JP2006193407A - Glass preform for press-molding - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass preform for molding an optical element capable of preventing fusion of the glass material thereof and a mold, elongating the service life of the mold, and not preventing the formation of an optically coherent coating in a later process. <P>SOLUTION: The glass preform is manufactured by forming a matrix layer and a coating film consisting of the matrix layer in which a plurality of nanoparticles are dispersed on the surface of a glass material where a functional face for molding a later product, i.e. an optical element, is formed by press-molding. The matrix layer preferably consists of an amorphous carbon, a diamond-like carbon, or their combination. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガラス素材例えばガラス光学素子にプレス成形するためのガラスプリフォームに関する。   The present invention relates to a glass preform for press molding a glass material such as a glass optical element.

ガラス素材を研磨工程を経ずに、所定の表面精度を有する成形用型内に込めてプレス成形することによって、光学機器等に利用されるガラス光学レンズを生産性よく製造する方法が知られている。代表的な加圧成形法としては、予め溶融固化した光学素子成形用素材としての例えばガラス素材の必要量を所定の温度に加熱して軟化させ予備成形し、同ガラスプリフォームを成形用の型内に込めて加圧してガラス光学素子を成形するリヒートプレス法が挙げられる。この方法によって、従来の研磨工程を主とした成形法と比べて短時間に容易に高精度の光学ガラス素子が製造されるが、成形されたガラス光学素子の機能面の鏡面が早くから損われて曇りや融着が生じ易く、光学的機能については必ずしも満足するものが得られるとは言えない。   There is known a method for producing a glass optical lens used for optical equipment or the like with high productivity by putting the glass material into a molding die having a predetermined surface accuracy without going through a polishing step and press-molding. Yes. As a typical pressure molding method, for example, a necessary amount of a glass material as an optical element molding material that has been melted and solidified in advance is softened by heating to a predetermined temperature, and the glass preform is molded into a mold for molding. There is a reheat press method in which a glass optical element is formed by pressurizing the glass optical element. By this method, a high-precision optical glass element can be easily manufactured in a short time compared with a molding method mainly using a conventional polishing process, but the mirror surface of the functional surface of the molded glass optical element is damaged early. Cloudiness and fusion are likely to occur, and it cannot be said that a satisfactory optical function is obtained.

このような問題を解決するための多くの方法が開示されている。例えば、特許文献1には、ガラス素材の表面(機能面が形成される面)に炭素薄膜を被覆することにより、その表面を保護すると共に、成形用型と高温で比較的長時間密着した状態で接触しても、融着を起さず型からの離型性を付与することができる方法が開示されている。また、特許文献2には、型の成形面に炭素薄膜が、ガラス素材の表面にカーボン膜がそれぞれ形成されることにより、界面にかかる例えば密着力、摩擦力が緩和され、成形面の膜が剥離しにくく、成形型が長持ちし、微小凹部や曇りがない光学ガラス素子が得られる方法が開示されている。
特開昭63−222023号公報 特開2003−313046号公報
Many methods for solving such problems have been disclosed. For example, Patent Document 1 discloses a state in which a surface of a glass material (surface on which a functional surface is formed) is covered with a carbon thin film to protect the surface and is in close contact with a molding die for a relatively long time at high temperature Discloses a method capable of imparting releasability from a mold without causing fusion even if contact is made. Patent Document 2 discloses that a carbon thin film is formed on the molding surface of a mold and a carbon film is formed on the surface of a glass material, so that, for example, adhesion force and frictional force applied to the interface are alleviated. There is disclosed a method for obtaining an optical glass element that is difficult to peel off, has a long mold, and is free from minute recesses and fogging.
JP 63-2222023 A JP 2003-313046 A

