JP2006101134A - Dielectric substance resonator, dielectric substance filter, and radio communication apparatus - Google Patents

Dielectric substance resonator, dielectric substance filter, and radio communication apparatus Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric substance resonator which can remarkably improve the design accuracy of a resonance frequency and can simplify processes, and also to provide a dielectric substance filter using the resonator. <P>SOLUTION: The dielectric substance resonator without any via conductor by arranging an upper electrode 4a and a lower electrode 4b on both surfaces of a dielectric substance board 1, and forming a resonance hole 3 to an internal metallized layer 2 formed therein. The dielectric substance resonators are arranged in a plurality of stages and a laminated waveguide 6 formed of the string of the via conductor 5 is used for an input and an output of a signal in order to form a dielectric substance filter. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ミリ波帯で利用される誘電体共振器及び誘電体フィルタ並びにこの誘電体フィルタを用いた無線通信機器に関するものである。   The present invention relates to a dielectric resonator and a dielectric filter used in the millimeter wave band, and a wireless communication device using the dielectric filter.

近年、ミリ波帯において無線LANなどの通信システムが検討されており、それに用いる受動素子の研究も盛んに行われている。
ミリ波帯における受動素子の課題は、小型化、低コスト化である。小型化に対して問題となっているのは、小さな寸法に対して、量産可能な加工精度が粗いということである。通常、マイクロ波帯で大量生産している技術をミリ波へ応用しようとすると部品が小さくなりすぎるため、量産可能な加工精度では、寸法のばらつきが大きくなってしまう。このため、部品の単価が高いという結果となっていた。
In recent years, communication systems such as a wireless LAN have been studied in the millimeter wave band, and research on passive elements used therefor has been actively conducted.
The problem of passive elements in the millimeter wave band is miniaturization and cost reduction. The problem with miniaturization is that the machining accuracy capable of mass production is small for small dimensions. Usually, if the technology that is mass-produced in the microwave band is applied to millimeter waves, the parts become too small, and therefore, the processing accuracy that can be mass-produced increases the dimensional variation. For this reason, the unit price of the parts was high.

従来、ミリ波帯に用いられる積層型誘電体共振器として、図9に示すように、矩形の積層型導波管構造を持つ誘電体共振器が提案されている。この誘電体共振器は、複数の誘電体層を積層した誘電体基板1と、誘電体基板1に接触して配置された下部導体4b及び上部導体4aと、該誘電体基板1の内層に配置された矩形の共振空孔部3を持つ導体2と、下部導体4bと上部導体4aとを接続するビア導体5とを備えている。前記ビア導体5により共振空孔部3を取り囲むことにより誘電体共振器が構成される。共振モードは、下部導体4b及び上部導体4aに垂直な電界が生じるTE10モードである。この構造では、従来の導波管構造に比べて、小型化が達成されている。 Conventionally, a dielectric resonator having a rectangular laminated waveguide structure as shown in FIG. 9 has been proposed as a laminated dielectric resonator used in the millimeter wave band. The dielectric resonator includes a dielectric substrate 1 in which a plurality of dielectric layers are stacked, a lower conductor 4b and an upper conductor 4a arranged in contact with the dielectric substrate 1, and an inner layer of the dielectric substrate 1. The conductor 2 having the rectangular resonance hole portion 3 and the via conductor 5 connecting the lower conductor 4b and the upper conductor 4a are provided. A dielectric resonator is formed by surrounding the resonant hole 3 with the via conductor 5. The resonance mode is a TE 10 mode in which an electric field perpendicular to the lower conductor 4b and the upper conductor 4a is generated. In this structure, size reduction is achieved as compared with the conventional waveguide structure.

また、前記誘電体共振器の入出力端子と誘電体共振器をビア導体のアイリスでつなぐことにより、入出力部の付いた積層型誘電体フィルタを構成することができる。また、同じ構造の複数の誘電体共振器をビア導体のアイリスでつなぐことで誘電体共振器間の結合を実現することもできる。
特開平10−303618号
Further, by connecting the input / output terminal of the dielectric resonator and the dielectric resonator with an iris of a via conductor, a multilayer dielectric filter with an input / output unit can be configured. In addition, coupling between dielectric resonators can be realized by connecting a plurality of dielectric resonators having the same structure with irises of via conductors.
JP-A-10-303618

しかしながら、前記の積層型誘電体フィルタを設計する場合、ビア導体の配置がずれると共振周波数が設計値から外れる可能性がある。その共振周波数の変化が誘電体フィルタを作製するときの設計誤差となる。このため誘電体共振器に多数のビアを精度良く配置する必要がある。同様に、入出力や誘電体共振器間の結合のためのビア導体の位置も精度良く配置する必要がある。このため、無調整で歩留まり良く製作することが難しく、その結果コストがかかる問題点があった。   However, when designing the multilayer dielectric filter, the resonance frequency may deviate from the design value if the via conductors are misaligned. The change in the resonance frequency becomes a design error when manufacturing the dielectric filter. For this reason, it is necessary to accurately arrange a large number of vias in the dielectric resonator. Similarly, the positions of via conductors for coupling between input / output and dielectric resonators must be arranged with high accuracy. For this reason, it is difficult to manufacture without adjustment and with a high yield, and as a result, there is a problem that costs increase.

本発明は、誘電体共振器にビアがない構造をとることで、共振周波数の設計精度を大きく向上でき、また、工程を簡略化できるため低コストを実現することができる誘電体共振器及び誘電体フィルタ並びにこの誘電体フィルタを用いた無線通信機器を提供することを目的とする。   The present invention can greatly improve the design accuracy of the resonance frequency by adopting a structure without vias in the dielectric resonator, and can simplify the process and realize a low cost. An object of the present invention is to provide a body filter and a wireless communication device using the dielectric filter.

