JP2006139901A - Dram memory having common precharger - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide memory layout for a precharge circuit connected between other pair of bit lines rather than a sense amplifier. <P>SOLUTION: The two bit lines of each of the bit line pairs are connected to other precharge circuits and charged to the mutually different precharge voltage. In other words, the bit line and a bit bar line are sensed by the sense amplifier connected to each of the bit-line pairs connected to the other precharge circuits. It is possible that a sense stress test is performed by activating each address line, simultaneously with this configuration and the bit line and the bit-bar line inside each of the sense line pairs are charged to other voltage. The number of the test pads required can also be reduced by such a configuration. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、DRAM(Dynamic Random Access Memory)半導体メモリ装置に係り、特にDRAMメモリの構造及びテストに関する。   The present invention relates to a DRAM (Dynamic Random Access Memory) semiconductor memory device, and more particularly to a structure and test of a DRAM memory.

DRAM半導体メモリは、典型的にメモリセルアレイ、等化回路、プリチャージ回路、センスアンプ、ビットライン及びワードラインを備える。一般的に使われる一つの構造は、ツイストビットラインを備える。図1は、単純な従来のDRAM部分の例を示す。メモリ素子(図示せず)は、ワードラインWLとビットライン131〜138との交差部位に配置されている。ビットライン131〜134は、ツイストされたビットライン対であり、ビットライン135〜138は、ツイストされていない。各ビットライン対は、関連する等化回路、プリチャージ回路121〜128及び関連するセンスアンプ110〜117を有する。面積の効率性を向上させるために、各センスアンプは、二つのメモリセルアレイにより使用される。   A DRAM semiconductor memory typically includes a memory cell array, an equalization circuit, a precharge circuit, a sense amplifier, a bit line, and a word line. One commonly used structure includes twisted bit lines. FIG. 1 shows an example of a simple conventional DRAM portion. Memory elements (not shown) are arranged at intersections between the word lines WL and the bit lines 131 to 138. The bit lines 131 to 134 are twisted bit line pairs, and the bit lines 135 to 138 are not twisted. Each bit line pair has an associated equalization circuit, precharge circuits 121-128, and associated sense amplifiers 110-117. In order to improve the area efficiency, each sense amplifier is used by two memory cell arrays.

集積回路のための工程プロセスは、常には完壁なデバイスを生産しないので、各デバイスは、製造工程後にテストされなければならない。時々、高温及び高電圧を使用するバーンインテストは、一般的に、装着されたDRAMがそれらの製品用途によって動作することを保証するのに使用される。   Since process processes for integrated circuits do not always produce perfect devices, each device must be tested after the manufacturing process. Sometimes burn-in tests using high temperatures and high voltages are typically used to ensure that installed DRAMs operate according to their product application.

一般的に使用されるバーンインテストは、隣接したメモリセルの間に電圧差を誘発する。ツイストされたビットラインを有さないメモリは、0,3,4,7ワードラインがイネーブルされると共に、高電圧でビットラインをプリチャージさせた後、1,2,5,6ワードラインをイネーブルさせ、低電圧にビットラインをプリチャージさせる。   A commonly used burn-in test induces a voltage difference between adjacent memory cells. For memories that do not have twisted bit lines, 0, 3, 4, and 7 word lines are enabled, and after precharging the bit lines with a high voltage, 1, 2, 5, and 6 word lines are enabled. And precharge the bit line to a low voltage.

図1に示すように、ツイストビットラインを備えるメモリでは、前述したテスト順序は、隣接したセルの間に電圧差を誘発しない。図2Aは、テスト電圧の応用を説明する図である。図2Bは、代表的なメモリセルに表れる電圧を示す図である。図2Bに示すように、ビットラインBL0は、四つの高電圧セル(垂直網状線の円で表示)に交差し、ビットラインBL0Bは、四つの低電圧セル(水平網状線の円で表示)に交差する。これにより、センスアンプは、ビットラインBL0とBL0Bとの電圧差を感知できる。ビットラインBL1、BL1Bそれぞれは、二つの高電圧セル及び二つの低電圧セルに交差する。結果的に、ツイストビットラインを有するメモリ装置で、あらゆるワードラインが同時に活性化されれば、ビットラインBL1とBL1Bとの間に適した電圧差が発生せず、テストは満足的に行われない。   As shown in FIG. 1, in a memory with twisted bit lines, the test sequence described above does not induce a voltage difference between adjacent cells. FIG. 2A is a diagram illustrating application of the test voltage. FIG. 2B is a diagram illustrating a voltage appearing in a typical memory cell. As shown in FIG. 2B, bit line BL0 intersects four high voltage cells (indicated by vertical mesh circles) and bit line BL0B is in four low voltage cells (indicated by horizontal mesh circles). Intersect. As a result, the sense amplifier can sense the voltage difference between the bit lines BL0 and BL0B. Each of the bit lines BL1 and BL1B intersects two high voltage cells and two low voltage cells. As a result, if all word lines are simultaneously activated in a memory device having twisted bit lines, a suitable voltage difference between the bit lines BL1 and BL1B does not occur, and the test is not performed satisfactorily. .