特許文献1に記載されているとおり、ガラス素材の表面に、スパッタ法、蒸着法、ゾルゲル法などでコーティングされ、均一で、保護膜として充分な強度を有し、化学的にも安定であり、さらに、成形用型との融着を起さない連続被膜を形成することができる炭素材料からなる炭素薄膜が形成されるが、後続工程で形成される光学干渉被膜の光学特性に影響を及ぼさないようにするため、炭素薄膜が設けられているレンズ素材に対してアニール処理を行い残留した炭素薄膜を残さずに除去しなければならず、手間がかかる。特許文献2の方法によれば、成形型の離型膜とした炭素薄膜は、多数回のプレス成形を行うと、部分的に剥離するなど消耗し十分機能しなくなる。その劣化状態を修復するため、所定回のプレス毎に洗浄、アッシングなどの除去処理をし、改めて成膜するという再生作業を行わなければならない。このような成形型の再生を繰り返すと、成形面が粗くなり、それがプレスの際に転写され、成形される光学レンズ素子の表面に表面粗さの低下に起因する光散乱によるくもりや白濁といった外観欠陥が発生する欠点がある。   As described in Patent Document 1, the surface of the glass material is coated by a sputtering method, a vapor deposition method, a sol-gel method, etc., is uniform, has sufficient strength as a protective film, and is chemically stable, Furthermore, a carbon thin film made of a carbon material capable of forming a continuous film that does not cause fusion with the mold is formed, but it does not affect the optical characteristics of the optical interference film formed in the subsequent process. For this reason, the lens material provided with the carbon thin film must be annealed to remove the remaining carbon thin film without leaving it, which is troublesome. According to the method of Patent Document 2, the carbon thin film used as the mold release film is worn and not fully functioning when it is subjected to many press moldings, such as partial peeling. In order to repair the deteriorated state, it is necessary to perform a regenerating operation of performing a removal process such as cleaning and ashing every predetermined number of presses and forming a new film. When such regeneration of the mold is repeated, the molding surface becomes rough, and it is transferred during pressing, and the surface of the optical lens element to be molded is cloudy or cloudy due to light scattering due to the decrease in surface roughness. There is a defect that appearance defects occur.

本発明者は、ガラスプリフォームにおける保護膜のガラス素材への付着力を適正に制御すれば、ガラス素材と成形型の融着を抑制することができ、所定の光学特性を満たすことができ、且つ後工程による光学干渉膜の光学特性に影響を及ぼさないことができると考えた。   If the inventor properly controls the adhesion of the protective film to the glass material in the glass preform, the glass material and the mold can be prevented from being fused, and predetermined optical characteristics can be satisfied. Moreover, it was considered that the optical properties of the optical interference film in the subsequent process could not be affected.

そこで、本発明は、上記の問題点を解消するためになされたものであり、ガラス素材と成形型の間で融着が生じることを防止し、成形型をさらに長持ちさせ、後工程の光学干渉被膜の形成を妨げない光学素子成形用ガラスプリフォームを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and prevents fusion between the glass material and the mold, further prolonging the mold, and optical interference in the post process. An object of the present invention is to provide a glass preform for molding an optical element that does not hinder the formation of a coating film.

上記目的を達成すべく、本発明のプレス成形用のガラスプリフォームは、プレス成形により後の成品の光学素子を成形するためのガラス素材の機能面が形成される表面に、マトリックス層及び該マトリックス層にナノ粒子が複数分散してなる分散体からなる保護膜が形成されてなり、前記マトリックス層として、好ましくは例えばアモルファス状炭素、ダイヤモンド状炭素又はそれらの組み合せから構成されるようにした。   In order to achieve the above object, a glass preform for press molding according to the present invention comprises a matrix layer and a matrix on a surface on which a functional surface of a glass material for molding a subsequent optical element is formed by press molding. A protective film made of a dispersion in which a plurality of nanoparticles are dispersed in the layer is formed, and the matrix layer is preferably composed of, for example, amorphous carbon, diamond-like carbon, or a combination thereof.