本発明の誘電体共振器は、下部導体と上部導体との間に配置された誘電体基板の内部導体層に共振空孔部を形成するようにして誘電体共振器を構成した。
この誘電体共振器は、ビア導体を使わずに、一層の内部導体層と上下の導体で共振空間を作ることができるため、共振周波数の高精度設計が可能であり、さらに、加工精度の向上も期待できる。内部導体層の共振空孔部は、印刷等の技術を用いて精度良く製作することが可能である。
The dielectric resonator according to the present invention is configured such that a resonant hole is formed in the inner conductor layer of the dielectric substrate disposed between the lower conductor and the upper conductor.
This dielectric resonator can create a resonant space with one inner conductor layer and upper and lower conductors without using via conductors, allowing high-accuracy design of the resonance frequency and further improving processing accuracy Can also be expected. The resonant hole of the inner conductor layer can be manufactured with high accuracy using a technique such as printing.

前記共振空孔部の形状は円形であってもよい。
円形にした場合、共振のモードに、周方向に電界が回るTE011モードを用いることが容易にできる。
本発明の誘電体フィルタは、下部導体及び上部導体と、下部導体及び上部導体間に接触して配置された、複数の誘電体層を積層した誘電体基板と、該誘電体基板の内部の少なくとも一層に設けられた、複数の共振空孔部を持つ内部導体層と、前記誘電体基板内のビア導体列により形成された積層型導波管とを具備し、前記共振空孔部は、所定の間隔を隔てて並置され、前記積層型導波管の開口端部は、前記内部導体層の複数の共振空孔部のいずれかに対向しており、前記積層型導波管により信号の入力又は出力が行われるものである。
The resonance hole portion may be circular.
In the case of a circle, the TE 011 mode in which the electric field rotates in the circumferential direction can be easily used as the resonance mode.
The dielectric filter of the present invention includes a lower conductor and an upper conductor, a dielectric substrate that is disposed in contact with the lower conductor and the upper conductor and laminated with a plurality of dielectric layers, and at least an inner portion of the dielectric substrate. An inner conductor layer having a plurality of resonance holes provided in one layer; and a laminated waveguide formed by a via conductor row in the dielectric substrate, wherein the resonance holes have a predetermined The open end of the multilayer waveguide faces one of the plurality of resonance holes of the inner conductor layer, and a signal is input by the multilayer waveguide. Alternatively, output is performed.

この構成によれば、誘電体共振器が横方向に並列に形成されるので、高さの低い誘電体フィルタの実現が可能となる。また、誘電体フィルタへの信号の入力又は出力には、ビア導体列により形成された積層型導波管を用いるので、小型化が実現できる。
前記共振空孔部の形状は円形であってもよく、円形にした場合、共振のモードに、周方向に電界が回るTE011モードを用いることが容易にできる。
According to this configuration, since the dielectric resonators are formed in parallel in the lateral direction, a low-height dielectric filter can be realized. Further, since a laminated waveguide formed by via conductor rows is used for signal input or output to the dielectric filter, it is possible to reduce the size.
The shape of the resonance hole portion may be circular, and when it is circular, the TE 011 mode in which the electric field rotates in the circumferential direction can be easily used as the resonance mode.

前記ビア導体列を、前記内部導体層の共振空孔部に接近するにつれてテーパもしくはホーン状に開口径が広がる構造とすれば、前記積層型導波管と誘電体フィルタの共振部との電磁結合を、より強くすることができる。
前記ビア導体列の開口径が、前記内部導体層の共振空孔部に接近した位置でステップ状に広がる構造としても、前記と同様、前記積層型導波管と誘電体フィルタの共振部との電磁結合を、より強くすることができる。
If the via conductor row has a structure in which the opening diameter increases in a taper or horn shape as it approaches the resonance hole portion of the inner conductor layer, electromagnetic coupling between the multilayered waveguide and the resonance portion of the dielectric filter is achieved. Can be made stronger.
Even in the structure in which the opening diameter of the via conductor row expands in a step shape at a position close to the resonance hole portion of the inner conductor layer, similarly to the above, between the laminated waveguide and the resonance portion of the dielectric filter. Electromagnetic coupling can be made stronger.

前記内部導体層の共振空孔部と、前記積層型導波管の開口端部と間は、所定長さの前記内部導体層により隔てられるようにすれば、前記内部導体層の共振空孔部は、内部導体層上で閉じた空間を確保できるので、共振器のQ値の低下を防止することができ、挿入損失を改善することができる。
また、前記内部導体層の共振空孔部と、前記積層型導波管の開口端部とが直結している構造とすれば、前記積層型導波管と、前記内部導体層の共振空孔部で作られる共振部との結合を強くすることができ、誘電体フィルタの帯域を調整することができる。
The resonance hole portion of the inner conductor layer is separated from the opening end portion of the multilayer waveguide by the inner conductor layer having a predetermined length. Since a closed space can be secured on the inner conductor layer, a decrease in the Q value of the resonator can be prevented, and insertion loss can be improved.
Further, if the resonance hole portion of the inner conductor layer and the opening end portion of the multilayer waveguide are directly connected, the multilayer waveguide and the resonance hole of the inner conductor layer are formed. It is possible to strengthen the coupling with the resonance part formed by the part, and to adjust the band of the dielectric filter.

また本発明によれば、前記ビア導体列を作るためのビアホールが形成された前記複数の誘電体層と、前記下部導体と、前記上部導体と、前記複数の共振空孔部を持つ内部導体層とを同時焼成により一体に成形して、誘電体フィルタを製造すれば、簡単な製造工程で、安価な誘電体フィルタを製造することができる。
さらに本発明によれば、前記誘電体フィルタを無線通信機器に搭載することにより、低コスト、小型で性能の優れたミリ波レーダ、無線LAN、ホットスポット、アドホック無線システムなどの無線通信機器を提供することができる。
According to the invention, the plurality of dielectric layers in which via holes for forming the via conductor row are formed, the lower conductor, the upper conductor, and the inner conductor layer having the plurality of resonance holes. Can be integrally formed by simultaneous firing to produce a dielectric filter, an inexpensive dielectric filter can be produced by a simple production process.
Furthermore, according to the present invention, by providing the dielectric filter in a wireless communication device, it is possible to provide a wireless communication device such as a millimeter-wave radar, a wireless LAN, a hot spot, an ad hoc wireless system, etc. that is low cost, small, and excellent in performance can do.

