JP2006091014A - 磁気流体加速度計のためのハウジング - Google Patents

磁気流体加速度計のためのハウジング Download PDF

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Abstract

【課題】 関連分野の不利益の1つ以上を実質的に取り除く、磁性流体加速度センサのためのハウジングを提供すること。
【解決手段】 1つの局面において、本発明は、磁性流体加速度センサを提供し、このセンサは、以下:複数のポートを有し、この複数のポートが、ハウジングの外側から内側へと開口部を提供する、ハウジング;各々が、ハウジングのそれぞれのポートと係合可能であり、かつ磁場供給源を備える、複数の駆動磁石アセンブリ;ハウジング内の磁性流体;および、磁性流体内の慣性体を備える。
【選択図】 図1

Description

(発明の背景)
(発明の分野)
本発明は、磁性流体加速度センサのためのハウジングに関する。
(背景技術)
磁性流体加速度計は、例えば、特許文献1〜特許文献6に記載されている。これらの加速度計は、加速度を測定するために、磁性流体の原理および磁性流体中に懸垂された慣性体を利用する。このような加速度計は、しばしば、磁性流体で充填されたセンサケーシング(センサハウジングまたは「容器」)を備える。慣性体(慣性物体)は、磁性流体中に懸垂される。加速度計は通常、磁性流体中に磁場を生じる多数の駆動コイル(電力コイル)、および慣性体の相対移動に起因する、磁場の変化を検出するための多数の測定コイルを備える。
米国特許出願番号10/836,624 米国特許出願番号10/836,186 米国特許出願番号10/422,170 米国特許出願番号10/209,197(米国特許第6,731,268号) 米国特許出願番号09/511,831(米国特許第6,466,200号) 露国特許出願番号99122838
(開示の要旨)
磁性流体センサのためのハウジングであって、このセンサは、複数の駆動磁石アセンブリ、磁性流体および慣性体を有する。このハウジングは、駆動磁石アセンブリの各々の部分が、磁性流体に近接してハウジング内に位置付けられるように、それぞれの駆動磁石アセンブリを固定するための複数のポートを有する。各駆動磁石アセンブリは、慣性体に作用するために、磁性流体内に磁場を生じるための磁場供給源を備える。各駆動磁石アセンブリはまた、磁性流体内の慣性体の変位を検出するための検出エレメントを備える。
本発明は、例えば、以下を提供する。
項目1.磁性流体加速度センサであって、以下:
複数のポートを有するハウジングであって、この複数のポートは、このハウジングの外側から内側へと開口部を提供する、ハウジング;
複数の駆動磁石アセンブリであって、この駆動磁石アセンブリの各々は、このハウジングのそれぞれのポートと係合可能であり、この駆動磁石アセンブリの各々は、磁場供給源を備える、複数の駆動磁石アセンブリ;
このハウジング内の磁性流体;および
この磁性流体内の慣性体
を備える、磁性流体加速度センサ。
項目2.上記駆動磁石アセンブリの各々が、検出エレメントをさらに備える、項目1に記載のセンサ。
項目3.上記駆動磁石アセンブリの各々が、アセンブリケーシングおよびリアーキャップをさらに備え、このケーシングおよびこのリアーキャップは、上記磁場供給源および上記検出エレメントを実質的に囲むように互いに嵌合する、項目1に記載のセンサ。
項目4.上記磁場供給源が駆動磁石コイルを備え、そして、上記検出エレメントが1対の検出コイルを備える、項目3に記載のセンサ。
項目5.上記駆動磁石コイルおよび上記1対の検出コイルが、共通の変圧器コアの周りに巻き付けられている、項目4に記載のセンサ。
項目6.上記アセンブリケーシングの各々が、複数の傾斜表面を有し、この傾斜表面は、上記ハウジングの内側内に広がる、項目3に記載のセンサ。
項目7.上記1つの駆動磁石アセンブリの傾斜表面が、近接する駆動磁石アセンブリの傾斜表面と整列する、項目6に記載のセンサ。
項目8.上記アセンブリケーシングの各々が、リーディング面を備え、上記検出エレメントが、それぞれのコア部分の周りに巻き付けられている1対の検出コイルを備え、その結果、このコア部分のリーディング面と、このアセンブリケーシングのリーディング面が、共通の平面内にある、項目3に記載のセンサ。
項目9.上記ハウジングは、6つの側面を有し、この側面の各々に、上記複数の駆動磁石アセンブリのうちの1つが取り付けられている、項目1に記載のセンサ。