以上の構成によれば、ガラス素材上に炭素系保護膜が形成されることによって、成形型との滑り性を向上させ、成形型の間の融着を抑制し、成形型の成形面から機能面が形成される面に精度よく転写される。   According to the above configuration, the formation of the carbon-based protective film on the glass material improves the slipperiness with the mold, suppresses fusion between the molds, and functions from the molding surface of the mold. The surface is accurately transferred to the surface on which the surface is formed.

そこで、本発明のガラスプリフォームは、ガラス素材の機能面が形成される連続表面に、0.2nm〜20nmの厚さでナノ粒子が複数導入され、炭素含有の保護膜が形成されていることで上記目的を達成できると知見した。保護膜としては、例えば所定炭素数のマトリックス層及び炭素化合物含有のナノ粒子により構成される。   Therefore, the glass preform of the present invention has a carbon-containing protective film formed by introducing a plurality of nanoparticles with a thickness of 0.2 nm to 20 nm on a continuous surface on which the functional surface of the glass material is formed. It was found that the above purpose could be achieved. The protective film is composed of, for example, a matrix layer having a predetermined number of carbon atoms and carbon compound-containing nanoparticles.

複数のナノ粒子含有の保護膜を形成するとき、膜のコーティング処理の雰囲気温度をガラス素材のガラス遷移温度(Tg)以下にして、保護膜全体がアモルファス状に形成されることにより、保護膜の本来の熱伝導性及び摩擦性が保たれる。該保護膜が形成されたガラスプリフォームは、成形型による高温プレス成形の中でも、均一に熱が伝わり、型内の成形面との滑り性がよい。さらに、ガラス素材の同質性に近い炭素含有化合物のナノ粒子によって、保護膜に対してほどよい密着性を付与することができ、保護膜が形成されているガラス素材に対し、高温成形の後でも、アニール処理により所定炭素数を有するマトリックス層及びガラス素材上に残されている微量のナノ粒子を残らず除去することができるが、ガラス素材の表面上に微量ナノ粒子が残留しても、後続工程に形成される光学干渉被膜の光学特性に影響を及ぼすことはない。   When forming a protective film containing a plurality of nanoparticles, the atmospheric temperature of the coating treatment of the film is made lower than the glass transition temperature (Tg) of the glass material, and the entire protective film is formed in an amorphous state. The original thermal conductivity and friction are maintained. The glass preform on which the protective film is formed can transmit heat uniformly even during high-temperature press molding using a molding die, and has good slipperiness with the molding surface in the die. In addition, the carbon-containing compound nanoparticles close to the homogeneity of the glass material can give moderate adhesion to the protective film, and even after high-temperature molding for the glass material on which the protective film is formed. The annealing process can remove all traces of nanoparticles remaining on the glass layer and the matrix layer having a predetermined number of carbon atoms, but even if traces of nanoparticles remain on the surface of the glass It does not affect the optical properties of the optical interference coating formed in the process.

図1、2を参照すると、本発明のプレス成形用のガラスプリフォームは、連続表面21を有するガラス素材2の表面21に保護膜3が形成されてなる。ガラス素材としては、プレス成形によりガラス光学素子を成形するための所定の形状に予備成形されたガラス素材である。   Referring to FIGS. 1 and 2, the glass preform for press molding of the present invention has a protective film 3 formed on the surface 21 of a glass material 2 having a continuous surface 21. The glass material is a glass material preformed into a predetermined shape for molding a glass optical element by press molding.

本発明にかかるガラスプリフォームにおいては、ガラス素材2の機能面が形成される連続表面21に形成された保護膜3は、マトリックス層31、及び該マトリックス層31にナノ粒子321、321、・・・が複数分散してなる分散体32から構成される。   In the glass preform according to the present invention, the protective film 3 formed on the continuous surface 21 on which the functional surface of the glass material 2 is formed has a matrix layer 31 and nanoparticles 321, 321,. Is composed of a dispersion 32 formed by dispersing a plurality of.

マトリックス層31として、好ましくは例えばアモルファス状炭素、ダイヤモンド状炭素又はそれらの組み合せから構成される。   The matrix layer 31 is preferably made of, for example, amorphous carbon, diamond-like carbon, or a combination thereof.