以上のように本発明によれば、誘電体基板の両面に導体を配置し、その内部の少なくとも一層に、共振空孔部を持つ内部導体層を設けることにより、小型で高精度の構造を持った誘電体共振器を提供でき、この誘電体共振器を多層配線基板や半導体パッケージ内に設置することにより、特にミリ波帯において、低コスト、小型化、高性能化が期待できる誘電体フィルタを実現することができる。そして、それを用いた無線通信機器を提供することができる。   As described above, according to the present invention, a conductor is disposed on both surfaces of a dielectric substrate, and an internal conductor layer having a resonance hole is provided on at least one layer inside the dielectric substrate, thereby having a small and highly accurate structure. A dielectric filter that can be expected to achieve low cost, small size, and high performance, particularly in the millimeter wave band, by installing the dielectric resonator in a multilayer wiring board or semiconductor package. Can be realized. And the radio | wireless communication apparatus using it can be provided.

以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の誘電体共振器の構造および電界分布を示す図である。該誘電体共振器は、特に、周方向に電界が回るTE011モードを利用している。
図9に示した従来の、ビア導体を用いた単一誘電体共振器では、TE10モードを用いており、ビア導体がないと電磁界は放射してしまう。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a diagram showing the structure and electric field distribution of a dielectric resonator according to the present invention. The dielectric resonator particularly uses a TE 011 mode in which an electric field rotates in the circumferential direction.
In the conventional single dielectric resonator using the via conductor shown in FIG. 9, the TE 10 mode is used. If there is no via conductor, the electromagnetic field is radiated.

図1において、誘電体共振器は、グランドとなる下部導体4bの上に、複数の誘電体層を積層した誘電体基板1を配置し、該誘電体基板1の上に、上部導体4aを配置している。誘電体基板1の内部の誘電体層には、共振空孔部(以下「共振部」という)3が形成された内部メタライズ層2を配置している。共振部3は、円形形状を有し、下部導体4b、上部導体4a、内部メタライズ層2は互いに平行に配列されている。   In FIG. 1, the dielectric resonator has a dielectric substrate 1 in which a plurality of dielectric layers are laminated on a lower conductor 4b serving as a ground, and an upper conductor 4a is arranged on the dielectric substrate 1. is doing. In the dielectric layer inside the dielectric substrate 1, an internal metallized layer 2 in which a resonance hole portion (hereinafter referred to as “resonance portion”) 3 is formed is disposed. The resonating part 3 has a circular shape, and the lower conductor 4b, the upper conductor 4a, and the inner metallized layer 2 are arranged in parallel to each other.

前記誘電体基板1には、例えば、ガラスエポキシ樹脂などの有機系誘電体基板1に対して、銅箔などの導体によって内部メタライズ層2が形成されたもの、または、セラミック材料などの無機系誘電体基板1に内部メタライズ層2を配置し、誘電体基板1と同時に焼成して形成されたものが用いられる。
誘電体基板1は、誘電率を高くすることで、全体構造の小型化に供することができることから、比誘電率εが4から25と、樹脂基板に比べて高いセラミック材料を用いることが好ましい。また、セラミック材料を用いると、一般に、樹脂基板に比べて誘電損失が低いため、誘電体共振器の高Q化に対して有効である。
The dielectric substrate 1 has an internal metallized layer 2 formed of a conductor such as copper foil on an organic dielectric substrate 1 such as glass epoxy resin, or an inorganic dielectric such as a ceramic material. A material formed by disposing the internal metallized layer 2 on the body substrate 1 and firing it at the same time as the dielectric substrate 1 is used.
Since the dielectric substrate 1 can be used for downsizing the entire structure by increasing the dielectric constant, it is preferable to use a ceramic material having a relative dielectric constant ε of 4 to 25, which is higher than that of the resin substrate. In addition, when a ceramic material is used, since the dielectric loss is generally lower than that of the resin substrate, it is effective for increasing the Q of the dielectric resonator.

前記セラミック材料としては、ガラスエポキシ樹脂などの有機系誘電体基板に対して、銅箔などの導体によって配線導体層が形成されたもの、または、セラミック材料などの無機系誘電体基板に種々の配線導体層を誘電体基板と同時に焼成して形成されたものが用いられる。
モジュールとして使用する場合、誘電体基板1は、誘電率を高くすることで、小さな面積でも充分な静電容量を得ることができ、ストリップライン長を短縮して、全体構造の小型化に供することができることから、比誘電率εが4から25と比較的高い、セラミック材料が用いられる。
Examples of the ceramic material include those in which a wiring conductor layer is formed of a conductor such as copper foil on an organic dielectric substrate such as glass epoxy resin, or various wirings on an inorganic dielectric substrate such as a ceramic material. A conductor layer formed by firing simultaneously with a dielectric substrate is used.
When used as a module, the dielectric substrate 1 can obtain a sufficient electrostatic capacity even in a small area by increasing the dielectric constant, shorten the stripline length, and provide for the miniaturization of the entire structure. Therefore, a ceramic material having a relatively high relative dielectric constant ε of 4 to 25 is used.

前記セラミック材料としては、(1)Al23、AlN、Si34、SiCを主成分とする焼成温度が1100℃以上のセラミック材料、(2)金属酸化物の混合物からなる1100℃以下、特に1050℃以下で焼成される低温焼成セラミック材料、(3)ガラス粉末、あるいはガラス粉末とセラミックフィラー粉末との混合物からなる1100℃以下、特に1050℃以下で焼成される低温焼成セラミック材料の群から選ばれる少なくとも1種が選択される。 Examples of the ceramic material include (1) a ceramic material whose main component is Al 2 O 3 , AlN, Si 3 N 4 , SiC, and a firing temperature of 1100 ° C. or higher, and (2) 1100 ° C. or lower made of a mixture of metal oxides. A low-temperature fired ceramic material fired at 1050 ° C. or lower, (3) a group of low-temperature fired ceramic materials fired at 1100 ° C. or lower, particularly 1050 ° C. or lower, comprising glass powder or a mixture of glass powder and ceramic filler powder At least one selected from is selected.