項目10.上記磁場供給源が、本質的に、磁石、電磁石、および磁石と電磁石との組み合わせからなる群より選択される駆動磁石である、項目1に記載のセンサ。
項目11.上記慣性体が、非磁性である、項目1に記載のセンサ。
項目12.センサであって、以下:
ハウジング;
このハウジング内に位置付けられる複数の駆動磁石アセンブリであって、この駆動磁石アセンブリの各々は、磁石を備える、駆動磁石アセンブリ;
この駆動磁石に近接するこのハウジング内の磁性流体;および
この磁性流体内の慣性体
を備える、センサ。
(本発明の簡単な要旨)
本発明は、関連分野の不利益の1つ以上を実質的に取り除く、磁性流体加速度センサのためのハウジングに関する。
本発明の1つの実施形態において、センサは、慣性体を囲み、そして、複数の磁場供給源を保持するハウジングを備える。この磁場供給源としては、磁石、電磁石、およびこれら2つの組み合わせが挙げられ得る。センサハウジングはまた、磁場供給源と慣性体との間に実質的に位置付けられた磁性流体を含む。磁場供給源は、磁性流体内に磁場を発生させて、その中に、慣性体を懸垂状態に保持する。磁性流体内の慣性体の変位に起因する、センサハウジング内の磁束密度の変化を検出するために、1対の検出コイル(または他の位置センサ)が、ハウジングの周りに位置決めされる。
センサハウジングの種々の実施形態は、実質的に、または部分的にセンサハウジングの内側に位置付けられた磁場供給源を収容する。センサハウジングの1つの実施形態において、検出コイルおよび磁場供給源は、複数のアセンブリケーシング内に設置され得、この複数のケーシングは、それぞれ、センサハウジングに連結されている。1つの実施形態において、アセンブリケーシングおよび検出コイルの各々は、共通する平面上にリーディング面を備える。検出コイルのリーディング面は、薄膜により密閉してシールされ、アセンブリケーシング内への磁性流体の漏れを防止する。従って、磁性流体は、ハウジングの内側に保持され、そして、慣性体の変位は、アセンブリケーシングのリーディング面により規定されるセンサハウジングの「作業」空間に対して、実質的に制限されている。
本発明のさらなる特徴および利点は、以下の明細書に示され、そして、部分的に、明細書から明らかであるか、または、本発明を実施することによって確認され得る。本発明の利点は、明細書、および本明細書の特許請求の範囲、ならびに添付の図面において特に指摘された構造により、現実化および達成される。上記の一般的な説明および以下の詳細な説明の両方が、模範的かつ例示的であり、そして、特許請求される本発明のさらなる説明を提供することが意図されることが、理解されるべきである。
本発明のさらなる理解を提供するために含まれ、本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する、添付の図面は、本発明の実施形態を示し、明細書と共に、本発明の原理を説明するのに役立つ。
(発明の詳細な説明)
ここで、添付の図面に実施例が例示される本発明の実施形態に対して、詳細に参照がなされる。
図1は、本発明による磁性流体加速度センサ102の実施形態を例示する。磁性流体センサの操作の一般原理は、特許文献5(本明細書中に参考として援用される)に記載される。このセンサの挙動は、一連の非線形偏微分方程式により一般に説明され、これについては、米国仮特許出願番号60/614,415(発明の名称:「METHOD OF CALCULATING LINEAR AND ANGULAR ACCELERATION IN A MAGNETOFLUIDIC ACCELEROMETER WITH AN INERTIAL BODY」、発明者:ROMANOVら、出願日:2004年9月30日)を参照のこと。
図1に組み立てられた形態で示されるセンサ102は、ハウジング104、多数の駆動磁石アセンブリ106A〜106Eを備え、この各々が、対応する導線110A〜110Eを使用して、電源(図示されず)に接続されている。5つの駆動磁石アセンブリ106A〜106Eが図1に示され、6つ目の駆動磁石アセンブリ106Fはこの図では隠れているが、図3では示されている。しかし、さらなる実施形態において、センサが使用される用途に依存して、6つより少ないか、またはこれより多い駆動磁石アセンブリが、センサ内に組み込まれ得る。1つの実施形態において、ハウジング104は、射出成形プロセスにより適切なプラスチックから形成される。従って、ハウジング104は、単一の構造であっても、複数の部分からなる構造であってもよい。
