KR20060040807A - Handle of robot for use in wafer transfer - Google Patents

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Abstract

반도체 웨이퍼를 안착시키기 위한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들이 개시된다. 그러한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들은, 상기 핸들의 상부 면에 장착되어 상기 반도체 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하기 위한 적어도 두 개 이상의 웨이퍼 가이드와, 상기 반도체 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 검출하기 위한 웨이퍼 검출센서와, 상기 웨이퍼 검출센서에 의한 검출 결과에 따라 상기 로봇 장치의 제어부에 작동 중지신호를 송신하기 위한 핸들 제어부를 구비한다. 그리하여, 본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들을 제공함으로써, 반도체 웨이퍼가 로봇 장치의 핸들에 정상적으로 안착되지 않게 되는 문제점을 해결할 수 있다.
A handle of a robotic device for transferring semiconductor wafers for mounting a semiconductor wafer is disclosed. The handle of such a semiconductor wafer transfer robot device is mounted on an upper surface of the handle to at least two or more wafer guides for preventing the semiconductor wafer from flowing, and for detecting when the semiconductor wafer is abnormally seated. And a handle control unit for transmitting an operation stop signal to a control unit of the robot device in accordance with a wafer detection sensor and a detection result by the wafer detection sensor. Thus, the present invention can solve the problem that the semiconductor wafer is not normally seated on the handle of the robot device by providing a handle of the robot device for wafer transfer.

핸들(handle), 웨이퍼 가이드, 광센서, 이송용 로봇Handle, wafer guide, light sensor, transfer robot

Description

웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들{Handle of Robot for use in wafer transfer} Handle of Robot for Use in Wafer Transfer             

도 1은 종래의 반도체 웨이퍼 이송을 위한 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 상태를 보인 정면도. 1 is a front view showing a state in which the wafer is abnormally seated on the handle of the robot device for transferring a conventional semiconductor wafer.

도 2는 도1의 측단면도.2 is a side cross-sectional view of FIG.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송을 위한 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 상태를 보인 측단면도. Figure 3 is a side cross-sectional view showing a state in which the wafer is abnormally seated on the handle of the robot device for semiconductor wafer transfer in accordance with an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 구성을 개략적으로 보인 블록도.4 is a block diagram schematically showing the configuration of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 세팅 방법을 나타낸 흐름도.
5 is a flow chart illustrating a wafer setting method in accordance with the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

12 : 로봇 장치의 핸들 14 : 웨이퍼 가이드12: handle of the robot unit 14: wafer guide

16 : 웨이퍼 18a, 18b : 웨이퍼 검출센서 16: wafer 18a, 18b: wafer detection sensor

20 : 핸들 제어부
20: handle control unit

본 발명은 반도체 소자 제조 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 설비에서의 반도체 웨이퍼를 이송하는 로봇 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly to a robotic device for transferring semiconductor wafers in a semiconductor device manufacturing facility.

반도체 메모리 장치는 반도체 기판상에 도체, 부도체, 반도체 등 여러 가지 물질막을 형성하고 가공하여 전자·전기 소자로 이루어지고 배선으로 연결하여 이루어지는 장치이다. 이와 같이 반도체 장치는 매우 정밀하고 복잡한 장치이므로, 정확한 공정조건에 맞추어 형성되어야 하며, 이를 위해 고가의 공정장비가 다수 사용되고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION A semiconductor memory device is a device formed of electronic and electrical elements and connected by wiring by forming and processing various material films such as conductors, non-conductors, and semiconductors on a semiconductor substrate. As such, since the semiconductor device is a very precise and complicated device, it must be formed in accordance with accurate process conditions, and expensive process equipment is used for this purpose.

일반적으로, 반도체 소자의 제조를 위하여 다양한 공정이 수행되어지는데, 이러한 다양한 공정들은 주로 공정 챔버(process chamber)내에서 이루어진다. 그리고, 상기의 다양한 공정을 위한 공정 챔버로 상기 반도체 웨이퍼를 이송하는 동작은 주로 핸들(handle)을 구비한 로봇 장치에 의하여 이루어진다. In general, various processes are performed for fabricating semiconductor devices, and these various processes are mainly performed in a process chamber. In addition, the operation of transferring the semiconductor wafer to the process chamber for the various processes is mainly performed by a robot device having a handle.

