JP2006088473A - Manufacturing method of multilayered film - Google Patents

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利幸 小松
Kenji Uejima
健二 上島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a multilayered film capable of controlling the film thicknesses of the films of respective layers by a conventional known film thickness meter regardless of the materials for constituting the respective layers. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the multilayered film includes a process for arranging extrusion dies 14 in the longitudinal direction of the multilayered film 11 in series, a process for casting a resin material on an endless belt 16 from the extrusion dies 14 in a curtain-like state to laminate the resin material, a process for measuring the distances from the surface (reference surface 23) of a backup roller 22 to the exposed surfaces appearing in the respective layers of the multilayered film 11 by a film thickness meter 24 to calculate the thicknesses of the respective layers, a process for controlling the casting amount of the resin material from the extrusion die 14 by regulating the temperature of the lip part 10 of the extrusion die 14 through a heater 12 on the basis of the obtained film thickness data, a process for controlling the casting amount of the resin material from the extrusion die 14 and a process for winding the obtained multilayered film 11 by a winding device 26. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、各層の膜厚が制御された多層フィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a multilayer film in which the thickness of each layer is controlled.

近年、基材フィルムに異なる特性を持つ樹脂を積層して、多層フィルムとすることにより、かかる基材フィルムに種々の機能を付加するニーズが高まっている。例えば、エレクトロニクス製品の軽量化、小型化、高密度化にともない、絶縁性フィルム上に金属箔からなる回路が形成された構造を有するフレキシブル積層板(フレキシブルプリント配線板(以下、「FPC」と言う。)等とも呼ばれる。)の需要が伸びているが、かかる絶縁性フィルムとして多層フィルムが好適に用いられている。   In recent years, there has been an increasing need to add various functions to a base film by laminating resins having different characteristics on the base film to form a multilayer film. For example, a flexible laminated board (a flexible printed wiring board (hereinafter referred to as “FPC”) having a structure in which a circuit made of a metal foil is formed on an insulating film as the electronic product becomes lighter, smaller, and higher in density. .), Etc.) is growing, but multilayer films are suitably used as such insulating films.

特に、耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった要求特性が厳しくなるに従い、ポリイミドフィルムから構成される基材フィルムに、熱可塑性ポリイミド系化合物から構成される接着層を介して金属層を積層させたフレキシブル積層板(以下、「二層FPC」と言う。)が提案されている。   In particular, as demand characteristics such as heat resistance, flexibility, and electrical reliability become stricter, a metal layer is laminated on a base film composed of a polyimide film via an adhesive layer composed of a thermoplastic polyimide compound. A flexible laminate (hereinafter referred to as “two-layer FPC”) has been proposed.

かかる二層FPCは、例えば、ポリイミドフィルムの少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド系化合物から構成される接着層を設けてなる多層フィルムと金属箔とを、ラミネートすることによって得ることができる。   Such a two-layer FPC can be obtained, for example, by laminating a multilayer film and a metal foil provided with an adhesive layer composed of a thermoplastic polyimide compound on at least one surface of a polyimide film.

このような、ポリイミドフィルムを基材フィルムとする多層フィルムの製造方法としては、基材フィルムとなる高耐熱性のポリイミドフィルムの片面または両面に、接着層となる熱可塑性ポリイミド系化合物の溶液及び/又はその前駆体の溶液(以下、「熱可塑性ポリイミド系化合物ワニス」と言う。)を、ロールコータやダイコータ等で塗工し乾燥させて製造する塗工法や、高耐熱性のポリイミド系化合物の溶液及び/又はその前駆体の溶液(以下、「高耐熱性ポリイミド系化合物ワニス」と言う。)と、熱可塑性ポリイミド系化合物ワニスとを、フィルムの長手方向に直列に設けられた押出成型ダイを用いてそれぞれ押出して積層し、その後乾燥させて製造する同時押出製膜法や、先ず高耐熱性ポリイミド系化合物ワニスを押出成型ダイで製膜した後、次いで熱可塑性ポリイミド系化合物ワニスをロールコータやダイコータ等で塗工し乾燥させて製造する押出製膜同時塗工法が挙げられる。   As a method for producing such a multilayer film using a polyimide film as a base film, a solution of a thermoplastic polyimide compound as an adhesive layer on one or both sides of a high heat resistant polyimide film as a base film and / or Alternatively, a precursor solution (hereinafter referred to as “thermoplastic polyimide compound varnish”) is applied by a roll coater or a die coater and dried, or a solution of a highly heat-resistant polyimide compound. And / or a precursor solution (hereinafter referred to as “high heat-resistant polyimide compound varnish”) and a thermoplastic polyimide compound varnish are used in an extrusion die provided in series in the longitudinal direction of the film. Each of which is extruded, laminated and then dried to produce a co-extrusion film-forming method, or first a high heat-resistant polyimide compound varnish After film formation, and then include extrusion casting simultaneous coating method for producing a thermoplastic polyimide-based compound varnish by coating and drying a roll coater or a die coater or the like.

以上は、エレクトロニクス製品に使用されているFPCの例を挙げたが、各業種においても多層フィルムのニーズは高まっており、いずれの多層フィルムにおいても、各膜厚寸法の精度が重要な仕様のひとつであり、従って、その製造工程において、膜厚寸法の調整は極めて重要である。   The above is an example of FPC used in electronics products, but the need for multilayer films is increasing in each industry, and the accuracy of each film thickness dimension is one of the important specifications for any multilayer film. Therefore, adjustment of the film thickness dimension is extremely important in the manufacturing process.

この膜厚寸法の調整方法としては、例えば、上述の押出成型ダイを用いる押出製膜法であれば、多層ダイのリップ部に埋め込んだヒータにより樹脂温度を制御したり、リップ部に設けたヒートボルトの伸縮によってそのリップ部の間隙を制御したりして、フィルムの厚み寸法を調整する方式や、上述の基材フィルムに樹脂溶液を塗工する塗工法であれば、塗工ダイの吐出量を制御したり、ロールコータと基材フィルムとの間隙を制御したりして、塗工膜厚の調整をする方式がある。   As a method for adjusting the film thickness dimension, for example, in the case of the extrusion film forming method using the above-described extrusion die, the resin temperature is controlled by a heater embedded in the lip portion of the multilayer die, or the heat provided in the lip portion is used. If the method of adjusting the thickness of the film by controlling the gap of the lip part by expansion and contraction of the bolt or the coating method of applying the resin solution to the above base film, the discharge amount of the coating die There is a method of adjusting the coating film thickness by controlling the gap between the roll coater and the base film.

しかし、いずれの方式も、成型した多層フィルムの各層の膜厚寸法を実際に測定し、その膜厚寸法データを各膜厚寸法制御手段にフィードバックして、各膜厚寸法を調整、制御する必要があった。   However, in any method, it is necessary to actually measure the film thickness dimension of each layer of the formed multilayer film, feed back the film thickness dimension data to each film thickness dimension control means, and adjust and control each film thickness dimension. was there.

