JP2006117501A - ガラス・コーティング - Google Patents

ガラス・コーティング Download PDF

Info

Publication number
JP2006117501A
JP2006117501A JP2005013604A JP2005013604A JP2006117501A JP 2006117501 A JP2006117501 A JP 2006117501A JP 2005013604 A JP2005013604 A JP 2005013604A JP 2005013604 A JP2005013604 A JP 2005013604A JP 2006117501 A JP2006117501 A JP 2006117501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
zno
glass coating
ion irradiation
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005013604A
Other languages
English (en)
Inventor
Gerd Kleideiter
ゲルト・クライダイター
Anton Zmelty
アントン・ツメルティ
Michael Geisler
ミヒャエル・ガイスラー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applied Materials GmbH and Co KG
Original Assignee
Applied Films GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Applied Films GmbH and Co KG filed Critical Applied Films GmbH and Co KG
Publication of JP2006117501A publication Critical patent/JP2006117501A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47CCHAIRS; SOFAS; BEDS
    • A47C7/00Parts, details, or accessories of chairs or stools
    • A47C7/36Support for the head or the back
    • A47C7/40Support for the head or the back for the back
    • A47C7/46Support for the head or the back for the back with special, e.g. adjustable, lumbar region support profile; "Ackerblom" profile chairs
    • A47C7/462Support for the head or the back for the back with special, e.g. adjustable, lumbar region support profile; "Ackerblom" profile chairs adjustable by mechanical means
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47CCHAIRS; SOFAS; BEDS
    • A47C7/00Parts, details, or accessories of chairs or stools
    • A47C7/36Support for the head or the back
    • A47C7/40Support for the head or the back for the back
    • A47C7/42Support for the head or the back for the back of detachable or loose type
    • A47C7/425Supplementary back-rests to be positioned on a back-rest or the like
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47CCHAIRS; SOFAS; BEDS
    • A47C7/00Parts, details, or accessories of chairs or stools
    • A47C7/36Support for the head or the back
    • A47C7/40Support for the head or the back for the back
    • A47C7/44Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame
    • A47C7/441Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame with adjustable elasticity
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47CCHAIRS; SOFAS; BEDS
    • A47C7/00Parts, details, or accessories of chairs or stools
    • A47C7/36Support for the head or the back
    • A47C7/40Support for the head or the back for the back
    • A47C7/44Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame
    • A47C7/443Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame with coil springs
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3423Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings comprising a suboxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366Low-emissivity or solar control coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0055Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by ion implantation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

【課題】 熱放射線を反射する層を厚くしないで、可視光線をよく透過する基板コーティングの断熱性を改善すること。
【解決手段】 本発明は、ガラス・コーティングおよびガラス・コーティングを形成するための方法に関する。ガラス・コーティングは、ZnOの第1の層と、その上に堆積されたAgの第2の層からなる。ZnO層上にAg層を塗布する前に、ZnOがイオンにより照射される。
【選択図】 図2

