JP2006162049A - Magnetic bearing - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁気力によってロータを非接触状態で支持する磁気軸受に関し、特にロータを軸方向(アキシャル方向)に制御することを可能にした磁気軸受に関する。 The present invention relates to a magnetic bearing that supports a rotor in a non-contact state by a magnetic force, and more particularly to a magnetic bearing that can control the rotor in an axial direction (axial direction).
磁気軸受は、回転体を非接触で支持することができるため、制御技術の発展に伴って各種の軸受に利用されてきている。最近では、超小型回転体用の磁気軸受が要望されてきている。しかし、電磁石を利用した磁気軸受は、ロータを浮上させるために大きな電流を必要とするため、消費電力が大きくなってしまう。また、少ない電流で磁気力を大きくするためには、ロータとステータとの間のギャップが小さいことが要求され、高い工作精度が必要となる。 Since the magnetic bearing can support the rotating body in a non-contact manner, it has been used for various bearings with the development of control technology. Recently, there has been a demand for magnetic bearings for micro rotating bodies. However, since the magnetic bearing using an electromagnet requires a large current to float the rotor, the power consumption increases. Further, in order to increase the magnetic force with a small current, it is required that the gap between the rotor and the stator is small, and high machining accuracy is required.
これらの問題を解決する有力な手法として、近年、性能向上が顕著な永久磁石のバイアス磁束を利用したハイブリッド型の磁気軸受が使用されるようになってきた。このハイブリッド型の磁気軸受は、例えば特許文献1〜3により提案されている。
しかし、上述した特許文献に開示された磁気軸受では、軸方向(アキシャル)方向の安定性については受動安定に頼らざるを得ず、そのためにロータに軸方向の負荷がかかると、傾いて回転したり、振動が発生したりして制御が困難になるという問題がある。 However, in the magnetic bearing disclosed in the above-mentioned patent document, it is necessary to rely on passive stability for the stability in the axial direction (axial direction). For this reason, when an axial load is applied to the rotor, the magnetic bearing is inclined and rotated. There is a problem that control becomes difficult due to vibration or vibration.
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、軸方向の制御性に優れ、小型化及び軽量化が可能な磁気軸受を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic bearing that is excellent in axial controllability and can be reduced in size and weight.
本発明に係る磁気軸受は、ステータと、このステータに磁気力によって非接触状態で支持されて回転軸を中心に回転するロータとを有する磁気軸受において、 前記ステータは、軸方向に所定間隔を空けて同軸配置された磁性材料からなる少なくとも一対の環状部と、前記一対の環状部の各々の内周において周方向に関し所定の間隔で配置される磁性材料からなり前記ロータの径方向の位置を制御するためのバイアス磁束及びラジアル制御磁束が通過する複数の主極と、前記一対の環状部の間を磁気的に接続する磁性材料からなる接続部とを備え、前記ロータは、磁性材料からなる回転軸と、前記主極よりも軸方向に関し内側にずれた位置に位置するように前記回転軸に保持される磁性材料からなる一対の円板とを備え、前記バイアス磁束を供給する永久磁石と、前記ラジアル制御磁束を生成するラジアル制御コイルと、前記接続部に巻回されて前記環状部、前記接続部、及び前記ロータによる閉回路を磁気回路としたアキシャル制御磁束を発生させ、このアキシャル制御磁束により前記ラジアル制御磁束を前記一対の環状部の一方の側においては強め他方の側においては弱めて前記ロータの軸方向の位置を制御するアキシャル制御コイルとを備えたことを特徴とする。 A magnetic bearing according to the present invention is a magnetic bearing having a stator and a rotor that is supported by the stator in a non-contact state by a magnetic force and rotates about a rotating shaft. The stator has a predetermined interval in the axial direction. And controlling the radial position of the rotor made of a magnetic material arranged at a predetermined interval in the circumferential direction on the inner circumference of each of the pair of annular portions. A plurality of main poles through which a bias magnetic flux and a radial control magnetic flux pass, and a connection portion made of a magnetic material that magnetically connects the pair of annular portions, and the rotor is a rotation made of a magnetic material. And a pair of discs made of a magnetic material held by the rotating shaft so as to be positioned inwardly with respect to the axial direction from the main pole, and the bias magnetic flux A permanent magnet to be fed, a radial control coil that generates the radial control magnetic flux, and an axial control magnetic flux that is wound around the connection portion and uses a closed circuit by the annular portion, the connection portion, and the rotor as a magnetic circuit An axial control coil for controlling the position of the rotor in the axial direction by strengthening the radial control magnetic flux on one side of the pair of annular portions and weakening the other side by the axial control magnetic flux. Features.
