JPH10269566A - Master information carrier and master information magnetic recording device recording information signal on magnetic recording medium using it - Google Patents

Master information carrier and master information magnetic recording device recording information signal on magnetic recording medium using it

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JPH10269566A
JPH10269566A JP7570397A JP7570397A JPH10269566A JP H10269566 A JPH10269566 A JP H10269566A JP 7570397 A JP7570397 A JP 7570397A JP 7570397 A JP7570397 A JP 7570397A JP H10269566 A JPH10269566 A JP H10269566A
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master information
information carrier
magnetic recording
recording medium
magnetic
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JP7570397A
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Tatsuro Ishida
Keizo Miyata
Hiroshi Riyounai
Ryuji Sugita
Kiyokazu Toma
宮田  敬三
龍二 杉田
清和 東間
達朗 石田
領内  博
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform high reliable pre-format recording by uniformly sticking a magnetic recording medium to a master information carrier when information is recorded statically on the recording medium by using the master information carrier having master information as a rugged shape pattern. SOLUTION: The master information carriers 31a, 31b are provided with plural through holes 39 in a zone without being formed with a rugged shape answering to an information signal. Air existing between the master information carriers 31a, 31b and the magnetic recording medium 32 is exhausted by exhausters 36a, 36b through these through holes 39, and the magnetic recording medium 32 is stuck to the master information carriers 31a, 31b. In such a state, permanent magnets 35a, 35b are rotated around exhaust ducts 38a, 38b, and by applying a DC energizing magnetic field, the ferromagnetic thin films of the projection part surfaces of the rugged shape patterns formed on the master information carriers 31a, 31b are magnetized, and the information signal answering to the rugged shape is recorded on a hard disk 32.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、大容量、高記録密度の磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体へ所定の情報信号を予め記録するために用いられるマスター情報担体と、これを用いて磁気記録媒体へ所定の情報信号を記録するためのマスター情報磁気記録装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is large, and the master information carrier to be used for pre-recording predetermined information signals on a magnetic recording medium used in a magnetic recording and reproducing apparatus having a high recording density, by using the the magnetic recording medium relating to master magnetic information recording apparatus for recording predetermined information signals.

【0002】 [0002]

【従来の技術】小型かつ大容量の磁気記録再生装置を実現するために、記録密度を高めることが益々求められている。 In order to realize a magnetic recording and reproducing apparatus of the Related Art Small and large capacity, it is required more and more to increase the recording density. 代表的な磁気記録再生装置であるハードディスクドライブにあっては、面記録密度が1Gbit/in 2 In the hard disk drive is a typical magnetic recording and reproducing apparatus, the areal recording density of 1 Gbit / in 2
(1.55Mbit/mm 2 )を超える装置がすでに商品化されており、数年後には面記録密度10Gbit/ (1.55Mbit / mm 2) than the equipment has already been commercialized, in a few years areal density 10Gbit /
in 2 (15.5Mbit/mm 2 )の装置の実用化が予測されるほど、急激な技術進歩が認められる。 more practical application of devices in 2 (15.5Mbit / mm 2) is predicted, is observed rapid technological progress.

【0003】このような高記録密度化を可能とした技術的背景として、媒体性能、ヘッド・ディスクインターフェース性能の向上、パーシャルレスポンス等の新規な信号処理方式の出現があり、これらによる線記録密度の向上が高記録密度化に大きく寄与してきた。 As such a high recording density capable and the technical background, media performance, improved head-disk interface performance, there is the appearance of new signal processing method such as a partial response, according to the linear recording density of these improved has contributed greatly to the high recording density. しかしながら近年では、トラック密度の増加傾向が線記録密度の増加傾向を大きく上回っている。 However, in recent years, increasing the track density is much higher than the increase of linear recording density. これには、従来の誘導型磁気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れている磁気抵抗素子型ヘッドの実用化が寄与している。 This includes practical use of the magneto-resistive element head read output performance compared to conventional induction type magnetic head is far better contributes. 現在、磁気抵抗素子型ヘッドを用いることにより、わずか数μm Currently, the use of the magneto-resistive element head, the number just μm
のトラック幅で記録された信号を良好なSN比で再生することができる。 A signal recorded in the track width can be reproduced with good SN ratio. ヘッド性能のさらなる向上に伴い、近い将来にはトラックピッチがサブミクロン領域に達するものと予想されている。 With the further improvement of the head performance, it is expected that a track pitch reaches the submicron region in the near future.

【0004】このような狭トラックをヘッドが正確に走査し、良好なSN比で信号を再生するためには、ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を担う。 [0004] head such narrow track is accurately scanned, in order to reproduce a signal with good SN ratio, the head tracking servo technology plays an important role. このようなトラッキングサーボ技術に関しては、例えば、日本応用磁気学会誌、Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996)、山口、「磁気ディスク装置の高精度サーボ技術」に詳細な内容が開示されている。 For such tracking servo techniques, for example, Journal of the Magnetics Society of Japan, Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996), Yamaguchi, details in the "high precision servo technology of the magnetic disk device" is disclosed It is. この文献によれば、現在のハードディスクドライブでは、ディスクの1周、すなわち36 According to this document, the current hard disk drive, one revolution of the disk, i.e., 36
0度の角度において、一定の角度間隔でトラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が記録された領域を設けている。 At 0 degree angle, the tracking servo signal at regular angular intervals, address information signal, reproduction clock signal, etc. are provided recorded area. このような情報信号を予め記録することを、プリフォーマット記録という。 To record such information signals previously referred to the pre-format recording. 磁気ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を確認し、必要に応じて修正しながら正確にトラック上を走査することができる。 Magnetic head, by reproducing these signals at regular intervals, to confirm the position of the head, it is possible to accurately scan the track while correcting as necessary.

【0005】上述のトラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号であるので、その記録に際して、ヘッド位置決め精度が高いことが要求される。 [0005] The above-described tracking servo signal, address information signal, since the reproduction clock signal, etc. is a reference signal for scanning the head exactly on the track, when the record is required to have high head positioning precision . 例えば、日本応用磁気学会第93回研究会資料、93 For example, the Magnetics Society of Japan 93rd Study Group documents, 93
-5, p. 35 (1996)、植松他、「メカ・サーボ、HDI技術の現状と展望」に記載された内容によれば、現在のハードディスクドライブでは、ディスクをドライブに組み込んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを厳密に位置制御しながらプリフォーマット記録を行っている。 -5, p. 35 (1996), Uematsu other, according to what is described in the "mechanical servo, and Future of HDI technology", in the current hard disk drive, after incorporating the disk drive, a dedicated It is performed preformat recording with strict position control of the magnetic head using a servo recording apparatus.

【0006】このようなサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等のプリフォーマット記録は、近年商品化された大容量フレキシブルディスクまたはディスクカートリッジが着脱可能なリムーバブルハードディスク用媒体についても同様に、専用のサーボ記録装置を用いて行われている。 [0006] Such servo signals, address information signals, preformat recording of such reproduced clock signal, the same applies to the recently commercialized high-capacity flexible disk or the disk cartridge is removable hard disk media removable, dedicated It is performed using the servo recording apparatus.

【0007】このような専用のサーボ記録装置を用いた磁気ヘッドによるプリフォーマット記録には、以下のような課題があった。 [0007] preformat recording by the magnetic head using a servo recording apparatus such a dedicated, has the following problems. 第1に、磁気ヘッドによる記録は基本的にヘッドと媒体との相対移動による線記録であるため、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行う上記の方法では、プリフォーマット記録に多くの時間を要する。 First, since the recording by the magnetic head is a linear recording by relative movement of the basic head and the medium, in the above method for recording while strictly position control of the magnetic head using a special-purpose servo recording system , it takes a lot of time in pre-format recording. さらに、専用のサーボ記録装置がかなり高価である。 Furthermore, a dedicated servo recording apparatus is rather expensive. 従って、プリフォーマット記録に要するコストが高くなる。 Thus, the higher the cost of the preformat recording.

【0008】この課題は、磁気記録装置のトラック密度が向上するほど深刻になる。 [0008] This problem becomes serious enough to increase the track density of a magnetic recording apparatus. ディスク径方向のトラック数が増加することに加えて、以下の理由によってもプリフォーマット記録に要する時間が長くなる。 In addition to the number of tracks the disk radial direction is increased, the time required for the preformat recording is longer for the following reasons. つまり、トラック密度が向上するほどヘッドの位置決めに高精度が要求されるため、ディスクの1周においてトラッキング用サーボ信号等の情報信号を記録するサーボ領域を設ける角度間隔を小さくしなければならない。 That is, since the track density high accuracy is required for positioning the head enough to improve, it is necessary to reduce the angular spacing of providing a servo area for recording information signals such as tracking servo signals in one rotation of the disk. このため高記録密度の装置ほどディスクにプリフォーマット記録すべき信号量が多くなり、多くの時間を要することになる。 Accordingly disk becomes large signal quantity to be preformat recording more apparatus of a high recording density, it takes a lot of time.

【0009】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向にあるものの、依然として3.5インチや5インチの大径ディスクに対する需要も多い。 Further, the magnetic disk media although there is a tendency of smaller diameter, still demand often for large-diameter disk 3.5 inch or five inch. ディスクの記録面積が大きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くなる。 It becomes large as the preformat signal quantity to be recorded recording a larger area of ​​the disc. このような大径ディスクのコストパフォーマンスに関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく影響している。 Even for such a large-diameter disk cost performance, the time required for the pre-format recording has been greatly affected.

