JP2006140223A - 露光システム、偏光モニタマスク及び偏光モニタ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 それぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、互いに異なる方向に延伸する複数の格子パターンを照明光で投影する露光装置200と、複数の格子パターンのそれぞれの投影領域の光強度情報を取得する光強度情報取得機構309と、それぞれの投影領域の光強度情報を比較し、照明光の偏光方向を決定する偏光方向決定部311とを備える。
【選択図】 図1
Description
DOF = k2λ / NA2 …(2)
(1)式及び(2)式において、k1及びk2のそれぞれはプロセス係数、λは光の波長、NAは投影レンズの開口数を表わす。プロセス係数k1は二点間解像の場合は0.61であり、k2は0.5である。(1)式から明らかなように、短波長化及び高NA化を図ることにより解像限界Rを下げることができる。しかし、(2)式から明らかなように、短波長化及び高NA化は同時にDOFの低下をもたらす。したがって、浅いDOF条件下で歩留まりの低下を招くことなく、加工寸精度の向上を図るには、より高精度な偏光方向、露光量及びフォーカス位置の管理方法が必要となっている。
本発明の第1の実施の形態に係る露光システムは、それぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、互いに異なる方向に延伸する複数の格子パターンを照明光で投影する露光装置200、及び中央演算処理装置(CPU)300を備える。CPU300はさらに複数の格子パターンのそれぞれの投影領域の光強度情報を取得する光強度情報取得機構309、及びそれぞれの投影領域の光強度情報を比較し、照明光の偏光方向を決定する偏光方向決定部311を有する。
(3)式において、λは図2に示す光源3が照射する照明光の波長、Mは投影レンズ13の投影倍率、NAは投影レンズ13の開口数、σはコヒーレンスファクタを表す。スペース幅pSの大きさが(3)式を満たす場合、図5に示すように複数の遮光パターン100a, 100b, 100c…によって生じる1次回折光は露光装置200の投影レンズ13に入射することができない。0次回折光以外の他の高次回折光についても同様である。したがって偏光モニタマスク5を透過した照明光は、0次回折光のみが図2に示す投影レンズ13に入射し、ウェハステージ32上に配置されるウェハ31に到達する。一例として、照明光の波長λが193nm、投影レンズ13の投影倍率Mが1/4、開口数NAが0.75、コヒーレンスファクタσが0.52の場合、図4に示すスペース幅pSが677.2nmよりも小さければ、偏光モニタマスク5を透過した照明光の0次回折光のみが投影レンズ13に入射する。このようにスペース幅pSが(3)式の条件を満たす場合、照明光の高次回折光がウェハ31に到達しないため、ウェハ31表面の配置位置がフォーカス位置からずれても、ウェハ31上の任意の位置に到達する光の光強度Iは、それぞれの位置で略一定に保たれる。
図8に示す露光システムが図1に示した露光システムと異なるのは、現像装置201及び観察装置202を更に備えている点である。図8に示す現像装置201は、露光装置200に配置され、図3に示す格子パターン10a〜10hのそれぞれが投影された図2に示すウェハ31の表面に塗布されたレジストを現像するために用いられる。現像装置201には、現像液濃度、温度、及び現像時間等の現像条件を管理可能な装置が使用可能である。図8に示す観察装置202は、格子パターン10a〜10hのそれぞれの投影領域における現像後のレジスト残膜を測定するために用いられる。観察装置202には光学的膜厚測定装置等が使用可能である。
第2の変形例に係る図11に示す偏光モニタマスク55が図3に示す偏光モニタマスク5と異なるのは、複数の格子パターン10a〜10hのそれぞれに隣接して平行に延伸し、図2に示す露光装置200でそれぞれ結像可能な線幅を有する複数の参照パターン30a, 30b, 30c, 30d, 30e, 30f, 30g, 30hを更に有する点である。複数の参照パターン30a〜30hのそれぞれは、Cr等からなる遮光膜である。
図15に示す第3の変形例に係る偏光モニタマスク65が図11に示す偏光モニタマスク55と異なるのは、複数の格子パターン10a〜10hのそれぞれと平行に延伸する複数の基準パターン40a, 40b, 40c, 40d, 40e, 40f, 40g, 40hがマスク基板1上に配置されている点である。複数の基準パターン40a〜40hのそれぞれは、Cr等からなる遮光膜である。複数の基準パターン40a〜40hのそれぞれは、図2に示す露光装置200でそれぞれ結像可能な線幅を有する。
第4の変形例に係る図16に示す偏光モニタマスク105が図11に示す偏光モニタマスク55と異なるのは、複数の参照パターン30a〜30hのそれぞれが、両端を複数の格子パターン10a〜10h及び図2に示す露光装置200の光学系においてそれぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、マスク基板1上に設けられた複数の格子パターン20a, 20b, 20c, 20d, 20e, 20f, 20g, 20hで挟まれている点である。
