JP2006112843A - Vortex flowmeter - Google Patents

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Tatsuya Tanaka
達也 田中
Hidemi Yamanaka
秀観 山中
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Saginomiya Seisakusho Inc
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Saginomiya Seisakusho Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent wrong measurement caused by mechanical vibration or impact. <P>SOLUTION: A vortex generated in proportion to the flow rate of fluid is detected by a piezoelectric element 11, and converted into a voltage signal having a vortex frequency by a detection circuit 12. A noise component is removed from an output from the detection circuit 12 by a filter circuit 13, and a signal having a prescribed or higher level is converted into a pulse signal by a pulsing circuit 14, and a voltage signal in proportion to the frequency of the pulse signal is outputted from an F/V conversion circuit 15. When the output from the F/V conversion circuit 15 is below a measuring range lower limit output voltage, an output processing part 16 outputs an output signal Vo by treating a measurement output as zero. Hereby, the output of a measuring signal caused by the mechanical vibration can be prevented. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、圧電素子を用いた渦流量計に関する。   The present invention relates to a vortex flowmeter using a piezoelectric element.

圧電素子を用いて渦を検出する渦流量計が知られている。
このような渦流量計において、カルマン渦により作用する交番力を検出する圧電素子からの出力を別々に受ける２つのチャージアンプ回路を設け、該２つのチャージアンプ回路の出力の差分をとることでコモンモードノイズ成分を相殺することが提案されている（特許文献１）。
特許第３４７８３７５号公報 Vortex flowmeters that detect vortices using piezoelectric elements are known.
In such a vortex flowmeter, two charge amplifier circuits that receive the outputs from the piezoelectric elements that detect the alternating force acting by the Karman vortex are separately provided, and the difference between the outputs of the two charge amplifier circuits is taken to obtain a common It has been proposed to cancel mode noise components (Patent Document 1).
Japanese Patent No. 3478375

上記提案されている構成によれば、電気的なコモンモードノイズは除去することができるが、ウオーターハンマーによる機械的な衝撃、機械の運転又は停止時の機械的な衝撃、あるいは、装置運転時の断続的な振動などの機械的な振動が配管を通して圧電素子に加えられることなどにより、実際には流体が流れていないのに前記機械的な振動によるノイズで流量計測を誤計測するという問題があった。
そこで、本発明は、配管の振動や機械的衝撃等によって流量計測を誤計測することがない渦流量計を提供することを目的としている。 According to the proposed configuration, electrical common mode noise can be removed, but mechanical shock caused by a water hammer, mechanical shock during operation or stop of the machine, or during operation of the device. Due to the fact that mechanical vibration such as intermittent vibration is applied to the piezoelectric element through the piping, there is a problem that the flow measurement is erroneously measured by noise due to the mechanical vibration even though no fluid actually flows. It was.
Therefore, an object of the present invention is to provide a vortex flowmeter that does not erroneously measure flow rate due to vibration of a pipe, mechanical shock, or the like.

上記目的を達成するために、本発明の渦流量計は、流体の流速に比例して発生する渦を検出する圧電素子と、該圧電素子に接続され、渦周波数の信号を出力する検出回路と、該渦周波数の信号が入力され、計測範囲に対応する周波数を通過させるフィルター回路と、該フィルター回路から出力された信号を２値化するパルス化回路と、該２値化された信号を周波数−電圧変換するＦ／Ｖ変換回路と、前記Ｆ／Ｖ変換回路の出力電圧が計測範囲下限出力電圧以上であるときにのみ、該Ｆ／Ｖ変換回路の出力を出力する出力処理部とを備えたものである。   In order to achieve the above object, a vortex flowmeter of the present invention includes a piezoelectric element that detects a vortex generated in proportion to a fluid flow velocity, and a detection circuit that is connected to the piezoelectric element and outputs a signal of a vortex frequency. A filter circuit that receives the signal of the vortex frequency and passes the frequency corresponding to the measurement range, a pulse circuit that binarizes the signal output from the filter circuit, and the frequency of the binarized signal A voltage conversion F / V conversion circuit, and an output processing unit that outputs the output of the F / V conversion circuit only when the output voltage of the F / V conversion circuit is equal to or higher than the measurement range lower limit output voltage. It is a thing.

