JP2006119107A - プロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面プロファイルを画面上で視認し易くしたプロファイル表示装置等を提供する。
【解決手段】プロファイル表示装置は、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域と、平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する描画部と、プロファイルグラフを表示するための領域であり、第1表示領域上に重ねて表示可能な第2表示領域とを備える。この構成により、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
【選択図】図6
【解決手段】プロファイル表示装置は、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域と、平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する描画部と、プロファイルグラフを表示するための領域であり、第1表示領域上に重ねて表示可能な第2表示領域とを備える。この構成により、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
【選択図】図6
Description
本発明は、高さ情報を含む2次元画像データ上において指定された断面のプロファイル画像を表示可能なプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及び該プログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器に関する。
高さ情報を備える2次元画像データを表示可能な画像表示装置において、様々な測定を行うことが行われている。例えばデジタルマイクロスコープなどの拡大観察装置や電子顕微鏡装置において、撮像された画像を画面に表示させた状態で、画像データに対して距離測定や高さ測定、表面プロファイルの表示などが行える。このうち、表面プロファイルの表示は、正確な寸法測定よりも全体形状の把握を目的として行われるものであり、指定された領域の高さ情報に基づいて全体形状を曲線で表示するものである。
拡大観察装置や電子顕微鏡装置等の観察装置や、取得された高さ情報を備える2次元画像データを処理するための画像処理装置は、このようなプロファイル表示機能を備えているものがある。表面プロファイルの表示は、従来は図1に示すように(a)の平面画像表示用ウィンドウ10と(b)のプロファイル表示用ウィンドウ20とが別画面で表示されており、(a)の画面上で指定された領域の表面形状すなわち表面プロファイルが、(b)の画面いっぱいに引き延ばされて表示される構成となっていた。この形式では、表面形状が実画像とは別画面で表示されるため形状のイメージが把握しづらいという問題があった。また(b)の画面では指定された領域が左右に引き延ばされ、あるいは圧縮されて表示されるため(a)の平面画像表示用ウィンドウ10とスケールが異なる。また、表面プロファイルは、領域指定時の始点から終点に向かって描画されるため、通常の画面では左から右に向かって描画されることとなる。一方で領域指定は任意の方向に行うことが可能であり、例えば図2(a)に示すように、始点Aから終点Bに、すなわち右から左に指定することもできる。しかしながらこの場合、表面プロファイルは図2(b)に示すようにAからBまでの表面形状を左から右に描画するため、図2(a)の平面画像表示用ウィンドウ10での実画像表示と左右が逆転してしまい、対応関係がさらにわかりにくくなるという問題があった。
特開2002−267416号公報
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、表面プロファイルを画面上で視認しやすくできるプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器を提供することにある。
上記目的を実現するために、本発明の第1の側面に係るプロファイル表示装置は、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域と、平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する描画部と、プロファイルグラフを表示するための領域であり、第1表示領域上に重ねて表示可能な第2表示領域とを備える。この構成により、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
また、本発明の第2の側面に係るプロファイル表示装置は、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域と、平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する描画部と、プロファイルグラフを表示するための領域であり、第1表示領域上に重ねて表示可能な第2表示領域とを備える。この構成により、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
さらに、本発明の第3の側面に係るプロファイル表示装置は、描画部は、第2表示領域に描画するプロファイルを、平面画像の表示倍率と略一致させて描画可能である。この構成により、同一スケールで断面のプロファイルを表示することにより、断面形状の把握が容易となる。
さらにまた、本発明の第4の側面に係るプロファイル表示装置は、第2表示領域は、第1表示領域において指定部で指定されたプロファイル指定線の上方又は下方に配置可能に構成している。この構成により、実画像上で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイル情報をプロファイル指定線すなわち断面線と上下方向に並べて表示できるので、対比し易い表示形態が実現される。
さらにまた、本発明の第5の側面に係るプロファイル表示装置は、指定部が、プロファイル指定線の始点および終点を指定することによりプロファイル指定線を指定するものであり、一方描画部は、始点および終点の指定順序によらず、指定されたプロファイル指定線と沿って対応するプロファイルグラフが第2表示領域に表示される。この構成により、プロファイル指定線の指定の仕方、方向によらず、最終的に確定されたプロファイル指定線の方向に沿ってプロファイルグラフが表示されるので、プロファイル指定線の指定順序を意識することなく一定のプロファイルを表示でき、操作が容易で見易い表示が得られる。
