JP2006093003A - 導体ペーストおよびそれを用いた配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも、亜酸化銅粉末と、樹脂とを含有する導体ペーストであり、前記亜酸化銅粉末が球状であることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
Cu2O→2Cu+1/2O2
の反応が起こり、亜酸化銅粉末の還元・焼結により体積が収縮する。上述した球状の亜酸化銅粉末は、非球状粉でみられるような突起部との接触でできる空間が比較的少なく、充填が高い状態をとることで、還元収縮および緻密化に伴う焼成収縮量を上げることができ、ガラスセラミック基板と銅メタライズ組成物とにおける焼成収縮量差の整合性を効果的に高められる。
2・・・蓋体
3・・・メタライズ配線層
4・・・接続端子
5・・・半導体素子
6・・・容器
Claims (10)
- 少なくとも球状の亜酸化銅粉末と、樹脂とを含有することを特徴とする導体ペースト。
- 前記導体ペーストが、銅粉末を含有することを特徴とする請求項1に記載の導体ペースト。
- 前記導体ペーストが、ガラス粉末を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の導体ペースト。
- 前記亜酸化銅粉末の平均粒径(D50)が、4μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれかに記載の導体ペースト。
- 前記銅粉末の平均粒径(D50)が6μm以下であることを特徴とする請求項2乃至5に記載の導体ペースト。
- 前記亜酸化銅粉末が、(D90−D10)/D50≦2を満足する粒度分布を有することを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれかに記載の導体ペースト。
- 前記亜酸化銅粉末のBET比表面積が、15m2/g以下であることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれかに記載の導体ペースト
- 前記銅粉末と前記亜酸化銅粉末の割合が、質量比で5:95〜40:60であることを特徴とする請求項2乃至7のうちいずれかに記載の導体ペースト
- 少なくともセラミック粉末と樹脂とを含有するセラミックグリーンシートの表面、または該セラミックグリーンシートに形成された貫通孔内に、請求項1乃至8のうちいずれかに記載の導体ペーストを印刷又は充填する導体形成工程と、前記導体ペーストが印刷又は充填するセラミックグリーンシートを焼成する焼成工程と、を具備してなることを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記導体形成工程と、前記焼成工程との間に、前記導体形成工程によって導体ペーストが印刷又は充填されたセラミックグリーンシートを複数積層する積層工程を具備することを特徴とする請求項9に記載の配線基板の製造方法。
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