本発明の渦流量計によれば、圧電素子が断続的に繰り返し発生する配管振動等による計測値を出力処理部で処理して計測範囲下限出力電圧以上の計測値のみを出力するようにしているため、計測範囲下限出力電圧に達しない計測値は出力されず、機械的振動による誤計測を回避することができる。   According to the vortex flowmeter of the present invention, a measurement value due to piping vibration or the like that is intermittently repeatedly generated by the piezoelectric element is processed by the output processing unit so that only a measurement value equal to or higher than the measurement range lower limit output voltage is output. Therefore, a measurement value that does not reach the measurement range lower limit output voltage is not output, and erroneous measurement due to mechanical vibration can be avoided.

図１は、本発明の渦流量計の一実施の形態の構成を示すブロック図である。
この図において、１１は、例えばＰＺＴなどの圧電材料で形成され、その両端に電極が張り付けられた圧電素子であり、カルマン渦により作用する交番力によって前記電極間に電荷を発生する。前記カルマン渦の発生周波数（渦周波数：単位時間当たりに発生する渦の数）は、流体の流速に比例しており、流速が速くなれば渦周波数は高くなる。一般的に、カルマン渦によって前記圧電素子の電極間に生じる電荷は、流路の口径が小さい場合は発生する電荷は小さいが周波数は高くなり、口径の大きい場合は発生する電荷は大きいが周波数は低くなる特性を有しており、また、圧電素子には流量（流速）の２乗に比例した大きさの電荷が発生する。
１２は、前記圧電素子１１に発生した電荷を例えばチャージアンプ等を用いて電圧信号に変換して渦周波数の検出信号（Ａ）を出力する検出回路である。
１３は、前記検出信号（Ａ）から測定精度範囲外の周波数成分を減衰させ、信号（Ｂ）を出力するフィルター回路である。
１４は、前記フィルター回路１３の出力信号（Ｂ）を入力し、信号の大きさが計測範囲の信号の大きさかを判別するしきい値以上の信号のみをパルス化してパルス信号（Ｃ）を出力するパルス化回路である。
１５は、前記パルス化回路１４からのパルス信号（Ｃ）を微分した後、所定の電圧と所定のパルス幅に信号を整え積分することで入力されるパルス信号（Ｃ）の周波数に比例した出力信号（Ｆ）を得る周波数電圧変換回路（Ｆ／Ｖ変換回路）である。 FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a vortex flowmeter of the present invention.
In this figure, reference numeral 11 denotes a piezoelectric element formed of a piezoelectric material such as PZT and having electrodes attached to both ends thereof, and generates an electric charge between the electrodes by an alternating force acting by Karman vortex. The Karman vortex generation frequency (vortex frequency: the number of vortices generated per unit time) is proportional to the flow velocity of the fluid, and the vortex frequency increases as the flow velocity increases. In general, the charge generated between the electrodes of the piezoelectric element due to the Karman vortex has a small charge but a high frequency when the diameter of the flow path is small, and a large charge when the diameter is large but the frequency is high. In addition, the piezoelectric element generates electric charges having a magnitude proportional to the square of the flow rate (flow velocity).
Reference numeral 12 denotes a detection circuit that converts the electric charge generated in the piezoelectric element 11 into a voltage signal using, for example, a charge amplifier and outputs a detection signal (A) of the vortex frequency.
A filter circuit 13 attenuates a frequency component outside the measurement accuracy range from the detection signal (A) and outputs a signal (B).
14 receives the output signal (B) of the filter circuit 13 and outputs a pulse signal (C) by pulsing only a signal equal to or greater than a threshold value for determining whether the signal magnitude is the magnitude of the signal in the measurement range. A pulsing circuit.
15 is an output proportional to the frequency of the input pulse signal (C) by differentiating the pulse signal (C) from the pulsing circuit 14 and then adjusting and integrating the signal to a predetermined voltage and a predetermined pulse width. It is a frequency voltage conversion circuit (F / V conversion circuit) for obtaining a signal (F).

