JP2006186360A - Apparatus for recovery in system for processing disk-like object and its method - Google Patents

Apparatus for recovery in system for processing disk-like object and its method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for recovery in a system which processes a disk-like object and to provide its method. <P>SOLUTION: The apparatus for the recovery in the system which processes the disk-like object is disclosed. This system includes an OHT which declines and/or elevates so that it may pass through at least one FOUP including the disk-like object on a load port and may separate from the load port. An optical barrier arrangement is attached in the front surface of the load port region designed so that the FOUP might be descended and/or raised by the OHT. An input device is provided. When the decline and/or the raise of the FOUP is suspended according to the barrier of the optical barrier arrangement, the OHT resumes the above decline and/or the raise with this input device. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明はディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置に関する。特に、本発明は、ディスク状対象物を有する少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へおよびロードポートから離れるように下降および／または上昇させるシステムに設けられたＯＨＴにより、ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置に関する。   The present invention relates to a recovery apparatus in a system for processing a disk-like object. In particular, the invention relates to a system for processing a disk-like object by means of an OHT provided in the system for lowering and / or raising at least one FOUP with the disk-like object on and off the load port. The present invention relates to a recovery apparatus.

更に、本発明はディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ方法に関する。   The present invention further relates to a recovery method in a system for processing a disk-like object.

半導体の製造において、各ウェーハまたはディスク状基板は生産工程中に多数の処理工程で連続的に処理される。ディスク状基板はコンテナ、ＦＯＵＰに入れられてシステムへ輸送され、その後、様々な処理工程がシステムで行なわれる。ＦＯＵＰは、ＯＨＴによりシステムのロードポートへ配送または輸送される。   In the manufacture of semiconductors, each wafer or disk substrate is processed continuously in a number of processing steps during the production process. The disk-shaped substrate is put in a container or FOUP and transported to the system, and thereafter various processing steps are performed in the system. The FOUP is delivered or transported to the system load port by OHT.

特許文献１は、個々のＦＯＵＰがＯＨＴによりロードポートへ輸送される方法を開示しているが、ＯＨＴからロードポートの台板までのＦＯＵＰの輸送経路内に物体等が存在しているかどうかを監視する装置を開示していない。   Patent Document 1 discloses a method in which individual FOUPs are transported to a load port by OHT, but monitors whether an object or the like exists in the transport path of FOUP from OHT to the load port base plate. No device is disclosed.

特許文献２は処理機械においてロードポートを位置決めする装置を開示している。上記装置は、処理機械内の対応ピンと相互に作用する少なくとも２つの垂直方向の穿孔が実装された台板を有する。少なくとも１つの水平方向の穿孔が設けられた位置決めブロックが位置決め用に設けられる。ロードポートの位置は穿孔を介して光源と検出器とにより決定される。   Patent Document 2 discloses an apparatus for positioning a load port in a processing machine. The apparatus has a base plate mounted with at least two vertical perforations that interact with corresponding pins in the processing machine. A positioning block provided with at least one horizontal bore is provided for positioning. The position of the load port is determined by the light source and detector through the perforations.

米国特許出願公開第２００３／００５３８９２ Ａ１号明細書US Patent Application Publication No. 2003/0053892 A1 米国特許出願公開第２００２／０１５５６４１ Ａ１号明細書US Patent Application Publication No. 2002/0155641 A1

本発明の基本的な目的は、ＦＯＵＰをロードポート上へおよび／またはロードポートから離れるように下降および／または上昇させる際に誤動作が発生した場合、稼動を迅速かつ安価に継続させることができる装置を製作することである。   A basic object of the present invention is an apparatus capable of continuing operation quickly and inexpensively when a malfunction occurs when lowering and / or raising a FOUP on and / or away from a load port. Is to produce.

