JP2006157299A - Surface acoustic wave device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は,弾性表面波(SAW)装置に関する。特に,弾性表面波素子(チップ)をセラミックスパッケージに収容して構成される弾性表面波装置に関する。 The present invention relates to a surface acoustic wave (SAW) device. In particular, the present invention relates to a surface acoustic wave device configured by housing a surface acoustic wave element (chip) in a ceramic package.
弾性表面波装置は,一般的構成を示す図1に示すように弾性表面波素子1をセラミックスパッケージ2に収容し,外部回路との電気接続のための信号の入力端子(IN),信号の出力端子(OUT), 接地端子(GND)を有する構成である。なお,以降の説明において,接地端子(GND)に対し,信号の入力端子(IN)及び信号の出力端子(OUT)を適宜HOT端子と呼ぶ。
In the surface acoustic wave device, as shown in FIG. 1 showing a general configuration, a surface
図2は,1個の弾性表面波装置のセラミックスパッケージ2の上面図であり,模式的に透視して弾性表面波素子1が搭載収容される位置及び,底面に形成された電極パターンが示されている。セラミックスパッケージ2の底面に形成された電極パターンとして,外部回路と接続のためのHOT端子(IN及びOUT)及び複数のGND端子のパターンが形成されている。
FIG. 2 is a top view of the
かかる弾性表面波装置は,製造過程を示す図3に示すように,複数の弾性表面波装置が一枚のウエハー状に形成される。かかるウエハーの状態において,HOT端子(IN及びOUT)及び複数のGND端子の電極パターンが形成される。また底面に形成されたHOT端子(IN及びOUT)及び複数のGND端子の電極パターンと電気的に接続する高さ方向の接続電極パターン(弾性表面波装置の側面側に形成される電極パターン)を形成するために,貫通穴3がそれぞれの電極パターンの中央に穿かれている。
In such a surface acoustic wave device, as shown in FIG. 3 showing a manufacturing process, a plurality of surface acoustic wave devices are formed in a single wafer shape. In such a wafer state, electrode patterns of HOT terminals (IN and OUT) and a plurality of GND terminals are formed. Also, a connection electrode pattern in the height direction (electrode pattern formed on the side surface of the surface acoustic wave device) that is electrically connected to the electrode patterns of the HOT terminals (IN and OUT) and the plurality of GND terminals formed on the bottom surface. In order to form, a
そして,貫通穴3を通して注入されるタングステン,モリブデン等の高融点金属粉末により,貫通穴3の内側面に導電膜が形成される。
Then, a conductive film is formed on the inner side surface of the through
ついで,切断線4に沿って切断されることにより複数の個別の弾性表面波装置に分離される。したがって,例えば,特許文献1に示されるように個々の弾性表面波装置の側面及び,頂角位置に,貫通穴3の位置に対応して切り欠き部3aが形成され,この切り欠き部3aに導電膜が形成されている状態となる。
Subsequently, it is separated into a plurality of individual surface acoustic wave devices by cutting along the
図4,図5は,図3において個別に分離された弾性表面波装置であって,図2においてA−B線に沿って切断した時の側面の概念構成例である。 4 and 5 are surface acoustic wave devices individually separated in FIG. 3, and are conceptual configuration examples of side surfaces when cut along the line AB in FIG.
