する。本実施形態は第1又は第2実施形態と、ポリシリコン膜よりなる抵抗配線L3の形状が異なるだけなので、その相違する点だけを説明する。
In the present embodiment, the resistance value of the
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first or second embodiment only in the shape of the resistance wiring L3 made of the polysilicon film, and only the difference will be described.
図5は、本実施形態の画素6のレイアウトを説明するための概略平面図を示す。図5において、駆動トランジスタQdのソース領域から延びる抵抗配線L3の一部に、線幅が細くなる部分L3aを形成する。そして、その部分L3aにレーザ光を照射してその一部又は全部を切断するようにした。従って、第1又は第2実施形態の効果に加えて、切断効率をさらに向上させることができる。
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について図6について説明する。本実施形態は第1実施形態と、ポリシリコン膜よりなる抵抗配線L3の形状が異なるだけなので、その相違する点だけを説明する。
FIG. 5 is a schematic plan view for explaining the layout of the
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first embodiment only in the shape of the resistance wiring L3 made of a polysilicon film, and only the difference will be described.
図6は、本実施形態の画素6のレイアウトを説明するための概略平面図を示す。図6において、駆動トランジスタQdのソース領域から延びる抵抗配線L3が、複数の抵抗配線要素Lbから構成され、その複数の抵抗配線要素Lbが並列に接続されるように形成したものである。そして、抵抗配線要素Lbを適宜の数だけ選択し、その選択した数の抵抗配線要素Lbを切断することによって、抵抗配線L3全体の抵抗値を調整することができる。つまり、全ての抵抗配線要素Lbをレーザ光にて切断すれば、第1実施形態と同様な効果を得ることができる。また、駆動トランジスタQd及び有機EL素子11の特性バラツキにより、発光素子間輝度バラツキが生じている一部の有機EL素子11について、その発光輝度を小さくしたい改善をする場合、抵抗配線L3を適宜の数だけ抵抗配線要素Lbを切断して駆動電流Idを小さくすることによって、有機EL素子11を所望の輝度に調整することができる。
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形と、抵抗配線要素Lbの配線幅が異なるだけなので、その相違する点だけを説明する。
FIG. 6 is a schematic plan view for explaining the layout of the
(Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. This embodiment is different from the fourth embodiment only in the wiring width of the resistance wiring element Lb, and only the differences will be described.
図9は、本実施形態の画素6のレイアウトを説明するための概略平面図を示す。
第4実施形態では、各抵抗配線要素Lbの配線幅は、同じにしたが、本発明の第5実施
形態について図9に示すようにそれぞれ線幅変えて各抵抗配線要素Lbに重みを持たせてもよい。例えば、配線要素Lb1の線幅はaとし、配線要素Lb2の線幅は配線要素Lb1の2倍の2aとし、配線要素Lb3の線幅は配線要素Lb1の4倍の4aとする。これによって、調整可能な抵抗配線L3全体の抵抗水準は2n(2のn乗)となる。適宜の抵
抗配線要素と数だけを切断して、より正確な駆動電流Idの調整が可能となる。
FIG. 9 is a schematic plan view for explaining the layout of the
In the fourth embodiment, the wiring width of each resistance wiring element Lb is the same. However, in the fifth embodiment of the present invention, each resistance wiring element Lb is given a weight by changing the line width as shown in FIG. May be. For example, the line width of the wiring element Lb1 is a, the line width of the wiring element Lb2 is 2a that is twice the wiring element Lb1, and the line width of the wiring element Lb3 is 4a that is four times that of the wiring element Lb1. As a result, the resistance level of the entire adjustable resistance line L3 is 2 n (2 to the power of n). By cutting only the appropriate resistance wiring elements and the number, it is possible to adjust the drive current Id more accurately.
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、抵抗配線L3をポリシリコンで形成したが、これに限らず、アモルファスシリコン、連続粒界シリコン等で形成してもよい。
・上記実施形態では、いわゆるボトムエミッションタイプの有機EL表示装置1に具体化したが、これに限定されるものではなく、トップエミッションタイプの有機EL表示装置にも応用してもよい。
・上記実施形態では、透明基板2の裏面側から同透明基板2を介してレーザ光を照射したが、透明基板2の素子形成面2a側からレーザ光を照射してもよい。この場合、陰極E2がトップエミッションタイプのように、透明電極であるほうが好ましい。
・上記実施形態では、少なくとも陰極E2が形成されて、輝度検査の結果に基づいてレーザ光を抵抗配線L3に照射して改善を行った。これを、各画素6の有機EL層21が形成前において、各画素6の駆動トランジスタQdが形成された段階で、各画素6の駆動トランジスタQdの検査を行って、不良の駆動トランジスタQdを探し出した時点で、レーザ光を抵抗配線L3に照射して改善を行いようにしてもよい。この場合、透明基板2の裏面側から同透明基板2を介してレーザ光を照射してもよいし、透明基板2の素子形成面2a側からレーザ光を照射して改善するようにしてもよい。
・上記実施形態では、駆動トランジスタQdと有機EL素子11の間に形成された抵抗配線L3にレーザ光を照射して切断したが、これに限定されるものではなく、駆動トランジスタQdと電源線Lvとを接続する配線L2を、抵抗配線にし、その配線L2にレーザ光を照射して駆動電流Idを調整するようにしてもよい。
・上記実施形態では、レーザ光を照射して抵抗配線の抵抗値を調整するようにしたがこれに限定されるものではない。
・上記実施形態では、駆動トランジスタQdは導電型がn型の薄膜トランジスタ(TFT)であったが、導電型がp型の薄膜トランジスタ(TFT)であってもよい。
・上記実施形態では、有機EL素子11を発光させる画素回路10を図2に示すように駆動トランジスタQdとスイッチングトランジスタQswの2個のトランジスタで構成する画素回路で構成したがこれに限定されるものではない。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
In the above embodiment, the resistance wiring L3 is formed of polysilicon. However, the present invention is not limited to this, and may be formed of amorphous silicon, continuous grain boundary silicon, or the like.