したがって、前述した問題を有する従来の技術は、ワードラインを次のようなグループに分ける。
センスストレステストのために:
WL_4kとWL_4k+3
WL_4k+1とWL_4k+2
書き込みストレステストのために:
WL_4kとWL_4k+2
WL_4k+1とWL_4k+3
したがって、テスト時に適切にワードラインを活性化させるために、四つのテストパッドが要求される。
Therefore, the conventional technique having the above-described problem divides the word lines into the following groups.
For sense stress testing:
WL_4k and WL_4k + 3
WL_4k + 1 and WL_4k + 2
For the write stress test:
WL_4k and WL_4k + 2
WL_4k + 1 and WL_4k + 3
Therefore, four test pads are required to properly activate the word line during testing.

本発明の目的は、ツイストビットラインにセンシングストレスを効果的に印加できる半導体メモリ装置を提供するところにある。
本発明の他の目的は、半導体メモリ装置のウェーハバーンインテスト方法を提供するところにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of effectively applying a sensing stress to a twist bit line.
Another object of the present invention is to provide a wafer burn-in test method for a semiconductor memory device.

本発明は、センスアンプに連結されるよりは相異なるビットラインに連結されるプリチャージ回路のメモリレイアウトを提供する。各ビットライン対内の二つのビットラインは、相異なるプリチャージ回路に連結され、相異なるプリチャージ電圧にチャージされうる。すなわち、各ビットライン対内のビットライン及びビットラインバーセンスラインは、相異なるプリチャージ回路に連結される。かかる構成により、あらゆるアドレスラインを同時に活性化させることによって、センスストレステストを行うことができる。各ビットライン対内のビットライン及びビットバーラインが、相異なる電圧にプリチャージされる。ビットラインがツイストされているとしても、あらゆるワードラインが同時に活性化されるときに電圧が感知されうる。   The present invention provides a memory layout of a precharge circuit that is coupled to different bit lines than is coupled to a sense amplifier. Two bit lines in each bit line pair are connected to different precharge circuits and can be charged to different precharge voltages. That is, the bit line and the bit line sense line in each bit line pair are connected to different precharge circuits. With this configuration, a sense stress test can be performed by simultaneously activating all address lines. The bit lines and bit bar lines in each bit line pair are precharged to different voltages. Even if the bit line is twisted, the voltage can be sensed when all word lines are activated simultaneously.

従来と同様に、偶数のワードライン及び奇数のワードラインを順次に活性化させることによって、書き込みストレステストが行われうる。これは、二つのテストパッドを必要とする。しかし、本発明により、書き込みテストは、あらゆるワードラインを同時に活性化させることによって行われ、かかる二つのテストパッドは、書き込みテスト中に使われうる。結果的に、四つのテストパッドから二つのテストパッドに要求されるテストパッドの数を低減できる。   As in the prior art, a write stress test can be performed by sequentially activating even and odd word lines. This requires two test pads. However, according to the present invention, the write test is performed by simultaneously activating all word lines, and such two test pads can be used during the write test. As a result, the number of test pads required from four test pads to two test pads can be reduced.

本発明のメモリ装置によれば、ウェーハバーンインテスト時に一回にあらゆるワードラインをイネーブルさせて、ツイストビットライン構造の隣接したビットラインに相異なるビットライン電圧を印加する。これにより、従来のウェーハバーンインテスト時に発生したツイストビットライン上のデータ衝突なしに、隣接したビットラインにセンシングストレスを与える。そして、あらゆるワードラインを一度にイネーブルさせてセンシングストレスを与えるため、ウェーハバーンインテストの生産性を向上させる。また、ウェーハバーンインテスト時にプロービングするパッド数を低減でき、一回に複数個のチップをテストできるので生産性がさらに向上する。   According to the memory device of the present invention, all word lines are enabled at a time during the wafer burn-in test, and different bit line voltages are applied to adjacent bit lines of the twist bit line structure. As a result, sensing stress is applied to adjacent bit lines without data collision on the twisted bit lines that occurred during the conventional wafer burn-in test. And since all the word lines are enabled at once to give sensing stress, the productivity of wafer burn-in test is improved. In addition, the number of pads to be probed during the wafer burn-in test can be reduced, and a plurality of chips can be tested at a time, so that productivity is further improved.

本発明と、本発明の動作上の利点及び本発明の実施によって達成される目的を十分に理解するためには、本発明の望ましい実施形態を例示する添付図面及び添付図面に記載された内容を参照しなければならない。
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態を説明することにより、本発明を詳細に説明する。各図面に付された同一参照符号は同一部材を示す。
For a full understanding of the invention and the operational advantages of the invention and the objects achieved by the practice of the invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the invention and the contents described in the accompanying drawings. Must be referenced.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals in the drawings denote the same members.

