JP2006196119A - Magnetic transfer device, transfer unit, and magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁気転写装置、転写ユニット、及び磁気記録媒体に係り、特にハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体に、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置、磁気記録媒体及びマスターディスクを保持する転写ユニット、及び情報が磁気転写された磁気記録媒体に関する。 The present invention relates to a magnetic transfer device, a transfer unit, and a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic transfer device and a magnetic recording medium for transferring a magnetic information pattern such as format information from a master disk to a magnetic recording medium used in a hard disk device or the like. And a transfer unit for holding a master disk, and a magnetic recording medium on which information is magnetically transferred.
ハードディスク装置やフレキシブルディスク装置等に用いられる高密度磁気記録媒体である磁気ディスクは、高速アクセスが可能であるとともに情報記録容量のより大容量化が求められている。 Magnetic disks, which are high-density magnetic recording media used in hard disk devices, flexible disk devices, and the like, are capable of high-speed access and are required to have a larger information recording capacity.
この大容量化を実現するために、トラック幅はより狭トラック化され、この狭いトラック幅の中で磁気ヘッドを正確に走査する、いわゆるトラッキングサーボ技術が重要な役割を担っている。 In order to realize this large capacity, the track width is narrowed, and so-called tracking servo technology for accurately scanning the magnetic head within this narrow track width plays an important role.
磁気ディスクには、所定の間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、及び再生クロック信号等がトラッキングサーボを行うためにプリフォーマットとして記録されている。 On the magnetic disk, a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at a predetermined interval as a preformat for performing tracking servo.
このプリフォーマットを正確にかつ短時間で効率的に行う方法として、本出願人は、高密度磁気記録媒体となる被転写用ディスク(以下スレーブディスクと呼称する)に転写すべき情報に対応した凹凸パターンの磁性層を有するマスターディスクを用意するとともに、スレーブディスクの磁性層を予めトラックの一方向に初期磁化し、その後、この初期磁化されたスレーブディスクとマスターディスクとを密着させた状態で初期磁化方向と略逆向きの転写用磁界を印加する磁気転写方法を提案している(例えば、特許文献1参照。)。 As a method of accurately and efficiently performing this preformatting in a short period of time, the applicant of the present application has used unevenness corresponding to information to be transferred to a transfer target disk (hereinafter referred to as a slave disk) serving as a high-density magnetic recording medium. A master disk having a patterned magnetic layer is prepared, and the magnetic layer of the slave disk is preliminarily magnetized in one direction of the track in advance, and then the initial magnetization is performed with the slave disk and master disk in close contact with each other. A magnetic transfer method has been proposed in which a transfer magnetic field substantially opposite to the direction is applied (see, for example, Patent Document 1).
この場合、スレーブディスクの磁性層とマスターディスクの磁性層とをディスクホルダで密着挟持した状態で磁気転写を行うが、本出願人は、ディスクホルダの中心部に位置決めピンを設け、マスターディスクとスレーブディスクの位置合せを容易にしたディスクホルダを提案している(例えば、特許文献2参照。)。 In this case, the magnetic transfer is performed in a state where the magnetic layer of the slave disk and the magnetic layer of the master disk are tightly sandwiched by the disk holder, but the present applicant provides a positioning pin in the center of the disk holder, and the master disk and the slave disk. A disk holder that facilitates disk alignment has been proposed (see, for example, Patent Document 2).
このディスクホルダは、例えば図10に示すようなディスクホルダ110で、ホルダ本体111、押圧ホルダ112で構成されている。ホルダ本体111は内面(ディスク受け面)111Aと縁部111Bとを有する凹状円盤で、内面111Aの中心部に位置決めピン113が設けられている。位置決めピン113とマスターディスク3の中心孔3A、及びスレーブディスク2の中心孔2Aとが嵌合して夫々位置決めされる。
The disc holder is a
押圧ホルダ112は内面112Aと縁部112Bとを有した凹状円盤で、内面112Aの中心部にマスターディスク4が接着又は真空吸着されている。また、押圧ホルダ112の縁部112Bに設けられたO−リングからなるシール材114とホルダ本体111の縁部111B内面とで密閉された内部空間7が形成される。また、ホルダ本体111には図示しない真空経路が形成されており、内部空間7を負圧にすることでマスターディスク3、スレーブディスク2、及びマスターディスク4を密着挟持する。
The
また、ホルダ本体111、及び押圧ホルダ112は夫々支持軸115、116で支持されるとともに、回転されるようになっている。
ところで、前述の磁気転写を行う際、転写用磁界印加手段の磁石とスレーブディスク及びマスターディスクとをディスクの中心軸の回りに相対的に回転させながら行う。このため、マスターディスクを直接保持する2枚のホルダ板の位置調整を行って、スレーブディスクの両側のマスターディスク同士の芯合わせを高精度に行う必要があるとともに、スレーブディスク及びマスターディスクの中心軸と磁石の相対的回転軸心とを高精度に合わせ込む必要がある。 By the way, when performing the above-mentioned magnetic transfer, it is performed while relatively rotating the magnet of the transfer magnetic field applying means, the slave disk, and the master disk around the central axis of the disk. For this reason, it is necessary to adjust the positions of the two holder plates that directly hold the master disk so that the master disks on both sides of the slave disk are aligned with each other with high accuracy. And the relative rotational axis of the magnet must be aligned with high accuracy.
このホルダ板の位置調整は、位置決めマークを顕微鏡やCCDで観察する等の方式や位置決め部材による機械的な方式が用いられ、磁気転写装置の外部でいわゆる外段取りで行われる。 The position adjustment of the holder plate is performed by so-called external setup outside the magnetic transfer apparatus using a system such as observing the positioning mark with a microscope or CCD or a mechanical system using a positioning member.
この場合、高精度に位置調整されたホルダ板を取り付け部材に固定するときに、従来のようにネジで固定するとホルダ板は高精度に位置調整されたそのままの位置で固定されず、ネジの回転力によって僅かに移動してしまうという問題があった。 In this case, when fixing the holder plate adjusted with high accuracy to the mounting member, if it is fixed with screws as in the past, the holder plate will not be fixed at the position adjusted with high accuracy, and the rotation of the screw There was a problem that it moved slightly by force.
