JP2006140557A

JP2006140557A - Ultrasonic probe

Info

Publication number: JP2006140557A
Application number: JP2004326038A
Authority: JP
Inventors: Shizuo Yamamoto; 静男山本
Original assignee: Minowa KOA Inc
Current assignee: Minowa KOA Inc
Priority date: 2004-11-10
Filing date: 2004-11-10
Publication date: 2006-06-01

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic probe the manufacturing/assembling of which is facilitated. <P>SOLUTION: In the ultrasonic probe including a plurality of plate-like ultrasonic vibrators 6 arranged in a matrix form wherein each of the plate-shape ultrasonic vibrators 6 is electrically connected and fixed to each of plate-like or foil-shaped terminals 3 in their thickness direction in a lamination state, and a plurality of the ultrasonic vibrators 6 are laminated on and fixed to a smoothing face of a bucking block member 1, paths 11 for electric signals inputted to/outputted from the respective terminals 3 are formed or arranged along the face of an insulation sheet 10. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば超音波を用いて映像化を行なう医療用等の超音波映像装置に用いられる、超音波プローブに関する。 The present invention relates to an ultrasonic probe used in, for example, a medical ultrasonic imaging apparatus that performs imaging using ultrasonic waves.

マトリクス状に配置された板状の超音波振動子を有する超音波プローブについては、特開２００３−１４９２１３号公報にその開示がある。板状の超音波振動子は、発生する超音波の周波数を高くすることが可能であり、十分な高解像度化が達成できる利点がある。
特開平２００３−１４９２１３号公報 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2003-149213 discloses an ultrasonic probe having plate-like ultrasonic transducers arranged in a matrix. The plate-shaped ultrasonic transducer can increase the frequency of generated ultrasonic waves, and has an advantage that a sufficiently high resolution can be achieved.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-149213

このような超音波プローブは、一般に構造が複雑である。そのため超音波プローブを製造・組み立てることは、通常容易ではない。そこで本発明が解決しようとする課題は、製造・組立て容易な超音波プローブを提供することである。 Such an ultrasonic probe generally has a complicated structure. Therefore, it is usually not easy to manufacture and assemble an ultrasonic probe. Accordingly, an object of the present invention is to provide an ultrasonic probe that is easy to manufacture and assemble.

上記課題を解決するため、本発明の超音波プローブは、マトリクス状に配置された複数の板状の超音波振動子６を有し、当該超音波振動子６各々が板状又は箔状の端子３の厚み方向に積層状態で電気接続且つ固定され、更に当該複数の超音波振動子６がバッキングブロック材１平滑面へ積層固定される超音波プローブであって、前記端子３が絶縁性シート１０に固定され、各々の端子３から入出力される電気信号経路１１が、当該絶縁性シート１０面に沿って形成若しくは配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the ultrasonic probe of the present invention has a plurality of plate-like ultrasonic transducers 6 arranged in a matrix, and each of the ultrasonic transducers 6 has a plate-like or foil-like terminal. 3 is an ultrasonic probe that is electrically connected and fixed in a laminated state in the thickness direction 3, and further, the plurality of ultrasonic transducers 6 are laminated and fixed to a smooth surface of the backing block material 1, and the terminal 3 is an insulating sheet 10. The electric signal path 11 that is fixed to the terminal 3 and that is input and output from each terminal 3 is formed or arranged along the surface of the insulating sheet 10.

上記「端子３」は、振動子６の特性情報を超音波プローブ制御機器に出力し、また当該機器から振動子６に超音波発生のための電圧を印加（入力）する部材である。また上記「バッキングブロック材１」は、振動子６に伝播された振動の反射を抑えるダンパーとしての機能を有する。かかる役割を全うするに適したバッキングブロック材１の材質としては、硬質ゴムやエポキシ樹脂を挙げることができる。また上記「絶縁性シート１０」には、ガラス繊維混入エポキシ樹脂板やポリイミド系樹脂膜等が好適である。 The “terminal 3” is a member that outputs the characteristic information of the vibrator 6 to the ultrasonic probe control device and applies (inputs) a voltage for generating ultrasonic waves to the vibrator 6 from the device. Further, the “backing block material 1” has a function as a damper that suppresses reflection of vibration propagated to the vibrator 6. Examples of the material of the backing block material 1 suitable for fulfilling such a role include hard rubber and epoxy resin. The “insulating sheet 10” is preferably a glass fiber mixed epoxy resin plate, a polyimide resin film, or the like.

