JP2006154185A - Method of manufacturing light guide plate formed of fine rugged pattern and its light guide plate - Google Patents

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康 岸本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a light guide plate by which the duplicate plate that a plurality of rugged patterns are formed by obliquely arranging an original plate onto a transparent substrate highly precisely, and to provide its light guide plate. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the light guide plate comprises: a process of disposing a photocuring resin on the surface of the planar transparent substrate; a process of sticking a planar original plate having fine rugged patterns closely to the photocuring resin and proximately arranging the transparent substrate and the original plate; a curing process of photocuring resin for curing the photocuring resin by irradiating the transparent substrate with light ray from the opposite side to the original plate; and a process of peeling the original plate from the transparent substrate. In the process of proximately arranging the transparent substrate and the original plate, the original plate is obliquely arranged onto the transparent substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、表面に微細な凹凸パターンを有する導光板を量産複製する製造方法に関するもので、特に回折格子パターンを有する導光板を複製する際に用いるもので、回折格子パターンを有する原版からその凹凸形状を光硬化樹脂の利用で転写する微細な凹凸パターンの転写方法及びそれを用いた導光板の製造方法に関する。   The present invention relates to a manufacturing method for mass-producing and replicating a light guide plate having a fine concavo-convex pattern on the surface, and particularly used when replicating a light guide plate having a diffraction grating pattern. The present invention relates to a method for transferring a fine concavo-convex pattern in which a shape is transferred by using a photocurable resin, and a method for manufacturing a light guide plate using the same.

従来、液晶表示の照明として液晶背面に配置する導光板としては、端面から入射した光を内部でくり返し反射するような構造として、導光板の表面に導光する光を外部に射出するような構造物を設け、液晶面に対し面発光する方法が一般的に用いられている。   Conventionally, as a light guide plate arranged on the back of the liquid crystal display as illumination for liquid crystal display, a structure in which light incident from the end face is repeatedly reflected inside, and a structure in which light guided to the surface of the light guide plate is emitted to the outside A method of providing an object and emitting surface light to a liquid crystal surface is generally used.

また、外部に射出するような構造物として回折格子の凹凸パターンを用いた場合には、導光板の形状は均等な板厚ではなく、導光板の光入射光軸方向に対し厚みが異なるくさび形状とすることにより、入射した光を効率良く導光することができる。   In addition, when the concave / convex pattern of the diffraction grating is used as a structure that emits to the outside, the shape of the light guide plate is not an equal plate thickness, but a wedge shape whose thickness differs from the light incident optical axis direction of the light guide plate. By doing so, incident light can be guided efficiently.

図1に回折格子を用いた導光板の従来の構成例を示す。   FIG. 1 shows a conventional configuration example of a light guide plate using a diffraction grating.

導光板11の端面に発光ダイオード12を配置し、導光板11は入射した光軸方向に厚みが薄くなるようなくさび形状としてあり、導光板11の内部を伝播した光は回折格子13により外部へ射出光14として取り出される。   The light emitting diodes 12 are arranged on the end face of the light guide plate 11. The light guide plate 11 has a wedge shape so that the thickness is reduced in the direction of the incident optical axis. The light propagating through the light guide plate 11 is transmitted to the outside by the diffraction grating 13. It is extracted as the emitted light 14.

ところで、回折格子パターンを有する導光板を効率よく作製する場合には、原版の回折格子の凹凸パターンを複数個面付けした複製版(スタンパー)を用いて作製を行う方法を用いてきている。   By the way, in order to efficiently manufacture a light guide plate having a diffraction grating pattern, a method of manufacturing using a replica (stamper) in which a plurality of concave / convex patterns of the diffraction grating of the original plate are provided has been used.

ここで、複数個面付けする方法として、複数枚の版を繋ぎあわせて複製版を作製する方法があるが、この方法では回折格子の凹凸パターンの面を傾斜して配置する必要があり、精度良く傾斜させて版を繋ぐことが困難であるという問題がある。   Here, as a method of imposing a plurality of sheets, there is a method of connecting a plurality of plates to produce a duplicate plate. However, in this method, it is necessary to incline the surface of the concavo-convex pattern of the diffraction grating, and the accuracy There is a problem that it is difficult to connect the plates by tilting well.

