JP2006172697A - 光学ベンチ、集積光学システム及び光学整列方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光学ベンチ、集積光学システム及び光学整列方法を提供する。
【解決手段】光源と、光源から出射されてディスクから反射された光を受光するためのメイン光検出器と、光源及びメイン光検出器が装着される光学ベンチと、光学ベンチに結合されるレンズ部と、光源から出射されてレンズ部側に進む光及びレンズ部側から入射される光の進路を分離する光路分離部材と、を備え、光路分離部材が搭載自在に上方に開放され、底面に光が通過される開口が形成された載置溝が光学ベンチに形成されることを特徴とする集積光学システムである。これにより、レンズ部の組立て時、光路分離部材を搭載し、仮接合する必要がないようにその構造を改善して、組立て工程が単純化される。
【選択図】図１Ａ

Description

本発明は、光学ベンチ、集積光学システム及び光学整列方法に係り、さらに詳細には、光学素子の組立てが容易であり、光学整列を簡単かつ容易にできる光学ベンチ、集積光学システム及び光学整列方法に関する。

レーザ光を対物レンズによって集束した光スポットを利用して、情報記録媒体に情報を記録及び／または情報記録媒体に記録されている情報を再生する情報記録及び／または再生システムで、情報記録容量は、集光される光スポットの大きさによって決定される。集光スポットの大きさＳは、使用するレーザ光波長λと対物レンズの開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ）とによって、数式１のように決定される。

したがって、情報記録媒体の高密度化のために情報記録媒体に結ばれる光スポットの大きさを減らすために、青色レーザのような短波長の光源と開口数０.６以上の対物レンズとを採用する方向に情報記録及び／または再生システムが研究されている。

７８０ｎｍの波長の光と開口数０.４５または０.５である対物レンズとを利用して、情報の記録及び／または再生が可能なＣＤが出て以来、記録密度を高めて情報記録容量を増やすための多くの研究がなされてきた。その結果物が６５０ｎｍの波長の光と開口数０.６または０.６５の対物レンズとを利用して、情報の記録及び／または再生がなされたＤＶＤである。

現在は、青色波長、例えば、４０５ｎｍ波長の光を利用して、２０ＧＢ以上の記録容量を有する高密度の情報記録媒体についての研究が進められつつある。
青色波長、例えば、４０５ｎｍの波長の光を利用する高密度の情報記録媒体は、現在規格化が活発に進められており、一部規格は、ほぼ完了段階にあり、その高密度の情報記録媒体のための対物レンズの開口数は、後述するように、０.６５または０.８５である。

ＣＤの厚さが１.２ｍｍであるが、ＤＶＤの場合の厚さが０.６ｍｍに減少した理由は、開口数が、ＣＤの場合に０.４５から、ＤＶＤの場合に０.６ほどに高まったため、情報記録媒体のチルトによる公差を確保するためである。

また、ＤＶＤより高容量を有する高密度の情報記録媒体の場合、その高密度の情報記録媒体のための対物レンズの開口数を、例えば、０.８５に高めれば、その高密度の情報記録媒体の厚さは、約０.１ｍｍほどに減らさねばならない。

このように、対物レンズの開口数を高め、その情報記録媒体の厚さを薄くしたものがＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ（以下、ＢＤ）である。ＢＤ規格で、光源の波長は４０５ｎｍであり、対物レンズの開口数は０.８５であり、その情報記録媒体の厚さは、約０.１ｍｍである。

現在開発中である高密度の情報記録媒体としては、ＢＤ以外に、ＡＯＤ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｉｓｃ）がある。このＡＯＤは、ＤＶＤと同じ基板厚さを有し、ＤＶＤと同じ対物レンズの開口数を使用し、光源の波長のみがＢＤ規格のように青色波長、例えば、４０５ｎｍにする規格である。

情報記録及び／または再生システム分野では、このような情報記録媒体の高密度、高容量化の要求に付加して、光ピックアップを構成する全体光学システムの薄型化及び小型化が要求されている。

すなわち、最近、ＰＤＡ、携帯電話、デジタルカメラ、携帯用ディスクプレイヤ、カムコーダのような携帯用端末機に情報記録及び／または再生システムの使用要求が増加しつつあり、薄型の光ピックアップに対する要求が増加している。携帯端末機分野に適用されるために、光ピックアップは、薄型化及び小型化されねばならないと共に、音楽及び動画などの大容量情報を保存し、かつ再生するために、高密度で情報を記録及び／または再生しなければならない。