그리고, 반도체 소자가 고집적화 되어감에 따라, 많은 종류의 반도체 박막이 다층으로 적층된 구조의 미세한 패턴을 가공해야 할 필요성이 점차 증가되고 있다. 이에 따라, 파티클(particle) 또는 오염 물질 등이 웨이퍼에 미치는 영향이 더욱 중요한 요소로 작용하며, 특히 파티클은 수율에 큰 영향을 미치는 요소이므로, 반도체 메모리 소자를 제조하는 공정 중에서 반도체 기판 상에서 상기 파티클을 제거하거나 상기 파티클의 발생을 미연에 방지하는 공정이 중요시 되고 있다. In addition, as semiconductor devices become highly integrated, the necessity of processing a fine pattern of a structure in which many kinds of semiconductor thin films are laminated in multiple layers is gradually increasing. As a result, the effect of particles or contaminants on the wafer is more important. Particularly, since particles have a great influence on the yield, the particles are deposited on the semiconductor substrate in the process of manufacturing a semiconductor memory device. The process of removing or preventing the generation of the particles is important.

이하에서는 종래의 반도체 웨이퍼 이송을 위한 로봇 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a robot apparatus for transferring a conventional semiconductor wafer will be described with reference to the drawings.

도 1은 종래의 반도체 웨이퍼 이송을 위한 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 상태를 보인 정면도이고, 도 2는 도 1의 측단면도이다.  1 is a front view showing a state in which a wafer is abnormally seated on a handle of a robot device for transferring a conventional semiconductor wafer, Figure 2 is a side cross-sectional view of FIG.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 로봇 장치의 핸들(2), 웨이퍼 가이드(4), 반도체 웨이퍼(6)가 도시되어져 있다.1 to 2, the handle 2, the wafer guide 4, and the semiconductor wafer 6 of the robotic device are shown.

상기 로봇 장치의 핸들(2)은 상기 반도체 웨이퍼(6)를 안착시켜 다음 공정으로 이송하기 위한 부분이다.The handle 2 of the robot device is a part for seating the semiconductor wafer 6 and transferring it to the next process.

상기 웨이퍼 가이드(4)는 상기 반도체 웨이퍼(6)가 상기 로봇 장치의 핸들(2)에 안착시 혹은 이송시, 유동하여 파손되지 않도록 고정시키는 역할을 한다.The wafer guide 4 serves to fix the semiconductor wafer 6 so that the semiconductor wafer 6 does not break due to flow when it is seated or transferred to the handle 2 of the robot device.

도 2에서 더욱 명확히 보여지듯이, 종래 상용되고 있는 반도체 제조용 로봇 장치의 핸들은 상기 반도체 웨이퍼(6)가 유동되지 않도록 안착되었는지의 여부를 검출할 수 있는 부분이 존재하지 않는다. As shown more clearly in Fig. 2, the handle of the conventional semiconductor manufacturing robot apparatus does not have a portion capable of detecting whether the semiconductor wafer 6 is seated so as not to flow.

이와 같이, 상기 반도체 웨이퍼(6)가 상기 로봇 장치의 핸들(2)에 정상적으로 안착되지 않은 경우에는 다른 부분으로의 이송시 웨이퍼의 파손이 빈번하게 일어나는 문제가 있다. 그 결과, 파티클 발생의 원인이 되고, 로봇 장치의 핸들의 파손 또는 공정 설비의 오염등을 발생하게 되고, 공정 효율을 저하시키는 주요 원인이 된다.
As described above, when the semiconductor wafer 6 is not normally seated on the handle 2 of the robot device, there is a problem that breakage of the wafer occurs frequently during transfer to another part. As a result, particle generation occurs, and the handle of the robot apparatus is damaged or contamination of the process equipment is caused, which is a major cause of lowering the process efficiency.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 반도체 웨이퍼가 로봇 장치의 핸들에 정상 적으로 안착되지 않게 되는 문제점을 해결할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a handle and a wafer setting method of a wafer transfer robot apparatus that can solve the problem that the semiconductor wafer is not normally seated on the handle of the robot apparatus.

