JPH11175973A - Master information magnetic recorder - Google Patents
Master information magnetic recorderInfo
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- JPH11175973A JPH11175973A JP33736397A JP33736397A JPH11175973A JP H11175973 A JPH11175973 A JP H11175973A JP 33736397 A JP33736397 A JP 33736397A JP 33736397 A JP33736397 A JP 33736397A JP H11175973 A JPH11175973 A JP H11175973A
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- information carrier
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大容量で高記録密
度の磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体に所定
の情報信号を予め記録するために用いられるマスター情
報担体を用いて、磁気記録媒体に所定の情報信号を記録
するためのマスター情報磁気記録装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium using a master information carrier for previously recording a predetermined information signal on a magnetic recording medium used in a magnetic recording / reproducing apparatus having a large capacity and a high recording density. The present invention relates to a master information magnetic recording device for recording a predetermined information signal on a medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔ／ｉｎ2 （４．６５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2 ）を超える装
置が商品化されており、数年後には、面記録密度が１０
Ｇｂｉｔ／ｉｎ2 （１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2 ）の装置
の実用化が議論されるほどの急激な技術の進歩が認めら
れる。2. Description of the Related Art At present, a magnetic recording / reproducing apparatus has a tendency to have a high recording density in order to realize a small-sized and large-capacity apparatus. In the field of hard disk drives, which are typical magnetic recording / reproducing devices, the areal recording density is already 3 Gb.
It has been commercialized that it has a recording density exceeding 10 ft / it 2 (4.65 Mbit / mm 2 ).
There is a rapid technological advancement that makes practical the practical use of a Gbit / in 2 (15.5 Mbit / mm 2 ) device.
【０００３】このような高記録密度化が可能となった技
術的背景として、磁気記録媒体及びヘッド・ディスクイ
ンターフェースの性能の向上やパーシャルレスポンス等
の新規な信号処理方式の出現による線記録密度の向上が
挙げられる。しかし、近年では、トラック密度の増加傾
向が線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記録密度
の向上の主な要因となっている。これは、従来の誘導型
磁気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れた磁気
抵抗素子型ヘッドの実用化によるものである。現在、磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化により、わずか数μｍのト
ラック幅信号を高いＳ／Ｎ比をもって再生することが可
能となっている。一方、今後のさらなるヘッド性能の向
上に伴い、近い将来には、トラックピッチがサブミクロ
ン領域に達するものと予想されている。[0003] The technical background that has enabled such a high recording density is to improve the performance of magnetic recording media and head-disk interfaces, and to improve the linear recording density by the emergence of new signal processing methods such as partial response. Is mentioned. However, in recent years, the increasing trend of the track density has greatly exceeded the increasing trend of the linear recording density, which is a major factor in improving the areal recording density. This is due to the practical use of a magnetoresistive element type head which has much better reproduction output performance than a conventional induction type magnetic head. At present, the practical use of a magnetoresistive element type head makes it possible to reproduce a track width signal of only a few μm with a high S / N ratio. On the other hand, it is expected that the track pitch will reach the submicron region in the near future with further improvement in head performance in the future.
【０００４】磁気ヘッドがこのような狭いトラックを正
確に走査し、高いＳ／Ｎ比をもって信号を再生するため
には、磁気ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役
割を果たす。このようなトラッキングサーボ技術に関し
ては、例えば、『山口：磁気ディスク装置の高精度サー
ボ技術、日本応用磁気学会誌、Vol.20,No.3,pp.771,
（１９９６）』に詳細に記載されている。この文献によ
れば、現在のハードディスクドライブでは、ディスクの
１周、すなわち角度にして３６０度中に、一定の角度間
隔でトラッキング用サーボ信号、アドレス情報信号、再
生クロック信号等が記録された領域（以下『プリフォー
マット記録領域』という。）が設けられている。これに
より、磁気ヘッドは、一定の間隔でこれらの信号を再生
して自己の位置を確認し、磁気ディスクの径方向におけ
る変位を必要に応じて修正しながら正確にトラック上を
走査することができる。In order for the magnetic head to accurately scan such a narrow track and reproduce a signal with a high S / N ratio, the tracking servo technique of the magnetic head plays an important role. Regarding such tracking servo technology, for example, see “Yamaguchi: High Accuracy Servo Technology for Magnetic Disk Drive, Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 20, No. 3, pp. 771,
(1996)]. According to this document, in a current hard disk drive, an area in which a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at regular angular intervals in one round of the disk, that is, in 360 degrees. Hereinafter, referred to as a “preformat recording area”). As a result, the magnetic head reproduces these signals at regular intervals, confirms its position, and can accurately scan the track while correcting the radial displacement of the magnetic disk as necessary. .
【０００５】上記したトラッキング用サーボ信号、アド
レス情報信号、再生クロック信号等のプリフォーマット
情報信号は、磁気ヘッドが正確にトラック上を走査する
ための基準信号となるものであるから、その記録時に
は、正確なトラック位置決め精度が要求される。例え
ば、『植松、他：メカ・サーボ、ＨＤＩ技術の現状と展
望、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、93-5, pp.3
5 （１９９６）』に記載された内容によれば、現在のハ
ードディスクドライブでは、磁気ディスク及び磁気ヘッ
ドをドライブ内に組み込んだ後、専用のサーボトラック
記録装置を用いて、ドライブ内に組み込まれた固有の磁
気ヘッドにより、トラッキング用サーボ信号、アドレス
情報信号、再生クロック信号等の記録が行われている。
この場合、ドライブ内に組み込まれた固有の磁気ヘッド
を、サーボトラック記録装置に装備された外部アクチュ
エータによって精密に位置制御しながらプリフォーマッ
ト記録を行うことにより、必要なトラック位置決め精度
が実現されている。The preformat information signals such as the tracking servo signal, the address information signal, and the reproduction clock signal serve as reference signals for the magnetic head to accurately scan the track. Accurate track positioning accuracy is required. For example, "Uematsu, et al .: Current Status and Prospects of Mechanical Servo, HDI Technology, 93rd Meeting of the Japan Society of Applied Magnetics, 93-5, pp.3
5 (1996)], in a current hard disk drive, after a magnetic disk and a magnetic head are built in the drive, a unique servo track recording device is used to separate the magnetic disk and the magnetic head. Recording of a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like is performed by the magnetic head.
In this case, the necessary track positioning accuracy is realized by performing preformat recording while precisely controlling the position of the unique magnetic head incorporated in the drive by an external actuator provided in the servo track recording device. .
【０００６】しかし、専用のサーボトラック記録装置を
用い、ドライブ内に組み込まれた固有の磁気ヘッドによ
ってプリフォーマット記録を行う従来の技術には、以下
のような問題点があった。However, the conventional technique of performing preformat recording by using a dedicated servo track recording device and a unique magnetic head incorporated in a drive has the following problems.
【０００７】第１に、磁気ヘッドによる記録は、基本的
に磁気ヘッドと磁気記録媒体との相対的な移動による線
記録であるため、専用のサーボトラック記録装置を用
い、磁気ヘッドを精密に位置制御しながら記録を行う上
記方法では、プリフォーマット記録に多くの時間を要す
る。さらに、専用のサーボトラック記録装置はかなり高
価であるため、プリフォーマット記録に要するコストが
高くなる。First, recording by a magnetic head is basically linear recording by relative movement between a magnetic head and a magnetic recording medium. Therefore, a dedicated servo track recording device is used to precisely position the magnetic head. In the above-described method in which recording is performed while controlling, much time is required for preformat recording. Further, since the dedicated servo track recording device is considerably expensive, the cost required for preformat recording increases.
【０００８】この問題は、磁気記録再生装置のトラック
密度が向上するほど深刻になる。ディスクの径方向のト
ラック数が増加することに加えて、以下の理由によって
もプリフォーマット記録に要する時間が長くなる。すな
わち、トラック密度が向上するほど磁気ヘッドの位置決
めに高精度が要求されるため、ディスクの１周において
トラッキング用サーボ信号等の情報信号を記録するプリ
フォーマット記録領域を設ける角度間隔を小さくしなけ
ればならない。従って、高記録密度の装置ほどディスク
にプリフォーマット記録すべき信号量が多くなり、多く
の時間を要することになる。This problem becomes more serious as the track density of the magnetic recording / reproducing apparatus increases. In addition to the increase in the number of tracks in the radial direction of the disk, the time required for preformat recording also increases for the following reasons. That is, the higher the track density, the higher the accuracy of the positioning of the magnetic head is required. Therefore, it is necessary to reduce the angular interval for providing a preformat recording area for recording information signals such as a servo signal for tracking in one round of the disk. No. Therefore, the higher the recording density of the device, the larger the amount of signals to be preformat-recorded on the disk, and more time is required.
【０００９】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向に
あるものの、依然として３．５インチや５インチの大径
ディスクに対する需要も多い。ディスクの記録面積が大
きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くな
る。このような大径ディスクのコストパフォーマンスに
関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく
影響している。Although the magnetic disk medium tends to be smaller in diameter, there is still a great demand for a 3.5-inch or 5-inch large-diameter disk. The larger the recording area of the disc, the larger the signal amount to be preformat-recorded. The time required for preformat recording also greatly affects the cost performance of such a large-diameter disk.
【００１０】第２に、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間
のスペーシング、及び、磁気ヘッドの先端ポール形状に
起因して記録磁界が広がるため、プリフォーマット記録
されたトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠ける。Second, since the recording magnetic field expands due to the spacing between the magnetic head and the magnetic recording medium and the shape of the tip pole of the magnetic head, the magnetization transition at the end of the track on which preformat recording has been performed is reduced. Lack of steepness.
【００１１】磁気ヘッドによる記録は、基本的に磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体との相対的な移動による動的な線記
録であるため、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間のイン
ターフェース性能の観点から、磁気ヘッドと磁気記録媒
体との間に一定量のスペーシングを設けざるを得ない。
また、現在の磁気ヘッドは、通常、記録と再生を別々に
担う２つのエレメントを有する構造であるため、記録ギ
ャップの後縁側ポール幅が記録トラック幅に相当し、前
縁側ポール幅は記録トラック幅の数倍以上と大きくなっ
ている。Since the recording by the magnetic head is basically a dynamic linear recording by the relative movement between the magnetic head and the magnetic recording medium, from the viewpoint of the interface performance between the magnetic head and the magnetic recording medium, A certain amount of spacing must be provided between the magnetic head and the magnetic recording medium.
In addition, since the current magnetic head generally has a structure having two elements that separately perform recording and reproduction, the trailing edge pole width of the recording gap corresponds to the recording track width, and the leading edge pole width is the recording track width. More than several times larger.
