JP2006179771A - Electrical device and cooling jacket - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電気素子(例えば、半導体素子)で発生した熱を冷却媒体に放出させる電気デバイス、及び該電気デバイスに利用される冷却ジャケットに関する。 The present invention relates to an electric device that releases heat generated in an electric element (for example, a semiconductor element) to a cooling medium, and a cooling jacket used for the electric device.
冷却液により放熱を行う電力変換装置が複数の半導体モジュールを搭載する場合、全ての半導体モジュールを均等に冷却するように冷却液が供給されることが望ましい。 When the power conversion device that radiates heat using the cooling liquid includes a plurality of semiconductor modules, it is desirable that the cooling liquid is supplied so as to cool all the semiconductor modules equally.
特許文献1に開示される電力変換装置では、複数の電力変換用半導体素子等が絶縁基板に搭載され、該絶縁基板がケース下蓋である冷却基板に接合され、該冷却基板にケース上蓋がネジ止め等で固定される。冷却基板はヒートシンクの上面の開口部を覆うように設置されて接合部分をシールする。ヒートシンクの内部には冷却液を通す冷却流路が形成されている。従って、ヒートシンクに近接する冷却基板の下面が放熱面となり、冷却液へ放熱する。
In the power conversion device disclosed in
特許文献2に開示される電力変換装置では、複数の半導体モジュールが並列の冷媒液流路により冷却される。具体的に当該電力変換装置は、複数の半導体モジュールを一括して搭載したコールドプレートと、冷媒液を該コールドプレートに穿った冷媒液通路を経由して放熱器、冷媒液循環ポンプ及び冷媒液液溜タンクに循環させる冷媒液循環回路を含む。冷媒液通路は、コールドプレートに搭載した半導体モジュールの配列に合わせて各半導体素子の下方を通るように穿たれている。
In the power conversion device disclosed in
しかし、特許文献1に開示された電力変換装置では、冷却液出入口部が冷却液の流路幅に比べて小さいため、半導体モジュールの中心部と端部で放熱性が不均一になるという問題がある。また、特許文献2に開示される電力変換装置では、複数の半導体モジュールを冷却するため、流路を複数の並列流路に分岐している。しかし、流路の分岐における冷却液の分配の適正化(均等化)について何ら配慮されていない。その結果、各半導体モジュールでの冷却効率が不均一になることが予想される。冷却効率のばらつきは、個々のモジュールに流れる電流の不均一を招き、場合によっては半導体モジュールの破損を引き起こすおそれがある。
本発明の目的は、電気素子(例えば、半導体素子)を搭載する電気デバイスにおいて放熱性能を位置に拠らず均等化することを目的とする。 An object of the present invention is to equalize heat dissipation performance regardless of position in an electric device on which an electric element (for example, a semiconductor element) is mounted.
本発明は上記の目的を達成するために為されたものである。本発明に係る電気デバイスは、
(a)冷却媒体を第1の方向に案内する少なくとも1つの主流路と、
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路とを備えた冷却ジャケットと、
(b)上記冷却ジャケットの上記主流路の天井壁に設けられた電気素子と、
を備えたことを特徴とする電気デバイスである。
The present invention has been made to achieve the above object. The electrical device according to the present invention is:
(A) at least one main flow path for guiding the cooling medium in the first direction;
An introduction path for the cooling medium disposed on the upstream side of the main flow path;
A plurality of upstream communication passages that connect the main passage and the introduction passage to each of the connection regions of the main passage and the introduction passage;
A discharge path for the cooling medium disposed on the downstream side of the main flow path;
A cooling jacket provided with a plurality of downstream communication passages that connect the main flow path and the discharge path to each of the connection regions of the main flow path and the discharge path;
(B) an electrical element provided on the ceiling wall of the main flow path of the cooling jacket;
An electrical device comprising:
本発明を利用することにより、冷却ジャケット内部における冷却媒体の流速分布の偏りの発生を抑制し、装置全体で放熱性能を均等化する電気デバイスを得られる。 By utilizing the present invention, it is possible to obtain an electric device that suppresses the occurrence of a deviation in the flow velocity distribution of the cooling medium inside the cooling jacket and equalizes the heat dissipation performance in the entire apparatus.