上記本発明の超音波プローブは、超音波振動子６及び端子３共に板状等であり、製造工程は、それらを厚み方向に、且つバッキングブロック材１平滑面上に一方向に積層する作業となる。当該板状部材等をその厚み方向且つ一方向に積層する作業は、他の形態の作業、例えば棒状部材を穴に挿入する作業や、部材を配置・配列する方向が異なる作業や、柱状部材を長さ方向に積層する作業等に比べて非常に容易である。また、例えばバッキングブロック材１に端子３を挿入するための貫通孔を形成するための高度な加工技術を要しないこと等も、超音波プローブの製造を容易にしている。 In the ultrasonic probe of the present invention, both the ultrasonic transducer 6 and the terminal 3 are plate-like, and the manufacturing process includes stacking them in the thickness direction and in one direction on the smooth surface of the backing block material 1. Become. The work of laminating the plate-like member etc. in the thickness direction and in one direction includes other forms of work, for example, work of inserting a bar-like member into a hole, work of different arrangement and arrangement directions of members, and columnar members. It is very easy compared to the work of laminating in the length direction. In addition, for example, it is easy to manufacture an ultrasonic probe because it does not require an advanced processing technique for forming a through hole for inserting the terminal 3 in the backing block material 1.

また上記「各々の端子３から入出力される電気信号の経路が、当該絶縁性シート１０面に沿って形成若しくは配置されていること」により、超音波プローブの端子３から、超音波プローブが接続される機器までの電気信号経路１１を形成する作業（超音波プローブの製造過程の一部）を容易化する。その第１の理由は、端子３形成と同時に前記電気信号経路１１の形成が可能な場合があるからである。また第２の理由は、通常、面に沿って形成若しくは配置させる手段には、スクリーン印刷やスパッタリング等の膜形成技術やエッチング、電気線の配置等の簡易な技術等を採用することができるためである。 In addition, the ultrasonic probe is connected from the terminal 3 of the ultrasonic probe by “the path of the electric signal input / output from each terminal 3 is formed or arranged along the surface of the insulating sheet 10”. The work (part of the manufacturing process of the ultrasonic probe) for forming the electrical signal path 11 to the device to be performed is facilitated. The first reason is that the electrical signal path 11 may be formed simultaneously with the formation of the terminal 3. The second reason is that film forming techniques such as screen printing and sputtering, and simple techniques such as etching and electric wire arrangement can be usually adopted as means for forming or arranging along the surface. It is.

以上より、本発明は製造・組立て容易な超音波プローブを提供するものであり、本発明が解決しようとする課題を解決していることがわかる。 From the above, it can be seen that the present invention provides an ultrasonic probe that is easy to manufacture and assemble, and solves the problems to be solved by the present invention.

上記面に沿って形成若しくは配置させる手段が、膜形成技術やエッチング技術であることが好ましい。その理由は、多数且つマトリクス状に密集して配置された端子３から個別に超音波プローブが接続される機器までの電気信号経路１１を確保するには、緻密なパターン形成可能な技術が、課題解決の観点から好適だからである。またそのような緻密なパターン形成を簡易にできる技術が好適だからである。膜形成技術やエッチング技術は、これらの好適な利点を有している。膜形成技術は、例えばスクリーン印刷やスパッタリング等の技術である。また前記エッチング技術は、例えば印刷回路板製造技術等であり、いわゆるサブストラクト法、アディティブ法による技術等が含まれる。 The means for forming or arranging along the surface is preferably a film forming technique or an etching technique. The reason is that, in order to secure the electric signal path 11 from the terminals 3 arranged in a large number and densely in a matrix to the device to which the ultrasonic probe is individually connected, a technique capable of forming a dense pattern is a problem. It is preferable from the viewpoint of solution. Moreover, it is because the technique which can simplify such precise | minute pattern formation is suitable. The film formation technique and the etching technique have these preferable advantages. The film forming technique is, for example, a technique such as screen printing or sputtering. The etching technique is, for example, a printed circuit board manufacturing technique or the like, and includes a technique based on a so-called subtract method or additive method.