従来より、かかる膜厚測定として、成型された多層フィルムを切り取ってサンプリングし、断面を顕微鏡等で観察、計測する方法があるが、かかる方法では、計測データをタイムリーに製膜装置へフィードバックすることができないという問題があった。また、各層の膜厚寸法をオンラインで測定する方法では、膜厚計として、非接触式の放射線透過型側長器やレーザー測長器、あるいは接触式のダイヤルゲージ等が用いられるが、かかる膜厚計のうち、放射線透過型側長器は、放射線をフィルムに透過させ、その透過前後の放射線強度から厚みを算出するメカニズムになっている。このため、多層フィルムに放射線を透過させると、各層全てを透過してきた放射線強度から膜厚を算出することとなってしまい、多層フィルムの全厚みしか測定することができなかった。また、レーザー測長器や接触式のダイヤルゲージ等では、レーザーやゲージが、各層の表面に当接することを要するところ、多層フィルムにおける各層の表面は、最外層面を除いて他の層で被覆されているため、膜厚計を各層の表面に当接させることができず、従って、かかる方法で多層フィルムの各層の膜厚寸法を測定することは原理的に不可能であった。   Conventionally, as such film thickness measurement, there is a method of cutting and sampling a molded multilayer film and observing and measuring a cross section with a microscope or the like, but in such a method, measurement data is fed back to the film forming apparatus in a timely manner. There was a problem that I could not. In addition, in the method of measuring the film thickness dimension of each layer online, a non-contact type radiation transmission side length measuring device, a laser length measuring device, or a contact type dial gauge is used as the film thickness meter. Among the thickness gauges, the radiation transmission side length gauge has a mechanism for transmitting radiation through a film and calculating the thickness from the radiation intensity before and after the transmission. For this reason, when radiation was transmitted through the multilayer film, the film thickness was calculated from the radiation intensity transmitted through all the layers, and only the total thickness of the multilayer film could be measured. In laser measuring instruments and contact-type dial gauges, where the laser or gauge needs to contact the surface of each layer, the surface of each layer in the multilayer film is covered with other layers except for the outermost layer surface. Therefore, the film thickness meter cannot be brought into contact with the surface of each layer, and therefore it is impossible in principle to measure the film thickness dimension of each layer of the multilayer film by such a method.

さらに、これまでに、多層フィルムの各層の膜厚寸法が測定できる赤外線吸収方式や光干渉方式の膜厚計で各膜厚寸法を測定し、その膜厚寸法データを膜厚寸法制御手段にフィードバックする技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)が、これらは、同じ赤外線吸収スペクトルや屈折率を示すフィルムが積層する多層フィルムでは、各層の膜厚寸法を正確に測定できないという問題があった。また、フィルムを構成する材料を変更する場合、改めて赤外線吸収スペクトルや屈折率などのデータを採取し直す必要があった。
特開2000−71309号公報
Furthermore, each film thickness dimension has been measured with an infrared absorption method or optical interference method film thickness meter that can measure the film thickness dimension of each layer of the multilayer film, and the film thickness dimension data is fed back to the film thickness control means. However, in the multilayer film in which films having the same infrared absorption spectrum and refractive index are laminated, there is a problem that the film thickness dimension of each layer cannot be measured accurately. there were. Moreover, when changing the material which comprises a film, it was necessary to recollect data, such as an infrared absorption spectrum and a refractive index, again.
JP 2000-71309 A

さらに、これらの膜厚計は、赤外線吸収スペクトルや反射光の波長を取り込み、それを分析することにより、膜厚寸法を算出するしくみで、そのデータの取り込み時間や分析処理時間が長くなる傾向にあり、連続するフィルム製造装置で成型される多層フィルムの各層の膜厚寸法を連続的に採取する事が困難であった。さらに、かかる膜厚計は、総じて高価であることも課題のひとつであった。   In addition, these film thickness meters capture infrared absorption spectra and reflected light wavelengths and analyze them to calculate the film thickness dimension, which tends to increase the time for data acquisition and analysis processing. In addition, it has been difficult to continuously collect film thickness dimensions of each layer of a multilayer film molded by a continuous film manufacturing apparatus. Furthermore, one of the problems is that such a film thickness meter is generally expensive.

本発明の目的は、多層フィルムの製造方法であって、多層フィルムを構成する層の膜厚制御を、従来公知の膜厚計によっても行うことができ、また、各層を構成する材料に関わらず行うことができる多層フィルムの製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is a method for producing a multilayer film, and the film thickness of the layers constituting the multilayer film can be controlled by a conventionally known film thickness meter, and regardless of the material constituting each layer. It is providing the manufacturing method of the multilayer film which can be performed.

本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところは、樹脂材料を積層して多層フィルムを製造する工程において、前記工程が、基準面を準備する工程と、最外層面を除く層の面の一部が露出する露出面を備えた多層フィルムを準備する工程と、前記最外層面のうちいずれか一方の面と前記露出面とから選択される少なくとも二つの面のそれぞれと、前記基準面との距離を測定する工程と、測定される距離の値から選択される二つの値の差から、前記多層フィルムを構成する層の膜厚寸法を算出する工程と、得られた膜厚寸法のデータを基に前記樹脂材料の積層量を制御して、前記多層フィルムを構成する層の膜厚を調整する工程とを含むことにある。   The gist of the method for producing a multilayer film of the present invention is that, in the step of producing a multilayer film by laminating resin materials, the step comprises a step of preparing a reference surface and a surface of a layer excluding the outermost layer surface. Preparing a multilayer film with an exposed surface that is partially exposed, each of at least two surfaces selected from either one of the outermost surface and the exposed surface, and the reference surface The step of measuring the distance of the film, the step of calculating the film thickness dimension of the layers constituting the multilayer film from the difference between two values selected from the measured distance value, and the data of the film thickness dimension obtained And adjusting the film thickness of the layers constituting the multilayer film by controlling the amount of the resin material laminated.

また、本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところは、前記基準面が、前記最外層面のいずれか一方であり、前記基準面との距離を測定する工程が、前記最外層面の他の一方と前記露出面とから選択される少なくとも二つの面のそれぞれと、前記基準面との距離を測定して行われることにある。   Further, the gist of the method for producing a multilayer film of the present invention is that the reference surface is any one of the outermost layer surfaces, and the step of measuring a distance from the reference surface is performed on the outermost layer surface. The measurement is performed by measuring the distance between each of at least two surfaces selected from the other one and the exposed surface and the reference surface.

かかる構成により、本発明の多層フィルムを構成する層の膜厚測定は、多層フィルムを構成する層に設けられた露出面から基準面までの高さを測定することによりなされることとなる。   With this configuration, the film thickness of the layer constituting the multilayer film of the present invention is measured by measuring the height from the exposed surface provided on the layer constituting the multilayer film to the reference surface.