また、上記原版の凹凸形状を転写して大きな面積の複製版を作製する方法としては、光硬化樹脂もしくは紫外線硬化樹脂を用いて原版に樹脂が密着した状態で、紫外線照射により樹脂を硬化させて原版の凹凸形状を転写する方法がある(例えば、特許文献1参照。)。   Moreover, as a method of producing a large-area replica by transferring the concavo-convex shape of the original plate, the resin is cured by ultraviolet irradiation while the resin is in close contact with the original plate using a photocurable resin or an ultraviolet curable resin. There is a method of transferring an uneven shape of an original plate (for example, see Patent Document 1).

また、この他に原版の凹凸形状を転写して大きな面積の複製版を作製する方法としては、光硬化樹脂を用いて原版に樹脂が密着した状態で、ビーム状の光線で特定範囲を走査して移動させ紫外線を照射することにより、基板上の特定範囲の樹脂を硬化させて原版の凹凸形状を転写する方法がある。   In addition, as a method for producing a large-area replica by transferring the uneven shape of the original, a specific range is scanned with a beam of light while the resin is in close contact with the original using a photo-curing resin. There is a method of transferring the concavo-convex shape of the original plate by curing the resin in a specific range on the substrate by irradiating with ultraviolet rays.

しかし、この方法では、原版が硬化する特定範囲より大きい場合には、基板と原版を傾斜させ近接配置すると、隣接した硬化部分に原版が干渉するため、原版を傾斜することが困難となる問題がある。   However, in this method, when the original is larger than a specific range to be cured, if the substrate and the original are inclined and arranged close to each other, the original interferes with an adjacent cured portion, and thus it is difficult to incline the original. is there.

以下に、特許文献を示す。
特許第02789597号公報
The patent documents are shown below.
Japanese Patent No. 027989597

以上のように、従来の方法としては、複数枚の版を繋ぎあわせて複製版を作製する方法においては、回折格子の凹凸パターンの面を傾斜して配置する必要があり、精度良く傾斜させて版を繋ぐことが困難であるという問題点があり、また、基板上の特定範囲の樹脂を硬化させて原版の凹凸パターンを転写する方法においては基板と原版を傾斜させ近接配置することが困難となる問題がある。   As described above, as a conventional method, in a method for producing a duplicate plate by connecting a plurality of plates, it is necessary to incline the surface of the concavo-convex pattern of the diffraction grating, and it is necessary to incline with high accuracy. There is a problem that it is difficult to connect the plates, and it is difficult to place the substrate and the original plate in an inclined manner in the method of transferring the concave / convex pattern of the original plate by curing a specific range of resin on the substrate. There is a problem.

本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、微細な凹凸パターンを有する平面状の原版を該光硬化樹脂に密着させ、該透明基板と原版を近接配置する工程と、該透明基板に原版と反対側から、光線を照射し該光硬化樹脂を硬化させる光硬化樹脂の硬化工程と、該原版を透明基板から剥離せしめる工程とからなる導光板の作製方法において、透明基板に対し原版を精度良く傾斜配置するようにし複数個面付けした複製版を作製する導光板の作製方法及びその導光板を提供することにある。   The present invention solves the problems of the prior art, and the problem is that a step of providing a photo-curing resin on the surface of a planar transparent substrate and a planar master having a fine concavo-convex pattern are provided. A step of closely adhering the transparent substrate and the original plate, and a step of curing the photocurable resin by irradiating the transparent substrate with light from the opposite side of the original plate; A method for producing a light guide plate comprising a step of peeling an original from a transparent substrate, and a method for producing a light guide plate for producing a plurality of duplicated plates so that the original is inclined with respect to the transparent substrate with high accuracy, and the light guide plate. Is to provide.

