JP2006202812A - Process for manufacturing lead frame and lead frame - Google Patents

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Katsufusa Fujita
勝房 藤田
Atsuo Nouzumi
厚生 能隅
Masahiro Izumi
雅宏 泉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for manufacturing a lead frame in which punching of an inner lead and manufacture of a die are facilitated, and wear of the punch and die due to punching can be inspected without requiring a long time, and to provide a lead frame. <P>SOLUTION: In a lead frame 10 having a plurality of inner leads 13 formed around a semiconductor chip mounting region 12 by punching a metal plate 11 by means of a press die device, and its manufacturing process, the portion 17 being punched between adjacent inner leads 13 is divided into a plurality of sections in the length direction of the inner lead 13 at the time of punching the inner lead 13. Each section is then punched by means of a punch and a die having cutting edges opposing in parallel thus forming parallel grooves 20-22. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、金属板をプレス加工によって打ち抜いて形成されるリードフレーム及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a lead frame formed by stamping a metal plate by press working and a manufacturing method thereof.

半導体装置は高機能化、小型化を要請され、これに対応すべく多ピン化している。かかる半導体装置用リードフレーム(以下、単に「リードフレーム」という)は多ピンで、各リードの間隔が極細になってきている。そして、一般的にはリードフレームは生産性やコスト面からプレス加工によって形成されることが多い。
プレス加工によるリードフレームの形成は、図4に示すように、単位リードフレーム50のインナーリード51を1本又は複数本おきに、インナーリード51基部から先端部までのリード間の打ち抜き除去部分52を刃先の平断面形状がテーパー型のパンチとダイで打ち抜きしている(例えば、特許文献1参照)。なお、図4において、54はアウターリードを示す。また、パイロット孔等は省略している。
Semiconductor devices are required to have high functionality and downsizing, and the number of pins is increased in order to meet this demand. Such lead frames for semiconductor devices (hereinafter simply referred to as “lead frames”) are multi-pin, and the intervals between the leads are becoming extremely narrow. In general, the lead frame is often formed by press working in terms of productivity and cost.
As shown in FIG. 4, the lead frame is formed by press working. As shown in FIG. 4, every one or a plurality of inner leads 51 of the unit lead frame 50, punching removal portions 52 between the leads from the inner lead 51 base portion to the tip portion are formed. The flat cross-sectional shape of the blade edge is punched with a taper type punch and die (for example, see Patent Document 1). In FIG. 4, reference numeral 54 denotes an outer lead. Further, pilot holes and the like are omitted.

ところで、リードフレーム50は、リードの幅や間隔が狭く変形し易いインナーリード51に捩れあるいは横方向(幅方向)へのシフトが生じると不良品となるので、不良品の発生を防止するために、厳密な検査を要する。また、不良のないリードフレーム50を形成するにはプレス金型装置のパンチやダイを点検し、メンテナンスを行う必要がある。 By the way, the lead frame 50 becomes a defective product when the inner lead 51 whose lead width and interval are narrow and easily deformed is twisted or shifted in the lateral direction (width direction). , Requires strict inspection. Further, in order to form a lead frame 50 free from defects, it is necessary to inspect the punch and die of the press mold apparatus and perform maintenance.

特開平6−302739号公報JP-A-6-302739

しかしながら、従来の刃先の平断面形状がテーパー状の(即ち、半導体チップ搭載領域に向かって徐々に細くなっている)パンチとダイは製作加工がし難いうえに、使用による摩耗等で抜き形状の変化有無を検査するにしても基準位置をいちいち定めて行わねばならず、時間と高度の熟練を要するという問題があった。また、前記摩耗等の点検や検査の難しさが、リードフレーム打ち抜き不良を生じる一因となる等の問題がある。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、細幅のインナーリードを打ち抜き形成するパンチやダイの製作加工が容易で、打ち抜きによる摩耗等の点検及び検査が時間を要さずにでき、打ち抜き不良のないリードフレームを生産性よく製造できるリードフレームの製造方法及びリードフレームを提供することを第1の目的とする。また、封止樹脂との接合強度の優れるリードフレームを得るリードフレームの製造方法及びリードフレームを提供することを第2の目的とする。
However, punches and dies with a conventional blade tip having a tapered cross-sectional shape (that is, gradually becoming narrower toward the semiconductor chip mounting region) are difficult to manufacture and have a punched shape due to wear due to use. Even if the presence or absence of a change is inspected, the reference position must be determined one by one, and there is a problem that time and high skill are required. In addition, there is a problem that the inspection of inspection such as wear and the difficulty of inspection contribute to lead frame punching failure.
The present invention has been made in view of such circumstances, and it is easy to manufacture punches and dies for punching and forming narrow inner leads, and inspection and inspection of wear and the like by punching can be performed in a time-saving manner. It is a first object of the present invention to provide a lead frame manufacturing method and a lead frame capable of manufacturing a lead frame free from defects with high productivity. It is a second object of the present invention to provide a lead frame manufacturing method and a lead frame for obtaining a lead frame having excellent bonding strength with a sealing resin.