【0010】従来のプリフォーマット記録における第2 [0010] the second in a conventional pre-format recording
の課題は、ヘッド・媒体間のスペーシング、および、記録ヘッドの先端ポール形状に起因して記録磁界が広がるため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠けるという点である。 Challenge, the spacing between the head media, and, since the recording magnetic field due to the tip pole shape of the recording head is widened, is that the magnetization transition of the track edge which is pre-formatted recording lacks steepness .

【0011】磁気ヘッドによる記録は、基本的にヘッドと媒体との相対移動による動的線記録であるため、ヘッド・媒体間のインターフェース性能の観点から、一定量のヘッド・媒体間スペーシングを設けざるを得ない。 [0011] recording by the magnetic head, essentially because it is the dynamic line recording by a relative movement between the head and the medium, in terms of the interface performance between the head-medium, provided the spacing between certain amount of head medium inevitably. また、現在の磁気ヘッドは通常、記録と再生を別々に担う2つのエレメントを有する構造上、記録ギャップの前縁側ポール幅が記録トラック幅に相当し、後縁側ポール幅は記録トラック幅の数倍以上に大きくなっている。 Moreover, usually the current magnetic head, structurally, several times the front edge side pole width corresponds to a recording track width, trailing pole width recording track width of the recording gap having two elements responsible for recording and playback separately It is larger than.

【0012】上記の2点は、いずれも、記録トラック端部における記録磁界の広がりを生じる要因となり、結果的にプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠ける、あるいはトラック端両側に消去領域を生じるという結果を生ずる。 [0012] 2 points above are both be a factor causing the spread of the recording magnetic field in the recording track edges, resulting in the magnetic transition of the pre-format recording track end lacks sharpness, or track edge on both sides It produces a result that caused the erased area to. 現在のトラッキングサーボ技術では、ヘッドがトラックを外れて走査した際の再生出力の変化量に基づいてヘッドの位置検出を行っている。 In current tracking servo techniques, it is carried out the position detection of the head based on a change amount of the reproduced output when the head is scanned out of the track. 従って、サーボ領域間に記録されたデータ信号を再生する際のようにヘッドがトラック上を正確に走査したときのSN比に優れることだけではなく、ヘッドがトラックを外れて走査したときの再生出力変化量、すなわちオフトラック特性が急峻であることが要求される。 Thus, not only have excellent SN ratio when the head as in reproducing data signals recorded between the servo area is accurately scans the track, the reproduced output when the head is scanned out of the track variation, ie off-track characteristic is required to be steeper. 従って、上述のようにプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミクロントラック記録における正確なトラッキングサーボ技術の実現が困難になる。 Therefore, the magnetic transition of the track edge which is pre-formatted recording as described above lacks sharpness, it is difficult to achieve accurate tracking servo technique in future submicron track recording.

【0013】上記のような磁気ヘッドによるプリフォーマット記録における2つの課題を解決する手段に関しては、既に様々な技術が提案されている。 [0013] With respect to the means for solving the two problems in the preformat recording with a magnetic head as described above, it has already been proposed various techniques. 例えば特開昭6 For example, JP-A-6
3−183623号公報には、第1の課題に対する解決策として、磁気転写技術を用いたトラッキングサーボ信号等の複写技術が開示されている。 The 3-183623 discloses, as a solution to the first problem, copying technology of the tracking servo signal or the like using a magnetic transfer technique has been disclosed. この磁気転写技術を用いれば、プリフォーマット記録の際の生産性が改善されることは事実である。 Using this magnetic transfer technique, it is true that productivity in the preformat recording is improved. しかしながら、この磁気転写技術は、フレキシブルディスクのように保磁力が比較的低く、面記録密度が小さい磁気ディスク媒体には有効であるが、今日のハードディスク媒体のように数百メガビットからギガビットオーダーの面記録密度を担う分解能を備えた高保磁力媒体に対して使用することは不可能である。 However, this magnetic transfer technique, the coercive force is relatively low as a flexible disk, is effective for surface recording density is small magnetic disk medium, the surface of gigabit order of several hundred megabits to today's hard disk medium it is impossible to use for high coercivity medium having a resolution responsible for recording density.

【0014】磁気転写技術においては、転写効率を確保するために、被転写ディスク保磁力の1.5倍程度の振幅の交流バイアス磁界を印加する必要がある。 [0014] In the magnetic transfer technique, in order to ensure the transfer efficiency, it is necessary to apply an AC bias magnetic field of amplitude of 1.5 times of the transfer disk coercivity. マスターディスクに記録されたマスター情報は磁化パターンであるので、この交流バイアス磁界によってマスター情報が消磁されないようにするためには、マスターディスクの保磁力は被転写ディスクの保磁力の3倍程度以上であることが要求される。 Since the master information recorded on the master disk is a magnetic pattern, in order to master information is not demagnetized by the AC bias magnetic field, the coercive force of the master disk in the above 3 times the coercive force of the transfer disk there it is required. 現在の高密度ハードディスク媒体の保磁力は高面記録密度を担うために1500〜2500 The coercive force of the current high density hard disk media in order to play a high surface recording density 1500 to 2500
エルステッドもある。 Oersted also. さらに将来の10ギガビットオーダーの面記録密度を担うためには、この値は3000〜 Further to bear the surface recording density of a future 10 gigabit order, this value is 3000
4000エルステッドにも達することが予想される。 It is expected that as high as 4000 Oe. つまりマスターディスクには、現状において4500〜7 This means that the master disk is, in the present situation 4500-7
500エルステッド、将来的には9000〜12000 500 Oe, in the future 9000-12000
エルステッドの保磁力が要求されることになる。 So that Oe coercivity is required.

【0015】マスターディスクにおいてこのような保磁力を実現することは、磁性材料の選択の面から困難である。 [0015] In the master disk to realize such a coercive force, it is difficult in terms of selection of the magnetic material. さらに、現在の磁気記録技術では、このような高保磁力を有するマスターディスクにマスター情報を記録することができない。 Furthermore, in the current magnetic recording technology, it is impossible to record the master information on the master disk having such a high coercive force. 従って、磁気転写技術においては、 Thus, in the magnetic transfer technique,
マスターディスクにおいて実現可能な保磁力値を考慮すると、必然的に被転写ディスクの保磁力に制約を受けることになる。 In view of the coercive force value that can be implemented in the master disk, it will undergo necessarily constrained to the coercive force of the transfer disc.

【0016】また、例えば特開平7−153060号公報には、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を有するディスク媒体用基板をスタンパにより形成し、この基板上に磁性層を形成するプリエンボストディスク技術が開示されている。 Further, in the, for example, JP-A No. 7-153060, a servo signal for tracking, address information signal, a substrate for a disk medium having an uneven shape corresponding to the reproduction clock signal, etc. is formed by a stamper, on this substrate pre-embossed DOO disk technology for forming a magnetic layer is disclosed. この技術は、前述の2つの課題の両方に対して有効な解決策となる。 This technique is effective solution to both of the two above-mentioned problem. しかしながら、ディスク表面の凹凸形状が記録再生時のヘッドの浮上特性(あるいは接触記録の場合には媒体とのコンタクト状態)に影響を及ぼし、その結果、ヘッド・媒体インターフェース性能に問題を生じることが予想される。 However, influence the (contact state with the medium in the case of or contact recording) irregularities of the disk surface floating properties of the recording and reproducing time of the head, so that expected to cause problems to the head media interface performance It is. また、スタンパで製造される基板は基本的にプラスチック基板であるため、 Further, since the substrate produced by the stamper is basically a plastic substrate,
媒体性能の確保のために必要な磁性層成膜時の基板加熱ができず、必要な媒体SN比が確保されないという問題もある。 It can not substrate heating during magnetic layer forming necessary in order to ensure media performance, the problem that the medium SN ratio can not be secured required there.

【0017】このように、プリフォーマット記録に関する前述の課題に対して、特開昭63−183623号公報または特開平7−153060号公報に記載された技術は、媒体SN比、インターフェース性能等の他の重要な性能を犠牲にすることとなり、真に有効な解決策とはならない。 [0017] Thus, with respect to the aforementioned issues preformat recording, the technique is described in JP-A-63-183623 JP-or Hei 7-153060, medium SN ratio, other interface performance, etc. It will be an important performance of the expense, not a truly effective solution.

【0018】別のプリフォーマット記録技術が特願平8 [0018] Another of the pre-format recording technology is Japanese Patent Application No. 8
−191889号の明細書に記載されている。 It is described in the specification of No. -191889. この記録技術では、基体の表面に情報信号に対応する凹凸形状が形成され、この凹凸形状の少なくとも凸部の表面が強磁性材料で形成されているマスター情報担体の表面を、磁気記録媒体の表面に接触させることにより、マスター情報担体表面の凹凸形状に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に記録する。 In this recording technique, irregularities are formed corresponding to the information signal on the surface of the substrate, the surface of the master information carrier at least the surface of the convex portion of the uneven shape is formed of a ferromagnetic material, the surface of the magnetic recording medium by contacting the records the magnetic pattern corresponding to the irregular shape of the master information carrier surface to a magnetic recording medium.

【0019】マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁性材料として好ましくは、高飽和磁束密度を有する軟質磁性膜、あるいは基体面内保磁力が40kA/m以下の硬質もしくは半硬質磁性膜を用いる。 Preferably, the soft magnetic film having high saturation magnetic flux density or substrate surface coercivity, less is used hard or semi-hard magnetic film 40 kA / m as [0019] ferromagnetic material forming the surface of the protrusion of the master information carrier . さらに好ましくは、マスター情報担体表面を磁気記録媒体表面に接触させる際に、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁性材料を励磁するための直流磁界、あるいは磁化パターンの記録を助成するための交流バイアス磁界を印加する。 More preferably, when contacting the master information carrier surface to the magnetic recording medium surface, a DC magnetic field for exciting the ferromagnetic material forming the surface of the protrusion of the master information carrier or to assist in recording magnetization pattern, applying an alternating bias magnetic field. これにより、特開昭63−183623号公報または特開平7−153060号公報に記載された技術に関して先に述べた課題をも解決することができる。 Thus, it is possible to solve the problems described above with respect to the technique described in JP-A-63-183623 JP-or Hei 7-153060.