図4,図5において,弾性表面波素子1を収容するセラミックスパッケージ2は、アルミナセラミックス等の絶縁材料から成り、最低2層以上の多層構造(図4、図5の例は3層構造20,21,22)を有している。
4 and 5, the
図4は,かかるセラミックスパッケージ2に収容される弾性表面波素子1を金バンプ7により外部回路と接続する弾性表面波装置の構成例の断面図であり,図5は,ボンディングワイヤ8により弾性表面波素子1を外部回路と接続する弾性表面波装置の構成例の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a configuration example of a surface acoustic wave device in which the surface
多層構造のセラミックスパッケージ2の最下層の絶縁基体20の底面には、プリント配線(PC)基板の信号配線と接続を行なう為にタングステンやモリブデン等の材料を被着させた上に金めっき等の処理(以下メタライズ)が施されたHOT端子5aと、内部素子の接地(GROUND)もしくは、パッケージの筐体をPC基板のGROUNDパターンに接続する為にメタライズが施されたGROUND端子5bが形成されている。
The bottom surface of the lowermost
同じく、図4の構成では,最下層の絶縁基体20の上面には弾性表面波素子1を金バンプ7を介して搭載する為の配線用メタライズ5cが形成されている。
Similarly, in the configuration of FIG. 4, a
最下層の絶縁基体20の上には、弾性表面波素子1の搭載部を取り囲むようにして1層以上の絶縁枠体21,22が積層されている。さらに,最上層の絶縁枠体22の上面には金属製蓋体6を半田等の導電性接着剤にて接合する為の封止用メタライズ5dが施されている。
On the lowermost
金バンプ7を介して弾性表面波素子1とが配線用メタライズ5cに電気的に接続されるとともに,セラミックパッケージ2に固定される。
The surface
一方、図5に示すように金ワイヤ等8で電気的接続を行なう場合には、最下層の絶縁基体20の搭載部に同様にメタライズ5cが施されるが,配線用のためというよりもセラミックパッケージ2のGROUNDパターンを目的とする。
On the other hand, as shown in FIG. 5, when the electrical connection is made with the
弾性表面波素子1はエポキシ等の樹脂でセラミックパッケージ2の最下層絶縁基体20の上面の搭載部に固定され、中間層の絶縁層21の上面に形成された配線用メタライズ5eに金ワイヤ等8で電気的接続がされる。
The surface
ここで,弾性表面波装置のセラミックパッケージ2の底面に形成される電極パターン(図2参照)は,弾性表面は素子1を外部回路に接続するために,共通GND端子と,一入力端子IN,一出力端子OUTに対応して,少なくとも3つの電極パターンを有すればよい。
Here, the electrode pattern (see FIG. 2) formed on the bottom surface of the
しかし,これまでの弾性表面波装置にあっては,接地電位との強固な接続あるいは,共通パッケージの共通の電極パターンの形成を考慮して,一入力端子,一出力端子に対応する電極パターンIN,OUTと一の共通接地(GND)端子用の電極パターンに加え,複数のGND端子用の電極パターンあるいはダミーの電極パターンを有していた。 However, in the conventional surface acoustic wave devices, the electrode pattern IN corresponding to one input terminal and one output terminal is considered in consideration of the strong connection with the ground potential or the formation of the common electrode pattern of the common package. , OUT and a common ground (GND) terminal electrode pattern, a plurality of GND terminal electrode patterns or dummy electrode patterns.
図6は,かかる弾性表面波装置の底面に形成された電極パターン5a.5bと弾性表面波装置が搭載されるプリント配線基板における配線パターン100との接続を示す模式図である。配線パターン100が平行に走り,弾性表面波装置の必要な電極パターンと接続されている。
一方、近年の実装回路の高密度化により、実装された弾性表面波装置の下にも,図6に示すように,プリント配線基板の信号配線101や両面プリント配線基板のスルーホール102を設けることの要求が有る。
On the other hand, due to the recent increase in the density of mounted circuits,
しかし,弾性表面波装置には共通のGND端子112の他に,複数のGND端子113及びダミー端子114が多数有り,レイアウト可能な面積が縮小され、実装された弾性表面波装置の下に信号配線101やスルーホール102をレイアウトすることが出来ず、プリント配線基板設計の自由度が減少してしまう。
However, the surface acoustic wave device has a plurality of
その為に、本発明者は,弾性表面波装置裏面には特性実現上必要最小限のGND端子を残し、実装されるプリント配線基板のレイアウトに応じて、セラミックパッケージ底面のGND端子及び側面切欠部3aの配線用メタライズが削除されたセラミックパッケージの設計を行った。
For this purpose, the present inventor leaves the minimum number of GND terminals necessary for realizing the characteristics on the back surface of the surface acoustic wave device, and in accordance with the layout of the printed wiring board to be mounted, A ceramic package from which the metallization for
図7は,配線用メタライズが一部削除された状態を示す弾性表面波装置の平面図(図7A),裏面図(図7B),側面図(図7C)及び正面図(図7D)である。図7Bに示される様に裏面において,I,II,IIIの部分の電極パターンが形成されていない。 FIG. 7 is a plan view (FIG. 7A), a back view (FIG. 7B), a side view (FIG. 7C), and a front view (FIG. 7D) of the surface acoustic wave device in a state where a part of the wiring metallization is deleted. . As shown in FIG. 7B, the electrode patterns I, II, and III are not formed on the back surface.