上記本発明の超音波プローブ及びそれを基本とした好ましい構成の超音波プローブにおいて、絶縁性シート１０の一方の面に端子３が形成され、他方の面に電気信号経路１１が形成されることが好ましい。絶縁性シート１０の同一面が端子３及び電気信号経路１１で、その面積が占められることによる、電気信号経路１１の配線パターンが受ける制限（配置位置、太さ等）を軽減・除去して、設計の自由度を確保するためである。 In the ultrasonic probe according to the present invention and the ultrasonic probe having a preferable configuration based on the ultrasonic probe, the terminal 3 is formed on one surface of the insulating sheet 10 and the electric signal path 11 is formed on the other surface. preferable. The same surface of the insulating sheet 10 is the terminal 3 and the electric signal path 11, and the area (occupation area, thickness, etc.) received by the wiring pattern of the electric signal path 11 due to the occupied area is reduced and removed, This is to ensure the freedom of design.

図１（ｄ）は、本発明の超音波プローブにおけるバッキングブロック材１、超音波振動子６、端子３、絶縁性シート１０及び電気信号経路１１の配置状態の一例を示す縦断面図である。同図における絶縁性シート１０の一方の面には端子３が形成されており、絶縁性シート１０の穴（ヴァイアホール）を経由して他方の面の電気信号経路１１へと電気接続されている。このような電気接続を実現するためには、例えばいわゆる両面配線基板製造技術、ビルドアップ基板製造技術、多層配線板製造技術等を適用する。ここで絶縁性シート１０の一方の面から他方の面への電気接続手段は、前記ヴァイアホール形成に限られず、絶縁性シート１０の端面に導体形成する手段等を採用できることは言うまでもない。 FIG. 1D is a longitudinal sectional view showing an example of an arrangement state of the backing block material 1, the ultrasonic transducer 6, the terminal 3, the insulating sheet 10, and the electric signal path 11 in the ultrasonic probe of the present invention. A terminal 3 is formed on one surface of the insulating sheet 10 in the figure, and is electrically connected to an electric signal path 11 on the other surface via a hole (via hole) of the insulating sheet 10. . In order to realize such electrical connection, for example, so-called double-sided wiring board manufacturing technology, build-up board manufacturing technology, multilayer wiring board manufacturing technology, and the like are applied. Here, it is needless to say that the means for electrical connection from one surface of the insulating sheet 10 to the other surface is not limited to the formation of the via hole, and means for forming a conductor on the end surface of the insulating sheet 10 can be adopted.

上記図１（ｄ）に示すような、絶縁性シート１０の一方の面に端子３が形成され、他方の面に電気信号経路１１が形成される構成を採用せず、絶縁性シート１０の一方の面に端子３及び電気信号経路１１等が形成される構成を採用することも出来る。この構成の有利な点は、上記ヴァイアホール等の形成工程を省略できる点である。但し、絶縁性シート１０の一方の面に端子３及び電気信号経路１１が形成されることで、絶縁性シート１０の一方の面を端子３分の面積が占めるため、電気信号経路１１に更なる緻密なパターン形成が要求されると考えられること、また端子３上に超音波振動子６との電気接続のために配置される導電性物質が、かかる緻密なパターン上に存在して短絡を引き起こすおそれがあること等の不利な点もある。前記短絡を引き起こすのを抑制するためには、例えば端子３の厚みを電気信号経路１１高さよりも大きくする。 As shown in FIG. 1D, the structure in which the terminal 3 is formed on one surface of the insulating sheet 10 and the electric signal path 11 is formed on the other surface is not adopted. It is also possible to adopt a configuration in which the terminal 3 and the electric signal path 11 are formed on the surface. An advantage of this configuration is that the formation process of the via hole or the like can be omitted. However, since the terminal 3 and the electric signal path 11 are formed on one surface of the insulating sheet 10, the area of one terminal 3 of the insulating sheet 10 occupies the area of the terminal 3. It is considered that precise pattern formation is required, and the conductive material disposed on the terminal 3 for electrical connection with the ultrasonic transducer 6 exists on the precise pattern and causes a short circuit. There are also disadvantages such as fear. In order to suppress the occurrence of the short circuit, for example, the thickness of the terminal 3 is made larger than the height of the electric signal path 11.