さらにまた、本発明の第6の側面に係るプロファイル表示装置は、第2表示領域におけるプロファイルの表示が、指定部によるプロファイル指定線の指定中にリアルタイムで更新される。この構成により、プロファイル指定線の指定中でもプロファイルを速やかに確認できるので、迅速かつ簡便なプロファイル形状の把握が行える。
さらにまた、本発明の第7の側面に係るプロファイル表示装置は、第2表示領域が、第1表示領域中において指定されたプロファイル指定線の位置に応じて、第1表示領域中の未使用領域に自動的に変更される。この構成によって、プロファイル指定線を指定した位置を基準として、第1表示領域中で表示スペースに余裕のある領域を自動的に選択して第2表示領域を設定するので、見易い表示が可能となる。
さらにまた、本発明の第8の側面に係るプロファイル表示装置は、第1表示領域中において指定されたプロファイル指定線の位置が第1表示領域の端部近傍である場合、第2表示領域が該第1表示領域の中央側にシフトして表示される。この構成によって、端部近傍で第2表示領域を表示するスペースが確保できない場合に、自動的に第2表示領域を中央側にシフトさせて第2表示領域の全体を表示可能としている。
また、本発明のプロファイル表示方法は、高さ情報を含む画像データの平面画像上において、所望の領域を指定して断面に相当するプロファイルグラフを表示するためのプロファイル表示方法であって、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示する第1表示領域上で、プロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定する工程と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画すると共に、プロファイルグラフを表示する領域として第2表示領域を、第1表示領域上に重ねて表示する工程とを有する。これにより、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
さらに、本発明のプロファイル表示プログラムは、高さ情報を含む画像データの平面画像上において、所望の領域を指定して断面に相当するプロファイルグラフを表示するためのプロファイル表示プログラムであって、コンピュータに、高さ情報を含む画像データの平面画像を表示する第1表示領域上で、プロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定する機能と、指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画すると共に、プロファイルグラフを表示する領域として第2表示領域を、第1表示領域上に重ねて表示する機能とを実現させるものである。これにより、平面画像を表示している同一画面上で指定された領域のプロファイル情報をオーバーレイ表示等で重ねて表示し確認できるので、表面形状が実画像上で視覚的に容易に把握できるという利点が得られる。
また本発明のコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器は、上記プログラムを格納するものである。記録媒体には、CD−ROM、CD−R、CD−RWやフレキシブルディスク、磁気テープ、MO、DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−R、DVD+R、DVD−RW、DVD+RW、Blu−ray、HD DVD(AOD)等の磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリその他のプログラムを格納可能な媒体が含まれる。またプログラムには、上記記録媒体に格納されて配布されるものの他、インターネット等のネットワーク回線を通じてダウンロードによって配布される形態のものも含まれる。さらに記録した機器には、上記プログラムがソフトウェアやファームウェア等の形態で実行可能な状態に実装された汎用もしくは専用機器を含む。さらにまたプログラムに含まれる各処理や機能は、コンピュータで実行可能なプログラムソフトウエアにより実行してもよいし、各部の処理を所定のゲートアレイ(FPGA、ASIC)等のハードウエア、又はプログラムソフトウエアとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウエアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。
本発明のプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器によれば、プロファイルを実画像と同一画面に重ねて表示できるので、断面形状の把握が感覚的に容易に行える利点が得られる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するためのプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器を例示するものであって、本発明はプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器を以下のものに特定しない。また、本明細書は特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。特に実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。
本発明の実施例において使用されるプロファイル表示装置とこれに接続される操作、制御、表示、その他の処理等のためのコンピュータ、プリンタ、外部記憶装置その他の周辺機器との接続は、例えばIEEE1394、RS−232xやRS−422、USB等のシリアル接続、パラレル接続、あるいは10BASE−T、100BASE−TX、1000BASE−T等のネットワークを介して電気的、あるいは磁気的、光学的に接続して通信を行う。接続は有線を使った物理的な接続に限られず、IEEE802.1x、OFDM方式等の無線LANやBluetooth等の電波、赤外線、光通信等を利用した無線接続等でもよい。さらにデータの交換や設定の保存等を行うための記録媒体には、メモリカードや磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ等が利用できる。なお本明細書においてプロファイル表示装置とは、プロファイル表示を行う装置本体のみならず、これにコンピュータ、外部記憶装置等の周辺機器を組み合わせたプロファイル表示システムも含む意味で使用する。