【0020】上記の特願平8−191889号の明細書に記載されている記録技術は、従来の専用のサーボ記録装置を用いた磁気ヘッドによるプリフォーマット記録における課題、あるいは特開昭63−183623号公報または特開平7−153060号公報に開示された技術の課題に関して、以下のような特徴を有している。 [0020] The recording techniques described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889, the problems in the preformat recording with a magnetic head using a conventional dedicated servo recording apparatus or JP, 63-183623 JP or with respect to an object of JP-a 7-153060 discloses the technique disclosed has the following features.

【0021】特願平8−191889号の明細書に記載された記録技術では、一方向に磁化されたマスター情報担体表面の凸部の強磁性材料が発生する記録磁界により、マスター情報担体の凹凸形状に対応した磁化パターンが磁気記録媒体に記録される。 [0021] In the recording techniques described in the specification of Japanese Patent Application No. Hei 8-191889, the recording magnetic field the ferromagnetic material of the convex portion of the one direction magnetized master information carrier surface occurs, unevenness of the master information carrier magnetization pattern corresponding to the shape is recorded on the magnetic recording medium. すなわち、マスター情報担体表面に、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を形成することにより、これらの情報信号のプリフォーマット記録を磁気記録媒体に行うことができる。 That is, the master information carrier surface, the servo signal for tracking, address information signal, by forming a concavo-convex shape corresponding to the reproduction clock signal, etc., it is possible to perform preformat recording of the information signals on a magnetic recording medium.

【0022】この記録技術では、凹凸形状による磁気抵抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生ずる漏れ磁界により記録が行われる。 [0022] In this recording technique, recording is performed by the leakage magnetic field generated due to the magnetic resistance change due to unevenness of a ferromagnetic material of the convex portion. 従って、その記録メカニズムは、磁気ヘッドの記録ギャップから生ずる漏れ磁界により記録を行う従来の磁気ヘッドを用いる記録と基本的には同様である。 Accordingly, the recording mechanism is similar to the recording basically using conventional magnetic head for recording by the leakage magnetic field generated from the recording gap of the magnetic head. しかし、従来の磁気ヘッドによる記録がヘッドと媒体との相対移動による動的線記録であるのに対し、上記の構成による記録はマスター情報担体と媒体との相対移動を伴わない静的な面記録であるということができる。 However, while the recording by the conventional magnetic head is dynamic line recording by a relative movement between the head and the medium, the recording of the foregoing arrangement is static surface recording without relative movement between the master information carrier and the medium it can be said that is. このような特徴により、特願平8−1918 With such a feature, Japanese Patent Application No. 8-1918
89号の明細書に記載された記録技術は、プリフォーマット記録に関する前述の課題に対して、以下のように有効な解決策を提供する。 Recording techniques described in the specification of 89 items, with respect to the aforementioned issues preformat recording is provided an effective solution as follows.

【0023】第1に、この記録技術は面記録であるため、プリフォーマット記録に要する時間が従来の磁気ヘッドによる記録に比べて非常に短い。 [0023] First, since the recording technique is areal, the time required for the preformat recording is very short compared to the recording by the conventional magnetic head. また、磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行うための高価なサーボ記録装置が不要である。 Also, expensive servo recording apparatus for performing strict position control while recording magnetic head is not required. 従って、プリフォーマット記録に関する生産性を大幅に向上することができるとともに、生産コストを低減することができる。 Therefore, it is possible to greatly improve the productivity about preformat recording, it is possible to reduce the production cost.

【0024】第2に、この記録技術はマスター情報担体と媒体との相対移動を伴わない静的記録であるため、マスター情報担体表面と磁気記録媒体表面とを密着させることにより、記録時の両者間のスペーシングを最小限にすることができる。 [0024] Second, since the recording technique is static recording without relative movement between the master information carrier and the medium, by close contact between the master information carrier surface and the magnetic recording medium surface, both during recording the spacing between can be minimized. さらに、磁気ヘッドによる記録のように、記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がりを生じることもない。 Further, as the recording by the magnetic head, it does not cause the spread of the recording magnetic field by the pole shape of the recording head. このためプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移は、従来の磁気ヘッドによる記録に比べて優れた急峻性を有する。 Thus the magnetic transition of the track edge which is pre-formatted recording has excellent steepness as compared with the recording by the conventional magnetic head. その結果、より正確なトラッキングが可能となる。 As a result, it is possible to more accurate tracking.

【0025】また、特願平8−191889号の明細書に記載された記録技術は、特開昭63−183623号公報に開示された磁気転写技術や特開平7−15306 [0025] The recording techniques described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889, the magnetic transfer technique and JP disclosed in JP-A-63-183623 7-15306
0号公報に開示されたプリエンボストディスク技術に関して述べたような問題を生じることはない。 Disclosed in 0 JP was never cause problems such as described with respect to pre-embossed preparative disk technology. つまり、プリフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気特性に制約を受けることはない。 That is, not being restricted to the structure and magnetic properties of the magnetic recording medium to be preformatted records.

【0026】例えば、特開昭63−183623号公報に開示された磁気転写技術において、磁化パターンにより記録されたマスター情報を備えるマスターディスクは、それ自体が磁気記録媒体であるために相応の磁気記録媒体分解能を必要とする。 [0026] For example, in the magnetic transfer technique disclosed in JP-A-63-183623, a master disk having a master information recorded by the magnetization pattern corresponding magnetic recording in order is itself a magnetic recording medium requiring a media resolution. このため、マスターディスク磁性層の磁束密度および膜厚を十分に大きくすることができず、発生する転写磁界の大きさが非常に小さいものとなってしまう。 Therefore, it is impossible to sufficiently increase the magnetic flux density and the film thickness of the master disk magnetic layer, the magnitude of the transfer magnetic field generated becomes extremely small. またマスター情報は磁化パターンにより記録されているため、ダイビットの突き合わせ磁化による減磁を生じ、磁化遷移領域における転写磁界勾配も緩やかである。 Further, since the master information is recorded by the magnetic pattern, resulting demagnetization by butt magnetization dibit, transfer magnetic field gradient in a magnetization transition region is gradual. このような弱い転写磁界によっても十分な転写効率を確保するために、磁気転写技術においては、被転写ディスク保磁力の1.5倍程度もの振幅の交流バイアス磁界を印加する必要がある。 In order to ensure such a sufficient transfer efficiency by a weak transfer magnetic field, in the magnetic transfer technique, it is necessary to apply an AC bias magnetic field amplitude is also about 1.5 times of the transfer disk coercivity. 結果的に前述のように、被転写ディスクの保磁力が制約を受け、記録密度の比較的低いフレキシブルディスク等にしか使用することができなかった。 Consequently, as described above, the coercive force of the transfer disk restricted, could only be used for relatively low flexible disk recording density.

【0027】これに対して、特願平8−191889号の明細書に記載されたマスター情報担体は、マスター情報を凹凸形状パターンとして有しており、その凹凸形状による磁気抵抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生ずる漏れ磁界により記録を行う点が磁気ヘッドによる記録に似ている。 [0027] On the contrary, the master information carrier as described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 has a master information as uneven patterns, due to the magnetic resistance change due to the uneven shape the leakage magnetic field generated from the ferromagnetic material of the convex portion that performs recording is similar to the recording by the magnetic head. 磁気転写技術におけるマスターディスクのように磁気記録媒体としての分解能を必要としないので、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁性材料の磁束密度および体積を従来の磁気ヘッドと同等まで大きくすることにより、磁気ヘッドと同等の大きな記録磁界を発生することができる。 It does not require the resolution of the magnetic recording medium as the master disk in the magnetic transfer technique, to increase the magnetic flux density and volume of the ferromagnetic material forming the surface of the protrusion of the master information carrier to equivalent conventional magnetic head Accordingly, it is possible to generate a large recording magnetic field equivalent to the magnetic head. これにより、通常のフレキシブルディスク、ハードディスク、さらには将来のギガビット記録を担う高保磁力媒体に至るまで、あらゆる磁気記録媒体に対して十分な記録能力を発揮することができる。 Thus, conventional flexible disk, a hard disk, until even completely high coercivity medium responsible for future gigabit recording, it is possible to exhibit sufficient recording capacity for any magnetic recording medium.

【0028】また、特開平7−153060号公報に開示されたプリエンボストディスク技術は、前述のようにプリフォーマット記録されるディスク媒体の基板材料と形状に制約を受けるため、媒体成膜時の基板温度に関係する媒体SN比性能およびヘッドの浮上特性(接触記録の場合は媒体とのコンタクト状態)に関してヘッド・媒体インターフェース性能を犠牲にしていた。 Further, pre-embossed preparative disc technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-153060, since restricted to the substrate material and shape of the disk medium to be preformatted recording as described above, when the medium film formation (for the contact record contact state with the medium) media SN ratio performance and head related to substrate temperature flying characteristics were at the expense of the head-medium interface performance with respect. これに対し、特願平8−191889号の明細書に記載された記録技術は、上記のようにプリフォーマット記録される磁気記録媒体の基板材料や表面形状においては何らの制約も受けない。 In contrast, the recording techniques described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is not subject to any restrictions in the substrate material and surface shape of the magnetic recording medium to be preformatted recording as described above.