본 발명의 다른 목적은 반도체 웨이퍼가 로봇 장치의 핸들에 비정상적으로 안착되어 후속 공정을 위하여 이송되는 경우 웨이퍼의 파손이 빈번하게 일어나는 문제점을 해결하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a handle and a wafer setting method of a wafer transfer robot apparatus for solving a problem in which breakage of a wafer frequently occurs when a semiconductor wafer is abnormally seated on a handle of a robot apparatus and transferred for a subsequent process. Is in.

본 발명의 또 다른 목적은 웨이퍼의 파손을 감소 또는 최소화하여 공정 설비의 오염의 발생을 감소 또는 최소화하는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a handle and wafer setting method of a wafer transfer robot apparatus for reducing or minimizing wafer breakage to reduce or minimize the occurrence of contamination of process equipment.

상기의 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예적 구체화에 따라, 반도체 웨이퍼를 안착시키기 위한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들은, 상기 핸들의 상부 면에 장착되어 상기 반도체 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하기 위한 적어도 두 개 이상의 웨이퍼 가이드와, 상기 반도체 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 검출하기 위한 웨이퍼 검출센서와, 상기 웨이퍼 검출센서에 의한 검출 결과에 따라 상기 로봇 장치의 제어부에 작동 중지신호를 송신하기 위한 핸들 제어부를 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the above objects, according to an embodiment of the present invention, a handle of a robotic wafer transfer robot apparatus for seating a semiconductor wafer is mounted on an upper surface of the handle to prevent the semiconductor wafer from flowing. At least two wafer guides, a wafer detection sensor for detecting abnormal mounting of the semiconductor wafer, and a handle for transmitting an operation stop signal to a controller of the robot device according to a detection result by the wafer detection sensor. And a control unit.

여기서, 상기 웨이퍼 검출센서는 상기 웨이퍼 가이드의 상부에 장착되는 것이 바람직하다.Here, the wafer detection sensor is preferably mounted on the top of the wafer guide.

또한, 상기 웨이퍼 검출센서는 발광부와 수광부로 나누어져 있고, 상기 발광부와 수광부가 상기 웨이퍼 가이드의 상부에 마주보게 장착되어지는 것이 바람직하 다.The wafer detection sensor may be divided into a light emitting part and a light receiving part, and the light emitting part and the light receiving part may be mounted to face the upper portion of the wafer guide.

또한, 상기 웨이퍼 검출센서는 상기 반도체 웨이퍼가 안착되는 경우에 턴온되며, 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 의하여 수광되지 않는 경우에 상기 핸들 제어부는 상기 로봇 장치의 제어부로 작동 중지신호를 송신하는 것이 바람직하다.The wafer detection sensor is turned on when the semiconductor wafer is seated, and the handle controller transmits an operation stop signal to the controller of the robot device when the light emitted from the light emitting unit is not received by the light receiving unit. It is desirable to.

상기의 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 실시예적 구체화에 따라, 웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼를 세팅하는 방법은, 상기 웨이퍼를 상기 핸들에 안착시키는 단계, 상기 핸들에 장착된 웨이퍼 검출센서에 의하여 상기 웨이퍼를 센싱하는 단계, 상기 센싱 결과 상기 웨이퍼가 비정상적으로 세팅된 경우에 상기 로봇 장치의 동작을 중지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
According to another embodiment of the present invention in order to achieve the above objects, a method of setting a wafer on a handle of a wafer transfer robotic device for seating a wafer comprises the steps of: seating the wafer on the handle; And sensing the wafer by a mounted wafer detection sensor, and stopping the operation of the robot device when the wafer is abnormally set as a result of the sensing.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다양한 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명의 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The descriptions in the various embodiments are only shown and limited by way of example and without intention other than the intention to help those of ordinary skill in the art to more thoroughly understand the present invention, and thus the scope of the present invention. It should not be used as a limitation.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 웨이퍼 이송을 위한 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 상태를 보인 측단면도이다. 3 is a side cross-sectional view illustrating a state in which a wafer is abnormally seated on a handle of a robot device for transferring a semiconductor wafer according to an embodiment of the present invention.                     