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面を参照した具体的実施形態の構成及び作用が容易に理解できるように、図面に表された構成の具体的部位等を説明するために特定の方向や位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」、「表」、「裏」、「天井」、「底」又はそれらを含む別の用語)を使用するが、発明の技術的範囲はそれらの用語が持っている意味によって限定的に解釈されるべきものでない。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the following description, specific directions and positions are shown to explain specific parts of the configuration shown in the drawings so that the configuration and operation of the specific embodiments with reference to the drawings can be easily understood. Use terms (eg, “top”, “bottom”, “right”, “left”, “front”, “back”, “ceiling”, “bottom” or another term that includes them) The technical scope should not be construed as limited by the meaning of these terms.
図1は、本発明に係る電気デバイスの一実施形態を示す。電気デバイス10は、概略、電気素子12と、電気素子12で発生した熱を冷却媒体48に放出させる冷却ジャケット14を有する。電気素子12は、種々の形態の電気素子(例えば、半導体回路素子)が考えられるが、電気素子12で発生した熱を冷却ジャケット14で回収することを考慮すると該電気素子の動作時に熱を発生するものであればよく、具体的には電力変換用の半導体素子が好適な例として挙げられる。従って、電力変換装置が電気デバイスの好適な例として挙げられる。
FIG. 1 shows an embodiment of an electrical device according to the invention. The
実施の形態に示す電気素子12は、例えば図1(3)に示すように、電気素子12がその機能を発揮するための必要な回路(例えば、半導体回路)を組み込んだ回路部16を有する。回路部16の裏面に放熱部18を有する。放熱部18は、熱伝導性に優れた金属材料(例えば、銅)又は非金属材料で形成することが好ましい。また、放熱部18は、回路部16と一体的に形成し、一体化された回路部16と放熱部18を冷却ジャケット14に組み付けてもよいし、または、回路部16とは別々に用意し、冷却ジャケット14に組み付ける際に適当な接着方法(例えば、接着剤、はんだ)で回路部16と一体化してもよい。
The
なお、図1(1)に示すように、実施の形態の電気素子12は長方形の平面形状を有するが、この形状は限定的なものではない。
As shown in FIG. 1A, the
冷却ジャケット14は、金属又は非金属材料(樹脂を含む。)で形成される。冷却ジャケット14の内部には、図1(1)において左側から右側に向かう矢印X方向(第1の方向)に伸びる主流路22が形成されている。図1(3)及び図2に示すように、主流路22はX方向に直交するY方向(第2の方向)及びZ方向(第3の方向)に略長方形の横断面を有する。また、主流路22の天井壁24には一つ又は複数の開口部26が形成されている。これらの複数の開口部26が熱交換部を形成している。
The
開口部26の平面形状は、電気素子12の輪郭よりも僅かに小さくしてあり、電気素子12によって開口部26を塞ぐことができる大きさと形状を有する。実施の形態において、開口部26は、電気素子12の長方形平面形状よりも僅かに小さな長方形平面形状を有する。また、天井壁24の表面には、開口部26を囲む縁部に沿って連続した段部28が形成されており、この段部28に電気素子12の周縁がちょうど嵌め込まれて位置決めされるようにしてある。したがって、電気素子12は、底面の放熱部18を主流路22に臨ませた状態で段部28に嵌め込まれて適当なシール材料によって天井壁24との間が密封シールされ、これにより主流路22を流れる冷却媒体48との熱的接触が図られる
The planar shape of the