また、本明細書においてプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラムは、3次元画像データを含む画像ファイル生成を行うシステムそのもの、ならびに画像ファイル生成に関連する入出力、表示、演算、通信その他の処理をハードウェア的に行う装置や方法に限定するものではない。ソフトウェア的に処理を実現する装置や方法も本発明の範囲内に包含する。例えば汎用の回路やコンピュータにソフトウェアやプログラム、プラグイン、オブジェクト、ライブラリ、アプレット、コンパイラ、モジュール、特定のプログラム上で動作するマクロ等を組み込んで画像生成そのものあるいはこれに関連する処理を可能とした装置やシステムも、本発明のプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラムに該当する。また本明細書においてコンピュータには、汎用あるいは専用の電子計算機の他、ワークステーション、端末、携帯型電子機器、PDCやCDMA、W−CDMA、FOMA(登録商標)、GSM、IMT2000や第4世代等の携帯電話、PHS、PDA、ページャ、スマートフォンその他の電子デバイスも包含する。さらに本明細書においてプログラムとは、単体で使用されるものに限られず、特定のコンピュータプログラムやソフトウェア、サービス等の一部として機能する態様や、必要時に呼び出されて機能する態様、OS等の環境においてサービスとして提供される態様、環境に常駐して動作する態様、バックグラウンドで動作する態様やその他の支援プログラムという位置付けで使用することもできる。
本発明は、高さ情報を有する2次元データに関するプロファイル情報を表示する手法に関するものである。したがって、対象となるデータは典型的には2次元画像等の平面画像に高さ方向のデータを有するものを意味する。例えば平面画像を連続的に撮像して高さ方向のデータを取得可能な画像において利用できる。また、3次元画像データ等の立体画像も本発明の対象に含まれることは言うまでもない。
(プロファイル表示装置)
(プロファイル表示装置)
図3に、本発明の一実施の形態に係るプロファイル表示装置のブロック図を示す。この図に示すプロファイル表示装置100は、高さ情報を含む画像データを取得するための画像取得部30と、得られた画像データに対して種々の処理を行うための演算部40と、画像データの平面画像を表示する第1表示領域用の画像データを作成するための第1描画部51と、指定されたプロファイル指定線を断面とする表面プロファイルを表したプロファイルグラフを描画するためのプロファイル演算部41と、プロファイルグラフを含む第2表示領域用の画像データを作成するための第2描画部52と、第1描画部51及び第2描画部52で生成された各画像データを合成して出力画像データとして出力するための画像出力部60とを備える。画像出力部60は、表示部70と接続されており、これによってプロファイル表示装置100で作成された画像データが表示される。
またプロファイル表示装置100を操作するための入力デバイス80として、マウス81及びキーボード82が接続されている。入力デバイス80は、プロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部として機能する。入力デバイス80はプロファイル表示装置と有線もしくは無線で接続され、あるいは固定されている。一般的な入力デバイス80としては、例えばマウスやキーボード、スライドパッド、トラックポイント、タブレット、ジョイスティック、コンソール、ジョグダイヤル、デジタイザ、ライトペン、テンキー、タッチパッド、アキュポイント等の各種ポインティングデバイスが挙げられる。またこれらの入力デバイス80は、プロファイル表示プログラムをインストールしたコンピュータをプロファイル表示装置と接続する態様、あるいはプロファイル表示プログラムをインストールしたコンピュータをプロファイル表示装置とする態様において、プロファイル表示プログラムの操作の他、プロファイル表示装置自体やその周辺機器の操作にも利用できる。さらに、インターフェース画面を表示するディスプレイ自体にタッチスクリーンやタッチパネルを利用して、画面上をユーザが手で直接触れることにより入力や操作を可能としたり、または音声入力その他の既存の入力手段を利用、あるいはこれらを併用することもできる。図3の例では、入力デバイス80はマウス81やキーボード82等のポインティングデバイスで構成される。
以上の構成は例示であって、例えばプロファイル表示装置100は表示部70、入力デバイス80等を含んでいてもよく、またプロファイル演算部41や第2描画部52などの部材は、一の部材で兼用したり、演算部40に統合することもできる。図3の例では、第1描画部51と第2描画部52は、描画部50を構成する。画像取得部30は外部機器で撮像、作成された高さ情報を含む画像データを取得する。画像データは通信やI/Oにより外部機器から取得される他、記録媒体を介してデータファイルの形で入力することもできる。さらに、プロファイル表示装置自体にこれらの画像データを撮像する機能を持たせてもよい。この場合、画像取得部30は撮像部や画像生成部となる。例えば、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察装置や蛍光顕微鏡、電子顕微鏡などに、プロファイル表示装置を組み込むこともできる。組み込みは、ハードウェア的に実装する他、ソフトウェアとして実現することも可能である。以下の例では、汎用のコンピュータにプロファイル表示プログラムをインストールして実行する例について説明する。
(表示部70における表示例)
(表示部70における表示例)
表示部70は、液晶モニタやCRTモニタなどのディスプレイが利用できる。またタッチパネルなど入力機能を備えるタイプを使用すれば、表示部70と指定部を兼用することもできる。表示部70は、プロファイル表示装置に組み込む他、外部接続することもできる。表示部70には、画像データの平面画像を表示する第1表示領域1と、プロファイルグラフを表示するための第2表示領域2が表示され、第2表示領域2は第1表示領域1上に重ねて表示可能としている。重ね合わせ表示を実現するには、オーバーレイ表示や透過率の指定、レイヤー表示など既存の技術が適宜利用できる。画像データの高さ情報に基づき、断面形状をプロファイルグラフとして表示するには、指定部で第1表示領域1上からプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定する。これに従ってプロファイルグラフが演算され、自動的に第2表示領域2に表示される。プロファイルグラフの演算、生成方法は既存の方法が利用できる。