前記(2)の混合物としては、BaO−TiO2系、Ca−TiO2系、MgO−TiO2系等のセラミック材料が用いられ、これらのセラミック材料に、SiO2、Bi23、CuO、Li2O、B23等の助剤を適宜添加したものを用いる。
前記(3)のガラス組成物としては、少なくともSiO2を含み、Al23、B23、ZnO、PbO、アルカリ土類金属酸化物、アルカリ金属酸化物のうちの少なくとも1種以上を含有したものを用いる。具体的には、SiO2−B23−RO系、SiO2−BaO−Al23−RO系、SiO2−B23−Al23−RO系、SiO2−Al23−RO系、さらにはこれらの系にZnO、PbO、Pb、ZrO2、TiO2等を配合した組成物が挙げられる。また、ガラスとしては、焼成処理しても非晶質ガラスであるもの、また焼成処理によって、アルカリ金属シリケート、クォーツ、クリストバライト、コージェライト、ムライト、エンスタタイト、アノーサイト、セルジアン、スピネル、ガーナイト、ディオプサイド、イルメナイト、ウイレマイト、ドロマイト、ペタライトやその置換誘導体の結晶を少なくとも1種を析出する結晶化ガラスなどが用いられる。
As the mixture of (2), ceramic materials such as BaO—TiO 2 , Ca—TiO 2 , MgO—TiO 2, etc. are used, and these ceramic materials include SiO 2 , Bi 2 O 3 , CuO, A material to which auxiliary agents such as Li 2 O and B 2 O 3 are appropriately added is used.
The glass composition (3) contains at least SiO 2 and contains at least one of Al 2 O 3 , B 2 O 3 , ZnO, PbO, alkaline earth metal oxide, and alkali metal oxide. Use the contained one. Specifically, SiO 2 —B 2 O 3 —RO system, SiO 2 —BaO—Al 2 O 3 —RO system, SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —RO system, SiO 2 —Al 2 Examples of the composition include an O 3 -RO system, and a composition in which ZnO, PbO, Pb, ZrO 2 , TiO 2 and the like are blended with these systems. In addition, the glass is an amorphous glass even if it is fired, and by firing, alkali metal silicate, quartz, cristobalite, cordierite, mullite, enstatite, anorthite, serdian, spinel, garnite, dio Crystallized glass that precipitates at least one crystal of pside, ilmenite, willemite, dolomite, petalite, and substituted derivatives thereof is used.

また、前記(3)におけるセラミックフィラーとしては、Al23、SiO2(クォーツ、クリストバライト)、フォルステライト、コージェライト、ムライト、ZrO2、ムライト、フォルステライト、エンスタタイト、スピネル、マグネシア、AlN、Si34、SiC、MgTiO3、CaTiO3などのチタン酸塩の群から選ばれる少なくとも1種が挙げられ、ガラス20〜80質量%、フィラー20〜80質量%の割合で混合されることが望ましい。 Further, as the ceramic filler in (3), Al 2 O 3 , SiO 2 (quartz, cristobalite), forsterite, cordierite, mullite, ZrO 2 , mullite, forsterite, enstatite, spinel, magnesia, AlN, Examples include at least one selected from the group consisting of titanates such as Si 3 N 4 , SiC, MgTiO 3 , and CaTiO 3 , and glass 20 to 80% by mass and filler 20 to 80% by mass. desirable.

一方、内部メタライズ層2は、誘電体基板1と同時焼成して形成するために、誘電体基板1を形成するセラミック材料の焼成温度に応じて種々組み合わせられる。例えば、セラミック材料が前記(1)の場合、タングステン、モリブデン、マンガン、銅の群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする導体材料が好適に用いられる。また、低抵抗化のために、銅などとの混合物としてもよい。セラミック材料が前記(2)(3)の低温焼成セラミック材料を用いる場合、銅、銀、金、アルミニウムの群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする低抵抗導体材料が用いられる。   On the other hand, since the internal metallized layer 2 is formed by simultaneous firing with the dielectric substrate 1, various combinations are made according to the firing temperature of the ceramic material forming the dielectric substrate 1. For example, when the ceramic material is (1), a conductor material mainly containing at least one selected from the group consisting of tungsten, molybdenum, manganese, and copper is preferably used. Moreover, it is good also as a mixture with copper etc. for resistance reduction. When the ceramic material is the low-temperature fired ceramic material of (2) or (3) above, a low-resistance conductor material mainly containing at least one selected from the group consisting of copper, silver, gold, and aluminum is used.

内部メタライズ層2を低抵抗導体によって形成できることから、前記(1)(2)の低温焼成セラミック材料によって形成することが望ましい。
この多層基板の具体的な製造方法を説明する。アルミナ、ムライト、フォルステライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラスなどをベースとして、公知の焼結助剤や高誘電率化に寄与するチタン酸塩などの化合物をこれに添加混合してセラミックグリーンシートを作成する。
Since the internal metallized layer 2 can be formed of a low-resistance conductor, it is desirable to form the internal metallized layer 2 using the low-temperature fired ceramic material (1) or (2).
A specific method for manufacturing the multilayer substrate will be described. Based on alumina, mullite, forsterite, aluminum nitride, silicon nitride, glass, etc., ceramic green sheets are prepared by adding and mixing known sintering aids and compounds such as titanates that contribute to higher dielectric constants. create.