また、ホルダ板に保持したマスターディスクは、所定回数の磁気転写後に表面に付着した塵埃を除去するためにクリーニング処理を施す場合があり、この場合に、ホルダ板からマスターディスクを取り外すと取り付けるときの位置決めが煩雑となることから、このようなマスターディスクのクリーニング等の保全時には、マスターディスクをホルダ板ごとディスクホルダベースから取り出して行う。 Also, the master disk held on the holder plate may be subjected to a cleaning process to remove dust adhering to the surface after a predetermined number of magnetic transfers. In this case, when the master disk is removed from the holder plate, Since the positioning becomes complicated, the master disk is taken out from the disk holder base together with the holder plate during maintenance such as cleaning of the master disk.
このため、外段取りでの位置調整作業やクリーニング等の保全の後にマスターディスクをホルダ板ごとディスクホルダベースに取り付ける際に、容易に取り付け位置が再現できるようにすることが望まれていた。 For this reason, it has been desired that the mounting position can be easily reproduced when the master disk is mounted on the disk holder base together with the holder plate after maintenance such as position adjustment work or cleaning in the outer setup.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、磁気転写装置の転写ユニットにおいて、マスターディスクを保持するホルダ板を高精度に位置調整した後、調整位置を崩さずに、そのままの位置で固定することができ、またマスターディスクをホルダ板ごとディスクホルダベースから着脱する時に高精度な位置再現性を有した転写ユニットを提供し、ホルダ板の位置調整やマスターディスクの保守等を容易に行うことのできる磁気転写装置を提供するとともに、マスターディスクの情報信号が良好に磁気転写された磁気記録媒体を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances. In the transfer unit of the magnetic transfer apparatus, the position of the holder plate that holds the master disk is adjusted with high accuracy, and the adjusted position is not lost. Provides a transfer unit with high-precision position reproducibility when the master disk is attached to and detached from the disk holder base together with the holder plate, making it easy to adjust the position of the holder plate and maintain the master disk. It is an object of the present invention to provide a magnetic transfer apparatus that can perform the magnetic transfer, and to provide a magnetic recording medium on which an information signal of a master disk is magnetically transferred.
本発明は、前記目的を達成するために、被転写用ディスクと、被転写用ディスクの磁性層に対して情報を転写するためのパターン状の磁性層を備えたマスターディスクとを挟持し、転写用磁界を印加して前記被転写用ディスクの磁性層に前記マスターディスクの情報を磁気的に転写する磁気転写装置の前記被転写用ディスクとマスターディスクとを挟持する転写ユニットにおいて、ディスクを挟持するホルダ板とディスクホルダベースとを有する第1のディスクホルダと、第1のディスクホルダに対向配置され、ディスクを挟持するホルダ板とディスクホルダベースとを有する第2のディスクホルダとが設けられ、前記第1のディスクホルダと第2のディスクホルダとのうち少なくともいずれか一方には、前記ホルダ板を直接又は間接的に押圧する押圧部材と、前記ディスクホルダベースの前記押圧部材の作用軸心である押圧軸心を挟んだ一方側及び他方側に形成された位置規制部位とで、前記ホルダ板をディスクホルダベースに位置決め装着するホルダ板の装着位置再現機構部が設けられたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention sandwiches a transfer disk and a master disk having a patterned magnetic layer for transferring information to the magnetic layer of the transfer disk, A transfer unit that holds the transfer target disk and the master disk of a magnetic transfer apparatus that applies a magnetic field for magnetic transfer of information on the master disk to the magnetic layer of the transfer target disk holds the disk. A first disc holder having a holder plate and a disc holder base; and a second disc holder disposed opposite to the first disc holder and having a holder plate for sandwiching the disc and a disc holder base; At least one of the first disc holder and the second disc holder is pressed directly or indirectly on the holder plate. The holder plate is positioned and mounted on the disc holder base with the pressing member that is to be moved and the position regulating portions formed on one side and the other side across the pressing axis that is the operating axis of the pressing member of the disc holder base. A mounting position reproducing mechanism for the holder plate is provided.
本発明によれば、押圧部材とディスクホルダベースに形成された位置規制部位とでホルダ板をディスクホルダベースに位置決め装着するので、ホルダ板の着脱の際に装着位置の再現性がよい。 According to the present invention, since the holder plate is positioned and mounted on the disc holder base by the pressing member and the position restricting portion formed on the disc holder base, the mounting position is reproducible when the holder plate is attached or detached.
また本発明は、前記発明において、前記位置規制部位は、前記押圧軸心を挟んだ両側に1個づつ形成された2個の位置規制部位で構成されるか、又は前記押圧軸心を挟んだ一方側に少なくとも2個他方側に少なくとも1個形成された少なくとも3個の位置規制部位から構成されることを特徴とする。 Also, in the present invention according to the invention described above, the position restricting portion is composed of two position restricting portions formed one on each side of the pressing axis, or sandwiching the pressing axis. It is characterized by comprising at least three position restricting portions formed at least two on one side and at least one on the other side.
また本発明は、前記発明において、前記装着位置再現機構部の前記ホルダ板に挟持されるマスターディスクと平行な面への投影図において、前記位置規制部位によって形成される前記押圧軸心を挟んだ一方側の位置規制線と前記押圧軸心を挟んだ他方側の位置規制線とが、前記押圧軸心に対して略線対称に配置されていることを特徴とする。 Further, the present invention is the above invention, wherein the pressing axis formed by the position regulating portion is sandwiched in a projection view on a surface parallel to the master disk held by the holder plate of the mounting position reproduction mechanism unit. The position restriction line on one side and the position restriction line on the other side across the pressing axis are arranged substantially symmetrically with respect to the pressing axis.
また本発明は、前記発明において、前記装着位置再現機構部の前記ホルダ板に挟持されるマスターディスクと平行な面への投影図において、前記位置規制部位によって形成される前記押圧軸心を挟んだ一方側の位置規制線と前記押圧軸心を挟んだ他方側の位置規制線とのなす角度が60度乃至120度であることを特徴とする。 Further, the present invention is the above invention, wherein the pressing axis formed by the position regulating portion is sandwiched in a projection view on a surface parallel to the master disk held by the holder plate of the mounting position reproduction mechanism unit. The angle between the position restriction line on one side and the position restriction line on the other side across the pressing axis is 60 degrees to 120 degrees.