図4〜図6に、プロファイル表示装置100に接続された表示部70における表示イメージの一例を示す。これらの図では、指定部で指定されたプロファイル指定線Lに従ってプロファイルグラフPをリアルタイムで演算して表示する様子が示されている。まず図4で指定部の一形態であるマウス81のポインタを移動させ、プロファイル指定線Lの始点をマウスボタンをクリックすることで指定する。すると、第2表示領域2の端面(ここでは左端面)が表示される。さらに図5で、マウスボタンをドラッグしたままマウスポインタを移動させると、リアルタイムで現在のマウスポインタの位置を終点とするプロファイル指定線Lに対応するプロファイルグラフPが描画される。図5に示すように、マウスポインタの位置に応じて第2表示領域2が確保され、同時にこの領域内でプロファイルグラフPが表示される。プロファイルグラフPは、第1表示領域1で表示中の実画像と同一の拡大率にて描画される。この仕様によってユーザはマウスボタンをドラッグしたままマウスポインタの位置を変更させることで、プロファイルをリアルタイムで確認でき、迅速かつ簡易的にプロファイルを把握でき、またプロファイルの位置探しも容易となる。そして最終的なプロファイル指定線Lの終点を確定し、マウスボタンをリリースして指定すると、図6に示すように第2表示領域2が確定され、線分に対応するプロファイルグラフPが表示される。なお、この例では終点の選択中はプロファイル指定線Lが黒線で表示され、終点が確定されると、プロファイル指定線Lが青色に変化する。これによって、プロファイル指定線Lの指定作業が終了したかどうかを視覚的に確認できる。またこの例では、マウスボタンをドラッグ状態とする操作を説明したが、始点と終点をそれぞれ個別にクリックして指定する方法等でも同様の操作を実現できる。さらにまたプロファイル指定線は、上記の例では直線状の線分で指定したが、これに限られず円弧や自由曲線、矩形状等で指定することも可能である。
図4〜図5の例では、第2表示領域2はプロファイル指定線Lの下方に確保される。第2表示領域2の位置は、第1表示領域1の端部やプロファイル指定線Lの近傍など、表示位置を指定することもできる。本実施の形態では、図7に示すように、設定画面Sからユーザが所望の位置を選択できる。図7の例では、プロファイル指定線の近傍か、画面の端部か、非表示のいずれかをラジオボタンで選択する。さらに図7の例では、プロファイル指定線の指定中と、プロファイル指定線の確定後とで表示位置の設定を個別に行えるよう構成している。あるいは表示位置を任意の位置に固定することもできる。また表示された第2表示領域を移動可能に構成してもよい。例えばマウスドラッグにより第2表示領域を移動可能とすることもできる。
図8は、第2表示領域2を端部に表示させる例を、図9はプロファイル指定線近傍に表示させる例を、それぞれ示している。近傍表示は、例えばデスクトップが狭い場合や表示倍率を上げた場合など、第1表示領域のウィンドウサイズが画像データのサイズに比して狭く、端部が表示できない場合に好適に利用できる。図10に示すように、下端を表示するには画面をスクロールしなければならない場合は、第2表示領域2を表示されず、実画像とプロファイルとの対比確認が困難になる。このような場合に、図9に示すような近傍表示によってスクロールすることなく第2表示領域2を表示できるので、使い勝手のよい観察が可能となる。
また、第1表示領域1におけるプロファイル指定線Lの位置に応じて、自動的に第2表示領域2の展開位置を調整することもできる。例えば図11に示すように、第1表示領域1の下方でプロファイル指定線Lを指定した場合は、そのままでは第2表示領域2が第1表示領域1からはみ出してしまうため、自動的に上方にシフトさせて表示させる。図11の例では、第2表示領域2内にプロファイル指定線Lが重なって表示されている。あるいは、第2表示領域2をさらに上方にシフトさせて、プロファイル指定線Lの上方に第2表示領域2を表示させてもよい。同様に、図12に示すように第1表示領域1の右方でプロファイル指定線Lを指定した場合には第2表示領域2が左方にシフトされて表示される。逆に第1表示領域の左方でプロファイル指定線を指定した場合には右方に第2表示領域を確保するなど、プロファイル指定線の指定位置に応じて広く利用可能な領域に第2表示領域を確保するよう自動的に設定することもできる。このように、第1表示領域のウィンドウサイズやプロファイル指定線の位置等に応じて、第2表示領域を表示させる位置を自動的に調整し、ユーザが余分な操作をすることなくプロファイルグラフを確認できるようにすることで、使い勝手のよい見易い表示が得られる。
さらに、第2表示領域には寸法などのスケールを表示することもできる。図4〜図6の例では、第2表示領域2においてプロファイル指定線Lを指定した始点の高さを表示(図4の例では9.37μm)すると共に、基準となる0点(0.00μm)も併せて表示される。また必要に応じて、プロファイル指定線に含まれる最大高さや最小高さ、平均高さなどを表示させることも可能である。さらに縦軸や横軸に目盛りを付すことでスケールの把握を容易にすることもできる。
なお図4〜図6の例では、観察対象となる画像データに重ねて等高線Tを表示している。等高線Tによって、平面画像の高さを視覚的に把握できる。また等高線Tの表示はON/OFF可能である。また等高線に、高さ毎に着色してもよく、これによってさらに視覚的に高さを把握し易くできる。
さらに、上記のプロファイル指定線の指定方法は、始点と終点の方向によらず、プロファイル指定線に沿ってプロファイルグラフを描画している。従来のプロファイルグラフ描画手法では、プロファイル指定線の指定された順にプロファイルグラフを左から右に描画していた。したがって、プロファイル指定線を左から右に指定すれば、プロファイル指定線とプロファイルグラフの方向が一致するが、逆にプロファイル指定線を右から左に引くように指定すると、図2(a)、(b)に示すように、描画されたプロファイルグラフの左右がプロファイル指定線と反転し、対比し難くなるという問題があった。これに対し本実施の形態では、図2(c)に示すように、プロファイル指定線の指定順序によらず、プロファイル指定線の方向とプロファイルグラフの方向が一致するように第2表示領域2を表示している。見方を変えると、終点を先に指定してから始点を指定したものと解釈するように自動的にプロファイルグラフの描画を切り替え、第1表示領域1と第2表示領域2の表示方向を一致させるものである。特に、本実施の形態ではリアルタイムでプロファイル指定線と対応するプロファイルグラフを描画することが可能であることと相俟って、指定順序で左右が反転することのない一定したプロファイルグラフを表示し、見易いプロファイルグラフを速やかに表示して簡便な確認が行える。