この目的は、ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置により解決される。これによって、ディスク状対象物を含む少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降および／または上昇させるＯＨＴがシステムに設けられ、ＦＯＵＰをＯＨＴにより下降および／または上昇させるために実装されたロードポート領域の正面に光バリヤ配列が取り付けられ、上記下降および／または上昇が光電センサー配列の障害により停止されるとＯＨＴをリセットすることができる入力装置が設けられる。   This object is solved by a recovery device in a system for processing a disk-like object. This provides the system with an OHT that lowers and / or raises at least one FOUP containing a disk-like object onto or away from the load port, to lower and / or raise the FOUP by OHT. An optical barrier arrangement is attached to the front of the mounted load port area, and an input device is provided that can reset the OHT when the descent and / or ascent is stopped by a failure of the photoelectric sensor arrangement.

本発明のさらなる目的は、ＦＯＵＰをロードポート上へおよび／またはロードポートから離れるように下降および／または上昇させる際に誤動作が発生した場合、迅速で安価な稼動の継続が可能となる方法が利用できるようにすることである。   A further object of the present invention is to utilize a method that allows for quick and inexpensive operation to continue if a malfunction occurs when the FOUP is lowered and / or raised away from and / or away from the load port. Is to be able to do it.

この目的は以下の特徴、すなわち、
ＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降または上昇させる間に光電センサー配列の障害が発生する工程と、
光電センサー配列の障害が継続しているかどうかを監視する工程と、
ロードポート上へまたはロードポートから離れるようにＦＯＵＰの下降またはＦＯＵＰの上昇をリカバリおよび継続させる工程と、
を含む方法により解決される。 This purpose is characterized by the following features:
A failure of the photoelectric sensor array while lowering or raising the FOUP onto or away from the load port; and
Monitoring whether the failure of the photoelectric sensor array continues;
Recovering and continuing FOUP lowering or FOUP rising away from or above the load port; and
It is solved by the method including.

ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリのためには、ディスク状対象物を有する少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降および／または上昇することができるＯＨＴが設けられると特に好都合である。このシステムには光電センサー配列が備えられており、下降および／または上昇の際の障害が光電センサー配列における障害により引き起こされると、ＯＨＴによりＦＯＵＰを下降および／または上昇する処理の障害をリセットすることができる入力装置が設けられる。   For recovery in a system that processes disk-like objects, an OHT is provided that can lower and / or raise at least one FOUP with the disk-like object onto or away from the load port. And is particularly convenient. The system is equipped with a photoelectric sensor array that resets the failure of the process to lower and / or raise the FOUP by OHT if a failure in lowering and / or raising is caused by a failure in the photoelectric sensor array. An input device is provided.

光電センサー配列はいくつかの個別の光電センサーからなる線形配列を含み、それぞれのセンサーは光源と受信機とから構成される。第１および第２の側壁がロードポート上に取り付けられる。システム用入力開口部が第１と第２の側壁間に実装される。光バリア配列が、システムから離れて面する第１および第２の壁の端部に取り付けられる。   The photoelectric sensor array includes a linear array of several individual photoelectric sensors, each sensor consisting of a light source and a receiver. First and second sidewalls are mounted on the load port. A system input opening is mounted between the first and second sidewalls. A light barrier array is attached to the ends of the first and second walls facing away from the system.

入力装置は映像表示画面であって、システムおよびＯＨＴ用制御ユニットへ接続される。映像表示画面はタッチスクリーンとして実装することができる。システムは、いくつかの信号灯を含む信号塔へ接続される。   The input device is a video display screen and is connected to the system and the OHT control unit. The video display screen can be implemented as a touch screen. The system is connected to a signal tower containing several signal lights.

ディスク状対象物を処理するためのシステムにおけるリカバリの方法は同様に好都合なものである。この場合、ＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降させるか上昇させる間の光電センサー配列における障害がまず記録され、そしてローディング／アンローディング処理は直ちに中断される。その後、光電センサー配列の障害が継続しているかどうかを確定するための監視が始まる。最後に、リカバリが行われ、ロードポート上へまたはロードポートから離れるようにＦＯＵＰを下降、または上昇させることが再開される。   The method of recovery in a system for processing disk-like objects is equally convenient. In this case, faults in the photoelectric sensor array during the lowering or raising of the FOUP onto or away from the load port are first recorded and the loading / unloading process is immediately interrupted. Thereafter, monitoring begins to determine whether the failure of the photoelectric sensor array continues. Finally, recovery is performed and the FOUP is resumed to move down or up on or off the load port.