Description

本発明は、請求項1の前文記載のガラス・コーティングに関する。
建築用ガラスのコーティングは、窓を通して室内に入ってくる光が室外の光と異なるように、日光のある波長または波長範囲を反射または吸収するために行われる。
このようなコーティングの重要な機能は、夏に室内があまり熱くならないように、また冬にあまり寒くならないように、熱放射線を反射することである。しかし、この場合、可視光線の透過を有意に低減すべきではない。すなわち、コーティングは、可視光線範囲の放射線をよく透過し、熱または赤外線をよく反射するものでなければならない。
この機能を行うコーティング・システムは、低放射率(Low−E)コーティング・システムと呼ばれる。ここで、「E」は「放射率」を意味する。
重ねて5つの個々の層が堆積される鉱物ガラスのガラス板を基板として含む、低放射率コーティング・システムは周知である(DE42 113 63 A1)。この基板上には、厚さ400ÅのZnOの第1の層が堆積される。この第1の層上に厚さ90ÅのAgの第2の層が塗布される。第2の層上に堆積された第3の層は、厚さ約15Åの金属TiまたはにNiCrからなる。この第3の層上に厚さ320ÅのZnOの第4の層が塗布される。第4の層上には厚さ70ÅのTiOの第5の層が塗布される。この場合、銀の薄い層は本質的には赤外線を反射する層である。
WO95/29883号には、可視光線を透過し赤外線を反射するもう1つのコーティングが開示されている。このコーティングはガラス基板上に塗布され、また、少なくとも5つの層からなる。このガラス基板上には、第1の層として例えば、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム等のような酸化物が塗布される。第2の層は銀膜により形成され、第3の層は、スパッタ・プロセス中、下に位置する銀層を保護する金属層である。第3の層上には銀層が酸化するのを防止するためのもう1つの酸化金属層が位置する。第5の層すなわち最後の層は窒化珪素層により形成される。
もう1つの周知のコーティング・システムとしては、湾曲窓ガラスに適している断熱コーティング・システムがある(DE 198 50 023 A1=US 618 02 47 B1)。このコーティング・システムは、保護層で囲まれている貴金属の少なくとも1つのコーティングからなる。このようなコーティング・システムは、特にTiO−NiCrO−TiO−Ag−NiCrO−Siから形成することができる。
今までのところ、断熱効果の改善は、複雑な二重銀システムまたは分割銀コーティング・システムだけにより行われてきた。
DE42 113 63 A1 DE 198 50 023 A1 US 618 02 47 B1
本発明の目的は、熱放射線を反射する層を厚くしないで、可視光線をよく透過する基板コーティングの断熱性を改善することである。
この目的は、請求項1に記載の特徴により達成される。
本発明は、ガラス・コーティングおよびこのガラス・コーティングを形成するための方法に関する。ガラス・コーティングは、ZnOの第1の層およびその上に堆積されたAgの第2の層からなる。ZnO層上にAg層を塗布する前に、Zno層がイオンにより照射される。
本発明により達成される利点は、特に、銀層が塗布される層の特殊な前処理により、それ以上材料を塗布しなくても、その表面の抵抗を最大20%低減するように、熱放射線を反射する層のエピタキシャル成長に影響を与えることにある。この場合、熱放射線を反射する層は、好適には、銀であることが好ましく、銀が塗布される層は、好適には、ZnOであることが好ましい。このZnOの前処理は、好適には、イオン衝撃により行うことが好ましい。
銀には、少量の、すなわち10重量%未満のCu、Al、Nd、In、Yt、Sb、V等を混合することができる。ZnOまたはZnO:Alの代わりに、例えば、NiCr、NiCrO、TiO、TiO、W、WO、WO、Zr、ZrO、ZrOをエピタキシャル成長層用に使用することができる。