１６は前記Ｆ／Ｖ変換回路１５からの出力信号（Ｆ）が所定の電圧（計測範囲の下限に対応する電圧：計測範囲下限出力電圧）以上であるときにのみ、該出力信号（Ｆ）を後続する処理部（この実施の形態においては、電圧電流変換部１８）に出力信号Ｖｏ（１７）として出力する処理を行う出力処理部である。すなわち、この出力処理部１６は、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５の出力信号（Ｆ）が計測範囲下限出力電圧より低い値であるときには、出力信号Ｖｏ（１７）を出力しない（ゼロ電圧とする）処理を行う。これにより、前記検出回路１２からの検出信号（Ａ）が、機械的な振動によるノイズ等による出力であって前記パルス化回路１４でパルス化されることができる大きさはあるが信号の持続性がないことから、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５の出力電圧が前記計測範囲下限出力電圧より低い値である場合は、前記出力処理部１６から出力信号Ｖｏ（１７）が出力されない（ゼロ電圧が出力される）ようになる。
１８は、前記出力処理部１６からの出力信号Ｖｏ（１７）を電流信号（例えば４〜２０ｍＡ）に変換する電圧電流変換部である。前記出力処理部１６により、出力信号Ｖｏ（１７）を出力しない処理がなされたときには、この電圧電流変換部１８の出力は４ｍＡとなる。なお、４−２０ｍＡ電流出力としない場合には、この電圧電流変換部１８は省略することができる。 16 shows the output signal (F) only when the output signal (F) from the F / V conversion circuit 15 is equal to or higher than a predetermined voltage (voltage corresponding to the lower limit of the measurement range: measurement range lower limit output voltage). This is an output processing unit that performs processing to output to the subsequent processing unit (in this embodiment, the voltage-current conversion unit 18) as the output signal Vo (17). That is, when the output signal (F) of the F / V conversion circuit 15 is lower than the measurement range lower limit output voltage, the output processor 16 does not output the output signal Vo (17) (set to zero voltage). Process. As a result, the detection signal (A) from the detection circuit 12 is an output due to noise or the like due to mechanical vibration, and has a magnitude that can be pulsed by the pulsing circuit 14, but the signal persistence. Therefore, when the output voltage of the F / V conversion circuit 15 is lower than the measurement range lower limit output voltage, the output signal Vo (17) is not output from the output processing unit 16 (zero voltage is output). Will be).
Reference numeral 18 denotes a voltage / current converter that converts the output signal Vo (17) from the output processor 16 into a current signal (for example, 4 to 20 mA). When the output processing unit 16 performs processing that does not output the output signal Vo (17), the output of the voltage-current conversion unit 18 is 4 mA. In the case where the 4-20 mA current output is not used, the voltage-current converter 18 can be omitted.

図２は、渦周波数と流量の関係の一例を示す図である。ここでは、３．５Ｌ／ｍｉｎの流量計で、３．５Ｌ／ｍｉｎ（２０ｍＡ）〜０Ｌ／ｍｉｎ（４ｍＡ）のレンジにおいて計測範囲（精度保証範囲）が３．５Ｌ／ｍｉｎ（２０ｍＡ）〜０．４Ｌ／ｍｉｎ（５．８ｍＡ）の流量計の場合を示している。図示するように、この例においては、前記計測範囲に対応する渦周波数は１００Ｈｚ〜１０００Ｈｚである。
前述のように、前記フィルター回路１３により前記検出回路１２からの検出信号（Ａ）から計測範囲外上限（１０００Ｈｚ）より高い周波数の信号と下限（１００Ｈｚ）より低い周波数の信号を減衰させて前記パルス化回路１４に入力し、該パルス化回路１４で所定の大きさ以上の信号をパルス信号（Ｃ）に変換して、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５でその周波数に対応した電圧を有する出力信号（Ｆ）に変換し、前記出力処理部１６を介して、計測範囲（精度保証範囲）の周波数に対応する出力信号Ｖｏ（１７）を出力させるようにしている。 FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the relationship between the vortex frequency and the flow rate. Here, the measurement range (accuracy guaranteed range) is 3.5 L / min (20 mA) to 0. 0 in a range of 3.5 L / min (20 mA) to 0 L / min (4 mA) with a flow meter of 3.5 L / min. This shows the case of a flow meter of 4 L / min (5.8 mA). As illustrated, in this example, the vortex frequency corresponding to the measurement range is 100 Hz to 1000 Hz.
As described above, the filter circuit 13 attenuates a signal having a frequency higher than the upper limit (1000 Hz) outside the measurement range and a signal having a frequency lower than the lower limit (100 Hz) from the detection signal (A) from the detection circuit 12. Input to the conversion circuit 14, the pulse conversion circuit 14 converts a signal having a predetermined magnitude or more into a pulse signal (C), and the F / V conversion circuit 15 outputs an output signal having a voltage corresponding to the frequency ( F), and an output signal Vo (17) corresponding to the frequency in the measurement range (accuracy guaranteed range) is output via the output processing unit 16.