第1実施形態のレイアウトが図3で説明される。図3に示す実施形態は、三つのDRAMアレイブロック302,304,305を備える。6個のセンスアンプ311〜316は、メモリアレイブロックの間に配置される。各センスアンプは、従来と同様にビットライン間に連結される。等化回路(斜線網状のブロックで表示)は、従来と同様に各ビットライン対間に連結される。代表的な等化回路は、参照符号322で表す。しかし、各ビットライン対の間に等化回路が存在するという点に留意する必要がある。   The layout of the first embodiment is illustrated in FIG. The embodiment shown in FIG. 3 includes three DRAM array blocks 302, 304, and 305. Six sense amplifiers 311 to 316 are arranged between the memory array blocks. Each sense amplifier is connected between the bit lines as in the prior art. An equalization circuit (indicated by a hatched block) is connected between each bit line pair as in the prior art. A typical equalization circuit is represented by reference numeral 322. However, it should be noted that an equalization circuit exists between each bit line pair.

プリチャージ回路は、図3で水平及び垂直網状線の矩形で表示される。垂直網状線の矩形は、高電圧プリチャージャを表し、水平網状線の矩形は、低電圧プリチャージャを表す。例えば、ブロック321は低電圧プリチャージ回路を表し、ブロック324は高電圧プリチャージ回路を表す。プリチャージ回路、等化回路及びメモリアレイは、図7A〜図7Cと関連して今後に具体的に説明する。等化回路は、等化回路制御信号EQ_A,EQ_Bにより制御され、プリチャージ回路は、プリチャージ制御信号PRE_A,PRE_Bにより制御される。   The precharge circuit is displayed as a rectangle of horizontal and vertical mesh lines in FIG. The vertical mesh line rectangle represents the high voltage precharger and the horizontal mesh line rectangle represents the low voltage precharger. For example, block 321 represents a low voltage precharge circuit and block 324 represents a high voltage precharge circuit. The precharge circuit, the equalization circuit, and the memory array will be specifically described below in connection with FIGS. 7A to 7C. The equalization circuit is controlled by equalization circuit control signals EQ_A and EQ_B, and the precharge circuit is controlled by precharge control signals PRE_A and PRE_B.

各センスアンプは、ビットライン対に連結される。例えば、センスアンプ311は、ビットラインBLnとBLnBとの間に連結される。等化回路も同様に、例えば等化回路322は、各ビットライン対のビットラインの間に連結される。しかし、各ビットライン対の各ビットラインは、他のプリチャージ回路に連結される。すなわち、プリチャージ回路は、各センスアンプに連結されるビットライン対の間に連結される。したがって、バーンインテスト中に、各ビットライン対内の二つのビットラインは、相異なるプリチャージ電圧にプリチャージされうる。その結果、バーンインテスト中に、隣接したセルは、図4Bに示すように高電圧と低電圧とを有する。水平網状線のプリチャージ回路は、低電圧ラインVBL_Lに連結され、垂直網状線のプリチャージ回路は、高電圧ラインVBL_Hに連結される。   Each sense amplifier is connected to a bit line pair. For example, the sense amplifier 311 is connected between the bit lines BLn and BLnB. Similarly, for example, the equalization circuit 322 is connected between the bit lines of each bit line pair. However, each bit line of each bit line pair is connected to another precharge circuit. That is, the precharge circuit is connected between the bit line pairs connected to each sense amplifier. Therefore, during the burn-in test, the two bit lines in each bit line pair can be precharged to different precharge voltages. As a result, during the burn-in test, adjacent cells have a high voltage and a low voltage as shown in FIG. 4B. The horizontal mesh line precharge circuit is connected to the low voltage line VBL_L, and the vertical mesh line precharge circuit is connected to the high voltage line VBL_H.

低電圧及び高電圧という用語は、メモリアレイ内の特別な回路のために低くて高い電圧を意味するものと使われる。それらは、バーンインテスト中に使われた従来の低電圧レベル及び高電圧レベルである。ノーマル動作中に、あらゆるビットラインは、従来と同様に同じ電圧にプリチャージされるという点に留意する必要がある。   The terms low voltage and high voltage are used to mean low and high voltages for special circuits within the memory array. They are the conventional low and high voltage levels used during the burn-in test. It should be noted that during normal operation, every bit line is precharged to the same voltage as before.

センスストレステスト中に、あらゆるワードラインは、図4Aに示すように同時に活性化される。ビットラインBL0、BL0B上の電圧及びビットラインBL1、BL1B上の電圧が図4Aのように表れる。隣接したセルの電圧は、図4Bに示される。図4Bに示すように、各ビットラインは、特定電圧にチャージされたセルを感知する。これは、ツイストされていないビットライン対とツイストされたビットライン対両方に該当する。   During the sense stress test, all word lines are activated simultaneously as shown in FIG. 4A. The voltages on the bit lines BL0 and BL0B and the voltages on the bit lines BL1 and BL1B appear as shown in FIG. 4A. The voltage of adjacent cells is shown in FIG. 4B. As shown in FIG. 4B, each bit line senses a cell charged to a specific voltage. This is true for both untwisted bitline pairs and twisted bitline pairs.