上記本発明の超音波プローブ及びそれを基本とした好ましい構成の超音波プローブにおいて、複数の超音波振動子６と端子３との電気接続且つ固定が一括してなされており、当該電気接続且つ固定が導電性粒子と絶縁性接着剤との混合物からなる異方性導電物質５により実現されていることが好ましい。製造工程の一括化による、製造の容易化を更に図ることができるためである。 In the ultrasonic probe of the present invention and the ultrasonic probe having a preferable configuration based on the ultrasonic probe, the plurality of ultrasonic transducers 6 and the terminals 3 are collectively connected and fixed, and the electric connection and fixing are performed. Is preferably realized by an anisotropic conductive material 5 made of a mixture of conductive particles and an insulating adhesive. This is because manufacturing can be further facilitated by integrating manufacturing processes.

上記導電性粒子は、端子３と板状の超音波振動子６との間を電気接続するが、マトリクス状に隣接する超音波振動子６間、及び／又は端子３間を電気接続しない。即ち、各素子間を接続しない。この理由は、端子３と板状の超音波振動子６との距離が、通常前記導電性粒子径以下程度の極めて短距離であるのに対し、マトリクス状に隣接する超音波振動子６間、及び／又は端子３間の距離は、導電性粒子と絶縁性接着剤との混合物からなる異方性導電物質５では導通できない程度の長距離だからである。 The conductive particles electrically connect the terminals 3 and the plate-like ultrasonic transducers 6, but do not electrically connect the ultrasonic transducers 6 adjacent to each other in a matrix and / or the terminals 3. That is, the elements are not connected. This is because the distance between the terminal 3 and the plate-like ultrasonic transducer 6 is usually an extremely short distance of about the conductive particle diameter or less, but between the ultrasonic transducers 6 adjacent in a matrix shape, This is because the distance between the terminals 3 and / or the terminals 3 is long enough to prevent conduction with the anisotropic conductive material 5 made of a mixture of conductive particles and insulating adhesive.

上記異方性導電物質５は、例えばエポキシ系の絶縁性接着剤に導電性粒子としてのＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系合金を５乃至５０重量％混入したもの等である。他の導電性粒子としては、Ｎｉ単体、銅等の導電材料を表面にメッキしたポリマー等が挙げられる。また粒子形状はボール状やフレーク状とすることができる。また粒子径は略一定であることが好ましい。その理由は、マトリクス状に振動子６及び端子３の一端が配置されている場合には、例えば一部の振動子６と端子３の一端の間に過剰に大きな粒径の導電性粒子が存在すると、隣接する他の振動子６と端子３の一端の間に小さな粒径の導電性粒子が存在しても、そこでは両者間の電気接続が確保できない場合があると考えられるためである。また導電性粒子の混入比は、端子３の面積が大きければ小さくて足り、当該面積が小さければ大きくすることが好ましい。その理由は、当該面積が小さければ、全ての端子に前記導電性粒子が接触する確率を大きくすることで確実に端子３と振動子６との電気接続を実現するためである。 The anisotropic conductive material 5 is, for example, an epoxy insulating adhesive mixed with 5 to 50% by weight of Sn—Ag—Cu based alloy as conductive particles. Examples of the other conductive particles include Ni alone, a polymer having a surface plated with a conductive material such as copper, and the like. The particle shape can be a ball or flake. Moreover, it is preferable that a particle diameter is substantially constant. The reason is that when the vibrator 6 and one end of the terminal 3 are arranged in a matrix, for example, conductive particles having an excessively large particle diameter exist between some vibrators 6 and one end of the terminal 3. Then, even if conductive particles having a small particle diameter exist between another adjacent vibrator 6 and one end of the terminal 3, it is considered that there may be a case where electrical connection between them cannot be secured. The mixing ratio of the conductive particles may be small if the area of the terminal 3 is large, and is preferably large if the area is small. The reason is that if the area is small, the probability that the conductive particles are in contact with all the terminals is increased, so that the electrical connection between the terminal 3 and the vibrator 6 is reliably realized.