図1(1)及び図2に示すように、冷却ジャケット14の内部にはまた、主流路22の上流側(図の左側)と下流側(図の右側)にそれぞれ、冷却媒体48の導入路30と排出路32が形成されている。実施の形態では、導入路30と排出路32は、矢印X方向と直交する矢印Y方向に延在している。ここでいう「直交」とは、ほぼ直交のものを含むものである。図2に示すように、実施の形態では、主流路22と導入路30との接続領域には隔壁(上流側隔壁)34が設けられており、主流路22と排出路32との接続領域にも隔壁(下流側隔壁)36が設けられている。つまり、導入路30と排出路32は共に長方形の横断面を有して主流路22の上流側端部と下流側端部の下に隔壁34、36を介して配置されている。また、上流側隔壁34には主流路22と導入路30とを連結する上級側連通路(開口部)38が設けられており、下流側隔壁36にも主流路22と排出路32とを連結する下流側連通路(開口部)40が設けられている。つまり、導入路30と主流路22は上流側隔壁34に形成した複数の上流側連通路38を介して流体的に接続されており、排出路32と主流路22は下流側隔壁36に形成した複数の下流側連通路40を介して流体的に接続されている。実施の形態では、複数の上流側連通路38と下流側連通路40は、矢印Y方向に一定の間隔をあけて配置されている。隣接する連通路38、40の間隔は一定である必要はない。また、実施の形態では、連通路38、40の平面形状は円形としているが、その形は限定的なものでなく、その他の形状(例えば、四角形、三角形などの多角形〔図5参照〕、楕円形)であってもよい。
As shown in FIGS. 1 (1) and 2, the
実施の形態では、導入路30と排出路32は、図1(1)において下側に示された冷却ジャケット側壁46に設けた入口42と出口44を介して外部に接続されており、これらが図示しない冷却媒体供給部と冷却媒体回収部に接続されるようにしてある。つまり、導入路30が延在する方向の一端に冷却媒体48を導入する入口42が設けられ、この入口42が冷却媒体供給部(図示せず)に接続される。更に、排出路32が延在する方向の一端に冷却媒体48を排出する出口44が設けられ、この出口44が冷却媒体回収部(図示せず)に接続される。冷却媒体48としては、開口部26に配置された電気素子12との接触により該電気素子12から熱を回収する流体であれば気体又は液体の区別は問わないが、一般的には冷却空気などの気体又は水やエチレングリコール水溶液などの液体が用いられる。
In the embodiment, the
このような構成を備えた電気デバイス10の動作時、回路部16には所定の信号が送られ、所定の処理が行われる。一方、冷却媒体供給部から供給された冷却媒体48は入口42を介して導入路30に送り込まれた後、複数の上流側連通路38から主流路22の上流側端部に流れ込む。次に、主流路22を上流側から下流側に流れる冷却媒体48は、開口部26に配置されている電気素子12の回路部16で発生した熱を放熱部18を介して回収する。熱を回収した冷却媒体48は、主流路22の下流側端部に到達すると、複数の下流側連通路40から排出路32に流れ込み、出口44から冷却媒体回収部に回収される。ここで、図1と図2により説明した「第1の方向(X方向)」と「第2の方向(Y方向)」を用いると、冷却媒体48は次のように流れることになる。まず、冷却媒体供給部から供給された冷却媒体48は、入口42から第2の方向(Y方向)に流れる。その後、上流側連通路38を介して導入路30から主流路22に流れ、主流路22内では第1の方向(X方向)に流れる。その後、下流側連通路40を介して主流路22から排出路32に流れ、排出路32内では第2の方向(Y方向)とは逆の方向に流れる。その後、出口44から排出されて冷却媒体回収部に回収される。
During operation of the
熱の回収性能は、連通路38、40の大きさ(横断面積)と数に影響される。具体的に説明すると、例えば図4(2)に示すように、個々の連通路38、40の大きさが大きい場合、導入路30をその入口側から奥側に流れる冷却媒体48は、入口側から奥側に向かう方向の大きな速度ベクトルPを維持し、この速度ベクトルPは導入路30から主流路22に向かう垂直方向の速度ベクトルQに対して相対的に大きなものである。そのため、図4(1)に示すように、主流路22を流れる冷却媒体48の流速に場所的な変化が生じ、入口側から離れた奥側における流速が手前側(入口側)の流速よりも大きくなる。その結果、冷却ジャケット14に形成された開口部26の場所によって放熱性が異なり、一つの冷却ジャケット14に支持されている複数の電気素子12の間で特性のばらつきを生じる。
The heat recovery performance is affected by the size (cross-sectional area) and number of the
そこで、導入路30と排出路32の開口率を変えて主流路22の複数の場所で冷却媒体48の流速を測定した。開口率は、100・〔全ての上流側連通路又は全ての下流側連通路が主流路と上下方向に対向する領域の面積〕/〔導入路又は排出路が主流路と上下方向に対向する領域の面積〕(%)と定義する。観察の結果、開口率が50%を超える場合、主流路22に場所的な流速の違いが表れたが、開口率を50%以下に設定した場合、主流路22における場所的な流速の違いは殆ど見られなかった。また、横断面が円形の連通路を採用した場合、導入側と排出側にそれぞれ5個の連通路を形成したとき、主流路22における流速のばらつきが無かった。
Therefore, the flow rate of the cooling