また、本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところは、前記露出面が、前記多層フィルムの幅方向を横切って設けられることにある。   Moreover, the gist of the method for producing a multilayer film of the present invention is that the exposed surface is provided across the width direction of the multilayer film.

かかる構成により、多層フィルムを構成する層の膜厚寸法の測定が、フィルムの幅方向になされることとなる。   With this configuration, measurement of the film thickness dimension of the layers constituting the multilayer film is performed in the width direction of the film.

また、本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところは、前記樹脂材料の積層が、前記多層フィルムの長手方向に直列に設けられ、かつ膜厚制御手段を備える押出ダイより、前記樹脂材料を被積層物上に流延してなされ、前記データが前記膜厚制御手段にフィードバックされることにある。   Further, the gist of the method for producing a multilayer film of the present invention is that the resin material is laminated from the extrusion die provided in series in the longitudinal direction of the multilayer film and provided with a film thickness control means. The data is fed back to the film thickness control means.

また、本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところは、前記樹脂材料の積層が、膜厚制御手段を備える塗工手段により、被積層物上に前記樹脂材料を塗工してなされ、前記データが前記膜厚制御手段にフィードバックされることにある。   Further, the gist of the production method of the multilayer film of the present invention is that the lamination of the resin material is performed by applying the resin material on the object to be laminated by a coating means including a film thickness control means, The data is fed back to the film thickness control means.

かかる構成により、連続して成型される多層フィルムの膜厚調整が、タイムリーになされることとなる。   With such a configuration, the film thickness of the multilayer film that is continuously molded is adjusted in a timely manner.

また、本発明の多層フィルムの製造方法の要旨とするところ、前記被積層物が、予め膜厚調整された基体フィルムであることにある。   Moreover, when it is set as the summary of the manufacturing method of the multilayer film of this invention, it exists in the said laminated body being a base film by which film thickness adjustment was carried out beforehand.

本発明の多層フィルムの製造方法は、多層フィルムを構成する層の膜厚を、多層フィルムを構成する層に設けられた露出面から基準面までの高さを測定することにより行うため、従来から用いられてきた、安価で高精度のレーザー測長器や接触式のダイヤルゲージ等の膜厚計を採用することができ、その結果、膜厚が高精度に制御された多層フィルムを安価に製造することができる。   Since the method for producing a multilayer film of the present invention is carried out by measuring the thickness of the layers constituting the multilayer film by measuring the height from the exposed surface to the reference surface provided in the layer constituting the multilayer film, It is possible to use low-cost, high-precision laser length measuring instruments and contact-type dial gauges that have been used, and as a result, inexpensively produce multilayer films with controlled film thickness. can do.

また、本発明の多層フィルムの製造方法は、多層フィルムを構成する各層の特性(赤外線吸収スペクトルや屈折率)に基づいて測定することを要しないため、いずれの材質から構成される多層フィルムにも適用することができる。   Moreover, since the manufacturing method of the multilayer film of this invention does not require to measure based on the characteristic (infrared absorption spectrum and refractive index) of each layer which comprises a multilayer film, the multilayer film comprised from which material is comprised. Can be applied.

また、本発明の多層フィルムの製造方法は、基準面から多層フィルムの最外層面のいずれか一方までの距離の値と、基準面から多層フィルムを構成する層に設けられた露出面までの距離の値とから選択される二つの値を任意に選択し、その差を求めることで多層フィルムを構成する層の膜厚寸法を算出するものであるので、通常の処理能力を持った演算装置(制御装置、シーケンサー)によっても瞬時に膜厚寸法を算出できる。   Further, the method for producing a multilayer film of the present invention includes a distance value from the reference surface to any one of the outermost layer surfaces of the multilayer film, and a distance from the reference surface to an exposed surface provided in a layer constituting the multilayer film. Arbitrarily select two values selected from these values, and calculate the film thickness dimension of the layers constituting the multilayer film by calculating the difference between them. The film thickness dimension can also be calculated instantaneously by a control device or a sequencer.

本発明の多層フィルムの製造方法は、多層フィルムを構成する層の膜厚制御がフィルムの幅方向になされるため、より細かに各層の膜厚調整がなされた多層フィルムを得ることを可能にする。   The method for producing a multilayer film of the present invention makes it possible to obtain a multilayer film in which the thickness of each layer is finely adjusted because the film thickness of the layers constituting the multilayer film is controlled in the width direction of the film. .

図1は、本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第1実施形態である。また図2は、図1におけるバックアップローラのA−A’断面図である。また図3は、本発明にかかる押出ダイの他の実施形態である。また図4は、露出面がフィルムの一端部に設けられた本発明の多層フィルムの断面図である。また図5は、本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第2実施形態である。また図6は、本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第3実施形態である。また図7は、露出面が種々の箇所に設けられた本発明にかかる多層フィルムの斜視図である。   FIG. 1 is a first embodiment of a method for producing a multilayer film according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the backup roller taken along the line A-A ′ in FIG. 1. FIG. 3 shows another embodiment of the extrusion die according to the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional view of the multilayer film of the present invention in which the exposed surface is provided at one end of the film. Moreover, FIG. 5 is 2nd Embodiment of the manufacturing method of the multilayer film concerning this invention. Moreover, FIG. 6 is 3rd Embodiment of the manufacturing method of the multilayer film concerning this invention. FIG. 7 is a perspective view of the multilayer film according to the present invention in which exposed surfaces are provided at various locations.