本発明によれば、軸方向の制御性に優れ、小型化及び軽量化が可能な磁気軸受を提供することが可能になる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the magnetic bearing which is excellent in controllability of an axial direction, and can be reduced in size and weight.
まず、図1を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る磁気軸受を説明する。図1(a)は、この磁気軸受の軸方向からみた平面図であり、同図(b)は同図(a)におけるA−A’断面図である。
この磁気軸受は、外側に配置された環状のステータ1と、このステータ1の内側に配置されたロータ2とを有する。ロータ2は、回転駆動部100より回転を制御されるとともに、ステータ1から与えられる磁束により保持され位置制御される。
First, a magnetic bearing according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1A is a plan view of the magnetic bearing as viewed from the axial direction, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG.
This magnetic bearing has an
ステータ1は継鉄11から構成されている。継鉄11は、積層鋼板等の磁性材料からなる。図1(b)に示すように、この継鉄11により、2つの環状部12、12’と、環状部12、12’の内周に中心に向かって突設される複数(図1では2×4極=8個)の主突極部13(i)、13’(i)(i=1〜4)と、環状部12の内周に中心に向かって突設される複数(図1では2×4極=8個)の補突極部14(i)、14’(i)(i=1〜4)と、2つの環状部12、12’を接続する接続部21とが形成されている。
The
主突極部13(i)、13’(i)は、ロータ2の外周面と所定のギャップを介して対向する磁気集中部を有しており、周方向に90°の間隔で配置されている。主突極部13(i)、13’(i)には、径方向を軸心として巻回されたラジアル制御コイル18が設置されている。このラジアル制御コイル18は、磁束集中部の磁極を強めたり弱めたりするためのラジアル励磁磁束φrを発生させるためのものである。主突極部13(i)、13’(i)とラジアル制御コイル18とにより主極3(i)、3’(i)が形成されている。ラジアル励磁磁束φrの変化に基づいて主極3の磁極が制御されることにより、ロータ2の径方向の位置制御が行われる。この制御は、後述する制御系によって行われる。
The main salient pole portions 13 (i) and 13 ′ (i) have a magnetic concentration portion facing the outer peripheral surface of the
また、補突極部14(i)、14’(i)は、環状部12、12’の内周の、主突極部13(i)、13’(i)から周方向に45°ずれた位置に形成されており、その先端には永久磁石16が装着されている。この補突極部14(i)又は14’(i)と永久磁石16とにより、補極4(i)、4’(i)が形成されている。永久磁石16は、主極3(i)、3’(i)にバイアス磁束φbを提供するためのものである。永久磁石16は、第1の極性(例えばS極)をロータ2に向かう先端側にして装着されている。S極が先端側の場合、バイアス磁束φbは、補突極部14(i)又は14’(i)の底部から環状部12又は12’を介して隣接する主突極部13(i)又は13’(i)に至り、更にロータ2を介して補突極部14(i)又は14’(i)に戻る経路に形成される。これにより、主極3(i)、3’(i)の先端である磁束集中部はN極となる。
Further, the complementary salient pole portions 14 (i) and 14 ′ (i) are shifted by 45 ° in the circumferential direction from the main salient pole portions 13 (i) and 13 ′ (i) on the inner circumference of the
また、各補極4(i)の先端すなわち永久磁石16の先端には、磁束を検出するための磁束センサ17A(i)、17B(i)が装着されている(i=1〜4)。同様に、各補極4’(i)の先端には磁束センサ17A’(i)、17B’(i)が装着されている。これらの磁束センサ17は、例えばホール素子等である。1つの永久磁石16に装着される磁束センサ17A(i)、17B(i)は、図1(b)に示すように、軸方向(Z方向)に関し異なる位置に装着されている。ここでは、磁束センサ17A(i)が、17B(i)よりもZ方向に関し内側に存在するものとする。磁束センサ17A’(i)、17B’(i)も同様である。
Further,
一方、ロータ2は、少なくとも外周部に積層鋼板や電磁材料等の磁性体を配したもので、回転軸2aと、2つの円板2b、2b’を有する。2つの円板2b、2b’は、ステータ1の内側に回転軸2aを軸心として回転可能に配置されており、その軸方向の位置は、環状部12、12’よりも若干内側とされている。すなわち、2つの円板2b、2b’間の軸方向の距離は、2つの環状部12、12’間の距離よりも短くされている。このため、主極3と円板2b又は2b’との間のラジアル励磁磁束φrは、軸方向成分(アキシャル成分)を有する磁束φra、φrbとなる(図1(b)参照)。この実施の形態では、この磁束φra、φrbを強めたり弱めたりすることにより、ロータ2の軸方向の位置制御(アキシャル制御)を行う。
On the other hand, the
この磁束φra、φrbを強めたり弱めたりするため、また、図1(a)に示すように、接続部21には、ロータ2の軸方向(Z軸方向)と平行な軸を中心にアキシャル励磁コイル15が巻回されている。このアキシャル制御コイル15に励磁電流が流れると、接続部21、上下の環状部12、12’、主極3、3’及びロータ2の閉回路により形成される磁気回路にアキシャル制御磁束φcaが発生する。この磁束φcaの向き及び大きさは、アキシャル制御コイル15に流れる励磁電流の向き及び大きさにより変化する。アキシャル制御磁束は、磁束φra又はφrbのいずれか一方を強め、いずれか一方を弱めるように作用する。これにより、ロータ2に軸方向の力Fが加わり、ロータ2の軸方向の位置が制御される。
In order to strengthen or weaken the magnetic fluxes φra and φrb, and as shown in FIG. 1A, the
次に、ラジアル制御コイル18、及びアキシャル制御コイル15の励磁電流を制御する制御系の構成例を図2を参照して説明する。