分散体32としては、好ましくはMと炭素を含有する組成、A、B、又はそれらの組み合せから構成される。Aとしては、Mと炭素を含有する組成、Mと酸素を含有する組成、またはMと炭素と酸素を含有する組成である。Bとしては、Mと炭素を含有する組成、Mと窒素を含有する組成、またはMと炭素と窒素を含有する組成を含む構成である。ここで、Mとしては、好ましくはけい素(Si)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、ハフニウム(Hf)、ホウ素(B)及びこれらの組み合せなどの内から選ばれた少なくとも1つを用いることができる。具体的には、好ましい実施例では、マトリックス層31は、Aを、Mはけい素を用い、即ち、分散体32は、けい素と炭素を含有する組成、けい素と酸素を含有する組成、及びけい素と炭素と酸素を含有する組成によって構成される。したがって、ナノ粒子321としては、けい素と炭素(Si−C)を含有するナノ粒子、酸素とけい素(Si−O)を含有するナノ粒子及びけい素と炭素と酸素(Si−C−O)を含有するナノ粒子の3種類のナノ粒子を含む構成である。 The dispersion 32, preferably a composition containing M 1 and carbon, A, B, or composed of a combination thereof. A is a composition containing M 1 and carbon, a composition containing M 1 and oxygen, or a composition containing M 1 , carbon and oxygen. B includes a composition containing M 1 and carbon, a composition containing M 1 and nitrogen, or a composition containing M 1 , carbon and nitrogen. Here, M 1 is preferably silicon (Si), titanium (Ti), aluminum (Al), tungsten (W), tantalum (Ta), chromium (Cr), zirconium (Zr), vanadium (V). At least one selected from niobium (Nb), hafnium (Hf), boron (B), and combinations thereof can be used. Specifically, in a preferred embodiment, the matrix layer 31 uses A and M 1 uses silicon, that is, the dispersion 32 includes a composition containing silicon and carbon, and a composition containing silicon and oxygen. And a composition containing silicon, carbon, and oxygen. Accordingly, the nanoparticles 321 include nanoparticles containing silicon and carbon (Si—C), nanoparticles containing oxygen and silicon (Si—O), and silicon, carbon and oxygen (Si—C—O). It is the structure containing 3 types of nanoparticles of the nanoparticle containing.

保護膜3としては、出発原料の分解反応生成物である。該出発原料としては、M源、炭素源、水素源、及び、酸素源、窒素源又はそれらの組み合せから選ばれた1つを含む構成を用いる。ここで、M源としては、けい素(Si)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、ハフニウム(Hf)、ホウ素(B)及びこれらの組み合せなどの内から選ばれた少なくとも1つを用いることができ、好ましくはけい素源を用いる。M源はけい素源である場合、出発原料は、けい素源、炭素源、水素源及び酸素源を含む組成源を用い、また、けい素、炭素、水素及び酸素の気体分子を含むことがより好ましい。なお、実施例においては、出発原料としてはヘキサメチルジシロキサン(C6H18OSi2)を用いる。 The protective film 3 is a decomposition reaction product of the starting material. As the starting material, a structure including one selected from an M 1 source, a carbon source, a hydrogen source, and an oxygen source, a nitrogen source, or a combination thereof is used. Here, as the M 1 source, silicon (Si), titanium (Ti), aluminum (Al), tungsten (W), tantalum (Ta), chromium (Cr), zirconium (Zr), vanadium (V), At least one selected from niobium (Nb), hafnium (Hf), boron (B), and combinations thereof can be used, and a silicon source is preferably used. When the M 1 source is a silicon source, the starting material should use a composition source including a silicon source, a carbon source, a hydrogen source and an oxygen source, and contain gas molecules of silicon, carbon, hydrogen and oxygen. Is more preferable. In the examples, hexamethyldisiloxane (C 6 H 18 OSi 2 ) is used as a starting material.