上記本発明の超音波プローブ及びそれを基本とした好ましい構成の超音波プローブにおいて、複数の超音波振動子６と端子３との電気接続が個別になされており、当該電気接続が導電性接着剤により実現されていることとすることが好ましい。上記異方性導電物質５の使用が困難な程まで端子３面積が小さい場合等には非常に有利な構成だからである。当該導電性接着剤は、例えばスクリーン印刷法により配置することにより、作業効率を良好にすることができる。 In the ultrasonic probe of the present invention and the ultrasonic probe having a preferable configuration based on the ultrasonic probe, the plurality of ultrasonic transducers 6 and the terminals 3 are individually electrically connected, and the electrical connection is a conductive adhesive. It is preferable to be realized by. This is because the structure is very advantageous when the area of the terminal 3 is so small that it is difficult to use the anisotropic conductive material 5. The conductive adhesive can improve work efficiency by being arranged, for example, by a screen printing method.

図２は、絶縁性シート１０、端子３及び電気信号経路１１の配置状態の概要の一例を示す平面図である。（ａ）は、電気信号経路１１が配されている側の面、（ｂ）は、端子３が配置されている側の面である。（ａ）（ｂ）におけるＡとＡ’、ＢとＢ’、ＣとＣ’、ＤとＤ’の位置は一致している。外観上端子３と同一視し得る、絶縁性シート１０の幅方向両端にある端子は、ＧＮＤ４である。絶縁性シート１０の途中で電気信号経路１１が途絶え、中間端子群１２が形成されている。かかる中間端子１２は、図示しないコネクタ１４により絶縁性シート１０長さ方向端部の外部端子群１３へ電気接続される。 FIG. 2 is a plan view showing an example of the outline of the arrangement state of the insulating sheet 10, the terminals 3, and the electric signal paths 11. (A) is a surface on the side where the electric signal path 11 is arranged, and (b) is a surface on the side where the terminal 3 is arranged. (A) The positions of A and A ', B and B', C and C ', and D and D' are the same in (a) and (b). Terminals at both ends in the width direction of the insulating sheet 10 that can be identified with the terminals 3 in appearance are GND4. The electric signal path 11 is interrupted in the middle of the insulating sheet 10, and an intermediate terminal group 12 is formed. The intermediate terminal 12 is electrically connected to the external terminal group 13 at the lengthwise end of the insulating sheet 10 by a connector 14 (not shown).

上記本発明の超音波プローブ及びそれを基本とした好ましい構成の超音波プローブにおいて、図２に示すように、絶縁性シート１０面に形成されたマトリクス状の端子３存在領域から、２以上の方向に電気信号経路１１存在領域が伸びていることが好ましい。端子３が多数存在する場合等に、個々の端子３から独立して導出される電気信号経路１１存在領域を大きく確保して、配線の緻密化の軽減を図ることができる利点があるためである。図２では、マトリクス状の端子３存在領域から、１８０°の２方向に電気信号経路１１存在領域が伸びている構成を示している。しかし電気信号経路１１存在領域が伸びる方向は３以上あっても良いことは言うまでもなく、またそれら相互の角度は任意である。 In the ultrasonic probe of the present invention and the ultrasonic probe having a preferable configuration based on the ultrasonic probe of the present invention, as shown in FIG. 2, two or more directions from the region where the matrix-like terminals 3 are formed on the surface of the insulating sheet 10 are provided. It is preferable that the region where the electric signal path 11 exists is extended. This is because, in the case where there are a large number of terminals 3 and the like, there is an advantage that it is possible to secure a large area where the electric signal path 11 is derived independently from each terminal 3 and to reduce the densification of the wiring. . FIG. 2 shows a configuration in which the electric signal path 11 existence area extends in two directions of 180 ° from the matrix-like terminal 3 existence area. However, it goes without saying that there may be three or more directions in which the region where the electric signal path 11 exists extends, and the angle between them is arbitrary.

本発明により、製造・組立て容易な超音波プローブを提供することができた。 According to the present invention, an ultrasonic probe that is easy to manufacture and assemble can be provided.