【００１２】上記２つの問題点は、いずれも、記録トラ
ック端部において記録磁界の広がりを生じさせる要因と
なる。その結果、プリフォーマット記録された記録トラ
ック端部の磁化遷移が急峻性に欠ける、あるいはトラッ
ク端両側に消去領域が生じるといった問題が生じる。現
在のトラッキングサーボ技術では、磁気ヘッドがトラッ
クを外れて走査した際の再生出力の変化量に基づいて磁
気ヘッドの位置を検出している。このため、サーボ領域
間に記録されたデータ信号を再生する際のように、磁気
ヘッドがトラック上を正確に走査したときのＳ／Ｎ比に
優れることだけではなく、磁気ヘッドがトラックを外れ
て走査したときの再生出力変化量、すなわちオフトラッ
ク特性が急峻であることが要求される。従って、上記の
ようにプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミクロントラック
記録における正確なトラッキングサーボ技術の実現が困
難になる。Both of the above two problems are factors that cause the recording magnetic field to spread at the end of the recording track. As a result, there arises a problem that the magnetization transition at the end of the recording track on which the preformat recording is performed lacks sharpness, or an erased area is formed on both sides of the track end. In the current tracking servo technology, the position of the magnetic head is detected based on the amount of change in the reproduction output when the magnetic head scans off the track. Therefore, not only is the magnetic head excellent in the S / N ratio when the magnetic head scans the track accurately as in the case of reproducing the data signal recorded between the servo areas, but also the magnetic head moves off the track. It is required that the reproduction output change amount during scanning, that is, the off-track characteristic is steep. Therefore, if the magnetization transition at the end of the track on which preformat recording is performed lacks sharpness as described above, it will be difficult to realize an accurate tracking servo technique in future submicron track recording.
【００１３】上記のような磁気ヘッドによるプリフォー
マット記録における２つの問題点を解決するため、基体
の表面にプリフォーマット情報信号に対応する凹凸形状
が形成され、この凹凸形状の少なくとも凸部の表面が強
磁性材料で形成されているマスター情報担体の表面を、
磁気記録媒体の表面に接触させることにより、マスター
情報担体表面の凹凸形状に対応する磁化パターンを磁気
記録媒体に記録する技術が提案されている。このプリフ
ォーマット記録技術によれば、記録媒体のＳ／Ｎ比、イ
ンターフェース性能等の他の重要性能を犠牲にすること
なく、良好なプリフォーマット記録を効率的に行うこと
ができる。In order to solve the two problems in the preformat recording by the magnetic head as described above, an uneven shape corresponding to the preformat information signal is formed on the surface of the substrate, and at least the surface of the convex portion of the uneven shape is formed. The surface of the master information carrier made of ferromagnetic material,
A technique has been proposed in which a magnetic pattern corresponding to the uneven shape of the surface of a master information carrier is recorded on a magnetic recording medium by contacting the surface of the magnetic recording medium. According to this preformat recording technique, good preformat recording can be efficiently performed without sacrificing other important performances such as the S / N ratio of the recording medium and interface performance.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のマスタ
ー情報担体を用いたプリフォーマット記録技術を真に効
果的なものとするためには、プリフォーマットの記録時
に、マスター情報担体に形成されたプリフォーマット情
報信号に対応する凹凸形状のパターンの幾何学的中心
と、磁気記録媒体をスピンドルモータに取り付けて回転
させたときの回転中心とを合わせる必要がある。両者の
中心ずれがスピンドルモータの回転による偏心よりも大
きくなってしまった場合には、磁気記録媒体に記録され
たトラッキング用サーボ信号が偏心するために良好なト
ラッキングを行うことができないおそれがある。However, in order to make the above-mentioned preformat recording technique using a master information carrier truly effective, the preformat recording technique performed on the master information carrier during preformat recording is required. It is necessary to match the geometric center of the concavo-convex pattern corresponding to the format information signal with the rotation center when the magnetic recording medium is mounted on the spindle motor and rotated. If the center deviation between them becomes larger than the eccentricity due to the rotation of the spindle motor, there is a possibility that good tracking cannot be performed because the tracking servo signal recorded on the magnetic recording medium is eccentric.
【００１５】本発明は、従来技術における前記課題を解
決するためになされたものであり、マスター情報担体に
形成された凹凸形状パターンの幾何学的中心と磁気記録
媒体の回転中心とを精密に一致させることにより、信頼
性の高いプリフォーマット記録を行うことのできるマス
ター情報磁気記録装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problem in the prior art, and precisely matches the geometric center of the concavo-convex pattern formed on the master information carrier with the rotation center of the magnetic recording medium. It is therefore an object of the present invention to provide a master information magnetic recording device capable of performing highly reliable preformat recording.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るマスター情報磁気記録装置の構成は、
基体の表面に情報信号に対応する凹凸形状が形成され、
前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強磁性薄膜が形成
されたマスター情報担体と、強磁性層を有する磁気記録
媒体とを密着させ、外部磁界を用いて前記マスター情報
担体の凸部表面の強磁性薄膜を磁化させることにより、
前記磁気記録媒体に前記マスター情報担体の前記凹凸形
状に対応する情報信号を記録するマスター情報磁気記録
装置であって、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
体とに両者の位置合わせを行うための手段を設けたこと
を特徴とする。このマスター情報磁気記録装置の構成に
よれば、マスター情報担体に形成された凹凸形状パター
ンの幾何学的中心と磁気記録媒体の中心とを一致させる
ことができるので、偏心の無いプリフォーマット記録を
行うことができる。In order to achieve the above object, a master information magnetic recording apparatus according to the present invention comprises:
An uneven shape corresponding to the information signal is formed on the surface of the base,
A master information carrier in which a ferromagnetic thin film is formed on at least a convex surface of the concave and convex shape and a magnetic recording medium having a ferromagnetic layer are brought into close contact with each other, and a ferromagnetic material on the convex surface of the master information carrier is exposed using an external magnetic field. By magnetizing the thin film,
What is claimed is: 1. A master information magnetic recording apparatus for recording an information signal corresponding to said concavo-convex shape of said master information carrier on said magnetic recording medium, comprising: means for aligning both of said master information carrier and said magnetic recording medium. Is provided. According to the configuration of the master information magnetic recording apparatus, since the geometric center of the concavo-convex pattern formed on the master information carrier and the center of the magnetic recording medium can be matched, preformat recording without eccentricity is performed. be able to.
【００１７】また、前記本発明のマスター情報磁気記録
装置の構成においては、マスター情報担体と磁気記録媒
体との位置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒
体に設けられた所定形状の第１のマーカーと、前記マス
ター情報担体に前記第１のマーカーに合わせて設けら
れ、前記第１のマーカーに対応した形状を有する第２の
マーカーとからなるのが好ましい。In the configuration of the master information magnetic recording apparatus according to the present invention, the means for aligning the master information carrier and the magnetic recording medium is provided in the first magnetic recording medium having a predetermined shape provided on the magnetic recording medium. And a second marker provided on the master information carrier in accordance with the first marker and having a shape corresponding to the first marker.
【００１８】また、前記本発明のマスター情報磁気記録
装置の構成においては、マスター情報担体と磁気記録媒
体との位置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒
体の磁気記録領域外に設けられた強磁性層を有しない非
磁性領域と、前記マスター情報担体に前記非磁性領域に
合わせて設けられ、前記非磁性領域に対応した形状を有
するマーカーとからなるのが好ましい。また、この場合
には、非磁性領域が貫通孔であり、かつ、マーカーの形
状が前記貫通孔の形状と同じであるのが好ましい。Further, in the configuration of the master information magnetic recording apparatus of the present invention, means for positioning the master information carrier and the magnetic recording medium is provided outside the magnetic recording area of the magnetic recording medium. It is preferable to include a nonmagnetic region having no ferromagnetic layer and a marker provided on the master information carrier in conformity with the nonmagnetic region and having a shape corresponding to the nonmagnetic region. In this case, it is preferable that the non-magnetic region is a through hole and the shape of the marker is the same as the shape of the through hole.
【００１９】また、前記本発明のマスター情報磁気記録
装置の構成においては、マスター情報担体と磁気記録媒
体との位置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒
体の磁気記録領域外に設けられた円環状の溝と、前記マ
スター情報担体に前記円環状の溝に合わせて設けられた
マーカーとからなるのが好ましい。また、この場合に
は、マーカーが円環状の溝の内周縁に合わせて配置され
ているのが好ましい。また、あるいは、マーカーが円環
状の溝の外周縁に合わせて配置されているのが好まし
い。Further, in the configuration of the master information magnetic recording apparatus of the present invention, the means for positioning the master information carrier and the magnetic recording medium is provided outside the magnetic recording area of the magnetic recording medium. It is preferable to include an annular groove and a marker provided on the master information carrier so as to match the annular groove. Further, in this case, it is preferable that the marker is arranged in accordance with the inner peripheral edge of the annular groove. Alternatively, it is preferable that the marker is arranged in accordance with the outer peripheral edge of the annular groove.
【００２０】前記本発明のマスター情報磁気記録装置の
構成によれば、磁気記録媒体の中心とマスター情報パタ
ーンの幾何学的中心とを一致させることができるので、
偏心の無いプリフォーマット記録を行うことができる。According to the configuration of the master information magnetic recording apparatus of the present invention, since the center of the magnetic recording medium and the geometric center of the master information pattern can be matched,
Preformat recording without eccentricity can be performed.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を用いて本発明
をさらに具体的に説明する。 〈第１の実施の形態〉図４は本発明の第１の実施の形態
におけるマスター情報磁気記録装置を示す断面図であ
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to embodiments. <First Embodiment> FIG. 4 is a sectional view showing a master information magnetic recording apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【００２２】図４に示すように、下フランジ４３には、
その中央に円形の凹所４３ａが形成されており、凹所４
３ａには円形の弾性板４７が配置されている。弾性板４
７の上にはハードディスク４１が配置されており、ハー
ドディスク４１の上にはマスター情報担体４２が配置さ
れている。ハードディスク４１と弾性板４７には、その
中心部にそれぞれ中心孔４１ａ、４７ａが穿設されてい
る。下フランジ４３の中心部には、ハードディスク４１
の中心孔４１ａと弾性板４７の中心孔４７ａに連通して
排気ダクト４８が接続されており、排気ダクト４８の端
部には排気装置４９が装着されている。これにより、排
気装置４９を始動させて、マスター情報担体４２をハー
ドディスク４１の方向に吸引することができる。また、
マスター情報担体４２の上面周縁部は上フランジ４４に
よって押圧されている。これにより、ハードディスク４
１とマスター情報担体４２とを均一に密着させることが
できる。ここで、下フランジ４３と上フランジ４４と
は、ボルト４５によって固定されている。尚、図４中、
４６は永久磁石であり、この永久磁石４６を用いてハー
ドディスク４１にプリフォーマット情報信号が記録され
る。As shown in FIG. 4, the lower flange 43 has
A circular recess 43a is formed in the center of the recess 43a.
