JP2006118028A - 選択的層形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹凸形状を有する基板1に対して金属、金属化合物、無機化合物、有機化合物、又は炭素材料の粒子を蒸着、又は堆積させることにより、基板1の凹凸面上に前記金属などの層2を形成し、且つ、基板1の凹部1aと凸部1bにおける前記金属などの層2a,2bの厚さを制御した選択的な層形成を行う選択的層形成方法であって、隣接する凸部頂点間距離lが10nm〜500nm、凹部の深さhが10nm〜1μmの凹凸形状を有する基板1に対して、基板平面上に厚さtの層を形成する条件で、前記金属などの粒子を蒸着、又は堆積させることにより、基板1の凹部1aの層2aの厚さt1がt>t1、凸部1bの層2bの厚さt2がt<t2となる層2が形成される。
【選択図】 図1
Description
以下に、上記選択的層形成方法を用いた検討結果を実施例および比較例として説明する。すなわち上記条件の微細な凹凸形状を有する基板の凹部と凸部に、凹部の層厚t1がt>t1、凸部の層厚t2がt<t2となる層が形成されることの検討結果について説明する。
以下の要領にて微細な凹凸構造を有する基板を作成し、後述する実施例および比較例における選択的層形成の基材として用いた。なお、以下に説明する微細な凹凸構造を有する基板は例示であって、本発明に係る選択的層形成方法に用いる基材が後述する基板に限定されるものではない。
凸部頂点間距離l(以下、ピッチともいう)が144nmのライン&スペース凹凸構造を有するニッケル製基板をスタンパとし、樹脂としてポリスチレン、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、PMMAのそれぞれ0.3mm厚シートを用いて熱プレスによって樹脂シートにニッケル製スタンパの凹凸構造を転写した。具体的には熱プレスはニッケル製スタンパの上にそれぞれの樹脂シートを固定し、真空雰囲気下で加熱を行い、それぞれの樹脂のガラス転移温度(以下Tgと記す)以上の温度において、0.98〜9.8MPa(10〜100kgf/cm2)の圧力をかけてプレス操作を行い、続いて加圧状態を保持したままTg以下に温度を下げて、スタンパを離型することによってニッケル製スタンパの凹凸構造を精密に転写することができた。前述の144nmピッチの凹凸構造を有するスタンパは、凹凸の深さが120nmのものを用いた。そして、この凹凸構造を有するスタンパを用いてパターン転写した144nmピッチ基板の凹凸の深さhは100nmであった。図2(a)に、前述の144nmピッチの凹凸構造を有する基板を示す。なお、前述したそれぞれの樹脂のガラス転移温度は、ポリスチレン:94℃,シクロオレフィンポリマー:105℃,ポリカーボネート:137℃,PMMA:107℃であり、以下に説明する樹脂のガラス転移温度も同様である。
凸部頂点間距離が250nmのライン&スペース凹凸構造を有するニッケル製基板をスタンパとし、樹脂としてポリスチレン、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、PMMAのそれぞれ0.3mm厚シートを用いて熱プレスによって樹脂シートにニッケル製スタンパの凹凸構造を転写した。具体的には熱プレスはニッケル製スタンパの上にそれぞれの樹脂シートを固定し、真空雰囲気下で加熱を行い、それぞれの樹脂のガラス転移温度(以下Tgと記す)以上の温度において、0.98〜9.8MPa(10〜100kgf/cm2)の圧力をかけてプレス操作を行い、続いて加圧状態を保持したままTg以下に温度を下げて、スタンパを離型することによってニッケル製スタンパの凹凸構造を精密に転写することができた。前述の250nmピッチの凹凸構造を有するスタンパは、凹凸の深さが220nmのものを用いた。そして、この凹凸構造を有するスタンパを用いてパターン転写した250nmピッチ基板の凹凸の深さhは150〜170nmであった。
凸部頂点間距離が600nmのライン&スペース凹凸構造を有するニッケル製基板をスタンパとし、樹脂としてポリスチレン、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、PMMAのそれぞれ0.3mm厚シートを用いて熱プレスによって樹脂シートにニッケル製スタンパの凹凸構造を転写した。具体的には熱プレスはニッケル製スタンパの上にそれぞれの樹脂シートを固定し、真空雰囲気下で加熱を行い、それぞれの樹脂のガラス転移温度(以下Tgと記す)以上の温度において、0.98〜9.8MPa(10〜100kgf/cm2)の圧力をかけてプレス操作を行い、続いて加圧状態を保持したままTg以下に温度を下げて、スタンパを離型することによってニッケル製スタンパの凹凸構造を精密に転写することができた。前述の600nmピッチの凹凸構造を有するスタンパは、凹凸の深さが350nmのものを用いた。そして、この凹凸構造を有するスタンパを用いてパターン転写した600nmピッチ基板の凹凸の深さhは300nmであった。