第2の実施の形態に係る露光システムの図19に示す光強度情報取得機構319は、図1に示した光強度情報取得機構309と同様に第1乃至第8光強度情報I1〜I8のそれぞれを取り込む。さらに図19に示す光強度情報取得機構319は、図2に示す波長板ホルダ17に1/4波長板を配置し、照明光を右回転円偏光にした場合の格子パターン10aの投影領域の光強度Iを右偏光光強度情報IRとして取り込む。また光強度情報取得機構319は、照明光を左回転円偏光にした場合の格子パターン10aの投影領域の光強度Iを左偏光光強度情報ILとして取り込む。なお、図19に示す光強度情報取得機構319が右偏光光強度情報IR及び左偏光光強度情報ILを取り込むために選択する投影領域は、格子パターン10aの投影領域に限定されることはなく、格子パターン10a〜10hのいずれの投影領域でもよい。
s1 = I0° - I90° …(5)
s2 = I45° - I135° …(6)
s3 = IR - IL …(7)
ここでI0°は第1乃至第8光強度情報I1〜I8の任意の一である。例えば第1光強度情報I1がI0°に選択された場合、I45°は図3に示す格子パターン10aに対して45度方向に延伸する格子パターン10bの投影領域の第2光強度情報I2である。またI90°は格子パターン10aに対して90度方向に延伸する格子パターン10cの投影領域の第3光強度情報I3であり、I135°は格子パターン10aに対して135度方向に延伸する格子パターン10cの投影領域の第4光強度情報I4である。
s0 2 > s1 2 + s2 2 + s3 2 …(9)
図19に示す偏光評価部310は(4)乃至(7)式を用いてストークスパラメータs0〜s3のそれぞれを算出する。さらに偏光評価部310は、算出したストークスパラメータs0〜s3が(8)式の条件を満たせば照明光は完全偏光であると評価し、(9)式の条件を満たせば、照明光は部分偏光であると評価する。
上記のように、本発明の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
5, 55, 65, 105…偏光モニタマスク
10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h, 20a, 20b, 20c, 20d, 20e, 20f, 20g, 20h…格子パターン
30a, 30b, 30c, 30d, 30e, 30f, 30g, 30h…参照パターン
200…露光装置
309, 319…光強度情報取得機構
310…偏光評価部
311…偏光方向決定部
Claims (7)
- それぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、互いに異なる方向に延伸する複数の格子パターンを照明光で投影する露光装置と、
前記複数の格子パターンのそれぞれの投影領域の光強度情報を取得する光強度情報取得機構と、
前記それぞれの投影領域の光強度情報を比較し、前記照明光の偏光方向を決定する偏光方向決定部
とを備えることを特徴とする露光システム。 - 前記それぞれの投影領域の光強度情報を基に前記照明光の偏光状態を評価する偏光評価部を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の露光システム。
- マスク基板と、
前記マスク基板上に設けられ、露光装置の光学系においてそれぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、互いに異なる方向に延伸する複数の格子パターン
とを備えることを特徴とする偏光モニタマスク。 - 前記マスク基板上に設けられ、前記複数の格子パターンのそれぞれに平行して延伸し、前記露光装置で結像可能な線幅をそれぞれ有する複数の参照パターンを更に備えることを特徴とする請求項3に記載の偏光モニタマスク。
- それぞれ高次回折光が結像しないスペース幅を有し、互いに異なる方向に延伸する複数の格子パターンを照明光で投影するステップと、
前記複数の格子パターンのそれぞれの投影領域の光強度情報を取得するステップと、
前記それぞれの投影領域の光強度情報を比較し、前記照明光の偏光方向を決定するステップ
とを含むことを特徴とする偏光モニタ方法。 - 前記それぞれの投影領域の光強度情報を取得するステップは、
前記複数の格子パターンが投影されたレジストを現像するステップと、
前記現像されたレジストの形状を測定するステップ
とを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の偏光モニタ方法。 - 前記それぞれの投影領域の光強度情報を基に前記照明光の偏光状態を評価するステップを更に備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の偏光モニタ方法。
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