図3に示す配置を有し、ビットライン及びビットバーラインを異なる電圧レベルに同時にプリチャージさせることが可能である。すなわち、例えばビットラインBL1、BL1Bは、異なるバーンインプリチャージ電圧VBL_H、VBL_Lに連結される他のプリチャージ回路に連結される。ビットラインBL1、BL1Bは、同時に他の電圧にチャージされうる。これは、図4Aに示すようにテスト周期を短縮できる。   With the arrangement shown in FIG. 3, it is possible to precharge the bit lines and bit bar lines to different voltage levels simultaneously. That is, for example, the bit lines BL1 and BL1B are connected to other precharge circuits connected to different burn-in charge voltages VBL_H and VBL_L. The bit lines BL1 and BL1B can be charged to other voltages at the same time. This can shorten the test period as shown in FIG. 4A.

図5A及び図5Bは、ウェーハバーンインテストを行うための構造を示す。カラムデコーダ501は、第1及び第2アレイブロック506、510を備えるメモリアレイ502に連結される。センスアンプ507は、アレイ506、510の間に配置される。パッド508、509は、ワードラインに適切な信号を提供するために外部テスタに連結される。メモリ502の多様な実施形態の具体的なダイヤグラムは、図7A〜図7Cに提供される。ウェーハバーンイン制御信号WBEは、ウェーハバーンインプロセッサ504を活性化させる。順次にプロセッサ504は、アドレスデコーダ505を活性化させる。   5A and 5B show a structure for performing a wafer burn-in test. The column decoder 501 is connected to a memory array 502 including first and second array blocks 506 and 510. The sense amplifier 507 is arranged between the arrays 506 and 510. Pads 508 and 509 are coupled to an external tester to provide appropriate signals to the word lines. Specific diagrams of various embodiments of the memory 502 are provided in FIGS. 7A-7C. Wafer burn-in control signal WBE activates wafer burn-in processor 504. Sequentially, the processor 504 activates the address decoder 505.

二つのテストが図示された回路により行われうる。二つのテストは、センスストレステスト及び書き込みストレステストである。かかるテストを行うための信号を提供するために、単に二つのパッド508、509が要求される。単に二つのパッドが要求される理由は、前述したように、メモリが二つの電圧レベルを有するプリチャージ回路を備え、センステスト中にあらゆるラインが同時に活性化されるためである。書き込みテスト中に、ワードラインは、二つのテストパッドを要求する二つのグループに分離される。しかし、それらのパッドは、センステスト中にあらゆるラインを活性化させるために使われうる。   Two tests can be performed by the circuit shown. The two tests are a sense stress test and a write stress test. In order to provide a signal for performing such a test, only two pads 508, 509 are required. The reason why only two pads are required is that, as described above, the memory includes a precharge circuit having two voltage levels, and all the lines are simultaneously activated during the sense test. During the write test, the word lines are separated into two groups that require two test pads. However, these pads can be used to activate any line during the sense test.

次に、二つのテストを行う方法が記述される。センスストレステストで、あらゆるワードラインは、前述したように同時に活性化される。図6Aは、センスストレステストがどのように行われるかを示すタイミングダイヤグラムである。水平軸に沿って時間周期a,b,c,dが表れる。ワードラインP_even,P−oddが同時に活性化される。低プリチャージ電圧VBL_L及び高プリチャージ電圧VBL_Hが、図6Aに示すように同時に表れる。周期a,cの間にチャージングが起き、周期b,dの間にセンシングが起きる。   Next, how to perform two tests is described. In the sense stress test, all word lines are activated simultaneously as described above. FIG. 6A is a timing diagram showing how the sense stress test is performed. Time periods a, b, c, d appear along the horizontal axis. The word lines P_even and P-odd are activated simultaneously. The low precharge voltage VBL_L and the high precharge voltage VBL_H appear simultaneously as shown in FIG. 6A. Charging occurs between periods a and c, and sensing occurs between periods b and d.

書き込みストレステスト中に、アドレスデコーダ505がワードラインを活性化させる方法が図5Bに示される。パッド508、509に連結されるP_even、P_oddの二つの信号により、あらゆるワードラインが活性化される。
書き込みストレステスト中に、従来と同様に、ワードラインは、偶数のラインと奇数のラインの二つのグループに次のように分けられる。
1)WL_4k及びWL_4k+2
2)WL_4k+1及びWL_4k+3
The manner in which the address decoder 505 activates the word line during the write stress test is shown in FIG. 5B. Every word line is activated by two signals P_even and P_odd connected to pads 508 and 509.
During the write stress test, as before, the word lines are divided into two groups of even lines and odd lines as follows.
1) WL_4k and WL_4k + 2
2) WL_4k + 1 and WL_4k + 3

センスストレステスト中に、あらゆるワードラインは同時に活性化される。これは、前記二つのグループが一つのグループに次のように結合する。
WL_4k、WL_4k+1、WL_4k+2及びWL_4k+3
したがって、センスストレステストと書き込みストレステスト両方が、二つのテストパッドのみを利用して行われうる。これは、従来技術で四つのテストパッドを要求することに対比される。
During the sense stress test, all word lines are activated simultaneously. This is because the two groups are combined into one group as follows.
WL_4k, WL_4k + 1, WL_4k + 2 and WL_4k + 3
Therefore, both the sense stress test and the write stress test can be performed using only two test pads. This is in contrast to requiring four test pads in the prior art.