A circular elastic plate 47 is arranged on 3a. Elastic plate 4
7, a hard disk 41 is arranged, and on the hard disk 41, a master information carrier 42 is arranged. The hard disk 41 and the elastic plate 47 are provided with central holes 41a and 47a, respectively, at their central portions. At the center of the lower flange 43, the hard disk 41
An exhaust duct 48 is connected to communicate with the center hole 41a of the elastic plate 47 and the center hole 47a of the elastic plate 47, and an exhaust device 49 is attached to an end of the exhaust duct 48. Thus, the exhaust device 49 can be started, and the master information carrier 42 can be sucked in the direction of the hard disk 41. Also,
The peripheral edge of the upper surface of master information carrier 42 is pressed by upper flange 44. Thereby, the hard disk 4
1 and the master information carrier 42 can be uniformly brought into close contact with each other. Here, the lower flange 43 and the upper flange 44 are fixed by bolts 45. In FIG. 4,
Reference numeral 46 denotes a permanent magnet, and a preformat information signal is recorded on the hard disk 41 using the permanent magnet 46.
【００２３】ハードディスク４１には、マーカーとし
て、強磁性層が成膜されていない非磁性領域４１２が設
けられており、マスター情報担体４２には、ハードディ
スク４１の非磁性領域４１２の位置に合わせてマーカー
４１１が設けられている。The hard disk 41 has a non-magnetic area 412 on which a ferromagnetic layer is not formed as a marker, and the master information carrier 42 has a marker corresponding to the position of the non-magnetic area 412 of the hard disk 41. 411 are provided.
【００２４】このマスター情報磁気記録装置の上方に
は、位置検出用撮像装置４１０が設けられている。これ
により、マスター情報担体４２のマーカー４１１とハー
ドディスク４１の非磁性領域４１２との相対位置を観察
することができる。Above the master information magnetic recording device, a position detecting image pickup device 410 is provided. Thereby, the relative position between the marker 411 of the master information carrier 42 and the non-magnetic area 412 of the hard disk 41 can be observed.
【００２５】図１に示すように、マスター情報担体４２
の表面には、プリフォーマット情報信号に対応した微細
な凹凸形状が形成された領域１２が所定の角度間隔で設
けられている。この領域１２の一部（図１中の領域Ａ）
を拡大したものを図２に示す。図２に示すように、トラ
ッキング用サーボ信号、クロック信号、アドレス情報信
号のそれぞれの領域がトラック長さ方向に順番に配列さ
れている。図２においては、ハッチングを施した部分が
凸部となっており、その凸部表面はＣｏ等の強磁性材料
によって構成されている。As shown in FIG. 1, the master information carrier 42
Are provided at predetermined angular intervals on the surface of the substrate 1 with fine irregularities corresponding to the preformat information signal. Part of this area 12 (area A in FIG. 1)
2 is shown in FIG. As shown in FIG. 2, respective areas of the tracking servo signal, the clock signal, and the address information signal are sequentially arranged in the track length direction. In FIG. 2, the hatched portion is a convex portion, and the surface of the convex portion is made of a ferromagnetic material such as Co.
【００２６】以下に、上記のような情報信号に対応した
微細な凹凸形状をマスター情報担体の表面に形成する方
法について説明する。まず、表面粗度が細かくて平坦性
の良好なガラス基板の表面に、Ｃｏ等からなる強磁性薄
膜をスパッタリング法によって成膜する。次いで、例え
ばフォトリソグラフィ法のようなレーザビーム又は電子
ビームを用いたリソグラフィ技術によってレジスト膜を
露光・現像した後、ドライエッチング等によって凹凸形
状を形成する。あるいは、ガラス基板の表面にレジスト
膜を成膜して、パターニングした後、Ｃｏ等からなる強
磁性薄膜を成膜してレジスト膜を除去する、いわゆるリ
フトオフ法によって凹凸形状を形成することもできる。Hereinafter, a method for forming a fine uneven shape corresponding to the information signal on the surface of the master information carrier will be described. First, a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed on a glass substrate having a fine surface roughness and good flatness by a sputtering method. Next, after exposing and developing the resist film by a lithography technique using a laser beam or an electron beam such as a photolithography method, an uneven shape is formed by dry etching or the like. Alternatively, a concavo-convex shape can be formed by a so-called lift-off method in which a resist film is formed on the surface of a glass substrate, patterned, and then a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed and the resist film is removed.
【００２７】尚、マスター情報担体の表面に凹凸形状を
形成する方法はこれらの方法に限定されるものではな
く、例えば、レーザ、電子ビーム又はイオンビームを用
いて、又は機械加工によって微細な凹凸形状を直接形成
してもよい。また、強磁性薄膜をガラス基板の表面に成
膜する方法も、スパッタリング法に限定されるものでは
なく、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
ＣＶＤ法、めっき法等の従来から行われている一般的な
薄膜形成方法を用いることができる。The method of forming the irregularities on the surface of the master information carrier is not limited to these methods. For example, the irregularities may be formed by using a laser, an electron beam or an ion beam, or by machining. May be formed directly. Further, the method of forming the ferromagnetic thin film on the surface of the glass substrate is not limited to the sputtering method, for example, a vacuum evaporation method, an ion plating method,
A conventional general thin film forming method such as a CVD method or a plating method can be used.
【００２８】マスター情報担体４２の表面のプリフォー
マット情報信号に対応した微細な凹凸形状の凸部表面と
凹部底面との段差は、マスター情報が記録される磁気記
録媒体の表面性及びマスター情報のビットサイズにもよ
るが、一般的には、０．０５μｍ以上に設定される。さ
らに好ましくは、０．１μｍ以上に設定されるのがよ
い。尚、本実施との形態においては、０．５μｍとし
た。The step between the convex surface and the concave bottom surface of the fine irregularities corresponding to the preformat information signal on the surface of the master information carrier 42 depends on the surface property of the magnetic recording medium on which the master information is recorded and the bit of the master information. Although it depends on the size, it is generally set to 0.05 μm or more. More preferably, the thickness is set to 0.1 μm or more. In this embodiment, the thickness is set to 0.5 μm.
【００２９】マスター情報担体４２の凹凸形状の凸部表
面を構成する強磁性薄膜材料はＣｏに限定されるもので
はなく、硬質磁性材料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料
を問わず、多くの種類の磁性材料を用いることができ
る。マスター情報が記録される磁気記録媒体の種類によ
らずに十分な記録磁界を発生させるためには、磁性材料
の飽和磁束密度が大きい方がよい。特に、２０００エル
ステッドを超える高保磁力の磁気ディスクや磁性層の厚
みの大きいフレキシブルディスクに対しては、飽和磁束
密度が０．８テスラ以下になると十分な記録を行うこと
ができない場合があるので、一般的には、０．８テスラ
以上、好ましくは１．０テスラ以上の飽和磁束密度を有
する磁性材料が用いられる。The material of the ferromagnetic thin film constituting the surface of the convex portion of the concavo-convex shape of the master information carrier 42 is not limited to Co, and various types of hard magnetic materials, semi-hard magnetic materials, and soft magnetic materials are available. Can be used. In order to generate a sufficient recording magnetic field irrespective of the type of the magnetic recording medium on which the master information is recorded, the magnetic material preferably has a large saturation magnetic flux density. In particular, for a magnetic disk having a high coercive force exceeding 2000 Oe or a flexible disk having a large magnetic layer thickness, if the saturation magnetic flux density is 0.8 Tesla or less, sufficient recording may not be performed. Specifically, a magnetic material having a saturation magnetic flux density of 0.8 Tesla or more, preferably 1.0 Tesla or more is used.
【００３０】マスター情報担体４２に形成された凹凸形
状（マスター情報パターン）を磁気記録媒体であるハー
ドディスク４１に記録するに際しては、マスター情報パ
ターンの幾何学的中心をハードディスク４１の中心に合
わせて両者を密着させることが必要である。すなわち、
図１に示すマスター情報担体４２の中心点１３と、図３
に示すハードディスク４１の中心点３３とを一致させた
状態で両者を密着させることが必要である。When recording the concavo-convex shape (master information pattern) formed on the master information carrier 42 on the hard disk 41 as a magnetic recording medium, the geometric center of the master information pattern is aligned with the center of the hard disk 41, and the two are combined. It is necessary to make them adhere. That is,
The center point 13 of the master information carrier 42 shown in FIG.
It is necessary to bring the two together in a state where the center point 33 of the hard disk 41 shown in FIG.
【００３１】図３に示すように、ハードディスク４１に
は、磁気記録領域３２の内側に強磁性層が成膜されてい
ない非磁性領域４１２が４箇所設けられている。この非
磁性領域４１２の形状は長方形であり、その一辺は、中
心点３３を中心とする半径Ｒの円に内接している。一
方、図１に示すように、マスター情報担体４２には、ハ
ードディスク４１に設けられた非磁性領域４１２の形状
と同様に、長方形状のマーカー４１１が４箇所設けられ
ている。これらの長方形状のマーカー４１１の一辺は、
中心点１３を中心とする半径Ｒの円に外接している。従
って、マスター情報担体４２とハードディスク４１を密
着させる際に、ハードディスク４１に設けられた非磁性
領域４１２の半径Ｒの円に内接している辺と、マスター
情報担体４２に設けられたマーカー４１１の半径Ｒの円
に外接している辺とを一致させることにより、マスター
情報パターンの幾何学的中心とハードディスク４１の中
心とを一致させることができる。As shown in FIG. 3, the hard disk 41 is provided with four non-magnetic regions 412 where no ferromagnetic layer is formed inside the magnetic recording region 32. The shape of the nonmagnetic region 412 is rectangular, and one side of the nonmagnetic region 412 is inscribed in a circle having a radius R centered on the center point 33. On the other hand, as shown in FIG. 1, the master information carrier 42 is provided with four rectangular markers 411 in the same manner as the shape of the nonmagnetic area 412 provided on the hard disk 41. One side of these rectangular markers 411 is
It circumscribes a circle having a radius R centered on the center point 13. Therefore, when the master information carrier 42 and the hard disk 41 are brought into close contact with each other, the side of the nonmagnetic region 412 provided on the hard disk 41 and the radius of the marker 411 provided on the master information carrier 42 are inscribed. By matching the sides circumscribing the circle of R, the geometric center of the master information pattern and the center of the hard disk 41 can be matched.
【００３２】通常、ハードディスク４１の強磁性層は、
表面粗度が細かくて平坦性の良好なガラス基板あるいは
アルミニウム基板上に、強磁性薄膜をスパッタリング法
によって成膜することにより形成される。Usually, the ferromagnetic layer of the hard disk 41
It is formed by forming a ferromagnetic thin film by a sputtering method on a glass substrate or an aluminum substrate having a fine surface roughness and good flatness.