図1に従えば、本発明の多層フィルムの製造方法は、各々に排出口幅が異なり、またリップ部10にヒータ12を備える押出ダイ14を準備する工程と、多層フィルム11の流れ方向に従って排出口幅が徐々に小さくなるように、押出ダイ14を多層フィルム11の長手方向に直列に配設する工程と、各押出ダイ14に樹脂材料を注入する工程と、押出ダイ14からエンドレスベルト16上に樹脂材料をカーテン状に流延して樹脂材料を積層する工程と、樹脂材料の積層体(多層フィルム11)を乾燥炉18で加熱して、自己支持性を有する多層フィルム11とする工程と、自己支持性を有する多層フィルム11をエンドレスベルト16から引き剥がし、テンター炉20内でフィルムの幅方向及び/又は流れ方向に延伸・加熱する工程と、延伸・加熱後の多層フィルム11をバックアップローラ22に接触させる工程と、バックアップローラ22の表面(基準面23)から多層フィルム11の各層に現れる露出面28までの距離を膜厚計24で測定して、各層の膜厚を算出する工程と、得られる膜厚データに基づいてヒータ12を介して押出ダイ14のリップ部10の温度を調節して、押出ダイ14からの樹脂材料の流延量を制御する工程と、得られる多層フィルム11を巻き取り装置26で巻き取る工程と、を含んで構成される。   According to FIG. 1, the multilayer film manufacturing method of the present invention is different according to the process of preparing an extrusion die 14 having different discharge port widths and having a heater 12 at the lip portion 10, and the flow direction of the multilayer film 11. A step of arranging the extrusion dies 14 in series in the longitudinal direction of the multilayer film 11 so as to gradually reduce the exit width, a step of injecting a resin material into each of the extrusion dies 14, and an endless belt 16 from the extrusion dies 14 A step of casting the resin material in a curtain shape and laminating the resin material, and a step of heating the laminate (multilayer film 11) of the resin material in the drying furnace 18 to obtain a self-supporting multilayer film 11; A step of peeling off the self-supporting multilayer film 11 from the endless belt 16 and stretching and heating in the tenter furnace 20 in the width direction and / or the flow direction of the film; The step of bringing the heated multilayer film 11 into contact with the backup roller 22 and the distance from the surface (reference surface 23) of the backup roller 22 to the exposed surface 28 appearing on each layer of the multilayer film 11 is measured with a film thickness meter 24. The step of calculating the film thickness of each layer and the temperature of the lip portion 10 of the extrusion die 14 are adjusted via the heater 12 based on the obtained film thickness data, and the casting amount of the resin material from the extrusion die 14 is adjusted. A step of controlling, and a step of winding the obtained multilayer film 11 by the winding device 26.

ここで、各層の膜厚の算出は、図2に従えば、先ず多層フィルム11の各層に現れる露出面28からバックアップローラ22の表面(基準面23)までの距離、及び多層フィルム11の最外層面29からバックアップローラ22の表面までの距離をそれぞれ測定し、次いで膜厚を求めたい層における前記距離から、膜厚を求めたい層に隣接する下層における前記距離を減算することによって行う。   Here, the thickness of each layer is calculated according to FIG. 2. First, the distance from the exposed surface 28 appearing on each layer of the multilayer film 11 to the surface of the backup roller 22 (reference surface 23), and the outermost layer of the multilayer film 11. Each distance from the layer surface 29 to the surface of the backup roller 22 is measured, and then the distance in the lower layer adjacent to the layer whose thickness is to be determined is subtracted from the distance in the layer whose thickness is to be determined.

本発明の多層フィルムの製造方法において、樹脂材料の積層は、各樹脂材料を各々一つの押出ダイ14からエンドレスベルト16上に流延して行う態様に限定されるものではなく、図3に示すように、複数の流路30を有する一つの押出ダイ14を用いて各樹脂材料をエンドレスベルト16上に流延して行ってもよい。   In the method for producing a multilayer film according to the present invention, the lamination of the resin materials is not limited to an embodiment in which each resin material is cast from one extrusion die 14 onto the endless belt 16, and is shown in FIG. Thus, each resin material may be cast on the endless belt 16 by using one extrusion die 14 having a plurality of flow paths 30.

また、かかる樹脂材料の積層は、押出ダイ14を用いて行う態様に限定されるものではなく、ロールコータやダイコータ等を用いて被積層物に樹脂材料を塗工することによって行ってもよい。なお、かかる態様によって形成される多層フィルム11の各層に露出面28を設ける方法としては、例えば、排出口幅の異なるダイコータを、多層フィルム11の流れ方向に従って排出口幅が徐々に狭くなるように、多層フィルム11の長手方向に直列に配設したり、ロール幅の異なるロールコータを、多層フィルム11の流れ方向に従ってロール幅が徐々に小さくなるように、多層フィルム11の長手方向に直列に配設する態様を挙げることができる。   In addition, the lamination of the resin material is not limited to an embodiment performed using the extrusion die 14, and may be performed by applying the resin material to the object to be laminated using a roll coater, a die coater, or the like. In addition, as a method of providing the exposed surface 28 in each layer of the multilayer film 11 formed according to such an embodiment, for example, a die coater having a different discharge port width is formed so that the discharge port width is gradually narrowed according to the flow direction of the multilayer film 11. The roll coaters having different roll widths are arranged in series in the longitudinal direction of the multilayer film 11 so that the roll width gradually decreases in accordance with the flow direction of the multilayer film 11. The aspect to set can be mentioned.

本発明の多層フィルムの製造方法において、多層フィルム11に設けられる露出面28の位置は、フィルムの幅方向の両端部に設けられる態様に限定されず、図4に示すように、フィルムの幅方向の一端部に設けられる態様であってもよい。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, the position of the exposed surface 28 provided on the multilayer film 11 is not limited to an embodiment provided at both ends in the width direction of the film, and as shown in FIG. The aspect provided in the one end part of may be sufficient.

本発明の多層フィルムの製造方法において、多層フィルム11の各露出面28からバックアップローラ22の表面までの距離の測定は、いずれの膜厚計24を用いて行ってもよく、具体的には、非接触式の放射線透過型測長器や、レーザー測長器、あるいは接触式のダイヤルゲージ等を挙げることができる。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, the measurement of the distance from each exposed surface 28 of the multilayer film 11 to the surface of the backup roller 22 may be performed using any film thickness meter 24. Specifically, A non-contact type radiation transmission type length measuring device, a laser length measuring device, a contact type dial gauge, etc. can be mentioned.

ここで、レーザー測長器(例えば、LT9000(キーエンス製))は、測定物の表面にレーザー光を照射し、その焦点距離を精密に測定するものであり、測定表面に接触することなく距離を測定することができる。このため、得られる多層フィルム11が、傷つきやすい表面を有している場合や、用いられる樹脂材料の特性上、粘着性のある表面を有する場合、あるいは、乾燥前の多層フィルム11の膜厚測定を要する場合には、かかる測定は、レーザー測長器を用いて行うことが好ましい。   Here, the laser length measuring device (for example, LT9000 (manufactured by Keyence)) irradiates the surface of the measurement object with laser light and precisely measures the focal length, and the distance can be measured without contacting the measurement surface. Can be measured. For this reason, when the obtained multilayer film 11 has a surface that is easily damaged, or when it has a sticky surface due to the characteristics of the resin material used, or the thickness measurement of the multilayer film 11 before drying. When it is necessary, such measurement is preferably performed using a laser length measuring device.

各層の膜厚を算出する工程において、測定された距離の値から二つの値を適宜選択して減算する作業は、手作業によって行ってもよいが、公知の演算処理装置32を用いて行うことが好ましい。かかる構成により、各層の膜厚の算出を瞬時に行うことが可能となる。   In the step of calculating the film thickness of each layer, the operation of appropriately selecting and subtracting two values from the measured distance value may be performed manually or using a known arithmetic processing unit 32. Is preferred. With this configuration, the thickness of each layer can be calculated instantaneously.