図5Bに示すように、二つのテスト信号P_even、P_oddは、信号PWBE0,PWBE1,PWBE2,PWBE3を発生させるためにゲート561〜564の入力を提供する。信号PWBE0,PWBE1,PWBE2,PWBE3は、次のようにワードラインを活性化させる。
PWBE0 ライン0,4,8,12
PWBE1 ライン1,5,9,13
PWBE2 ライン2,6,10,14
PWBE3 ライン3,7,11,15
As shown in FIG. 5B, the two test signals P_even, P_odd provide inputs for gates 561-564 to generate signals PWBE0, PWBE1, PWBE2, PWBE3. Signals PWBE0, PWBE1, PWBE2, and PWBE3 activate the word lines as follows.
PWBE0 lines 0, 4, 8, 12
PWBE1 Line 1, 5, 9, 13
PWBE2 lines 2, 6, 10, 14
PWBE3 Line 3, 7, 11, 15

動作タイミングは、図6Bに示される。詳細なタイミングダイヤグラムのように、時間周期a,b,cなどが水平軸に沿って表れる。この場合、ワードライン信号P_even、P_oddは、相異なる時間周期で発生する。しかし、ビットライン信号VBL_L、VBL_Hは、異なる時間で発生する。時間周期aで、ラインWL_4k、WL_4k+2のセルにデータが書き込まれる。時間周期bで、ラインWL_4k+1、WL_4k+3のセルにデータが書き込まれる。   The operation timing is shown in FIG. 6B. As in the detailed timing diagram, time periods a, b, c, etc. appear along the horizontal axis. In this case, the word line signals P_even and P_odd are generated at different time periods. However, the bit line signals VBL_L and VBL_H are generated at different times. Data is written to the cells of the lines WL_4k and WL_4k + 2 in the time period a. Data is written to the cells on the lines WL_4k + 1 and WL_4k + 3 in the time period b.

三つの他の実施形態のダイヤグラムが図7A〜図7Cに示される。図7Aに示す実施形態において、メモリセルそれぞれのアレイ内のビットライン対それぞれに等化回路及びプリチャージ回路が存在する。図7Bに示す実施形態において、各センスアンプに連結された二つのアレイ内のビットラインに対して共通の等化回路が存在する。図7Bに示す実施形態において、メモリセルそれぞれのアレイ内のビットライン対それぞれにプリチャージ回路が存在する。図7Cに示す実施形態において、各センスアンプに連結された二つのアレイ内のビットラインに対して共通の等化回路及び共通のプリチャージ回路が存在する。   Diagrams of three other embodiments are shown in FIGS. 7A-7C. In the embodiment shown in FIG. 7A, there is an equalization circuit and a precharge circuit for each bit line pair in each array of memory cells. In the embodiment shown in FIG. 7B, there is a common equalization circuit for the bit lines in the two arrays connected to each sense amplifier. In the embodiment shown in FIG. 7B, there is a precharge circuit for each bit line pair in each array of memory cells. In the embodiment shown in FIG. 7C, there is a common equalization circuit and a common precharge circuit for the bit lines in the two arrays connected to each sense amplifier.

要約すれば、図7Aに示す実施形態では、セルの各アレイ内のビットライン対に対して等化回路とプリチャージ回路とが存在する。図7Bの実施形態では、共通の等化回路が存在する。図7Cの実施形態では、共通の等化回路と共通のプリチャージ回路とが存在する。   In summary, in the embodiment shown in FIG. 7A, there is an equalization circuit and a precharge circuit for the bit line pair in each array of cells. In the embodiment of FIG. 7B, there is a common equalization circuit. In the embodiment of FIG. 7C, there is a common equalization circuit and a common precharge circuit.

図7A〜図7Cで、等化回路及びプリチャージ回路がどのように構成されるかについては後述する。単に一つのプリチャージ及び等化回路が詳細に説明されるが、このような説明は、他の位置の等化及びプリチャージ回路に同等に適用されるという点に留意する必要がある。各個別的なプリチャージ回路及び各個別的な等化回路は、図示されたように連結される従来のトランジスタで構成される。   The configuration of the equalization circuit and the precharge circuit in FIGS. 7A to 7C will be described later. It should be noted that although only one precharge and equalization circuit is described in detail, such description applies equally to equalization and precharge circuits at other locations. Each individual precharge circuit and each individual equalization circuit is comprised of conventional transistors coupled as shown.