一枚のセラミックグリーンシートの表面に内部メタライズ層2となる導体層を形成する。導体層の形成方法は、前記金属を含有する導体ペーストをセラミックグリーンシートの表面に塗布したり、前記金属からなる金属箔を貼付したりする。また、ビア導体を形成する部位には、セラミックグリーンシートに貫通孔をあけ、その貫通孔の側面に導体ペーストを塗布するか、もしくは貫通孔の全体に導体ペーストを充填する。   A conductor layer to be the inner metallized layer 2 is formed on the surface of one ceramic green sheet. The conductor layer is formed by applying a conductive paste containing the metal to the surface of the ceramic green sheet or attaching a metal foil made of the metal. In addition, a through hole is formed in the ceramic green sheet at a portion where the via conductor is formed, and a conductive paste is applied to the side surface of the through hole, or the entire through hole is filled with the conductive paste.

前記セラミックグリーンシートを積層し、所要の圧力と温度の下で熱圧着し、焼成する。
前記内部メタライズ層2の直径をDとする。前記内部メタライズ層2と上部導体4aとの間にある誘電体層の厚みをh1、前記内部メタライズ層2と下部導体4bとの間にある誘電体層の厚みをh2とする。前記誘電体層の厚みh1,h2のうち、大きい方をhとする。
The ceramic green sheets are laminated, thermocompression bonded under a required pressure and temperature, and fired.
The diameter of the internal metallization layer 2 is D. The thickness of the dielectric layer between the inner metallized layer 2 and the upper conductor 4a is h1, and the thickness of the dielectric layer between the inner metallized layer 2 and the lower conductor 4b is h2. Of the thicknesses h1 and h2 of the dielectric layer, the larger one is defined as h.

誘電体層の厚みh及び誘電体の比誘電率εは、共振する周波数の高周波信号を減衰させるような値に選ばれる。詳しくいえば、誘電体基板1は、内部メタライズ層2と上部導体4a及び内部メタライズ層2と下部導体4bで挟み込まれた平行平板の構造となっている。平行平板の端から電波が飛び出さないためには、平行平板の遮断周波数fcを超えない周波数領域で設計を行う必要がある。従来のマイクロ波帯では、あまり考慮する必要がなかったが、ミリ波帯では波長が短いので、誘電体層の厚みhが厚く、比誘電率εが高い試料では、遮断周波数fcを超える場合も生じる。平行平板の遮断周波数fcは、次式で表される(μは誘電体の比透磁率)。   The thickness h of the dielectric layer and the relative dielectric constant ε of the dielectric are selected so as to attenuate a high frequency signal having a resonating frequency. More specifically, the dielectric substrate 1 has a parallel plate structure sandwiched between the inner metallized layer 2 and the upper conductor 4a and between the inner metallized layer 2 and the lower conductor 4b. In order to prevent radio waves from jumping out from the end of the parallel plate, it is necessary to design in a frequency region that does not exceed the cutoff frequency fc of the parallel plate. In the conventional microwave band, it was not necessary to consider much, but since the wavelength is short in the millimeter wave band, the sample having a thick dielectric layer h and a high relative dielectric constant ε may exceed the cutoff frequency fc. Arise. The cutoff frequency fc of the parallel plate is expressed by the following equation (μ is the relative permeability of the dielectric).

fc=1/2h√(με)
したがって、誘電体層の厚みh、比誘電率εは、使用する周波数がカットオフ周波数fcを超えないように選ぶ必要がある。
この誘電体共振器は、TE011モードを利用しており、電界は、上部導体4a及び下部導体4bの表面でゼロになり、それから誘電体基板1の中央に近づくにつれて増大する。このため、内部メタライズ層2の共振部3により、効果的に電界の閉じこめを行うことができ、Q値の高い共振器を構成することができる。
fc = 1 / 2h√ (με)
Therefore, it is necessary to select the thickness h of the dielectric layer and the relative dielectric constant ε so that the frequency to be used does not exceed the cutoff frequency fc.
This dielectric resonator uses the TE 011 mode, and the electric field becomes zero on the surfaces of the upper conductor 4a and the lower conductor 4b, and then increases as the center of the dielectric substrate 1 is approached. For this reason, the electric field can be effectively confined by the resonating part 3 of the internal metallized layer 2, and a resonator having a high Q value can be configured.

図2(a)は、本発明の誘電体フィルタ構造の一例を示す平面断面図である。また、図2(b)に本発明の誘電体フィルタの縦断面図を示す。
これらの図2(a),図2(b)において、誘電体フィルタは、グランドとなる下部導体4bの上に、誘電体基板1を配置し、該誘電体基板1の上に、共振部3a,共振部3bが形成された内部メタライズ層2を設置し、誘電体基板1の上面に上部導体4aを配置した構造となっている。前記2つの共振部3a,3bの間隔xを調整することによって、誘電体共振器同士の結合係数を設定する。
FIG. 2A is a plan sectional view showing an example of the dielectric filter structure of the present invention. FIG. 2 (b) shows a longitudinal sectional view of the dielectric filter of the present invention.
2A and 2B, in the dielectric filter, the dielectric substrate 1 is disposed on the lower conductor 4b serving as the ground, and the resonance unit 3a is disposed on the dielectric substrate 1. The internal metallized layer 2 in which the resonance part 3b is formed is provided, and the upper conductor 4a is disposed on the upper surface of the dielectric substrate 1. A coupling coefficient between the dielectric resonators is set by adjusting an interval x between the two resonance parts 3a and 3b.

また、上部導体4a、下部導体4b間を接続するビア導体5を2列、一定ピッチで配置して、積層型導波管6を構成している。この積層型導波管6の端部を、距離Eだけ離して、前記共振部3a,共振部3bに対向させている。この積層型導波管6により、誘電体フィルタへの信号の入出力を行う。
以上の構造により、2つの誘電体共振器の共振周波数差を所定の値に設定することにより、帯域通過フィルタ、帯域阻止フィルタなどの機能を持つ誘電体フィルタを構成することができる。また、帯域外に減衰極を作り出すことも可能である。
The laminated waveguide 6 is configured by arranging two rows of via conductors 5 connecting the upper conductor 4a and the lower conductor 4b at a constant pitch. The ends of the laminated waveguide 6 are separated from each other by the distance E so as to face the resonance unit 3a and the resonance unit 3b. The laminated waveguide 6 inputs / outputs signals to / from the dielectric filter.
With the above structure, a dielectric filter having functions such as a band-pass filter and a band rejection filter can be configured by setting the resonance frequency difference between the two dielectric resonators to a predetermined value. It is also possible to create an attenuation pole outside the band.