また、本発明の多層フィルムの製造方法において、リップ部10の温度調整は、算出された各膜の膜厚データに基づいて、手作業によってヒータ12の設定温度を調節して行ってもよいが、膜厚データをオンラインでヒータ12に送信して、かかるデータに基づいてヒータ12の設定温度を調節して行うことが好ましい。かかる態様によって、多層フィルム11の膜厚制御を自動化できる。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, the temperature of the lip portion 10 may be adjusted by manually adjusting the set temperature of the heater 12 based on the calculated film thickness data of each film. Preferably, the film thickness data is transmitted to the heater 12 online, and the set temperature of the heater 12 is adjusted based on the data. By this aspect, the film thickness control of the multilayer film 11 can be automated.

本発明の多層フィルムの製造方法は、多層フィルム11を巻き取る工程の前に、多層フィルム11の幅方向の端部をカット装置34で切り取る工程と、切り取られた切取片を切取片回収装置36で回収する工程とを含んで構成されることが好ましい。かかる構成によって、露出面28を設けたことによって多層とならない多層フィルム11の端部が取り除かれることとなるため、露出面28という欠陥部位を有さない多層フィルム11を製造することができる。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, before the step of winding up the multilayer film 11, a step of cutting the end in the width direction of the multilayer film 11 with the cutting device 34, and a cut piece collecting device 36 for cutting the cut piece. It is preferable that it is comprised including the process collect | recovered by. With this configuration, since the end portion of the multilayer film 11 that is not a multilayer is removed by providing the exposed surface 28, the multilayer film 11 that does not have a defective portion of the exposed surface 28 can be manufactured.

なお、多くのフィルム製造装置では、フィルムの幅方向の両端部をテンター炉(延伸乾燥工程)での支持部分とし、乾燥工程後は、フィルムを巻き取り回収する工程の前に、幅方向の両端部を切り落として製品にしているので、かかる切り取り工程は、本発明の多層フィルムの製造方法において、なんら支障を来たさない。   In many film manufacturing apparatuses, both end portions in the width direction of the film are used as support portions in a tenter furnace (stretch drying step), and after the drying step, both ends in the width direction are taken before the step of winding and collecting the film. Since the part is cut off into a product, the cutting step does not cause any trouble in the method for producing a multilayer film of the present invention.

本発明の多層フィルムの製造方法において用いられる樹脂材料は、積層可能な樹脂材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンやポリエステルやポリイミド等を挙げることができる。また、これらの前駆体や共重合体や混合体等であってもよい。また、これらにカーボン等の添加物が含有された樹脂材料であってもよい。なお、樹脂材料の積層を、押出ダイで樹脂材料を押出したり、ロールコータやダイコート等で塗工して行う場合には、樹脂材料は樹脂流動体であることを要するが、かかる樹脂流動体は、樹脂材料を溶融状態とすることによって実現しても、溶液状態とすることによって実現してもよい。   The resin material used in the method for producing a multilayer film of the present invention is not particularly limited as long as it can be laminated, and examples thereof include polyethylene, polyester, and polyimide. Moreover, these precursors, copolymers, mixtures and the like may be used. Moreover, the resin material which contained additives, such as carbon, in these may be sufficient. In addition, when the resin material is laminated by extruding the resin material with an extrusion die or coating with a roll coater or die coat, the resin material needs to be a resin fluid. The resin material may be realized in a molten state or in a solution state.

具体的には、かかる樹脂材料は、熱可塑性ポリイミド系化合物ワニスと高耐熱性ポリイミド系化合物ワニスとの組み合わせから構成されることが好ましい。かかる構成によって得られる、高耐熱性ポリイミド系化合物層の少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド化合物層が設けられた多層フィルム11は、耐熱性に優れるのみならず、熱可塑性ポリイミド系化合物が高温において接着剤の役割を担うこととなるため、絶縁性フィルム(高耐熱性フィルム)を銅箔等に熱圧着法で貼り付けることが容易になり、高性能なプリント基板用ポリイミドフィルムとすることができる。   Specifically, the resin material is preferably composed of a combination of a thermoplastic polyimide compound varnish and a high heat resistant polyimide compound varnish. The multilayer film 11 having a thermoplastic polyimide compound layer provided on at least one surface of the highly heat-resistant polyimide compound layer obtained by such a structure not only has excellent heat resistance, but the thermoplastic polyimide compound is an adhesive at a high temperature. Since it assumes a role, it becomes easy to affix an insulating film (high heat resistance film) to a copper foil etc. with a thermocompression bonding method, and it can be set as the highly efficient polyimide film for printed circuit boards.

以上、本発明の多層フィルムの製造方法の実施態様を詳述したが、本発明は上述の実施態様に限定されるものではなく、その他の態様によっても実施し得るものである。   As mentioned above, although the embodiment of the manufacturing method of the multilayer film of this invention was explained in full detail, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, It can implement also with another aspect.

本発明の多層フィルムの製造方法における樹脂材料の積層は、エンドレスベルト16上に樹脂材料を押出あるいは塗工して行う態様に限定されるものではなく、図5に示すように、予め膜厚調整のされた基体フィルム38上に、樹脂材料を押出ダイ14で押出したり、ダイコート42で塗工して行ってもよい。   The lamination of the resin material in the method for producing a multilayer film of the present invention is not limited to an embodiment in which the resin material is extruded or coated on the endless belt 16, and the film thickness is adjusted in advance as shown in FIG. A resin material may be extruded on the substrate film 38 with the extrusion die 14 or coated with the die coat 42.

ここで、かかる基体フィルム38の材料としては、特に限定されるものではなく、樹脂材料の他に、金属や紙や布であってもよい。なお、基体フィルム38が樹脂フィルムである場合には、かかる樹脂材料の積層は、例えば図6に示すように、基体フィルム38となる樹脂材料を、レーザー測長器40と演算処理装置32と、押出ダイ14に設けられたヒータ12とによってその膜厚を制御しながら製膜・乾燥した後、ダイコート42で他の樹脂材料を塗布することによって行ってもよい。   Here, the material of the base film 38 is not particularly limited, and may be metal, paper, or cloth in addition to the resin material. In the case where the base film 38 is a resin film, the resin material is laminated by, for example, as shown in FIG. 6, a resin material that becomes the base film 38, a laser length measuring device 40, an arithmetic processing unit 32, The film formation and drying may be performed while controlling the film thickness with the heater 12 provided on the extrusion die 14, and another resin material may be applied with the die coat 42.