図2は、駆動磁石アセンブリ106Cが取り除かれた、図1のセンサ102を例示する。駆動磁石アセンブリ106Cが取り除かれているので、慣性体202が、ハウジング104の作業空間205に見え、このパラメータは、以下により完全に詳説される。操作中、慣性体202は、示されるように、ハウジング104のほぼ幾何学中心に位置決めされる。磁性流体203は、ハウジング104の利用可能な体積の残りを充填、または部分的に充填する。例えば、磁性流体203は、ケロセンベースの液体、金属粒子(例えば、コバルト、ガドリニウム、ニッケル、ジスプロシウムおよび鉄)、これらの酸化物(例えば、Fe、FeO、Fe)ならびにマンガンジンクフェライト(ZnMn1−xFe)、コバルトフェライトまたは他の強磁性合金、酸化物およびフェライトのような磁気化合物を含み得る。ケロセンの代わりに、水または特定の油が、基材液体として使用され得る。
図3は、それぞれの駆動磁石307A、307B、307Dおよび307Eの配列、ならびに対の検出コイル308A、308B、308Dおよび308Eを有する、駆動磁石アセンブリ106A、106B、106Dおよび106Eを示す、図2のセンサ102の部分切断図を例示する。図3の実施形態において、図3において、対の検出コイル308A、308B、308Dおよび308E、ならびに駆動磁石アセンブリ106A、106B、106Dおよび106Eにより代表的に例示されるように、センサ102の駆動磁石アセンブリ106A〜106Fの各々が、1対の検出コイルおよび1つの駆動磁石を有することが理解されるべきである。
駆動磁石は、磁石であっても、電磁石であっても、これらの組合せであってもよく、また、懸垂磁石、電力磁石、電力コイルまたは懸垂コイル(電磁石が使用される場合)とも呼ばれ得る。検出コイルはまた、検出磁石または測定コイルとも呼ばれ得る。1対の検出コイル(すなわち、誘導センサ)に加えて、またはその代わりに、ホールセンサ、レーザセンサまたはLEDセンサ、静電センサ、音響センサおよび光学センサがまた、慣性体202の位置を検出するために使用され得る。
1つの実施形態において、線加速度および角加速度の両方を測定するために、1対の検出コイルが、ハウジング104の各側に位置付けられる。別の実施形態において、ハウジング104の各側面に中心から外して、単一の検出コイルを使用することが可能であるが、この場合、角加速度を決定するには、より複雑な数学的分析が必要となる。
図4および図5は、2つの異なる角度からの、図1のセンサ102の種々の構成要素を例示する。各図面は、駆動磁石アセンブリ106Dの分解図を含む。図面に示されるように、駆動磁石アセンブリ106Dは、アセンブリケーシング412D、リアーキャップ414、駆動磁石307D、1対の検出コイル308D、および駆動磁石コア418を備える。各検出コイル308Dは、それぞれの検出コア416の周りに巻き付けられている。1つの実施形態において、製造プロセスは、各検出コイル308Dが、そのそれぞれの検出コア416の周りに独立して巻き付けられることを可能にすることによって単純化される。検出コア416は、検出コイル308Dと一緒に、駆動磁石コア418に取り付けられ(接着され)、その後、この上に、駆動磁石(すなわち、電力コイル)307Dが巻き付けられ、これにより、サブアセンブリを生成する。このサブアセンブリは、次いで、アセンブリケーシング412Dの内側に位置付けられ、これは、最終的には、リアーキャップ414に固定されて、駆動磁石アセンブリ106Dを形成する。
図4に例示されるように、駆動磁石307Dは、リアーキャップ414に固定されているか、またはリアーキャップ414と一体型に作製された駆動磁石コア418の周りに巻き付けられる。アセンブリケーシング412Dは、その中に、駆動磁石307Dおよび検出コイル308Dを入れるように、リアーキャップ414に固定可能である。駆動磁石307Dは、必要に応じて、導線110Dを介して、コア部分418により、電源(図示されず)に接続され得る。同様に、検出コイル308Dは、必要に応じて、コア部分416を介して、センサ(図示されず)からの出力を受容するためのデバイスに接続され得る。図13に示される代替的な実施形態において、コア416および418は、単一のまたは共通の変圧器コア1330により置き換えられ得る。図13の実施形態において、各検出コイル1308は、共通の変圧器コア1330のそれぞれのフォークの歯1332の周りに巻き付けられるが、駆動磁石1307は、共通の変圧器コア1330のベース1334の周りに巻き付けられる。