図3は、本発明の誘電体フィルタの他の構造例を示す平面断面図(a)、及び縦断面図(b)である。
図4は、図3の誘電体フィルタの各部の寸法を示した側断面図(a)、平面断面図(b)、及び縦断面図(c)である。
この図3、図4において、誘電体基板1の上下に上部導体4a、下部導体4bを配置し、該誘電体基板1内に、所定の間隔を隔てて複数の共振部3a,3bを持った内部メタライズ層2を設置しているところは、図2(a),(b)と同じ構造となっている。
FIG. 3 is a plan sectional view (a) and a longitudinal sectional view (b) showing another structural example of the dielectric filter of the present invention.
4 is a side sectional view (a), a plan sectional view (b), and a longitudinal sectional view (c) showing the dimensions of each part of the dielectric filter of FIG.
3 and 4, an upper conductor 4a and a lower conductor 4b are arranged above and below the dielectric substrate 1, and a plurality of resonance portions 3a and 3b are provided in the dielectric substrate 1 at a predetermined interval. The place where the internal metallization layer 2 is provided has the same structure as FIGS. 2 (a) and 2 (b).

図3、図4の構造では、所望の強結合が取られるように、ビア導体5により構成される積層型導波管6の共振空孔部を広げて、共振部3a,共振部3bの近傍に設けた構造となっている。
すなわち、図3、図4の構造では、積層型導波管6の共振空孔部近くの一定長さEにわたって、2列のビア導体5の間隔wを、共振部3aに近づくにつれて間隔Wになるまでテーパ状に広げている。これにより、電界分布を、横方向(信号伝搬方向と直角な方向)に広げて、共振部3aへの強い電磁結合を得ている。
In the structures of FIGS. 3 and 4, the resonance hole portion of the laminated waveguide 6 constituted by the via conductor 5 is expanded so that desired strong coupling is obtained, and the vicinity of the resonance portion 3a and the resonance portion 3b. It is the structure provided in.
That is, in the structure of FIG. 3 and FIG. 4, the interval w between the two rows of via conductors 5 is set to the interval W over the constant length E near the resonance hole portion of the multilayer waveguide 6 as it approaches the resonance portion 3a. It expands in a tapered shape until it becomes. As a result, the electric field distribution is widened in the lateral direction (a direction perpendicular to the signal propagation direction) to obtain strong electromagnetic coupling to the resonating unit 3a.

なお、積層型導波管6の共振空孔部と共振部3aの開口との間には、長さeにわたって内部メタライズ層2を残している。これは、共振部3aを平面視で閉じた空間にして、共振のQ値を下げないようにするためである。
図5は、本発明の誘電体フィルタのさらに他の構造例を示す平面断面図(a)、及び縦断面図(b)(c)である。
Note that the internal metallized layer 2 is left over the length e between the resonant hole portion of the laminated waveguide 6 and the opening of the resonant portion 3a. This is to prevent the resonance Q value from being lowered by making the resonance portion 3a a closed space in a plan view.
FIG. 5 is a plan sectional view (a) and longitudinal sectional views (b) and (c) showing still another structural example of the dielectric filter of the present invention.

この図5においても、図3、図4の構造と同様、入出力導波部との間に所望の強結合が取られるように、ビア導体5により構成される積層型導波管6の共振空孔部を広げて、共振部3a,共振部3bの近傍に設けた構造となっている。
ただ、図3、図4の構造では、2列のビア導体5の間隔wを、共振部3aに近づくにつれて間隔Wになるまでテーパ状に広げていたが、この図5の構造では、積層型導波管6の共振空孔部近くの一定長さEにわたって、2列のビア導体5の間隔がwからWになるようにステップ状に広げている。これにより、電界分布を、横方向(信号伝搬方向と直角な方向)に広げて、共振部3aへの強い電磁結合を得ている。なお、この図5の構造では、積層型導波管6の共振空孔部と共振部3aの開口との間に、内部メタライズ層2を残さずに直結している。前記間隔Wと、長さEの調整により、結合量を調節することができる。これにより、共振のQ値は少し下がるが、図3、図4と比べてさらに強い電磁結合を得ることができる。
In this FIG. 5 as well, similar to the structures of FIGS. 3 and 4, the resonance of the laminated waveguide 6 constituted by the via conductor 5 so that a desired strong coupling is obtained between the input / output waveguide portions. The hole portion is widened to provide a structure provided in the vicinity of the resonance portion 3a and the resonance portion 3b.
However, in the structure of FIGS. 3 and 4, the interval w between the two rows of via conductors 5 is increased in a tapered shape until the interval W becomes closer to the resonance portion 3 a. In the structure of FIG. Over a certain length E near the resonant hole of the waveguide 6, the distance between the two rows of via conductors 5 is expanded stepwise so that the distance from w to W is changed. As a result, the electric field distribution is widened in the lateral direction (a direction perpendicular to the signal propagation direction) to obtain strong electromagnetic coupling to the resonating unit 3a. In the structure of FIG. 5, the internal metallized layer 2 is directly connected without leaving the internal metallized layer 2 between the resonant hole portion of the laminated waveguide 6 and the opening of the resonant portion 3a. The amount of coupling can be adjusted by adjusting the interval W and the length E. As a result, although the Q value of the resonance is slightly lowered, stronger electromagnetic coupling can be obtained as compared with FIGS.

以上で、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の実施は、前記の形態に限定されるものではない。例えば、誘電体フィルタに設置される共振器の段数は2段とは限らず、任意の段数とすることができる。また、共振モードもTE011モードとは限らない。その他、本発明の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention are not limited to the above-described embodiments. For example, the number of stages of resonators installed in the dielectric filter is not limited to two but can be any number. Also, the resonance mode is not necessarily the TE 011 mode. In addition, various modifications can be made within the scope of the present invention.

