JP2006157569A - 水晶振動子パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枠部110の他方の面に形成された配線133に接続し、他方の面の断裁領域103にまで延在する配線133aが形成された状態とする。また、配線133aは、断裁領域103に設けられたスルーホール104に形成された貫通配線133bを介し、一方の面に形成された周調端子124に接続した状態に形成する。これらのことにより、周調端子123及び周調端子124を、電極121が形成されている一方の面に配置した状態が得られる。
【選択図】 図1
Description
Claims (1)
- 枠部とこの内側に配置された水晶振動子片とが、第1連結部及び第2連結部を介して一体に形成された略矩形の複数のチップ部を備え、このチップ部が断裁領域を介して配置された水晶ウエハを用意する工程と、
前記断裁領域にスルーホールが形成された状態とする工程と、
前記スルーホールの内部側面に貫通配線が形成された状態とする工程と、
前記水晶振動子片の第1主面に第1電極が形成され、前記水晶振動子片の第2主面に第2電極が形成された状態とする工程と、
前記第1電極に接続する第1配線が前記第1連結部の第1主面に形成された状態とする工程と、
前記第1配線に接続する第1周調端子が第1主面に形成された状態とする工程と、
前記第2電極に接続する第2配線が前記第2連結部の第2主面に形成された状態とする工程と、
前記第2配線と前記貫通配線とを接続する第3配線が前記第2主面に形成された状態とする工程と、
前記貫通配線に接続する第2周調端子が第1主面に形成された状態とする工程と、
前記第1周調端子と前記第2周調端子とを用いて前記第1電極及び前記第2電極が形成された前記水晶振動子片の周波数調整を行う工程と、
前記周波数の調整を行った後、第1主面及び第2主面の少なくとも前記枠部に第1金属層及び第2金属層が形成された状態とする工程と、
前記水晶ウエハと同一形状の第1ガラスウエハが、前記第1金属層により前記水晶ウエハの第1主面に接合された状態とする工程と、
前記水晶ウエハと同一形状の第2ガラスウエハが、前記第2金属層により前記水晶ウエハの第2主面に接合された状態とする工程と、
前記第1ガラスウエハ及び前記第2ガラスウエハが前記水晶ウエハに接合された状態で、前記断裁領域を除去するように断裁することで、複数の前記チップ部が個々に切り出された状態とする工程と
を少なくとも備えたことを特徴とする水晶振動子パッケージの製造方法。
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