図5は、図4のセンサ102の等尺図である。本発明のこの実施形態において、アセンブリケーシング412Dは、アセンブリケーシング412Dのリーディング面220Dとの共通面に検出コア416のリーディング面509の位置決めを合わせるための開口501を備える。1つの実施形態において、検出コア416のリーディング面509は、薄膜(図示されず)により密閉シールされ、その結果、検出コイルは、磁性流体203と接触しない。さらに、この薄膜は、磁性流体が、アセンブリケーシング412D内へと漏れることを防ぐ。1つの実施形態において、薄膜は、非磁性の非導電性材料(例えば、テフロン(登録商標)またはポリエチレンテレフタレート(PETまたはDACRON)から作製され得る。さらなる実施形態において、アセンブリケーシングおよび検出コイルのコアに付着するシーラントが、磁性流体が、アセンブリケーシング412Dへと移動するのを防ぐために使用され得る。
図4および図5の実施形態において、アセンブリケーシング412Dは、リム411を備え、このリムは、リアーキャップ414のショルダー413の周りに嵌合するような寸法の内径を有する。この様式において、アセンブリケーシング412Dとキャップ414との間の固定配置は、止めばめ、摩擦ばめまたは締りばめであり得、これらはまた、接着手段または封着手段を備え得る。代替的な実施形態において、アセンブリケーシング412Dおよびキャップ414は、ねじ切りされた継手を有し得る。アセンブリケーシング412Dはまた、センサハウジング104のポート419内に受容可能であり、かつ、ポート419にドッキング可能な、ショルダー415を備える。この様式において、アセンブリケーシング412Dとセンサハウジング104との間の固定配置は、止めばめ、摩擦ばめ、または締りばめであり得、これらはまた、その間に、接着手段または封着手段を備え得る。
図1〜5の実施形態において、駆動磁石アセンブリ106A、106B、106Dおよび106Eのアセンブリケーシング412A、412B、412Dおよび412Eは、各々独立して、4つの傾斜面517A、517B、517Dおよび517Eを備える。駆動磁石アセンブリ106Cおよび106F(完全には示されていない)がまた、4つのこのような傾斜面を備えることが理解されるべきである。図1〜5の実施形態において示されるセンサハウジングにおいて、アセンブリケーシングは、駆動磁石コイルの巻きに隣接するアセンブリケーシング半径を最大にするような「錐体」形状を取る。このような配置において、センサの作動の間に有用ではない、アセンブリケーシング内の散逸流速は、最小になる。なぜならば、駆動コイルに隣接するアセンブリケーシングの半径と、コアの半径との間の比が最大になるからである。
駆動磁石アセンブリ106A〜106Fが、センサハウジング104のそれぞれのポート419内にドッキングされる場合、第1の駆動磁石アセンブリケーシングの各傾斜面は、ハウジング104の内側の4つの近接する駆動磁石アセンブリケーシングの各々の隣接する傾斜面と整列する。ケーシング面の整列は、図2に示されるセンサハウジング104の内面図に最も良く例示される。図2に示されるように、駆動磁石アセンブリ106A、106B、106Dおよび106Eのリーディング面220A、220B、220Dおよび220Eは、駆動磁石アセンブリ106Cおよび106F(図示されず)のリーディング面と一緒に、作業空間205を形成し、この空間に、慣性体202が実質的に含まれる。
駆動磁石アセンブリ106A〜106Fの各々により生じる磁場は、作業空間205内の平衡点において、磁性流体203内に慣性体202を懸垂するために、協働して使用される。この平衡点は、センサハウジング104の幾何学中心に近い。慣性体202の変位、および磁性流体203の同時に生じる変位の際に、駆動磁石アセンブリ106A〜106Fの検出コイルは、ハウジング104内の磁場の変化を測定する。磁性流体203は、弾性体として機能して、作業空間205内で、磁場が最も強い位置に戻ろうとする。このことにより、慣性体202に対する反発力を生じる。
慣性体202は、非磁性または部分的(弱い)磁性(例えば、磁性流体203よりも実質的に磁性が低い)材料のいずれかから作製され得る。