二重銀または分割銀低放射率コーティング・システムと比較すると、本発明を使用した場合には生産性を向上することができる。何故なら、個々の層の数が少なくてすみ、プロセスが簡単であるからである。この層形成方法は、またコスト・パフォーマンスの点でも優れている。何故なら、ターゲット材料が少なくてすみ、カソードの数が少なくてすむからである。コーティング設備全体を小形にすることができる。コーティング・システムが簡単だと、不合格品が少なくなり、保守作業が簡単になり、支出が少なくてすみ、消耗材料が少なくてすむ。単一銀低放射率コーティング・システムと比較すると、本発明により製造した製品の方が機能の点で優れている。焼戻しを行ったコーティング・システムの場合には、表面抵抗が最大15%低減する。それにより、透過率を0.040未満にすることができ、特に透過性を88%を超えるようにすることができる。
図面に本発明の例示としての実施形態を示し、以下にさらに詳細に説明する。
図1は、コーティング設備1の略図である。このコーティング設備1は、内部移送ロック・チャンバ2と、第1のコーティング・チャンバ3と、第2のコーティング・チャンバ4と、作業チャンバ5と、第3のコーティング・チャンバ6と、第4のコーティング・チャンバ7と、第5のコーティング・チャンバ8とを備える。
基板9は、移送手段(図示せず)により、内部移送ロック・チャンバ2から第1のコーティング・チャンバ3内に移動し、そこでTiOは交流電源10によりスパッタされる。この場合、セラミックTiOは、直流によってもスパッタすることができる。参照番号11は、対応するTiOターゲットを示す。ガラス板であってもよい基板9は、すでにTiO層によりコーティングされていて、この基板9は第2のコーティング・チャンバ4に移送され、そこでZnOターゲット13は、直流電源12を用いてスパッタされる。TiO層上に必要なZnO層が堆積されるとすぐに、基板9は作業チャンバ5内に移送される。この作業チャンバ5内にはイオン源14が位置していて、基板9のZnO層をイオンで放射する。その後で、基板は、第3のコーティング・チャンバ6内に移送され、そこで銀のターゲット16が直流源15によりスパッタされる。
銀の下のZnO層は底部阻止層として機能する。この層は銀層の特性に大きく影響する。例えば、この層は銀の層抵抗を低減するが、このことは導電性を改善するのと同じ効果がある。
これにより、光を反射する銀の性能が向上する。何故なら、透過率とコーティング・システムの表面抵抗との間には直接的な相関関係があるからである。表面抵抗が低ければ低いほど、コーティングの断熱性がよくなる。
下に位置するZnO層を通しての銀の表面抵抗の周知の低減は、本発明によりさらに改善され、それによりZnO層がイオン・ビームで照射される。それにより、銀層の放射率が改善され、可視範囲内の波長に対する高い透過性が同様に改善される。
イオンによりZnO表面を修正すると、以降の銀層のエピタキシャル成長に強力に影響する。銀の表面抵抗は、さらに銀を塗布しなくても最大20%低減する。
イオン・ビーム源14のイオンは、アルゴン・イオンであっても、および/または酸素イオンであってもよい。イオンの貫通深さは、ZnO層の下の層がイオン照射による影響を受けないようにあまり深いものであってはならない。この理由のために、例えば、電子ビームまたはX線のような他のタイプの放射線は、ZnOの処理には適していない。
イオンの線量は、イオン・ビーム源14のガス流を調整することにより、またはイオン・ビーム源14の下の基板9の移送速度を変化させることにより変更することができる。イオンがZnO層に衝突するエネルギーは、加速電圧により設定される。
特に、エネルギーを設定することにより、ZnO層の表面の形態を変えることができる。表面の粗さを変えることができ、密度を変更することができる。表面はさらに化学的に活性化することもできるし、非活性化することもできる。またZnO層の表面内に少量のアルゴン原子および/または酸素原子を挿入することもできる。
特に、層の表面上において、例えば、一定であるか、ガスのタイプおよびその量(例えば、35sccmAr)、加速電圧(例えば、U=1kV〜U=3kV)、電流(I=0.5A)、および基板からイオン源までの距離(130mm)により決まるイオン電流が加速される。sccmは(60mbar l)/秒を意味する。ここで、lはリットルである。
それにより、ガスのタイプ、単位時間当たりのその量、および加速電圧が設定される。電流源の結果としての電流出力は、これらの仕様により決定される。基板9とイオン源14との間の幾何学的距離はいつでも一定である。