【００３３】ハードディスク４１上の非磁性領域４１２
は、例えば、強磁性薄膜をスパッタリング法によって成
膜する前に、非磁性領域４１２を設けるべき部分をマス
キングすることによって形成することができる。あるい
は、強磁性薄膜をスパッタリング法によって成膜した後
に、非磁性領域４１２を設けるべき部分の強磁性層をレ
ーザや超音波などを用いた公知の加工技術により機械的
に除去することによっても非磁性領域４１２を形成する
ことができる。本実施の形態においては、スパッタリン
グ装置にハードディスク基板を導入する際に用いられる
ハードディスク基板固定治具に、非磁性領域４１２の形
状に対応したマスク部材を装着することにより、ハード
ディスク４１上に非磁性領域４１２が形成されている。Non-magnetic area 412 on hard disk 41
For example, before the ferromagnetic thin film is formed by a sputtering method, it can be formed by masking a portion where the nonmagnetic region 412 is to be provided. Alternatively, the non-magnetic layer may be formed by mechanically removing the ferromagnetic layer in a portion where the non-magnetic region 412 is to be provided by a known processing technique using a laser or ultrasonic waves after forming a ferromagnetic thin film by a sputtering method. A region 412 can be formed. In the present embodiment, a mask member corresponding to the shape of the nonmagnetic region 412 is mounted on a hard disk substrate fixing jig used when introducing the hard disk substrate into the sputtering apparatus, so that the nonmagnetic region 412 are formed.
【００３４】一方、マスター情報担体４２上のマーカー
４１１は、プリフォーマット情報信号に対応した凹凸形
状の形成と同時に形成することができる。次に、マスタ
ー情報担体に形成された凹凸形状を磁気記録媒体である
ハードディスクに記録する手順について、図４、図５、
図６を用いて説明する。On the other hand, the marker 411 on the master information carrier 42 can be formed simultaneously with the formation of the concavo-convex shape corresponding to the preformat information signal. Next, a procedure for recording the uneven shape formed on the master information carrier on a hard disk as a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG.
【００３５】本実施の形態においては、図４に示すよう
に、大気圧を利用してハードディスク４１とマスター情
報担体４２とを密着させ、さらにハードディスク４１と
マスター情報担体４２とを機械的に圧接させることによ
り、両者を全面的にかつ均一に密着させる。その後、永
久磁石４６を用いて、マスター情報担体４２に形成され
た凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化させ
ることにより、凹凸形状に対応したプリフォーマット情
報信号をハードディスク４１に記録する。以下に、記録
手順について、詳細に説明する。In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the hard disk 41 and the master information carrier 42 are brought into close contact with each other using the atmospheric pressure, and the hard disk 41 and the master information carrier 42 are mechanically pressed against each other. Thereby, both are brought into close contact with each other uniformly. Thereafter, the ferromagnetic thin film on the convex surface of the concavo-convex pattern formed on the master information carrier 42 is magnetized using the permanent magnet 46, so that a preformat information signal corresponding to the concavo-convex shape is recorded on the hard disk 41. Hereinafter, the recording procedure will be described in detail.
【００３６】まず、図５に示すように、永久磁石５２を
用いて、ハードディスク４１を円周方向に沿って矢印５
１の方向に予め磁化しておく（初期磁化）。尚、この場
合、永久磁石５２に代えて電磁石を用いてもよい。次い
で、図４に示すように、下フランジ４３に弾性板４７、
ハードディスク４１、マスター情報担体４２を順番に重
ねる。First, as shown in FIG. 5, by using a permanent magnet 52, the hard disk 41 is
It is magnetized in the direction of 1 in advance (initial magnetization). In this case, an electromagnet may be used instead of the permanent magnet 52. Next, as shown in FIG.
The hard disk 41 and the master information carrier 42 are sequentially stacked.
【００３７】図６に、位置検出用撮像装置４１０によっ
て観察した非磁性領域４１２及びマーカー４１１の像を
示す。図６中、６１はハードディスク４１の中心孔４１
ａの一部を示している。位置検出用撮像装置４１０から
得られる像を観察しながら、マスター情報担体４２の位
置を調節し、４箇所全てのマーカー４１１に対して、図
６（ｂ）に示すように、ハードディスク４１上の非磁性
領域４１２の一辺とマスター情報担体４２上のマーカー
４１１の一辺とが一致するようにする。これにより、ハ
ードディスク４１の中心とマスター情報パターンの幾何
学的中心とを一致させることができる。次いで、排気装
置４９を始動させる。これにより、ハードディスク４１
の中心孔４１ａと弾性板４７の中心孔４７ａを通してマ
スター情報担体４２が吸引され、マスター情報担体４２
の中央部に大気圧が作用する。この状態では、マスター
情報担体４２の中心部付近のみがハードディスク４１に
密着しているだけであり、外周部では密着性が悪くなる
可能性がある。外周部での両者の密着性を向上させるた
めに、本実施の形態においては、上フランジ４４をマス
ター情報担体４２の上面周縁部に載せ、上フランジ４４
と下フランジ４３とをボルト４５を用いて固定するよう
にした。この場合、ボルト４５の締め付けトルクを調整
することにより、ハードディスク４１とマスター情報担
体４２とが適切に圧接され、両者が均一に密着する。最
後に、永久磁石４６を、図４に示す一点鎖線を回転中心
としてマスター情報担体４２と平行に回転させることに
より、マスター情報担体４２に直流励磁磁界を印加す
る。これにより、マスター情報担体４２に形成されたプ
リフォーマット情報信号に対応した凹凸形状の凸部表面
の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応したプリフォ
ーマット情報信号がハードディスク４１に記録される。FIG. 6 shows images of the non-magnetic region 412 and the marker 411 observed by the position detecting image pickup device 410. 6, reference numeral 61 denotes a center hole 41 of the hard disk 41.
3 shows a part of a. While observing the image obtained from the position detection imaging device 410, the position of the master information carrier 42 is adjusted, and all four markers 411 are set on the hard disk 41 as shown in FIG. One side of the magnetic region 412 is aligned with one side of the marker 411 on the master information carrier 42. Thereby, the center of the hard disk 41 and the geometric center of the master information pattern can be matched. Next, the exhaust device 49 is started. Thereby, the hard disk 41
The master information carrier 42 is sucked through the center hole 41a of the
Atmospheric pressure acts on the central part of. In this state, only the vicinity of the center portion of the master information carrier 42 is in close contact with the hard disk 41, and the outer peripheral portion may have poor adhesion. In this embodiment, the upper flange 44 is placed on the peripheral edge of the upper surface of the master information carrier 42 so as to improve the adhesion between the two at the outer peripheral portion.
The lower flange 43 and the lower flange 43 are fixed using bolts 45. In this case, by adjusting the tightening torque of the bolts 45, the hard disk 41 and the master information carrier 42 are appropriately pressed and brought into close contact with each other. Finally, a DC excitation magnetic field is applied to the master information carrier 42 by rotating the permanent magnet 46 in parallel with the master information carrier 42 about the chain line shown in FIG. As a result, the ferromagnetic thin film on the surface of the convex / concave shape corresponding to the preformat information signal formed on the master information carrier 42 is magnetized, and the preformat information signal corresponding to the concave / convex shape is recorded on the hard disk 41.
【００３８】上記したように、ハードディスク４１は予
め永久磁石５２などを用いて円周方向に初期磁化される
が（図５参照）、この初期磁化方向と、プリフォーマッ
ト情報信号を記録する際に永久磁石４６によって印加さ
れる磁界の方向とは、同一であっても逆であってもよ
い。本実施の形態においては、逆方向としている。As described above, the hard disk 41 is preliminarily magnetized in the circumferential direction by using the permanent magnet 52 or the like (see FIG. 5). The direction of the magnetic field applied by the magnet 46 may be the same or opposite. In the present embodiment, the direction is reversed.
【００３９】上記したように、本実施の形態において
は、ハードディスク４１の中心を基準とした位置に強磁
性層が成膜されていない非磁性領域４１２が複数箇所に
設けられ、一方、マスター情報担体４２には非磁性領域
４１２に対応する位置に非磁性領域４１２と同じ形状の
マーカー４１１が設けられている。これにより、マスタ
ー情報担体４２とハードディスク４１を密着させたとき
に、マスター情報パターンの幾何学的中心とハードディ
スク４１の中心とを一致させることができ、その結果、
偏心の無いプリフォーマット記録を行うことできる。ま
た、本実施の形態のマスター情報磁気記録装置を用いれ
ば、ハードディスク基板に強磁性薄膜を成膜するのと同
時にマーカーを形成することができるので、工程が極め
て簡単となり、生産性が向上する。As described above, in the present embodiment, a plurality of nonmagnetic regions 412 on which the ferromagnetic layer is not formed are provided at positions with respect to the center of the hard disk 41, while the master information carrier is provided. A marker 411 having the same shape as the nonmagnetic region 412 is provided at a position corresponding to the nonmagnetic region 412. Thereby, when the master information carrier 42 and the hard disk 41 are brought into close contact with each other, the geometric center of the master information pattern and the center of the hard disk 41 can be matched, and as a result,
Preformat recording without eccentricity can be performed. Further, by using the master information magnetic recording apparatus of the present embodiment, a marker can be formed at the same time as forming a ferromagnetic thin film on a hard disk substrate, so that the process is extremely simplified and productivity is improved.
【００４０】尚、本実施の形態においては、非磁性領域
４１２がハードディスク４１の磁気記録領域３２の内側
に設けられているが、必ずしもこの構成に限定されるも
のではなく、例えば、非磁性領域をハードディスク４１
の磁気記録領域３２の外側に設けてもよい。但し、この
場合、マーカー４１１も、非磁性領域４１２の位置に合
わせてマスター情報担体４２の外周側に設ける必要があ
る。In this embodiment, the non-magnetic area 412 is provided inside the magnetic recording area 32 of the hard disk 41. However, the present invention is not limited to this configuration. Hard disk 41
May be provided outside the magnetic recording area 32. However, in this case, the marker 411 also needs to be provided on the outer peripheral side of the master information carrier 42 in accordance with the position of the nonmagnetic region 412.
【００４１】〈第２の実施の形態〉図９は本発明の第２
の実施の形態におけるマスター情報磁気記録装置を示す
断面図である。<Second Embodiment> FIG. 9 shows a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a master information magnetic recording device according to the embodiment.
【００４２】図９に示すように、下フランジ９３には、
その中央に円形の凹所９３ａが形成されており、凹所９
３ａには円形の弾性板９７が配置されている。弾性板９
７の上にはハードディスク９１が配置されており、ハー
ドディスク９１の上にはマスター情報担体９２が配置さ
れている。ハードディスク９１と弾性板９７には、その
中心部にそれぞれ中心孔９１ａ、９７ａが穿設されてい
る。下フランジ９３の中心部には、ハードディスク９１
の中心孔９１ａと弾性板９７の中心孔９７ａに連通して
排気ダクト９８が接続されており、排気ダクト９８の端
部には排気装置９９が装着されている。これにより、排
気装置９９を始動させて、マスター情報担体９２をハー
ドディスク９１の方向に吸引することができる。また、
マスター情報担体９２の上面周縁部は上フランジ９４に
よって押圧されている。これにより、ハードディスク９
１とマスター情報担体９２とを均一に密着させることが
できる。ここで、下フランジ９３と上フランジ９４と
は、ボルト９５によって固定されている。尚、図９中、
９６は永久磁石であり、この永久磁石９６を用いてハー
ドディスク９１にプリフォーマット情報信号が記録され
る。また、図９中、９１３は光源である。As shown in FIG. 9, the lower flange 93 has
A circular recess 93a is formed in the center of the recess 9a.