【0029】 [0029]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、特願平8−191889号の明細書に記載された記録技術は、 As described above [0006], recording techniques described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is,
プリフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気特性を問わずに静的な面記録を行うことができる技術を提供するものであり、媒体SN比、インターフェース性能等の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリフォーマット記録を効率的に行うことができる優れた技術である。 Is intended to provide a technique capable of performing static surface recording regardless of the structure and magnetic properties of the pre-format recording is the magnetic recording medium, medium SN ratio, at the expense of other important properties of the interface performance, etc. without a superior technology that can perform good preformat recording efficiently.

【0030】しかしながら、この記録技術を真に効果的なものとするためには、マスター情報担体と磁気記録媒体との間に均一な密着性を実現する必要がある。 [0030] However, to make this recording technique truly effective, it is necessary to achieve uniform adhesion between the master information carrier and the magnetic recording medium. 両者間に均一な密着性が実現されない場合は、スペーシングロスに起因して充分な記録信号強度が得られず、従って良好なSN比を確保できないおそれがある。 If a uniform adhesion between the two can not be realized, sufficient recording signal strength due to the spacing loss can not be obtained, hence it may be impossible to ensure good SN ratio. さらに、記録磁界の広がりに起因してトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠け、充分なオフトラック特性が得られないおそれがある。 Furthermore, lack of magnetization transition steepness of the track ends due to the spread of the recording magnetic field, there may not sufficient off-track characteristics.

【0031】そこで、本発明は、マスター情報を凹凸形状パターンとして有するマスタ情報担体を用いて記録媒体に情報を静的に記録する技術において、マスター情報担体に対して磁気記録媒体を均一に密着させて、信頼性の高いプリフォーマット記録を行うことができる手段を提供することを目的とする。 [0031] Therefore, the present invention provides a static recording technology information on a recording medium using a master information carrier having a master information as uneven patterns, to uniformly contact a magnetic recording medium to the master information carrier Te, and to provide a means capable of performing a highly reliable preformat recording.

【0032】 [0032]

【課題を解決するための手段】本発明によるマスター情報担体の第1の構成は、基体の表面に、情報信号に対応する凹凸形状が形成された領域と、前記凹凸形状が形成されていない領域とが設けられ、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成されたマスター情報担体において、前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分に貫通孔を設けたことを特徴とする。 The first configuration of the master information carrier according to the present invention SUMMARY OF THE INVENTION may, on the surface of the substrate, a region where the concavo-convex shape is formed corresponding to the information signal, the irregularities are not formed region Doo is provided in the master information carrier ferromagnetic thin film on at least the surface of the protrusion is formed of the irregularities, characterized by providing at least a portion in the through hole of the concave-convex shape is not formed region.

【0033】また、本発明によるマスター情報担体の第2の構成は、基体の表面に、情報信号に対応する凹凸形状が形成された領域と、前記凹凸形状が形成されていない領域とが設けられ、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成されたマスター情報担体において前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを、前記凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くしたことを特徴とする。 Further, a second configuration of the master information carrier according to the present invention, the surface of the substrate, a region where irregularities formed corresponding to the information signal, and the uneven shape is not formed region is provided It said at least a portion of the surface height of the area which is not the irregularities formed in the master information carrier ferromagnetic thin film is formed at least on the surface of the protrusion of the unevenness, the surface height of the irregularities formed region characterized by being lower than of.

【0034】このようなマスター情報担体を用いて、強磁性層を有する磁気記録媒体に前記マスター情報担体の情報信号を記録するための本発明によるマスター情報磁気記録装置は、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させるための密着手段と、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行うための手段と、前記マスター情報担体の凸部表面に形成された前記強磁性薄膜を励磁する磁界を印加するための磁界印加手段とを備えていることを特徴とする。 [0034] Using such a master information carrier, master information magnetic recording apparatus according to the invention for recording an information signal of the master information carrier into a magnetic recording medium having a ferromagnetic layer, the said master information carrier and contact means for adhering the magnetic recording medium, and means for positioning between said master information carrier said magnetic recording medium, the ferromagnetic thin film formed on the surface of the protrusion of the master information carrier characterized in that it includes a magnetic field applying means for applying a magnetic field to be excited.

【0035】本発明によるマスター情報磁気記録装置の第1の具体構成は、前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマスター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の貫通孔を通して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気することにより、前記マスター情報担体の凹凸形状と前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されている。 The first concrete configuration of the master information magnetic recording apparatus according to the present invention, using a master information carrier is at least partially into the through-hole provided in the uneven shape is not formed region, said contact means, said while in contact with the master information carrier and the magnetic recording medium, by evacuating the gas existing between the master information carrier and the magnetic recording medium through the through hole of the master information carrier, wherein the master information carrier It is composed of irregular shape and so as to close contact with the magnetic recording medium.

【0036】本発明によるマスター情報磁気記録装置の第2の具体構成は、前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを前記凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くしたマスター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の凹凸形状が形成されていない領域と磁気記録媒体との間に存在する気体を排気することにより、前記マスター情報担体の凹凸形状と前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されている。 The second specific configuration of the master information magnetic recording apparatus according to the present invention, lower than the surface height of the at least a portion surface height of the concave-convex shape is not formed region the uneven shape formed region using the master information carrier, said contact means is in a state in which said master information carrier is brought into contact with the magnetic recording medium, between the master information uneven shape of the support is not formed area and the magnetic recording medium by exhausting the gas present, and is configured to contact the said master information carrier of the uneven shape and the magnetic recording medium.

【0037】上記のような本発明のマスター情報担体およびマスター情報磁気記録装置を用いることにより、マスター情報担体に対して磁気記録媒体を均一に密着させることができ、信頼性の高いプリフォーマット記録を行うことができる。 [0037] By using the master information carrier and the master information magnetic recording apparatus of the present invention as described above, it is possible to uniformly contact a magnetic recording medium to the master information carrier, a highly reliable preformat recording It can be carried out.

【0038】また、前記密着手段が、前記マスター情報担体および前記磁気記録媒体を挟み付ける一対のフランジと、前記一対のフランジの周部を互いに締め付ける手段とを備えていることが好ましい。 Further, the contact means comprises a pair of flanges sandwiching the master information carrier and the magnetic recording medium, it is preferable that a means for tightening together the peripheral portions of the pair of flanges. 上記の排気による密着手段がこの機械的な締め付け手段をも備えることにより、マスター情報担体と磁気記録媒体とのさらに均一な密着が得られる。 Contact means according to the above exhaust gas by providing also the mechanical fastening means, more uniform contact between the master information carrier and the magnetic recording medium is obtained. つまり、通常、中央部に設けられる排気ダクトによるマスター情報担体と磁気記録媒体との中央部に集中しやすい吸引力(大気圧)を補うように、周部を機械的に締め付けることにより、マスター情報担体及び磁気記録媒体の反りが抑制され両者が均一に密着する。 That is, usually, to compensate for the concentrate tends suction force to the central portion of the master information carrier and the magnetic recording medium by the exhaust duct provided in the central portion (atmospheric pressure), by tightening the peripheral portion mechanically, master information both the warp of the carrier and the magnetic recording medium is suppressed to uniformly contact. さらに、前記一対のフランジと前記マスター情報担体および前記磁気記録媒体との間の少なくとも一方に弾性部材を介装することにより、マスター情報担体および磁気記録媒体とが一層均一に密着する。 Furthermore, by interposing at least one elastic member between said pair of flanges and the master information carrier and the magnetic recording medium, the master information carrier and the magnetic recording medium is more uniformly contact.

【0039】また、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行うための手段として、前記マスター情報担体の内周部または外周部に、前記磁気記録媒体の内周または外周に合わせてマーカーが配置されていることが好ましい。 Further, as means for aligning with the master information carrier and the magnetic recording medium, the inner peripheral portion or the outer peripheral portion of the master information carrier, in accordance with the inner circumference or the outer circumference of the magnetic recording medium preferably the marker is placed.

【0040】 [0040]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について、図1から図8を用いて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS 1. (実施の形態1)図3は、マスター情報担体に形成された情報信号を磁気記録媒体に記録するための本発明による装置の第1実施形態を示す断面図である。 Embodiment 1 FIG. 3 is a sectional view showing a first embodiment of a device according to the invention for recording an information signal formed on the master information carrier into a magnetic recording medium. 図中、31 In the figure, 31
a、31bはマスター情報担体、32はハードディスク、33は上フランジ、34は下フランジ、35a,3 a, 31b is the master information carrier 32 is a hard disk, the upper flange 33, 34 is lower flange, 35a, 3
5bは永久磁石、36a,36bは排気装置、37a, 5b is a permanent magnet, 36a, 36b is the exhaust system, 37a,
37bは三方弁、30はOリングである。 37b is the three-way valve, 30 is an O-ring. 永久磁石15 Permanent magnet 15
a,15bの磁化方向は紙面の裏から表への向きである。 a, the magnetization direction of 15b is oriented from the rear of the sheet to the table.