도 3을 참조하면, 로봇 장치의 핸들(12), 웨이퍼 가이드(14), 반도체 웨이퍼(16), 웨이퍼 검출센서(18)가 도시되어져 있다. 여기서, 상기 웨이퍼 검출센서(18)는 수광부(18a), 수광부(18b)로 구성되어 있다.Referring to FIG. 3, a handle 12, a wafer guide 14, a semiconductor wafer 16, and a wafer detection sensor 18 of the robotic device are shown. Here, the wafer detection sensor 18 includes a light receiving unit 18a and a light receiving unit 18b.

상기 로봇 장치의 핸들(12)은 후속 공정으로 진행하기 위하여 웨이퍼 이송용 로봇 장치(미도시)가 상기 웨이퍼(16)를 이송하기 위하여 상기 반도체 웨이퍼(16)를 안착시키기 위한 상기 로봇 장치의 일 부분이다.The handle 12 of the robotic device is a part of the robotic device for seating the semiconductor wafer 16 for transporting the wafer 16 by a wafer transfer robotic device (not shown) to proceed to a subsequent process. to be.

상기 웨이퍼 가이드(14)는 상기 웨이퍼(16)가 상기 로봇 장치의 핸들(12)에 안착되는 경우 혹은 이송시 유동하여 파손되지 않도록 고정시키는 역할을 한다. 여기서 상기 웨이퍼 가이드(14)는 적어도 두 개 이상으로 이루어진다.The wafer guide 14 serves to fix the wafer 16 so that it does not break when the wafer 16 is seated on the handle 12 of the robot apparatus or during transportation. Here, the wafer guide 14 is made up of at least two.

이와 같이, 상기 웨이퍼 가이드(14)는 상기 웨이퍼(16)를 안착시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들(12)에 있어서, 상기 핸들(12)의 상부 면에 장착되어 상기 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하기 위한 부분이다.As such, the wafer guide 14 is mounted on the upper surface of the handle 12 in the handle 12 of the wafer transfer robot apparatus for seating the wafer 16 to prevent the wafer from flowing. This is for part.

상기 웨이퍼 검출센서(18)는 상기 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 검출하기 위한 부분이다. 상기 웨이퍼 검출센서(18)는 예를 들면 자외선 등의 광을 조사하기 위한 발광부(18b)와 상기 발광부(18b)에서 조사된 광을 수광하기 위한 수광부(18a)로 구성되어진다. The wafer detection sensor 18 is a part for detecting a case where the wafer is abnormally seated. The wafer detection sensor 18 includes, for example, a light emitting portion 18b for irradiating light such as ultraviolet rays and a light receiving portion 18a for receiving light emitted from the light emitting portion 18b.

도 4는 도 3의 구성을 개략적으로 보인 블록도이다.4 is a block diagram schematically illustrating the configuration of FIG. 3.

도 4를 참조하면, 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들(12), 웨이퍼 검출센서(18), 핸들 제어부(20)가 도시되어져 있다.Referring to FIG. 4, the handle 12, the wafer detection sensor 18, and the handle controller 20 of the robot device for wafer transfer are shown.

상기 핸들 제어부(20)는 상기 웨이퍼 검출센서(18)에 의한 센싱 결과에 따라 상기 로봇 장치의 제어부(미도시)에 작동 중지신호를 송신한다.The handle controller 20 transmits an operation stop signal to a controller (not shown) of the robot device according to a sensing result of the wafer detection sensor 18.