前記目的に沿う第1の発明に係るリードフレームの製造方法は、金属板をプレス金型装置で打ち抜いて、半導体チップ搭載領域の周りに、インナーリードを複数形成するリードフレームの製造方法において、前記インナーリードを打ち抜き形成するにあたり、隣り合う前記インナーリードの間の打ち抜き除去部分を前記インナーリードの長さ方向に複数の区域に分けて、該複数の区域のそれぞれを、向かい合う切り刃が平行なパンチとダイで打ち抜き、平行溝とする。これによって、パンチとダイが打ち抜き部分に対応して平行刃であるので、測定基準位置を定める必要が無くなり、簡単に刃幅を測定でき、パンチ及びダイの保守点検が容易である。
さらに、形成されたインナーリードは、当該インナーリードの長さ方向において複数の区域に分けて打ち抜いた除去部分の幅が、分けたそれぞれの区域内で同じであるため、打ち抜きの良否の点検が初心者でも容易にできる。
この第1の発明に係るリードフレームの製造方法において、前記平行溝は前記インナーリードの長さ方向において段階的にその溝幅が異なる。
The lead frame manufacturing method according to the first aspect of the present invention is the lead frame manufacturing method in which a plurality of inner leads are formed around a semiconductor chip mounting region by punching a metal plate with a press die device. When punching and forming the inner lead, a punch removal portion between adjacent inner leads is divided into a plurality of areas in the length direction of the inner lead, and each of the plurality of areas is punched with parallel cutting blades. And punched with a die to make parallel grooves. Accordingly, since the punch and the die are parallel blades corresponding to the punched portion, it is not necessary to determine the measurement reference position, the blade width can be easily measured, and the maintenance inspection of the punch and the die is easy.
Furthermore, since the formed inner lead has the same width in each of the divided areas, the width of the removed portion that is punched in a plurality of areas in the length direction of the inner lead is checked for beginners. But it can be done easily.
In the method for manufacturing a lead frame according to the first aspect of the invention, the parallel grooves have different groove widths stepwise in the length direction of the inner leads.

前記目的に沿う第2の発明に係るリードフレームは、金属板をプレス金型装置で打ち抜いて形成されるインナーリードを、半導体チップ搭載領域の周りに複数備えたリードフレームにおいて、隣り合う前記インナーリードの間の全部又は主要部は、連結された平行溝によって形成されている。
ここで、第2の発明に係るリードフレームにおいて、前記平行溝は段階的に屈曲しているものであってもよいし、前記平行溝は段階的にその溝幅が異なるものであってもよい。
以上の発明においては、半導体チップ搭載領域は、リードフレーム上に半導体チップ搭載部として実質的に形成されている場合を含む他、半導体チップ搭載領域が空間部となっている場合も本発明は適用される。
A lead frame according to a second aspect of the present invention that meets the above-mentioned object is a lead frame comprising a plurality of inner leads formed around a semiconductor chip mounting region by punching a metal plate with a press die device. All or a main part between them is formed by connected parallel grooves.
Here, in the lead frame according to the second invention, the parallel grooves may be bent stepwise, or the parallel grooves may have stepwise different groove widths. .
In the above invention, the semiconductor chip mounting area includes the case where the semiconductor chip mounting area is formed as a semiconductor chip mounting part on the lead frame, and the present invention is also applied to the case where the semiconductor chip mounting area is a space part. Is done.