電力源の電流および電圧は測定装置により入手される。イオン電流の実際のエネルギーを測定することはできない。
基板9の速度が、イオン・ビームが基板9に衝突する面積要素当たりの平均時間を決定する。イオンの平均貫通深さが分からないので、体積要素への変換はできない。量的効果は問題ではない。重要なことは表面への効果である。表面の粗さは、明らかに低放射率コーティングの透過率に間接的な影響を持つ。
イオン電流が一定に維持され、基板速度が半分になると、平均的に2倍のイオンが同じ平均エネルギーで同じ面積要素に衝突する。それ故、イオン線量が2倍になる。それにより、サンプル上に加わるエネルギーも2倍になる。加速電圧が3倍になると、第1の近似値の平均イオン・エネルギーも3倍になる。
それ故、エネルギーは加速電圧と基板速度の逆数値との積になる。
処理したZnO層上に銀層をスパッタした後で、基板はコーティング・チャンバ7に移送され、そこで直流源17によりNiCrOターゲットがスパッタされる。コーティング・チャンバ8においては、その後でSiターゲット20が交流源19によりスパッタされる。
図2は完全にコーティングされた基板9を示す。比較的厚いTiO層21上に比較的薄いZnO層22が堆積されるのは明らかである。この堆積が行われたZnO層22上に、比較的薄いAg層23が塗布される。このAg層上に非常に薄いNiCrO層24が塗布される。比較的厚いSi層25が、最後の層を形成する。
図2は、5つの異なる層21〜25を示すが、本発明にとって重要なのは、実質的には層22および23だけである。それ故、ガラスの2層システム、すなわちZnO−Agにより試験を行った。表1にその結果の要約を示す。すべての試験において、銀層の厚さは正確に同じであり、約7.6nmであった。
Figure 2006117501
線量およびエネルギーは「任意の単位」で表示してある。分かりやすくするために、すべての値はエネルギー1により基準試験に対して正規化した。キログラム当たりのクーロンによる線量のSI単位、およびニュートン・メートルによるエネルギーのSI単位は測定しなかった。イオン7、イオン1等は、行った試験の試験番号を示す。R/sqは表面抵抗である。
7回の試験すべての場合に、ガスとしてアルゴン・ガスを使用した。加速電圧は1または3kVであり、ガス流は20または41sccmであった。基板9が移動した速度V(イオン)は毎秒1〜2メートルであった。イオンの線量は10〜82単位であり、運動エネルギーは21〜123単位であった。
ZnOを処理しなかった銀層の表面抵抗は10.8オームであり、ZnOを処理した場合の表面抵抗は少なくとも8%〜27%低減した。
また、5つの層からなるコーティングを使用して試験を行った。表2は、明度(color value)および表面抵抗についてのこれらの試験の結果を示す。
Figure 2006117501
この表の場合、CIE LAB DIN 6174(1976)により、各記号は下記の意味を持つ。
Ty=可視光範囲で平均した百分率による透過性
a*=赤−緑軸上の明度
b*=黄−青軸上の明度
RGy=可視範囲内で平均したサンプルのガラス側からの百分率による反射
RFy=可視範囲内で平均したサンプルのコーティング側からの百分率による反射
Haze=半透明
上記データは、焼戻し前のコーティングした基板に関するものである。これらのデータに基づいて、イオン処理後の層抵抗は、イオン処理を行わなかった層の層抵抗と比較すると有意に低減しているのは明らかである。
タイプ1、タイプ2、タイプ3は、イオン・エネルギーであり、タイプ1は高エネルギー、タイプ2は中程度のエネルギー、タイプ3は、低エネルギーを示す。
下記の表3は、焼戻しを行った後に得られた値を示す。
Figure 2006117501
すべての場合に、ZnO層をイオンで処理した後に、層抵抗の低減が認められた。反射カラー内の最小カラーのずれは、ZnOの変化した層の厚さまで追跡することができる。
下記の表4に示す一連の試験の結果も、透過性および表面抵抗もZnO層のイオン処理により改善されたことを確認している。
Figure 2006117501
本発明は、上記の例示としての実施形態に限定されないことを理解されたい。例えば、上記酸化物の代わりに、酸素が供給された場合に酸化物だけを形成する金属も反応によりスパッタすることができる。
コーティング設備の略図である。 基板上の層構造を示す。