また本発明は、前記発明において、前記装着位置再現機構部の前記ホルダ板に挟持されるマスターディスクと平行な面への投影図において、前記位置規制部位によって形成される前記押圧軸心を挟んだ少なくとも一方側の位置規制線の有効規制長さが前記被転写用ディスクの外径の1倍乃至15倍であることを特徴とする。 Further, the present invention is the above invention, wherein the pressing axis formed by the position regulating portion is sandwiched in a projection view on a surface parallel to the master disk held by the holder plate of the mounting position reproduction mechanism unit. The effective restriction length of the position restriction line on at least one side is 1 to 15 times the outer diameter of the disk to be transferred.
また本発明は、前記発明において、前記装着位置再現機構部の前記ホルダ板に挟持されるマスターディスクと平行な面への投影図において、前記位置規制部位によって形成される前記押圧軸心を挟んだ一方側の位置規制線と直交し前記ホルダ板に挟持された被転写用ディスクの中心点を含む線分が、該位置規制線の有効規制長さ部分で該位置規制線と交差することを特徴とする。 Further, the present invention is the above invention, wherein the pressing axis formed by the position regulating portion is sandwiched in a projection view on a surface parallel to the master disk held by the holder plate of the mounting position reproduction mechanism unit. A line segment that is perpendicular to the position restriction line on one side and includes the center point of the transfer target disc sandwiched between the holder plates intersects the position restriction line at an effective restriction length portion of the position restriction line. And
これらの本発明によれば、ディスクを挟持するホルダ板をディスクホルダベースに着脱する際に、装着位置の再現性が優れている。 According to these aspects of the present invention, when the holder plate that holds the disc is attached to and detached from the disc holder base, the reproducibility of the mounting position is excellent.
また本発明は、被転写用ディスクと、被転写用ディスクの磁性層に対して情報を転写するためのパターン状の磁性層を備えたマスターディスクとを挟持し、転写用磁界を印加して前記被転写用ディスクの磁性層に前記マスターディスクの情報を磁気的に転写する磁気転写装置の前記被転写用ディスクとマスターディスクとを挟持する転写ユニットにおいて、ディスクを挟持するホルダ板を有する第1のディスクホルダと、第1のディスクホルダに対向配置され、ディスクを挟持するホルダ板を有する第2のディスクホルダとが設けられ、前記ホルダ板の取り付け部材への固定は、挟み込み方向以外への動きが規制された固定部材と前記取り付け部材とで挟持することによって行われることを特徴とする。 The present invention also sandwiches a transfer disk and a master disk having a patterned magnetic layer for transferring information to the magnetic layer of the transfer disk, and applies a transfer magnetic field to In a transfer unit for sandwiching the master disk and the master disk, a first transfer unit having a holder plate for sandwiching the disk in the magnetic transfer device for magnetically transferring the master disk information to the magnetic layer of the master disk. A disk holder and a second disk holder having a holder plate arranged to face the first disk holder and sandwiching the disk are provided, and the fixing of the holder plate to the mounting member is performed in a direction other than the sandwiching direction. It is performed by clamping between a restricted fixing member and the mounting member.
本発明によれば、ホルダ板の取り付け部材への固定は、挟み込み方向以外への動きが規制された固定部材によって取り付け部材に挟み込むので、位置調整されたホルダ板の位置を崩さずに、そのままの位置で取り付け部材に固定することができる。 According to the present invention, the fixing of the holder plate to the mounting member is sandwiched in the mounting member by the fixing member whose movement in the direction other than the sandwiching direction is restricted. It can be fixed to the mounting member in position.
また本発明は、前記発明において、前記固定部材は前記ホルダ板の外周部に対して複数設け、外周部の複数部分で前記ホルダ板を挟持することができる。あるいは前記固定部材を1個の部材で構成し、前記ホルダ板の外周部全周を挟持することができる。 In the present invention, the fixing member may be provided in a plurality with respect to the outer peripheral portion of the holder plate, and the holder plate may be sandwiched by a plurality of portions of the outer peripheral portion. Or the said fixing member can be comprised by one member, and the outer peripheral part whole periphery of the said holder board can be clamped.
本発明に係る磁気転写装置は、前記いずれかに記載の転写ユニットを備えたことを特徴とする。本発明の磁気転写装置によれば、被転写用ディスクとマスターディスクとを挟持する転写ユニットがホルダ板をディスクホルダベースに位置決め装着するホルダ板の装着位置再現機構部を有しているので、ホルダ板の着脱の際に装着位置の再現性が優れている。また、ホルダ板の取り付け部材への固定は、挟み込み方向以外への動きが規制された固定部材と取り付け部材とで挟持することを特徴とするので、位置調整されたホルダ板の位置を崩さずに、そのままの位置で取り付け部材に固定することができる。そのため、本発明の磁気転写装置ではホルダ板の位置調整やマスターディスクの保守等を容易に行うことができる。 A magnetic transfer apparatus according to the present invention includes any one of the transfer units described above. According to the magnetic transfer apparatus of the present invention, the transfer unit that holds the transfer target disk and the master disk has the holder plate mounting position reproduction mechanism that positions and mounts the holder plate on the disk holder base. The reproducibility of the mounting position is excellent when attaching and detaching the plate. In addition, the holder plate is fixed to the mounting member by holding it between the fixing member and the mounting member whose movement in the direction other than the sandwiching direction is restricted, so that the position of the position-adjusted holder plate is not destroyed. It can be fixed to the mounting member at the same position. Therefore, in the magnetic transfer apparatus of the present invention, the position adjustment of the holder plate and the maintenance of the master disk can be easily performed.
また、本発明の係る磁気記録媒体は、前記の磁気転写装置によってマスターディスクの情報が磁気転写された被転写用ディスクからなることを特徴とする。本発明の磁気記録媒体は前述の磁気転写装置によってマスターディスクの情報が磁気転写されているので、マスターディスクの情報信号が良好に磁気転写された磁気記録媒体である。 A magnetic recording medium according to the present invention is characterized by comprising a transfer target disk on which information on a master disk is magnetically transferred by the magnetic transfer device. The magnetic recording medium of the present invention is a magnetic recording medium in which the information on the master disk is magnetically transferred because the information on the master disk is magnetically transferred by the magnetic transfer device described above.