請求項1、2記載のリードフレームの製造方法及び請求項3〜5のリードフレームにおいては、インナーリードを打ち抜き形成するにあたり、半導体チップ搭載領域方向に幅狭となるインナーリードの打ち抜き除去部分をインナーリードの長さ方向に複数に分けて、複数に分割した連続する打ち抜き除去部分のそれぞれを、向かい合う切り刃が平行なパンチとダイで打ち抜いて平行溝としているので、パンチとダイの製作加工が容易となる。
また、分割した打ち抜き除去部分に対応するパンチとダイは、打ち抜きの良否の点検においては、従来のように基準点を設ける必要がないので、初心者でも容易に成しえる。
分割した打ち抜き除去部分に対応するパンチとダイは刃先の平断面形状が平行となるので、インナーリードの打ち抜きの検査が容易で、良否が容易に判定でき、不良が発生した場合には直ぐにメンテナンスが可能であり、不良品の発生を防止できる。
特に、請求項2記載のリードフレームの製造方法及び請求項5記載のリードフレームのように、分割した打ち抜き除去部分(即ち、平行溝)を段階的にその溝幅を変えた場合、あるいは請求項4記載のリードフレームのように平行溝を段階的に屈曲させた場合には、封止樹脂との接着強度が大となり、抜けや樹脂剥離等が防止される。
The lead frame manufacturing method according to claim 1 and the lead frames according to claims 3 to 5, wherein when the inner lead is punched and formed, the inner lead is removed by punching and removing the inner lead. Easily manufacture punches and dies by dividing them into multiple parts in the length direction of the lead and making each of the multiple punched parts removed into parallel grooves by punching them with punches and dies that face each other in parallel. It becomes.
In addition, punches and dies corresponding to the divided punching removal portions do not need to be provided with a reference point as in the prior art in checking whether or not punching is good, so that even beginners can easily make them.
The punch and die corresponding to the divided punching removal parts have a parallel cross-sectional shape of the cutting edge, so the inner lead punching inspection is easy, the quality can be easily judged, and if a defect occurs, maintenance is immediately performed. It is possible to prevent the occurrence of defective products.
In particular, as in the lead frame manufacturing method according to claim 2 and the lead frame according to claim 5, when the groove width of the divided punching removal portion (that is, the parallel groove) is changed stepwise, or When the parallel groove is bent stepwise as in the lead frame described in item 4, the adhesive strength with the sealing resin is increased, and disconnection and resin peeling are prevented.

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
ここで、図1は本発明の一実施の形態に係るリードフレーム打ち抜きの一過程におけるリードフレームの平面図、図2はその一部拡大図である。図3は本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法により製造したリードフレームの平面図である。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings for understanding of the present invention.
Here, FIG. 1 is a plan view of a lead frame in a process of punching out a lead frame according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged view thereof. FIG. 3 is a plan view of a lead frame manufactured by the lead frame manufacturing method according to the embodiment of the present invention.

図1〜図3に示すように、本発明の一実施の形態に係るリードフレーム10は、厚みが例えば0.1〜0.3mm程度の金属条材(金属板の一例)11に、パンチとダイを有するプレス金型装置を使用するプレス加工によって形成され、半導体チップ搭載領域12を中央にして、その周囲に複数のインナーリード13、及びこれに連接するアウターリード14が形成されている。各インナーリード13は、アウターリード14への連接する直線部15と、半導体チップ搭載領域12に向かって幅狭となるインナーリード傾斜部16とを有している。
隣り合うインナーリード13の間は打ち抜き除去部分17によって分離され、打ち抜き除去部分17は、向かい合う切り刃が平行なパンチとダイによるプレス加工によって打ち抜かれ、インナーリード13の長さ方向において段階的に抜き幅が異なる。
As shown in FIGS. 1 to 3, a lead frame 10 according to an embodiment of the present invention has a metal strip (an example of a metal plate) 11 having a thickness of, for example, about 0.1 to 0.3 mm, A plurality of inner leads 13 and outer leads 14 connected to the semiconductor chip mounting region 12 are formed around the semiconductor chip mounting region 12, which is formed by pressing using a press die device having a die. Each inner lead 13 has a linear portion 15 connected to the outer lead 14 and an inner lead inclined portion 16 that becomes narrower toward the semiconductor chip mounting region 12.
The adjacent inner leads 13 are separated by a punching removal portion 17, and the punching removal portion 17 is punched by press working with a punch and a die having parallel cutting edges, and is stepped in the length direction of the inner lead 13. The width is different.

