JP2006210560A - 固体撮像素子及び撮像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】積層型固体撮像素子において、半導体基板に形成された素子を有効活用して高画質の撮像を可能にすること。
【解決手段】ｎ型半導体基板１上方に積層されたそれぞれ異なる色を検出する３つの光電変換膜と、ｎ型半導体基板１に形成される信号読出回路（垂直転送部４０、水平転送部２０、出力部３０）とを有し、光電変換膜で発生する信号電荷に応じた信号を信号読出回路によって外部に読み出す固体撮像素子１００であって、ｎ型半導体基板１表面には、３つの光電変換膜の各々で発生する信号電荷を蓄積する３つの信号電荷蓄積部３〜５と、３つの光電変換膜に入射する光に依存せずにｎ型半導体基板１内で発生する暗信号電荷のみを蓄積する信号電荷蓄積部６とを含む画素部が多数配列されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体基板上方に積層されたそれぞれ異なる色を検出する３つの光電変換膜と、半導体基板に形成される信号読出回路とを有し、光電変換膜で発生する信号電荷に応じた信号を信号読出回路によって外部に読み出す固体撮像素子に関する。

近年、半導体基板表面部に多数のフォトダイオード（ＰＤ）を集積すると共に各ＰＤ上に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色カラーフィルタを積層したＣＣＤ型固体撮像素子やＣＭＯＳ型固体撮像素子が著しく進歩し、現在では、数百万ものＰＤを１チップ上に集積した固体撮像素子がデジタルカメラに搭載されるようになっている。

上記固体撮像素子では、カラーフィルタを用いる構成のため、光利用効率が悪い、偽色が発生する等の欠点が生じてしまう。そこで、これらの欠点を無くす固体撮像素子として、例えば特許文献１記載の積層型固体撮像素子が提案されている。この積層型固体撮像素子は、半導体基板上方に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の光を検出する３つの光電変換膜を積層し、各膜で発生した信号電荷を半導体基板に形成された蓄積ダイオードに蓄積し、蓄積ダイオードに蓄積した信号電荷を、半導体基板表面に形成されている垂直ＣＣＤ及び水平ＣＣＤ等の信号読出回路で読み出して転送するという構成になっている。この積層型固体撮像素子によれば、上記欠点をなくして、高画質の画像を生成することが可能となる。

特開２００２−８３９４６号公報

上記積層型固体撮像素子は、１画素データ（１画素を生成するためのデータ）を生成するために必要なＲ，Ｇ，Ｂの信号電荷を発生する３つの光電変換膜に対し、そのＲ，Ｇ，Ｂの信号電荷をそれぞれ蓄積する３つの蓄積ダイオードが必要となるが、その構造上、該３つの光電変換膜に対して３つ以上の蓄積ダイオードを対応させておくことも可能である。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、積層型固体撮像素子において、半導体基板に形成された素子を有効活用して高画質の撮像を可能にすることを目的とする。

本発明の固体撮像素子は、半導体基板上方に積層されたそれぞれ異なる色を検出する３つの光電変換膜と、前記半導体基板に形成される信号読出回路とを有し、前記光電変換膜で発生する信号電荷に応じた信号を前記信号読出回路によって外部に読み出す固体撮像素子であって、前記半導体基板表面には、前記３つの光電変換膜の各々で発生する信号電荷を蓄積する３つの第１電荷蓄積領域と、前記３つの光電変換膜に入射する光に依存せずに前記半導体基板内で発生する信号電荷のみを蓄積する第２電荷蓄積領域とが形成され、前記固体撮像素子は多数の画素部に分割され、前記多数の画素部の各々には、前記３つの第１電荷蓄積領域と、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応して設けられる前記第２電荷蓄積領域とが含まれる。

この構成により、半導体基板に形成された第２電荷蓄積領域を有効利用して高画質の撮像を可能にすることができる。

本発明の固体撮像素子は、前記信号読出回路が、前記第１電荷蓄積領域及び前記第２電荷蓄積領域のそれぞれから読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記垂直方向に転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平方向に転送された信号電荷に応じた信号を出力する出力部とから構成され、前記３つの第１電荷蓄積領域のいずれかから読み出された信号電荷を転送する前記垂直転送部と、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から読み出された信号電荷を転送する前記垂直転送部とが同一である。