以上説明したように本発明に係る被転写用ディスクを2枚のマスターディスクで密着挟持する磁気転写装置の転写ユニットによれば、マスターディスクを保持するホルダ板を押圧部材とディスクホルダベースに形成された位置規制部位とでディスクホルダベースに位置決め装着するので、ホルダ板の着脱の際に装着位置の再現性が優れている。 As described above, according to the transfer unit of the magnetic transfer apparatus that closely contacts and holds the transfer target disk according to the present invention between the two master disks, the holder plate for holding the master disk is formed on the pressing member and the disk holder base. Therefore, the mounting position is reproducible when the holder plate is attached / detached.
以下添付図面に従って、本発明に係る磁気転写装置の転写ユニットの好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。 The preferred embodiments of the transfer unit of the magnetic transfer apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. In each figure, the same number or symbol is attached to the same member.
図1は、磁気転写装置の概念を表わす斜視図である。磁気転写装置1は、図1には記載していない被転写用ディスクであるスレーブディスクを、2枚のマスターディスクで密着挟持する第1のディスクホルダ11と第2のディスクホルダ12とを有する転写ユニット10、第1のディスクホルダ11と第2のディスクホルダ12の上面及び下面に配置された磁石31を有する転写用磁界印加手段30、第1のディスクホルダ11と第2のディスクホルダ12又は磁石31、31を図の矢印A方向に相対的に回転させる図示しない回転手段、及びスレーブディスクとマスターディスクとを転写ユニット10に搬入、搬出する図示しない搬送手段等で構成されている。
FIG. 1 is a perspective view showing the concept of a magnetic transfer apparatus. The magnetic transfer device 1 includes a
図2は、磁気転写装置1の実施の形態を表わす側面図である。磁気転写装置1のベース10a上には転写ユニット10が設けられ、転写用磁界印加手段30、30は図のX方向の水平移動と図のθ方向の回転運動を行う駆動手段32、32で磁石31、31を保持している。
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of the magnetic transfer apparatus 1. The
図3は、転写ユニット10の構成を説明するための側面図である。転写ユニット10は、第1のディスクホルダ11、第2のディスクホルダ12、第1のディスクホルダ11の姿勢調整を行うチルチング調整手段23、及び第2のディスクホルダ12を第1のディスクホルダ11に対して接近又は離間させる移動手段40等から構成されている。
FIG. 3 is a side view for explaining the configuration of the
図3に示すように、転写ユニット10のユニットベース29には取り付け板27が固定され、取り付け板27にはチルチング調整手段23を構成するチルチングベース24が取り付けられている。チルチングベース24には第1のディスクホルダ11が図3のY方向(紙面に垂直方向)及びZ方向の傾斜調整が可能に取り付けられている。
As shown in FIG. 3, a mounting
チルチング調整手段23は、チルチングベース24、4個の先端が球形の微調ネジ(調整ボルト)25、25、…と4個のクランプネジ26、26、…とからなる調整部材とで構成されている。微調ネジ25は押しネジでクランプネジ26は引きネジとして作用する。
The tilting adjusting means 23 is composed of a tilting
また、第1のディスクホルダ11は、スレーブディスクとマスターディスクとを保持するホルダ板13、ホルダ板13を複数のL字状コマ(固定部材)17、17、…を介して固定保持する中間板(取り付け部材)16、中間板16を位置決め固定するディスクホルダベース18等で構成されている。
The
ディスクホルダベース18は、一方の面に凹部18aを有しており、ホルダ板13を固定保持した中間板16を凹部18aに挿入し、押圧部材である押しネジ19で中間板16の上部側面を押圧することにより中間板16の他の側面2面がディスクホルダベース18の凹部18aの壁面に形成された位置規制部位に当接し、中間板16が位置決めされるようになっている。この構成がホルダ板13の装着位置再現機構部であり、詳細は後述する。このため、押しネジ19を緩め、ホルダ板13を中間板16ごとディスクホルダベース18から取りはずしても又再現性良く位置決めが可能である。
The
このために、ホルダ板13でスレーブディスクとマスターディスクとを保持した時のスレーブディスクとマスターディスクの中心線CLを所定位置にあわせこむ調整を磁気転写装置1の外部で行うことができる。
For this reason, it is possible to adjust the center line CL of the slave disk and the master disk when holding the slave disk and the master disk by the
取り付け板27、チルチングベース24、ディスクホルダベース18、及び中間板16の夫々中央部には図の点線で示す貫通孔が形成されており、転写用磁界印加手段30の磁石31が中心線CLを中心に回転可能に挿入されるようになっている。
A through-hole indicated by a dotted line in the figure is formed in the center of each of the mounting
また、転写ユニット10のユニットベース29にはリニアガイド42が設けられ、テーブル41を図3のX方向に案内し、テーブル41はモータ44で駆動されるボールネジ43によって図のX方向に移動されるようになっている。このリニアガイド42、テーブル41、ボールネジ43、及びモータ44等で移動手段40を構成している。
Further, a
移動手段40のテーブル41には取り付け板28が固定されており、取り付け板28には第2のディスクホルダ12が取り付けられている。第2のディスクホルダ12は、マスターディスクを保持するホルダ板20、ホルダ板20を複数のL字状コマ(固定部材)17、17、…を介して固定保持する中間板(取り付け部材)21、中間板21を位置決め固定するディスクホルダベース22等で構成されている。
An
ディスクホルダベース22は、一方の面に凹部22aを有しており、ホルダ板20を固定保持した中間板21を凹部22aに挿入し、押しネジ(押圧部材)19で中間板21の上部側面を押圧することにより中間板21の他の側面2面がディスクホルダベース22の凹部22aの壁面に形成された位置規制部位に当接し、中間板21が位置決めされるようになっている。この構成がホルダ板20の装着位置再現機構部であり、詳細は後述する。このため、押しネジ19を緩め、ホルダ板20を中間板21ごとディスクホルダベース22から取りはずしても又再現性良く位置決めが可能である。
The
このために、ホルダ板20でマスターディスクを保持した時のマスターディスクの中心線CLを第1のディスクホルダ11のホルダ板13でスレーブディスクとマスターディスクとを保持した時のスレーブディスクとマスターディスクの中心線CLとに一致させるようにあわせこむ調整を磁気転写装置1の外部で行うことができる。
For this purpose, the center line CL of the master disk when the master disk is held by the