実施の形態1の電気デバイス、特に冷却ジャケット14の変形例について付言する。以上の実施の形態1の電気デバイスにおいては、電気素子12を天井壁24に設けた開口部26に嵌め込み天井壁24との間を密閉シールして搭載している。ここで、例えば、天井壁24の開口部26が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路22の一部を構成している状態で、若しくは天井壁24に開口部24そのものがない状態で、板材又は天井壁24の外面に熱伝導性の高い適切なグリースを介して電気素子12を搭載し冷却媒体48が間接的に電子素子12と熱交換をするようにしてもよい。このとき効率的に熱交換するために、開口部26を塞ぐ板材や、電子素子12が搭載される天井壁24部分は、十分な強度を備える限り、薄いものであることが好ましい。なお、以下の実施の形態(実施の形態2〜実施の形態6)に係る電気デバイスにおいても、このような変形例(以下、変形例Aと言う。)により構成してもよい。
The electrical device of the first embodiment, in particular, a modification of the cooling
図3は実施の形態2の電気デバイス10Bを示し、これは導入路30と排出路32の配置位置が実施の形態1と相違している。具体的に、導入路30は主流路22の左斜め下方に形成され、これら導入路30と主流路22が斜めの第1の中心軸50を有する複数の上流側連通路38を通じて連通されている。また、排出路32は主流路22の右斜め下方に形成されており、これら排出路32と主流路22が斜めの第2の中心軸52を有する複数の下流側連通路40を通じて連通されている。更に図2と図3を対比すると明らかなように、実施の形態2では複数の上流側連通路38の少なくとも一つの中心軸50上に電気素子12が配置されており、同時に複数の下流側連通路40の少なくとも一つの中心軸52上にも電気素子12が配置されている。このような電気デバイス10Bにおいて導入路30の冷却媒体48は、斜めの上流側連通路38を介して主流路22に流れ込む。このとき、主流路22に流入した冷却媒体48は、主流路22における冷却媒体48の流れの方向成分(図の左から右に向かう方向の成分)を有するため、導入路30から主流路22への冷却媒体48の流れが円滑に行われる。また、主流路22の冷却媒体48は斜めの下流側連通路40を介して排出路32に流れ込む。このとき、下流側連通路40に流れ込む冷却媒体48は、主流路22における冷却媒体48の流れの方向成分(図の左から右に向かう方向の成分)を有するため、主流路22から排出路32への冷却媒体48の流れが円滑に行われる。
FIG. 3 shows an electric device 10B according to the second embodiment, which is different from the first embodiment in the arrangement positions of the
また実施の形態2では、電気素子12の上流側端部(即ち、上流側の開口部26)は導入路30の近傍に配置されており、導入路30から主流路22に向かって斜めに流れ込む冷却媒体48の流れが、該開口部26に配置されている電気素子12の底面に当たるようにしてある。したがって、導入路30から主流路22に流れ込んだフレッシュな冷却媒体48が電気素子12に熱的に接触して該電気素子12から熱を効率良く奪う。
In the second embodiment, the upstream end (that is, the upstream opening 26) of the
図3に示される実施の形態2の電気デバイス10Bでは、導入路30は電子素子12の上流側端部の左斜め下方に形成されているが、導入路30が電子素子12の上流側端部の下方に設けられてもよい。このようにしても、導入路30から主流路22に流れ込んだフレッシュな冷却媒体48が電気素子12に熱的に接触して該電気素子12から熱を効率良く奪うことができる。同様に、排出路32が電子素子12の下流側端部の下方に設けられてもよい。これらの場合でも、複数の上流側連通路38の少なくとも一つの中心軸50上に電気素子12が配置されており、複数の下流側連通路40の少なくとも一つの中心軸52上に電気素子12が配置されている。
In the electric device 10B of
図6(1)、(2)は実施の形態3の電気デバイス10Cを示し、これは上流側連通路38と下流側連通路40の配置位置が実施の形態1と相違している。具体的に、図1(1)、図2と図6(1)、(2)を対比すると明らかなように、実施の形態3では、矢印X方向に関して主流路上流側の端面54と、同方向に関する導入路30の端面56と、半楕円状(弾頭形状)に形成された上流側連通路38の直線状内面58が同一平面(垂直面)60上に配置されている。また、矢印X方向に関して主流路下流側の端面62と、同方向に関する排出路32の端面64と、半楕円状(弾頭形状)に形成された下流側連通路40の直線状内面66が同一平面(垂直面)68上に配置されている。このように形成された電気デバイス10によれば、主流路22の上流側端部と下流側端部に冷却媒体48が淀むことがなく円滑に流れ、電気素子12と冷却媒体48との間で効率の良い熱交換が実現できる。