通常は、計測範囲下限（１００Ｈｚ）より低い周波数の信号は、前記フィルター回路１３により減衰させるため流量出力は０（４ｍＡ）となるが、配管等に断続的な振動などの機械的振動が加わり、該振動が前記フィルター回路１３で除去できない場合は前記Ｆ／Ｖ変換回路１５からは図中破線で示すような下限計測範囲外の出力Ｖｏ’（１７−１）が出力され、実際には流体が流れていないのに流量があるかのごとく出力されることとなる。
そこで前記出力処理部１６において、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５の出力信号（Ｆ）の電圧が計測範囲の下限に対応する電圧（計測範囲下限出力電圧）Ｖｏ-SH以上であるか否かを判定し、計測範囲下限出力電圧Ｖｏ-SHより小さいときは、その出力信号は配管等に加わる断続的な振動によるノイズによるものであると判断して、流量がないもの（出力電圧＝０）として処理し、Ｖｏ-SH以上であるときは、該Ｆ／Ｖ変換回路の出力電圧を出力信号Ｖｏ（１７）として出力するようにしている。 Normally, a signal having a frequency lower than the lower limit of the measurement range (100 Hz) is attenuated by the filter circuit 13 and the flow rate output becomes 0 (4 mA). However, mechanical vibration such as intermittent vibration is applied to the pipe, When the vibration cannot be removed by the filter circuit 13, the F / V conversion circuit 15 outputs an output Vo ′ (17-1) outside the lower limit measurement range as indicated by a broken line in the figure, and the fluid is actually Although it does not flow, it will be output as if there is a flow rate.
Therefore, the output processing unit 16 determines whether or not the voltage of the output signal (F) of the F / V conversion circuit 15 is equal to or higher than the voltage (measurement range lower limit output voltage) Vo-SH corresponding to the lower limit of the measurement range. If the output voltage is lower than the measurement range lower limit output voltage Vo-SH, it is determined that the output signal is due to noise caused by intermittent vibration applied to the piping, etc., and processed as having no flow rate (output voltage = 0). When the voltage is Vo-SH or higher, the output voltage of the F / V conversion circuit is output as the output signal Vo (17).