また、本発明においては、前記保護膜3の膜厚は、0.2nm以上であればよく、好ましくは、0.2nm〜20nmの範囲内である。
<実施例>
次に本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によって何ら限定されるものではない。
In the present invention, the protective film 3 may have a thickness of 0.2 nm or more, and preferably in the range of 0.2 nm to 20 nm.
<Example>
EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited at all by these examples.

本発明の加圧成形用のガラスプリフォームにおいては、保護膜3のマトリックス層31はアモルファス炭素、分散体32はけい素と炭素を含む組成、けい素と酸素を含む組成、及びけい素と炭素と酸素を含む組成から構成される。この例においては、ナノ粒子は、けい素と炭素(Si−C)を含むナノ粒子、けい素と酸素(Si−O)を含むナノ粒子、及びけい素と炭素と酸素(Si−C−O)を含むナノ粒子から構成される。   In the glass preform for pressure molding of the present invention, the matrix layer 31 of the protective film 3 is amorphous carbon, the dispersion 32 is a composition containing silicon and carbon, a composition containing silicon and oxygen, and silicon and carbon. And a composition containing oxygen. In this example, the nanoparticles are nanoparticles comprising silicon and carbon (Si—C), nanoparticles comprising silicon and oxygen (Si—O), and silicon, carbon and oxygen (Si—C—O). ).

ガラス素材2としては、この例においては、OHARA(社)製、型番がL−LBAL35で、転移点Tg=527℃であるガラス素材が用いられる。   In this example, a glass material having a model number L-LBAL35 and a transition point Tg = 527 ° C. is used as the glass material 2.

以下、この実施例のガラスプリフォームの製造方法について詳細に説明する。   Hereafter, the manufacturing method of the glass preform of this Example is demonstrated in detail.

連続表面を有するように予備成形されたガラス素材2が用意され、イソプロピルアルコールでよく清浄される。   A glass material 2 preformed to have a continuous surface is prepared and thoroughly cleaned with isopropyl alcohol.

よく洗浄したガラス素材2を反応容器内に配置した。反応容器内を真空ポンプにより4×10−3Paまで排気をした後、加熱し480℃に60分維持した。次いで、出発原料としてのヘキサメチルジシロキサンガスを導入しながら真空ポンプにより排気を行うことにより、0.5Paに維持した。なお、陽極電流値:0.75A、バイアス圧:120V、成膜レート:1nm/minなどのプロセスパラメータを用いる。 A well-cleaned glass material 2 was placed in the reaction vessel. The inside of the reaction vessel was evacuated to 4 × 10 −3 Pa with a vacuum pump, and then heated and maintained at 480 ° C. for 60 minutes. Next, the pressure was maintained at 0.5 Pa by exhausting with a vacuum pump while introducing hexamethyldisiloxane gas as a starting material. Process parameters such as anode current value: 0.75 A, bias pressure: 120 V, film formation rate: 1 nm / min are used.

このようにして、ガラス素材2の表面21全体にほぼ10nmの保護膜が被覆されているガラスプリフォームが得られる(図1、2)。この次は、この保護膜が被覆されたガラスプリフォームについては、洗浄、プレス成形、430℃のアニール処理、光学干渉被膜のコーティングなどのプロセスを行う。   In this way, a glass preform is obtained in which the entire surface 21 of the glass material 2 is covered with a protective film of approximately 10 nm (FIGS. 1 and 2). Next, the glass preform coated with the protective film is subjected to processes such as washing, press molding, annealing at 430 ° C., and coating with an optical interference film.

本実施例にかかるガラスプリフォームによれば、後工程のイソプロピルアルコール洗浄によく耐えることが分かる。また、高温プレス成形工程においては、高い熱伝導性を有する保護膜3によって、ガラス素材2に速やかに熱を伝わり、成形型の間に滑り易くなり、成形型の成形面が精密よく転写される成形品表面性が優れるガラス光学素子が製造できる。   It can be seen that the glass preform according to the present example well withstands the subsequent isopropyl alcohol cleaning. Further, in the high-temperature press molding process, the protective film 3 having high thermal conductivity quickly transfers heat to the glass material 2 and becomes slippery between the molding dies, and the molding surface of the molding dies is accurately transferred. A glass optical element having excellent surface properties of the molded product can be produced.