本発明のさらに有利な展開は従属請求項から推測することができる。   Further advantageous developments of the invention can be inferred from the dependent claims.

本発明の主題は概略的に線図で表現され、添付図面に基づいて以下に説明される。   The subject matter of the invention is schematically represented diagrammatically and is explained below on the basis of the attached drawings.

図１は、ディスク状の半導体基板を処理するシステム１００の概略図である。ディスク状の半導体基板はＦＯＵＰ１０１に入れられてＯＨＴ１０２（ホイスト式天井搬送装置（ｏｖｅｒｈｅａｄ ｈｏｉｓｔｓ ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ））を介してシステム１００のロードポート２０へ配達される。ロードポート２０は台板２１を備えており、ディスク状基板がシステム１００により処理されるようにＦＯＵＰ１０１をその上に下降させることができる。システム１００はさらに、色が変化するいくつかの光源１０４を含む信号塔１０５を備える。光源１０４により、オペレータに潜在的なエラー表示を与える。システム１００は更に、オペレータが入力を行なうことができる映像表示画面を備える。上記映像表示画面により、本目的のためのいくつかの入力フィールド１０７がオペレータに利用可能になる。したがって例えば、オペレータは、入力フィールド１０７の少なくとも１つにより自動リカバリを起動することができる。同様に、オペレータは、映像表示画面を介しシステム１００の手動リセットを確認することができる。   FIG. 1 is a schematic diagram of a system 100 for processing a disk-shaped semiconductor substrate. The disk-shaped semiconductor substrate is placed in the FOUP 101 and delivered to the load port 20 of the system 100 via the OHT 102 (overhead hoist transportation). The load port 20 includes a base plate 21 on which the FOUP 101 can be lowered so that the disk-shaped substrate is processed by the system 100. The system 100 further comprises a signal tower 105 that includes a number of light sources 104 that change color. A light source 104 provides a potential error indication to the operator. The system 100 further includes a video display screen on which an operator can input. The video display screen makes several input fields 107 available for this purpose for the operator. Thus, for example, the operator can initiate automatic recovery with at least one of the input fields 107. Similarly, the operator can confirm a manual reset of the system 100 via the video display screen.

図２は、ディスク状基板を処理するためのシステム１００へ接続されたロードポート２０の透視図である。ロードポート２０はシステム１００へ接続され、ディスク状基板を処理するためのシステム１００と、ディスク状基板をシステム１００中へ入力するためのものとの間のインタフェースを形成する。ロードポート２０は、ＦＯＵＰ１０１を配置することができる台板２１を有する。台板２１自体は、ＳＥＭＩ Ｅ１５標準に準拠して実装されるとともにＦＯＵＰ１０１の底側（図示せず）と連結する接続板２２を支える。連結により、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上へしっかりと取り付けられる。この連結に加え、ＦＯＵＰ１０１とロードポート２０間の結合要素（図示せず）が互いに把持し合い、確実な取り付けが完成する。従ってディスク状対象物で満たされたＦＯＵＰ１０１が偶然にロードポート２０から外れることはあり得ない。この結果、ディスク状対象物を保護する追加の安全水準が組み込まれる。さらに、ロードポート２０上のＦＯＵＰ１０１の正確な位置合わせを示すいくつかの信号灯２３がロードポート２０に設けられる。同様にして、信号灯２３は、ＦＯＵＰ１０１がロードポート上に配置されたかどうか、あるいは存在するＦＯＵＰを取り除いてよいかどうかを示す。   FIG. 2 is a perspective view of the load port 20 connected to the system 100 for processing disk-shaped substrates. The load port 20 is connected to the system 100 and forms an interface between the system 100 for processing the disk-shaped substrate and for inputting the disk-shaped substrate into the system 100. The load port 20 has a base plate 21 on which the FOUP 101 can be placed. The base plate 21 itself is mounted in conformity with the SEMI E15 standard and supports a connection plate 22 connected to the bottom side (not shown) of the FOUP 101. Due to the connection, the FOUP 101 is firmly attached onto the load port 20. In addition to this connection, the coupling element (not shown) between the FOUP 101 and the load port 20 grips each other, and the secure attachment is completed. Therefore, the FOUP 101 filled with the disk-like object cannot be accidentally detached from the load port 20. This results in an additional level of safety that protects the disk-like object. In addition, several signal lights 23 are provided at the load port 20 that indicate the exact alignment of the FOUP 101 on the load port 20. Similarly, the signal lamp 23 indicates whether the FOUP 101 is arranged on the load port or whether the existing FOUP may be removed.