本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項1の発明では、平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、微細な凹凸パターンを有する平面状の原版を前記光硬化樹脂に密着させ、前記透明基板と原版を近接配置する工程と、前記透明基板に原版と反対側から、光線を照射し前記光硬化樹脂を硬化させる光硬化樹脂の硬化工程と、前記原版を透明基板から剥離せしめる工程とからなる導光板の作製方法において、前記透明基板と原版を近接配置する工程において透明基板に対し原版を傾斜配置するようにしたことを特徴とする微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   In order to achieve the above object in the present invention, first, in the invention of claim 1, a step of providing a photocurable resin on the surface of a planar transparent substrate, and a planar original having a fine concavo-convex pattern are photocured. A step of placing the transparent substrate and the original plate in close contact with each other; a step of curing the photocurable resin by irradiating the transparent substrate with a light beam from the side opposite to the original plate; and the transparent of the original plate In a method of manufacturing a light guide plate comprising a step of peeling from a substrate, a guide having a fine concavo-convex pattern, characterized in that the original is inclined with respect to the transparent substrate in the step of arranging the transparent substrate and the original in proximity. This is a method for manufacturing an optical plate.

また、請求項2の発明では、上記原版を傾斜配置する際の、導光板の光入射光軸方向に対する傾斜角度が1度以下であることを特徴とする請求項1に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   According to a second aspect of the present invention, the fine uneven pattern according to the first aspect is characterized in that the inclination angle of the light guide plate with respect to the light incident optical axis direction when the original is inclined is not more than 1 degree. This is a method for producing a light guide plate.

また、請求項3の発明では、上記微細な凹凸パターンを有する平面状の原版において、光硬化樹脂を硬化する範囲とほぼ等しい範囲が凸形状であることを特徴とする請求項1乃至2に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   According to a third aspect of the present invention, in the planar master having the fine concavo-convex pattern, a range substantially equal to a range in which the photo-curing resin is cured is a convex shape. This is a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern.

また、請求項4の発明では、上記光線を照射する際にビーム状の光線を走査して移動させ前記光硬化樹脂を順次硬化させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   According to a fourth aspect of the present invention, when the light beam is irradiated, the beam-shaped light beam is scanned and moved to sequentially cure the photocurable resin. This is a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern.

また、請求項5の発明では、上記微細な凹凸パターンが、回折格子パターンであることを特徴とする請求項1乃至4に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   The invention according to claim 5 is the method for producing a light guide plate comprising the fine uneven pattern according to any one of claims 1 to 4, wherein the fine uneven pattern is a diffraction grating pattern. .

また、請求項6の発明では、上記回折格子パターンが、ブレーズド回折格子形状であることを特徴とする請求項5に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたものである。   In the invention of claim 6, the diffraction grating pattern is a blazed diffraction grating shape, and the method for producing a light guide plate having a fine concavo-convex pattern according to claim 5 is provided.

さらにまた、請求項7の発明では、上記請求項1乃至6のいずれかに記載の導光板の作製方法により得られる微細な凹凸パターンからなる導光板のその微細な凹凸パターンに、導電化処理を施した後、電鋳メッキもしくは化学メッキを行うことにより得られる複製版を用いて作製されたことを特徴とする微細な凹凸パターンからなる導光板としたものである。   Furthermore, in the invention of claim 7, a conductive treatment is applied to the fine concavo-convex pattern of the light guide plate made of the fine concavo-convex pattern obtained by the method for producing a light guide plate according to any one of claims 1 to 6. A light guide plate having a fine concavo-convex pattern produced using a replica plate obtained by performing electroforming plating or chemical plating after application.

本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果を奏する。   Since this invention is the above structure, there exist the following effects.