(各種計測処理)
(各種計測処理)
また、プロファイル表示装置は、各種の測定を行うこともできる。この手順を、図13及び図14に基づいて説明する。なお、上記図4〜図6も含めて、図示したイメージ図はプロファイル表示プログラムのユーザインターフェース画面の一例を示している。また図13及び図14の例では、説明のため同じウィンドウサイズにして並べた状態を示しているが、各ウィンドウは、各々任意のサイズに変更して自由に配置することができる。これらの図に示すプロファイル表示プログラムは、形状測定のための機能として、上述の手順でプロファイルグラフPを表示し、そのグラフ上に計測設定をすることで、水平距離の演算、2点間高度差、2点間角度、断面積、R(半径)、交点角度、交点間距離等を計測することができる。これらプロファイル表示用ウィンドウ20の表示や各種の計測機能は、既存の技術及び将来開発される技術が適宜利用できる。
本実施の形態では、実画像を表示する第1表示領域1と同一スケールでプロファイルグラフPを表示した第2表示領域2を重ねて表示部70に表示させることにより、実画像上でプロファイルグラフPに対して計測処理のための計測設定を行うことができる。計測設定後に計測処理を実行すると、図13に示すようにプロファイル表示用ウィンドウ20の計測結果表示領域22に、計測結果が表示される。
図13及び図14の例では、プロファイル指定線Lを指定すると、第1表示領域1である平面画像表示用ウィンドウ10に第2表示領域2が重ねて表示されると共に、プロファイルを表示する専用のプロファイル表示用ウィンドウ20が別画面で表示される。プロファイル表示用ウィンドウ20は、計測結果を表示するための計測結果表示領域22を備えている。これらの図では、平面画像表示用ウィンドウ10とプロファイル表示用ウィンドウ20とを上下に並べて表示しているが、これらのウィンドウは別画面であり、上述の通り任意の位置にそれぞれ配置し、さらに任意のサイズに変更するなど、各ウィンドウは独立して表示形態を変更可能であることはいうまでもない。
このように、プロファイルグラフPは、平面画像表示用ウィンドウ10に重ねて表示される第2表示領域2と、プロファイル表示用ウィンドウ20に同時に表示されている。図13から明らかなように、平面画像表示用ウィンドウ10におけるプロファイル表示は、同一倍率にて重ねて表示されているため凹凸の状態が確認し易い。一方のプロファイル表示用ウィンドウ20では、計測結果表示を主目的としているため、より詳細な観察が可能なように重ね合わせ表示を行わず、プロファイルグラフP2を拡大したり、より詳細なスケール表示やグリッド表示等を付加するといった処理が行われる。この例では、プロファイル表示用ウィンドウ20は平面画像表示用ウィンドウ10とは独立した表示倍率にてプロファイルグラフP2が表示されているため、第2表示領域2における表示サイズとは一致しない。ただ、これらを一致させるようにプロファイル表示用ウィンドウ20の表示サイズを自動的に調整することも可能であり、さらに表示位置も平面画像表示用ウィンドウにおけるプロファイル指定線Lに沿った位置となるよう位置合わせさせることも可能である。
(計測設定)
(計測設定)
次に、計測処理のための計測設定を行う例を図13に基づいて説明する。まず平面画像表示用ウィンドウ10上でプロファイル指定線Lを指定する。上述の通りマウス81などの入力デバイス80で平面画像表示用ウィンドウ10上の任意の位置で始点を指定すると、平面画像表示用ウィンドウ10上に第2表示領域2が表示されて、終点の位置を決定するまでの間リアルタイムでプロファイルグラフPが表示される。同様に、プロファイル表示用ウィンドウ20においてもプロファイルグラフP2が表示される。さらに計測結果表示領域22には、測定値がリアルタイムで更新される。
また、プロファイル指定線L上の領域内でプロファイル指定線Lに沿って部分的に複数の区間Kを指定することも可能である。プロファイル表示用ウィンドウ20では、指定された各区間毎に様々な計測処理を行うことができる。図13の例では、平面画像表示用ウィンドウ10上で1−1で区画された区間K1と、2−2で区画された区間K2の2つを指定しており、これら各区間における計測として、水平距離、高度差、角度、断面積などを演算し、プロファイル表示用ウィンドウ20の計測結果表示領域22に計測結果が表示される。図13の表示例では区間K2が選択されてプロファイル表示用ウィンドウ20内にてハイライト表示されると共に、計測結果表示領域22の区間K2の行が反転表示されている。また区間Kの指定作業中においても、リアルタイムで計測結果表示領域22に計測結果がリアルタイムで更新される。
(設定保存機能)
(設定保存機能)
さらに本実施の形態に係るプロファイル表示装置は、計測設定条件を再利用することが可能であり、これによって同様の設定作業を簡素化あるいは定型化できる。この様子を図13および図14に基づいて説明する。まず図13において指定されたプロファイル指定線Lおよび区間Kの計測設定をコピーする。そして、平面画像表示用ウィンドウ10の表示を図14に示すような同一画像データの異なる部位や異なる画像データに切り替えた状態で、貼り付け位置をマウスクリックなどで指定して貼り付けを行う。これにより、コピーされた計測設定が平面画像表示用ウィンドウ10上に再現されるので、異なる部位や画像データにおけるプロファイルグラフPの観測や各種計測が該計測設定に基づいて実行される。また計測結果表示領域22にも計測結果が演算して表示される。プロファイル指定線Lや区間Kの設定は、自由に移動、変更することが可能であり、これによって大まかな設定の微調整が可能で、設定作業を簡素化できる。この機能は、特に良品検査やリファレンスとの対比など、測定部位が決まっているワークに対して有効に利用できる。例えばワークの形状が一定幅で延長されている場合などは、別の部位を計測するために新たに位置を指定してプロファイル指定線Lや区分を設定することなく、前回の設定をそのまま生かしてプロファイル指定線Lを平行移動させることにより、再設定の手間を省力化できる。コピーや貼り付けは、図13、図14の画面上のボタンを操作して行う他、ショートカットボタンの割り当てや専用ボタンを用意するなどの構成も利用できる。また、設定をファイルやデータの形式で保存して呼び出して再利用する形態も利用できる。あるいは使用頻度の高い計測設定条件を予め用意しておくことも可能である。