平面基板上に釣鐘形状の柱状構造が規則的に形成された凹凸基板において、柱状構造の凸部頂点間距離が285nmの凹凸構造を有するニッケル製基板をスタンパとし、樹脂としてポリスチレン、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、PMMAのそれぞれ0.3mm厚シートを用いて熱プレスによって樹脂シートにニッケル製スタンパの凹凸構造を転写した。具体的には熱プレスはニッケル製スタンパの上にそれぞれの樹脂シートを固定し、真空雰囲気下で加熱を行い、それぞれの樹脂のガラス転移温度(以下Tgと記す)以上の温度において、0.98〜9.8MPa(10〜100kgf/cm2)の圧力をかけてプレス操作を行い、続いて加圧状態を保持したままTg以下に温度を下げて、スタンパを離型することによってニッケル製スタンパの凹凸構造を精密に転写することができた。前述の285nmピッチの凹凸構造を有するスタンパは、凹凸の深さが320nmのものを用いた。そして、この凹凸構造を有するスタンパを用いてパターン転写した285nmピッチ基板の凹凸の深さhは300nmであった。
「真空蒸着法を用いた金属の蒸着」
電子ビーム真空蒸着法(EB蒸着法)を用いて真空蒸着による凹凸基板への金属の積層を行った。本実施例では金属としてアルミニウム(Al)を用いた場合を例示している。凹凸基板として、上記1)、2)記載の方法で作成した微細凹凸構造基板を用い、真空度2×10−5torr、蒸着速度4Å/min、常温下においてアルミニウムの蒸着を行った。層厚比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を微細凹凸構造基板と同時に装置に仕込み、平滑基板へのアルミニウム蒸着厚みtが50nmとなるように蒸着操作を行ったところ、凹凸構造への蒸着状態は、上記1)で作成した144nmピッチ凹凸基板の場合、凸部においては厚みt2が180〜220nm、凹部においては厚みt1が10〜20nmとなり、また上記2)で作成した250nmピッチ凹凸基板の場合は、凸部においては厚みt2が150〜180nm、凹部においては厚みt1が20〜30nmとなり、どちらの場合においてもアスペクト比の変化が確認され、当初の基板の凹凸のアスペクト比より大きい高アスペクト比の凹凸パターンが得られた。また同様の操作を抵抗加熱式真空蒸着法、スパッタリング法を用いて行った際も、上記と同様の蒸着状態となり、アスペクト比の変化が確認され、選択的な積層が行われていることが確認された。
「スパッタリング法を用いた金属化合物の積層」
スパッタリング法による凹凸基板への金属化合物の積層を行った。本実施例では金属化合物としてITO(インジウム錫酸化物)を用いた場合を例示している。凹凸基板として、上記1)、2)記載の方法で作成した微細凹凸構造基板を用い、ITOの蒸着を行った。層厚比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を微細凹凸構造基板と同時に装置に仕込み、平滑基板へのITO蒸着厚みtが30nmとなるように蒸着操作を行ったところ、凹凸構造への蒸着状態は、上記1)で作成した144nmピッチ凹凸基板の場合、凸部においては厚みt2が50〜60nm、凹部においては厚みt1が5〜10nmとなり、また上記2)で作成した250nmピッチ凹凸基板の場合は、凸部においては厚みt2が40〜50nm、凹部においては厚みt1が10〜15nmとなり、どちらの場合においてもアスペクト比の変化が確認され、選択的な積層が行われていることが確認された。すなわち、前述した実施例1と同様に、当初の基板の凹凸のアスペクト比より大きい高アスペクト比の凹凸パターンが得られた。
「Moth−eye構造への無機化合物の蒸着」
電子ビーム真空蒸着法(EB蒸着法)を用いた凹凸基板への無機化合物の積層を行った。本実施例では無機化合物として二酸化ケイ素(SiO2)を用いた場合を例示している。凹凸基板として、上記4)記載の方法で作成した微細凹凸構造基板を用い、真空度2×10−5torr、蒸着速度4Å/minの条件下においてSiO2の蒸着を行った。層厚比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を微細凹凸構造基板と同時に装置に仕込み、平滑基板へのSiO2蒸着厚みtが50nmとなるように蒸着操作を行ったところ、凹凸構造への蒸着状態は、上記4)で作成したMoth−eye凹凸基板の場合、凸部においては厚みt2が150〜180nm、凹部においては厚みt1が20〜30nmとなり、アスペクト比の変化が確認され、当初の基板の凹凸のアスペクト比より大きい高アスペクト比の凹凸パターンが得られた。また同様の操作を抵抗加熱式真空蒸着法、スパッタリング法を用いて行った際も、上記と同様の蒸着状態となり、アスペクト比の変化が確認され、選択的な積層が行われていることが確認された。
「スパッタリング法を用いた無機化合物の積層」