本発明の多層フィルムの製造方法において、露出面28を有する多層フィルム11を準備する工程は、フィルムの流れ方向に従って排出口幅が小さくなるようにダイを配設し、かかるダイを用いて樹脂材料を押出、あるいは塗工したり、フィルムの流れ方向に従ってロール幅が小さくなるようにロールコータを配設し、かかるロールコータを用いて樹脂材料を塗工したりして行う態様に限られるものではなく、ロールコータの幅方向に対する所望の位置の外周径を、他の外周径よりも小さくする等して、樹脂材料を被積層物に塗工しない箇所を設けて行ってもよい。また、排出口幅の同じダイを用いて、多層フィルム11の最外層面を除いて露出面28を有しない多層フィルム11を作製した後、多層フィルム11の所望の位置の一部を、任意の形状に切除等することによって行ってもよい。さらに、ダイからの樹脂材料の押出し、あるいは塗工を断続的に行うことによって、多層フィルム11の幅方向を横切って樹脂材料が積層されない箇所を設けることによって行ってもよい。かかる方法によって得られる多層フィルム11の態様を図7に示す。かかる構成により、フィルムの幅方向における各層の膜厚調整が可能となるため、より高精度に膜厚制御された多層フィルム11を得ることができる。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, the step of preparing the multilayer film 11 having the exposed surface 28 includes arranging a die so that the discharge port width becomes smaller according to the flow direction of the film, and using the die, a resin material It is not limited to the mode of extruding or coating, or arranging a roll coater so that the roll width becomes smaller according to the flow direction of the film, and applying a resin material using such a roll coater. Alternatively, the outer peripheral diameter at a desired position in the width direction of the roll coater may be made smaller than the other outer peripheral diameters, for example, so as to provide a portion where the resin material is not applied to the laminate. Moreover, after producing the multilayer film 11 which does not have the exposed surface 28 except the outermost layer surface of the multilayer film 11 using the die | dye with the same discharge port width | variety, some desired positions of the multilayer film 11 are made arbitrary. It may be performed by cutting into a shape or the like. Further, the resin material may be extruded from the die or applied intermittently to provide a portion where the resin material is not laminated across the width direction of the multilayer film 11. An embodiment of the multilayer film 11 obtained by such a method is shown in FIG. With this configuration, the thickness of each layer in the width direction of the film can be adjusted, so that the multilayer film 11 in which the thickness is controlled with higher accuracy can be obtained.

なお、露出面28が多層フィルム11の幅方向を横切って設けられた場合には、各層の膜厚測定は、多層フィルム11の幅方向に膜厚計24を数台設置、もしくは一台の膜厚計24を多層フィルム11の幅方向に移動させることによって、幅方向全域に渡って行うことが可能である。   In addition, when the exposed surface 28 is provided across the width direction of the multilayer film 11, the film thickness measurement of each layer is performed by installing several film thickness meters 24 in the width direction of the multilayer film 11 or by one film. By moving the thickness gauge 24 in the width direction of the multilayer film 11, it is possible to carry out across the entire width direction.

また、露出面28が多層フィルム11の幅方向を横切って設けられた場合には、多層フィルム11の端部を切除するのみでは、かかる多層でない箇所を除去することはできないが、多くのフィルム製造装置では、生産効率を上げるために、一度幅広のフィルムを成型し、その後定尺にカットする方法が採られており、かかるカットする部位に、フィルムの幅方向を横切って設けられる露出面28を配すれば、得られる多層フィルム11に多層でない部位が含まれることを防ぐことができる。   In addition, when the exposed surface 28 is provided across the width direction of the multilayer film 11, it is not possible to remove such a non-multilayer portion by merely cutting the end portion of the multilayer film 11. In order to increase production efficiency, the apparatus employs a method in which a wide film is once formed and then cut into a fixed size. An exposed surface 28 provided across the width direction of the film is provided at the part to be cut. If it arrange | positions, it can prevent that the site | part which is not a multilayer is contained in the multilayer film 11 obtained.

本発明の多層フィルムの製造方法において設けられる基準面23は、多層フィルム11の各膜の膜厚を算出する際の膜厚計24からの基準値を提供できるものであればよく、バックアップロールの表面を基準面とする態様に限定されるものではなく、ステンレスベルトの表面や、膜厚計24が設けられる位置(高さ)が基準面となってもよい。また、樹脂材料の積層が、予め膜厚調整された基体フィルム38上に樹脂材料を押出、又は塗布してなされる場合には、かかる基体フィルム38の表面が基準面であってもよい。さらに、膜厚計24がフィルムを挟持して膜厚を測定するタイプの膜厚計24である場合には、多層フィルム11の最外層面の一方が基準面となってもよい。   The reference surface 23 provided in the method for producing a multilayer film of the present invention may be any one that can provide a reference value from the film thickness meter 24 when calculating the film thickness of each film of the multilayer film 11. The surface is not limited to the reference surface, and the surface of the stainless belt or the position (height) where the film thickness meter 24 is provided may be the reference surface. Further, when the resin material is laminated by extruding or applying the resin material onto the base film 38 whose film thickness has been adjusted in advance, the surface of the base film 38 may be a reference plane. Furthermore, when the film thickness meter 24 is a type of film thickness meter 24 that measures the film thickness while sandwiching the film, one of the outermost layer surfaces of the multilayer film 11 may be a reference surface.

本発明の多層フィルムの製造方法において、樹脂材料の流延量の制御は、押出ダイ14のリップ部10に埋め込んだヒータ12により樹脂温度を制御して押出ダイ14から押出される樹脂量を調整する態様に限定されるものではなく、リップ部10に設けたヒートボルトの伸縮により、リップ部10の間隙を制御してフィルムの厚みを調整する態様であっても、あるいは、ロールコータと被積層物との間隙を制御してフィルムの厚みを調整する態様であってもよい。   In the method for producing a multilayer film of the present invention, the amount of resin material cast is controlled by adjusting the resin amount extruded from the extrusion die 14 by controlling the resin temperature with the heater 12 embedded in the lip portion 10 of the extrusion die 14. It is not limited to the embodiment to be performed, and even if it is an embodiment in which the thickness of the film is adjusted by controlling the gap of the lip portion 10 by expansion and contraction of a heat bolt provided in the lip portion 10, or a roll coater and a laminated layer The aspect which adjusts the thickness of a film by controlling the gap | interval with a thing may be sufficient.

その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施しうるものである。   In addition, the present invention can be carried out in a mode in which various improvements, modifications, and variations are added based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.

以下に、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically by way of examples. However, the present invention is not limited to these examples.

(合成例1;高耐熱性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸の合成)
10℃に冷却したN,N−ジメチルホルムアミド(以下、「DMF」と言う。)239kgに4,4’−オキシジアニリン(以下、「ODA」と言う。)6.9kg、p−フェニレンジアミン(以下、「p−PDA」と言う。)6.2kg、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン(以下、「BAPP」と言う。)9.4kgを溶解した後、ピロメリット酸二無水物(以下、「PMDA」と言う。)10.4kgを添加し1時間撹拌して溶解させた。ここに、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下、「BTDA」と言う。)20.3kgを添加し1時間撹拌させて溶解させた。
(Synthesis Example 1; Synthesis of Polyamic Acid as Precursor of High Heat-Resistant Polyimide Compound)
239 kg of N, N-dimethylformamide (hereinafter referred to as “DMF”) cooled to 10 ° C., 6.9 kg of 4,4′-oxydianiline (hereinafter referred to as “ODA”), p-phenylenediamine ( Hereinafter, it is referred to as “p-PDA”.) 6.2 kg, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (hereinafter referred to as “BAPP”) 9.4 kg are dissolved, 10.4 kg of pyromellitic dianhydride (hereinafter referred to as “PMDA”) was added and dissolved by stirring for 1 hour. Here, 20.3 kg of benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as “BTDA”) was added and stirred for 1 hour to dissolve.