そして、ガラス素材2上に形成される保護膜3は、炭素系ナノ粒子により構成されるので、成形工程を通じてガラス光学素子の機能面が成形される面を保護すると共に、後のアニール処理を行ってもガラス素材2の表面21上に残留したナノ粒子321を残らず除去できるため、後工程に形成される光学干渉被膜の光学特性に影響を及ぼさない。   And since the protective film 3 formed on the glass raw material 2 is comprised with a carbon-type nanoparticle, while protecting the surface by which a functional surface of a glass optical element is shape | molded through a shaping | molding process, a subsequent annealing process is performed. However, since all the nanoparticles 321 remaining on the surface 21 of the glass material 2 can be removed, the optical properties of the optical interference coating formed in the subsequent process are not affected.

また、成形型の使用回数は、5000回〜6000回増加できることが分かる。
<比較例>
比較のために、保護膜3を形成しない以外は、ガラス素材2(L−LBAL35)を用いて実施例と同様に、成形型で高温プレスした。
Moreover, it turns out that the frequency | count of use of a shaping | molding die can be increased 5000 times-6000 times.
<Comparative example>
For comparison, the glass material 2 (L-LBAL35) was used and hot-pressed with a molding die in the same manner as in Example, except that the protective film 3 was not formed.

保護膜3を形成しないガラス素材をプレス成形する成形型では、その使用回数がわずか500回〜1000回となり、前記実施例と比べてかなり少ないことが分かる。   It can be seen that in a mold for press-molding a glass material that does not form the protective film 3, the number of uses is only 500 to 1000 times, which is considerably less than in the above-described example.

以上により、本発明のプレス成形用プリフォームによれば、高温プレス成形中の成形型との融着を抑制し、成形面の転写密度が高く、成形型の使用回数も増やし、後工程で形成される光学干渉被膜の光学特性に影響がないプレス成形用プリフォームが得られる。   As described above, according to the press-molding preform of the present invention, the fusion with the mold during high-temperature press molding is suppressed, the transfer density of the molding surface is high, the number of times the mold is used is increased, and it is formed in the subsequent process. A preform for press molding that does not affect the optical properties of the optical interference coating is obtained.

本発明にかかるプレス成形用ガラスプリフォームの構成を概略示す断面図。Sectional drawing which shows schematically the structure of the glass preform for press molding concerning this invention. 図1のガラスプリフォームの部分拡大断面図。The partial expanded sectional view of the glass preform of FIG. 図1のガラス素材を概略示す断面図。Sectional drawing which shows schematically the glass raw material of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

2...ガラス素材
21...表面
3...保護膜
31...マトリックス層
32...分散体
321...ナノ粒子
2. . . Glass material 21. . . Surface 3. . . Protective film 31. . . Matrix layer 32. . . Dispersion 321. . . Nanoparticles

Claims (11)