しかし、現在商用されているＣＤ及び／またはＤＶＤ用ディスクドライブまたはディスクプレイヤに適用されるような既存の光ピックアップでは、その光ピックアップを構成する光学部品のサイズを減少させることによって、全体光ピックアップシステムの小型化及び薄型化は、技術的に既に限界に到達している。

また、既存の光ピックアップは、別個にそれぞれ製造された複数の光学部品を接着させ、かつ調整する過程を通じて構成されるが、組立て及び調整過程で光学部品の極小型化によって、光学部品が破損され易く、また、部品間の組立て公差によって信頼性が落ち、自動化率が低いという短所がある。

また、超小型光ピックアップを製造するために、光ピックアップに採用される光検出器構造が、可能なかぎり単純化されることが必要である。しかし、光検出器構造が単純化されれば、光学部品の光学整列作業が複雑になるという短所があるため、光検出器の単純化を通じた光ピックアップの小型化と光学整列との間には、密接な相関関係がある。一般的に、光学整列のためには、光学部品は３軸の並進移動及び２軸のチルト移動を用いて整列される。

特に、光ピックアップが超小型である場合には、光学部品を３軸並進整列及び２軸チルト整列など、色々な軸を中心に調節することによって光学整列作業が複雑であるときに、光学ベンチが破損される場合が多く発生してしまい、光学整列に多くの難しさがある。

本発明は、前記問題点を達成するために創案されたものであって、組立て作業が簡単に具現されるように構造が改善された光学ベンチ及び集積光学システムを提供することを目的とする。

本発明の他の目的は、予備的に光軸に対するチルト整列を完了して、組立体で簡単に光学整列を行える光学整列方法を提供することである。

前記目的を解決するために、本発明による光学ベンチは、光源と、ディスクから反射された光を受光するメイン光検出器と、レンズ部と、前記光源から照射されて入射された光及び前記レンズ部を通じて入射された光の経路を分離する光路分離部材と、が結合される光学ベンチにおいて、前記光路分離部材が搭載自在に上方に開放され、底面に前記光の通過される開口が形成された載置溝が、前記光学ベンチに形成されることを特徴とする。

前記光源から出射された光の進行方向を前記レンズ部側に向かうように変更する第１ミラーと、前記レンズ部側から入射され、前記第１ミラーから反射された光の進行方向を前記メイン光検出器側に向かうように変更する第２ミラーと、が前記光学ベンチの下部面に備えられることを特徴とする。

前記目的を達成するために本発明による集積光学システムは、光源と、前記光源から出射されてディスクから反射された光を受光するためのメイン光検出器と、前記光源及びメイン光検出器が装着される光学ベンチと、前記光学ベンチに結合されるレンズ部と、前記光源から出射されて前記レンズ部側に進む光及び前記レンズ部側から入射される光の進路を分離する光路分離部材と、を備え、前記光路分離部材が搭載自在に上方に開放され、底面に前記光の通過される開口が形成された載置溝が、前記光学ベンチに形成されることを特徴とする。

前記レンズ部は、対物レンズまたはコリメーティングレンズであることを特徴とする。
前記コリメーティングレンズの上部に対物レンズがさらに配置されて、前記集積光学システムがホログラム光モジュールとして使われることを特徴とする。
前記レンズ部は、屈折レンズ及び回折レンズを備えるハイブリッドレンズであることを特徴とする。

前記光源から出射された光のパワーを検出するためのモニター光検出器が、前記光学ベンチの下部面に備えられることを特徴とする。
前記光路分離部材は、ホログラム光学素子または回折光学素子であることを特徴とする。

前記目的を達成するために、本発明による集積光学システムの光学整列方法において、レンズ部が装着された光学ベンチを第１ジグに支持させ、前記第１ジグによってチルトを調節して、前記光学ベンチを光軸に対して光学整列する段階と、ダミー光路分離部材を第２ジグに支持させ、前記第２ジグによってチルトを調節して、前記ダミー光路分離部材を前記光軸に対して予備的に光学整列する段階と、を含んで、前記第１ジグ及び第２ジグを光軸に対するチルト整列のためにセッティングすることを特徴とする。

前記方法は、ダミーディスクを第３ジグに支持させ、前記第３ジグによってチルトを調節して、前記ダミーディスクを前記光軸に対して予備的に光学整列する段階をさらに含むことを特徴とする。
前記方法は、前記第２ジグに前記ダミー光路分離部材の代わりに組立てようとする光路分離部材を装着する段階と、前記光路分離部材を並進運動させる段階と、を含むことを特徴とする。