A circular elastic plate 97 is disposed on 3a. Elastic plate 9
7, a hard disk 91 is arranged, and on the hard disk 91, a master information carrier 92 is arranged. The hard disk 91 and the elastic plate 97 are provided with central holes 91a and 97a, respectively, at their central portions. A hard disk 91 is provided at the center of the lower flange 93.
An exhaust duct 98 is connected to communicate with the center hole 91a of the elastic plate 97 and the center hole 97a of the elastic plate 97, and an exhaust device 99 is attached to an end of the exhaust duct 98. Thus, the exhaust device 99 can be started, and the master information carrier 92 can be sucked in the direction of the hard disk 91. Also,
The peripheral edge of the upper surface of master information carrier 92 is pressed by upper flange 94. Thereby, the hard disk 9
1 and the master information carrier 92 can be uniformly adhered. Here, the lower flange 93 and the upper flange 94 are fixed by bolts 95. In FIG. 9,
Reference numeral 96 denotes a permanent magnet, and a preformat information signal is recorded on the hard disk 91 using the permanent magnet 96. In FIG. 9, reference numeral 913 denotes a light source.
【００４３】ハードディスク９１には、マーカーとし
て、貫通孔９１２が設けられており、マスター情報担体
９２には、ハードディスク９１の貫通孔９１２の位置に
合わせてマーカー９１１が設けられている。また、下フ
ランジ９３と弾性体９７にも、光源９１３からの光がマ
スター情報担体９２に設けられたマーカー９１１に届く
ように、貫通孔９１２の位置に合わせてそれぞれ孔が穿
設されている。The hard disk 91 has a through hole 912 as a marker, and the master information carrier 92 has a marker 911 corresponding to the position of the through hole 912 of the hard disk 91. Further, holes are also formed in the lower flange 93 and the elastic body 97 in accordance with the positions of the through holes 912 so that the light from the light source 913 reaches the marker 911 provided on the master information carrier 92.
【００４４】このマスター情報磁気記録装置の上方に
は、位置検出用撮像装置９１０が設けられている。これ
により、光源９１３から光を照射し、マスター情報担体
９２のマーカー９１１とハードディスク９１の貫通孔９
１２との相対位置を観察することができる。Above the master information magnetic recording device, a position detecting image pickup device 910 is provided. As a result, light is emitted from the light source 913, and the marker 911 of the master information carrier 92 and the through hole 9 of the hard disk 91 are irradiated.
12 can be observed.
【００４５】図７に示すように、マスター情報担体９２
の表面には、プリフォーマット情報信号に対応した微細
な凹凸形状が形成された領域７２が所定の角度間隔で設
けられている。この領域７２に記録される凹凸形状の具
体例は、上記第１の実施の形態と同様である（図２参
照）。このような凹凸形状は、上記第１の実施の形態で
説明したように、表面粗度が細かくて平坦性の良好なガ
ラス基板の表面に、Ｃｏ等からなる強磁性薄膜をスパッ
タリング法によって成膜し、次いで、例えばフォトリソ
グラフィ法のようなレーザビーム又は電子ビームを用い
たリソグラフィ技術によってレジスト膜を露光・現像し
た後、ドライエッチング等を施すことにより形成され
る。As shown in FIG. 7, the master information carrier 92
Are provided at predetermined angular intervals on a surface 72 of which a fine uneven shape corresponding to the preformat information signal is formed. A specific example of the concavo-convex shape recorded in the area 72 is the same as in the first embodiment (see FIG. 2). As described in the first embodiment, a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed on the surface of a glass substrate having a fine surface roughness and good flatness by a sputtering method as described in the first embodiment. Then, after exposing and developing the resist film by a lithography technique using a laser beam or an electron beam such as a photolithography method, the resist film is formed by performing dry etching or the like.
【００４６】マスター情報担体９２に形成された凹凸形
状（マスター情報パターン）を磁気記録媒体であるハー
ドディスク９１に記録するに際しては、マスター情報パ
ターンの幾何学的中心をハードディスク９１の中心に合
わせて両者を密着させることが必要である。すなわち、
図７に示すマスター情報担体９２の中心点７３と、図８
に示すハードディスク９１の中心点８３とを一致させた
状態で両者を密着させることが必要である。When recording the concavo-convex shape (master information pattern) formed on the master information carrier 92 on the hard disk 91 which is a magnetic recording medium, the geometric center of the master information pattern is aligned with the center of the hard disk 91, and both are aligned. It is necessary to make them adhere. That is,
The center point 73 of the master information carrier 92 shown in FIG.
It is necessary to bring the two into close contact with the center point 83 of the hard disk 91 shown in FIG.
【００４７】図８に示すように、ハードディスク９１の
磁気記録領域８２の内側に、円形の貫通孔９１２が４箇
所設けられている。これらの貫通孔９１２は、中心点８
３を中心とする半径Ｒの円の円周上に設けられている。
一方、図７に示すように、マスター情報担体９２には、
ハードディスク９１に設けられた貫通孔９１２の形状と
同様に、円形のマーカー９１１が４箇所に設けられてい
る。これらのマーカー９１１は、中心点７３を中心とす
る半径Ｒの円の円周上に設けられている。従って、マス
ター情報担体９２とハードディスク９１とを密着させる
際に、貫通孔９１２とマーカー９１１とを一致させるこ
とにより、マスター情報パターンの幾何学的中心とハー
ドディスク９１の中心とを一致させることができる。As shown in FIG. 8, four circular through holes 912 are provided inside the magnetic recording area 82 of the hard disk 91. These through holes 912 are located at the center point 8.
It is provided on the circumference of a circle having a radius R centered at 3.
On the other hand, as shown in FIG.
Similar to the shape of the through hole 912 provided in the hard disk 91, circular markers 911 are provided at four places. These markers 911 are provided on the circumference of a circle having a radius R centered on the center point 73. Therefore, when the master information carrier 92 and the hard disk 91 are brought into close contact with each other, the geometric center of the master information pattern and the center of the hard disk 91 can be matched by matching the through holes 912 with the markers 911.
【００４８】ハードディスク９１の貫通孔９１２は、例
えば、ハードディスク９１の基板がガラスの場合には超
音波やレーザなどを用いた公知の加工方法によって形成
することができる。貫通孔９１２の径はできるだけ小さ
い方が好ましい。本実施の形態においては、超音波加工
法によって直径０．５ｍｍの貫通孔９１２が形成されて
いる。The through hole 912 of the hard disk 91 can be formed by a known processing method using an ultrasonic wave or a laser when the substrate of the hard disk 91 is glass, for example. The diameter of the through hole 912 is preferably as small as possible. In the present embodiment, a through-hole 912 having a diameter of 0.5 mm is formed by ultrasonic processing.
【００４９】一方、マスター情報担体９２上のマーカー
９１１は、プリフォーマット情報信号に対応した凹凸形
状の形成と同時に形成することができる。次に、マスタ
ー情報担体に形成された凹凸形状を磁気記録媒体である
ハードディスクに記録する手順について、図９、図１
０、図１１を用いて説明する。On the other hand, the marker 911 on the master information carrier 92 can be formed simultaneously with the formation of the concavo-convex shape corresponding to the preformat information signal. Next, a procedure for recording the uneven shape formed on the master information carrier on a hard disk as a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS.
0 and FIG.
【００５０】本実施の形態においては、図９に示すよう
に、大気圧を利用してハードディスク９１とマスター情
報担体９２とを密着させ、さらにハードディスク９１と
マスター情報担体９２とを機械的に圧接させることによ
り、両者を全面的にかつ均一に密着させる。その後、永
久磁石９６を用いて、マスター情報担体９２に形成され
た凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化させ
ることにより、凹凸形状に対応したプリフォーマット情
報信号をハードディスク９１に記録する。以下に、記録
手順について、詳細に説明する。In this embodiment, as shown in FIG. 9, the hard disk 91 and the master information carrier 92 are brought into close contact with each other using the atmospheric pressure, and the hard disk 91 and the master information carrier 92 are mechanically pressed against each other. Thereby, both are brought into close contact with each other uniformly. After that, by using the permanent magnet 96 to magnetize the ferromagnetic thin film on the convex surface of the concave / convex pattern formed on the master information carrier 92, a preformat information signal corresponding to the concave / convex shape is recorded on the hard disk 91. Hereinafter, the recording procedure will be described in detail.
【００５１】まず、図１０に示すように、永久磁石１０
２を用いて、ハードディスク９１を円周方向に沿って矢
印１０１の方向に予め磁化しておく（初期磁化）。尚、
この場合、永久磁石１０２に代えて電磁石を用いてもよ
い。次いで、図９に示すように、下フランジ９３に弾性
板９７、ハードディスク９１を順番に重ねる。光源９１
３からの光がハードディスク９１の貫通孔９１２に差し
込むように、下フランジ９３及び弾性板９７にも貫通孔
９１２の位置に合わせてそれぞれ孔が穿設されているの
で、下フランジ９３、弾性板９７及びハードディスク９
１を重ねるときは、これらに穿設された孔の位置を合わ
せて重ねる。次いで、ハードディスク９１の上にマスタ
ー情報担体９２を重ねる。First, as shown in FIG.
2, the hard disk 91 is magnetized in advance in the direction of arrow 101 along the circumferential direction (initial magnetization). still,
In this case, an electromagnet may be used instead of the permanent magnet 102. Next, as shown in FIG. 9, the elastic plate 97 and the hard disk 91 are sequentially stacked on the lower flange 93. Light source 91
Holes are also formed in the lower flange 93 and the elastic plate 97 in accordance with the positions of the through holes 912 so that light from the third 3 is inserted into the through holes 912 of the hard disk 91. And hard disk 9
When superimposing 1, the holes drilled in these are aligned and superimposed. Next, the master information carrier 92 is overlaid on the hard disk 91.
【００５２】図１１に、位置検出用撮像装置９１０によ
って観察した貫通孔９１２及びマーカー９１１の像を示
す。位置検出用撮像装置９１０から得られる像を観察し
ながら、マスター情報担体９２の位置を調節し、４箇所
全てのマーカーに対して、図１１（ｂ）に示すように、
ハードディスク９１の貫通孔９１２とマスター情報担体
９２のマーカー９１１とが重なるようにする。これによ
り、ハードディスク９１の中心とマスター情報パターン
の幾何学的中心とを一致させることができる。次いで、
排気装置９９を始動させる。これにより、ハードディス
ク９１の中心孔９１ａと弾性板９７の中心孔９７ａを通
してマスター情報担体９２が吸引され、マスター情報担
体９２の中央部に大気圧が作用する。この状態では、マ
スター情報担体９２の中心部付近のみがハードディスク
９１に密着しているだけであり、外周部では密着性が悪
くなる可能性がある。外周部での両者の密着性を向上さ
せるために、本実施の形態においては、上フランジ９４
をマスター情報担体９２の上面周縁部に載せ、上フラン
ジ９４と下フランジ９３とをボルト９５を用いて固定す
るようにした。この場合、ボルト９５の締め付けトルク
を調整することにより、ハードディスク９１とマスター
情報担体９２とが適切に圧接され、両者が均一に密着す
る。最後に、永久磁石９６を、図９に示す一点鎖線を回
転中心としてマスター情報担体９２と平行に回転させる
ことにより、マスター情報担体９２に直流励磁磁界を印
加する。これにより、マスター情報担体９２に形成され
たプリフォーマット情報信号に対応した凹凸形状の凸部
表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応したプリ
フォーマット情報信号がハードディスク９１に記録され
る。FIG. 11 shows images of the through-hole 912 and the marker 911 observed by the position detecting image pickup device 910. While observing the image obtained from the position detection imaging device 910, the position of the master information carrier 92 was adjusted, and for all the four markers, as shown in FIG.