도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들의 동작의 일례를 설명하도록 한다.An example of the operation of the handle of the robot device for wafer transfer according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

웨이퍼(16)가 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들(12)에 정상적으로 안착된 경우에는 발광부(18b)에서 조사된 광을 수광부(18a)에서 그대로 수광하게 된다. 그러나, 도 3에서 보여지는 바와 같이, 웨이퍼(16)가 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들(12)에 비정상적으로 안착된 경우에는 상기 발광부(18b)에서 조사된 광은 상기 웨이퍼(16)에 의하여 반사되어 상기 수광부(18b)에 의하여 수광되지 않는다. 이 때, 핸들 제어부(20)에 의하여 상기 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 작동을 중지시키기 위한 신호가 생성되어, 상기 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 제어부(미도시)로 상기 신호를 송신하여, 상기 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 작동이 중지된다. 상기한 바와 같은 웨이퍼 검출센서의 동작을 위하여, 상기 웨이퍼 검출센서(18)는 상기 웨이퍼 가이드(14)의 상부에 장착되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 발광부(18b)와 수광부(18a)는 상기 웨이퍼 가이드(14)의 상부에 마주보게 장착되어지는 것이 바람직하다.When the wafer 16 is normally seated on the handle 12 of the wafer transfer robot apparatus, the light irradiated from the light emitting portion 18b is received by the light receiving portion 18a as it is. However, as shown in FIG. 3, when the wafer 16 is abnormally seated on the handle 12 of the wafer transfer robot device, the light irradiated from the light emitting unit 18b is transferred by the wafer 16. It is reflected and is not received by the light receiving portion 18b. At this time, a signal for stopping the operation of the wafer transfer robot apparatus is generated by the handle controller 20, and the signal is transmitted to a controller (not shown) of the wafer transfer robot apparatus to transfer the wafer. The robotic device stops working. In order to operate the wafer detection sensor as described above, the wafer detection sensor 18 is preferably mounted on the wafer guide 14. In addition, the light emitting unit 18b and the light receiving unit 18a are preferably mounted to face the upper portion of the wafer guide 14.

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 세팅 방법을 나타낸 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a wafer setting method according to the present invention.

도 5를 참조하면, 웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼를 세팅하는 방법은, 상기 웨이퍼를 상기 핸들에 안착시키는 단계(S10), 상기 핸들에 장착된 웨이퍼 검출센서에 의하여 상기 웨이퍼를 센싱하는 단계(S12), 상기 센싱 결과 상기 웨이퍼가 비정상적으로 세팅된 경우에 상기 로봇 장 치의 동작을 중지하는 단계(S14)를 포함하고 있다.Referring to FIG. 5, a method of setting a wafer on a handle of a robot device for transferring a wafer to seat a wafer includes mounting the wafer to the handle (S10), by a wafer detection sensor mounted on the handle. Sensing a wafer (S12), and stopping the operation of the robot device (S14) when the wafer is abnormally set as a result of the sensing.

여기서, 상기 웨이퍼 검출센서에서 웨이퍼가 센싱되지 않은 경우에는 상기 로봇 장치가 상기 웨이퍼를 그대로 이송하여 후속 공정이 진행된다.(S18) 그러나 상기 로봇 장치의 동작이 중지된 경우에는 상기 웨이퍼를 정상적으로 세팅하는 웨이퍼 위치조정이 이루어진 후(S16) 상기 후속 공정이 진행된다.(S18)In this case, when the wafer is not sensed by the wafer detection sensor, the robot apparatus transfers the wafer as it is, and a subsequent process is performed. (S18) However, when the robot apparatus is stopped, the wafer is normally set. After the wafer positioning is performed (S16), the subsequent process is performed (S18).

상기 웨이퍼 세팅 방법은 상기 웨이퍼가 상기 핸들에 안착되는 시점에도 적용되어질 수 있지만, 웨이퍼 이송 중에도 적용되어질 수 있다.The wafer setting method may be applied even when the wafer is seated on the handle, but may also be applied during wafer transfer.

본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.
The handle of the robot device for wafer transfer according to the embodiment of the present invention is not limited to the above embodiment, and can be variously designed and applied within the scope without departing from the basic principles of the present invention. It will be obvious to those who have ordinary knowledge.