6 (1) and 6 (2) show the electric device 10C according to the third embodiment, which is different from the first embodiment in the arrangement positions of the
図7は実施の形態4の電気デバイス10Dを示す。この実施の形態は、電気素子12に特徴を有し、主流路22に臨む放熱部18の下面に複数の放熱用の突起70が設けてある。なお、突起70の形状・数・配置は、主流路22を流れる冷却媒体48が突起間で滞留しないように設計される。このような構成を採用した実施の形態4の電気デバイス10Dによれば、電気素子12が主流路22を流れる冷却媒体48と接触する面積が大きく取れることから、電気素子12の熱が冷却媒体48に効率良く回収される。
FIG. 7 shows an electric device 10D of the fourth embodiment. This embodiment is characterized by the
なお、冷却ジャケット14が上記変形例Aであるような場合、即ちまず、天井壁24の開口部26が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路22の一部を構成している状態である場合には、電気素子12に対向する領域の板材の内面に上記の突起70が設けられるのが好ましい。また、天井壁24に開口部24そのものがない状態である場合には、電気素子12に対向する主流路22の天井壁24の内面領域に上記の突起70が設けられるのが好ましい。
In the case where the cooling
図8は実施の形態5の電気デバイス10Eを示す。実施の形態4は、天井壁24側に突起70を設けたものであるが、実施の形態5は、主流路22の底部の内面に突起74を設けたものである。実施の形態5においては、図8のように、開口部26に対向する主流路22の底面の内面72に複数の突起74が形成される。この複数の突起74は、冷却媒体48の流れに乱れを生じさせ、それを促進する部材(乱流促進部材、攪乱部材)である。なお、突起74の形状・数・配置は、主流路22を流れる冷却媒体48が突起間で滞留しないように設計される。このような構成を採用した実施の形態5の電気デバイス10Eによれば、主流路22を流れる冷却媒体48は開口部26の対向領域で乱され、その結果、冷却媒体48と電気素子12との接触効率が高まり、電気素子12と冷却媒体48との間で効率の良い熱交換が実現できる。
FIG. 8 shows an
なお、冷却ジャケット14が上記変形例Aであるような場合、即ちまず、天井壁24の開口部26が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路22の一部を構成している状態の場合には、電気素子12に対向する領域の板材の内面に対向する領域に上記の突起74が設けられるのが好ましい。また、天井壁24に開口部24そのものがない状態である場合には、電気素子12に対向する主流路22の天井壁24の内面領域に対向する領域に上記の突起74が設けられるのが好ましい。
In the case where the cooling
また更に、実施の形態4で示した突起70と、上記実施の形態5における突起74とが同時に設けられてもよい。
Furthermore, the
図9は実施の形態6の電気デバイス10Fを示す。この実施の形態は、一つの冷却ジャケット14内に2つの主流路22A、22Bが並列に形成されている点で特徴を有する。主流路22Aと導入路30との接続領域35Aには複数の上流側連通路38Aが設けられ、主流路22Bと導入路30との接続領域35Bには複数の上流側連通路38Bが設けられる。また、主流路22Aと排出路32との接続領域37Aには複数の下流側連通路40Aが設けられ、主流路22Bと排出路32との接続領域37Bには複数の下流側連通路40Bが設けられる。したがって、この実施の形態の電気デバイス10Fによれば、導入路30に供給された冷却媒体48は、導入路30から上流側連通路38A、38Bを介して2つの主流路22A、22Bに分岐する。また、2つの主流路22A、22Bの下流側に到達した冷却媒体48は、下流側連通路40A、40Bを介して排出路32に集められる。
FIG. 9 shows an
冷却媒体48が2つの主流路22A、22Bに分岐する際に、それぞれの主流路22A、22Bの隔壁34に設けられた複数の上流側連通路38A、38Bの作用により冷却媒体48の圧損が生じ各主流路間の相対的な圧損の差が小さくなり、結果として各主流路22A、22Bへ流入する冷却媒体48の量が平均化される。このように、複数の主流路(22A、22B)を有し、主流路(22A、22B)と導入路30との接続領域(35A、35B)のそれぞれに複数の上流側連通路(38A、38B)を設けるとともに、主流路(22A、22B)と排出路32との接続領域(37A、37B)のそれぞれに複数の下流側連通路(40A、40B)を設けたものであってもよい。
When the cooling medium 48 branches into the two