上に示され、記載されるセンサハウジングは、立方体であるが、センサハウジングは立方体である必要はなく、より多いかもしくはより少ない体積の磁性流体;磁性流体加速度センサの全体の大きさの減少もしくは増加;種々の形状の慣性体;および/またはより多いかもしくはより少ない数の磁場供給源および/もしくは検出機構を収容するために、他の形状を取り得ることが理解される。例えば、図6に例示されるように、センサ600の等角ハウジング604は面取りされた角621を有し、センサの内面積および外寸を減らされる。さらに、1つの実施形態において、少なくとも1つの面取りされた角621は、小さな開口部を備え得、この開口部を通して、組み立てられたセンサが、磁性流体で充填される。このアプローチの利点は、使用が必要な磁性流体が少なく、それにより、より安定なセンサを生じ、かつ、費用が安い(なぜならば、磁性流体は、比較的高価な構成要素であるので)ことである。この場合、流体による減衰効果が大きくなり、このことは、センサの帯域幅が減少することを意味する。より低い帯域幅が実際に所望される、多くの用途が存在することにもまた注意すること。
さらに、本発明の実施形態に従うセンサハウジングは、2〜3mm以下の辺の寸法を有し得る。図7に示される代替的な実施形態において、プリント回路基板(PCB)上に直接設置するために適合された、最小の辺の寸法を有するセンサ700が示される。センサ700は、ハウジング704の側面に組み込まれた接触パッド722を備え、このハウジング704は、整合接触パッド728を備えるPCB726上に、センサ700を設置するためのものである。
上で議論される実施形態は、別個の駆動磁石アセンブリが固定されたハウジングを例示するが、設計のバリエーションを簡単にするために、密着して固定された、より少ない構成要素の組み合わせハウジング/駆動磁石アセンブリを構築することが、本発明の範囲内である。例えば、図8、9A、9Bおよび10は、組み合わせハウジング/駆動磁石アセンブリ804は、第1の部分823および第2の部分825を備え、これらは、対応する連結面823Aおよび824Aに沿って連結されると、立方体または平行六面体を形成する。この実施形態において、慣性体802と共に代表的な磁性流体803が、作業空間805内に囲まれ、この作業空間は、部分的に連結面823Aおよび824Aの中に形成される。第1のハウジング部分823および第2のハウジング部分824を出すように示されている、導線810は、ハウジング/駆動磁石アセンブリ804内および/または、ハウジング/駆動磁石アセンブリ804と一体で形成される種々の駆動磁石および検出エレメントに接続される。
図11〜12に示される別の実施形態において、センサ1100は、慣性体1102を収容する長方形の多面体形状ハウジング1104を備える。このハウジング1104はまた、長方形の多面体として成形加工される。
図14〜16は、本発明の別の実施形態に従う、角錐体形状の慣性体1402を収容する、角錐体形状のハウジング1404を備えるセンサ1400を例示する。センサ1400は、各々が、上記駆動磁石アセンブリ106A〜106Fに機能的に類似する、駆動磁石アセンブリ1406を有する、4つの側面を備える。従って、各駆動磁石アセンブリ1406が、ハウジングポート1419を介してハウジング1404と係合および連結される。
従って、上記の磁性流体加速度センサは、反発性の磁力の原理に基づいて機能する。その中に含まれる磁性流体は、磁性が高く、そして、その駆動磁石に引き付けられる。従って、駆動磁石に向かって引き付けられる磁性流体の作用は、磁性流体内で、駆動磁石から離れる方向で、慣性体に対してプッシュバック効果または反発効果を生じる。全ての駆動磁石が同一である場合、または、全ての駆動磁石が同一の力を発揮し、かつこれらの駆動磁石が、慣性体の周りに対称に配置される場合、慣性体は、ハウジングの幾何学中心に懸垂される傾向にある。この効果は、慣性体が駆動磁石により直接影響を受けるのではなく、磁性流体を通して間接的に影響を受ける場合でさえも、反発性の磁気効果として説明され得る。
このように本発明のある実施形態が記載されてきたが、記載される方法および装置の特定の利点が達成されることが、当業者に明らかであるべきである。また、これらの種々の改変、適応、および代替的な実施形態が、本発明の範囲および精神の中でなされ得ることが理解されるべきである。本発明は、添付の特許請求の範囲によりさらに規定される。