本発明による光学ベンチは、レンズ部の組立て時、光路分離部材を搭載し、仮接合する必要がないように構造を改善して、組立て工程を単純化させる。また、本発明による集積光学システムは、レンズ部を対物レンズまたはコリメーティングレンズで構成することによって、光ピックアップとして使われるか、またはホログラム光モジュールとして使われうる。

本発明による光軸整列方法によれば、集積光学システムに使われる主要光学部品に対するチルト整列をジグのセッティングを通じて具現することによって、実際製品に使われる光学部品の組立て時には、チルトを調節する必要がなく、光路分離部材のＸ、Ｙ軸に対する並進運動のみで容易に組立てを完成しうる。

本発明による集積光学システムは、ＰＤＡ、携帯電話、デジタルカメラ、携帯用ディスクプレイヤ、カムコーダのような携帯用端末機に使われるものであって、超小型、薄型になっている。したがって、このような集積光学システムに採用される光学部品は、さらに小型化され、これら光学部品が搭載される部位は、μｍ単位の厚さを有するので、光軸整列のために光学部品を移動させるときには、移動を可能な限り少なくさせることが好ましい。本発明では、集積光学システムを組立てる前にジグのセッティングを通じてチルトに対する光軸整列が予めなされるので、集積光学システムの組立て時には、チルト調節なしにＸ、Ｙ軸に対する並進運動のみを通じて光軸整列できる。

また、光軸整列が簡単になるので、メイン光検出器の構造を単純化できる。一般的に、メイン光検出器の構造が単純であるほど光軸整列のための操作が複雑になり、メイン光検出器の構造が複雑であるほど光軸整列のための操作が単純化される。したがって、光軸整列が難しくて、不回避にメイン光検出器の構造を複雑に構成する場合がある。しかし、本発明のように、光軸整列を容易に行うことができれば、光検出器の構造を単純化できるという利点がある。光検出器の構造を単純化すれば、これを採用した集積光学システムのサイズをさらに小型化できるという点で有利である。

以下、添付された図面を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
図１Ａは、本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの斜視図であり、図１Ｂは、図１Ａの集積光学システムの正面図である。

本発明の望ましい実施形態による集積光学システムは、図１Ａ及び図１Ｂを参照すれば、光源１０と、メイン光検出器１５が装着される光学ベンチ２０と、前記光学ベンチ２０に形成された上方に開放された載置溝２４に結合される光路分離部材２５と、を備える。
前記光源１０は、本発明による集積光学システムに使われる情報記録媒体の種類によって、色々な波長帯域の光を出射するように構成されうる。例えば、赤色波長または青色波長の光を出射する光源を使用するか、または相異なる複数の波長の光を出射させて、フォーマットが相異なる複数の種類の情報記録媒体を互換採用できるように構成してもよい。これにより、本発明による集積光学システムが適用される情報記録媒体は、ＣＤ系列のディスク、ＤＶＤ系列のディスク、ＢＤ、ＡＯＤ系列のディスクとなりうる。

前記光学ベンチ２０は、例えば、シリコン光学ベンチ（ＳｉＯＢ：Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｂｅｎｃｈ）であり、光学ベンチ２０の下部面２０ａに光源１０、前記光源１０から出射されて、情報記録媒体から反射された光を受光するメイン光検出器１５、前記光源１０から出射された光のパワーをモニタリングするためのモニタ光検出器２３が装着される。前記光源１０で半導体物質層の側方向にレーザ光を出射させる端面発光型の半導体レーザが備えられうる。この場合には、前記光源１０は、マウント１２に搭載され、前記光源１０から出射された一部の光が前記モニタ光検出器２３に受光されるように、光源１０の前方にモニタ光検出器２３が配置される。

前記メイン光検出器１５は、情報記録媒体から反射されて入射される光を受光して情報再生信号及びサーボ駆動のためのフォーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号、チルトエラー信号を検出する。

前記光学ベンチ２０の一側には、上方に開放された載置溝２４が形成され、前記載置溝２４に光路分離部材２５が搭載される。前記載置溝２３の底面には、光が通過される開口２２が形成されており、前記載置溝２３の上部にレンズ部２７が搭載される。

前記光路分離部材２５は、前記光源１０から出射されて前記レンズ部２７に向かう光路と前記レンズ部２７側から入射される光路とを分離する機能を行う。前記光路分離部材２５としては、回折光学素子またはホログラム光学素子が使用されうる。