まず初めに60GHzにおける単一誘電体共振器(図1)の設計を行った。共振周波数およびQ値の解析は、軸対称構造に対するモード整合法のソフトとアンソフト社製有限要素法ソフトHFSSとを用いてそれぞれ行った。共振部の直径D=3.05mm、内部メタライズ層2の厚みt=0.01mm、誘電体基板1の厚みh=1.81mmとしたとき、モード整合法では、共振周波数f0=60GHz、HFSSでは、f0=60.3GHzとなった。HFSSでは、円の解析を32角形と近似している影響である。また、電極及び導体の導電率を5.8×106S/m、誘電体の誘電正接tanδ=1×10-3としたとき、単一誘電体共振器のQ値の解析は、モード整合法では、Q=840、HFSSではQ=750となった。 First, a single dielectric resonator (FIG. 1) at 60 GHz was designed. The analysis of the resonance frequency and the Q value was performed using the mode matching method software for the axially symmetric structure and the finite element method software HFSS manufactured by Ansoft. When the diameter D of the resonance portion is 3.05 mm, the thickness t of the internal metallized layer 2 is 0.01 mm, and the thickness h of the dielectric substrate 1 is 1.81 mm, in the mode matching method, the resonance frequency f0 is 60 GHz and HFSS F0 = 60.3 GHz. In HFSS, this is the effect of approximating the analysis of a circle to a 32-gon. When the conductivity of the electrode and the conductor is 5.8 × 10 6 S / m and the dielectric loss tangent tan δ = 1 × 10 −3 , the analysis of the Q value of the single dielectric resonator is mode matching. In the law, Q = 840, and in HFSS, Q = 750.

前記単一誘電体共振器の寸法を用いて、図4に示す中心周波数60.3GHz、帯域幅600MHz、2段チェビシェフ特性バンドパス誘電体フィルタの設計をHFSSにより行った。
現実では、ビア導体により積層型導波管を形成するが、ここでは、メッシュやメモリーの関係でビア導体を用いた積層型導波管の部分を通常の導波管として計算を行っている。
Using the dimensions of the single dielectric resonator, the design of a bandpass dielectric filter with a center frequency of 60.3 GHz, a bandwidth of 600 MHz, and a two-stage Chebyshev characteristic shown in FIG. 4 was performed by HFSS.
In reality, a laminated waveguide is formed with via conductors, but here, the calculation is performed with a portion of the laminated waveguide using via conductors as a normal waveguide because of mesh and memory.

まず結合係数K12の計算を行った。その結果、誘電体共振器の間隔xに対する結合係数K12の変化を図6に示す。これより、x=0.55mmのとき、必要な結合係数K12=0.012を得た。
次に、外部Q、Qeの計算をHFSSにより行った。共振器への信号の入出力は、幅w, 厚さHの積層型導波管により行い、共振器との結合部分は、図4(a)に示すようにe=0.1mm、E=1.475mmのホーンアンテナ形状となっている。前記幅Wにより外部Qの調整を行った。Wに対するQeの変化を図7に示す。図7より、W=2.0mmのとき、必要なQe=100を得た。
First, the coupling coefficient K 12 was calculated. As a result, the change of the coupling coefficient K 12 with respect to the interval x of the dielectric resonator is shown in FIG. From this, when x = 0.55 mm, a necessary coupling coefficient K 12 = 0.012 was obtained.
Next, external Q and Qe were calculated by HFSS. Signal input / output to the resonator is performed by a laminated waveguide having a width w and a thickness H, and the coupling portion with the resonator is e = 0.1 mm, E = 0.1 mm as shown in FIG. It has a horn antenna shape of 1.475 mm. The external Q was adjusted by the width W. The change of Qe with respect to W is shown in FIG. From FIG. 7, when W = 2.0 mm, necessary Qe = 100 was obtained.

以上から、誘電体フィルタへの仕様を満たす設計値は、誘電体共振器間結合係数k12=0.012、外部Q,Qe=100となった。
最後に、誘電体フィルタの整合状態をチェックしながらxの値を微調整してW=2.1mmを得た。
以上のようにして得られた寸法を入力し、HFSSを用いて誘電体フィルタの伝送特性Sパラメータを計算した。Sパラメータの計算結果を図8に示す。この結果より、帯域通過誘電体フィルタの所望の特性が得られることを確認し、実用化の可能性を得た。
From the above, the design values satisfying the specifications for the dielectric filter are the dielectric resonator coupling coefficient k 12 = 0.012 and the external Q and Qe = 100.
Finally, the value of x was finely adjusted while checking the matching state of the dielectric filter to obtain W = 2.1 mm.
The dimensions obtained as described above were input, and the transmission characteristic S parameter of the dielectric filter was calculated using HFSS. The calculation result of the S parameter is shown in FIG. From this result, it was confirmed that the desired characteristics of the band-pass dielectric filter were obtained, and the possibility of practical use was obtained.