別途調製しておいたPMDAのDMF溶液(PMDA:DMF=0.9kg:7.0kg)を上記反応液に徐々に添加し、粘度が3000ポイズ程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って固形分濃度18重量%、23℃での回転粘度が3500ポイズの、高耐熱性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液を得た。   A separately prepared DMF solution of PMDA (PMDA: DMF = 0.9 kg: 7.0 kg) was gradually added to the reaction solution, and the addition was stopped when the viscosity reached about 3000 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution of a precursor of a high heat resistant polyimide compound having a solid content concentration of 18% by weight and a rotational viscosity at 23 ° C. of 3500 poise.

(合成例2;熱可塑性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸の合成)
容量2000mlのガラス製フラスコにDMFを780g、BAPPを115.6g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下、「BPDA」と言う。)78.7gを徐々に添加した。続いて、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(以下、「TMEG」と言う。)を3.8g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。2.0gのTMEGを20gのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000ポイズに達したところで添加、撹拌をやめ、熱可塑性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液を得た。
(実施例1)
Synthesis Example 2 Synthesis of Polyamic Acid as a Precursor of Thermoplastic Polyimide Compound
780 g of DMF and 115.6 g of BAPP were added to a glass flask having a capacity of 2000 ml, and while stirring under a nitrogen atmosphere, 3,3′4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter referred to as “BPDA”). .) 78.7 g was gradually added. Subsequently, 3.8 g of ethylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) (hereinafter referred to as “TMEG”) was added and stirred for 30 minutes in an ice bath. A solution in which 2.0 g of TMEG was dissolved in 20 g of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the reaction solution while being careful of the viscosity and stirred. When the viscosity reached 3000 poise, addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution as a precursor of a thermoplastic polyimide compound.
Example 1

合成例1で得られた高耐熱性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液(以下、「高耐熱性ポリイミド系化合物ワニス」と言う。)に、以下の化学脱水剤及び触媒を含有せしめて、脱泡した。得られた高耐熱性ポリイミド系化合物ワニス1の粘度は800ポイズになった。
化学脱水剤:無水酢酸を、高耐熱性ポリイミド系化合物ワニスのアミド酸ユニット1モルに対して2モル
触媒:イソキノリンを、高耐熱性ポリイミド系化合物ワニスのアミド酸ユニット1モルに対して1モル
The following chemical dehydrating agent and catalyst were added to the polyamic acid solution (hereinafter referred to as “high heat resistant polyimide compound varnish”) of the precursor of the high heat resistant polyimide compound obtained in Synthesis Example 1, Defoamed. The viscosity of the resulting high heat resistant polyimide compound varnish 1 was 800 poise.
Chemical dehydrating agent: 2 moles of acetic anhydride per mole of amidic acid unit of highly heat-resistant polyimide compound varnish Catalyst: 1 mole of isoquinoline per mole of amic acid unit of highly heat-resistant polyimide compound varnish

合成例2で得られた熱可塑性ポリイミド系化合物の前駆体のポリアミド酸溶液(以下、「熱可塑性ポリイミド系化合物ワニス」と言う。)にDMFを添加して希釈した。得られた熱可塑性ポリイミド系化合物ワニス1の粘度は600ポイズになった。   DMF was added to the polyamic acid solution of the precursor of the thermoplastic polyimide compound obtained in Synthesis Example 2 (hereinafter referred to as “thermoplastic polyimide compound varnish”) and diluted. The viscosity of the resulting thermoplastic polyimide compound varnish 1 was 600 poise.

排出口幅が700mmの押出ダイ1と、押出ダイ1より排出口幅が中央に向かって15mm幅方向に短い押出ダイ2と、押出ダイ2より排出口幅が中央に向かって15mm幅方向に短い押出ダイ3とを準備し、これを多層フィルムの流れ方向に直列に、上流から押出ダイ3、押出ダイ2、押出ダイ1の順で配設した。なお、かかる押出ダイのリップ部には、ダイの幅方向にピッチ幅25mmでヒートボルトを設置し、ダイ内の流路の開度を調節することによって、押出ダイからの樹脂材料の流延量を調整することとした。   Extrusion die 1 having a discharge port width of 700 mm, extrusion die 2 having a discharge port width shorter than the extrusion die 1 by 15 mm toward the center and a discharge port width shorter than the extrusion die 2 by a width of 15 mm toward the center An extrusion die 3 was prepared, and this was arranged in order of the extrusion die 3, the extrusion die 2, and the extrusion die 1 from the upstream in series in the flow direction of the multilayer film. In addition, a heat bolt is installed in the lip portion of the extrusion die with a pitch width of 25 mm in the width direction of the die, and the amount of the resin material cast from the extrusion die is adjusted by adjusting the opening of the flow path in the die. It was decided to adjust.

押出ダイ1及び3に熱可塑性ポリイミド系化合物ワニス1を、押出ダイ2に高耐熱性ポリイミド系化合物ワニス1を注入し、各々の押出ダイから、かかるポリイミド系化合物ワニスを15m/分の速度で移動するステンレス製のエンドレスベルト上に流延し、130℃×100秒の条件で加熱した後、ステンレス製エンドレスベルトから引き剥がしてテンタークリップに固定し、テンター炉内で300℃×30秒、400℃×50秒、450℃×10秒で乾燥・イミド化した。   The thermoplastic polyimide compound varnish 1 is injected into the extrusion dies 1 and 3, and the high heat resistant polyimide compound varnish 1 is injected into the extrusion die 2, and the polyimide compound varnish is moved from each extrusion die at a speed of 15 m / min. Cast on a stainless steel endless belt, heated at 130 ° C. for 100 seconds, peeled off from the stainless steel endless belt, fixed to a tenter clip, and then in a tenter furnace at 300 ° C. for 30 seconds, 400 ° C. It was dried and imidized at 50 ° C and 450 ° C for 10 seconds.