図面を参照しながら、本発明の超音波プローブの実施形態の一例を説明する。
図１は、本発明の超音波プローブを製造する過程の一例を順を追って示す図である。まず、少なくとも底面が平滑な、硬質ゴムからなるバッキングブロック材１を用意する（図１（ａ））。そして当該バッキングブロック材１底面に、絶縁性シート１０を固定する。当該絶縁性シート１０は、厚みが５０乃至３００μｍであり、一方の面に銅箔の端子３がいわゆるサブストラクト法により形成され、他方の面に同様に銅箔の電気信号経路１１が形成されており、当該他方の面と前記バッキングブロック材１底面とが対向するようにし、図示しない絶縁性接着剤にて固定される（図１（ｂ））。前記端子３と前記電気信号経路１１との電気接続には、図１（ｂ）に示すように前記絶縁性シート１０に穴を設け、その穴の内壁面に無電解メッキ法により銅を被着させることで実現した。 An example of an embodiment of an ultrasonic probe of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a process of manufacturing the ultrasonic probe of the present invention in order. First, a backing block material 1 made of hard rubber having at least a smooth bottom surface is prepared (FIG. 1A). Then, the insulating sheet 10 is fixed to the bottom surface of the backing block material 1. The insulating sheet 10 has a thickness of 50 to 300 μm, a copper foil terminal 3 is formed on one surface by a so-called substructuring method, and a copper foil electrical signal path 11 is similarly formed on the other surface. The other surface and the bottom surface of the backing block material 1 are opposed to each other and fixed with an insulating adhesive (not shown) (FIG. 1B). For electrical connection between the terminal 3 and the electrical signal path 11, a hole is formed in the insulating sheet 10 as shown in FIG. 1B, and copper is deposited on the inner wall surface of the hole by an electroless plating method. It was realized by letting.

次に、エポキシ系の絶縁性接着剤に導電性粒子としてのＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系合金を５乃至５０重量％混入した異方性導電物質５を、マトリクス状に配列された端子３全てを一括に覆うように塗布する（図１（ｃ））。当該エポキシ系の絶縁性接着剤が硬化しない段階で板状の超音波振動子６を端子３に対向させ、当該接着剤の硬化により固定する（図１（ｄ））。かかる固定により、対向する板状超音波振動子６と端子３との電気接続が、前記異方性導電物質５により実現された。しかし、前記異方性導電物質５によっても、隣接する端子３同士の電気接続はされなかった。ここで、板状超音波振動子６を固定させる作業は、固定される側の形状が、板状超音波振動子６同様に平滑なバッキングブロック材１底面及び箔状の端子３であったため、これらの平滑面を合わせて１方向に積層する作業であり、組立てが極めて容易だった。 Next, the anisotropic conductive material 5 in which 5 to 50% by weight of Sn-Ag-Cu alloy as conductive particles is mixed in the epoxy-based insulating adhesive is collectively collected in the terminals 3 arranged in a matrix. (FIG. 1 (c)). At the stage where the epoxy insulating adhesive is not cured, the plate-like ultrasonic vibrator 6 is opposed to the terminal 3 and fixed by curing the adhesive (FIG. 1D). With this fixing, the electrical connection between the opposing plate-like ultrasonic transducer 6 and the terminal 3 is realized by the anisotropic conductive material 5. However, even with the anisotropic conductive material 5, the adjacent terminals 3 were not electrically connected. Here, the work of fixing the plate-like ultrasonic transducer 6 was because the shape of the side to be fixed was the bottom surface of the backing block material 1 and the foil-like terminal 3 as with the plate-like ultrasonic transducer 6. It was an operation of laminating these smooth surfaces in one direction and assembling was extremely easy.

上記板状超音波振動子６は、厚みが０．１ｍｍ〜０．３ｍｍのＰｂＺｒＴｉＯ_３（ＰＺＴ）からなるセラミック圧電体である。１枚の大型の板状超音波振動子６に格子状の切れ目８をダイシング等で形成し、マトリクス状に配置された端子３と個々の超音波振動子６（肉厚部）とが対向するようにした（図１（ｄ））。前記切れ目８は、マトリクス状に区画された各々の振動子６が、各々独立した素子の構成部材として機能させるためのものである。 The plate-like ultrasonic transducer 6 is a ceramic piezoelectric body made of PbZrTiO ₃ (PZT) having a thickness of 0.1 mm to 0.3 mm. A grid-like cut 8 is formed on one large plate-like ultrasonic transducer 6 by dicing or the like, and the terminals 3 arranged in a matrix and the individual ultrasonic transducers 6 (thick portions) face each other. (Fig. 1 (d)). The cuts 8 are for causing the vibrators 6 partitioned in a matrix to function as constituent elements of independent elements.