即ち、上記請求項1に係る発明によれば、透明基板と原版を近接配置する工程において透明基板に対し原版を傾斜配置するようにしたことによって、透明基板に対し原版を精度良く傾斜配置して複数個面付けした複製版を作製する微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法を提供することができる。   That is, according to the first aspect of the invention, since the original plate is inclined with respect to the transparent substrate in the step of arranging the transparent substrate and the original plate close to each other, the original plate is accurately inclined with respect to the transparent substrate. It is possible to provide a method for producing a light guide plate having a fine concavo-convex pattern for producing a plurality of imprinted replica plates.

また、上記請求項2に係る発明によれば、上記原版を傾斜配置する際の、導光板の光入射光軸方向に対する傾斜角度が1度以下であることを特徴とする請求項1に記載の導光板の作製方法としたことで、入射した光を効率良く導光できる微細な凹凸パターンからなる導光板を得ることができる。   Further, according to the invention according to claim 2, the inclination angle of the light guide plate with respect to the light incident optical axis direction when the original is inclined is 1 degree or less. With the light guide plate manufacturing method, it is possible to obtain a light guide plate having a fine concavo-convex pattern capable of efficiently guiding incident light.

また、上記請求項3に係る発明によれば、上記微細な凹凸パターンを有する平面状の原版において、光硬化樹脂を硬化する範囲とほぼ等しい範囲が凸形状であることを特徴とする請求項1乃至2に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたことで、基板と原版を傾斜させ近接配置しても、隣接した硬化部分に原版が干渉しないため、透明基板に対し原版を精度良く傾斜配置して複数個面付けした複製版を得ることができる。   According to the invention of claim 3, the planar master having the fine concavo-convex pattern has a convex shape in a range substantially equal to the range in which the photocurable resin is cured. Since the method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern described in 1 to 2 above, even if the substrate and the original plate are inclined and arranged close to each other, the original plate does not interfere with the adjacent cured portion. It is possible to obtain a duplicate plate with a plurality of impositions arranged with high accuracy.

また、上記請求項4に係る発明によれば、上記光線を照射する際にビーム状の光線を走査して移動させ該光硬化樹脂を順次硬化させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたことで、ビーム状の硬化部分に硬化収縮した分量の未硬化樹脂が、未硬化部分から供給され、硬化収縮による歪みが抑えられ、より高精度な導光板を得ることができる。   Further, according to the invention of claim 4, when the light beam is irradiated, the beam-like light beam is scanned and moved to sequentially cure the photo-curing resin. 3 is a method for producing a light guide plate having a fine concavo-convex pattern, whereby an amount of uncured resin cured and shrunk to a beam-shaped cured part is supplied from the uncured part, and distortion due to curing shrinkage is suppressed. A light guide plate with higher accuracy can be obtained.

また、上記請求項5に係る発明によれば、上記微細な凹凸パターンが、回折格子パターンであることを特徴とする請求項1乃至4に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたことで、入射した光を効率良く導光できる導光板を得ることができる。   According to the invention of claim 5, the fine uneven pattern is a diffraction grating pattern, and the method for producing a light guide plate comprising the fine uneven pattern according to claim 1, As a result, a light guide plate capable of efficiently guiding incident light can be obtained.

また、上記請求項6に係る発明によれば、上記回折格子パターンが、ブレーズド回折格子形状であることを特徴とする請求項5に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法としたことで、より高効率で導光できる導光板を得ることができる。   According to the invention of claim 6, the method for producing a light guide plate having a fine concavo-convex pattern according to claim 5, wherein the diffraction grating pattern has a blazed diffraction grating shape. Thus, a light guide plate capable of guiding light with higher efficiency can be obtained.

さらにまた、上記請求項7の発明では、上記請求項1乃至6のいずれかに記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法により得られた光硬化樹脂の導光板に、導電化処理を施し、さらに電鋳メッキ、もしくは化学メッキを行うことにより得られた複製版を用いて作製された導光板としたことで、原版の凹凸パターンを複数個面付けし精度良く傾斜配置した複製版を得ることができる。   Furthermore, in the invention of the seventh aspect, the light-curing resin light guide plate obtained by the method for producing a light guide plate having the fine uneven pattern according to any one of the first to sixth aspects is subjected to a conductive treatment. And a light guide plate produced using a duplicated plate obtained by electroforming plating or chemical plating. Obtainable.