Claims (14)

  1. 可視光線に対してほぼ透明であり、他の層の上に位置する少なくとも1つの赤外放射線反射層を備えるガラス・コーティングであって、前記他の層がイオン照射により処理された層であることを特徴とするガラス・コーティング。
  2. 前記赤外放射線反射層が、少なくとも50%の銀成分を含む材料からなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  3. 前記赤外放射線反射層が、純粋な銀からなることを特徴とする、請求項2に記載のガラス・コーティング。
  4. イオン照射により処理された前記層が、少なくとも50%のZnO成分を含む材料からなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  5. イオン照射により処理された前記層が、純ZnOからなることを特徴とする、請求項4に記載のガラス・コーティング。
  6. イオン照射により処理された前記層が、ZnOまたはZnO:AlまたはZn:AlOからなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  7. 前記イオン照射がArイオンからなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  8. 前記イオン照射が酸素イオンからなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  9. 前記イオン照射が、OおよびArの混合物からなることを特徴とする、請求項1に記載のガラス・コーティング。
  10. 基板上にコーティングを形成するための方法であって、
    a)第1の層を前記基板上に塗布するステップと、
    b)前記第1の層をイオン照射により処理するステップと、
    c)前記第1の層上に、赤外放射線を反射する第2の層を塗布するステップとを含むことを特徴とする方法。
  11. 前記第1の層が、主にスパッタリングにより塗布されたZnO層であることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
  12. 前記第2の層が、主にスパッタリングにより塗布されたAg層であることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
  13. ZnO−Ag−NiCrO−Siで処理したイオン照射による層シーケンス・ガラス−TiO−を特徴とするガラス・コーティング。
  14. ガラス・コーティングを形成するための方法であって、下記のステップ、すなわち、
    a)スパッタリングにより前記ガラス上にTiO層を塗布するステップと、
    b)スパッタリングにより前記TiO層上にZnO層を塗布するステップと、
    c)イオン照射によりZnO層を処理するステップと、
    d)スパッタリングにより前記ZnO層上にAg層を塗布するステップと、
    e)スパッタリングにより前記Ag層上にNICrO層を塗布するステップと、
    f)スパッタリングにより前記NiCrO層上にSi層を塗布するステップとを特徴とする方法。
JP2005013604A 2004-10-19 2005-01-21 ガラス・コーティング Pending JP2006117501A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04024814A EP1650173A1 (de) 2004-10-19 2004-10-19 Glasbeschichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006117501A true JP2006117501A (ja) 2006-05-11

Family

ID=34927025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005013604A Pending JP2006117501A (ja) 2004-10-19 2005-01-21 ガラス・コーティング

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7651774B2 (ja)
EP (1) EP1650173A1 (ja)
JP (1) JP2006117501A (ja)
KR (1) KR100668091B1 (ja)
CN (1) CN1762873B (ja)
TW (1) TWI273032B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100975464B1 (ko) * 2007-03-08 2010-08-11 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 템퍼링 가능 유리 코팅
US8133589B2 (en) 2007-03-08 2012-03-13 Applied Materials, Inc. Temperable glass coating
JP2015221747A (ja) * 2007-11-23 2015-12-10 エージーシー フラット グラス ノース アメリカ,インコーポレイテッドAgc Flat Glass North America,Inc. 低太陽熱取得係数、優れた化学的及び機械的特性を有する低放射率コーティング及びその製造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9434640B2 (en) * 2012-12-04 2016-09-06 Guardian Industries Corp. Method of making heat treated coated article with carbon based coating and protective film
DE102013108218B4 (de) * 2013-07-31 2021-03-04 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Verfahren zur Herstellung eines transparenten IR-reflektierenden Schichtsystems
KR102545820B1 (ko) 2021-03-10 2023-06-21 동의대학교 산학협력단 광 제어 코팅을 이용하는 스마트 온실 시스템