インナーリード13の打ち抜き形成について図1、図2を参照してさらに述べる。
打ち抜き除去部分17は、インナーリード13の直線部15に連接する角抜き部18と、隣り合うインナーリード傾斜部16を区分する傾斜抜き部19とを有し、角抜き部18に連接する傾斜抜き部19はインナーリード13の長さ方向にて複数の区域に分けられ半導体チップ搭載領域12側に向けて幅が段階的に狭くなる複数の平行溝20〜22によって形成される。
打ち抜き除去部分17を打ち抜く図示しないプレス金型装置は、この打ち抜き除去部分17を構成する角抜き部18、及び連結された平行溝20〜22をそれぞれ個別に形成する複数のパンチとダイを備えていて、各パンチとダイはそれぞれに対応する向かい合う切り刃が平行である。
The punching formation of the inner lead 13 will be further described with reference to FIGS.
The punching removal portion 17 has a corner punching portion 18 connected to the straight portion 15 of the inner lead 13 and a slope punching portion 19 that separates the adjacent inner lead sloped portions 16. The portion 19 is formed by a plurality of parallel grooves 20 to 22 which are divided into a plurality of areas in the length direction of the inner lead 13 and whose width gradually decreases toward the semiconductor chip mounting region 12 side.
A press die apparatus (not shown) for punching the punching removal portion 17 includes a plurality of punches and dies that individually form the corner punching portion 18 constituting the punching removal portion 17 and the connected parallel grooves 20 to 22. Thus, each punch and die have corresponding cutting edges in parallel.

以上のことから、パンチ及びダイ共に、向かい合う切り刃が平行となって、それぞれ平行溝20〜22を形成するパンチの両外面、及びダイの両内面の間隔が長さ方向に沿って一定となっている。従って、パンチ及びダイの損耗状況を点検する場合には、加工した角抜き部18、及び平行溝20〜22の長さ方向内であればどの位置でも抜き幅の点検ができるし、直接パンチ及びダイの寸法を測定して、その損耗状況を点検・把握できる。
なお、本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法により製造した図3に示すリードフレーム10は図1に示した製造過程のリードフレーム10のインナーリード13の間の打ち抜き除去部分17間に新たな打ち抜き除去部分17を同様に形成することでなされる。
なお、アウターリード14を形成するためにその両側には矩形抜き孔23が別のパンチ及びダイによって形成されている。矩形抜き孔23と角抜き部18との間はタイバー部24を構成し、完成されたリードフレーム10に所定の半導体チップを搭載し、半導体チップとインナーリード13の先端部のワイヤーボンディングを行って樹脂封止した後、タイバー部24は切り落とされる。なお、このリードフレーム10においてパイロット孔等は省略されている。また、図2において、符号26〜28は平行溝20〜22の抜き幅を変えた箇所を示す。
From the above, in both the punch and the die, the facing cutting blades are parallel, and both the outer surfaces of the punch and the inner surfaces of the die forming the parallel grooves 20 to 22 are constant along the length direction. ing. Therefore, when checking the state of wear of the punch and die, the punching width can be checked at any position within the length direction of the processed corner punched portion 18 and the parallel grooves 20 to 22, and the punch and die can be directly checked. Measure the die dimensions and check and grasp the wear status.
The lead frame 10 shown in FIG. 3 manufactured by the lead frame manufacturing method according to the embodiment of the present invention is between the punching removal portions 17 between the inner leads 13 of the lead frame 10 in the manufacturing process shown in FIG. This is done by forming a new punching removal portion 17 in the same manner.
In order to form the outer lead 14, rectangular punch holes 23 are formed on both sides thereof by another punch and die. A tie bar portion 24 is formed between the rectangular punched hole 23 and the square punched portion 18, a predetermined semiconductor chip is mounted on the completed lead frame 10, and wire bonding between the semiconductor chip and the tip of the inner lead 13 is performed. After resin sealing, the tie bar portion 24 is cut off. In this lead frame 10, pilot holes and the like are omitted. Moreover, in FIG. 2, the codes | symbols 26-28 show the location which changed the extraction width | variety of the parallel grooves 20-22.