この制御系は、ラジアル制御コイル18の励磁電流の制御のため、コンパレータ101、102、座標変換回路103、及びコントローラ104、105を備えている。また、アキシャル制御コイル15の励磁電流の制御のため、加算器106、107、コンパレータ108、及びコントローラ109を備えている。
Next, a configuration example of a control system for controlling the excitation current of the
This control system includes
コンパレータ101は、対向する補極4(1)、4(3)に形成される磁束センサ17A(1)、17A(3)の差分信号を出力する。同様に、コンパレータ102は、対向する補極4(2)、4(4)に形成される磁束センサ17A(2)、17A(4)の差分信号を出力する。座標変換回路103は、これらの差分信号を座標変換して、y方向変位信号、x方向変位信号を生成し、これをコントローラ104、105に出力する。コントローラ104、105は、これらの変位信号に基づき、ラジアル制御コイル18の励磁電流を制御する。これにより、ラジアル励磁磁束φrが変化し、ロータ2の径方向の位置制御が可能になる。
The
加算器106は、環状部12側に設けられた補極4(i)に形成された磁束センサ17B(i)の総和を求めるものであり、一方、加算器107は、環状部12’側に設けられた補極4’(i)に形成された磁束センサ17B’(i)の総和を求めるものである。コンパレータ108は、この1つの加算器106、107の出力信号の差分信号であるz変位信号を出力する。コントローラ109は、このz変位信号に基づいて、アキシャル制御コイル15の励磁電流を制御する。これにより、アキシャル励磁磁束φcaが変化し、磁束φra、φrbの一方が強められ、他方が弱められることにより、ロータ2に軸方向の力が加わり、ロータ2の軸方向の位置制御が可能になる。この実施の形態では、アキシャル制御コイル15は環状部12、12’の間の接続部21に巻回されているので、大型化、重量化が回避されている。
The
なお、図2では、磁束センサ17A(i)の検出出力をラジアル制御コイル18の励磁電流の制御に利用し、磁束センサ17B(i)の検出出力をアキシャル制御コイル15の励磁電流の制御に利用していたが、これとは逆に、磁束センサ17B(i)の検出出力をラジアル制御コイル18の励磁電流の制御に利用し、磁束センサ17A(i)の検出出力をアキシャル制御コイル15の励磁電流の制御に利用してもよい。
In FIG. 2, the detection output of the
以上、発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、上記の実施の形態では、補極4(i)、4’(i)の先端部に永久磁石16を形成していたが、図3に示すように、補極4(i)、4’(i)を廃止し、永久磁石16を主極3(i)、3’(i)の先端部に形成し、更に磁束センサ17A(i)、17B(i)、17A’(i)、17B’(i)を永久磁石16の先端部に形成するようにしてもよい。図3では、主極3(i)、3’(i)の左側に切り欠き部を形成し、この切り欠き部に、主極3(i)、3’(i)に対してギャップgを残しつつ永久磁石16を設けている。この構成によれば、永久磁石16によるバイアス磁束φbは、永久磁石16のN極から発して主極(i)、3’(i)の右側(切り欠き部でない部分)を通り、S極に戻る磁束となる。ギャップgは、このようなバイアス磁束φbの回路が形成されるよう、十分な大きさに設定される。
Although the embodiments of the invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications, additions, substitutions, and the like can be made without departing from the spirit of the invention. For example, in the above embodiment, the
1・・・ステータ、 2・・・ロータ、 3・・・主極、 4・・・補極、 11・・・継鉄、 12・・・環状部、 13・・・主突極部、 14・・・補突極部、 15・・・アキシャル制御コイル、 16・・・永久磁石、 17・・・磁束センサ、 18・・・ラジアル制御コイル。
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記ステータは、
軸方向に所定間隔を空けて同軸配置された磁性材料からなる少なくとも一対の環状部と、
前記一対の環状部の各々の内周において周方向に関し所定の間隔で配置される磁性材料からなり前記ロータの径方向の位置を制御するためのバイアス磁束及びラジアル制御磁束が通過する複数の主極と、
前記一対の環状部の間を磁気的に接続する磁性材料からなる接続部と
を備え、
前記ロータは、
磁性材料からなる回転軸と、
前記主極よりも軸方向に関し内側にずれた位置に位置するように前記回転軸に保持される磁性材料からなる一対の円板と
を備え、
前記バイアス磁束を供給する永久磁石と、
前記ラジアル制御磁束を生成するラジアル制御コイルと、
前記接続部に巻回されて前記環状部、前記接続部、及び前記ロータによる閉回路を磁気回路としたアキシャル制御磁束を発生させ、このアキシャル制御磁束により前記ラジアル制御磁束を前記一対の環状部の一方の側においては強め他方の側においては弱めて前記ロータの軸方向の位置を制御するアキシャル制御コイルと
を備えたことを特徴とする磁気軸受。 In a magnetic bearing having a stator and a rotor that is supported by the stator in a non-contact state by a magnetic force and rotates about a rotation axis,
The stator is
At least a pair of annular portions made of a magnetic material coaxially arranged at a predetermined interval in the axial direction;
A plurality of main poles made of a magnetic material arranged at a predetermined interval in the circumferential direction on the inner circumference of each of the pair of annular portions, through which a bias magnetic flux and a radial control magnetic flux for controlling the radial position of the rotor pass When,