以下、本発明を実施するための最良の一実施例としての実施形態について図面を用いて詳細に説明する。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment as the best example for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図2は、微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態においての構成要素を示す斜視図である。   FIG. 2 is a perspective view showing components in an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern.

図2において、ガラス基板21の面に対して上下方向に移動する昇降ヘッド24が配置してある。昇降ヘッド24のガラス基板21に対向する面には、表面に回折格子である微細な凹凸パターンのあるNi原版23が貼り付けてある。   In FIG. 2, an elevating head 24 that moves in the vertical direction with respect to the surface of the glass substrate 21 is disposed. On the surface of the elevating head 24 facing the glass substrate 21, a Ni original plate 23 having a fine concavo-convex pattern as a diffraction grating is attached to the surface.

ガラス基板21の成形面は、ガラス表面を薬液により溶解し表面を細かく荒らした状態にするノングレア処理を行い、さらにシランカップリング処理を行うことで、硬化した樹脂とガラスの密着を強めるようにしてある。   The molding surface of the glass substrate 21 is subjected to non-glare treatment that dissolves the glass surface with a chemical solution to make the surface finely roughened, and further silane coupling treatment is performed to strengthen the adhesion between the cured resin and the glass. is there.

次に、ガラス基板21の表面に紫外線硬化樹脂22を塗布(滴下)し、Ni原版23を貼り付けた昇降ステージ24を徐々に降下し、ガラス基板21と近接配置し、また、Ni原版23とガラス基板21は、所望の角度で傾斜して配置している。   Next, the ultraviolet curable resin 22 is applied (dropped) on the surface of the glass substrate 21, and the elevating stage 24 to which the Ni original plate 23 is attached is gradually lowered to be placed close to the glass substrate 21. The glass substrate 21 is inclined and arranged at a desired angle.

次に、発振する光の波長が325nmの紫外線である(He−Cdレーザー)紫外線レーザー25から発振したレーザー光をミラー26にて反射し、シャッター27を経て、Xスキャナー28のミラーに入射する。   Next, the laser light oscillated from the ultraviolet laser 25 whose wavelength of the oscillating light is ultraviolet light having a wavelength of 325 nm (He—Cd laser) is reflected by the mirror 26 and incident on the mirror of the X scanner 28 through the shutter 27.

さらに、Xスキャナー28により走査されたレーザー光を、Yスキャナー29のミラーに入射し、Xスキャナー28の走査方向と直交する方向に走査する。   Further, the laser beam scanned by the X scanner 28 enters the mirror of the Y scanner 29 and scans in a direction orthogonal to the scanning direction of the X scanner 28.

ところで、ガラス基板21の表面のノングレア処理による微細な凹凸は、表面に塗布した紫外線硬化樹脂22によって埋めらることにより、見かけ上は透明な基板となる。   By the way, the fine unevenness | corrugation by the non-glare process of the surface of the glass substrate 21 is filled with the ultraviolet curable resin 22 apply | coated to the surface, and it becomes a transparent substrate apparently.

ここで、図2においてはガラス基板21の表面に塗布した紫外線硬化樹脂22と、Ni原版23は離れたように図示しているが、実際にレーザー光を照射するときは、紫外線硬化樹脂22とNi原版23は密着して近接配置している。   Here, in FIG. 2, the ultraviolet curable resin 22 applied to the surface of the glass substrate 21 and the Ni original plate 23 are illustrated as being separated from each other, but when actually irradiating laser light, the ultraviolet curable resin 22 and The Ni original plate 23 is disposed in close contact with each other.

図3は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第1工程における構成要素を示す図である。   FIG. 3 is a diagram showing components in a first step which is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

昇降ステージ31はガラス基板34に対して垂直方向に移動するステージで、傾斜ステージ32により原版33をガラス基板34に対して傾斜角度θだけ傾斜して配置できる。   The elevating stage 31 is a stage that moves in a direction perpendicular to the glass substrate 34, and the original plate 33 can be inclined with respect to the glass substrate 34 by an inclination angle θ by an inclined stage 32.