この構成により、第２電荷蓄積領域を、画素部から得られる信号のスミア補正に利用することが可能となる。

本発明の撮像装置は、前記３つの第１電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第１の信号と、前記第２電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第２の信号を前記固体撮像素子から取得する信号取得手段と、前記３つの第１電荷蓄積領域から取得された３つの前記第１の信号の各々から、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から取得された前記第２の信号を減算する減算手段と、前記減算後の３つの第１の信号を用いて画像データを生成する画像データ生成手段とを備える。

この構成により、黒レベル補正及びスミア補正された画像データの生成が可能となる。

本発明の撮像装置は、前記３つの光電変換膜は、緑色を検出する緑色光電変換膜を含み、前記半導体基板表面には、前記第２電荷蓄積領域及び前記緑色光電変換膜で発生した信号電荷を蓄積する第１電荷蓄積領域のいずれか又は両方が前記水平方向に配列された第１の行と、前記緑色光電変換膜以外の光電変換膜で発生した信号電荷を蓄積する第１電荷蓄積領域が前記水平方向に配列された第２の行とが前記垂直方向に交互に配列されており、前記第１の行のみから前記第１の信号及び前記第２の信号を読み出させる駆動制御を行う駆動制御手段と、前記駆動制御によって前記第１電荷蓄積領域から得られた前記第１の信号から、該第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から得られた前記第２の信号を減算し、減算して得られた信号に基づいて焦点調節を行う焦点調節手段とを備える。

この構成により、焦点調節に使う緑色光電変換膜から得られた信号に含まれるスミア成分を除去し、スミア成分の除去された信号を基に焦点調節を行うことができる。したがって、高精度の焦点調節が可能となる。

本発明によれば、積層型固体撮像素子において、半導体基板に形成された素子を有効活用して高画質の撮像を可能にすることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子１００の表面模式図である。 図２は、図１のＡ―Ａ線断面模式図である。図３は、図１のＢ―Ｂ線断面模式図である。

ｎ型半導体基板１上方には、赤色（Ｒ）の光を検出すると共に、それに応じた赤色の信号電荷を発生するＲ光電変換膜１５と、緑色（Ｇ）の光を検出すると共に、それに応じた緑色の信号電荷を発生するＧ光電変換膜１９と、青色（Ｂ）の光を検出すると共に、それに応じた青色の信号電荷を発生するＢ光電変換膜２３とがこの順に積層されている（図２及び図３参照）。尚、各光電変換膜の積層順序はこれに限らない。又、各光電変換膜の材料としては有機材料を用いるのが好ましい。

ｎ型半導体基板１の表面部には、Ｒ光電変換膜１５で発生した信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部３と、Ｂ光電変換膜２３で発生した信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部４と、Ｇ光電変換膜１９で発生した信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部５と、Ｒ光電変換膜１５、Ｇ光電変換膜１９、及びＢ光電変換膜２３に入射する光に依存せずにｎ型半導体基板１内で発生する信号電荷（具体的には、各信号電荷蓄積部３〜５において、光が入射していない状態で発生する信号電荷に相当する信号電荷、以下暗信号電荷という）のみを蓄積する信号電荷蓄積部６とが、行（水平）方向（図１のＸ方向）及び列（垂直）方向（図１のＹ方向）に正方格子状に配列されている。信号電荷蓄積部３〜５は、特許請求の範囲の第１電荷蓄積領域に該当する。信号電荷蓄積部６は、特許請求の範囲の第２電荷蓄積領域に該当する。

図１に示すように、奇数行には、信号電荷蓄積部３と信号電荷蓄積部４が交互に配列されており、偶数行には信号電荷蓄積部５と信号電荷蓄積部６が交互に配列されている。

ｎ型半導体基板１の表面部には、信号電荷蓄積部３〜６の各々に蓄積された信号電荷をＹ方向に転送する垂直転送部４０が設けられており、ｎ型半導体基板１の下辺部には垂直転送部４０から転送されてきた信号電荷をＸ方向に転送する水平転送部２０と、記水平転送部２０から転送されてきた信号電荷に応じた信号を出力する出力部３０とが設けられている。垂直転送部４０、水平転送部２０、及び出力部３０は、特許請求の範囲の信号読出回路を構成する。