상술한 바와 같이 본 발명은, 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함으로써, 반도체 웨이퍼가 로봇 장치의 핸들에 정상적으로 안착되지 않게 되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention provides the handle and the wafer setting method of the robot device for wafer transfer, whereby the problem that the semiconductor wafer is not normally seated on the handle of the robot device can be solved.

또한, 본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함으로써, 반도체 웨이퍼가 로봇 장치의 핸들에 비정상적으로 안착되어 후속 공정을 위하여 이송되는 경우 웨이퍼의 파손이 빈번하게 일어나는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다. In addition, the present invention provides a handle and a wafer setting method of the robot device for wafer transfer, thereby solving the problem that the breakage of the wafer frequently occurs when the semiconductor wafer is abnormally seated on the handle of the robot device and transferred for the subsequent process. It has an effect.                     

또한, 본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들 및 웨이퍼 세팅 방법을 제공함으로써, 웨이퍼의 파손을 감소 또는 최소화하여 공정 설비의 오염의 발생을 감소 또는 최소화하며, 상기 핸들의 파손을 감소 또는 최소화하는 효과가 있다.
In addition, the present invention provides a handle and a wafer setting method of the robot device for wafer transfer, thereby reducing or minimizing the breakage of the wafer to reduce or minimize the occurrence of contamination of the process equipment, the effect of reducing or minimizing the breakage of the handle There is.

Claims (5)

웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들에 있어서:In the handle of the wafer transfer robot apparatus for seating the wafer: 상기 핸들의 상부 면에 장착되어 상기 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하기 위한 적어도 두 개 이상의 웨이퍼 가이드와;At least two wafer guides mounted on an upper surface of the handle to prevent the wafer from flowing; 상기 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 검출하기 위한 웨이퍼 검출센서와;A wafer detection sensor for detecting a case where the wafer is abnormally seated; 상기 웨이퍼 검출센서에 의한 센싱 결과에 따라 상기 로봇 장치의 제어부에 작동 중지신호를 송신하기 위한 핸들 제어부를 구비함을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들. And a handle control unit for transmitting an operation stop signal to the control unit of the robot device according to the sensing result of the wafer detection sensor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 웨이퍼 검출센서는 상기 웨이퍼 가이드의 상부에 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들.The wafer detection sensor is a handle of the wafer transfer robot device, characterized in that mounted on top of the wafer guide. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 웨이퍼 검출센서는 발광부와 수광부로 나누어져 있고, 상기 발광부와 수광부가 상기 웨이퍼 가이드의 상부에 마주보게 장착되어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들.The wafer detection sensor is divided into a light emitting part and a light receiving part, wherein the light emitting part and the light receiving part are mounted to face the upper portion of the wafer guide. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 웨이퍼 검출센서는 상기 웨이퍼가 안착되는 경우에 턴온되며, 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 의하여 수광되지 않는 경우에 상기 핸들 제어부는 상기 로봇 장치의 제어부로 작동 중지신호를 송신하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들. The wafer detection sensor is turned on when the wafer is seated, and when the light emitted from the light emitting unit is not received by the light receiving unit, the handle controller transmits an operation stop signal to the controller of the robot device. The handle of the wafer transfer robot apparatus. 웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 장치의 핸들에 웨이퍼를 세팅하는 방법에 있어서:A method of setting a wafer on a handle of a wafer transfer robotic device for seating a wafer: 상기 웨이퍼를 상기 핸들에 안착시키는 단계;Seating the wafer on the handle; 상기 핸들에 장착된 웨이퍼 검출센서에 의하여 상기 웨이퍼를 센싱하는 단계; 및Sensing the wafer by a wafer detection sensor mounted to the handle; And 상기 센싱 결과 상기 웨이퍼가 비정상적으로 세팅된 경우에 상기 로봇 장치의 동작을 중지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세팅 방법.And stopping the operation of the robot device when the wafer is abnormally set as a result of the sensing.
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