また、取り付け板28、ディスクホルダベース22、及び中間板21の夫々中央部には図の点線で示す貫通孔が形成されており、他方側の転写用磁界印加手段30の磁石31が中心線CLを中心に回転可能に挿入されるようになっている。
In addition, a through-hole indicated by a dotted line in the drawing is formed in the center of each of the mounting
第2のディスクホルダ12は前述のように、移動手段40によって図のX方向に接近又は離間されるようになっているので、第2のディスクホルダ12を第1のディスクホルダ11に向けて接近させることにより、磁気転写されるスレーブディスクは第1のディスクホルダ11及び第2のディスクホルダ12に保持されたマスターディスクに両側から密着保持されるようになっている。
As described above, the
図4は、第1のディスクホルダ11のホルダ板13、及び第2のディスクホルダ12のホルダ板20を表わす断面図である。第1のディスクホルダ11のホルダ板13は、円板状で周縁部に薄肉部が形成されており、この薄肉部で複数のL字状コマ17、17、…を介して中間板16に固定保持されるようになっている。
FIG. 4 is a sectional view showing the
また、ホルダ板13の内部は大きな凹部になっており、凹部の底面がディスク受け面13bになっている。また、凹部の中心部には段付凸部13aが形成され、段付凸部13aの根元側外周でマスターディスク92の中心孔と嵌合してマスターディスク92を位置決めし、段付凸部13aの先端側外周でスレーブディスク91の中心孔と嵌合し、スレーブディスク91を位置決めする。
The inside of the
ホルダ板13の凹部の底面であるディスク受け面13bには緩衝材15が取り付けられている。また、ホルダ板13の凹部と薄肉部との間の厚肉部には溝13cが形成され、溝13cにはОーリングからなるシール材14が設けられている。
A cushioning
ホルダ板13の凹部の底面、段付凸部13aの中心部、及び段付凸部13aの段付部には図4の2点鎖線で示す真空吸引路13dが形成され、凹部底面の吸引路でマスターディスク92を吸引し、段付凸部13aの段付部の吸引路でスレーブディスク91を吸引し、他の吸引部で全体を吸引する。
A
なお、段付凸部13aの外周面には、必要に応じDLC(diamond like carbon)膜等の硬質保護膜を被覆し、ディスクとの摩擦に伴う塵埃の発生を低減するようにしてもよい。また、前述の説明では段付凸部13aがホルダ板13と一体で形成されているが、段付凸部13aを別部品で形成し、ホルダ板13の中央に取り付けてもよい。
Note that a hard protective film such as a DLC (diamond like carbon) film may be coated on the outer peripheral surface of the stepped
第2のディスクホルダ12のホルダ板20も円板状で周縁部に薄肉部が形成されており、この薄肉部で複数のL字状コマ17、17、…を介して中間板21に固定保持されるようになっている。
The
また、ホルダ板20の内部も大きな凹部になっており、凹部の底面がディスク受け面20aになっている。また、ディスク受け面20aには緩衝材15が取り付けられている。ホルダ板20の凹部の底面には図4の2点鎖線で示す真空吸引路20bが形成され、マスターディスク93を吸引する。
The inside of the
図4に示すようにホルダ板13でマスターディスク92とスレーブディスク91を保持し、ホルダ板20でマスターディスク93を保持した状態でホルダ板20をホルダ板13に向けて近接させ、マスターディスク92とマスターディスク93とでスレーブディスク91を挟み込んだときに、ホルダ板20の凹部と薄肉部との間の厚肉部がホルダ板13のO−リング14に僅かに当接するように、ホルダ板13及びホルダ板20の凹部の深さが決定されている。
As shown in FIG. 4, the
ホルダ板20をホルダ板13に向けて近接させ、マスターディスク92とマスターディスク93とでスレーブディスク91を挟み込むと、ホルダ板13の凹部とホルダ板20の凹部とで形成される空間はシール材としてのO−リング14で密閉されるので、この状態で真空吸引路13d及び20bから内部のエアを吸引することによりマスターディスク92とスレーブディスク91、及びスレーブディスク91とマスターディスク93との隙間がなくなり、スレーブディスク91はマスターディスク92とマスターディスク93とで密着挟持される。
When the
図5、及び図6は、第1のディスクホルダ11のホルダ板13の固定部分及びホルダ板13の装着位置再現機構部の詳細を表わしたもので、図5は平面図、図6は図5におけるM−Q−N断面図である。
5 and 6 show details of the fixed portion of the
スレーブディスク91とマスターディスク92とを保持したホルダ板13は、位置調整がされた後取り付け部材である中間板16に固定される。この固定は図5、及び図6に示すように、ホルダ板13の外周部の4箇所を固定部材であるL字状コマ17、17、…で挟み込むことによって行われる。
The
L字状コマ17は、図6に示すように、L字の基部が中間板16に形成された角穴に嵌合して角穴の深さ方向にのみ移動可能で、それ以外の方向への移動や回転が規制されている。また、L字状コマ17の基部端面には雌ねじが形成されている。更に、L字状コマ17の他端側のホルダ板13と接触する部位には鋼球17aが頭を出して埋め込まれ、微小突出部を形成している。
As shown in FIG. 6, the L-shaped
この4個のL字状コマ17、17、…を中間板16の裏面側からボルト17bで少量づつ締め付けることによってL字状コマ17の鋼球17aと中間板16とでホルダ板13の外周部4箇所を挟み込んで固定する。なお、L字状コマ17は4個に限らず、適宜の複数個とすることができる。
The four L-shaped
ホルダ板13を単にネジで固定する方法では、ネジの回転力によってホルダ板13が僅かにずれる可能性があり、精密位置調整後の部材を固定するには適さないが、本実施の形態ではL字状コマ17を用いて中間板16に挟み込んで固定するので、固定時の位置ズレが生じない。
The method of simply fixing the
ホルダ板13の装着位置再現機構部60は、図5、及び図6に示すように、ディスクホルダベース18、ディスクホルダベース18に略45°傾けて形成された概略四角形の凹部18a、凹部18aの頂角部に設けられた押圧部材である押しネジ19、押しネジ19の作用軸心である押圧軸心OLを挟んで凹部18aの右下壁部に形成された2個の位置規制部位18b、18bと、押圧軸心OLを挟んで凹部18aの左下壁部にに形成された2個の位置規制部位18b、18bとの4個の位置規制部位18b、18b、…とで構成されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the mounting
押しネジ19の先端は球状に形成されており、4個のL字状コマ17を用いてホルダ板13を挟持した中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに挿入し、押しネジ19をねじ込むと、中間板16は押圧軸心OLに沿って押圧され、4個の位置規制部位18b、18b、…に当接して位置決めされる。
The tip of the
図5の平面図において、凹部18aの押圧軸心OLの右下壁部の位置規制部位18b、18bの位置規制面を結ぶ位置規制線L1の有効規制長さDは、ホルダ板13に保持されるスレーブディスク91の外周直径の1倍〜15倍になるように位置規制部位18b、18bが形成されている。有効規制長さDがスレーブディスク91の外周直径の1倍より小さいと位置決めの再現性が悪化する。また、有効規制長さDがスレーブディスク91の外周直径の15倍より大きいと必要以上に装置が大型化する。
In the plan view of FIG. 5, the effective restriction length D of the position restriction line L1 connecting the position restriction surfaces 18b, 18b of the lower right wall portion of the pressing axis OL of the