これにより,図7Cの側面図において側面切欠部3aに対応する積層方向の部分II’の導電膜形成が省略されている。図7Dの正面図において積層方向の部分III’の導電膜形成が省略されている。
Thereby, in the side view of FIG. 7C, the formation of the conductive film in the portion II 'in the stacking direction corresponding to the
これにより,図6に示したようにプリント配線基板に信号配線101や両面プリント配線基板のスルーホール102が存在する場合であっても,弾性表面波装置のプリント配線基板のレイアウトを困難となることが解消された。
This makes it difficult to lay out the printed wiring board of the surface acoustic wave device even when the signal wiring 101 and the through
しかし,先に図3により説明したように,ウエハからの個別の弾性表面波装置の切り出しを考慮すると,貫通穴3の存在により側面切欠部3aが存在する。このために,パッケージに外部からの機械的な力が加わった場合、パッケージの割れがパッケージ側面切欠部3aから発生し,ひび割れAが直接表面に現れることが,本発明者により初めて発見された。
However, as described above with reference to FIG. 3, when the surface acoustic wave device is cut out from the wafer, the
このように抗折強度の劣化により、パッケージの割れ発生が多くなってしまうという問題がある。 As described above, there is a problem that the crack generation of the package increases due to the deterioration of the bending strength.
したがって,本発明の目的は,プリント配線基板への配置の自由度を高めると同時に,パッケージの割れ発生を回避する弾性表面波装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave device that increases the degree of freedom of placement on a printed circuit board and avoids the occurrence of package cracking.
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第1の態様は、弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子を収容するパッケージを有し,前記パッケージは,その頂角に形成された切り欠き部と,各辺に少なくとも一つ形成された複数の切り欠き部を備え,前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面には導電膜が形成され,前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応する複数の位置には,前記弾性表面波素子の入出力端子と電気的に接続される導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される導電パターンが形成された領域と,導電パターンが形成されていない領域を有し,前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応し,導電パターンが形成されていない領域は,弾性表面波装置が搭載されるプリント配線基板に形成された配線パターンあるいは,スルーホールのレイアウトに対応して備えられることを特徴とする。 A first aspect of a surface acoustic wave device according to the present invention that achieves the above object has a surface acoustic wave element and a package that accommodates the surface acoustic wave element, and the package is formed at an apex angle thereof. A plurality of notches formed on each side, and a conductive film is formed on a side surface of the package corresponding to the notches, and the notch on the back surface of the package And a conductive pattern electrically connected to the ground terminal of the surface acoustic wave element and a region where a conductive pattern electrically connected to the input / output terminal of the surface acoustic wave element is formed. A surface acoustic wave device is provided in a region having a pattern and a region in which a conductive pattern is not formed and corresponding to the notch on the back surface of the package and in which a conductive pattern is not formed. Printed wiring board formed a wiring pattern or is characterized in that it is provided in correspondence with the layout of the through hole.
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第2の態様は、弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子を収容するパッケージを有し,前記パッケージは,その頂角に形成された切り欠き部と,各辺に少なくとも一つ形成された複数の切り欠き部を備え,前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面には導電膜が形成され,前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応する複数の位置には,前記弾性表面波素子の入出力端子と電気的に接続される第1の大きさの導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される第1の大きさの導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される前記第1の導電パターンより小さい第2の導電パターンが形成されている領域を有し,前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応し,前記第2の導電パターンが形成されていない領域は,弾性表面波装置が搭載されるプリント配線基板に形成された配線パターンあるいは,スルーホールのレイアウトに対応して備えられることを特徴とする。 A second aspect of the surface acoustic wave device according to the present invention that achieves the above object has a surface acoustic wave element and a package that accommodates the surface acoustic wave element, and the package is formed at the apex angle thereof. A plurality of notches formed on each side, and a conductive film is formed on a side surface of the package corresponding to the notches, and the notch on the back surface of the package At a plurality of positions corresponding to a region where a conductive pattern having a first size electrically connected to the input / output terminal of the surface acoustic wave element is formed, and a ground terminal of the surface acoustic wave element And a second conductive pattern smaller than the first conductive pattern electrically connected to the ground terminal of the surface acoustic wave element is formed. Territory Corresponding to the notch on the back surface of the package, and the region where the second conductive pattern is not formed is a wiring pattern formed on a printed wiring board on which the surface acoustic wave device is mounted, or It is provided corresponding to the layout of a through hole.