固体撮像素子１００は、図１〜図３中の破線で囲った部分を１つの画素部として多数の画素部に分割されている。多数の画素部の各々には、Ｒ光電変換膜１５、Ｇ光電変換膜１９、及びＢ光電変換膜２３のうち、１画素データを生成するために必要なＲ，Ｇ，Ｂの信号電荷を発生する部分と、該部分から得られるＲ，Ｇ，Ｂの信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部３〜５と、該信号電荷蓄積部３〜５に対応して１つ設けられる信号電荷蓄積部６とが含まれる。１つの画素部からは、各光電変換膜の同一位置で検出されたＲ，Ｇ，Ｂの信号電荷に応じた信号を得ることができるため、この信号に基づいて１画素データを生成することが可能となる。

図２及び図３に示すように、Ｒ光電変換膜１５は、画素電極膜１４と対向電極膜１６とに挟まれている。Ｇ光電変換膜１９は、画素電極膜１８と対向電極膜２０とに挟まれている。Ｂ光電変換膜２３は、画素電極膜２２と対向電極膜２４とに挟まれている。

対向電極膜１６と画素電極膜１８の間には透明絶縁膜１７が設けられ、対向電極膜２０と画素電極膜２２の間には透明絶縁膜２１が設けられ、対向電極膜２４の上には透明絶縁膜２５が設けられている。

画素電極膜１４，１８，２２は、画素部毎に区分けされている。対向電極膜１６，２０，２４は、全画素部で共通して用いることができるため、画素部毎に区分けされていないが、区分けしてあっても良い。又、各光電変換膜も同様、画素部毎に区分けしてあっても良い。

Ｒ光電変換膜１５のうち、画素電極膜１４と対向電極膜１６とで挟まれる領域で発生した信号電荷が、この画素部から得られる１画素データを生成するために用いる信号電荷となる。Ｇ光電変換膜１９のうち、画素電極膜１８と対向電極膜２０とで挟まれる領域で発生した信号電荷が、この画素部から得られる１画素データを生成するために用いる信号電荷となる。Ｂ光電変換膜２３のうち、画素電極膜２２と対向電極膜２４とで挟まれる領域で発生した信号電荷が、この画素部から得られる１画素データを生成するために用いる信号電荷となる。

ｎ型半導体基板１の表面部にはｐウェル層２が形成され、ｐウェル層２の表面部には、ｎ＋領域からなる信号電荷蓄積部３〜６が形成されている。

各ｎ＋領域３〜６の右側には、夫々少し離間して、Ｙ方向に延びるｎ領域８が設けられ、ｎ領域８の表面部にはｎ＋領域３〜６まで達する読み出し電極を兼用するポリシリコンからなる転送電極１０が形成され、各転送電極１０の上には、遮光膜１１が設けられる。ｎ領域８と転送電極１０が垂直転送部４０を構成する。

各ｎ＋領域３〜６の左側面部にはｐ＋領域７が設けられ、隣接垂直転送部４０との分離が図られる。ｎ型半導体基板１の最表面には、酸化シリコン膜９が形成され、その上に、上記の転送電極１０が形成される。

画素電極膜１４とｎ＋領域３とは、縦配線２６によって接続される。この縦配線２６は、接続される画素電極膜１４及びｎ＋領域３以外とは電気的に絶縁される。画素電極膜２２とｎ＋領域４とは、縦配線２７によって接続される。この縦配線２７は、接続される画素電極膜２２及びｎ＋領域４以外とは電気的に絶縁される。画素電極膜１８とｎ＋領域５とは、縦配線２８によって接続される。この縦配線２８は、接続される画素電極膜１８及びｎ＋領域５以外とは電気的に絶縁される。

ｎ＋領域６は、その上部に遮光膜１１が設けられ、光が入射しないようになっている。 このため、ｎ＋領域６には、各ｎ＋領域３〜５において、光が入射していない状態で発生する信号電荷に相当する信号電荷（以下、暗信号電荷という）のみが蓄積されることになる。