また、計測設定をコピーした位置によってプロファイル指定線が画面を平面画像表示用ウィンドウ10を部分的にはみ出てしまう場合は、有効な区間のみについて演算が実行され計測結果表示領域22に計測結果が表示される。なお、移動の際は、プロファイル指定線Lが平面画像表示用ウィンドウ10からはみ出ないように移動が制限される。
(プロファイル表示機能付変位計)
(プロファイル表示機能付変位計)
以上のプロファイル表示装置は、デジタルマイクロスコープ等の拡大観察装置や蛍光顕微鏡、電子顕微鏡、あるいは変位計など、2次元画像データに高さ情報を取得可能な撮像装置に適用できる。一例として、プロファイル表示機能を付加した変位計を図15に示す。この図に示す変位計は、発光部としてレーザダイオード212と、レーザダイオード212から出射される光を平行光に変換するコリメートレンズ214と、対物レンズ215と、対物レンズ215を保持する音叉221と、光軸方向に音叉221を振動させるための加振部であるソレノイド224と、ソレノイド224で振動される音叉221の位置を検出する位置検出部である音叉振幅検出部222を備える。またこの変位計は、被測定物216からの反射光が通過する光絞り部217にピンホール217aを形成している。さらに光絞り部217のピンホール217aの位置には、受光部としてホトダイオード218が設けられる。レーザパワー制御部211で駆動されるレーザダイオード212の出射光は、ビームスプリッタ213と、コリメートレンズ214と対物レンズ215とを順次通過して、被測定物216に投射される。被測定物216からの反射光は、対物レンズ215と、コリメートレンズ214とを通ってハーフミラーを構成するビームスプリッタ213で反射され、光絞り部217のピンホール217aを通ってホトダイオード218へ入射する。ホトダイオード218で光電変換した信号は、増幅器219へ入力され、その出力信号Xは演算部220へ入力される。U字状に形成された音叉221の一側長寸部の先端には、対物レンズ215の周縁部分が取付けられている。対物レンズ215は、音叉221の振動により、レーザダイオード212の出射光の光軸方向に所定の振幅で振動される。音叉221の一側長寸部の先端側の側方には、位置検出部として音叉振幅検出部222が配設されている。音叉振幅検出部222は、例えば磁気、光又は静電容量を利用したセンサが利用でき、音叉221の振幅位置を検出することで、音叉221に接続された対物レンズ215の位置を検出する。なお位置検出部は、このように音叉の振幅を検出する他、音叉に連結されて振動される対物レンズの位置を直接検出する構成としても良い。
音叉振幅検出部222が検出した検出振幅信号は増幅器223へ入力され、その出力信号Yは演算部220へ入力される。音叉221の他側長寸部の先端側の側方には、音叉221を振動させるためのソレノイド224が配設されている。ソレノイド224は、音叉振幅制御部225から供給される制御電流によって駆動される。音叉振幅制御部225には、増幅器223の出力信号が与えられ、音叉221の振幅を一定になすように制御されるよう構成される。なお音叉221は、例えば800Hz、振幅が±0.3mmで振動するものが利用できる。演算部220で演算されて出力される変位信号は、距離変換部250へ入力される。この変位計は、ホトダイオード218で受光した受光量が最大となる時点での対物レンズ215の位置を音叉振幅検出部222で検出し、これに基づいて被測定物216での光の反射点、すなわち表面の変位を、変位演算部である演算部220および距離変換部250で演算する。
次にこのように構成した変位計の動作を説明する。音叉振幅制御部225からソレノイド224に電流を供給すると、ソレノイド224により磁界が発生する。この発生磁界により音叉221が所定振幅で振動し、対物レンズ215を、それを通る光の光軸方向へ振動させる。音叉振幅検出部222は音叉221の振幅、即ち対物レンズ215の振幅を検出し、対物レンズ215の振幅たる正弦波信号を出力する。この正弦波信号を、増幅器223で増幅し、増幅器223から出力される出力信号Yを演算部220へ入力させる。一方、レーザパワー制御部211からレーザダイオード212に駆動電流を供給すると、レーザダイオード212はレーザ光を出射する。この出射光はビームスプリッタ213、コリメートレンズ214及び対物レンズ215を通って被測定物216へ投射される。被測定物216で反射した反射光は対物レンズ215とコリメートレンズ214を通ってビームスプリッタ213で反射して光絞り部217側へ投射され、ピンホール217aを透過した光のみがホトダイオード218へ入射する。そのため、ホトダイオード218には、被測定物216で生じた潜り光及びレーザダイオード212で発生した迷光による反射光はピンホール217aで遮られてピンホール217aを通らずホトダイオード218には、被測定物216に生じた合焦点の光のみが入射することになる。
ところで、対物レンズ215が振動させられているために、対物レンズ215と被測定物216との距離が変化し、所定距離に達した時点で、被測定物216に投射した光の合焦点が被測定物216に生じると、ホトダイオード218の受光出力は瞬時に最大となり、この受光出力に応じた信号が増幅器219へ入力され、増幅器219から出力信号Xが出力され演算部220へ入力される。演算部220は出力信号Xの極大値を検出することで、被測定物216に投射した光の合焦点が生じた時点を正確に検出することができる。演算部220は出力信号Xが極大値となる時点での出力信号Yのレベル、即ち対物レンズ215の振幅をサンプリングし、変位信号Sとして出力する。そしてサンプリングした変位信号Sを距離変換部250へ入力して、変位信号Sを、変位信号Sに応じた距離に変換して、被測定物216の表面の変位を測定する。
以上のようにして変位計は、指定された測定ポイントにおける変位量を測定する。さらに変位計は、測定ポイントを複数指定可能である。具体的には、入力デバイス280によって測定対象となる測定領域を指定する。測定領域は、円弧や直線等の線状で指定する。このようにして設定された測定領域内で、変位計は複数の測定ポイントにてそれぞれ変位量を測定する。そして測定された複数位置の変位量に基づいて、被測定物216の表面状態を知ることができる。例えば、測定領域における凹凸形状等を表示するプロファイル、傾き、最大高さ、最小高さ、平均高さ、高低差、厚み等を演算し、必要に応じて表示する。