In the above-described embodiment, the organic
In the above embodiment, the laser beam is irradiated from the back surface side of the
In the above embodiment, at least the cathode E2 is formed, and improvement is performed by irradiating the resistance wiring L3 with laser light based on the result of the luminance inspection. In the stage where the driving transistor Qd of each
In the above embodiment, the resistance wiring L3 formed between the driving transistor Qd and the
In the above embodiment, the resistance value of the resistance wiring is adjusted by irradiating the laser beam, but the present invention is not limited to this.
In the above embodiment, the driving transistor Qd is an n-type thin film transistor (TFT). However, the driving transistor Qd may be a p-type thin film transistor (TFT).
In the above embodiment, the
例えば、図7に示す、駆動トランジスタQd(導電型がp型)のゲートとドレイン間に接続された第1のトランジスタQ1と、駆動トランジスタQdと有機EL素子11の間に接続された第2のトランジスタQ2を設けてなる画素回路10を有した有機EL表示装置に具体化してもよい。図7の画素回路10では、選択信号Syが所定期間出力されると、スイッチングトランジスタQswと第1のトランジスタQ1がオンされて、保持キャパシタCsにデータ信号Dxが書き込まれる。そして、データ信号Dxの書き込みが終了すると、制御信号Scにて第2のトランジスタQ2を一体期間(発光期間)オンさせ有機EL素子11を発光させるようにしている。このように構成される画素回路10においても、駆動トランジスタQdのソースと電源線Lvとを接続する配線部分L11、駆動トランジスタQdと第2のトランジスタQ2とを接続する配線部分L12、第2のトランジスタQ2と有機EL素子11とを接続する配線部分L13の少なくともいずれかを使って欠陥画素の改善を行うようにしてもよい。
For example, a first transistor Q1 connected between the gate and drain of the drive transistor Qd (conductivity type is p-type) and a second transistor connected between the drive transistor Qd and the
また、図8に示す、駆動トランジスタQd(導電型がp型)、2つスイッチングトランジスタQsw1,Qsw2及び電流制御用トランジスタQcを設けてなる画素回路10を有した有機EL表示装置に具体化してもよい。図8の画素回路10では、選択信号Syが
所定期間出力されると、スイッチングトランジスタQsw1,Qswの2つがオンして電流制御用トランジスタQcがダイオード接続されて保持キャパシタCsにデータ信号Dxに相対した電荷が蓄積される。そして、スイッチングトランジスタQsw1,Qswがオフしても、駆動トランジスタQdは保持キャパシタCsに蓄積した電荷量に相対した駆動電流Idを流し有機EL素子11を発光させるようにしている。
Further, the present invention may be embodied in an organic EL display device having a
このように構成される画素回路10においても、駆動トランジスタQdのソースと電源線Lvとを接続する配線部分L21、駆動トランジスタQdと有機EL素子11とを接続する配線部分L22の少なくともいずれかを使って欠陥画素の改善を行うようにしてもよい。
・上記実施形態では、発光装置を有機EL表示装置1に具体化したが、これに限定されるものでなく、例えば液晶パネル等であってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型表示装置(FEDやSED等)であってもよい。
Also in the
In the above embodiment, the light emitting device is embodied in the organic
1…発光装置としての有機EL表示装置、2…透明基板、2a…素子形成面、2b…裏面、6…画素、11…発光素子としての有機エレクロトルミネッセンス素子、21…有機エレクトロルミネッセンス層(有機EL層)、21a…正孔輸送層、21b…発光層、L3…抵抗配線(配線)、Lb…抵抗配線要素、Qd…スイッチング素子としての駆動トランジスタ。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記電源線と前記スイッチング素子の間に形成した配線又は前記発光素子と前記スイッチング素子との間に形成した配線の少なくともいずれか一方を抵抗配線にし、抵抗配線を形成する工程は少なくとも基本型を形成する第1の工程と、基本型をさらに加工する第2の工程を含むことを特徴とする発光装置の改善方法。 In a method for improving a light-emitting device in which a light-emitting element and a switching element are formed on a substrate, and the switching element is turned on to supply power from a power line to the light-emitting element to emit light from the light-emitting element.