前記レンズ部２７は、情報記録媒体に光を集束させる対物レンズでありうる。または、前記レンズ部２７は、図２に示したように、屈折レンズ２８及び回折レンズ２９で構成されたハイブリッドレンズでありうる。前記屈折レンズ２８がレンズホルダー３０に嵌め込まれ、回折レンズ２９がレンズホルダー３０の一面に形成されている。前記屈折レンズ２８は、一面が凸状になっていて製造が容易である一方、前記回折レンズ２９を通じて色収差を補正している。

一方、前記光学ベンチ２０の下部面の一側に、前記光源１０から出射された光を前記光路分離部材２５に向かうように反射させる第１ミラー３１が形成される。また、前記光学ベンチ２０の他側に前記レンズ部２７から入射されて前記光路分離部材２５及び前記第１ミラー３１を経由して進む光を前記メイン光検出器１５に向かうように反射させる第２ミラー３２が形成される。

本発明による光学ベンチ２０は、光路分離部材２５を設置するための載置溝２４が上方に開放されている構造になっていることを特徴とする。このような構造では、光学ベンチ２０に前記光路分離部材２５を組立てるとき、前記光路分離部材２５を前記載置溝２４に載せることのみで簡単に組立てが完了するという利点がある。本発明による集積光学システムは、超小型であるので、光学ベンチに光学部品を組立てるとき、光学ベンチが損傷されるおそれが多くて組立てが非常に難しいが、本発明による光学ベンチでは、組立てが容易である。また、レンズ部２７を組立てるとき、光路分離部材２４を仮接合した後、前記レンズ部２７を組立てることが一般的であるが、本発明のような構造では、レンズ部２７の組立て時に前記光路分離部材２５を仮接合する必要がないので、組立て作業が簡単になる。

本発明による集積光学システムは、前記レンズ部２７の構成によって光ピックアップとして使われるか、またはホログラム光モジュールとして使われうる。本発明は、集積光学システムの製作時、光ピックアップまたはホログラム光モジュールへの転換が非常に容易な構造である。したがって、本発明による集積光学システムは、必要に応じて、光ピックアップまたはホログラム光モジュールに転換して使用しうる。集積光学システムが光ピックアップとして使われる場合には、前記レンズ部２７が対物レンズで構成され、図１Ｂは、集積光学システムが光ピックアップとして使われる場合を示す。

図３は、本発明による集積光学システムがホログラム光モジュールとして使われる例を示す。
集積光学システムがホログラム光モジュールとして使われる場合には、前記レンズ部２７がコリメーティングレンズで構成され、前記コリメーティングレンズの上部に対物レンズ３５が備えられる。前記光源１０から出射された光は、ホログラム光モジュールを通じて出射されて前記コリメーティングレンズを通じて平行光になって対物レンズ３５に入射される。前記対物レンズ３５を通過した光は、情報記録媒体Ｄに集束されて、情報記録媒体Ｄに／からデータを記録／再生する。図３に示された構造では、対物レンズ３５のみがアクチュエータによってフォーカシング、トラッキング及び／またはチルト駆動される。

前記情報記録媒体Ｄから反射された光は、再び対物レンズ３５を通過してコリメーティングレンズからなるレンズ部２７及び光路分離部材２５に入射される。光路分離部材２５を通じて進路が変換されて第１ミラー３１から反射され、光源１０及びマウント１２の干渉を避けて第２ミラー３２に到達する。そして、前記第２ミラー３２から反射された光は、方向が転換されて、信号検出のためのメイン光検出器１５に受光されることによって、情報記録媒体Ｄに記録された情報を読出し、情報記録媒体に対するフォーカシング、トラッキング及び／またはチルト方向のエラーを検出する。

次いで、本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの光学整列方法について説明する。
本発明による集積光学システムの光学整列方法は、集積光学システムを組立てる前に予備的にチルト光学整列を完了することを特徴とする。