前記実施の形態においては、傾斜抜き部19は3つの平行溝20〜22によって形成したが、2又は4以上の平行溝によって形成することもできる。
また、前記実施の形態においては、傾斜抜き部19の幅は、半導体チップ搭載領域12方向に向けてその幅を縮小しているが、拡大する場合、又は同一幅で折れ曲がり屈曲する場合であっても、本発明は適用される。
In the above-described embodiment, the inclined cut portion 19 is formed by the three parallel grooves 20 to 22, but may be formed by two or four or more parallel grooves.
Further, in the above-described embodiment, the width of the inclined punched portion 19 is reduced in the direction toward the semiconductor chip mounting region 12, but when it is enlarged, it is a case where it is bent and bent with the same width. The present invention also applies.

本発明の一実施の形態に係るリードフレーム打ち抜きの一過程におけるリードフレームの平面図である。It is a top view of the lead frame in one process of lead frame punching concerning one embodiment of the present invention. 同リードフレームの一部拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of the lead frame. 本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法により製造したリードフレームの平面図である。It is a top view of the lead frame manufactured by the manufacturing method of the lead frame concerning one embodiment of the present invention. 従来例に係るリードフレームの平面図である。It is a top view of the lead frame concerning a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

10:リードフレーム、11:金属条材、12:半導体チップ搭載領域、13:インナーリード、14:アウターリード、15:直線部、16:インナーリード傾斜部、17:打ち抜き除去部分、18:角抜き部、19:傾斜抜き部、20〜22:平行溝、23:矩形抜き孔、24:タイバー部、26〜28:抜き幅を変えた箇所 10: Lead frame, 11: Metal strip, 12: Semiconductor chip mounting area, 13: Inner lead, 14: Outer lead, 15: Straight part, 16: Inner lead inclined part, 17: Punching removal part, 18: Square punching Part, 19: Inclined punching part, 20-22: Parallel groove, 23: Rectangular punching hole, 24: Tie bar part, 26-28: Location where the punching width is changed

Claims (5)

金属板をプレス金型装置で打ち抜いて、半導体チップ搭載領域の周りに、インナーリードを複数形成するリードフレームの製造方法において、
前記インナーリードを打ち抜き形成するにあたり、隣り合う前記インナーリードの間の打ち抜き除去部分を前記インナーリードの長さ方向に複数の区域に分けて、該複数の区域のそれぞれを、向かい合う切り刃が平行なパンチとダイで打ち抜き、平行溝とすることを特徴とするリードフレームの製造方法。
In a manufacturing method of a lead frame in which a metal plate is punched with a press die device and a plurality of inner leads are formed around a semiconductor chip mounting region.
In punching and forming the inner lead, a punching removal portion between adjacent inner leads is divided into a plurality of areas in the length direction of the inner leads, and each of the plurality of areas has parallel cutting blades. A method for manufacturing a lead frame, characterized by punching with a punch and a die to form parallel grooves.
請求項1記載のリードフレームの製造方法において、前記平行溝は前記インナーリードの長さ方向において段階的にその溝幅が異なることを特徴とするリードフレームの製造方法。 2. The method of manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the parallel grooves have stepwise different groove widths in the length direction of the inner leads. 金属板をプレス金型装置で打ち抜いて形成されるインナーリードを、半導体チップ搭載領域の周りに複数備えたリードフレームにおいて、
隣り合う前記インナーリードの間の全部又は主要部は、連結された平行溝によって形成されていることを特徴とするリードフレーム。
In a lead frame provided with a plurality of inner leads formed around a semiconductor chip mounting region by punching a metal plate with a press mold device,
A lead frame characterized in that all or main parts between the adjacent inner leads are formed by connected parallel grooves.
請求項3記載のリードフレームにおいて、前記平行溝は段階的に屈曲していることを特徴とするリードフレーム。 4. The lead frame according to claim 3, wherein the parallel grooves are bent stepwise. 請求項3及び4のいずれか1項に記載のリードフレームにおいて、前記平行溝は段階的にその溝幅が異なることを特徴とするリードフレーム。 5. The lead frame according to claim 3, wherein the parallel grooves have different groove widths in a stepwise manner.
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