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4211363A1 (de) * 1992-04-04 1993-10-07 Leybold Ag Verfahren zum Herstellen von Scheiben mit hohem Transmissionsverhalten im sichtbaren Spektralbereich und mit hohem Reflexionsverhalten für Wärmestrahlung sowie durch das Verfahren hergestellte Scheiben
FR2699164B1 (fr) 1992-12-11 1995-02-24 Saint Gobain Vitrage Int Procédé de traitement de couches minces à base d'oxyde ou de nitrure métallique.
DK0758306T3 (da) * 1994-05-03 1999-05-10 Cardinal Ig Co Transparent genstand med beskyttelsesfilm af siliciumnitrid
GB9409538D0 (en) * 1994-05-12 1994-06-29 Glaverbel Forming a silver coating on a vitreous substrate
US5557462A (en) * 1995-01-17 1996-09-17 Guardian Industries Corp. Dual silver layer Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom
DE19850023A1 (de) * 1998-10-30 2000-05-04 Leybold Systems Gmbh Wärmedämmendes Schichtsystem
FR2801684B1 (fr) * 1999-11-26 2002-04-26 Commissariat Energie Atomique Filtre anticalorique et procede de fabrication de ce filtre
FR2809388B1 (fr) * 2000-05-23 2002-12-20 Saint Gobain Vitrage Vitrage comprenant au moins une couche a proprietes thermochromes
US6596399B2 (en) 2000-12-04 2003-07-22 Guardian Industries Corp. UV absorbing/reflecting silver oxide layer, and method of making same
US6936347B2 (en) 2001-10-17 2005-08-30 Guardian Industries Corp. Coated article with high visible transmission and low emissivity

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100975464B1 (ko) * 2007-03-08 2010-08-11 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 템퍼링 가능 유리 코팅
US8133589B2 (en) 2007-03-08 2012-03-13 Applied Materials, Inc. Temperable glass coating
JP2015221747A (ja) * 2007-11-23 2015-12-10 エージーシー フラット グラス ノース アメリカ,インコーポレイテッドAgc Flat Glass North America,Inc. 低太陽熱取得係数、優れた化学的及び機械的特性を有する低放射率コーティング及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1762873B (zh) 2012-07-18
CN1762873A (zh) 2006-04-26
TWI273032B (en) 2007-02-11
US20060083932A1 (en) 2006-04-20
US7651774B2 (en) 2010-01-26
KR100668091B1 (ko) 2007-01-11
KR20060043516A (ko) 2006-05-15
TW200613128A (en) 2006-05-01
EP1650173A1 (de) 2006-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1937608B1 (en) High infrared reflection coatings
JP5722346B2 (ja) 高品質放射制御コーティング、放射制御ガラスおよび製造方法
JP4763569B2 (ja) 高赤外反射コーティング、薄膜コーティング堆積方法および関連技術
CN101203464B (zh) 具有热性能叠层的基材
EP3560700A1 (en) Low-emissivity coating for a glass substrate
CN108285279A (zh) 银层的热处理方法
CN1330615A (zh) 不使用金属底漆层制造银基低发射率涂层的方法和设备以及用其制造的制品
CN105705474B (zh) 包含用含有银基功能层和厚TiOx下阻挡层的堆叠体涂覆的基材的窗玻璃
JP2006117501A (ja) ガラス・コーティング
CN112218834A (zh) 在银下方具有掺杂的晶种层的低辐射可匹配涂覆制品以及对应的方法
KR20130051521A (ko) 열처리 가능한 저방사 유리 및 그 제조방법
EP1430332A1 (en) Optical coatings and associated methods
CN104230182A (zh) 高透过率可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法
CN109790069A (zh) 可热处理的减反射玻璃基板及其制造方法
TW200836916A (en) Temperable glass coating
JP2011173764A (ja) 低放射膜
EP4139259A1 (en) Low-emissivity glazing and method of its production
WO2019186131A9 (en) Coated glass pane
JP2002173343A (ja) 低放射率透明積層体の製造方法
EP4139261A1 (en) Low-emissivity glazing and method of its production
JP6419164B2 (ja) 低放射率および抗日射グレイジング
JP2014124815A (ja) 低放射膜
CA3047603C (en) Low-emissivity coating for a glass substrate
JPH01308848A (ja) 高密着性熱線反射ガラス
WO2023007153A1 (en) Coated glass pane

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080219

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20080516

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20080521

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080818

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081209

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090331

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20090601

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20090717

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20111024

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20111027