また、図5に示すように、押圧軸心OLの右下壁部の2個の位置規制部位18bを結ぶ位置規制線L1(その延長線も含む)と、押圧軸心OLの左下壁部の位置規制部位18bを結ぶ位置規制線L2(その延長線も含む)とは、押圧軸心OLに対して線対称になるように構成されている。このため、押しネジ19による押圧力を中間板16の左右の下側側面に均等に伝えることができる。
Further, as shown in FIG. 5, a position regulation line L1 (including its extension line) connecting the two
また、位置規制線L1の延長線と位置規制線L2の延長線との交差角αは、60°〜120°に設定されている。交差角αが60°より小さいと装着位置再現機構部60が必要以上に大型化し、交差角αが120°より大きいと装着位置の再現性が悪化する。
Further, the intersection angle α between the extension line of the position restriction line L1 and the extension line of the position restriction line L2 is set to 60 ° to 120 °. When the crossing angle α is smaller than 60 °, the mounting
更に、図5において、ホルダ板13に保持されたスレーブディスク91の中心Qを含み位置規制線L1と直交する線分VLが位置規制線L1と交わる点Uは、位置規制線L1の有効規制長さD部分に存在するように位置規制部位18b、18bが形成されている。このため、装着位置再現機構部60の必要以上の大型化を抑えながら、良好な装着位置の再現性が図られる。
Further, in FIG. 5, the point U where the line segment VL including the center Q of the
第1のディスクホルダ11のホルダ板13の固定部分及びホルダ板13の装着位置再現機構部60は前述のように構成されているので、ホルダ板13の位置調整を装置外の外段取りで行って中間板16に固定し、この中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに再現性良く装着することができる。また、マスターディスク92のクリーニング等の保守の場合も外段取りで行うことができる。ホルダ板13の位置調整は数μmの精度で行う必要があるため、中間板16のディスクホルダベース18への装着位置再現性は特に重要である。
Since the fixed portion of the
以上、図5、及び図6にて第1のディスクホルダ11のホルダ板13の固定部分及びホルダ板13の装着位置再現機構部60の詳細について説明したが、第2のディスクホルダ12についても同様な構成となっているので、重複を避けるため説明は省略する。
The details of the fixed portion of the
なお、ホルダ板13の中間板16への固定を4個のL字状コマ17、17、…を用いて中間板16に挟み込む構造としたが、4個のL字状コマ17、17、…に替えて図7に示すようなL字状断面を有する1個のリング17Aを用い、ホルダ板13の外周部全周を挟み込む構造とすることもできる。
Although the
この場合、中間板16にはL字状コマ17のL字の基部と嵌合する角穴の代りに、リング17Aの基部と嵌合する環状溝を形成し、リング17Aの不必要な方向への動きを規制する。また、リング17Aのホルダ板13と接触する部位に環状突出部17cを形成することにより、安定した挟み込みが可能になり好適である。
In this case, instead of the square hole that fits the L-shaped base portion of the L-shaped
また、中間板16の装着位置再現機構部60では、押圧軸心OLの両側に夫々2個の位置規制部位18b、18bを設けたが、位置規制部位18bはこれに限らず、押圧軸心OLの両側に夫々2個以上の適宜な複数個設けてもよく、あるいは押圧軸心OLの一方側に2個他方側に1個設けてもよい。
In addition, in the mounting
更に、押圧軸心OLの両側に夫々1個の位置規制部位18bを設けるだけでもよい。この場合少なくとも一方側の位置規制部位18bは有効規制長さDを十分確保したものである必要がある。
Further, only one
以上説明した転写ユニット10を構成する部材のうち、安定した転写磁界を印加するために、少なくとも第1のディスクホルダ11、第2のディスクホルダ12、第1のディスクホルダ11の姿勢調整を行うチルチング調整手段23、及び取り付け板27、28の材質は、例えばSUS304等の非磁性材料が用いられる。
Of the members constituting the
次に、磁気転写装置1の転写ユニット10の作用について以下に説明する。最初に、第1のディスクホルダ11のホルダ板13のディスク受け面13bが第2のディスクホルダ12のホルダ板20のディスク受け面20aに対して平行になるように、第1のディスクホルダ11の姿勢を調整する。この調整はチルチング調整手段23にて行う。即ち、チルチング調整手段23に設けられた複数の微調ネジ25又はクランプネジ26のうち少なくとも3個を用いて行う。
Next, the operation of the
次に、中間板16の外形を基準として、ホルダ板13でスレーブディスク91とマスターディスク92とを保持した時のスレーブディスク91とマスターディスク92の中心線CLが所定位置になるようにホルダ板13の位置を調整し、次いでホルダ板13を中間板16に固定する。
Next, using the outer shape of the
この時、L字状コマ17、17、…を介してネジで固定する。なお、L字状コマ17、17、…は挟み込み方向以外の方向への移動や回転が規制されているので、正確に位置調整されたホルダ板13が固定時にずれることがない。
At this time, it is fixed with screws through the L-shaped
なお、このホルダ板13の位置調整は、磁気転写装置1の外部でいわゆる外段取りで行う。次いで中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに挿入し、押しネジ19で中間板16を押圧する。
The position adjustment of the
これにより、中間板16はディスクホルダベース18の凹部18aに形成された4個の位置規制部位18b、18b、…によって再現性よく位置決めされる。
As a result, the
第2のディスクホルダ12のホルダ板20も同様にして、ホルダ板20でマスターディスク93を保持した時のマスターディスク93の中心線CLが所定位置になるように調整し、ホルダ板20を中間板21に固定する。この時も、L字状コマ17、17、…を介してネジで固定する。この調整も、外段取りで行う。次いで第1のディスクホルダ11同様に中間板21をディスクホルダベース22の凹部22aに挿入し、押しネジ19で中間板21を押圧して位置決めする。
Similarly, the
以上のディスクホルダ11のチルチング調整、及びホルダ板13、20の位置調整によって、ディスクホルダ11の前述した中心線CLとディスクホルダ12の前述した中心線CLとが同一直線上で一致する。
By the tilting adjustment of the
次に、ディスクホルダ11のホルダ板13にマスターディスク92及びスレーブディスク91を挿入し、真空吸引路13dで真空吸引して保持する。また、ディスクホルダ12のホルダ板20にマスターディスク93を挿入し、真空吸引路20bで真空吸引保持する。次いで移動手段40を作動させ、ディスクホルダ12をディスクホルダ11に向けて接近させ、ホルダ板13に保持されたスレーブディスク91にホルダ板20に保持されたマスターディスク93を押付ける。
Next, the
この押付けにより、緩衝材15、15に反発力が生じるとともに、ホルダ板13の凹部とホルダ板20の凹部とで形成される空間はシール材としてのO−リング14で密閉されているので、真空吸引路13d、20bからの吸引によりマスターディスク92とスレーブディスク91との接触面、及びスレーブディスク91とマスターディスク93との接触面が互いに吸引され、スレーブディスク91がマスターディスク92とマスターディスク93とによって確実に密着挟持される。
By this pressing, a repulsive force is generated in the