遮光膜１１，転送電極１０は透明の絶縁層１２内に埋設される。

以下、固体撮像素子１００を搭載した撮像装置についてデジタルカメラを例にして説明する。
図４は、本発明の実施形態を説明するためのデジタルカメラの概略構成を示す図である。
図４に示すデジタルカメラは、撮像部３１と、アナログ信号処理部３２と、Ａ／Ｄ変換部３３と、駆動部３４と、ストロボ３５と、デジタル信号処理部３６（特許請求の範囲の信号取得手段、減算手段、画像データ生成手段に該当）と、圧縮／伸張処理部３７と、表示部３８と、システム制御部３９（特許請求の範囲の駆動制御手段、焦点調節手段に該当）と、内部メモリ４０と、メディアインタフェース４１と、記録メディア４２と、操作部４３とを備える。デジタル信号処理部３６、圧縮／伸張処理部３７、表示部３８、システム制御部３９、内部メモリ４０、及びメディアインタフェース４１は、システムバス４４に接続されている。

撮像部３１は、撮影レンズ等の光学系及び図１に示した固体撮像素子１００によって被写体の撮影を行うものであり、アナログの信号（Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号、及び暗信号電荷に応じた信号）を出力する。アナログ信号処理部３２は、撮像部３１で得られた信号に所定のアナログ信号処理を施す。Ａ／Ｄ変換部３３は、アナログ信号処理部３２で処理後のアナログの信号をデジタル変換する。

撮影に際しては、駆動部３４を介して光学系及び固体撮像素子１００の制御が行われる。固体撮像素子１００は、操作部４３の一部であるレリーズボタン（図示せず）の操作によるレリーズスイッチ（図示せず）オンを契機として、所定のタイミングで、駆動部３４に含まれるタイミングジェネレータ（図４ではＴＧと記載）からの駆動信号によって駆動され、Ｒ光電変換膜１５，Ｂ光電変換膜２３，Ｇ光電変換膜１９で発生した信号電荷に応じたアナログの信号と、信号電荷蓄積部６に蓄積された暗信号電荷に応じた暗信号がアナログ信号処理部３２に出力される。本実施形態では、固体撮像素子１００からの信号の読み出しを、固体撮像素子１００の奇数行と偶数行とを一緒に読み出すプログレッシブ読み出しにより行うが、奇数行と偶数行の２回に分けて読み出すインターレース読み出しを採用することも可能である。駆動部３４は、システム制御部３９によって所定の駆動信号を出力する。

デジタル信号処理部３６は、Ａ／Ｄ変換部３３からのデジタル信号に対して、操作部４３によって設定された動作モードに応じたデジタル信号処理を行う。デジタル信号処理部３６が行う処理には、黒レベル補正処理、スミア補正処理、リニアマトリクス補正処理、ホワイトバランス調整処理、ガンマ補正処理、カラー画像データ生成処理、及びＹ／Ｃ変換処理等が含まれる。デジタル信号処理部３６は、例えばＤＳＰで構成される。

圧縮／伸張処理部３７は、デジタル信号処理部３６で得られたＹ／Ｃデータに対して圧縮処理を施すとともに、記録メディア４２から得られた圧縮画像データに対して伸張処理を施す。

表示部３８は、例えばＬＣＤ表示装置を含んで構成され、撮影されてデジタル信号処理を経たカラー画像データに基づくカラー画像を表示する。記録メディア４２に記録された圧縮画像データを伸張処理して得た画像データに基づく画像の表示も行う。また、撮影時のスルー画像、デジタルカメラの各種状態、操作に関する情報の表示等も可能である。

内部メモリ４０は、例えばＤＲＡＭであり、デジタル信号処理部３６やシステム制御部３９のワークメモリとして利用される他、記録メディア４２に記録される撮影画像データを一時的に記憶するバッファメモリや表示部３８への表示画像データのバッファメモリとしても利用される。メディアインタフェース４１は、メモリカード等の記録メディア４２との間のデータの入出力を行うものである。