The through hole 912 of the hard disk 91 and the marker 911 of the master information carrier 92 are made to overlap. Thereby, the center of the hard disk 91 and the geometric center of the master information pattern can be matched. Then
The exhaust device 99 is started. Thereby, the master information carrier 92 is sucked through the center hole 91a of the hard disk 91 and the center hole 97a of the elastic plate 97, and the atmospheric pressure acts on the central portion of the master information carrier 92. In this state, only the vicinity of the center of the master information carrier 92 is in close contact with the hard disk 91, and there is a possibility that the adhesiveness may be poor in the outer peripheral portion. In the present embodiment, in order to improve the adhesion between the two at the outer peripheral portion, the upper flange 94 is used.
Is mounted on the peripheral edge of the upper surface of the master information carrier 92, and the upper flange 94 and the lower flange 93 are fixed using bolts 95. In this case, by adjusting the tightening torque of the bolts 95, the hard disk 91 and the master information carrier 92 are appropriately pressed into contact with each other, and the two are evenly brought into close contact with each other. Finally, a DC excitation magnetic field is applied to the master information carrier 92 by rotating the permanent magnet 96 in parallel with the master information carrier 92 about the chain line shown in FIG. As a result, the ferromagnetic thin film on the surface of the convex and concave shape corresponding to the preformat information signal formed on the master information carrier 92 is magnetized, and the preformat information signal corresponding to the concave and convex shape is recorded on the hard disk 91.
【００５３】上記したように、ハードディスク９１は予
め永久磁石１０２などを用いて円周方向に初期磁化され
るが（図１０参照）、この初期磁化方向と、プリフォー
マット情報信号を記録する際に永久磁石９６によって印
加される磁界の方向とは、同一であっても逆であっても
よい。本実施の形態においては、逆方向としている。As described above, the hard disk 91 is initially magnetized in the circumferential direction using the permanent magnet 102 or the like in advance (see FIG. 10). The direction of the magnetic field applied by the magnet 96 may be the same or opposite. In the present embodiment, the direction is reversed.
【００５４】上記したように、本実施の形態において
は、ハードディスク９１の中心を基準とした位置に貫通
孔９１２が複数箇所に設けられ、一方、マスター情報担
体９２には貫通孔９１２に対応する位置に貫通孔９１２
と同じ形状のマーカー９１１が設けられている。これに
より、マスター情報担体９２とハードディスク９１を密
着させたときに、マスター情報パターンの幾何学的中心
とハードディスク９１の中心とを一致させることがで
き、その結果、偏心の無いプリフォーマット記録を行う
ことできる。As described above, in the present embodiment, the through holes 912 are provided at a plurality of positions at the positions with respect to the center of the hard disk 91, while the positions corresponding to the through holes 912 are formed in the master information carrier 92. Through hole 912
A marker 911 having the same shape as that of FIG. Thereby, when the master information carrier 92 and the hard disk 91 are brought into close contact with each other, the geometric center of the master information pattern and the center of the hard disk 91 can be matched, and as a result, preformat recording without eccentricity can be performed. it can.
【００５５】尚、本実施の形態においては、貫通孔９１
２がハードディスク９１の磁気記録領域８２の内側に設
けられているが、必ずしもこの構成に限定されるもので
はなく、例えば、貫通孔をハードディスク９１の磁気記
録領域８２の外側に設けてもよい。但し、この場合、マ
ーカー９１１も、貫通孔９１２の位置に合わせてマスタ
ー情報担体９２の外周側に設ける必要がある。In this embodiment, the through holes 91 are used.
2 is provided inside the magnetic recording area 82 of the hard disk 91, but is not necessarily limited to this configuration. For example, a through hole may be provided outside the magnetic recording area 82 of the hard disk 91. However, in this case, the marker 911 also needs to be provided on the outer peripheral side of the master information carrier 92 in accordance with the position of the through hole 912.
【００５６】〈第３の実施の形態〉図１４は本発明の第
３の実施の形態におけるマスター情報磁気記録装置を示
す断面図である。<Third Embodiment> FIG. 14 is a sectional view showing a master information magnetic recording apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【００５７】図１４に示すように、下フランジ１４３に
は、その中央に円形の凹所１４３ａが形成されており、
凹所１４３ａには円形の弾性板１４７が配置されてい
る。弾性板１４７の上にはハードディスク１４１が配置
されており、ハードディスク１４１の上にはマスター情
報担体１４２が配置されている。ハードディスク１４１
と弾性板１４７には、その中心部にそれぞれ中心孔１４
１ａ、１４７ａが穿設されている。下フランジ１４３の
中心部には、ハードディスク１４１の中心孔１４１ａと
弾性板１４７の中心孔１４７ａに連通して排気ダクト１
４８が接続されており、排気ダクト１４８の端部には排
気装置１４９が装着されている。これにより、排気装置
１４９を始動させて、マスター情報担体１４２をハード
ディスク１４１の方向に吸引することができる。また、
マスター情報担体１４２の上面周縁部は上フランジ１４
４によって押圧されている。これにより、ハードディス
ク１４１とマスター情報担体１４２とを均一に密着させ
ることができる。ここで、下フランジ１４３と上フラン
ジ１４４とは、ボルト１４５によって固定されている。
尚、図１４中、１４６は永久磁石であり、この永久磁石
１４６を用いてハードディスク１４１にプリフォーマッ
ト情報信号が記録される。As shown in FIG. 14, a circular recess 143a is formed at the center of the lower flange 143.
A circular elastic plate 147 is arranged in the recess 143a. A hard disk 141 is disposed on the elastic plate 147, and a master information carrier 142 is disposed on the hard disk 141. Hard disk 141
And the elastic plate 147 have a central hole 14 at the center thereof.
1a and 147a are drilled. In the center of the lower flange 143, the exhaust duct 1 communicates with the center hole 141a of the hard disk 141 and the center hole 147a of the elastic plate 147.
The exhaust device 149 is attached to an end of the exhaust duct 148. Thereby, the exhaust device 149 can be started, and the master information carrier 142 can be sucked in the direction of the hard disk 141. Also,
The upper peripheral edge of the master information carrier 142 is
4. Thereby, the hard disk 141 and the master information carrier 142 can be brought into uniform close contact. Here, the lower flange 143 and the upper flange 144 are fixed by bolts 145.
In FIG. 14, reference numeral 146 denotes a permanent magnet, and a preformat information signal is recorded on the hard disk 141 using the permanent magnet 146.
【００５８】ハードディスク１４１には、マーカーとし
て、円環状の溝１４１２が設けられており、マスター情
報担体１４２には、ハードディスク１４１の円環状の溝
１４１２の外周縁に合わせてマーカー１４１１が設けら
れている。The hard disk 141 is provided with an annular groove 1412 as a marker, and the master information carrier 142 is provided with a marker 1411 corresponding to the outer peripheral edge of the annular groove 1412 of the hard disk 141. .
【００５９】このマスター情報磁気記録装置の上方に
は、位置検出用撮像装置１４１０が設けられている。こ
れにより、マスター情報担体１４２のマーカー１４１１
とハードディスク１４１の円環状の溝１４１２との相対
位置を観察することができる。Above the master information magnetic recording device, a position detecting image pickup device 1410 is provided. Thereby, the marker 1411 of the master information carrier 142
It is possible to observe the relative position between the disk and the annular groove 1412 of the hard disk 141.
【００６０】図１２に示すように、マスター情報担体１
４２の表面には、プリフォーマット情報信号に対応した
微細な凹凸形状が形成された領域１２２が所定の角度間
隔で設けられている。この領域１２２に記録される凹凸
形状の具体例は、上記第１の実施の形態と同様である
（図２参照）。このような凹凸形状は、上記第１の実施
の形態で説明したように、表面粗度が細かくて平坦性の
良好なガラス基板の表面に、Ｃｏ等からなる強磁性薄膜
をスパッタリング法によって成膜し、次いで、例えばフ
ォトリソグラフィ法のようなレーザビーム又は電子ビー
ムを用いたリソグラフィ技術によってレジスト膜を露光
・現像した後、ドライエッチング等を施すことにより形
成される。As shown in FIG. 12, the master information carrier 1
On the surface of 42, regions 122 having fine irregularities corresponding to the preformat information signal are provided at predetermined angular intervals. A specific example of the concavo-convex shape recorded in this area 122 is the same as in the first embodiment (see FIG. 2). As described in the first embodiment, a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed on the surface of a glass substrate having a fine surface roughness and good flatness by a sputtering method as described in the first embodiment. Then, after exposing and developing the resist film by a lithography technique using a laser beam or an electron beam such as a photolithography method, the resist film is formed by performing dry etching or the like.
【００６１】マスター情報担体１４２に形成された凹凸
形状（マスター情報パターン）を磁気記録媒体であるハ
ードディスク１４１に記録するに際しては、マスター情
報パターンの幾何学的中心をハードディスク１４１の中
心に合わせて両者を密着させることが必要である。すな
わち、図１２に示すマスター情報担体１４２の中心点１
２３と、図１３に示すハードディスク１４１の中心点１
３３とを一致させた状態で両者を密着させることが必要
である。When recording the concavo-convex shape (master information pattern) formed on the master information carrier 142 on the hard disk 141 as a magnetic recording medium, the geometric center of the master information pattern is aligned with the center of the hard disk 141, and the two are combined. It is necessary to make them adhere. That is, the center point 1 of the master information carrier 142 shown in FIG.
23 and the center point 1 of the hard disk 141 shown in FIG.
It is necessary to bring the both into close contact with each other in a state where 33 is matched.