このように、スレーブディスク91がマスターディスク92とマスターディスク93によって確実に密着挟持されるので、転写用磁界印加手段30、30から転写磁界を印加し、マスターディスク92及びマスターディスク93の磁気情報をスレーブディスク91に転写する際に、信号抜けや信号変形等の転写不良が発生することがなく、良質の磁気記録媒体が得られる。
Thus, since the
次に、本発明に係る磁気転写装置の転写ユニットに設けられた装着位置再現機構部60の実施の形態の変形例について説明する。
Next, a modified example of the embodiment of the mounting position
図8、及び図9は、第1のディスクホルダ11のホルダ板13の固定部分及びホルダ板13の装着位置再現機構部60の変形例を表わしたもので、図8は平面図、図9は図8におけるM−Q−N断面図である。
8 and 9 show a modification of the fixed portion of the
この変形例におけるホルダ板13の装着位置再現機構部60は、図8、及び図9に示すように、ディスクホルダベース18、ディスクホルダベース18に略45°傾けて形成された概略四角形の凹部18a、凹部18aの頂角部に設けられた押圧部材である押しネジ19、押しネジ19の作用軸心である押圧軸心OLを挟んで凹部18aの右下壁部に頭を出して埋設された2個の鋼球18b、18bと押圧軸心OLを挟んで凹部18aの左下壁部に頭を出して埋設された1個の鋼球18bとからなる3個の位置規制部位とで構成されている。
As shown in FIGS. 8 and 9, the mounting
中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに挿入し、押しネジ19をねじ込むと、中間板16は押圧軸心OLに沿って押圧され、3個の位置規制部位である鋼球18b、18b、18bの位置規制点P1、P2、及びP3に当接して位置決めされる。
When the
凹部18aの押圧軸心OLの右下壁部の位置規制点P1とP2との距離で決定される有効規制長さDは、ホルダ板13に保持されるスレーブディスク91の外周直径の1倍〜15倍になるように鋼球18b、18bが埋設されている。有効規制長さDがスレーブディスク91の外周直径の1倍より小さいと位置決めの再現性が悪化する。また、有効規制長さDがスレーブディスク91の外周直径の15倍より大きいと必要以上に装置が大型化する。
The effective restriction length D determined by the distance between the position restriction points P1 and P2 of the lower right wall portion of the pressing axis OL of the
また、図8に示すように、位置規制点P1と位置規制点P2とを結ぶ直線(その延長線も含む)からなる位置規制線LIと、位置規制線L1と押圧軸心OLとの交点Rと位置規制点P3とを結ぶ位置規制線(その延長線も含む)L2とは、押圧軸心OLに対して線対称になるように構成されている。このため、押しネジ19による押圧力を中間板16の左右の下側側面に均等に伝えることができる。
Further, as shown in FIG. 8, a position restriction line LI composed of a straight line (including an extension line) connecting the position restriction point P1 and the position restriction point P2, and an intersection R between the position restriction line L1 and the pressing axis OL. A position restriction line (including an extension line) L2 that connects the position restriction point P3 and the position restriction point P3 is configured to be line-symmetric with respect to the pressing axis OL. For this reason, the pressing force by the
また、位置規制線L1と位置規制線L2との交差角αは、60°〜120°に設定されている。交差角αが60°より小さいと装着位置再現機構部60が必要以上に大型化し、交差角αが120°より大きいと装着位置の再現性が悪化する。
Further, the crossing angle α between the position regulation line L1 and the position regulation line L2 is set to 60 ° to 120 °. When the crossing angle α is smaller than 60 °, the mounting
更に、位置規制点P1、位置規制点P2、及びホルダ板13に保持されたスレーブディスク91の中心Qとを結んで形成される三角形の角Q- P1- P2及び角Q- P2- P1は、どちらも鋭角になるように構成されている。このため、装着位置再現機構部60の必要以上の大型化を抑えながら、良好な装着位置の再現性が図られる。
Furthermore, triangular corners Q-P1-P2 and Q-P2-P1 formed by connecting the position regulating point P1, the position regulating point P2, and the center Q of the
また、中間板16の側面のうち、押しネジ19と接する面及び鋼球18b、18b、18bと接する面は、図9に示すように、底面から上面に向かって僅かな傾斜面になっている。このため、中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに装着し、押しネジ19を作用させて位置決めした時に、中間板16の底面がディスクホルダベース18の凹部18aの底面に押圧さるので、中間板16が浮き上がらず確実に位置決めされ、再現性も優れている。
Further, among the side surfaces of the
この変形例における装着位置再現機構部60はこのように構成されているため、ホルダ板13の位置調整を装置外の外段取りで行って中間板16に固定し、この中間板16をディスクホルダベース18の凹部18aに再現性良く装着することができる。また、マスターディスク92のクリーニング等の保守の場合も外段取りで行うことができる。
Since the mounting
なお、この変形例ににおける中間板16の装着位置再現機構部60では、3個の鋼球18b、18b、18bを用いた3個の位置規制部位としたが、位置規制部位は3個に限らず、3個以上の適宜な複数個とすることができる。
In addition, in the mounting position
また、中間板16の押しネジ19と接する面及び3個の鋼球18b、18b、18bと接する面を傾斜面にして、中間板16をディスクホルダベース18の凹部18a底部に押付ける構造としたが、傾斜面を形成せずに、挿入位置決め後に別途ネジ等でディスクホルダベース18に固定するようにしてもよい。
The
以上説明したように、本発明に係る磁気転写装置の転写ユニットによれば、ディスクホルダのマスターディスクを保持するホルダ板を中間板上に位置調整した後、固定部材で中間板に挟み込んで固定するので固定時に位置ズレが生じない。また、この中間板を押圧部材とディスクホルダベースに形成された位置規制部位とでディスクホルダベースに位置決め装着するので、ホルダ板を中間板ごと着脱する際に装着位置の再現性が優れている。 As described above, according to the transfer unit of the magnetic transfer apparatus according to the present invention, the position of the holder plate that holds the master disk of the disk holder is adjusted on the intermediate plate, and is then sandwiched and fixed by the fixing member. Therefore, there will be no misalignment when fixed. Further, since the intermediate plate is positioned and mounted on the disc holder base by the pressing member and the position restricting portion formed on the disc holder base, the reproducibility of the mounting position is excellent when the holder plate is attached and detached together with the intermediate plate.