システム制御部３９は、所定のプログラムによって動作するプロセッサを主体に構成され、撮影動作を含むデジタルカメラ全体の制御を行う。

操作部４３は、デジタルカメラ使用時の各種操作を行うものである。

以下、図４に示すデジタルカメラの撮影動作について説明する。
レリーズスイッチがオンとなると、駆動部３４によって固体撮像素子１００が駆動され、固体撮像素子１００により被写体の撮像が行われる。撮像が行われると、Ｒ光電変換膜１５，Ｇ光電変換膜１９，Ｂ光電変換膜２３に蓄積された信号電荷に応じたＲ信号，Ｇ信号，Ｂ信号と、信号電荷蓄積部６に蓄積された暗信号電荷に応じた暗信号が固体撮像素子１００からアナログ信号処理部３２に出力される。Ｒ信号，Ｇ信号，Ｂ信号，暗信号は、アナログ信号処理部３２、Ａ／Ｄ変換部３３を経て、デジタル信号処理部３６に入力される。

デジタル信号処理部３６は、Ｒ信号，Ｇ信号，Ｂ信号，暗信号を取得し、同一画素部から得られたＲ信号、Ｇ信号、及びＢ信号の各々から、該同一画素部から得られた暗信号を減算する減算処理を行う。各信号電荷蓄積部３〜５には、撮像によって蓄積された信号電荷の他に、熱等によって発生した暗信号電荷が蓄積されるため、Ｒ信号、Ｇ信号、及びＢ信号の各々には、この暗信号電荷に応じた暗信号が重畳されている。信号電荷蓄積部６は、この暗信号電荷のみを蓄積する機能を有しているため、上記の減算処理を行うことで、Ｒ信号、Ｇ信号、及びＢ信号の各々に重畳されている暗信号を除去して黒レベルを補正することができる。

又、各信号電荷蓄積部３〜６に蓄積された信号電荷をｎ領域８に読み出して転送する際に、ある画素部に含まれる光電変換膜に強い光が入射した場合には、その画素部に含まれる信号電荷蓄積部３〜５からｎ領域８に多量の信号電荷が漏れてしまい、これがスミア電荷となってしまう。このスミア電荷は、そのスミア電荷が漏れてしまったｎ領域８に読み出された信号電荷（強い光が入射した画素部を含む画素部列の各画素部からｎ領域８に読み出された全ての信号電荷）にほぼ均等に重畳される。このような場合でも、上記の減算処理を行うことで、強い光が入射した画素部を含む画素部列の各画素部から読み出されたＲ，Ｇ，Ｂの信号からスミア成分を除去することができる。

上記減算処理により、固体撮像素子１００の各画素部毎に暗信号及びスミア成分の除去されたＲ，Ｇ，Ｂの信号が得られる。デジタル信号処理部３６は、このＲ，Ｇ，Ｂの信号に基づいて各画素部毎に１画素データを生成し、各画素部の１画素データを用いてカラー画像データを生成するカラー画像データ生成処理を行う。これにより、高画質のカラー画像データを生成することができる。

次に、オートフォーカス（ＡＦ）指示が行われた場合のデジタルカメラの動作について説明する。
ユーザによって画角が確定され、レリーズボタンが半押しされてＡＦ指示がシステム制御部３９に入力されると、システム制御部３９は、固体撮像素子１００のｎ型半導体基板１に形成された信号電荷蓄積部３〜６のうち、信号電荷蓄積部５と信号電荷蓄積部６に蓄積されている信号電荷に応じた信号のみを読み出すように駆動部３４に指示を出す。

駆動部３４は該指示に基づいて固体撮像素子１００の駆動制御を行い、この駆動制御によって固体撮像素子１００からＧ信号及び暗信号が出力され、これがアナログ信号処理部３２、Ａ／Ｄ変換部３３、デジタル信号処理部３６を経由してシステム制御部３９に入力される。システム制御部３９は、Ｇ信号及び暗信号を取得し、同一画素部から得られたＧ信号から該同一画素部から得られた暗信号を減算する処理を行う。この処理により、Ｇ信号に含まれる暗信号を除去することができると共に、Ｇ信号にスミア成分が含まれていた場合には、そのスミア成分も除去することができる。

そして、システム制御部３９は、上記処理後の各画素部毎のＧ信号に基づいて公知の手法で合焦位置を決定し、決定した合焦位置に撮影レンズを移動するよう駆動部３４に指示を出し、自動で焦点調節を行う。