A connecting portion made of a magnetic material for magnetically connecting between the pair of annular portions,
The rotor is
A rotating shaft made of magnetic material;
A pair of discs made of a magnetic material held by the rotating shaft so as to be located at a position shifted inward in the axial direction from the main pole,
A permanent magnet for supplying the bias magnetic flux;
A radial control coil for generating the radial control magnetic flux;
An axial control magnetic flux that is wound around the connection portion and uses a closed circuit by the annular portion, the connection portion, and the rotor as a magnetic circuit is generated, and the radial control magnetic flux is generated by the axial control magnetic flux between the pair of annular portions. A magnetic bearing comprising: an axial control coil that controls the position of the rotor in the axial direction while strengthening on one side and weakening on the other side.
この磁束センサの検知出力に基づき、前記アキシャル制御コイルに流れる励磁電流を制御する制御部と
を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の磁気軸受。 A magnetic flux sensor for detecting magnetic flux;
The magnetic bearing according to claim 1, further comprising: a control unit that controls an exciting current flowing in the axial control coil based on a detection output of the magnetic flux sensor.
ことを特徴とする請求項2記載の磁気軸受。 The control unit includes a difference between a sum of detection outputs of the magnetic flux sensors provided on one side of the pair of annular portions and a sum of detection outputs of the magnetic flux sensors provided on the other side of the pair of annular portions. The magnetic bearing according to claim 2, wherein an excitation current of the axial control coil is controlled based on the magnetic field.
前記磁束センサは、前記補極の先端部に設けられたことを特徴とする請求項2記載の磁気軸受。 A plurality of complementary poles made of a magnetic material arranged at predetermined intervals in the circumferential direction so as to be adjacent to the plurality of main poles on the inner circumference of each of the pair of annular portions;
The magnetic bearing according to claim 2, wherein the magnetic flux sensor is provided at a tip portion of the auxiliary pole.
The magnetic bearing according to claim 1, wherein the permanent magnet is provided on a part of the main pole.
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---|---|---|---|---|
JP2010043684A (en) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Meidensha Corp | Magnetic bearing displacement detecting method and detection device |
JP2010106908A (en) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Oitaken Sangyo Sozo Kiko | Magnetic bearing |
JP2010112512A (en) * | 2008-11-10 | 2010-05-20 | Oitaken Sangyo Sozo Kiko | Axial magnetic bearing |
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2004
- 2004-12-10 JP JP2004358871A patent/JP4138739B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010043684A (en) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Meidensha Corp | Magnetic bearing displacement detecting method and detection device |
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