対物レンズ215は対物レンズ走査部252によって移動される。図15に示す変位計は、対物レンズ走査部252としてサーボモータ252Aと、対物レンズ走査部252により対物レンズ215が移動された位置を検出する対物レンズ移動検出部253として、サーボモータ252Aの回転角を検出する回転角センサ253Aを備える。サーボモータ252Aは、加振部を構成する音叉221を保持する音叉ホルダ256に設けられた回転軸254を介して、加振部を回転自在に連結している。回転軸254は、加振部に連結された対物レンズ215が光軸と直交する平面に沿って移動させるように位置決めされる。図15においては、回転軸254は音叉ホルダ256の後端に貫通されて、音叉221を水平面内で回転させ、コリメートレンズ214からの平行光を対物レンズ215が垂直に受けられるように構成している。サーボモータ252Aの回転は、サーボモータ252Aに接続された走査位置制御部257によって制御される。走査位置制御部257は、演算処理部258から出力される走査位置制御信号に基づいてサーボモータ252Aの回転を制御する。またサーボモータ252Aの回転軸254には、対物レンズ移動検出部253として回転角センサ253Aが取り付けられ、回転角センサ253Aによって対物レンズ215の位置が検出される。回転角センサ253Aは対物レンズ移動位置信号を走査位置制御部257に送出し、走査位置制御部257は対物レンズ移動位置信号と走査位置制御信号に基づいて対物レンズ215の位置を正確に制御できる。また、走査位置制御部257は対物レンズ215の位置情報を演算部220に報告する。これによって、変位計は測定位置を把握しながら走査することができる。演算部220は対物レンズ215の位置情報を受けて、測定ポイント毎の変位量を距離変換部250で演算し、演算結果を演算処理部258に出力する。演算処理部258はメモリ部259を備えてなり、各測定ポイントにおける変位量を保持する。そして所定の演算処理を行い、その結果を必要に応じて出力する。例えばディスプレイに表示させる、プリンタに印刷する、記憶媒体に保存する、あるいはその他の処理のために外部機器に送出される。出力部266は、これらの処理に応じてディスプレイ等の表示部、プリンタ等の印刷部、ストレージデバイス等の媒体記録部、コンピュータ等の外部機器等が利用できる。なお演算部220と演算処理部258は、システムLSI等のICで構成でき、これらを同一の回路で構成することもできる。
さらに演算処理部258はプロファイル表示回路200を備えている。プロファイル表示回路200は図15で示したプロファイル表示装置と同様の構成を採用でき、これによって変位計において上述したプロファイル表示機能を実現する。変位計は共焦点の原理を利用して金属や樹脂等の表面の変位や高度差、傾き、プロファイルなどを測定、表示するものであり、プロファイルグラフを実画像に重ねて表示したり、計測設定のコピーを可能とすることで対比観察を容易にし、また使い勝手を向上させた変位計とできる。
本発明のプロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器は、変位計やデジタルマイクロスコープなどの拡大観察装置、蛍光顕微鏡や電子顕微鏡等、高さ情報を有する2次元画像データを取得可能な装置や、これらの装置で取得された画像データに処理、加工を行う画像処理装置に好適に適用できる。
100…プロファイル表示装置;200…プロファイル表示回路
1…第1表示領域;2…第2表示領域
10…平面画像表示用ウィンドウ;20…プロファイル表示用ウィンドウ
22…計測結果表示領域
30…画像取得部;40…演算部;41…プロファイル演算部
50…描画部;51…第1描画部;52…第2描画部
60…画像出力部;70…表示部
80、280…入力デバイス;81…マウス;82…キーボード
211…レーザパワー制御部;212…レーザダイオード
213…ビームスプリッタ;214…コリメートレンズ
215…対物レンズ;216…被測定物
217…光絞り部;217a…ピンホール
218…ホトダイオード;219…増幅器;220…演算部
221…音叉;222…音叉振幅検出部
223…増幅器;224…ソレノイド;225…音叉振幅制御部
250…距離変換部;252…対物レンズ走査部;252A…サーボモータ
253…対物レンズ移動検出部;253A…回転角センサ
254…回転軸;256…音叉ホルダ;257…走査位置制御部
258…演算処理部;259…メモリ部;266…出力部
L…プロファイル指定線;P,P2…プロファイルグラフ
S…設定画面;T…等高線;K1、K2…区間
1…第1表示領域;2…第2表示領域
10…平面画像表示用ウィンドウ;20…プロファイル表示用ウィンドウ
22…計測結果表示領域
30…画像取得部;40…演算部;41…プロファイル演算部
50…描画部;51…第1描画部;52…第2描画部
60…画像出力部;70…表示部
80、280…入力デバイス;81…マウス;82…キーボード
211…レーザパワー制御部;212…レーザダイオード
213…ビームスプリッタ;214…コリメートレンズ
215…対物レンズ;216…被測定物
217…光絞り部;217a…ピンホール
218…ホトダイオード;219…増幅器;220…演算部
221…音叉;222…音叉振幅検出部
223…増幅器;224…ソレノイド;225…音叉振幅制御部
250…距離変換部;252…対物レンズ走査部;252A…サーボモータ
253…対物レンズ移動検出部;253A…回転角センサ
254…回転軸;256…音叉ホルダ;257…走査位置制御部
258…演算処理部;259…メモリ部;266…出力部
L…プロファイル指定線;P,P2…プロファイルグラフ
S…設定画面;T…等高線;K1、K2…区間
Claims (11)
- 高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域に、平面画像を表示するためのデータを送出する第1描画部と、
平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、
前記指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する第2描画部と、
前記プロファイルグラフを表示するための領域である第2表示領域を、第1表示領域上に重ねて表示させるための画像出力部と、
を備えることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 高さ情報を含む画像データの平面画像を表示可能な第1表示領域と、