図1は、本発明の1つの実施形態に従う、組み立てられた磁性流体加速度センサの等尺図を例示する。 図2は、駆動磁石アセンブリが取り除かれた、図1のセンサの側面図を例示する。 図3は、図2に示されるセンサの部分切断図を例示する。 図4は、図1のセンサの分解側面図を例示する。 図5は、図4のセンサの等尺図を例示する。 図6は、本発明に従うセンサの別の実施形態を例示する。 図7は、本発明の別の実施形態に従うセンサハウジングを例示する。 図8は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのクラムシェル型ハウジングを例示する。 図9Aは、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのクラムシェル型ハウジングを例示する。 図9Bは、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのクラムシェル型ハウジングを例示する。 図10は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのクラムシェル型ハウジングを例示する。 図11は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのハウジングを例示する。 図12は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのハウジングを例示する。 図13は、本発明における用途のための、共通の変圧器コアの実施形態を例示する。 図14は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのハウジングを例示する。 図15は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのハウジングを例示する。 図16は、本発明の別の実施形態に従うセンサのためのハウジングを例示する。
符号の説明
102:センサ
104:ハウジング
106:駆動磁石アセンブリ
110:導線
202:慣性体
203:磁性流体
205:作業空間
419:ポート

Claims (12)

  1. 磁性流体加速度センサであって、以下:
    複数のポートを有するハウジングであって、該複数のポートは、該ハウジングの外側から内側へと開口部を提供する、ハウジング;
    複数の駆動磁石アセンブリであって、該駆動磁石アセンブリの各々は、該ハウジングのそれぞれのポートと係合可能であり、該駆動磁石アセンブリの各々は、磁場供給源を備える、複数の駆動磁石アセンブリ;
    該ハウジング内の磁性流体;および
    該磁性流体内の慣性体
    を備える、磁性流体加速度センサ。
  2. 前記駆動磁石アセンブリの各々が、検出エレメントをさらに備える、請求項1に記載のセンサ。
  3. 前記駆動磁石アセンブリの各々が、アセンブリケーシングおよびリアーキャップをさらに備え、該ケーシングおよび該リアーキャップは、前記磁場供給源および前記検出エレメントを実質的に囲むように互いに嵌合する、請求項1に記載のセンサ。
  4. 前記磁場供給源が駆動磁石コイルを備え、そして、前記検出エレメントが1対の検出コイルを備える、請求項3に記載のセンサ。
  5. 前記駆動磁石コイルおよび前記1対の検出コイルが、共通の変圧器コアの周りに巻き付けられている、請求項4に記載のセンサ。
  6. 前記アセンブリケーシングの各々が、複数の傾斜表面を有し、該傾斜表面は、前記ハウジングの内側内に広がる、請求項3に記載のセンサ。
  7. 前記1つの駆動磁石アセンブリの傾斜表面が、近接する駆動磁石アセンブリの傾斜表面と整列する、請求項6に記載のセンサ。
  8. 前記アセンブリケーシングの各々が、リーディング面を備え、前記検出エレメントが、それぞれのコア部分の周りに巻き付けられている1対の検出コイルを備え、その結果、該コア部分のリーディング面と、該アセンブリケーシングのリーディング面が、共通の平面内にある、請求項3に記載のセンサ。
  9. 前記ハウジングは、6つの側面を有し、該側面の各々に、前記複数の駆動磁石アセンブリのうちの1つが取り付けられている、請求項1に記載のセンサ。
  10. 前記磁場供給源が、本質的に、磁石、電磁石、および磁石と電磁石との組み合わせからなる群より選択される駆動磁石である、請求項1に記載のセンサ。
  11. 前記慣性体が、非磁性である、請求項1に記載のセンサ。
  12. センサであって、以下:
    ハウジング;
    該ハウジング内に位置付けられる複数の駆動磁石アセンブリであって、該駆動磁石アセンブリの各々は、磁石を備える、駆動磁石アセンブリ;
    該駆動磁石に近接する該ハウジング内の磁性流体;および
    該磁性流体内の慣性体
    を備える、センサ。
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