【0041】マスター情報担体31a,31bの表面には、例えば図1に示すように、情報信号に対応した微細な凹凸形状が形成された領域12が、所定の角度間隔で設けられている。 The master information carrier 31a, on the surface of 31b, for example, as shown in FIG. 1, the region 12 where fine irregularities corresponding to information signals are formed is provided at a predetermined angle interval. この領域12の一部(図1中の領域A)を拡大したものを図2に示す。 It shows an enlarged view of a portion of the region 12 (region A in FIG. 1) in FIG. トラッキング用サーボ信号、クロック信号およびアドレス情報信号のそれぞれの領域がトラック長さ方向に順番に配置されている。 Tracking servo signal, each region of the clock signals and address information signals are arranged in order in the track length direction.
図2においてハッチングを施してある部分が凸部であり、凸部表面はCo等の強磁性材料で形成されている。 Portion that is hatched in FIG. 2 is a convex portion, the convex portion surface is formed of a ferromagnetic material such as Co.

【0042】このような情報信号に対応した微細な凹凸形状をマスター情報担体の表面に形成する方法を以下に説明する。 [0042] illustrating a method of forming fine irregularities corresponding to such information signals on the surface of the master information carrier below. まず、表面粗度が細かく平坦性の良いガラス基板表面にCo等で構成される強磁性薄膜をスパッタリング法により成膜する。 First, the ferromagnetic thin film composed of Co or the like in a good glass substrate surface surface roughness of fine flatness is formed by a sputtering method. 次に、例えばフォトリソグラフィ法のようなレーザビームまたは電子ビームを用いたリソグラフィ技術を用いてレジスト膜を露光、現像した後、ドライエッチング等によって凹凸形状を形成する。 Then, for example, exposing the resist film using a lithography technique using laser or electron beam, such as a photolithography method, after developing, to form a concavo-convex shape by dry etching or the like.
あるいは基板表面にレジスト膜を形成・パターニングした後、Co等で構成される強磁性薄膜を成膜してレジスト膜を除去する、いわゆるリフトオフ法によって凹凸形状を形成する。 Or after forming and patterning a resist film on a substrate surface to remove the resist film by forming a composed ferromagnetic thin film of Co or the like, to form the irregularities by the so-called lift-off method.

【0043】なお凹凸形状を形成する方法はこれらに限られず、例えばレーザ、電子ビームまたはイオンビームを用いて、あるいは機械加工によって、微細な凹凸形状を直接加工してもよい。 Incidentally method of forming the uneven shape is not limited thereto, for example a laser, using an electron beam or ion beam, or by machining, it may be processed with fine irregularities directly. また、強磁性薄膜をガラス基板に形成する方法は、スパッタリング法に限らず、真空蒸着法、イオンプレーティング法、CVD法、めっき法等、従来から行われている一般的な薄膜形成方法を用いることができる。 Further, a method of forming a ferromagnetic thin film on a glass substrate is not limited to a sputtering method, a vacuum deposition method, ion plating method, CVD method, plating method or the like, using a general thin film forming method which is conventional be able to.

【0044】情報信号に対応した微細な凹凸形状の凸部表面と凹部底面との段差は、マスター情報が記録される磁気記録媒体の表面性およびマスター情報のビットサイズにもよるが、一般的には0.05μm以上、好ましくは0.1μm以上とする。 The step between the surface of the protrusion and the recess bottom surface of the fine uneven shape corresponding to the information signal, depending on the bit size of the surface resistance and the master information of the magnetic recording medium in which master information is recorded, in general It is 0.05μm or more, preferably more than 0.1 [mu] m. 一実施例において、0.5μ In one embodiment, 0.5 [mu]
mとした。 It was m.

【0045】凹凸形状の凸部表面を形成する強磁性薄膜材料はCoに限らない。 The ferromagnetic thin film material for forming the surface of the protrusion of the unevenness is not limited to Co. 硬質磁性材料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料を問わず、多くの種類の磁性材料を用いることができる。 Hard magnetic materials, semi-hard magnetic material, regardless of the soft magnetic material can be used many kinds of magnetic materials. マスター情報が記録される磁気記録媒体の種類によらず十分な記録磁界を発生するためには磁性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。 Better greater saturation magnetic flux density of the magnetic material for the master information to generate a sufficient recording magnetic field regardless of the type of magnetic recording medium to be recorded. 特に200 In particular, 200
0エルステッドを超える高保磁力磁気ディスクや磁性層厚の大きいフレキシブルディスクに対しては、飽和磁束密度が0.8テスラ以下になると十分な記録が行われない場合があるので、一般的には0.8テスラ以上、好ましくは1.0テスラ以上の飽和磁束密度を有する磁性材料を用いる。 For 0 exceeds Oersted high coercivity magnetic disk or a magnetic layer thickness of larger flexible disk, because it may sufficient recording the saturation magnetic flux density is less than 0.8 Tesla is not performed, is generally 0. 8 Tesla or more, preferably using a magnetic material having a saturation magnetic flux density of more than 1.0 tesla.

【0046】図1に示すように、マスター情報担体11 [0046] As shown in FIG. 1, the master information carrier 11
の情報信号に対応した凹凸形状が形成された領域12以外の領域に貫通孔13が設けられている。 Information signal through a region other than the region 12 in which irregularities are formed corresponding holes 13 are provided. 貫通孔13 Through holes 13
は、マスター情報担体の基板がガラスの場合、超音波加工やレーザ加工、ウエットエッチング等の公知の加工方法を用いて形成することができる。 , When the substrate of the master information carrier is made of glass, it can be formed by ultrasonic machining or laser machining, a known processing method such as wet etching. 貫通孔の径はできるだけ小さく、貫通孔の数はできるだけ多い方が好ましい。 The diameter of the through holes as small as possible, the number of through holes as much as possible often preferred. 一実施例において、超音波加工を用いて直径1mm In one embodiment, the diameter 1mm using ultrasonic machining
の貫通孔を3mm四方にひとつの割合で形成した。 The through-hole formed in one out of every 3mm square.

【0047】マスター情報担体に形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際に、マスター情報パターンの中心をハードディスクの中心に合わせてから密着させる必要がある。 [0047] When recording an information signal formed on the master information carrier into a hard disk which is a magnetic recording medium, it is necessary to contact the center of the master information pattern after adjusting the center of the hard disk. この位置合わせを容易にするために、図1に示すように、マスター情報担体11の内周部にマーカー14が形成されている。 To facilitate this alignment, as shown in FIG. 1, the marker 14 is formed on the inner peripheral portion of the master information carrier 11. マーカー14は、情報信号に対応した凹凸形状と同時に形成される。 Marker 14 is formed simultaneously with the uneven shape corresponding to the information signal. このマスター情報担体11の内周部に形成されたマーカー14はハードディスクの内周を位置合わせするように形成されているが、ハードディスクの外周を位置合わせするように、マスター情報担体11の外周部にマーカーを形成してもよい。 This marker 14 formed on the inner peripheral portion of the master information carrier 11 is formed so as to align the inner circumference of the hard disk, so as to align the outer periphery of the hard disk, the outer peripheral portion of the master information carrier 11 it may form a marker.

【0048】本実施形態において、マスター情報担体に形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する手順を図3、4および5を用いて説明する。 [0048] In this embodiment, a procedure for recording an information signal formed on the master information carrier into a hard disk which is a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS. 3, 4 and 5. 本実施形態では、大気圧を利用してマスター情報担体31a,31bとハードディスク32とを全面的かつ均一に密着させる。 In the present embodiment, the master information carrier 31a by using the atmospheric pressure, 31b and is entirely and uniformly adhere the hard disk 32. マスター情報担体31a,31bとハードディスク32との間に存在する空気をマスター情報担体31a,31bに設けられた貫通孔39を通して排気することにより、ハードディスク32がマスター情報担体31a,31bに押し付けられ、マスター情報担体31a,31bに形成された凹凸形状パターンの凸部表面とハードディスク32とが密着する。 The master information carrier 31a, 31b and the air master information carrier 31a existing between the hard disk 32, by evacuating through the through hole 39 provided in 31b, the hard disk 32 is the master information carrier 31a, is pressed against the 31b, the master information carrier 31a, and the hard disk 32 the surface of the protrusion of the unevenness pattern formed on the 31b in close contact. この後、永久磁石35a,35bを用いて、マスター情報担体31 Thereafter, using the permanent magnets 35a, a 35b, the master information carrier 31
a,31bに形成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化させることにより、凹凸形状に対応した情報信号をハードディスク32に記録する。 a, by magnetizing the ferromagnetic film of the protruding portion surface of the uneven pattern formed in 31b, to record information signals corresponding to irregularities in the hard disk 32. 以下に手順を詳しく述べる。 Detailing the procedure below.

【0049】まず、図5に示すように、永久磁石52を用いてハードディスク32を円周方向に沿って矢印51 [0049] First, as shown in FIG. 5, along the hard 32 in the circumferential direction using a permanent magnet 52 arrow 51
の方向に予め磁化させておく。 Allowed to pre-magnetized in the direction. なお、永久磁石に代えて電磁石を用いてもよい。 Incidentally, electromagnets may also be used in place of the permanent magnet. 次に図3に示すように、下フランジ34の溝にOリング30を装着し、この上にマスター情報担体31bおよびハードディスク32を重ねる。 Next, as shown in FIG. 3, the O-ring 30 fitted in the groove of the lower flange 34, superimposing the master information carrier 31b and the hard disk 32 thereon.
この際、前述のようにマスター情報パターンの中心とハードディスク32の中心とを合わせるためのマーカー(図1の14)がマスター情報担体31bに設けてあるので、このマーカーをハードディスク32の内周に合わせる。 Since this time, is provided to a marker (14 in FIG. 1) is the master information carrier 31b for matching the centers of the hard disk 32 of the master information pattern as described above, aligning the marker on the inner circumference of the hard disk 32 . さらにハードディスク32の上にマスター情報担体31a,そしてOリング30を溝に装着した上フランジ33を重ねる。 Further superimposing the master information carrier 31a and O-ring 30 on the flange 33 mounted on the groove, on the hard disk 32. この際も上記と同様に、マスター情報担体31aの内周部に設けられたマーカーをハードディスク32の内周に合わせる。 In this case even the same manner as described above, align the markers provided on the inner peripheral portion of the master information carrier 31a on the inner circumference of the hard disk 32.