プレス成形により後で成品のガラス光学素子を成形するためのガラス素材の機能面が形成される表面に、マトリックス層及び該マトリックス層にナノ粒子が複数分散してなる分散体からなる保護膜が形成されてなり、
前記マトリックス層として、アモルファス状炭素、ダイヤモンド状炭素又はそれらの組み合せから構成される
ことを特徴とするプレス成形用のガラスプリフォーム。
A protective film composed of a matrix layer and a dispersion in which a plurality of nanoparticles are dispersed in the matrix layer is formed on the surface on which the functional surface of the glass material for forming a glass optical element as a product later is formed by press molding. Being
A glass preform for press molding, wherein the matrix layer is composed of amorphous carbon, diamond-like carbon, or a combination thereof.
前記分散体としては、Mと炭素を含有する組成、A、B、又はそれらの組み合せから構成され、
前記Aとしては、Mと炭素を含有する組成、Mと酸素を含有する組成、またはMと炭素と酸素を含有する組成で、
前記Bとしては、Mと炭素を含有する組成、Mと窒素を含有する組成、またはMと炭素と窒素を含有する組成で、
ここで、Mとしては、けい素(Si)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、ハフニウム(Hf)、ホウ素(B)及びこれらの組み合せなどの内から選ばれた少なくとも1つを用いることを特徴とする請求項1に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。
As the dispersion composition containing M 1 and carbon, it is constituted A, B, or combinations thereof,
As the A, a composition containing M 1 and carbon, a composition containing M 1 and oxygen, or a composition containing M 1 , carbon and oxygen,
As B, a composition containing M 1 and carbon, a composition containing M 1 and nitrogen, or a composition containing M 1 , carbon and nitrogen,
Here, the M 1, silicon (Si), titanium (Ti), aluminum (Al), tungsten (W), tantalum (Ta), chromium (Cr), zirconium (Zr), vanadium (V), niobium The glass preform for press molding according to claim 1, wherein at least one selected from (Nb), hafnium (Hf), boron (B), and combinations thereof is used.
前記分散体は、前記Aからなり、前記Mはけい素であることを特徴とする請求項2に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。 The glass preform for press molding according to claim 2, wherein the dispersion is made of the A, and the M 1 is silicon. 前記保護膜としては、出発原料の分解反応生成物であり、前記出発原料としては、M源、炭素源、水素源及び、酸素源、窒素源又はそれらの組み合せから選ばれた1つを含むことを特徴とする請求項1に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。 The protective film is a decomposition reaction product of a starting material, and the starting material includes one selected from an M 1 source, a carbon source, a hydrogen source, an oxygen source, a nitrogen source, or a combination thereof. The glass preform for press molding according to claim 1. 前記M源としては、けい素(Si)、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、ジルコニウム(Zr)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、ハフニウム(Hf)、ホウ素(B)及びこれらの組み合せなどの内から選ばれた少なくとも1つを用いることを特徴とする請求項4に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。 Examples of the M 1 source include silicon (Si), titanium (Ti), aluminum (Al), tungsten (W), tantalum (Ta), chromium (Cr), zirconium (Zr), vanadium (V), niobium ( The glass preform for press molding according to claim 4, wherein at least one selected from Nb), hafnium (Hf), boron (B), and combinations thereof is used. 前記Mは、けい素源であることを特徴とする請求項5に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。 Wherein M 1 is a glass preform for press molding according to claim 5, characterized in that the silicic Motogen. 前記出発原料は、けい素源、炭素源、水素源及び酸素源を含むことを特徴とする請求項6に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。   The glass preform for press molding according to claim 6, wherein the starting material includes a silicon source, a carbon source, a hydrogen source, and an oxygen source. 前記出発原料は、けい素、炭素、水素及び酸素の気体分子を含むことを特徴とする請求項6に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。   The glass preform for press molding according to claim 6, wherein the starting material contains gas molecules of silicon, carbon, hydrogen and oxygen. 前記けい素、炭素、水素及び酸素の気体分子を含む出発原料は、ヘキサメチルジシロキサンガスを用いることを特徴とする請求項8に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。   The glass preform for press molding according to claim 8, wherein hexamethyldisiloxane gas is used as a starting material containing gas molecules of silicon, carbon, hydrogen and oxygen. 前記保護膜の膜厚は、0.2nm以上であることを特徴とする請求項1に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。   The glass preform for press molding according to claim 1, wherein the protective film has a thickness of 0.2 nm or more. 前記保護膜の膜厚は、0.2nm〜20nmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のプレス成形用のガラスプリフォーム。   The glass preform for press molding according to claim 1, wherein the protective film has a thickness in a range of 0.2 nm to 20 nm.
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