ＡＦ処理を行う場合には、Ｇ信号だけあれば十分であるが、そのＧ信号にスミア成分が含まれていると、スミアの原因となった光源のある位置に焦点が合ってしまい、正確な焦点調節ができない。ところが本実施形態のデジタルカメラによれば、Ｇ信号に含まれるスミア成分を除去し、除去後のＧ信号に基づいて合焦位置を決定することができるため、正確に焦点調節を行うことができる。又、本実施形態のように、奇数行に信号電荷蓄積部５と信号電荷蓄積部６のみを配列したことで、奇数行のみから信号を読み出す駆動制御が可能となり、ＡＦ処理を高速に行うことができる。

以上のように本実施形態の固体撮像素子１００によれば、１画素データの生成に必要なＲ，Ｇ，Ｂの信号が得られる固体撮像素子１００の各画素部に、入射光に依存せずにｎ型半導体基板１内で発生する信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部６を設けているため、この信号電荷蓄積部６から読み出された信号を利用することで、各画素部から得られたＲ，Ｇ，Ｂの信号に含まれる暗信号やスミア成分を除去することができ、高画質の撮像が可能となる。

光電変換膜が半導体基板上に積層された積層型固体撮像素子において、従来からあるＣＣＤ型固体撮像素子の構造を利用する場合には、解像度を向上させるために、同一位置の光電変換膜で検出された複数の信号電荷を蓄積する複数の信号電荷蓄積部同士がなるべく近接して配列されていることが好ましい。又、画像データの作り易さや固体撮像素子の設計のし易さ等を考慮すると、画素電極膜は四角形であることが好ましい。図１では、信号電荷蓄積部３〜５がＬ字状に配列され、画素電極膜１４，１８，２２が四角形に区分けされているため、上記条件を満たしている。上記条件を満たしただけでは、画素部毎に、１つの信号電荷蓄積部が余ってしまうが、本実施形態によればこの余りを利用するため、無駄が生じない。

又、本実施形態の固体撮像素子１００によれば、合焦位置を決定するために用いるＧ信号にスミア成分が含まれていた場合でも、それを除去した状態で合焦位置を決定することができるため、高精度の焦点調節が可能となる。

尚、上記の例では、信号電荷蓄積部３〜６の各々に蓄積される信号電荷をＣＣＤによって読み出す構成としているが、従来のＣＭＯＳ型固体撮像素子と同様に、信号電荷蓄積部３〜６の各々に蓄積される信号電荷に応じた信号を、ＭＯＳ回路によって読み出し、これをｎ型半導体基板１に形成された読み出し電極によって外部に取り出す構成とすることもできる。但し、ＭＯＳ回路を用いた場合には、スミアが発生することはないため、上述したスミア除去効果は得られない。

又、固体撮像素子１００の各画素部に含まれる信号電荷蓄積部３〜６の配列は図１に示したものに限らない。又、各画素部毎に信号電荷蓄積部３〜６の配列が同じである必要もない。但し、スミア成分を除去するという効果を得るためには、同一画素部に含まれる信号電荷蓄積部６に蓄積される信号電荷を転送する垂直転送部４０と、該同一画素部に含まれる信号電荷蓄積部３〜５のいずれかに蓄積される信号電荷を転送する垂直転送部４０とが同じであることが必須である。以下、信号電荷蓄積部３〜６の配列の変形例について説明する。

図５は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の変形例を示す表面模式図である。図５において図１と同様の構成には同一符号を付してある。
図５に示す固体撮像素子は、ｎ型半導体基板１上に、信号電荷蓄積部３がＸ方向に配列された行と、信号電荷蓄積部６がＸ方向に配列された行と、信号電荷蓄積部４がＸ方向に配列された行と、信号電荷蓄積部５がＸ方向に配列された行とがこの順番でＹ方向に繰り返し配列されている。そして、図５中の破線で囲った部分を１つの画素部として多数の画素部に分割されている。図５のような構成にした場合でも、暗信号除去効果が得られると共に、信号電荷蓄積部３〜５に蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部４０と、信号電荷蓄積部６に蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部４０とが同一であるため、スミア成分除去効果も得ることができる。