【００６２】図１３に示すように、ハードディスク１４
１の磁気記録領域１３２の内側に、外周半径がＲで一定
の幅を有する円環状の溝１４１２が設けられている。一
方、図１２に示すように、マスター情報担体１４２に
は、ハードディスク１４１に設けられた円環状の溝１４
１２に合わせて、頂点の１つが半径Ｒの円の円周上に存
するような三角形のマーカー１４１１が４箇所に設けら
れている。従って、マスター情報担体１４２とハードデ
ィスク１４１とを密着させる際に、円環状の溝１４１２
の外周縁と４つの三角形のマーカー１４１１の頂点とを
一致させることにより、マスター情報パターンの幾何学
的中心とハードディスク１４１の中心とを一致させるこ
とができる。次に、ハードディスクに円環状の溝を形成
する方法について、図１５を用いて説明する。図１５に
示すように、まず、ハードディスク基板１５１をスピン
ドルモータ１５３に装着する。次いで、回転砥石１５４
を矢印１５６の方向に回転させ、かつ、ハードディスク
基板１５１を矢印１５５の方向に回転させながら、回転
砥石１５４をハードディスク基板１５１に接触させる。
これにより、一定の幅を有する円環状の溝１４１２が形
成される。この場合、ハードディスク基板１５１を回転
させながら加工するので、円環状の溝１４１２の中心
を、ハードディスク基板１５１の中心に容易に一致させ
ることができる。円環状の溝１４１２の幅は回転砥石１
５４の幅によって決定されるが、一般的には、数１０μ
ｍ以上であり、好ましくは１００μｍ以上に設定され
る。本実施の形態においては、２００μｍとした。次い
で、円環状の溝１４１２を形成した後、ハードディスク
基板１５１を洗浄し、強磁性薄膜を例えばスパッタリン
グ法によって成膜することにより、円環状の溝１４１２
を有するハードディスク１４１（図１３）が得られる。As shown in FIG.
An annular groove 1412 having an outer radius R and a constant width is provided inside one magnetic recording area 132. On the other hand, as shown in FIG. 12, the master information carrier 142 has an annular groove 14 provided in the hard disk 141.
In accordance with 12, there are provided four triangular markers 1411 such that one of the vertices is on the circumference of a circle having a radius R. Therefore, when the master information carrier 142 and the hard disk 141 are brought into close contact with each other, the annular groove 1412
The geometrical center of the master information pattern and the center of the hard disk 141 can be matched by matching the outer peripheral edge of the triangle with the vertices of the four triangular markers 1411. Next, a method of forming an annular groove in a hard disk will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 15, first, the hard disk substrate 151 is mounted on the spindle motor 153. Next, the rotating grindstone 154
Is rotated in the direction of arrow 156, and the rotating grindstone 154 is brought into contact with the hard disk substrate 151 while rotating the hard disk substrate 151 in the direction of arrow 155.
Thus, an annular groove 1412 having a constant width is formed. In this case, since the hard disk substrate 151 is processed while being rotated, the center of the annular groove 1412 can be easily matched with the center of the hard disk substrate 151. The width of the annular groove 1412 is
Although it is determined by the width of 54, in general, several tens μm
m or more, and preferably 100 μm or more. In the present embodiment, the thickness is 200 μm. Next, after the annular groove 1412 is formed, the hard disk substrate 151 is washed, and a ferromagnetic thin film is formed by, for example, a sputtering method.
Is obtained as shown in FIG.
【００６３】次に、マスター情報担体に形成された凹凸
形状を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する手
順について、図１４、図１６、図１７を用いて説明す
る。本実施の形態においては、図１４に示すように、大
気圧を利用してハードディスク１４１とマスター情報担
体１４２とを密着させ、さらにハードディスク１４１と
マスター情報担体１４２とを機械的に圧接させることに
より、両者を全面的にかつ均一に密着させる。その後、
永久磁石１４６を用いて、マスター情報担体１４２に形
成された凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁
化させることにより、凹凸形状に対応したプリフォーマ
ット情報信号をハードディスク１４１に記録する。以下
に、記録手順について、詳細に説明する。Next, a procedure for recording the irregularities formed on the master information carrier on a hard disk, which is a magnetic recording medium, will be described with reference to FIGS. 14, 16 and 17. FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 14, the hard disk 141 and the master information carrier 142 are brought into close contact with each other using the atmospheric pressure, and the hard disk 141 and the master information carrier 142 are mechanically pressed against each other. Both are brought into close contact with each other all over. afterwards,
By using the permanent magnet 146 to magnetize the ferromagnetic thin film on the convex surface of the concave / convex pattern formed on the master information carrier 142, a preformat information signal corresponding to the concave / convex shape is recorded on the hard disk 141. Hereinafter, the recording procedure will be described in detail.
【００６４】まず、図１６に示すように、永久磁石１６
２を用いて、ハードディスク１４１を円周方向に沿って
矢印１６１の方向に予め磁化しておく（初期磁化）。
尚、この場合、永久磁石１６２に代えて電磁石を用いて
もよい。次いで、図１４に示すように、下フランジ１４
３に弾性板１４７、ハードディスク１４１、マスター情
報担体１４２を順番に重ねる。First, as shown in FIG.
2, the hard disk 141 is magnetized in advance in the direction of arrow 161 along the circumferential direction (initial magnetization).
In this case, an electromagnet may be used instead of the permanent magnet 162. Next, as shown in FIG.
3, an elastic plate 147, a hard disk 141, and a master information carrier 142 are sequentially stacked.
【００６５】図１７に、位置検出用撮像装置１４１０に
よって観察した円環状の溝１４１２及び三角形のマーカ
ー１４１１の像を示す。位置検出用撮像装置１４１０か
ら得られる像を観察しながら、マスター情報担体１４２
の位置を調節し、４箇所全てのマーカーに対して、図１
７（ｂ）に示すように、ハードディスク１４１の円環状
の溝１４１２の外周縁上に、マスター情報担体１４２の
４つの三角形のマーカー１４１１の頂点が乗るようにす
る。これにより、ハードディスク１４１の中心とマスタ
ー情報パターンの幾何学的中心とを一致させることがで
きる。次いで、排気装置１４９を始動させる。これによ
り、ハードディスク１４１の中央孔１４１ａと弾性板１
４７の中心孔１４７ａを通してマスター情報担体１４２
が吸引され、マスター情報担体１４２の中央部に大気圧
が作用する。この状態では、マスター情報担体１４２の
中心部付近のみがハードディスク１４１に密着している
だけであり、外周部では密着性が悪くなる可能性があ
る。外周部での密着性を向上させるために、本実施の形
態においては、上フランジ１４４をマスター情報担体１
４２の上面周縁部に載せ、上フランジ１４４と下フラン
ジ１４３とをボルト１４５を用いて固定するようにし
た。この場合、ボルト１４５の締め付けトルクを調整す
ることにより、ハードディスク１４１とマスター情報担
体１４２とが適切に圧接され、両者が均一に密着する。
最後に、永久磁石１４６を、図１４に示す一点鎖線を回
転中心としてマスター情報担体１４２と平行に回転させ
ることにより、マスター情報担体１４２に直流励磁磁界
を印加する。これにより、マスター情報担体１４２に形
成されたプリフォーマット情報信号に対応した凹凸形状
の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応し
たプリフォーマット情報信号がハードディスク１４１に
記録される。FIG. 17 shows an image of the annular groove 1412 and the triangular marker 1411 observed by the position detecting imaging device 1410. While observing the image obtained from the position detection imaging device 1410, the master information carrier 142
And adjust the position of Fig. 1 for all four markers.
As shown in FIG. 7B, the vertices of the four triangular markers 1411 of the master information carrier 142 are mounted on the outer peripheral edge of the annular groove 1412 of the hard disk 141. Thereby, the center of the hard disk 141 and the geometric center of the master information pattern can be matched. Next, the exhaust device 149 is started. Thereby, the central hole 141a of the hard disk 141 and the elastic plate 1
Master information carrier 142 through 47 central holes 147a
Is sucked, and the atmospheric pressure acts on the central portion of the master information carrier 142. In this state, only the vicinity of the center of the master information carrier 142 is in close contact with the hard disk 141, and the outer peripheral portion may have poor adhesion. In the present embodiment, in order to improve the adhesion at the outer peripheral portion, the upper flange 144 is attached to the master information carrier 1.
42, and the upper flange 144 and the lower flange 143 are fixed by using bolts 145. In this case, by adjusting the tightening torque of the bolt 145, the hard disk 141 and the master information carrier 142 are appropriately pressed into contact with each other, and the two are evenly brought into close contact with each other.
Finally, a DC excitation magnetic field is applied to the master information carrier 142 by rotating the permanent magnet 146 in parallel with the master information carrier 142 around the dashed line shown in FIG. As a result, the ferromagnetic thin film formed on the master information carrier 142 and having a convex-concave shape corresponding to the preformat information signal corresponding to the preformat information signal is magnetized, and the preformat information signal corresponding to the concavo-convex shape is recorded on the hard disk 141.
【００６６】上記したように、ハードディスク１４１は
予め永久磁石１６２などを用いて円周方向に初期磁化さ
れるが（図１６参照）、この初期磁化方向と、プリフォ
ーマット情報信号を記録する際に永久磁石１４６によっ
て印加される磁界の方向とは、同一であっても逆であっ
てもよい。本実施の形態においては、逆方向としてい
る。As described above, the hard disk 141 is preliminarily magnetized in the circumferential direction by using the permanent magnet 162 or the like (see FIG. 16). The direction of the magnetic field applied by the magnet 146 may be the same or opposite. In the present embodiment, the direction is reversed.
【００６７】上記したように、本実施の形態において
は、ハードディスク１４１の中心と同じ中心を有する円
環状の溝１４１２が形成され、一方、マスター情報担体
１４２には円環状の溝１４１２の外周縁に合わせて三角
形のマーカー１４１１が設けられている。これにより、
マスター情報担体１４２とハードディスク１４１を密着
させたときに、ハードディスク１４１に設けられた円環
状の溝１４１２の外周縁とマスター情報担体１４２に設
けられた三角形のマーカー１４１１の頂点を一致させる
ことにより、マスター情報パターンの幾何学的中心とハ
ードディスク１４１の中心とを一致させることができ
る。さらに、ハードディスク基板１５１に円環状の溝１
４１２を形成する際に、ハードディスク基板１５１を回
転させながら形成するので、円環状溝１４１２の中心と
ハードディスク１４１の中心とを極めて精度良く一致さ
せることができる。その結果、偏心が無く信頼性の高い
プリフォーマット記録を行うことができる。As described above, in the present embodiment, the annular groove 1412 having the same center as the center of the hard disk 141 is formed, while the master information carrier 142 is formed on the outer peripheral edge of the annular groove 1412. In addition, a triangular marker 1411 is provided. This allows
When the master information carrier 142 and the hard disk 141 are brought into close contact with each other, the outer edge of the annular groove 1412 provided on the hard disk 141 and the apex of the triangular marker 1411 provided on the master information carrier 142 coincide with each other. The geometric center of the information pattern and the center of the hard disk 141 can be matched. Further, the annular groove 1 is formed in the hard disk substrate 151.
Since the hard disk substrate 151 is formed while rotating the hard disk substrate 412, the center of the annular groove 1412 and the center of the hard disk 141 can be made to coincide with extremely high precision. As a result, highly reliable preformat recording without eccentricity can be performed.