図7Aに示した実施形態は、DRAMセルアレイ701、706、708を備える。センスアンプ705は、アレイ701、706の間に配置される。センスアンプ707は、アレイ706、708の間に配置される。メモリセルアレイ701は、プリチャージ回路702A及び等化回路703Aを有する。メモリセルアレイ706は、プリチャージ回路702B及び等化回路703Bを有する。プリチャージ回路は、前述した低電圧ラインVBL_Lと高電圧ラインVBL_Hとに連結される。同じ構造のプリチャージ回路と等化回路とが、アレイ706、708の間に配置される。   The embodiment shown in FIG. 7A includes DRAM cell arrays 701, 706, and 708. The sense amplifier 705 is disposed between the arrays 701 and 706. The sense amplifier 707 is disposed between the arrays 706 and 708. The memory cell array 701 includes a precharge circuit 702A and an equalization circuit 703A. The memory cell array 706 includes a precharge circuit 702B and an equalization circuit 703B. The precharge circuit is connected to the low voltage line VBL_L and the high voltage line VBL_H described above. A precharge circuit and an equalization circuit having the same structure are arranged between the arrays 706 and 708.

図7Bに示した実施形態は、DRAMセルアレイ721、725、728を備える。センスアンプ722は、アレイ721、725の間に配置される。センスアンプ726は、アレイ725、728の間に配置される。プリチャージ回路722Aはアレイ721と関連し、プリチャージ回路722Bはアレイ725と関連する。等化回路723は、メモリセルアレイ721、725両方に提供される。同じ構造のプリチャージ回路と等化回路とが、アレイ725、728の間に表れる。   The embodiment shown in FIG. 7B includes DRAM cell arrays 721, 725, and 728. The sense amplifier 722 is disposed between the arrays 721 and 725. The sense amplifier 726 is disposed between the arrays 725 and 728. Precharge circuit 722 A is associated with array 721 and precharge circuit 722 B is associated with array 725. The equalization circuit 723 is provided to both the memory cell arrays 721 and 725. A precharge circuit and an equalization circuit having the same structure appear between the arrays 725 and 728.

図7Cに示した実施形態は、DRAMセルアレイ751、755、759を備える。センスアンプ752は、アレイ751、755の間に配置される。センスアンプ756は、アレイ755、759の間に配置される。プリチャージ回路753Aは、メモリセルアレイ751、755の間に配置され、このメモリセルアレイ両方に提供される。同様に、等化回路754Aは、メモリセルアレイ751、755の間に配置され、このメモリセルアレイ両方に提供される。プリチャージ回路753Bと等化回路754Bとは、アレイ755、759に提供される。   The embodiment shown in FIG. 7C includes DRAM cell arrays 751, 755, and 759. The sense amplifier 752 is arranged between the arrays 751 and 755. The sense amplifier 756 is disposed between the arrays 755 and 759. The precharge circuit 753A is disposed between the memory cell arrays 751 and 755, and is provided to both the memory cell arrays. Similarly, the equalization circuit 754A is disposed between the memory cell arrays 751 and 755, and is provided to both the memory cell arrays. Precharge circuit 753B and equalization circuit 754B are provided to arrays 755 and 759.

図3、図7A〜図7Cでは、単に三つのメモリセルアレイブロックのみを示すことが分かる。三つのメモリセルアレイブロックは、説明の便宜上表した。他の実施形態は、多様な他の数のメモリセルアレイブロックを含むことができる。さらに、図面ではメモリの全体的な大きさが表れていないという点に留意する必要がある。メモリの残りの部分は、説明されたメモリの部分と類似して構成される。   3 and 7A to 7C, only three memory cell array blocks are shown. The three memory cell array blocks are shown for convenience of explanation. Other embodiments may include a variety of other numbers of memory cell array blocks. Furthermore, it should be noted that the overall size of the memory is not shown in the drawings. The remaining part of the memory is structured similarly to the part of the memory described.

本発明は、図面に示した一実施形態を参考にして説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらなければならない。   Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and various modifications and equivalent other embodiments may be made by those skilled in the art. You will understand that. Therefore, the true technical protection scope of the present invention must be determined by the technical idea of the claims.

本発明は、ツイストビットラインにセンシングストレスを効果的に印加できる半導体メモリ装置関連の技術分野に適用可能である。   The present invention is applicable to a technical field related to a semiconductor memory device that can effectively apply a sensing stress to a twist bit line.