スパッタリング法を用いた凹凸基板への無機化合物の積層を行った。本実施例では無機化合物として二酸化ケイ素(SiO2)を用いた場合を例示している。凹凸基板としては、上記1)記載の方法で作成した微細凹凸構造基板を用い、SiO2の蒸着を行った。層厚比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を微細凹凸構造基板と同時に装置に仕込み、平滑基板へのSiO2蒸着厚みtが30nmとなるように蒸着操作を行ったところ、凹凸構造への蒸着状態は、上記1)で作成した144nmピッチ凹凸基板の場合、凸部においては厚みt2が110〜120nm、凹部においては厚みt1が5〜15nmとなり、アスペクト比の変化が確認され、選択的な積層が行われていることが確認された。すなわち、前述した実施例と同様に、当初の基板の凹凸のアスペクト比より大きい高アスペクト比の凹凸パターンが得られた。なお、図2(a),(b)はそれぞれ、積層前の基板、積層後の基板の凹凸構造を示す。積層前および積層後の各基板の微細な凹凸構造は前述したように走査型電子顕微鏡を用いて確認を行った。この図2からも明らかなように、積層後の基板の微細凹凸構造は、図2(a),(b)に示すようにピッチ144nmをほぼ維持したまま、図2(b)に示すように深さが250nmとなっている。このように、各凸部間が目詰まりすることなく、当初の各凸部間の間隔をほぼ維持し、且つ当初の凸部線幅をほぼ維持したまま、各凸部の高さのみを高く(すなわち凹凸深さを深く)することができ、当初の基板の凹凸のアスペクト比より大きい高アスペクト比の凹凸パターンが得られた。
「真空蒸着法を用いた600nmピッチ凹凸基板への金属の蒸着」
電子ビーム真空蒸着法(EB蒸着法)を用いて真空蒸着による凹凸基板への金属の積層を行った。比較例1では金属としてアルミニウム(Al)を用いた場合を例示している。凹凸基板として、上記3)記載の方法で作成した微細凹凸構造基板を用い、真空度2×10−5torr、蒸着速度4Å/min、常温下においてアルミニウムの蒸着を行った。層厚比較用サンプルとして表面が平滑なガラス基板を微細凹凸構造基板と同時に装置に仕込み、平滑基板へのアルミニウム蒸着厚みtが50nmとなるように蒸着操作を行ったところ、凹凸構造への蒸着状態は、上記3)で作成した600nmピッチ凹凸基板の場合、凸部、凹部ともに厚みt2,t1が50nmとなり、アスペクト比の変化は確認されなかった。また同様の操作を抵抗加熱式真空蒸着法、スパッタリング法を用いて行った際も、上記と同様の蒸着状態となり、アスペクト比の変化は確認されず、選択的な積層は行われなかった。
l …凸部頂点間距離
t …層の厚さ
t1 …凹部の層の厚さ
t2 …凸部の層の厚さ
1 …基板
1a …凹部
1b …凸部
2 …層
2a …凹部の層
2b …凸部の層
Claims (1)
- 凹凸形状を有する基板に対して金属、金属化合物、無機化合物、有機化合物、又は炭素材料の粒子を蒸着、又は堆積させることにより、前記基板の凹凸面上に前記金属、金属化合物、無機化合物、有機化合物、又は炭素材料の層を形成し、且つ、前記基板の凹部と凸部における前記金属、金属化合物、無機化合物、有機化合物、又は炭素材料の層の厚さを制御した選択的な層形成を行う選択的層形成方法であって、
隣接する凸部頂点間距離lが10nm〜500nm、凹部の深さhが10nm〜1μmの凹凸形状を有する基板に対して、基板平面上に厚さtの層を形成する条件で、前記金属、金属化合物、無機化合物、有機化合物、又は炭素材料の粒子を蒸着、又は堆積させることにより、前記基板の凹部の層厚t1がt>t1、凸部の層厚t2がt<t2となる層が形成されることを特徴とする選択的層形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004309585A JP2006118028A (ja) | 2004-10-25 | 2004-10-25 | 選択的層形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004309585A JP2006118028A (ja) | 2004-10-25 | 2004-10-25 | 選択的層形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006118028A true JP2006118028A (ja) | 2006-05-11 |
Family
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7351346B2 (en) | 2004-11-30 | 2008-04-01 | Agoura Technologies, Inc. | Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths |
US7561332B2 (en) | 2004-11-30 | 2009-07-14 | Agoura Technologies, Inc. | Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers |
-
2004
- 2004-10-25 JP JP2004309585A patent/JP2006118028A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7351346B2 (en) | 2004-11-30 | 2008-04-01 | Agoura Technologies, Inc. | Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths |
US7561332B2 (en) | 2004-11-30 | 2009-07-14 | Agoura Technologies, Inc. | Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers |
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