At least one of the wiring formed between the power supply line and the switching element or the wiring formed between the light emitting element and the switching element is used as a resistance wiring, and the process of forming the resistance wiring forms at least a basic type And a second step of further processing the basic mold. A method for improving a light-emitting device.
前記基板は透明基板であって、前記第1の工程によって形成された前記抵抗配線に前記第2の工程によってその抵抗値を調整するようにしたことを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device of Claim 1,
The method for improving a light-emitting device, wherein the substrate is a transparent substrate, and the resistance value of the resistance wiring formed in the first step is adjusted in the second step.
前記第2の工程は、レーザ光照射工程であり、前記基板を介して前記抵抗配線にレーザ光を照射して前記抵抗配線の一部又は全部を溶断して、その抵抗値を調整するようにしたことを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device of Claim 1 or 2,
The second step is a laser beam irradiation step, and fusing some or all of the resistance wiring by irradiating a laser beam to the resistance wire through the substrate, so as to adjust its resistance value A method for improving a light-emitting device.
前記抵抗配線は、複数の抵抗配線要素を並列に接続したものであり、その各抵抗配線要素を適宜選択してレーザ光を照射して切断して、抵抗値を調整することを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device as described in any one of Claims 1-3,
The resistance wiring is formed by connecting a plurality of resistance wiring elements in parallel, and each of the resistance wiring elements is appropriately selected and cut by irradiating a laser beam to adjust the resistance value. How to improve the device.
前記スイッチング素子は、駆動トランジスタであることを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device as described in any one of Claims 1-4,
The method for improving a light-emitting device, wherein the switching element is a drive transistor.
前記抵抗配線は、ポリシリコン膜であることを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device as described in any one of Claims 1-5,
The method of improving a light-emitting device, wherein the resistance wiring is a polysilicon film.
前記発光素子はエレクトロルミネッセンス素子または発光ダイオードであることを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device as described in any one of Claims 1-6,
The method for improving a light-emitting device, wherein the light-emitting element is an electroluminescence element or a light-emitting diode.
前記エレクトロルミネッセンス素子は陽極と陰極の間に形成された発光層及び正孔輸送層が有機材料で構成され、その正孔輸送層側に形成された陽極とスイッチング素子との間に抵抗配線が形成されていることを特徴とする発光装置の改善方法。 In the improvement method of the light-emitting device of Claim 7,
In the electroluminescence device, a light emitting layer and a hole transport layer formed between an anode and a cathode are made of an organic material, and a resistance wiring is formed between the anode formed on the hole transport layer side and the switching device. The improvement method of the light-emitting device characterized by the above-mentioned.
前記各画素の各々を前記電源線と前記スイッチング素子の間に形成した配線又は前記発光素子と前記スイッチング素子との間に形成した配線の少なくともいずれか一方を抵抗配線にし、前記各画素の中の特定画素について同特定画素に対する前記抵抗配線に対してレーザ光にて一部又は全部を溶断して抵抗値を調整した抵抗配線にしたことを特徴とする発光装置。 In a light-emitting device having a plurality of pixels in which a light-emitting element and a switching element are formed on a substrate, the switching element is turned on in response to a selection signal, and power is supplied from a power line to the light-emitting element to emit light.
At least one of the wiring formed between the power supply line and the switching element or the wiring formed between the light emitting element and the switching element is used as a resistance wiring for each of the pixels, A light emitting device characterized in that a resistance wiring is adjusted by adjusting a resistance value by fusing part or all of the specific wiring to the resistance wiring for the specific pixel with a laser beam.
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007010873A (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | Display apparatus and method for manufacturing the same |
JP2009123363A (en) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Rohm Co Ltd | Organic electroluminescent device |
WO2013175574A1 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | パイオニア株式会社 | Organic el panel and method for manufacturing light emitting apparatus using organic el panel |
JP2015082426A (en) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | パイオニア株式会社 | Light emitting device |
KR20160132264A (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display |
US9761648B2 (en) | 2014-01-29 | 2017-09-12 | Joled Inc. | Image display apparatus |
-
2005
- 2005-02-03 JP JP2005027294A patent/JP2006215227A/en not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007010873A (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | Display apparatus and method for manufacturing the same |
JP2009123363A (en) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Rohm Co Ltd | Organic electroluminescent device |
WO2013175574A1 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | パイオニア株式会社 | Organic el panel and method for manufacturing light emitting apparatus using organic el panel |
JPWO2013175574A1 (en) * | 2012-05-22 | 2016-01-12 | パイオニア株式会社 | Organic EL panel and light emitting device manufacturing method using the same |
JP2015082426A (en) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | パイオニア株式会社 | Light emitting device |
US9761648B2 (en) | 2014-01-29 | 2017-09-12 | Joled Inc. | Image display apparatus |
KR20160132264A (en) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display |
KR102557315B1 (en) * | 2015-05-08 | 2023-07-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display |
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