ここで、ガラス基板34に紫外線硬化樹脂35が塗布してあり、傾斜角度θでけ傾斜しながら昇降ステージ31を降下させ、ガラス基板34に徐々に接近させ、紫外線硬化樹脂35と原版33を接触させる。   Here, the ultraviolet curable resin 35 is applied to the glass substrate 34, and the elevating stage 31 is lowered while being inclined at an inclination angle θ to gradually approach the glass substrate 34, and the ultraviolet curable resin 35 and the original 33 are brought into contact with each other. Let

図4は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第2工程における構成要素を示す図である。   FIG. 4 is a diagram showing components in a second step which is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

紫外線硬化樹脂35と原版33を接触させた状態で、ガラス基板34の原版と反対側より、紫外線レーザー41を照射しながら移動し、紫外線硬化樹脂35を硬化する。   While the ultraviolet curable resin 35 and the original plate 33 are in contact with each other, the glass substrate 34 is moved from the side opposite to the original plate while irradiating the ultraviolet laser 41 to cure the ultraviolet curable resin 35.

ここで、紫外線レーザー41を照射して紫外線硬化樹脂35を硬化する部分としては、原版33とほぼ等しい範囲を硬化するようにしている。   Here, as a portion for irradiating the ultraviolet laser 41 to cure the ultraviolet curable resin 35, a range substantially equal to the original plate 33 is cured.

図5は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第3工程における構成要素を示す図である。   FIG. 5 is a diagram showing components in a third step which is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

昇降ステージ31を徐々に上昇し、樹脂硬化部分51と原版33を剥離させることにより、ガラス基板34の表面に樹脂硬化部分51を形成することができる。   The resin cured portion 51 can be formed on the surface of the glass substrate 34 by gradually raising the elevating stage 31 and separating the resin cured portion 51 and the original plate 33.

この樹脂硬化部分51の表面には原版33の表面の微細な凹凸パターンが転写され、樹脂の硬化時に設定した傾斜角度θだけ傾斜して形成されている。   A fine uneven pattern on the surface of the original plate 33 is transferred to the surface of the cured resin portion 51 and is inclined at an inclination angle θ set when the resin is cured.

つぎに、ガラス基板34を移動し樹脂硬化部分51以外の場所に、紫外線硬化樹脂を塗布し第1の工程と同様に昇降ステージ31を降下させ、紫外線レーザーにより樹脂を硬化し、以下、第1の工程から第3の工程を繰り返すことで面付けを行う。   Next, the glass substrate 34 is moved, an ultraviolet curable resin is applied to a place other than the resin cured portion 51, and the elevating stage 31 is lowered in the same manner as in the first step, and the resin is cured by an ultraviolet laser. The imposition is performed by repeating the third process from the above process.

図6は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である面付け樹脂版の構成要素を示す図である。   FIG. 6 is a diagram showing components of an imposition resin plate which is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

以上、説明した工程を繰り返すことにより、ガラス基板34の表面に面付け樹脂61が形成され、各面付けは傾斜角度θだけ傾斜し、表面には回折格子である微細な凹凸パターンが形成されている。   By repeating the steps described above, the imposition resin 61 is formed on the surface of the glass substrate 34, each imposition is inclined by the inclination angle θ, and a fine uneven pattern which is a diffraction grating is formed on the surface. Yes.

つぎに、この面付け樹脂61の表面に導電膜を蒸着して導電化処理を施し、さらにその上にNi電鋳処理を行う。   Next, a conductive film is deposited on the surface of the imposition resin 61 and subjected to a conductive treatment, and a Ni electroforming process is further performed thereon.