図６は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の変形例を示す表面模式図である。図６において図１と同様の構成には同一符号を付してある。
図６に示す例は、図１に示す固体撮像素子１００において、奇数行と偶数行を、各行の行方向の配列ピッチの略１／２ずらして配列し、垂直転送部４０を列同士の間をＹ方向に蛇行して延在する形状にしたものである。そして、図６中の破線で囲った部分を１つの画素部として、多数の画素部に分割された構成となっている。このような構成にした場合でも、上述した効果を得ることができる。

本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子１００の表面模式図 図１のＡ―Ａ線断面模式図 図１のＢ―Ｂ線断面模式図 本発明の実施形態を説明するためのデジタルカメラの概略構成を示す図 本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の変形例を示す表面模式図 本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の変形例を示す表面模式図

符号の説明

１００ 固体撮像素子
１ ｎ型半導体基板
３〜６ 信号電荷蓄積部
２０ 水平転送部
３０ 出力部
４０ 垂直転送部

Claims (5)

1. 半導体基板上方に積層されたそれぞれ異なる色を検出する３つの光電変換膜と、前記半導体基板に形成される信号読出回路とを有し、前記光電変換膜で発生する信号電荷に応じた信号を前記信号読出回路によって外部に読み出す固体撮像素子であって、
   前記半導体基板表面には、前記３つの光電変換膜の各々で発生する信号電荷を蓄積する３つの第１電荷蓄積領域と、前記３つの光電変換膜に入射する光に依存せずに前記半導体基板内で発生する信号電荷のみを蓄積する第２電荷蓄積領域とが形成され、
   前記固体撮像素子は多数の画素部に分割され、
   前記多数の画素部の各々には、前記３つの第１電荷蓄積領域と、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応して設けられる前記第２電荷蓄積領域とが含まれる固体撮像素子。
2. 請求項１記載の固体撮像素子であって、
   前記信号読出回路は、前記第１電荷蓄積領域及び前記第２電荷蓄積領域のそれぞれから読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記垂直方向に転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平方向に転送された信号電荷に応じた信号を出力する出力部とから構成され、
   前記３つの第１電荷蓄積領域のいずれかから読み出された信号電荷を転送する前記垂直転送部と、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から読み出された信号電荷を転送する前記垂直転送部とが同一である固体撮像素子。
3. 請求項１又は２記載の固体撮像素子を含む撮像装置であって、
   前記３つの第１電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第１の信号と、前記第２電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第２の信号を前記固体撮像素子から取得する信号取得手段と、
   前記３つの第１電荷蓄積領域から取得された３つの前記第１の信号の各々から、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から取得された前記第２の信号を減算する減算手段と、
   前記減算後の３つの第１の信号を用いて画像データを生成する画像データ生成手段とを備える撮像装置。
4. 請求項２記載の固体撮像素子を含む撮像装置であって、
   前記３つの第１電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第１の信号と、前記第２電荷蓄積領域から読み出された信号電荷に応じた第２の信号を前記固体撮像素子から取得する信号取得手段と、
   前記３つの第１電荷蓄積領域から取得された３つの前記第１の信号の各々から、前記３つの第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から取得された前記第２の信号を減算する減算手段と、
   前記減算後の３つの第１の信号を用いて画像データを生成する画像データ生成手段とを備える撮像装置。
5. 請求項４記載の撮像装置であって、
   前記３つの光電変換膜は、緑色を検出する緑色光電変換膜を含み、
   前記半導体基板表面には、前記第２電荷蓄積領域及び前記緑色光電変換膜で発生した信号電荷を蓄積する第１電荷蓄積領域のいずれか又は両方が前記水平方向に配列された第１の行と、前記緑色光電変換膜以外の光電変換膜で発生した信号電荷を蓄積する第１電荷蓄積領域が前記水平方向に配列された第２の行とが前記垂直方向に交互に配列されており、
   前記第１の行のみから前記第１の信号及び前記第２の信号を読み出させる駆動制御を行う駆動制御手段と、
   前記駆動制御によって前記第１電荷蓄積領域から得られた前記第１の信号から、該第１電荷蓄積領域に対応する前記第２電荷蓄積領域から得られた前記第２の信号を減算し、減算して得られた信号に基づいて焦点調節を行う焦点調節手段とを備える撮像装置。

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