【0050】上側の三方弁37aを操作して排気装置3 The exhaust system by operating the upper side of the three-way valve 37a 3
6aにより、上フランジ33とマスター情報担体31a The 6a, the upper flange 33 and the master information carrier 31a
との間の空気を吸引する。 Sucking air between. 下側の三方弁37bは、下フランジ34とマスター情報担体31bとの空間が大気圧になるように切り替えておく。 Lower three-way valve 37b is kept switched so that the space between the lower flange 34 and the master information carrier 31b becomes the atmospheric pressure. マスター情報担体31a Master information carrier 31a
とハードディスク32との間の空気がマスター情報担体31aに設けられた貫通孔39を通して排気されることにより、ハードディスク32はマスター情報担体31a And by being evacuated through the through hole 39 through which air provided to the master information carrier 31a between the hard disk 32, a hard disk 32 is the master information carrier 31a
に押し付けられ、両者が全面的に密着する。 They pressed against the, both entirely in close contact. 次に図4 Next, FIG. 4
(a)に示すように、永久磁石35aを上フランジに平行に、かつ、排気ダクト38aを中心に回すことにより、直流励磁磁界41aを印加する。 (A), the parallel permanent magnets 35a in the upper flange, and, by turning around the exhaust duct 38a, to apply a DC magnetic excitation field 41a. この操作により、 With this operation,
マスター情報担体31aに形成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応した情報信号がハードディスク32に記録される。 Is magnetized ferromagnetic film of the protruding portion surface of the uneven pattern formed on the master information carrier 31a is, information signals corresponding to irregularities is recorded on the hard disk 32. 前述したように、ハードディスク32は予め永久磁石等を用いて円周方向に沿って初期磁化させておくが、この初期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石35aにより印加する磁界の方向とは同一であっても逆であってもよい。 As described above, the hard disk 32 is allowed to initial magnetization along the circumferential direction in advance using a permanent magnet or the like, the direction of the magnetic field applied and the initial magnetization direction by the permanent magnets 35a at the time of recording information signal it may be reversed be the same as the. 一実施例では逆方向とした。 It was reverse in one embodiment.

【0051】次に、下側の三方弁37bを操作して排気装置36bにより、下フランジ34とマスター情報担体31bとの間の空気を吸引する。 Next, the exhaust system 36b by operating the lower three-way valve 37b, to suck the air between the lower flange 34 and the master information carrier 31b. 上側の三方弁37a The upper side of the three-way valve 37a
は、上フランジ33とマスター情報担体31aとの空間が大気圧になるように切り替えておく。 Is kept switched such that the space between the upper flange 33 and the master information carrier 31a is atmospheric pressure. マスター情報担体31bとハードディスク32との間の空気がマスター情報担体31bに設けられた貫通孔39を通して排気されることにより、ハードディスク32はマスター情報担体31bに押し付けられ、両者が全面的に密着する。 By air between the master information carrier 31b and the hard disk 32 is evacuated through the through hole 39 provided in the master information carrier 31b, a hard disk 32 is pressed against the master information carrier 31b, both are fully adhesion.

【0052】図4(b)に示すように、永久磁石35b [0052] As shown in FIG. 4 (b), the permanent magnets 35b
を下フランジ34に平行に、かつ、排気ダクト38bを中心に回すことにより直流励磁磁界41bを印加する。 The parallel to the lower flange 34, and applying a DC magnetic excitation field 41b by turning around the exhaust duct 38b.
この操作により、マスター情報担体31bに形成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜が磁化されて、凹凸形状に対応した情報信号がハードディスク32 This operation, ferromagnetic thin film is magnetized in the surface of the protrusion of the unevenness pattern formed on the master information carrier 31b, the information signal corresponding to the irregularities hard 32
に記録される。 It is recorded in the. 一実施例では、ハードディスク32の初期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石35b In one embodiment, the permanent magnets 35b when recording the initial magnetization direction of the hard disk 32, the information signal
により印加する磁界の方向とを逆にした。 It was reversed and the direction of the magnetic field applied by.

【0053】以上の手順により、ハードディスク32の両面に短時間でプリフォーマット記録を行うことができる。 [0053] By the above procedure, it is possible to perform the preformat recording in a short time on both sides of the hard disk 32. マスター情報担体に形成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化するのに永久磁石を用いる代わりに、電磁石を用いてもよい。 Instead of using a permanent magnet to magnetize the ferromagnetic film of the protruding portion surface of the uneven pattern formed on the master information carrier, electromagnets may also be used. また、永久磁石とマスター情報担体との間に上フランジ33または下フランジ34が介在している状態でマスター情報担体表面の強磁性薄膜を磁化することになるので、上フランジ33および下フランジ34の材質は黄銅鋼等の非磁性材であることが好ましい。 Also, since the magnetizing ferromagnetic thin film of the master information carrier surface in a state where the upper flange 33 or the lower flange 34 is interposed between the permanent magnet and the master information carrier, the upper flange 33 and lower flange 34 it is preferable material is a non-magnetic material such as brass steel.

【0054】本実施形態において、磁気記録媒体がハードディスクでなくフレキシブルディスクである場合、マスター情報担体に設けた貫通孔が大きいとフレキシブルディスクが貫通孔に吸い込まれて変形し、プリフォーマット記録が正確な場所に行われなかったり、記録されるべき信号が欠落することになる。 [0054] In the present embodiment, when the magnetic recording medium is a flexible disk rather than a hard disk, to deform the through hole formed in the master information carrier is large flexible disk is drawn into the through-hole, preformat recording is correct or not done in place so that the signal to be recorded is missing. 従って、前述したように貫通孔の大きさはできるだけ小さく、かつ、できるだけ多くの貫通孔を設けることが好ましい。 Therefore, the size of the through-holes as described above is as small as possible, and it is preferable to provide as many through holes. このようにすることにより、ハードディスクだけでなくフレキシブルディスクにも信頼性の高いプリフォーマット記録を行うことができる。 By doing so, even in the flexible disk not only the hard disk can be performed with high reliability preformat recording. また、本実施形態は、磁気記録媒体の両側にマスター情報担体を配置するので、磁気記録媒体の両面に短時間で効率良くプリフォーマット記録を行うことができ、生産性の向上に寄与し得る。 Further, the present embodiment, since the arrangement of the master information carrier on both sides of the magnetic recording medium, can be performed efficiently preformat recording in a short time on both sides of the magnetic recording medium, which can contribute to improvement in productivity.

【0055】(実施の形態2)図7は、マスター情報担体に形成された情報信号を磁気記録媒体に記録するための本発明による装置の第2実施形態を示す断面図である。 [0055] (Embodiment 2) FIG. 7 is a sectional view showing a second embodiment of a device according to the invention for recording an information signal formed on the master information carrier into a magnetic recording medium. 図中、71はマスター情報担体、72はハードディスク、73は上フランジ、74は下フランジ、75は永久磁石、70は弾性板である。 In the figure, 71 is the master information carrier, 72 hard disks, the upper flange 73, the lower flange 74, 75 is a permanent magnet, 70 is an elastic plate. また76は排気装置、7 The 76 exhaust system, 7
7は三方弁、78は排気ダクト、79は上フランジ73 7 three-way valve, 78 exhaust duct, 79 is the upper flange 73
と下フランジ74を固定するためのボルトである。 And a bolt for fixing the lower flange 74.

【0056】マスター情報担体71の表面には、例えば図6(a)に示すように、情報信号に対応した微細な凹凸形状が形成された領域62が所定の角度間隔で設けられている。 [0056] the surface of the master information carrier 71 is, for example, as shown in FIG. 6 (a), area 62 fine irregularities corresponding to information signals are formed are provided at predetermined angular intervals. この領域に記録される情報信号の具体例は、 Specific examples of the information signal recorded in this area,
第1実施形態と同様に図2に示されている。 Similar to the first embodiment shown in FIG. このような凹凸形状は、第1実施形態で説明したように、表面粗度が細かく平坦性の良いガラス基板表面にCo等で構成される強磁性薄膜をスパッタリング法により成膜した後、 Such irregularities, as described in the first embodiment, after forming by sputtering consists ferromagnetic thin film of Co or the like on the surface roughness finer good glass substrate surface flatness,
例えばフォトリソグラフィ法のようなレーザビームまたは電子ビームを用いたリソグラフィ技術を用いてレジスト膜を露光、現像した後ドライエッチング等によって形成される。 For example exposure of a resist film by using the lithography technique using a laser beam or an electron beam, such as a photolithography method, are formed by dry etching or the like after development.