ここで、開口率を変化させつつ各主流路22A、22Bにおける流量分布を測定したところ、開口率を50%以下とした場合、流量の顕著な均等化が実現できた。更に、開口率を約40%以下にすると各冷却媒体48の流れをより均等化できた。
Here, when the flow rate distribution in each of the
10 電気デバイス、 12 電気素子、 14 冷却ジャケット、 16 回路部、 18 放熱部、 22、22A、22B 主流路、 24 天井壁、 26 開口部、 28 段部、 30 導入路、 32 排出路、 34、34A、34B 上流側隔壁、 36、36A、36B 下流側隔壁、 38、38A、38B 上流側連通路、 40、40A、40B 下流側連通路、 42 入口、 44 出口、 46 冷却ジャケット側壁、 48 冷却媒体、 50 第1の中心軸、 52 第2の中心軸、 54 主流路上流側の端面、 56 導入路の端面、 58 上流側連通路の直線状内面、 62 主流路下流側の端面、 64 排出路の端面、 66 下流側連通路の直線状内面、 70 突起、 74 突起。
DESCRIPTION OF
Claims (13)
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路とを備えた冷却ジャケットと、
(b)上記冷却ジャケットの上記主流路の天井壁に設けられた電気素子と、
を備えたことを特徴とする電気デバイス。 (A) at least one main flow path for guiding the cooling medium in the first direction;
An introduction path for the cooling medium disposed on the upstream side of the main flow path;
A plurality of upstream communication passages that connect the main passage and the introduction passage to each of the connection regions of the main passage and the introduction passage;
A discharge path for the cooling medium disposed on the downstream side of the main flow path;
A cooling jacket provided with a plurality of downstream communication passages communicating with the main flow path and the discharge path in each of the connection regions of the main flow path and the discharge path;
(B) an electrical element provided on the ceiling wall of the main flow path of the cooling jacket;
An electrical device comprising:
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路と、
を備えたことを特徴とする冷却ジャケット。
At least one main flow path for guiding the cooling medium in the first direction;
An introduction path for the cooling medium disposed on the upstream side of the main flow path;
A plurality of upstream communication passages that connect the main passage and the introduction passage to each of the connection regions of the main passage and the introduction passage;
A discharge path for the cooling medium disposed on the downstream side of the main flow path;
A plurality of downstream communication passages that connect the main flow path and the discharge path to each of the connection regions of the main flow path and the discharge path;
A cooling jacket characterized by comprising:
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