図３は、本発明による動作要素フィーラ３０を有するロードポート２０の透視図である。動作要素３０により、ロック装置を初期化することなくＦＯＵＰ１０１をロードポート上へ下降することができ、これによりＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物がシステム１００により処理される前にＦＯＵＰ１０１が取り除かれることを防ぐ。一旦、オペレータがロードポート上にＦＯＵＰ１０１を配置し、フィーラ３０を押すかあるいは活性化すると、ＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物が処理される。動作エレメント３０を活性化することなく、オペレータがロードポート２０上にＦＯＵＰ１０１を置く場合、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上に確実に固定され、そして要望に応じて除去可能であり、また再度下降させることができる。光電センサー配列２４はロードポート２０に適切な方法で設けられ、これにより、ＯＨＴ１０２によるＦＯＵＰ１０１のロード経路内に存在すべきでない事象あるいは物体を検出または記録することができる。この事象としては例えば、オペレータがひじで光電センサー配列２４を妨害することが挙げられる。光電センサー配列２４は、いくつかの個々の光電センサーの線形配列であって、それぞれが光源と受信機とを含む。光電センサー配列２４の空間的配列に関しては、第１の壁２６および第２の壁２７がロードポート２０上に取り付けられ、その間にシステム用入力開口部２８が設けられる。光バリア／光電センサー、すなわち光バリア配列２４は、システムから離れて面する第１の壁２６および第２の壁２７の端部にそれぞれ設けられる。   FIG. 3 is a perspective view of a load port 20 having an operating element feeler 30 according to the present invention. The operating element 30 allows the FOUP 101 to be lowered onto the load port without initializing the locking device, thereby removing the FOUP 101 before the disk-like object contained within the FOUP 101 is processed by the system 100. prevent. Once the operator places the FOUP 101 on the load port and presses or activates the feeler 30, the disk-like object contained in the FOUP 101 is processed. If the operator places the FOUP 101 on the load port 20 without activating the operating element 30, the FOUP 101 is securely fixed on the load port 20 and can be removed as desired and can be lowered again. it can. The photoelectric sensor array 24 is provided in a suitable manner at the load port 20 so that events or objects that should not be in the load path of the FOUP 101 by the OHT 102 can be detected or recorded. An example of this event is an operator obstructing the photoelectric sensor array 24 with an elbow. Photoelectric sensor array 24 is a linear array of several individual photoelectric sensors, each including a light source and a receiver. With respect to the spatial arrangement of the photoelectric sensor array 24, a first wall 26 and a second wall 27 are mounted on the load port 20 and a system input opening 28 is provided therebetween. A light barrier / photoelectric sensor, or light barrier array 24, is provided at each end of the first wall 26 and the second wall 27 facing away from the system.