次に、音響整合層９を振動子６の切れ目８存在面とは反対側の面に固定する（図１（ｅ））。音響整合層９は、厚み２５μｍ〜２００μｍのポリイミドフィルムやセラミック粉末を含有するエポキシ樹脂を好適に使用することができる。本実施の形態では、ポリイミドフィルムをエポキシ系接着剤にて超音波振動子６に貼付する工程を経た。音響整合層９は、端子３の振動面と空気間の音響インピーダンスの差を軽減し、効率よく超音波を送受信するための役割を担う。以上の過程を経ることで本発明の超音波プローブの製造法が完了し、本発明の超音波プローブを得ることができる。外観の概要を図３に示す。 Next, the acoustic matching layer 9 is fixed to the surface of the vibrator 6 opposite to the surface on which the cut 8 is present (FIG. 1 (e)). As the acoustic matching layer 9, an epoxy resin containing a polyimide film or ceramic powder having a thickness of 25 μm to 200 μm can be preferably used. In the present embodiment, a process of attaching a polyimide film to the ultrasonic vibrator 6 with an epoxy adhesive is performed. The acoustic matching layer 9 plays a role to reduce the difference in acoustic impedance between the vibration surface of the terminal 3 and the air and efficiently transmit and receive ultrasonic waves. By passing through the above process, the manufacturing method of the ultrasonic probe of this invention is completed, and the ultrasonic probe of this invention can be obtained. An outline of the appearance is shown in FIG.

本発明は、例えば超音波を用いて映像化を行なう医療用等の超音波映像装置及びその関連産業における利用可能性がある。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in, for example, medical ultrasonic imaging apparatuses that perform imaging using ultrasonic waves and related industries.

本発明の超音波プローブを製造する過程の一例を（ａ）から（ｅ）へと順を追って示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows an example of the process which manufactures the ultrasonic probe of this invention later on from (a) to (e). 端子、絶縁性シート及び電気信号経路の配置状態の概要の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the outline | summary of the arrangement | positioning state of a terminal, an insulating sheet, and an electrical signal path | route. 本発明の超音波プローブの一例の外観の概要を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline | summary of the external appearance of an example of the ultrasonic probe of this invention.

Explanation of symbols

１．バッキングブロック材
３．端子
４．ＧＮＤ
５．異方性導電物質
６．超音波振動子
８．切れ目
９．音響整合層
１０．絶縁性シート
１１．電気信号経路
１２．中間端子群
１３．外部端子群
１４．コネクタ 1. 2. Backing block material Terminal 4. GND
5. 5. Anisotropic conductive material Ultrasonic vibrator 8. Break 9. Acoustic matching layer 10. 10. Insulating sheet Electrical signal path 12. Intermediate terminal group 13. External terminal group 14. connector

Claims

A plurality of plate-like ultrasonic transducers arranged in a matrix, each of the ultrasonic transducers being electrically connected and fixed in the thickness direction of the plate-like or foil-like terminals in a laminated state; An ultrasonic probe in which an ultrasonic transducer is laminated and fixed to a smooth surface of a backing block material,
An ultrasonic probe, wherein the terminal is fixed to an insulating sheet, and a path of an electric signal input / output from each terminal is formed or arranged along the surface of the insulating sheet.

2. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the means for forming or arranging along the insulating sheet surface is a film forming technique or an etching technique.

3. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein a terminal is formed on one surface of the insulating sheet and an electric signal path is formed on the other surface.

A plurality of ultrasonic transducers and terminals are electrically connected and fixed together, and the electrical connection and fixing are realized by an anisotropic conductive material made of a mixture of conductive particles and an insulating adhesive. The ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 3, wherein:

The ultrasonic wave according to any one of claims 1 to 3, wherein a plurality of ultrasonic transducers and terminals are individually electrically connected, and the electrical connections are realized by a conductive adhesive. probe.

6. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein an electric signal path existence area extends in two or more directions from the matrix-like terminal existence area.