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第3の態様は、第1又は第2の態様において,前記パッケージはセラミック材料により形成され少なくとも複数層構造を有し,前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面に形成された導電膜は,前記複数層構造の一部の層のみに形成されていることを特徴とする。 A third aspect of the surface acoustic wave device according to the present invention that achieves the above object is the first or second aspect, wherein the package is formed of a ceramic material and has at least a multi-layer structure, and the cutting of the package is performed. The conductive film formed on the side surface corresponding to the notch is formed only on a part of the multilayer structure.
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第4の態様は、第3の態様において,前記複数層が3層以上であるとき,前記複数層の最上層と最下層に対応する層のみに前記導電膜が形成されていることを特徴とする。 The fourth aspect of the surface acoustic wave device according to the present invention that achieves the above object is that, in the third aspect, when the plurality of layers are three or more layers, the layers corresponding to the uppermost layer and the lowermost layer of the plurality of layers. The conductive film is formed only on.
上記の目的を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第5の態様は、前記第1乃至第4の態様のいずれかにおいて,前記切り欠き部は,それぞれ切断線で区切られた複数の弾性表面波装置がウエハー状に形成され,隣接する弾性表面波装置の切断線上に形成された貫通穴が,前記切断線に沿ってそれぞれの弾性表面波装置が切り出された際に形成されることを特徴とする。 A fifth aspect of the surface acoustic wave device according to the present invention that achieves the above object is the surface acoustic wave device according to any one of the first to fourth aspects, wherein the notch portions are each a plurality of elastic surfaces separated by cutting lines. A wave device is formed in a wafer shape, and a through hole formed on a cutting line of an adjacent surface acoustic wave device is formed when each surface acoustic wave device is cut out along the cutting line. And
パッケージの割れ発生を回避する弾性表面波装置が提供可能である。これとともに,プリント配線基板設計の省力がはかられる。 It is possible to provide a surface acoustic wave device that avoids cracking of the package. At the same time, it saves labor in designing printed wiring boards.
以下に,図面に従い本発明の実施の形態例を説明する。なお、図面に示す実施例は、本発明の理解のためのものであって、本発明の技術的範囲は、これに限定されるものではない。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, the Example shown in drawing is for understanding this invention, Comprising: The technical scope of this invention is not limited to this.
図8は、本発明に従う弾性表面波装置の第1の実施の形態例であり,その平面図(図8A),裏面図(図8B),側面図(図8C)及び正面図(図8D)を示している。 FIG. 8 is a first embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention, and is a plan view (FIG. 8A), a back view (FIG. 8B), a side view (FIG. 8C), and a front view (FIG. 8D). Is shown.
特徴として,図8Bに示すように,底面において切り欠き部3aの電極パターンが形成されていない部分I,II,IIIを有している。
As a feature, as shown in FIG. 8B, there are portions I, II, and III where the electrode pattern of the
この電極パターンが形成されていない部分を設けることは,プリント配線基板に弾性表面波装置が搭載された時に,プリント配線基板上の配線パターンあるいはスルーホールとの接触を回避するためである。これによりプリント配線基板における配線パターンあるいはスルーホールのレイアウト設計が容易となる。 The provision of the portion where the electrode pattern is not formed is to avoid contact with the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board when the surface acoustic wave device is mounted on the printed wiring board. This facilitates the layout design of the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board.
同時に,特徴として,電極パターンが形成されていない切り欠き部3aに対応する側面には,他の電極パターン3aが形成されている切り欠き部3aに対応する側面と同様に積層方向に導電膜が形成されている。これにより,パッケージの割れ発生が回避される。
At the same time, as a feature, a conductive film is formed on the side surface corresponding to the
図9は,本発明に従う弾性表面波装置の第2の実施の形態例であり,その平面図(図9A),裏面図(図9B),側面図(図9C)及び正面図(図9D)を示している。 FIG. 9 is a second embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention, and a plan view (FIG. 9A), a back view (FIG. 9B), a side view (FIG. 9C), and a front view (FIG. 9D). Is shown.
特徴として,図8の実施の形態例と同様に,図9Bに示すように,底面において切り欠き部3aの電極パターンが形成されていない部分I,II,IIIを有している。
Characteristically, as in the embodiment of FIG. 8, as shown in FIG. 9B, there are portions I, II, and III where the electrode pattern of the
この電極パターンが形成されていない部分を設けることは,プリント配線基板に弾性表面波装置が搭載された時に,プリント配線基板上の配線パターンあるいはスルーホールとの接触を回避するためである。これによりプリント配線基板における配線パターンあるいはスルーホールのレイアウト設計が容易となる。 The provision of the portion where the electrode pattern is not formed is to avoid contact with the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board when the surface acoustic wave device is mounted on the printed wiring board. This facilitates the layout design of the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board.