図４Ａを参照すれば、レンズ部４５が装着された光学ベンチ４３を第１ジグ４０によって支持し、前記レンズ部４５に対してテスト光Ｌｔを照射する。前記テスト光Ｌｔをレンズ部４５に送るために、反射ミラー４２がさらに備えられうる。そして、前記レンズ部４５から反射されて戻ったテスト光Ｌｔが、基準位置に結ばれるか否かを検査する。この基準位置は、前記レンズ部４５を光軸に対して直角配置させる位置であって、光軸に対するチルトを調節するためのものである。テスト光Ｌｔが基準位置に結ばれるように前記第１ジグ４０を調節して前記レンズ部４５が装着された光学ベンチ４３を光学整列する。前記レンズ部４５は、集積光学システムに直接組立てられる部品でレンズ部４５に対してチルト整列が完了すれば、他の部品に対する光学整列が完了した後、前記第１ジグ４０にレンズ部４５を搭載することによって簡単に組立てうる。

次いで、図４Ｂに示したように、ダミー光路分離部材４７を第２ジグ５０に形成されたホルダ４８に支持されるように装着し、前記ダミー光路分離部材４７にテスト光Ｌｔを照射した後に反射されて戻る光が基準位置に結ばれるか否かを検査する。テスト光が基準位置に結ばれるように、前記第２ジグ５０を調節して、前記ダミー光路分離部材４７に対して予備的に光学整列する。

前記ダミー光路分離部材４７は、予備的にチルト整列するために使われる光学部品であり、このようなダミー光学部品を通じて前記第２ジグ５０を光軸整列のためにセッティングする。

次いで、図４Ｃに示したように、ダミーディスク５３を第３ジグ５５に装着し、前記ダミーディスク５３にテスト光Ｌｔを照射した後に反射されて戻る光が基準位置に結ばれるか否かを検査する。テスト光が基準位置に結ばれるように、前記第３ジグ５５を調節して、前記ダミーディスク５３に対して予備的に光学整列する。

前記説明では、レンズ部４５が装着された光学ベンチ４３と、ダミー光路分離部材４７とダミーディスク５３の順に光学整列すると説明したが、その整列順序は、必要に応じて変更されうる。

以上のように、レンズ部とダミー光路分離部材とを利用して光軸に対して光学整列することによって、第１、第２及び第３ジグ４０，５０，５５を光軸に対してチルト整列されるようにセッティングする。その後、光軸整列された第１、第２及び第３ジグ４０，５０，５５にそれぞれ対応する光学部品及びダミー光学部品の代わりに、組立てようとする光学部品を装着して組立てる。ここで、組立てようとする光学部品については、図１Ａ及び図１Ｂに示された部材と同じ参照番号を利用して説明する。

第１ジグ４０を利用して、組立てようとするレンズ部が装着された光学ベンチ２０を支持し、第２ジグ５０を利用して、組立てようとする光路分離部材２５を支持する。このとき、前記第１及び第２ジグ４０，５０がチルトに対して光軸整列されてセッティングされた状態であるので、前記第１及び第２ジグ４０，５０にレンズ部が装着された光学ベンチ２０と光路分離部材２５及びレンズ部２７を装着するだけで、自動的にこれら光学部品に対してチルト整列がなされる。このように、チルトに対する光軸整列が達成された状態では、光路分離部材２５をＸ、Ｙ軸に対する並進運動によって整列するだけでメイン光検出器１５に結ばれる光スポットの位置を容易に調節できる。

図５は、光路分離部材２５をＸ、Ｙ軸に対して並進運動することで、メイン光検出器１５に結ばれる光スポットｓの位置を中心部に調整することが可能であるということを示す。

本発明では、光路分離部材の場合、光軸に対するチルト整列が実際製品を組立てる前に予備的に完了するため、実際の製品を組立てる時には、並進運動を通じた光学整列のみすれば良いので、組立て時に光学部品の破損のおそれが著しく減少する。また、光軸整列作業が単純化されにつれて構造が簡単なメイン光検出器、例えば、４分割光検出器のみでフォーカシング、トラッキング及び／またはチルトサーボの具現が可能になる。本発明による光軸整列を利用する集積光学システムは、構造が簡単なメイン光検出器を採用してサーボ具現できるので、小型化、集積化にさらに有利である。

本発明は、図面に示された実施形態を参考として説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということが分かるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されねばならない。

本発明は、例えば、ＰＤＡ、携帯電話、デジタルカメラ、携帯用ディスクプレイヤ、カムコーダのような携帯用端末機に適用可能である。

本発明の望ましい実施形態による光学ベンチ及び集積光学システムの斜視図である。 本発明の望ましい実施形態による光学ベンチ及び集積光学システムの正面図である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムに採用されるレンズ部の一例を示す図面である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムがホログラムモジュールとして使われる例を示す図面である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの光学整列を行う方法を説明するための図面である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの光学整列を行う方法を説明するための図面である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの光学整列を行う方法を説明するための図面である。 本発明の望ましい実施形態による集積光学システムの光学整列方法を利用して、光路分離部材の並進運動を通じて光学整列する段階を示す図面である。