【0057】図6に示すように、本実施形態では、マスター情報担体61の情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域62および外周部(図6(a)の白ヌキ部分)の表面高さに比べて、他の領域63(図6(a) [0057] As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the surface 62 and the peripheral region uneven shape corresponding to the information signal is formed of the master information carrier 61 (white portion in FIG. 6 (a)) than the height, other regions 63 (FIGS. 6 (a)
のハッチング部分)の表面高さを低くしてある。 The are to lower the surface height of the hatched portion). 以下、 Less than,
この領域63を凹部領域という。 The region 63 of the recess region. 図6(b)は、図6 6 (b) is, FIG. 6
(a)における円周方向の一点鎖線A−Aに沿う断面を示している。 It shows a section taken along chain line A-A one point in the circumferential direction in (a). 領域62上には、例えば図2に示すような情報信号に対応した凹凸形状が形成されている。 On region 62, the concavo-convex shape corresponding to the information signal as shown in FIG. 2 for example, is formed. この凹凸形状を前述のようにして形成した後、凹部領域63を機械加工、超音波加工、レーザ加工等の公知の加工方法を用いて形成する。 After forming the uneven shape as described above, machining a recessed region 63, ultrasonic machining, formed by a known processing method laser processing. 凹凸形状が形成された領域62と凹部領域63との段差は、マスター情報担体61の基板の厚さにもよるが数10μm以上、好ましくは100μm Step between the irregularities formed regions 62 and recessed areas 63, also depends the number 10μm or more in the thickness of the substrate of the master information carrier 61, preferably 100μm
以上とする。 And more.

【0058】マスター情報担体61に形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際に、マスター情報パターンの中心をハードディスクの中心に合わせて密着させる必要がある。 [0058] When recording an information signal formed on the master information carrier 61 in the hard disk is a magnetic recording medium, there the center of the master information pattern must be brought into close contact in accordance with the center of the hard disk. 本実施形態のマスター情報担体61内周部にも第1実施形態と同様に、図6に示すようなマーカー64が形成され、これによってハードディスクの内周が位置合わせされる。 Similar to the embodiment of the master information carrier 61 inside in the circumferential portion to the first embodiment, is formed marker 64 as shown in FIG. 6, whereby the circumferential inner hard disk are aligned. この場合も、マーカーの形成位置はマスター情報担体61内周部に限らず、ハードディスクの外周を位置合わせするように、マスター情報担体61の外周部にマーカーを形成してもよい。 Again, the formation position of the marker is not limited to the peripheral portion within the master information carrier 61, so as to align the outer periphery of the hard disk may be formed a marker on an outer peripheral portion of the master information carrier 61.

【0059】本実施形態において、マスター情報担体に形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する手順を図7および8を用いて説明する。 [0059] In this embodiment, a procedure for recording an information signal formed on the master information carrier into a hard disk which is a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS. 7 and 8. 本実施形態では、マスター情報担体71の情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク7 In the present embodiment, a region in which uneven shape corresponding to the information signal of the master information carrier 71 is formed a hard disk 7
2とを大気圧を利用して均一に密着させ、さらにマスター情報担体71とハードディスク72とを機械的に圧接させる。 And 2 by using the atmospheric pressure is uniformly close contact, to further mechanically pressed against the master information carrier 71 and the hard disk 72. 情報信号に対応した凹凸形状が形成されていない凹部領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領域の表面高さよりも低くしておくことによって、マスター情報担体71とハードディスク72との間に空隙ができる。 The surface height of the recessed region having features corresponding to the information signal is not formed, by keeping lower than the surface height of the area where unevenness is formed, between the master information carrier 71 and the hard disk 72 it is a void in. この空隙の空気を排気することによって、マスター情報担体71の情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク72とが密着する。 By evacuating the air in the gap, the region and the hard disk 72 having features corresponding to the information signal of the master information carrier 71 is formed is in close contact. この後、永久磁石75を用いて、マスター情報担体に形成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化させることにより、凹凸形状に対応した情報信号をハードディスク72に記録する。 Thereafter, using a permanent magnet 75, by magnetizing the ferromagnetic film of the protruding portion surface of the uneven pattern formed on the master information carrier, the information signal corresponding to the uneven shape recorded on the hard disk 72. 以下に手順を詳しく述べる。 Detailing the procedure below.

【0060】まず、図5に示すように、永久磁石52を用いてハードディスク72を円周方向に沿って矢印51 [0060] First, as shown in FIG. 5, along the hard 72 in the circumferential direction using a permanent magnet 52 arrow 51
の方向に予め磁化させておく。 Allowed to pre-magnetized in the direction. 次に、図7に示すように、下フランジ74に弾性板70、ハードディスク7 Next, as shown in FIG. 7, the elastic plate 70 on the lower flange 74, a hard disk 7
2、マスター情報担体71を順番に重ねる。 2, superimposing the master information carrier 71 in order. 弾性板70 Elastic plate 70
の中央にはハードディスク72と同程度の大きさの貫通孔が形成されている。 The center of the through hole of approximately the same size as the hard disk 72 is formed. マスター情報担体71をハードディスク72に重ねる際は、前述のマーカー(図6の6 When superimposing the master information carrier 71 in the hard disk 72, the aforementioned markers (6 in FIG. 6
4)をハードディスク72の内周に合わせる。 4) Fit the inner periphery of the hard disk 72. 最後にマスター情報担体71上に弾性板70および上フランジ7 Finally elasticity on the master information carrier 71 plate 70 and the upper flange 7
3を重ねる。 3 overlay. 弾性板70には、シリコンゴム等の弾性を有する種々の材料を用いることができる。 The elastic plate 70, it is possible to use various materials having elasticity such as silicon rubber. 三方弁77を操作して、マスター情報担体71の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていない凹部領域と、ハードディスク72との間の空気を排気装置76により排気する。 By operating the three-way valve 77, a recessed region having features corresponding to the information signal of the master information carrier 71 is not formed, is exhausted by the air exhaust system 76 between the hard disk 72. これによって情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク72とが密着する。 Thus a region in which the concave-convex shape corresponding to the information signal is formed and the hard disk 72 are in close contact. 本実施形態では排気ダクト78が装置の中央に配置してあるため、 Because the present embodiment is an exhaust duct 78 is disposed in the center of the device,
マスター情報担体71の中央での排気コンダクタンスが大きい。 Exhaust conductance at the center of the master information carrier 71 is large. 従って、ハードディスク72の中央孔からの排気による負圧がマスター情報担体71の中央部に大きく作用する一方、外周部にはあまり強く作用せず、その結果、マスター情報担体71の外周部とハードディスクとの密着性が悪くなる可能性がある。 Thus, while acting largely in the central portion of the negative pressure by the exhaust master information carrier 71 from the central hole of the hard disk 72 does not act so strongly in the outer peripheral portion, as a result, the outer peripheral portion and the hard disk of the master information carrier 71 there is a possibility that the adhesion is deteriorated.

【0061】そこで、本実施形態では、上フランジ73 [0061] Therefore, in this embodiment, the upper flange 73
とマスター情報担体71との間、および、下フランジ7 Between the master information carrier 71 and, and the lower flange 7
4とハードディスク72との間に弾性板70をそれぞれ設け、さらに上フランジ73と下フランジ74とをボルト79を用いて接続している。 4 and respectively the elastic plate 70 in between the hard disk 72, and further connected to the upper flange 73 and lower flange 74 with bolts 79. そして、ボルト79の締め付けトルクを調整することにより、マスター情報担体71とハードディスク72とが適切に圧接されるようにしている。 By adjusting the tightening torque of the bolt 79, and the master information carrier 71 and the hard disk 72 is to be properly pressed. このようにして、マスター情報担体71の情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク72とが均一に密着する。 In this way, the region and the hard disk 72 having features corresponding to the information signal of the master information carrier 71 is formed is uniformly adhered.

【0062】最後に図8に示すように、永久磁石75を上フランジ73に平行に、かつ円周方向に沿って回すことにより、直流励磁磁界81を印加する。 [0062] Finally, as shown in FIG. 8, parallel permanent magnets 75 in the upper flange 73, and by turning in the circumferential direction, applying a DC excitation field 81. この操作により、マスター情報担体71に形成された情報信号に対応した凹凸形状の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応した情報信号がハードディスク72に記録される。 This operation is a ferromagnetic thin film is magnetized in the surface of the protrusion of the unevenness corresponding to the information signal formed on the master information carrier 71, the information signal corresponding to the irregular shape is recorded on the hard disk 72. 前述のように、ハードディスク72はあらかじめ永久磁石等を用いて円周方向に初期磁化させておくが、 As described above, the hard disk 72 is allowed to initially magnetized in the circumferential direction in advance using a permanent magnet, etc., but
この初期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石75により印加する磁界の方向とは同一であっても逆であってもよい。 And the initial magnetization direction may be reversed be the same to the direction of the magnetic field applied by the permanent magnet 75 when recording information signals. 一実施例では逆方向とした。 It was reverse in one embodiment. なお、第1 It should be noted that the first
実施形態でも述べたように、永久磁石とマスター情報担体との間に上フランジ73が介在している状態でマスター情報担体表面の強磁性薄膜を磁化することになるので、上フランジ73の材質は黄銅鋼等の非磁性材料であることが好ましい。 As described in the embodiment, it means to magnetize the ferromagnetic film of the master information carrier surface in a state where the upper flange 73 is interposed between the permanent magnet and the master information carrier, the material of the upper flange 73 it is preferably a non-magnetic material such as brass steel.

【0063】上述のように、本実施形態ではマスター情報担体の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていない領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領域の表面高さよりも低くすることにより、マスター情報担体とハードディスクとの間に空隙をつくる。 [0063] As described above, the surface height of the area where uneven shape corresponding to the information signal of the master information carrier is not formed in this embodiment, is lower than the surface height of the area where unevenness is formed it allows creating a gap between the master information carrier and the hard disk. そして、この空隙の空気を排気することによって凹凸形状が形成されている領域をハードディスクと密着させる。 Then, the region where the uneven shape is formed by evacuating the air in the void is brought into close contact with the hard disk. さらに、マスター情報担体とハードディスクを機械的に圧接させる手段を設けることによって、信頼性の一層高いプリフォーマット記録を可能にしている。 Furthermore, by providing a means for mechanically pressing the master information carrier and the hard disk, and enables a higher pre-format recording reliability.