イミド化後の三層フィルムを、テンター炉から出た直後にバックアップローラと接触させて、三層フィルムの幅方向の両端部に現れる露出面と、バックアップローラの外周表面までの距離をレーザー測長器で計測し、シーケンサーで各層の膜厚寸法を算出して、各層の両端の厚み寸法から幅方向の厚み寸法バラツキ傾向を把握し、各押出ダイに設置されたヒートボルトの印加電流へフィードバックして、厚み制御を行いながら、両外層が熱可塑性ポリイミド系化合物で、中央層が高耐熱性ポリイミド系化合物からなる、本発明にかかる三層フィルムを得た。
(比較例1)
Immediately after coming out of the tenter furnace, the three-layer film after imidation is brought into contact with the backup roller, and the distance between the exposed surface appearing at both ends in the width direction of the three-layer film and the outer peripheral surface of the backup roller is measured by laser. Measure the thickness of each layer with a sequencer, grasp the thickness variation tendency in the width direction from the thickness dimension at both ends of each layer, and feed back to the applied current of the heat bolt installed in each extrusion die Thus, while controlling the thickness, a three-layer film according to the present invention was obtained in which both outer layers were made of a thermoplastic polyimide compound and the central layer was made of a high heat resistant polyimide compound.
(Comparative Example 1)

厚み制御を行わない以外は実施例1と同様にして、両外層が熱可塑性ポリイミド系化合物で、中央層が高耐熱性ポリイミド系化合物からなる三層フィルムを得た。   Except not carrying out thickness control, it carried out similarly to Example 1, and obtained the three-layer film which both outer layers consist of a thermoplastic polyimide type compound, and a center layer consists of a high heat resistant polyimide type compound.

実施例1と比較例1との比較の結果、三層フィルムの製造において、各膜厚の制御をおこなわない場合には、各層の膜厚寸法バラツキが20%となるのに対し、膜厚の制御を行った場合には、かかるバラヅキは5%以内に収まることが分かった。   As a result of the comparison between Example 1 and Comparative Example 1, in the production of the three-layer film, when the film thickness is not controlled, the film thickness dimension variation of each layer is 20%, whereas the film thickness It was found that when the control is performed, such variation is within 5%.

本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第1実施形態である。It is 1st Embodiment of the manufacturing method of the multilayer film concerning this invention. 図1におけるバックアップローラのA−A’断面図である。It is A-A 'sectional drawing of the backup roller in FIG. 本発明にかかる押出ダイの他の実施形態である。It is other embodiment of the extrusion die concerning this invention. 露出面がフィルムの一端部に設けられた本発明の多層フィルムの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer film of this invention in which the exposed surface was provided in the one end part of the film. 本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第2実施形態である。It is 2nd Embodiment of the manufacturing method of the multilayer film concerning this invention. 本発明にかかる多層フィルムの製造方法の第3実施形態である。It is 3rd Embodiment of the manufacturing method of the multilayer film concerning this invention. 露出面が種々の箇所に設けられた本発明にかかる多層フィルムの斜視図である。It is a perspective view of the multilayer film concerning this invention in which the exposed surface was provided in various places.

符号の説明Explanation of symbols

10:リップ部
11:多層フィルム
12:ヒータ
14:押出ダイ
16:エンドレスベルト
18:乾燥炉
20:テンター炉
22:バックアップローラ
23:基準面
24:膜厚計
26:巻き取り装置
28:露出面
29:最外層面
30:流路
32:演算処理装置
34:カット装置
36:切取片回収装置
38:基体フィルム
40:レーザー測長器
42:ダイコート

10: Lip part 11: Multilayer film 12: Heater 14: Extrusion die 16: Endless belt 18: Drying furnace 20: Tenter furnace 22: Backup roller 23: Reference surface 24: Film thickness meter 26: Winding device 28: Exposed surface 29 : Outermost layer surface 30: flow path 32: arithmetic processing device 34: cutting device 36: cut piece collection device 38: base film 40: laser length measuring device 42: die coat

Claims (6)

樹脂材料を積層して多層フィルムを製造する工程において、前記工程が、
基準面を準備する工程と、
最外層面を除く層の面の一部が露出する露出面を備えた多層フィルムを準備する工程と、
前記最外層面のうちいずれか一方の面と前記露出面とから選択される少なくとも二つの面のそれぞれと、前記基準面との距離を測定する工程と、
測定される距離の値から選択される二つの値の差から、前記多層フィルムを構成する層の膜厚寸法を算出する工程と、
得られた膜厚寸法のデータを基に前記樹脂材料の積層量を制御して、前記多層フィルムを構成する層の膜厚を調整する工程と
を含む多層フィルムの製造方法。
In the process of producing a multilayer film by laminating resin materials, the process comprises:
Preparing a reference surface;
Preparing a multilayer film having an exposed surface where a part of the surface of the layer excluding the outermost layer surface is exposed;
A step of measuring a distance between each of at least two surfaces selected from any one of the outermost surface and the exposed surface, and the reference surface;
From the difference between two values selected from the measured distance value, calculating the film thickness dimension of the layers constituting the multilayer film;
A step of controlling the amount of the resin material laminated based on the obtained film thickness data and adjusting the film thickness of the layers constituting the multilayer film.
前記基準面が、前記最外層面のいずれか一方であり、前記基準面との距離を測定する工程が、前記最外層面の他の一方と前記露出面とから選択される少なくとも二つの面のそれぞれと、前記基準面との距離を測定して行われる請求項1に記載の多層フィルムの製造方法。 The reference surface is any one of the outermost layer surfaces, and the step of measuring a distance from the reference surface includes at least two surfaces selected from the other one of the outermost layer surfaces and the exposed surface. The manufacturing method of the multilayer film of Claim 1 performed by measuring the distance of each and the said reference plane. 前記露出面が、前記多層フィルムの幅方向を横切って設けられる請求項1又は2に記載の多層フィルムの製造方法。 The method for producing a multilayer film according to claim 1, wherein the exposed surface is provided across the width direction of the multilayer film. 前記樹脂材料の積層が、前記多層フィルムの長手方向に直列に設けられ、かつ膜厚制御手段を備える押出ダイより、前記樹脂材料を被積層物上に流延してなされ、前記データが前記膜厚制御手段にフィードバックされる請求項1乃至3のいずれかに記載の多層フィルムの製造方法。 Lamination of the resin material is performed by casting the resin material on an object to be laminated from an extrusion die provided in series in the longitudinal direction of the multilayer film and provided with a film thickness control means, and the data is the film The method for producing a multilayer film according to claim 1, which is fed back to the thickness control means. 前記樹脂材料の積層が、膜厚制御手段を備える塗工手段により、被積層物上に前記樹脂材料を塗工してなされ、前記データが前記膜厚制御手段にフィードバックされる請求項1乃至3のいずれかに記載の多層フィルムの製造方法。 4. The resin material is laminated by coating the resin material on an object to be laminated by coating means having film thickness control means, and the data is fed back to the film thickness control means. The manufacturing method of the multilayer film in any one of. 前記被積層物が、予め膜厚調整された基体フィルムである請求項4又は5に記載の多層フィルムの製造方法。
The method for producing a multilayer film according to claim 4 or 5, wherein the laminate is a base film whose film thickness has been adjusted in advance.
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