【００６８】尚、本実施の形態においては、円環状の溝
１４１２の外周縁と三角形のマーカー１４１１の頂点と
を一致させるようにしたが、必ずしもこの構成に限定さ
れるものではなく、円環状の溝１４１２の内周縁と三角
形のマーカー１４１１の頂点とを一致させるようにして
もよい。In the present embodiment, the outer peripheral edge of the annular groove 1412 is made to coincide with the apex of the triangular marker 1411. However, the present invention is not limited to this configuration. The inner peripheral edge of the groove 1412 may coincide with the vertex of the triangular marker 1411.
【００６９】また、本実施の形態においては、円環状の
溝１４１２がハードディスク１４１の磁気記録領域１３
２の内側に設けられているが、必ずしもこの構成に限定
されるものではなく、円環状の溝１４１２をハードディ
スク１４１の磁気記録領域１３２の外側に設けてもよ
い。但し、この場合、マーカー１４１１も、円環状の溝
１４１２の位置に合わせてマスター情報担体１４２の外
周側に設ける必要がある。Further, in the present embodiment, the annular groove 1412 is formed in the magnetic recording area 13 of the hard disk 141.
2, but is not necessarily limited to this configuration, and an annular groove 1412 may be provided outside the magnetic recording area 132 of the hard disk 141. However, in this case, the marker 1411 also needs to be provided on the outer peripheral side of the master information carrier 142 in accordance with the position of the annular groove 1412.
【００７０】また、本実施の形態においては、回転砥石
１５４を用いて、一定の幅を有する円環状の溝１４１２
を形成しているが、必ずしも回転砥石１５４を用いる必
要はなく、レーザや超音波などを利用した公知の加工技
術によって円環状の溝１４１２を形成してもよい。Further, in the present embodiment, an annular groove 1412 having a fixed width is formed by using a rotating grindstone 154.
However, it is not always necessary to use the rotating grindstone 154, and the annular groove 1412 may be formed by a known processing technique using laser, ultrasonic waves, or the like.
【００７１】[0071]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マスター情報担体に形成された凹凸形状パターンの幾何
学的中心と磁気記録媒体の中心とを一致させることがで
きるので、偏心の無いプリフォーマット記録を行うこと
ができる。As described above, according to the present invention,
Since the geometric center of the concavo-convex pattern formed on the master information carrier and the center of the magnetic recording medium can be matched, preformat recording without eccentricity can be performed.
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるマスター情
報担体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 1 is a plan view schematically showing a structure of a master information carrier according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ部拡大図であり、マスター情報担体の
表面に形成されたプリフォーマット情報信号に対応する
凹凸形状パターンの一例を示す構成図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 1 and is a configuration diagram showing an example of an uneven pattern corresponding to a preformat information signal formed on the surface of a master information carrier.
【図３】本発明の第１の実施の形態における磁気記録媒
体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing the structure of the magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１の実施の形態におけるマスター情
報磁気記録装置を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a master information magnetic recording apparatus according to the first embodiment of the present invention.
【図５】図３の磁気記録媒体を予め初期磁化する方法の
一例を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an example of a method for previously magnetizing the magnetic recording medium of FIG. 3 in advance.
【図６】図４の位置検出用撮像装置によって観察された
非磁性領域及びマーカーの像を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing images of a non-magnetic region and a marker observed by the position detecting imaging device of FIG. 4;
【図７】本発明の第２の実施の形態におけるマスター情
報担体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 7 is a plan view schematically showing a structure of a master information carrier according to a second embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第２の実施の形態における磁気記録媒
体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 8 is a plan view schematically showing a structure of a magnetic recording medium according to a second embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第２の実施の形態におけるマスター情
報磁気記録装置を示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing a master information magnetic recording apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図１０】図８の磁気記録媒体を予め初期磁化する方法
の一例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an example of a method of previously magnetizing the magnetic recording medium of FIG. 8 in advance.
【図１１】図９の位置検出用撮像装置によって観察され
た貫通孔及びマーカーの像を示す模式図である。11 is a schematic diagram showing images of a through hole and a marker observed by the position detection imaging device of FIG. 9;
【図１２】本発明の第３の実施の形態におけるマスター
情報担体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 12 is a plan view schematically showing a structure of a master information carrier according to a third embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第３の実施の形態における磁気記録
媒体の構造を模式的に示す平面図である。FIG. 13 is a plan view schematically showing a structure of a magnetic recording medium according to a third embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の第３の実施の形態におけるマスター
情報磁気記録装置を示す断面図である。FIG. 14 is a sectional view showing a master information magnetic recording device according to a third embodiment of the present invention.
【図１５】図１３の磁気記録媒体の円環状の溝を形成す
る方法の一例を示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing an example of a method of forming an annular groove of the magnetic recording medium of FIG.
【図１６】図１３の磁気記録媒体を予め初期磁化する方
法の一例を示す斜視図である。16 is a perspective view showing an example of a method for previously magnetizing the magnetic recording medium of FIG. 13 in advance.
【図１７】図１４の位置検出用撮像装置によって観察さ
れた円環状の溝及び三角形のマーカーの像を示す模式図
である。FIG. 17 is a schematic diagram showing an image of an annular groove and a triangular marker observed by the position detection imaging device of FIG. 14;
４２、９２、１４２ マスター情報担体 １２、７２、１２２ 情報信号に対応した凹凸形状が形
成されている領域 １３、７３、１２３ 情報信号に対応した凹凸形状の幾
何学的中心 ４１１、９１１、１４１１ マーカー ４１、９１、１４１ ハードディスク ３２、８２、１３２ 磁気記録領域 ３３、８３、１３３ ハードディスクの中心 ３４、４１２ 非磁性領域 ４３、９３、１４３ 下フランジ ４４、９４、１４４ 上フランジ ４５、９５、１４５ ボルト ４６、５２、９６、１０２、１４６、１６２ 永久磁石 ４７、９７、１４７ 弾性板 ４８、９８、１４８ 排気ダクト ４９、９９、１４９ 排気装置 ８４、９１２ 貫通孔 ９１３ 光源 ４１０、９１０、１４１０ 位置検出用撮像装置 ５１、１０１、１６１ 直流励磁磁界 ６１ ハードディスクの中心孔 １４１２ 円環状溝 １５１ ハードディスク基板 １５３ スピンドルモータ １５４ 回転砥石 １５５ ハードディスク基板を回転させる方向 １５６ 回転砥石を回転させる方向42, 92, 142 Master information carrier 12, 72, 122 Regions in which unevenness corresponding to information signal is formed 13, 73, 123 Geometric center of unevenness corresponding to information signal 411, 911, 1411 Marker 41 , 91, 141 Hard disk 32, 82, 132 Magnetic recording area 33, 83, 133 Center of hard disk 34, 412 Non-magnetic area 43, 93, 143 Lower flange 44, 94, 144 Upper flange 45, 95, 145 Volt 46, 52 , 96, 102, 146, 162 Permanent magnet 47, 97, 147 Elastic plate 48, 98, 148 Exhaust duct 49, 99, 149 Exhaust device 84, 912 Through hole 913 Light source 410, 910, 1410 Position detecting imaging device 51, 101, 161 DC excitation magnetic field 61 Inside the hard disk Direction of rotating the direction 156 grinding wheel for rotating the hole 1412 annular groove 151 hard disk substrate 153 a spindle motor 154 rotating the grindstone 155 hard disk substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 領内 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 石田 達朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Ryouchi 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (7)
状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に強
磁性薄膜が形成されたマスター情報担体と、強磁性層を
有する磁気記録媒体とを密着させ、外部磁界を用いて前
記マスター情報担体の凸部表面の強磁性薄膜を磁化させ
ることにより、前記磁気記録媒体に前記マスター情報担
体の前記凹凸形状に対応する情報信号を記録するマスタ
ー情報磁気記録装置であって、前記マスター情報担体と
前記磁気記録媒体とに両者の位置合わせを行うための手
段を設けたことを特徴とするマスター情報磁気記録装
置。1. A master information carrier in which a concavo-convex shape corresponding to an information signal is formed on a surface of a base, and a ferromagnetic thin film is formed on at least a surface of a convex portion of the concavo-convex shape, and a magnetic recording medium having a ferromagnetic layer. Master information for recording an information signal corresponding to the concavo-convex shape of the master information carrier on the magnetic recording medium by magnetizing the ferromagnetic thin film on the convex surface of the master information carrier using an external magnetic field. A magnetic recording apparatus, comprising: means for aligning the master information carrier and the magnetic recording medium with each other.
置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒体に設け
られた所定形状の第１のマーカーと、前記マスター情報
担体に前記第１のマーカーに合わせて設けられ、前記第
１のマーカーに対応した形状を有する第２のマーカーと
からなる請求項１に記載のマスター情報磁気記録装置。2. A means for positioning a master information carrier and a magnetic recording medium, the first marker having a predetermined shape provided on the magnetic recording medium, and the first marker being provided on the master information carrier. 2. The master information magnetic recording apparatus according to claim 1, further comprising: a second marker having a shape corresponding to the first marker. 3.
置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒体の磁気
記録領域外に設けられた強磁性層を有しない非磁性領域
と、前記マスター情報担体に前記非磁性領域に合わせて
設けられ、前記非磁性領域に対応した形状を有するマー
カーとからなる請求項１に記載のマスター情報磁気記録
装置。3. A method for positioning a master information carrier and a magnetic recording medium, comprising: a nonmagnetic region having no ferromagnetic layer provided outside a magnetic recording region of the magnetic recording medium; 2. The master information magnetic recording apparatus according to claim 1, comprising a marker provided on the carrier so as to correspond to the non-magnetic region and having a shape corresponding to the non-magnetic region.
カーの形状が前記貫通孔の形状と同じである請求項３に
記載のマスター情報磁気記録装置。4. The master information magnetic recording apparatus according to claim 3, wherein the nonmagnetic region is a through hole, and the shape of the marker is the same as the shape of the through hole.
置合わせを行うための手段が、前記磁気記録媒体の磁気
記録領域外に設けられた円環状の溝と、前記マスター情
報担体に前記円環状の溝に合わせて設けられたマーカー
とからなる請求項１に記載のマスター情報磁気記録装
置。5. A means for aligning a master information carrier and a magnetic recording medium, comprising: an annular groove provided outside a magnetic recording area of the magnetic recording medium; 2. The master information magnetic recording apparatus according to claim 1, comprising a marker provided in accordance with said groove.
て配置されている請求項５に記載のマスター情報磁気記
録装置。6. The master information magnetic recording apparatus according to claim 5, wherein the marker is arranged at an inner peripheral edge of the annular groove.
て配置されている請求項５に記載のマスター情報磁気記
録装置。7. The master information magnetic recording apparatus according to claim 5, wherein the marker is arranged at an outer peripheral edge of the annular groove.
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|---|---|---|---|
| JP33736397A JPH11175973A (en) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | Master information magnetic recorder |
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| JP33736397A JPH11175973A (en) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | Master information magnetic recorder |
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