なお、前述した実施の形態では、磁気転写装置1の構成について、スレーブディスク91及びマスターディスク92、93の軸心を水平方向に配置した構成で説明したが、水平方向に限らず、垂直方向、あるいは水平方向に対して所定角度傾斜した方向に配置した構成の磁気転写装置であっても、本発明の転写ユニット10はそのまま適用することができる。
In the above-described embodiment, the configuration of the magnetic transfer apparatus 1 has been described with the configuration in which the axes of the
1…磁気転写装置、10…転写ユニット、11…第1のディスクホルダ、12…第2のディスクホルダ、13…ホルダ板、16…中間板(取り付け部材)、17…L字状コマ(固定部材)、17A…リング(固定部材)、18…ディスクホルダベース、18b…位置規制部位(鋼球)、19…押しネジ(押圧部材)、23チルチング調整手段、40…移動手段、60…装着位置再現機構部、91…スレーブディスク(被転写用ディスク、磁気記録媒体)92・93…マスターディスク、D…有効規制長さ、L1・L2…位置規制線、OL…押圧軸心、P1・P2・P3…位置規制点、Q…スレーブディスク(被転写用ディスク)の中心、RC…回転軸心
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic transfer apparatus, 10 ... Transfer unit, 11 ... 1st disc holder, 12 ... 2nd disc holder, 13 ... Holder plate, 16 ... Intermediate plate (attachment member), 17 ... L-shaped piece (fixing member) ), 17A ... Ring (fixing member), 18 ... Disc holder base, 18b ... Position restricting part (steel ball), 19 ... Push screw (pressing member), 23 tilting adjusting means, 40 ... Moving means, 60 ... Reproduction of mounting
Claims (11)
ディスクを挟持するホルダ板とディスクホルダベースとを有する第1のディスクホルダと、
第1のディスクホルダに対向配置され、ディスクを挟持するホルダ板とディスクホルダベースとを有する第2のディスクホルダとが設けられ、
前記第1のディスクホルダと第2のディスクホルダとのうち少なくともいずれか一方には、前記ホルダ板を直接又は間接的に押圧する押圧部材と、前記ディスクホルダベースの前記押圧部材の作用軸心である押圧軸心を挟んだ一方側及び他方側に形成された位置規制部位とで、前記ホルダ板をディスクホルダベースに位置決め装着するホルダ板の装着位置再現機構部が設けられたことを特徴とする転写ユニット。 A transfer disk and a master disk having a patterned magnetic layer for transferring information to the magnetic layer of the transfer disk are sandwiched, and a transfer magnetic field is applied to In a transfer unit that sandwiches the disk to be transferred and the master disk of a magnetic transfer device that magnetically transfers information of the master disk to a magnetic layer,
A first disc holder having a holder plate for sandwiching the disc and a disc holder base;
A second disk holder disposed opposite to the first disk holder and having a holder plate for sandwiching the disk and a disk holder base;
At least one of the first disk holder and the second disk holder includes a pressing member that directly or indirectly presses the holder plate, and an action axis of the pressing member of the disk holder base. A holder plate mounting position reproducing mechanism for positioning and mounting the holder plate on the disc holder base is provided with a position regulating portion formed on one side and the other side across a certain pressing axis. Transcription unit.
ディスクを挟持するホルダ板を有する第1のディスクホルダと、
第1のディスクホルダに対向配置され、ディスクを挟持するホルダ板を有する第2のディスクホルダとが設けられ、
前記ホルダ板の取り付け部材への固定は、挟み込み方向以外への動きが規制された固定部材と前記取り付け部材とで挟持することによって行われることを特徴とする転写ユニット。 A transfer disk and a master disk having a patterned magnetic layer for transferring information to the magnetic layer of the transfer disk are sandwiched, and a transfer magnetic field is applied to In a transfer unit that sandwiches the disk to be transferred and the master disk of a magnetic transfer device that magnetically transfers information of the master disk to a magnetic layer,
A first disc holder having a holder plate for sandwiching the disc;
A second disk holder disposed opposite to the first disk holder and having a holder plate for sandwiching the disk;
The transfer unit according to claim 1, wherein the holder plate is fixed to the attachment member by being sandwiched between the attachment member and the attachment member in which movement in a direction other than the sandwiching direction is restricted.
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