符号の説明

１０ 光源
１２ マウント
２０ 光学ベンチ
２２ 開口
２４ 載置溝
２５ 光路分離部材
２７ レンズ部
３１ 第１ミラー
３２ 第２ミラー

Claims (17)

1. 光源と、ディスクから反射された光を受光するメイン光検出器と、レンズ部と、前記光源から照射されて入射された光及び前記レンズ部を通じて入射された光の経路を分離する光路分離部材と、が結合される光学ベンチにおいて、
   前記光路分離部材が搭載自在に上方に開放され、底面に前記光の通過する開口が形成された載置溝が前記光学ベンチに形成されることを特徴とする光学ベンチ。
2. 前記光源から出射された光の進行方向を前記レンズ部側に向かうように変更する第１ミラーと、前記レンズ部側から入射され、前記第１ミラーで反射された光の進行方向を前記メイン光検出器側に向かうように変更する第２ミラーと、が前記光学ベンチの下部面に備えられることを特徴とする請求項１に記載の光学ベンチ。
3. 光源と、
   前記光源から出射されてディスクで反射された光を受光するためのメイン光検出器と、
   前記光源及びメイン光検出器が装着される光学ベンチと、
   前記光学ベンチに結合されるレンズ部と、
   前記光源から出射されて前記レンズ部側に進む光及び前記レンズ部側から入射される光の進路を分離する光路分離部材と、を備え、
   前記光路分離部材が搭載自在に上方に開放され、底面に前記光が通過される開口が形成された載置溝が前記光学ベンチに形成されることを特徴とする集積光学システム。
4. 前記レンズ部は、対物レンズであることを特徴とする請求項３に記載の集積光学システム。
5. 前記レンズ部は、コリメーティングレンズであることを特徴とする請求項３に記載の集積光学システム。
6. 前記コリメーティングレンズの上部に対物レンズがさらに配置されて、前記集積光学システムがホログラム光モジュールとして使われることを特徴とする請求項５に記載の集積光学システム。
7. 前記レンズ部は、屈折レンズ及び回折レンズを備えるハイブリッドレンズであることを特徴とする請求項３に記載の集積光学システム。
8. 前記光源から出射された光の進行方向を前記レンズ部側に向かうように変更する第１ミラーと、前記レンズ部側から入射され、前記第１ミラーで反射された光の進行方向を前記メイン光検出器側に向かうように変更する第２ミラーと、が前記光学ベンチの下部面に備えられることを特徴とする請求項３ないし７のうち何れか１項に記載の集積光学システム。
9. 前記光源から出射された光のパワーを検出するためのモニター光検出器が、前記光学ベンチの下部面に備えられることを特徴とする請求項３ないし７のうち何れか１項に記載の集積光学システム。
10. 前記光路分離部材は、ホログラム光学素子または回折光学素子であることを特徴とする請求項３ないし７のうち何れか１項に記載の集積光学システム。
11. 集積光学システムの光学整列方法において、
    レンズ部が装着された光学ベンチを第１ジグに支持させ、前記第１ジグによってチルトを調節して前記光学ベンチを光軸に対して光学整列する段階と、
    ダミー光路分離部材を第２ジグに支持させ、前記第２ジグによってチルトを調節して、前記ダミー光路分離部材を前記光軸に対して予備的に光学整列する段階と、を含んで、前記第１ジグ及び第２ジグを光軸に対するチルト整列のためにセッティングすることを特徴とする光学整列方法。
12. ダミーディスクを第３ジグに支持させ、前記第３ジグによってチルトを調節して、前記ダミーディスクを前記光軸に対して予備的に光学整列する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の光学整列方法。
13. 前記レンズ部は、対物レンズであることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光学整列方法。
14. 前記レンズ部は、コリメーティングレンズであることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光学整列方法。
15. 前記レンズ部は、屈折レンズ及び回折レンズを備えるハイブリッドレンズであることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光学整列方法。
16. 前記光路分離部材は、ホログラム光学素子または回折光学素子であることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光学整列方法。
17. 前記第２ジグに前記ダミー光路分離部材に換えて組立てられる光路分離部材を装着する段階と、
    前記光路分離部材を並進運動させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１１または１２に記載の光学整列方法。