図7は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態であるNi電鋳複製版の構成要素を示す図である。   FIG. 7 is a diagram showing components of a Ni electroformed replica that is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

図6においてNi電鋳処理により十分な厚さとした後、ガラス原版34を剥離することで、Ni電鋳複製版71を作製することができる。   In FIG. 6, the Ni electroforming replica plate 71 can be produced by peeling the glass original plate 34 after the Ni electroforming process has a sufficient thickness.

図8は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である複製方法の構成要素を示す図である。   FIG. 8 is a diagram showing components of a duplication method which is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

つぎに、樹脂基板81に紫外線硬化樹脂82を塗布し、作製したNi電鋳複製版71を密着し、樹脂基板81側から紫外線を照射して、紫外線硬化樹脂82を硬化させる。   Next, an ultraviolet curable resin 82 is applied to the resin substrate 81, the produced Ni electroformed replica plate 71 is brought into close contact, and ultraviolet rays are irradiated from the resin substrate 81 side to cure the ultraviolet curable resin 82.

ここで、樹脂基板81と紫外線硬化樹脂82は、硬化後に密着性の良い組合せのものを用いるようにしておく。   Here, the resin substrate 81 and the ultraviolet curable resin 82 are used in combination with good adhesion after curing.

つぎに、紫外線硬化樹脂82の硬化後、Ni電鋳複製版71から樹脂基板81を剥離することで面付け導光板を作製することができる。   Next, after the ultraviolet curable resin 82 is cured, the imposition light guide plate can be produced by peeling the resin substrate 81 from the Ni electroformed replica plate 71.

図9は、本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である樹脂基板の切断方法の構成要素を示す図である。   FIG. 9 is a diagram showing components of a resin substrate cutting method that is an embodiment of a method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to the present invention.

図8で作製した面付け導光板を、炭酸ガスレーザー等の加工レーザー91を移動しながら照射することにより、樹脂基板81と紫外線硬化樹脂82を切断する。   The resin substrate 81 and the ultraviolet curable resin 82 are cut by irradiating the imposition light guide plate produced in FIG. 8 while moving a processing laser 91 such as a carbon dioxide laser.

ここで、原版と等しい大きさで切断することで、原版の回折格子である微細な凹凸パターンが複製され、所望の傾斜角度だけ傾斜した導光板が作製できる。   Here, by cutting with a size equal to that of the original, the fine uneven pattern, which is the diffraction grating of the original, is replicated, and a light guide plate inclined by a desired inclination angle can be produced.

以上、説明した方法により透明基板に対し原版を精度良く傾斜配置して複数個面付けした複製版を作製することができ、さらにその複製版から、所望の傾斜角度だけ傾斜した導光板を作製する方法を提供することができる。   As described above, it is possible to produce a duplicate plate in which the original plate is accurately inclined and arranged on the transparent substrate by the method described above, and further, a light guide plate inclined by a desired inclination angle is produced from the duplicate plate. A method can be provided.

回折格子を用いた導光板の従来の構成例を示す。The conventional structural example of the light-guide plate using a diffraction grating is shown. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態においての構成要素を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the component in one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第1工程における構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component in the 1st process which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第2工程における構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component in the 2nd process which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である第3工程における構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component in the 3rd process which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である面付け樹脂版の構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component of the imposition resin plate which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態であるNi電鋳複製版の構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component of the Ni electroforming replication plate which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である複製方法の構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component of the replication method which is one Embodiment of the preparation methods of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention. 本発明による微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法の一実施形態である樹脂基板の切断方法の構成要素を示す図である。It is a figure which shows the component of the cutting method of the resin substrate which is one Embodiment of the manufacturing method of the light-guide plate which consists of a fine uneven | corrugated pattern by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11・・・導光板
12・・・発光ダイオード
13・・・回折格子
14・・・射出光
21、34・・・ガラス基板
22、35・・・紫外線硬化樹脂
23・・・Ni原版
24、31・・・昇降ステージ
25・・・紫外線レーザー
26・・・ミラー
27・・・シャッター
28・・・Xスキャナー
29・・・Yスキャナー
32・・・傾斜ステージ
33・・・原版
41・・・紫外線レーザー
51・・・樹脂硬化部分
61・・・面付け樹脂
71・・・Ni電鋳複製版
θ・・・傾斜角度
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Light guide plate 12 ... Light emitting diode 13 ... Diffraction grating 14 ... Emission light 21, 34 ... Glass substrate 22, 35 ... UV curable resin 23 ... Ni original plate 24, 31 ... Elevating stage 25 ... UV laser 26 ... Mirror 27 ... Shutter 28 ... X scanner 29 ... Y scanner 32 ... Tilt stage 33 ... Original 41 ... UV laser 51... Resin cured portion 61... Imposition resin 71... Ni electroformed replica plate.