図３は、流量計の計測範囲内（本例では、０．４Ｌ／ｍｉｎ（５．８ｍＡ）〜３．５Ｌ／ｍｉｎ（２０ｍＡ））の渦周波数の信号が入力された場合の各部の信号を示す図である。
図中、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｆ）は、前記図１中に示したものと同一個所の信号であり、（Ａ）は前記検出回路１２からの検出信号、（Ｂ）はフィルター回路１３の出力信号、（Ｃ）は前記パルス化回路１４から出力されるパルス信号である。
図示するように、パルス信号（Ｃ）は、前記フィルター回路１３の出力信号（Ｂ）と計測範囲の信号の大きさを判別するしきい値Ｖ-SH及びＶ-SL（Ｖ-SL＜Ｖ-SH）とを比較し、出力信号（Ｂ）が、しきい値Ｖ-SHを超えたときに立上がり、Ｖ-SLより小さくなったときに立ち下がる信号である。これにより、検出回路１２で検出された渦周波数に対応したパルス信号（Ｃ）が得られる。
（Ｄ）及び（Ｅ）は前記Ｆ／Ｖ変換回路１５内部の信号であり、（Ｄ）はＦ／Ｖ変換回路１５内において前記パルス化回路１４からのパルス信号（Ｃ）を微分した信号、（Ｅ）は前記微分した信号（Ｄ）の正の信号を所定のパルス幅及び所定の振幅を有するパルスにパルス化した信号である。
Ｆ／Ｖ変換回路１５の出力信号（Ｆ）は、渦周波数に同期したパルス信号（Ｅ）を積分（平滑）して周波数−電圧変換した出力信号（Ｖｏ-F/V）である。
この例の場合には、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５の出力信号（Ｆ）は、計測範囲下限出力電圧Ｖｏ-SHを超えているため、前記出力処理部１６は、該出力信号（Ｆ）（Ｖｏ-F/V）をそのまま出力信号Ｖｏ（１７）として、前記電圧電流変換部１８に出力する。 FIG. 3 shows the signal of each part when the signal of the vortex frequency within the measurement range of the flowmeter (in this example, 0.4 L / min (5.8 mA) to 3.5 L / min (20 mA)) is input. FIG.
In the figure, (A), (B), (C) and (F) are signals at the same location as shown in FIG. 1, (A) is a detection signal from the detection circuit 12, ( B) is an output signal of the filter circuit 13, and (C) is a pulse signal output from the pulsing circuit 14.
As shown in the figure, the pulse signal (C) includes threshold values V-SH and V-SL (V-SL <V-) for determining the magnitude of the output signal (B) of the filter circuit 13 and the signal in the measurement range. SH) and rises when the output signal (B) exceeds the threshold value V-SH, and falls when the output signal (B) becomes smaller than V-SL. Thereby, a pulse signal (C) corresponding to the vortex frequency detected by the detection circuit 12 is obtained.
(D) and (E) are signals inside the F / V conversion circuit 15, and (D) is a signal obtained by differentiating the pulse signal (C) from the pulsing circuit 14 within the F / V conversion circuit 15. (E) is a signal obtained by pulsing the positive signal of the differentiated signal (D) into a pulse having a predetermined pulse width and a predetermined amplitude.
The output signal (F) of the F / V conversion circuit 15 is an output signal (Vo-F / V) obtained by integrating (smoothing) the pulse signal (E) synchronized with the vortex frequency and performing frequency-voltage conversion.
In this example, since the output signal (F) of the F / V conversion circuit 15 exceeds the measurement range lower limit output voltage Vo-SH, the output processing unit 16 outputs the output signal (F) ( Vo−F / V) is output as it is to the voltage-current converter 18 as an output signal Vo (17).

図４は、断続的な配管振動等を圧電素子１１が検出した場合の各部の信号の例を示す図である。この図において、（Ａ）〜（Ｆ）は、前記図３の場合と同様の個所の信号を示している。
前述のように、一般的に口径の小さい流量計は圧電素子に発生する電荷は小さくなり発生周波数は高くなる特性を有している。すなわち、小口径の流量計では特に配管振動のノイズをひろい易くなる傾向にあるといえる。
したがって、配管振動などにより、図示する検出信号（Ａ）のように、所定時間、前記計測範囲内の信号周波数で所定の出力レベルを備えた信号が出力され、次第にパルス化されない信号に減衰していく。 FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a signal of each part when the piezoelectric element 11 detects intermittent pipe vibration or the like. In this figure, (A) to (F) show signals at the same locations as in FIG.
As described above, a flowmeter having a small aperture generally has a characteristic that the electric charge generated in the piezoelectric element is reduced and the generated frequency is increased. That is, it can be said that a small-diameter flow meter tends to easily spread noise of piping vibration.
Therefore, a signal having a predetermined output level is output at a signal frequency within the measurement range for a predetermined time as shown in the illustrated detection signal (A) due to piping vibration or the like, and gradually attenuated to a signal that is not pulsed. Go.

前記検出信号（Ａ）は前記フィルター回路１３に入力され、前記計測範囲に対応する周波数範囲の出力信号（Ｂ）が出力される。
この出力信号（Ｂ）は前記パルス化回路１４に入力され、図示するように、しきい値Ｖ-SHを超えたときに、パルス信号（Ｃ）が生成されて、前記Ｆ／Ｖ変換回路１５に入力される。
Ｆ／Ｖ変換回路１５では、入力されたパルス信号（Ｃ）を微分して微分信号（Ｄ）を得、該微分信号（Ｄ）に基づいて所定のパルス幅と所定の振幅を有するパルス信号（Ｅ）が生成される。そして、このパルス信号（Ｅ）を平滑することにより、Ｆ／Ｖ変換出力信号Ｖｏ-F/V（Ｆ）が出力される。 The detection signal (A) is input to the filter circuit 13, and an output signal (B) in a frequency range corresponding to the measurement range is output.
This output signal (B) is input to the pulsing circuit 14 and, as shown in the figure, when the threshold value V-SH is exceeded, a pulse signal (C) is generated, and the F / V conversion circuit 15 Is input.
The F / V conversion circuit 15 differentiates the input pulse signal (C) to obtain a differential signal (D), and a pulse signal (having a predetermined pulse width and a predetermined amplitude based on the differential signal (D) ( E) is generated. Then, by smoothing the pulse signal (E), an F / V conversion output signal Vo-F / V (F) is output.