図４は、ＦＯＵＰ２０を下降させるための本発明による方法のブロック図の図式である。ＯＨＴ１０２とロードポート２０間のＥ８４ローディングシーケンスが開始される（４０）。ＯＨＴ１０２を介してＦＯＵＰ１０１を下降する処理中に、ＦＯＵＰ１０１を下降する処理を妨害する光電センサーの障害が存在する（４１）。ＥＳ信号はＥ８４インタフェースを介して与えられ、その結果ロードポート２０はＯＨＴ１０２を停止させる（４２）。警報が、映像表示画面および／または信号塔上に与えられる（４３）。それがなお継続すると、光電センサーの障害はオペレータにより取り除かれる（４４）。システムは、障害が取り除かれたか否かを確定するために状態問合せを行う（４５）。状態問合せ（４５）の結果、障害が取り除かれていないと、保守技術者を呼ぶ必要がある。状態問合せ（４５）の結果、障害が取り除かれていれば、更なる状態問合せが行われ（４６）、システムが自動リカバリを行うべきかどうかを決定する。状態問合せ（４６）の結果が自動リカバリを行うべきでないならば、行動（４７１）が次に続き、ＯＨＴは手動でリセットされる。手動リセットが発生したとの確認（４７２）が映像表示画面上に現われる。光電センサーの警報はリセットされ（４７３）、Ｅ８４ローディングシーケンスは再開される（４７４）。 FIG. 4 is a schematic block diagram of the method according to the invention for lowering the FOUP 20. The E84 loading sequence between the OHT 102 and the load port 20 is started (40). During the process of lowering the FOUP 101 via the OHT 102, there is a photoelectric sensor failure that obstructs the process of lowering the FOUP 101 (41). The ES signal is provided via the E84 interface so that the load port 20 stops the OHT 102 (42). An alarm is provided on the video display screen and / or the signal tower (43). If it continues, the photoelectric sensor failure is removed by the operator (44). The system makes a status inquiry (45) to determine if the fault has been removed. If the failure is not removed as a result of the status inquiry (45), it is necessary to call a maintenance engineer. If the result of the status query (45) is that the fault has been removed, further status queries are made (46) to determine whether the system should perform automatic recovery. If the result of the status query (46) is not to auto-recover, action (47 1 ) follows and the OHT is manually reset. A confirmation (47 2 ) that a manual reset has occurred appears on the video display screen. The photoelectric sensor alarm is reset (47 3 ) and the E84 loading sequence is resumed (47 4 ).

状態問合せ（４６）の結果、自動リカバリを行うべきであるならば、自動リカバリは、オペレータが自動リカバリを選択すること（４８１）により行われる。この選択（４８１）後、光電センサーはリセットされる（４８２）。続いて、Ｅ８４ロードシーケンスの再開を許可するＥＳ信号が与えられる（４８３）。最後に、Ｅ８４ロードシーケンスは終了する（４８４）。このことは、ロードポート上のＦＯＵＰ１０１の下降が終了したことを意味する。 If automatic recovery is to be performed as a result of the status inquiry (46), the automatic recovery is performed by the operator selecting automatic recovery (48 1 ). After this selection (48 1 ), the photoelectric sensor is reset (48 2 ). Subsequently, an ES signal that permits resumption of the E84 load sequence is provided (48 3 ). Finally, the E84 load sequence ends (48 4 ). This means that the descent of the FOUP 101 on the load port has ended.

図５は、ＦＯＵＰ１０１を上昇させるための本発明による方法のブロック図の図式である。ＯＨＴ１０２とロードポート２０間のＥ８４アンローディングシーケンス５０が開始される。ＯＨＴ１０２を介してＦＯＵＰ１０１を上昇する処理中に光電センサーの障害が存在し（５１）、従ってＦＯＵＰ１０１を上昇させる処理は中断される。次に、ＥＳ信号が与えられ、ロードポート２０はＯＨＴ１０２を停止する（５２）。次に警報が、映像表示画面および／または信号塔上に記録される（５３）。障害がなお存在する場合、光電センサーの障害はオペレータにより取り除かれる（５４）。システムは、障害が取り除かれたか否かを確定するために状態問合せを行う（５５）。状態問合せ（５５）の結果、障害が取り除かれていないならば、保守技術者を呼ぶ必要がある。状態問合せ（５５）の結果、障害が取り除かれていると、更なる状態問合せが開始され、システムが自動リカバリを行うべきかどうかを決定する（５６）。状態問合せの結果、自動リカバリを行うべきでないならば（５６）、行動（５７１）が次に続きＯＨＴが手動でリセットされる。手動リセットが発生したとの確認が映像表示画面上に現われる（５７２）。光電センサーの警報はリセットされ（５７３）、Ｅ８４アンロードシーケンスが再開される（５７４）。 FIG. 5 is a schematic diagram of a block diagram of a method according to the invention for raising FOUP 101. An E84 unloading sequence 50 between the OHT 102 and the load port 20 is started. There is a fault in the photoelectric sensor during the process of raising the FOUP 101 via the OHT 102 (51), so the process of raising the FOUP 101 is interrupted. Next, the ES signal is given, and the load port 20 stops the OHT 102 (52). An alarm is then recorded on the video display screen and / or signal tower (53). If the fault is still present, the photoelectric sensor fault is removed by the operator (54). The system makes a status inquiry (55) to determine if the fault has been removed. If the result of the status inquiry (55) is that the fault has not been removed, a maintenance engineer needs to be called. If the result of the status query (55) is that the fault has been removed, further status queries are initiated to determine if the system should perform automatic recovery (56). If automatic recovery should not be performed as a result of the status inquiry (56), then the action (57 1 ) follows and the OHT is manually reset. A confirmation that a manual reset has occurred appears on the video display screen (57 2 ). The photoelectric sensor alarm is reset (57 3 ) and the E84 unload sequence is resumed (57 4 ).