同時に,特徴として,電極パターンが形成されていない切り欠き部3aに対応する側面には,他の電極パターン3aが形成されている切り欠き部3aに対応する側面と異なり,
積層の最下層及び最上層のみに部分的に導電膜が形成されている。かかる場合であってもパッケージの割れ発生が回避される。
At the same time, as a feature, the side surface corresponding to the
A conductive film is partially formed only on the lowermost layer and the uppermost layer of the stack. Even in such a case, generation of cracks in the package is avoided.
図10は,更に本発明に従う弾性表面波装置の第3の実施の形態例であり,その平面図(図10A),裏面図(図10B),側面図(図10C)及び正面図(図10D)を示している。 FIG. 10 is a third embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention, and is a plan view (FIG. 10A), a back view (FIG. 10B), a side view (FIG. 10C), and a front view (FIG. 10D). ).
特徴として,図8,図9の実施の形態例と異なり,図10Bに示すように,底面において切り欠き部3aに対応して部分電極パターンが形成されている部分I,II,IIIを有している。
As a feature, unlike the embodiment of FIG. 8 and FIG. 9, as shown in FIG. 10B, it has portions I, II and III in which partial electrode patterns are formed corresponding to the
さらに,この部分電極パターンに対応する切り欠き部3aの側面には,他の電極パターン3aが形成されている切り欠き部3aに対応する側面と同様に積層方向に導電膜が形成されている。
Furthermore, a conductive film is formed on the side surface of the
上記の様に,部分電極パターンが形成されている部分I,II,IIIでは,電極パターンの面積が小さくなるので,プリント配線基板上の配線パターンあるいはスルーホールとの接触を容易に回避することが可能である。これによりプリント配線基板における配線パターンあるいはスルーホールのレイアウト設計が容易となる。 As described above, in the portions I, II, and III where the partial electrode pattern is formed, the area of the electrode pattern is small, so that contact with the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board can be easily avoided. Is possible. This facilitates the layout design of the wiring pattern or the through hole on the printed wiring board.
同時に,特徴として,部分電極パターンが形成されている切り欠き部3aに対応する側面には,他の電極パターン3aが形成 されている切り欠き部3aに対応する側面と同様に導電膜が形成されている。したがって,パッケージの割れ発生が回避できる。
At the same time, as a feature, a conductive film is formed on the side surface corresponding to the
図11は,本発明の効果を示すグラフである。比較サンプルとして,図7に示した従来構成の弾性表面波装置と,図10に示した本発明に従う構成の弾性表面波装置を用いた。 FIG. 11 is a graph showing the effect of the present invention. As a comparative sample, the surface acoustic wave device having the conventional configuration shown in FIG. 7 and the surface acoustic wave device having the configuration according to the present invention shown in FIG. 10 were used.
図12は,本発明の効果の測定方法を示す図であり,従来構成のサンプルと本発明の構成を有するサンプルそれぞれ5個を金属製蓋体6を外し,図12Aに示すように上面から,図12Bに示すV字状のツール先端を押し当て,ひび割れが発生したときの押し圧を測定してプロットした。
FIG. 12 is a diagram showing a method for measuring the effect of the present invention, in which 5 samples each of the sample having the conventional configuration and the sample having the configuration of the present invention are removed from the
図11から明らかな様に,本発明の構成を有するサンプル5個は,いずれも従来品に比べ,抗折強度が上回り,本発明による効果が明らかである。 As is apparent from FIG. 11, the five samples having the configuration of the present invention all have higher bending strength than the conventional product, and the effect of the present invention is clear.
本発明によりプリント配線基板への配置の自由度を高めると同時に,パッケージの割れ発生を回避する弾性表面波装置を提供可能であり,プリント配線基板設計の省力がはかられるので,産業上寄与するところ大である。 According to the present invention, it is possible to provide a surface acoustic wave device that increases the degree of freedom of placement on a printed wiring board and at the same time avoids the occurrence of cracks in the package. But it ’s big.