図示するように、この出力信号Ｖｏ-F/V（Ｆ）は、前記検出信号（Ａ）が短時間で減衰していたため、流量計の口径等で決定される計測範囲下限出力電圧Ｖｏ-SHを超える電圧とはなっていない。
したがって、前記出力処理部１６は、出力電圧Ｖｏ-F/Vを出力しないようにし、出力信号Ｖｏ（１７）としてゼロ電圧を出力するように処理を行う。
これにより、前記電圧電流変換部１８からは４ｍＡが出力されることとなり、誤計測を防止することができる。 As shown in the figure, the output signal Vo-F / V (F) is the measurement range lower limit output voltage Vo-SH determined by the diameter of the flow meter and the like because the detection signal (A) was attenuated in a short time. The voltage does not exceed.
Therefore, the output processing unit 16 performs processing so as not to output the output voltage Vo-F / V and to output a zero voltage as the output signal Vo (17).
As a result, 4 mA is output from the voltage-current converter 18, and erroneous measurement can be prevented.

なお、前記出力処理部１６における処理に使用する計測範囲下限出力電圧Ｖｏ-SHは、前記流量計の構成がハードウェアのみで構成されていれば可変抵抗器等を用いて設定するようにしてもよいし、あるいは、スイッチで選択できるものであってもよい。また、記憶機能を備えていれば、記憶部に記憶して操作部から選択するようにしてもよい。   The measurement range lower limit output voltage Vo-SH used for the processing in the output processing unit 16 may be set using a variable resistor or the like if the flow meter is configured only by hardware. Alternatively, it may be one that can be selected by a switch. Further, if a storage function is provided, it may be stored in the storage unit and selected from the operation unit.

本発明の渦流量計の一実施の形態の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of one Embodiment of the vortex flowmeter of this invention. 渦周波数と流量の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a vortex frequency and flow volume. 流量計の計測範囲内の信号である場合における各部の信号の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the signal of each part in case it is a signal within the measurement range of a flowmeter. 配管振動等を検出したときの各部の信号の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the signal of each part when piping vibration etc. are detected.

符号の説明Explanation of symbols

１１：圧電素子、１２：検出回路、１３：フィルター回路、１４：パルス化回路、１５：Ｆ／Ｖ変換回路、１６：出力処理部、１７：出力信号、１８：電圧電流変換部   11: Piezoelectric element, 12: Detection circuit, 13: Filter circuit, 14: Pulse circuit, 15: F / V conversion circuit, 16: Output processing unit, 17: Output signal, 18: Voltage / current conversion unit

Claims (1)

流体の流速に比例して発生する渦を検出する圧電素子と、
該圧電素子に接続され、渦周波数の信号を出力する検出回路と、
該渦周波数の信号が入力され、計測範囲に対応する周波数を通過させるフィルター回路と、
該フィルター回路から出力された信号を２値化するパルス化回路と、
該２値化された信号を周波数−電圧変換するＦ／Ｖ変換回路と、
前記Ｆ／Ｖ変換回路の出力電圧が計測範囲下限出力電圧以上であるときにのみ、該Ｆ／Ｖ変換回路の出力を出力する出力処理部と
を備えたことを特徴とする渦流量計。 A piezoelectric element that detects vortices generated in proportion to the flow velocity of the fluid;
A detection circuit connected to the piezoelectric element and outputting a signal of a vortex frequency;
A filter circuit that receives the signal of the vortex frequency and passes a frequency corresponding to the measurement range;
A pulse circuit for binarizing the signal output from the filter circuit;
An F / V conversion circuit for frequency-voltage conversion of the binarized signal;
An eddy flow meter comprising: an output processing unit that outputs an output of the F / V conversion circuit only when an output voltage of the F / V conversion circuit is equal to or higher than a measurement range lower limit output voltage.
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