【0064】 [0064]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、マスター情報担体の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分に貫通孔を設け、この貫通孔からマスター情報担体と磁気記録媒体との間に存在する空気を排気することにより、あるいは、凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを、 According to the present invention as described above, according to the present invention, at least a portion in the through hole of the region having features corresponding to the information signal of the master information carrier is not formed is provided, the master information carrier and the magnetic from the through-hole by evacuating the air present between the recording medium, or the surface height of at least a portion of a region where unevenness is not formed,
凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くして、 And lower than the surface height of the irregularities formed region,
凹凸形状が形成されていない領域と磁気記録媒体との間に存在する気体を排気することにより、マスター情報担体と磁気記録媒体とを均一に密着させ、信頼性の高いプリフォーマット記録を実現することができる。 By evacuating the gas existing between the irregularities are not formed area and the magnetic recording medium, the master information carrier and the magnetic recording medium is uniformly close contact, to realize a highly reliable preformat recording can.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の第1実施形態に係るマスター情報担体の構造を模式的に示す平面図 Plan view of the structure of the master information carrier shown schematically according to a first embodiment of the present invention; FIG

【図2】図1のA部拡大図であり、マスター情報担体の表面に形成された情報信号に対応した凹凸形状パターンの一例を示す Figure 2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1, showing an example of the irregular shape pattern corresponding to information signals formed on the surface of the master information carrier

【図3】図1のマスター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す図 FIG. 3 is a diagram of the information signal of the master information carrier of FIG. 1 shows a configuration of a master information magnetic recording apparatus for recording on a magnetic recording medium

【図4】図3のマスター情報磁気記録装置を用いてマスター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法を示す図 Shows a method of recording information signals of the master information carrier into a magnetic recording medium using a master information magnetic recording apparatus of FIG. 3. FIG

【図5】磁気記録媒体を予め初期磁化する方法の一例を示す図 5 is a diagram showing an example of a method for pre-initial magnetization of the magnetic recording medium

【図6】本発明の第2実施形態に係るマスター情報担体の平面構造および断面構造を模式的に示す図 6 is a diagram schematically showing a planar structure and a sectional structure of a master information carrier according to the second embodiment of the present invention

【図7】図6のマスター情報担体の情報を磁気記録媒体に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す図 7 is a diagram showing a configuration of a master information magnetic recording apparatus information of the master information carrier of Figure 6 is recorded on the magnetic recording medium

【図8】図7のマスター情報磁気記録装置を用いてマスター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法を示す図 8 shows a method of recording information signals of the master information carrier into a magnetic recording medium using a master information magnetic recording apparatus of FIG. 7

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11,31a,31b,61,71 マスター情報担体 12 62 情報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域 13,39 貫通孔 14,64 ハードディスク内周位置合わせ用マーカー 32,72 ハードディスク 33,73 上フランジ 34,74 下フランジ 35a,35b,75 永久磁石 36a,36b,76 排気装置 37a,37b,77 三方弁 38a,38b,78 排気ダクト 30 Oリング 41a,41b,81 直流励磁磁界 63 凹部領域 70 弾性板 79 ボルト 11,31a, 31b, 61,71 master information carrier 12 62 information signals uneven shape corresponding to the formed regions 13,39 through holes 14, 64 a hard disk in the circumferential positioning marker 32, 72 hard disks 33, 73 on flange 34 and 74 below the flange 35a, 35b, 75 the permanent magnets 36a, 36b, 76 exhaust system 37a, 37b, 77 three-way valve 38a, 38b, 78 the exhaust duct 30 O-ring 41a, 41b, 81 a DC magnetic excitation field 63 recessed area 70 elastic plate 79 bolt

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東間 清和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 石田 達朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Touma Seiwa Osaka Prefecture Kadoma Oaza Kadoma 1006 address Matsushita Electric industrial Co., Ltd. in the (72) inventor Tatsuro Ishida Osaka Prefecture Kadoma Oaza Kadoma 1006 address Matsushita Electric industrial Co., Ltd. in

Claims (9)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 基体の表面に、情報信号に対応する凹凸形状が形成された領域と、前記凹凸形状が形成されていない領域とが設けられ、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成されたマスター情報担体において、前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分に貫通孔を設けたことを特徴とするマスター情報担体。 To 1. A substrate surface, and areas where irregularities formed corresponding to the information signal, and the uneven shape is not formed region is provided, the ferromagnetic thin film on at least the surface of the protrusion of the unevenness in the master information carrier but is formed, the master information carrier, characterized in that a least a portion into the through hole of the concave-convex shape is not formed region.
  2. 【請求項2】 基体の表面に、情報信号に対応する凹凸形状が形成された領域と、前記凹凸形状が形成されていない領域とが設けられ、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成されたマスター情報担体において、前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを、前記凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くしたことを特徴とするマスター情報担体。 To 2. A substrate surface, and areas where irregularities formed corresponding to the information signal, and the uneven shape is not formed region is provided, the ferromagnetic thin film on at least the surface of the protrusion of the unevenness the master information carrier but in the master information carrier is formed, the surface height of at least a portion of the concavo-convex shape is not formed region, characterized by being lower than the surface height of the irregularities formed region .
  3. 【請求項3】 基体の表面に、情報信号に対応する凹凸形状が形成された領域と、前記凹凸形状が形成されていない領域とが設けられ、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成されたマスター情報担体を用いて、強磁性層を有する磁気記録媒体に前記マスター情報担体の情報信号を記録するマスター情報磁気記録装置であって、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを密着させる密着手段と、 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行うための手段と、 前記マスター情報担体の凸部表面に形成された強磁性薄膜を励磁するための磁界を印加する磁界印加手段とを備えているマスター情報磁気記録装置。 To 3. A substrate surface, and areas where irregularities formed corresponding to the information signal, and the uneven shape is not formed region is provided, the ferromagnetic thin film on at least the surface of the protrusion of the unevenness there using a master information carrier that has been formed, a master information magnetic recording apparatus for recording information signals of the master information carrier into a magnetic recording medium having a ferromagnetic layer, and the master information carrier and the magnetic recording medium applying an adhesion means for adhering includes means for aligning the said master information carrier said magnetic recording medium, a magnetic field for exciting the ferromagnetic thin film formed on the surface of the protrusion of the master information carrier master information magnetic recording apparatus and a magnetic field applying means.
  4. 【請求項4】 前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分に貫通孔が設けられたマスター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の貫通孔を通して前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気することにより、前記マスター情報担体の凹凸形状と前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されている請求項3記載のマスター情報磁気記録装置。 4. using a master information carrier through holes in at least a portion of the concavo-convex shape is not formed region is provided, wherein the contact means is a state in which said master information carrier said contacting the magnetic recording medium in the by evacuating the gas existing between the through holes of the master information carrier and the master information carrier and the magnetic recording medium, so as to close contact with said master information carrier of the uneven shape and the magnetic recording medium master information magnetic recording apparatus according to claim 3, wherein being configured.
  5. 【請求項5】 前記凹凸形状が形成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを前記凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くしたマスター情報担体を用い、前記密着手段は、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを接触させた状態で、前記マスター情報担体の凹凸形状が形成されていない領域と前記磁気記録媒体との間に存在する気体を排気することにより、前記マスター情報担体の凹凸形状と前記磁気記録媒体とを密着させるように構成されている請求項3記載のマスター情報磁気記録装置。 5. Using the master information carrier was lower than the surface height of the at least a portion surface height of the concave-convex shape is not formed region the uneven shape formed region, said contact means, the master while in contact with the information carrier and the magnetic recording medium, by evacuating the gas existing between the master information carrier irregularities are not formed area between said magnetic recording medium, the master information carrier master information magnetic recording apparatus configured claim 3 so as to contact irregularities with a said magnetic recording medium.
  6. 【請求項6】 前記密着手段が、前記マスター情報担体および前記磁気記録媒体を挟み付ける一対のフランジと、前記一対のフランジの周部を互いに締め付ける手段とを備えている請求項3記載のマスター情報磁気記録装置。 Wherein said contact means, said master information carrier and the magnetic and a pair of flanges sandwiching the recording medium, the master information according to claim 3, characterized in that a means for tightening together the peripheral portions of the pair of flanges magnetic recording apparatus.
  7. 【請求項7】 前記一対のフランジと前記マスター情報担体および前記磁気記録媒体との間の少なくとも一方に介装された弾性部材をさらに備えている請求項6記載のマスター情報磁気記録装置。 7. A master information magnetic recording apparatus according to claim 6, wherein further comprising a interposed an elastic member on at least one between said pair of flanges and the master information carrier and the magnetic recording medium.
  8. 【請求項8】 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行うための手段として、前記マスター情報担体の内周部に、前記磁気記録媒体の内周に合わせてマーカーが配置されている請求項3記載のマスター情報磁気記録装置。 8. As a means for aligning and said master information carrier said magnetic recording medium, wherein the inner peripheral portion of the master information carrier, is arranged a marker in accordance with the inner circumference of the magnetic recording medium master information magnetic recording apparatus according to claim 3, wherein there.
  9. 【請求項9】 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との位置合わせを行うための手段として、前記マスター情報担体の外周部に、前記磁気記録媒体の外周に合わせてマーカーが配置されている請求項3記載のマスター情報磁気記録装置。 9. As a means for aligning and said master information carrier said magnetic recording medium, according to the the outer circumferential portion of the master information carrier, the marker in accordance with the outer periphery of the magnetic recording medium is disposed master information magnetic recording apparatus of claim 3, wherein.
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