前記平面画像上に、高さ情報から取得されるプロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定するための指定部と、
前記指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画する描画部と、
前記プロファイルグラフを表示するための領域であり、前記第1表示領域上に重ねて表示可能な第2表示領域と、
を備えることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1または2に記載されるプロファイル表示装置であって、
前記描画部は、第2表示領域に描画するプロファイルを、平面画像の表示倍率と略一致させて描画可能であることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載されるプロファイル表示装置であって、
前記第2表示領域は、前記第1表示領域において指定部で指定されたプロファイル指定線の上方又は下方に配置可能に構成してなることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載のプロファイル表示装置であって、
前記指定部が、プロファイル指定線の始点および終点を指定することによりプロファイル指定線を指定するものであり、
一方前記描画部は、始点および終点の指定順序によらず、指定されたプロファイル指定線と沿って対応するプロファイルグラフが前記第2表示領域に表示されることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載のプロファイル表示装置であって、
前記第2表示領域におけるプロファイルの表示が、前記指定部によるプロファイル指定線の指定中にリアルタイムで更新されることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載のプロファイル表示装置であって、
前記第2表示領域が、前記第1表示領域中において指定されたプロファイル指定線の位置に応じて、第1表示領域中の未使用領域に自動的に変更されることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載のプロファイル表示装置であって、
前記第1表示領域中において指定されたプロファイル指定線の位置が前記第1表示領域の端部近傍である場合、前記第2表示領域が該第1表示領域の中央側にシフトして表示されることを特徴とするプロファイル表示装置。 - 高さ情報を含む画像データの平面画像上において、所望の領域を指定して断面に相当するプロファイルグラフを表示するためのプロファイル表示方法であって、
高さ情報を含む画像データの平面画像を表示する第1表示領域上で、プロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定する工程と、
前記指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画すると共に、前記プロファイルグラフを表示する領域として第2表示領域を、前記第1表示領域上に重ねて表示する工程と、
を有することを特徴とするプロファイル表示方法。 - 高さ情報を含む画像データの平面画像上において、所望の領域を指定して断面に相当するプロファイルグラフを表示するためのプロファイル表示プログラムであって、コンピュータに
高さ情報を含む画像データの平面画像を表示する第1表示領域上で、プロファイルグラフを表示したい領域をプロファイル指定線で指定する機能と、
前記指定部で指定されたプロファイル指定線を断面とするプロファイルグラフを、画像データの高さ情報を取得して描画すると共に、前記プロファイルグラフを表示する領域として第2表示領域を、前記第1表示領域上に重ねて表示する機能と、
を実現させることを特徴とするプロファイル表示プログラム。 - 請求項10に記載のプロファイル表示プログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004310235A JP2006119107A (ja) | 2004-10-25 | 2004-10-25 | プロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004310235A JP2006119107A (ja) | 2004-10-25 | 2004-10-25 | プロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006119107A true JP2006119107A (ja) | 2006-05-11 |
Family
ID=36537115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004310235A Pending JP2006119107A (ja) | 2004-10-25 | 2004-10-25 | プロファイル表示装置、プロファイル表示方法、プロファイル表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006119107A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010107875A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡システム |
US8923555B2 (en) | 2010-10-29 | 2014-12-30 | Keyence Corporation | Image measuring device, image measuring method, and computer program |
-
2004
- 2004-10-25 JP JP2004310235A patent/JP2006119107A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010107875A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡システム |
US8923555B2 (en) | 2010-10-29 | 2014-12-30 | Keyence Corporation | Image measuring device, image measuring method, and computer program |
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