1 弾性表面波素子
2 セラミックスパッケージ
3 貫通穴
3a 切り欠き部
4 切断線
5a〜5e 導電パターン
6 金属蓋部
7 金バンプ
8 ボンディングワイヤ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記弾性表面波素子を収容するパッケージを有し,
前記パッケージは,その頂角に形成された切り欠き部と,各辺に少なくとも一つ形成された複数の切り欠き部を備え,
前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面には導電膜が形成され,
前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応する複数の位置には,前記弾性表面波素子の入出力端子と電気的に接続される導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される導電パターンが形成された領域と,導電パターンが形成されていない領域を有し,
前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応し,導電パターンが形成されていない領域は,弾性表面波装置が搭載されるプリント配線基板に形成された配線パターンあるいは,スルーホールのレイアウトに対応して備えられる
ことを特徴とする弾性表面波装置。 A surface acoustic wave element;
A package containing the surface acoustic wave element;
The package includes a notch formed at the apex angle thereof and a plurality of notches formed at least one on each side,
A conductive film is formed on a side surface of the package corresponding to the notch,
A plurality of positions corresponding to the notches on the back surface of the package are provided with regions where conductive patterns electrically connected to input / output terminals of the surface acoustic wave element are formed, and grounding of the surface acoustic wave element A region where a conductive pattern electrically connected to the terminal is formed and a region where a conductive pattern is not formed;
The region corresponding to the notch portion on the back surface of the package and having no conductive pattern formed corresponds to the wiring pattern formed on the printed wiring board on which the surface acoustic wave device is mounted or the layout of the through hole. A surface acoustic wave device.
前記弾性表面波素子を収容するパッケージを有し,
前記パッケージは,その頂角に形成された切り欠き部と,各辺に少なくとも一つ形成された複数の切り欠き部を備え,
前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面には導電膜が形成され,
前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応する複数の位置には,前記弾性表面波素子の入出力端子と電気的に接続される第1の大きさの導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される第1の大きさの導電パターンが形成された領域と,前記弾性表面波素子の接地端子と電気的に接続される前記第1の導電パターンより小さい第2の導電パターンが形成されている領域を有し,
前記パッケージの裏面の前記切り欠き部に対応し,前記第2の導電パターンが形成されていない領域は,弾性表面波装置が搭載されるプリント配線基板に形成された配線パターンあるいは,スルーホールのレイアウトに対応して備えられる
ことを特徴とする弾性表面波装置。 A surface acoustic wave element;
A package containing the surface acoustic wave element;
The package includes a notch formed at the apex angle thereof and a plurality of notches formed at least one on each side,
A conductive film is formed on a side surface of the package corresponding to the notch,
A plurality of positions corresponding to the notches on the back surface of the package, a region having a first size conductive pattern electrically connected to an input / output terminal of the surface acoustic wave element; A region in which a first size conductive pattern electrically connected to the ground terminal of the surface acoustic wave element is formed, and the first conductive pattern electrically connected to the ground terminal of the surface acoustic wave element Having a region where a smaller second conductive pattern is formed;
A region corresponding to the notch on the back surface of the package and where the second conductive pattern is not formed is a layout of a wiring pattern or a through hole formed on a printed wiring board on which the surface acoustic wave device is mounted. A surface acoustic wave device comprising: a surface acoustic wave device.
前記パッケージはセラミック材料により形成され少なくとも複数層構造を有し,
前記パッケージの前記切り欠き部に対応する側面に形成された導電膜は,前記複数層構造の少なくとも一部の層に形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 In claim 1 or 2,
The package is formed of a ceramic material and has at least a multi-layer structure;
The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the conductive film formed on the side surface corresponding to the notch of the package is formed in at least a part of the multilayer structure.
前記複数層が3層以上であるとき,前記複数層の最上層と最下層に対応する層のみに前記導電膜が形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 In claim 3,
When the plurality of layers are three or more layers, the conductive film is formed only on the layers corresponding to the uppermost layer and the lowermost layer of the plurality of layers.
前記切り欠き部は,それぞれ切断線で区切られた複数の弾性表面波装置がウエハー状に形成され,隣接する弾性表面波装置の切断線上に形成された貫通穴が,前記切断線に沿ってそれぞれの弾性表面波装置が切り出された際に形成されることを特徴とする弾性表面波装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4,
A plurality of surface acoustic wave devices each divided by a cutting line are formed in a wafer shape, and the through holes formed on the cutting lines of adjacent surface acoustic wave devices are respectively formed along the cutting lines. The surface acoustic wave device is formed when the surface acoustic wave device is cut out.
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