状態問合せ（５６）の結果、自動リカバリを行うべきであれば、自動リカバリは、オペレータが自動リカバリを選択すること（５８１）により行われる。この選択（５８１）後、光電センサーはリセットされる（５８２）。続いて、Ｅ８４アンロードシーケンスの再開を許可するＥＳ信号が与えられる（５８３）。最後に、Ｅ８４アンロードシーケンスは終了される（５８４）。このことは、ロードポートからのＦＯＵＰ１０１の上昇が完了したことを意味する。 If automatic recovery is to be performed as a result of the status inquiry (56), the automatic recovery is performed by the operator selecting automatic recovery (58 1 ). After this selection (58 1 ), the photoelectric sensor is reset (58 2 ). Subsequently, an ES signal that permits resumption of the E84 unload sequence is provided (58 3 ). Finally, the E84 unload sequence is terminated (58 4 ). This means that the rise of the FOUP 101 from the load port has been completed.

ディスク状半導体基板を処理するシステムの概略図である。It is the schematic of the system which processes a disk-shaped semiconductor substrate. ディスク状基板を処理するシステムへ接続されたロードポートの透視図である。FIG. 3 is a perspective view of a load port connected to a system for processing a disk-shaped substrate. 図３は、本発明による動作要素フィーラを有するロードポートの透視図である。FIG. 3 is a perspective view of a load port having an operating element feeler according to the present invention. ＦＯＵＰを下降させるための本発明による方法のブロック図の図式である。Fig. 2 is a schematic block diagram of a method according to the invention for lowering a FOUP. ＦＯＵＰを上昇させるための本発明による方法のブロック図の図式である。Fig. 2 is a schematic block diagram of a method according to the invention for raising FOUP.

符号の説明Explanation of symbols

２０ ロードポート
２１ 台板
２２ 接続板
２３ 信号灯
２４ 光電センサー配列
２６ 第１の壁
２７ 第２の壁
２８ 入力開口部
３０ 動作要素フィーラ
３０ 動作要素
３０ フィーラ
１００ システム
１０１ ＦＯＵＰ
１０２ ＯＨＴ（ホイスト式天井搬送装置）
１０４ 光源
１０５ 信号塔
１０７ 入力フィールド 20 load port 21 base plate 22 connection plate 23 signal lamp 24 photoelectric sensor array 26 first wall 27 second wall 28 input opening 30 operation element feeler 30 operation element 30 feeler 100 system 101 FOUP
102 OHT (Hoist type ceiling conveyor)
104 Light source 105 Signal tower 107 Input field

Claims (14)

ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置であって、ディスク状対象物を有するＦＯＵＰをロードポート上へおよびロードポートから離れるように下降および／または上昇させるＯＨＴが前記システムに設けられ、当該ＯＨＴによりＦＯＵＰを下降および／または上昇させるために実装されたロードポート領域の前面に光バリア配列が取り付けられ、前記下降および／または上昇が前記光バリア配列の障害により停止されると前記ＯＨＴをリセットすることができる入力装置が設けられた、リカバリ用の装置。   An apparatus for recovery in a system for processing a disk-like object, wherein the system is provided with an OHT that lowers and / or raises a FOUP having a disk-like object on and off the load port; A light barrier array is attached to the front surface of the load port area that is mounted to lower and / or raise the FOUP by the OHT, and when the lowering and / or raising is stopped due to the failure of the light barrier array, the OHT is A recovery device provided with an input device that can be reset. 前記光バリア配列は、それぞれが光源と受信機とを備えて構成されるいくつかの個々の光バリアの線形配列を備えた、請求項１に記載の装置。   The apparatus of claim 1, wherein the light barrier array comprises a linear array of several individual light barriers each configured with a light source and a receiver. 第１の壁および第２の壁がロードポート上に取り付けられ、前記システムの入力開口部がその間に実装され、光バリアの線形配列が、前記システムから離れて面する前記第１の壁および第２の壁の端部に設けられた、請求項２に記載の装置。   A first wall and a second wall are mounted on the load port, an input opening of the system is mounted therebetween, and a linear array of light barriers is disposed on the first wall and the second wall facing away from the system. Device according to claim 2, provided at the end of two walls. 前記入力装置は、制御機構により前記システムと前記ＯＨＴへ接続された映像表示画面である、請求項１に記載の装置。   The apparatus according to claim 1, wherein the input device is a video display screen connected to the system and the OHT by a control mechanism. 前記映像表示画面がタッチスクリーンである、請求項４に記載の装置。   The apparatus according to claim 4, wherein the video display screen is a touch screen. 前記システムが、いくつかの信号灯を含む信号塔に接続された、請求項１に記載の装置。   The apparatus of claim 1, wherein the system is connected to a signal tower including a number of signal lights. 前記ディスク状対象物は、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用のマスク、または平面パネル表示装置である、請求項１に記載の装置。   The apparatus according to claim 1, wherein the disk-shaped object is a wafer, a wafer on a glass substrate, a mask for lithography, or a flat panel display device. ディスク状対象物を処理するためのシステムにおけるリカバリ方法であって、
ＦＯＵＰをロードポート上へ下降させまたはロードポートから離れるように上昇させる間に前記光バリア配列の障害が発生する工程と、
光バリア配列の障害が継続しているかどうかを監視する工程と、
ロードポート上へのＦＯＵＰの下降またはロードポートから離れるようなＦＯＵＰの上昇をリカバリおよび継続させる工程と、
を特徴とする方法。 A recovery method in a system for processing a disk-shaped object,
A failure of the light barrier arrangement occurs while the FOUP is lowered onto the load port or raised away from the load port;
Monitoring whether the failure of the light barrier array continues;
Recovering and continuing the FOUP descent on the load port or the FOUP rise away from the load port;
A method characterized by. 自動リカバリがオペレータにより前記映像表示画面から選択される、請求項８に記載の方法。   The method of claim 8, wherein automatic recovery is selected from the video display screen by an operator. 前記光バリアにより引き起こされた警報が、自動リカバリの結果としてリセットされ、前記処理を再開するためのＥＳ信号が与えられ、そしてＥ８４ロード／アンロードシーケンスが完了する、請求項９に記載の方法。   10. The method of claim 9, wherein an alarm caused by the light barrier is reset as a result of automatic recovery, an ES signal is provided to resume the process, and an E84 load / unload sequence is completed. 手動リカバリがオペレータにより選択され、前記ＯＨＴは手動でリセットされ、そして手動リセットは前記映像表示画面上で確認される、請求項８に記載の方法。   9. The method of claim 8, wherein manual recovery is selected by an operator, the OHT is manually reset, and a manual reset is confirmed on the video display screen. 前記光バリアにより引き起こされた警報がリセットされ、Ｅ８４ロード／アンロードシーケンスが再開される、請求項１１に記載の方法。   The method of claim 11, wherein an alarm caused by the light barrier is reset and an E84 load / unload sequence is resumed. 前記光バリア配列の障害が除去できない場合、保守技術者を呼ぶ必要がある、請求項８に記載の方法。   The method of claim 8, wherein if a failure of the light barrier arrangement cannot be removed, a service technician needs to be called. 前記ディスク状対象物が、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用のマスク、または平面パネル表示装置である、請求項８に記載の方法。   9. The method according to claim 8, wherein the disk-like object is a wafer, a wafer on a glass substrate, a lithography mask, or a flat panel display.
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