Claims (7)

平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を設ける工程と、微細な凹凸パターンを有する平面状の原版を前記光硬化樹脂に密着させ、前記透明基板と原版を近接配置する工程と、前記透明基板に原版と反対側から、光線を照射し前記光硬化樹脂を硬化させる光硬化樹脂の硬化工程と、前記原版を透明基板から剥離せしめる工程とからなる導光板の作製方法において、前記透明基板と原版を近接配置する工程において透明基板に対し原版を傾斜配置するようにしたことを特徴とする微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   A step of providing a photocuring resin on the surface of the flat transparent substrate, a step of closely adhering the flat original plate having a fine uneven pattern to the photocuring resin, and arranging the transparent substrate and the original plate close to each other; and In a method for producing a light guide plate comprising a photocuring resin curing step of irradiating light from the opposite side of the original plate to cure the photocurable resin, and a step of peeling the original plate from the transparent substrate, the transparent substrate and the original plate A method for producing a light guide plate comprising a fine concavo-convex pattern, wherein the original is inclined with respect to the transparent substrate in the step of arranging closely. 上記原版を傾斜配置する際の、導光板の光入射光軸方向に対する傾斜角度が1度以下であることを特徴とする請求項1に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   The method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to claim 1, wherein an inclination angle of the light guide plate with respect to the light incident optical axis direction when the original plate is inclined is 1 degree or less. 上記微細な凹凸パターンを有する平面状の原版において、光硬化樹脂を硬化する範囲とほぼ等しい範囲が凸形状であることを特徴とする請求項1乃至2に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   3. A light guide plate comprising a fine concavo-convex pattern according to claim 1 or 2, wherein in the planar master having the fine concavo-convex pattern, a range substantially equal to a range in which the photo-curing resin is cured is a convex shape. Manufacturing method. 上記光線を照射する際にビーム状の光線を走査して移動させ前記光硬化樹脂を順次硬化させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   4. The light guide plate having a fine uneven pattern according to claim 1, wherein when the light beam is irradiated, the light beam is scanned and moved to sequentially cure the photo-curing resin. 5. Manufacturing method. 上記微細な凹凸パターンが、回折格子パターンであることを特徴とする請求項1乃至4に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   5. The method for producing a light guide plate comprising a fine uneven pattern according to claim 1, wherein the fine uneven pattern is a diffraction grating pattern. 上記回折格子パターンが、ブレーズド回折格子形状であることを特徴とする請求項5に記載の微細な凹凸パターンからなる導光板の作製方法。   6. The method for producing a light guide plate having a fine uneven pattern according to claim 5, wherein the diffraction grating pattern has a blazed diffraction grating shape. 上記請求項1乃至6のいずれかに記載の導光板の作製方法により得られる微細な凹凸パターンからなる導光板のその微細な凹凸パターンに、導電化処理を施した後、電鋳メッキもしくは化学メッキを行うことにより得られる複製版を用いて作製されたことを特徴とする微細な凹凸パターンからなる導光板。   After conducting a conductive treatment on the fine concavo-convex pattern of the light guide plate comprising the fine concavo-convex pattern obtained by the method for producing a light guide plate according to any one of claims 1 to 6, electroforming plating or chemical plating A light guide plate comprising a fine concavo-convex pattern, which is produced by using a duplicate plate obtained by performing the step.
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