単純な従来のDRAMのダイヤグラムである。It is a diagram of a simple conventional DRAM. 効率的なメモリテストを妨害する問題点を説明するダイヤグラムである。It is a diagram illustrating the problem that hinders efficient memory testing. 効率的なメモリテストを妨害する問題点を説明するダイヤグラムである。It is a diagram illustrating the problem that hinders efficient memory testing. 第1実施形態のブロックダイヤグラムである。It is a block diagram of a 1st embodiment. 第1実施形態で隣接したセルの電圧を示すダイヤグラムである。It is a diagram which shows the voltage of the adjacent cell in 1st Embodiment. 第1実施形態で隣接したセルの電圧を示すダイヤグラムである。It is a diagram which shows the voltage of the adjacent cell in 1st Embodiment. テストモードの構造を説明する図である。It is a figure explaining the structure of a test mode. テストモードの構造を説明する図である。It is a figure explaining the structure of a test mode. タイミングダイヤグラムである。It is a timing diagram. タイミングダイヤグラムである。It is a timing diagram. 本発明の他の実施形態を説明するダイヤグラムである。It is a diagram explaining other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を説明するダイヤグラムである。It is a diagram explaining other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態を説明するダイヤグラムである。It is a diagram explaining other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

302,304,305 DRAMアレイブロック
311〜316 センスアンプ
322 等化回路
EQ_A,EQ_B 等化回路制御信号
VBL_L 低電圧ライン
VBL_H 高電圧ライン
PRE_A,PRE_B プリチャージ制御信号
302, 304, 305 DRAM array block 311-316 Sense amplifier 322 Equalizer EQ_A, EQ_B Equalizer control signal VBL_L Low voltage line VBL_H High voltage line PRE_A, PRE_B Precharge control signal

Claims (20)

