JP2006107046A - 画像処理方法、画像処理装置及び半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ランダムノイズが含まれる撮影画像の中から目的のパターンを認識するために、撮影画像を複数取得(1A-1L)して、その画像のマッチング候補像2A-2Lに加重平均処理を施し、加重平均処理された画像2´とテンプレート画像3とをパターンマッチングする。上記加重平均処理を行う場合に、加重平均処理を補助するための画像5(5A−5M)としてテンプレート画像3と同じパターンを含む画像を用意する。加重平均処理は、前記マッチング候補画像に加重平均補助用の画像も加えることにより行われる。
【選択図】 図1
Description
〔実施例1〕
図3は、本発明に用いるパターンマッチング装置100の基本構成をブロック図で示す。また、パターンマッチング装置100とCPU71とRAM73との関係を示す。
k1+k2=1.0
Dst(i,j):加重平均処理画像
Img1(i,j):マッチング候補画像
Img2(i,j):加重平均補助画像
図5は、加重平均手段14のハード構成を示すものであり、マッチング候補画像Img1(i,j)の各画素の輝度値に重み付け係数k1を掛けるための乗算器141と、加重平均補助画像Img2(i,j)の各画素の輝度値に重み付け係数k2を掛けるための乗算器142と、重み付け処理されたマッチング候補画像と加重平均補助画像の各画素の輝度値を加算する加算器143によって構成される。
〔実施例2〕
図4は、本発明の実施例2におけるパターンマッチング装置100のブロック図である。
Dst2(i,j):加重平均処理変換画像
Dst(i,j):加重平均処理画像
Fx(i,j):水平方向のエッジ成分
Fy(i,j):垂直方向のエッジ成分
式2における、Fx(i,j)は、画像の水平方向の隣接画素同士の濃淡の勾配のあるところをエッジとして求め、同じくFy(i,j)は、画像の垂直方向の隣接画素同士の濃淡の勾配のあるところをエッジとして求めている。
〔実施例3〕
図16は、実施例1および実施例2で示した本発明のパターンマッチング装置100の機能をソフトウェアで実行するためのパターンマッチングプログラムのフローチャートである。
〔実施例4〕
図14は、上記した図2の画像処理装置(情報処理装置)7000を半導体検査装置1001に適用したブロック図である。
Claims (9)
- ランダムノイズが含まれる撮影画像の中から目的のパターンを認識するために、前記撮影画像を複数取得して加重平均処理を施し、加重平均処理された画像とテンプレート画像とをパターンマッチングする画像処理方法において、
前記加重平均処理を補助するための画像として前記テンプレート画像と同じパターンを含む画像を用意し、前記加重平均処理は、前記撮影画像に前記加重平均補助用の画像も加えることにより行われることを特徴とする画像処理方法。 - 請求項1において、前記加重平均補助用の画像は、前記テンプレート画像の作成に利用した被写体と同じパターンを有する被写体を撮影することにより得られたものである画像処理方法。
- 請求項1において、前記加重平均補助用の画像は、前記テンプレート画像が兼ねている画像処理方法。
- 請求項1において、前記画像処理方法は、被検査物の表面状態を検査するために使用され、前記ランダムノイズが含まれる撮影画像は、被検査物の表面を複数回撮影して得られた複数の撮影画像であり、前記加重平均補助用の画像は、前記被検査物と同じパターンを有する基準の被写体を検査に先立って撮影することにより予め用意され、前記ランダムノイズが含まれる撮影画像の枚数Nと前記加重平均補助用の画像の枚数Mとは、L>Mの関係にある画像処理方法。
- 認識対象となるパターンを含む撮影画像を複数取得して加重平均処理し、加重平均処理された画像とテンプレート画像とをパターンマッチングして前記パターンを認識する画像処理装置において、
前記テンプレート画像と同じパターンを含む画像を、前記加重平均処理を補助するための画像として登録する手段と、
前記撮影画像に前記加重平均補助用の画像も加えて加重平均処理を行う手段と、を備えていることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項5において、前記加重平均した画像からランダムノイズを低減する手段を備えたことを特徴とする画像処理装置。
- 請求項5において、撮影された被写体の画像を表示するディスプレイと、このディスプレイに表示された画像から前記テンプレート画像および前記加重平均補助用の画像を指定する情報入力手段と、前記情報入力手段の指示に基づき前記テンプレート画像および加重平均補助用の画像をデータ保存部に登録するデータ登録手段とを備えた画像処理装置。
- 走査型電子顕微鏡の撮影によって得られた検査対象の半導体の表面画像データを入力して半導体の検査を行う半導体検査装置において、
半導体の表面画像データを処理する手段として、検査対象の撮影画像を複数取得して加重平均処理し、加重平均処理された画像とテンプレート画像とをパターンマッチングしてテンプレートとパターンが一致する撮影画像中のマッチング位置を検出する画像処理装置と、半導体表面上のマッチング位置のパターンを検査する手段を備え、
且つ、前記画像処理装置は、前記テンプレート画像と同じパターンを含む画像を、前記加重平均処理を補助するための画像として登録し、この加重平均補助用の画像を検査対象の前記撮影画像に加えて加重平均処理を行う機能を有することを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項8において、半導体検査の工程を制御する手段と、前記走査型電子顕微鏡からの撮影画像やテンプレート画像、加重平均補助用の画像などを保存するデータ保存手段と、撮影画像に対して輝度むら除去などの画像処理を行う手段と、半導体ウェハの検査を行う検査処理手段と、前記テンプレート画像、加重平均用の画像および前記走査型電子顕微鏡からの撮影画像内の検査位置を指定する情報入力装置と、前記情報入力装置の指示を受けて前記テンプレート画像および加重平均用の画像をデータ保存手段に登録する手段と、前記走査型電子顕微鏡の撮影画像、テンプレート画像、加重平均補助用の画像およびパターンマッチングの結果などを表示する情報出力装置と、を備えたことを特徴とする半導体検査装置。
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