(a)は本発明のTE011モード誘電体共振器の構造例を示す平面断面図であり、(b)は縦断面図である。(a) is a plan sectional view showing a structural example of a TE 011 mode dielectric resonator of the present invention, and (b) is a longitudinal sectional view. (a)は本発明の誘電体フィルタの構造例を示す平面断面図であり、(b)は縦断面図である。(a) is a plan sectional view showing a structural example of a dielectric filter of the present invention, and (b) is a longitudinal sectional view. (a)は本発明の誘電体フィルタの他の構造例を示す平面断面図であり、(b)及び(c)はそれぞれ縦断面図である。(a) is a plan sectional view showing another structural example of the dielectric filter of the present invention, and (b) and (c) are longitudinal sectional views, respectively. 図3の誘電体フィルタの寸法例を示す側断面図(a)、平面断面図(b)及び縦断面図(c)である。FIG. 4 is a side sectional view (a), a plan sectional view (b), and a longitudinal sectional view (c) showing examples of dimensions of the dielectric filter of FIG. 3. (a)は本発明の誘電体フィルタのさらに他の構造例を示す平面断面図であり、(b)及び(c)はそれぞれ縦断面図である。(a) is a plan sectional view showing still another structural example of the dielectric filter of the present invention, and (b) and (c) are longitudinal sectional views, respectively. 誘電体共振器の間隔xに対する結合係数kの変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the coupling coefficient k with respect to the space | interval x of a dielectric resonator. 積層型導波管の開口幅Wに対するQeの変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of Qe with respect to opening width W of a laminated waveguide. バンドパス誘電体フィルタの伝送特性のシミュレーションの結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of the simulation of the transmission characteristic of a band pass dielectric filter. (a)は従来のTE10モード誘電体共振器の構造を示す平面断面図であり、(b)は縦断面図である。(a) is a plan sectional view showing the structure of a conventional TE 10 mode dielectric resonator, and (b) is a longitudinal sectional view.

符号の説明Explanation of symbols

1 誘電体基板
2 内部メタライズ層
3,3a,3b 共振部、共振空孔部
4a 上部電極
4b 下部電極
5 ビア導体
6 積層型導波管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric substrate 2 Internal metallization layers 3, 3a, 3b Resonance part, resonance hole part 4a Upper electrode 4b Lower electrode 5 Via conductor 6 Multilayer waveguide

Claims (12)

下部導体及び上部導体と、下部導体及び上部導体の間に接触して配置された、複数の誘電体層を積層した誘電体基板と、該誘電体基板の内部の少なくとも一層に設けられた、共振空孔部を持つ内部導体層とを具備することを特徴とする誘電体共振器。   A dielectric substrate in which a plurality of dielectric layers are laminated and disposed between and in contact with the lower conductor and the upper conductor, and a resonance provided on at least one layer inside the dielectric substrate. A dielectric resonator comprising an inner conductor layer having a hole. 前記共振空孔部が円形である請求項1記載の誘電体共振器。   The dielectric resonator according to claim 1, wherein the resonant hole is circular. 共振のモードに、TE011モードを用いる請求項1又は請求項2記載の誘電体共振器。 3. The dielectric resonator according to claim 1, wherein a TE 011 mode is used as a resonance mode. 下部導体及び上部導体と、下部導体及び上部導体の間に接触して配置された、複数の誘電体層を積層した誘電体基板と、該誘電体基板の内部の少なくとも一層に設けられた、複数の共振空孔部を持つ内部導体層と、前記誘電体基板内のビア導体列により形成された積層型導波管とを具備し、
前記共振空孔部は、所定の間隔を隔てて並置され、
前記積層型導波管の開口端部は、前記内部導体層の複数の共振空孔部のいずれかに対向しており、
信号の入力又は出力の少なくとも一方又は双方は、前記積層型導波管により行われることを特徴とする誘電体フィルタ。
A dielectric substrate on which a plurality of dielectric layers are stacked, arranged in contact between the lower conductor and the upper conductor, and a plurality of layers provided on at least one layer inside the dielectric substrate; An inner conductor layer having a resonance hole portion of the multilayered waveguide formed by a via conductor row in the dielectric substrate,
The resonant holes are juxtaposed at a predetermined interval,
The opening end of the multilayer waveguide faces one of the plurality of resonance holes of the inner conductor layer,
A dielectric filter, wherein at least one or both of signal input and output is performed by the laminated waveguide.
前記共振空孔部が円形である請求項4記載の誘電体フィルタ。   The dielectric filter according to claim 4, wherein the resonance hole is circular. 共振のモードに、TE011モードを用いる請求項4又は請求項5記載の誘電体フィルタ。 6. The dielectric filter according to claim 4, wherein a TE 011 mode is used as a resonance mode. 前記ビア導体列の開口径は、前記内部導体層の共振空孔部に接近するにつれてテーパもしくはホーン状に広がっている請求項4から請求項6のいずれかに記載の誘電体フィルタ。   7. The dielectric filter according to claim 4, wherein an opening diameter of the via conductor row expands in a taper shape or a horn shape as approaching a resonance hole portion of the inner conductor layer. 8. 前記ビア導体列の開口径は、前記内部導体層の共振空孔部に接近した位置でステップ状に広がっている請求項4から請求項6のいずれかに記載の誘電体フィルタ。   7. The dielectric filter according to claim 4, wherein an opening diameter of the via conductor row expands in a step shape at a position close to a resonance hole portion of the inner conductor layer. 前記内部導体層の共振空孔部と、前記積層型導波管の開口端部と間は、所定長さの前記内部導体層により隔てられている請求項4から請求項8のいずれかに記載の誘電体フィルタ。   The resonance hole portion of the inner conductor layer and the opening end portion of the multilayer waveguide are separated by the inner conductor layer having a predetermined length. Dielectric filter. 前記内部導体層の共振空孔部と、前記積層型導波管の開口端部とは直結している請求項4から請求項8のいずれかに記載の誘電体フィルタ。   The dielectric filter according to any one of claims 4 to 8, wherein the resonance hole portion of the inner conductor layer and the opening end portion of the multilayer waveguide are directly connected. 前記ビア導体列を作るためのビアホールが形成された前記複数の誘電体層と、前記下部導体と、前記上部導体と、前記複数の共振空孔部を持つ内部導体層とを同時焼成により一体に成形してなる請求項4から請求項10のいずれかに記載の誘電体フィルタ。   The plurality of dielectric layers formed with via holes for forming the via conductor row, the lower conductor, the upper conductor, and the inner conductor layer having the plurality of resonance holes are integrally formed by simultaneous firing. The dielectric filter according to any one of claims 4 to 10, which is formed. 請求項4から請求項10に記載された誘電体フィルタを搭載した無線通信機器。   A wireless communication device equipped with the dielectric filter according to claim 4.
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