行及び列に配列されてマトリックスを構成し、複数個のメモリセルブロックに分けられる複数個のメモリセルと、
前記マトリックスの第1方向に配列される複数個のワードラインと、
前記マトリックスの第2方向に配列され、第1及び第2ビットラインがビットライン対を構成する複数個のビットラインと、
前記ワードラインと前記第1または第2ビットラインのうちいずれか一つとの交差点に配列される前記メモリセルのうち一つと、
前記メモリセルの隣接したアレイ間にツイストされる前記ビットラインの他の対と、
各ビットライン対に連結され、前記ビットライン間の電圧差を感知するセンスアンプと、
前記各ビットライン対内の二つのビットラインを相異なる電圧にプリチャージさせる複数個のプリチャージ回路と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
A plurality of memory cells arranged in rows and columns to form a matrix and divided into a plurality of memory cell blocks;
A plurality of word lines arranged in a first direction of the matrix;
A plurality of bit lines arranged in a second direction of the matrix, the first and second bit lines forming a bit line pair;
One of the memory cells arranged at an intersection of the word line and one of the first and second bit lines;
Another pair of the bit lines twisted between adjacent arrays of the memory cells;
A sense amplifier connected to each bit line pair for sensing a voltage difference between the bit lines;
A semiconductor memory device comprising: a plurality of precharge circuits for precharging two bit lines in each bit line pair to different voltages.
前記プリチャージ回路は、
前記ビットライン対の間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
The precharge circuit is
The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device is disposed between the bit line pair.
前記半導体メモリ装置は、
センステストの間に、前記プリチャージ回路が前記各ビットライン対内の二つのビットラインを相異なる電圧にプリチャージさせることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the precharge circuit precharges two bit lines in each bit line pair to different voltages during a sense test.
前記半導体メモリ装置は、
前記センステスト中に、あらゆるワードラインが同時にイネーブルされることを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein all word lines are simultaneously enabled during the sense test.
前記半導体メモリ装置は、
前記センステスト中に、各ビットラインにより感知されるあらゆるメモリセルが同じ電圧にプリチャージされることを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein every memory cell sensed by each bit line is precharged to the same voltage during the sense test.
前記メモリセルは、
DRAMメモリセルであることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
The memory cell is
The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device is a DRAM memory cell.
前記半導体メモリ装置は、
前記各ビットラインと関連する等化回路をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
The semiconductor memory device of claim 1, further comprising an equalization circuit associated with each bit line.
前記半導体メモリ装置は、
前記各メモリアレイと関連する分離されたプリチャージ回路と分離された等化回路とを備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
8. The semiconductor memory device of claim 7, further comprising a separate precharge circuit and a separate equalization circuit associated with each memory array.
前記半導体メモリ装置は、
前記各メモリアレイと関連する分離されたプリチャージ回路と、二つのメモリアレイ内の前記ビットラインに共有される等化回路と、を備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
8. The semiconductor memory device according to claim 7, further comprising: a separate precharge circuit associated with each memory array; and an equalization circuit shared by the bit lines in the two memory arrays.
前記半導体メモリ装置は、
前記プリチャージ回路及び前記等化回路が二つのメモリアレイ内の前記ビットラインにより共有されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
8. The semiconductor memory device according to claim 7, wherein the precharge circuit and the equalization circuit are shared by the bit lines in two memory arrays.
前記半導体メモリ装置は、
前記プリチャージ回路が2セットのプリチャージャに配列され、前記各ビットライン対内の前記二つのラインは、相異なるセットのプリチャージャ内のプリチャージャと連結され、
テスト動作中に、前記各セットのプリチャージャは、前記各ビットライン対内の前記二つのビットラインを異なる電圧にプリチャージできることを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
The precharge circuit is arranged in two sets of prechargers, and the two lines in each bit line pair are connected to prechargers in different sets of prechargers;
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the set of prechargers can precharge the two bit lines in the bit line pairs to different voltages during a test operation.
複数個のメモリセル、複数個のワードライン、二つのビットラインを有するビットライン対、及び前記ビットライン対の電圧を感知するセンスアンプを備え、前記ビットライン対が隣接したメモリセルアレイの間でツイストされる半導体メモリ装置において、
隣接した前記ビットライン対の間に配置されるプリチャージ回路を備え、
前記各プリチャージ回路は、前記二つの隣接したビットライン対内の一つのビットラインに連結され、前記プリチャージ回路は、テスト動作中に、前記各ビットライン対の二つのビットラインをチャージさせ、
バーンインセンステスト中に、あらゆる前記ワードラインが同時に活性化され、あらゆる前記ビットラインに電圧が現れることを特徴とする半導体メモリ装置。
A plurality of memory cells, a plurality of word lines, a bit line pair having two bit lines, and a sense amplifier for sensing a voltage of the bit line pair, the bit line pair being twisted between adjacent memory cell arrays In a semiconductor memory device
A precharge circuit disposed between adjacent bit line pairs;
Each precharge circuit is connected to one bitline in the two adjacent bitline pairs, and the precharge circuit charges two bitlines of each bitline pair during a test operation,
A semiconductor memory device, wherein all the word lines are simultaneously activated during a burn-in sense test, and a voltage appears on every bit line.
前記半導体メモリ装置は、
ノーマル動作中に、前記プリチャージ回路は、前記ビットラインを同じプリチャージ電圧にチャージさせることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
13. The semiconductor memory device according to claim 12, wherein the precharge circuit charges the bit line to the same precharge voltage during a normal operation.
前記半導体メモリ装置は、
前記各ビットライン対ごとに等化回路をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
13. The semiconductor memory device of claim 12, further comprising an equalization circuit for each of the bit line pairs.
前記半導体メモリ装置は、
前記各メモリアレイと関連するプリチャージ回路の分離されたセットと、等化回路の分離されたセットとを備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
15. The semiconductor memory device of claim 14, comprising a separate set of precharge circuits associated with each memory array and a separate set of equalization circuits.
前記半導体メモリ装置は、
前記各メモリアレイと関連するプリチャージ回路の分離されたセットと、二つのメモリアレイ内のビットラインに共有される等化回路と、を備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
15. The semiconductor memory device of claim 14, comprising a separate set of precharge circuits associated with each memory array and an equalization circuit shared by bit lines in the two memory arrays. .
前記半導体メモリ装置は、
前記プリチャージ回路及び前記等化回路が二つのメモリアレイ内の前記ビットラインにより共有されることを特徴とする請求項14に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
The semiconductor memory device according to claim 14, wherein the precharge circuit and the equalization circuit are shared by the bit lines in two memory arrays.
ワードラインとビットラインとの交差点に位置するメモリセルと、
ビットラインとビットバーラインとを有するビットライン対で構成される前記ビットラインと、
前記ビットライン対内の前記ビットライン及び前記ビットバーライン上の前記メモリセルに交差される前記各ワードラインと、
前記メモリセルが配列され、複数個のセルブロックを有するメモリセルアレイと、
前記アレイブロックの間でツイストされ、センスアンプを有する前記各ビットライン対と、
二つのビットライン対内の一つのビットラインに連結されてチャージさせ、バーンインセンステスト中に、前記各ビットライン対内の二つのビットラインを相異なる電圧にチャージさせるプリチャージ回路と、を備えることを特徴とする半導体メモリ装置。
A memory cell located at the intersection of a word line and a bit line;
The bit line comprising a bit line pair having a bit line and a bit bar line;
Each word line intersecting the memory cell on the bit line and the bit bar line in the bit line pair;
A memory cell array in which the memory cells are arranged and having a plurality of cell blocks;
Each bit line pair twisted between the array blocks and having a sense amplifier;
A precharge circuit that is connected to one bit line in the two bit line pairs and is charged to charge the two bit lines in each bit line pair to different voltages during a burn-in sense test. A semiconductor memory device.
前記プリチャージ回路は、
選択されたテスト動作中に、前記各ビットライン対内の前記ビットラインを異なる電圧にチャージさせ、
ノーマルテスト動作中に、前記各ビットライン対内の前記ビットラインを同じ電圧にプリチャージさせることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装置。
The precharge circuit is
During a selected test operation, charging the bit lines in each bit line pair to a different voltage;
19. The semiconductor memory device according to claim 18, wherein the bit lines in each of the bit line pairs are precharged to the same voltage during a normal test operation.
前記半導体メモリ装置は、
書き込みテスト動作中に、あらゆる偶数のワードライン及びあらゆる奇数のワードラインを同時に活性化させるロジック回路と、二つのテストパッドと、を備えることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装置。
The semiconductor memory device includes:
19. The semiconductor memory device of claim 18, further comprising: a logic circuit that simultaneously activates every even word line and every odd word line during a write test operation; and two test pads.
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