JP2006088256A - Work support mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、工作機械などでワークを支持するためのワーク支持機構に関する。 The present invention relates to a workpiece support mechanism for supporting a workpiece with a machine tool or the like.
マシニングセンタ、中ぐり盤、フライス盤などの工作機械では、ワークを加工するにあたって、ワークを取付具の上に載置し、ワークの縁部などを取付具に向かって押し付けて、取付具に固定する。しかしながら、ワークの着座面が鋳肌である場合には平坦でないことも多く、このままワークを取付具に押し付けると、取付具の基準面と部分的に接触しているワークの着座面を面全体で接触させようとする力が働く結果、ワークに歪みを生じさせ、加工精度に悪影響を与え得る。そこで、例えば特許文献1に記載のように、ワークの表面の傾斜に合わせて接触面の角度を自在に変えることができるワーク支持機構を取付具側に設ける手法が採用されることがある。
In a machine tool such as a machining center, a boring machine, or a milling machine, when machining a workpiece, the workpiece is placed on a fixture, and the edge of the workpiece is pressed toward the fixture to be fixed to the fixture. However, when the workpiece seating surface is cast, it is often not flat. When the workpiece is pressed against the fixture as it is, the workpiece seating surface that is in partial contact with the reference surface of the fixture will be As a result of the force to be brought into contact, the workpiece may be distorted and the machining accuracy may be adversely affected. Therefore, for example, as described in
特許文献1に記載のようなワーク支持機構は、ワークに接触させる頂面と球面状の底面とを有する半球状部材と、該半球状部材の球面状底面と相補的な形状の球面状凹部を有した受け座とを備えている。半球状部材は、半球状部材の球面状底面を球面状凹部の表面と対面させた状態で受け座に嵌合させられており、半球状部材はその球面状底面の中心点周りに受け座に対して自在に回転できるようになっている。したがって、ワークを半球状部材の頂面に押し付けると、受け座に対して半球状部材が回転して半球状部材の頂面がワークの着座面と平行になって当接する。この結果、半球状部材の頂面とワークの着座面とが面全体で接触しやすくなり、これにより、クランプ歪みの発生を抑制している。
A workpiece support mechanism as described in
しかしながら、工作機械などでワークをテーブル上に支持するために上記ワーク支持機構を用いる場合、ワークをテーブルに固定するためにワークにテーブルに向けて押し付ける方向の力が作用するので、ワークと接触する半球状部材にもテーブル側に位置する受け座に向けて押し付ける力が作用することになる。このため、半球状部材が受け座の球面状凹部に押し付けられて半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の表面との間の摩擦が増加し、受け座に対する半球状部材の回転が妨げられ、半球状部材の頂面が必ずしもワークの着座面と平行なって接触せず、いわゆる片当たりの状態になってクランプ歪みを生じさせることがある。 However, when the work support mechanism is used to support the work on the table with a machine tool or the like, a force in the direction of pressing the work toward the table acts to fix the work to the table, so that the work comes into contact with the work. A force to press the hemispherical member toward the receiving seat positioned on the table side also acts. For this reason, the hemispherical member is pressed against the spherical concave portion of the receiving seat, and the friction between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical concave portion of the receiving seat increases, and the hemispherical member rotates with respect to the receiving seat. The top surface of the hemispherical member is not necessarily in parallel with the seating surface of the workpiece and does not come into contact with the workpiece.
このような問題に対処するために、受け座の球面状凹部の表面にエア噴出口を設けて、半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の表面との間の微小隙間に圧縮空気を供給することにより、圧縮空気の静圧で受け座の凹状表面に対して半球状部材を浮き上がらせた状態に維持し、摩擦を低下させる手法が提案されている。この場合、ワークを介して半球状部材に作用する受け座に向かう力が圧縮空気で半球状部材を受け座の球面状凹部の表面から浮上させる力に打ち勝って、半球状部材の球面状底面が受け座の球面状凹部の表面に押し付けられエア噴出口を塞ぐまでは、半球状部材は受け座に対して容易に回転できるようになる。ところが、押し付け力で半球状部材の球面状底面が受け座の球面状凹部の表面に近づくことによって噴出口からの空気の噴出に対する抵抗が大きくなると、空気の圧縮性に起因して、圧力振動が発生し、これにより半球状部材が振動してワークをも振動させてしまう問題が生じることが分かった。 In order to deal with such a problem, an air outlet is provided on the surface of the spherical concave portion of the receiving seat and compressed into a minute gap between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical concave portion of the receiving seat. A method has been proposed in which, by supplying air, the hemispherical member is kept lifted with respect to the concave surface of the receiving seat by the static pressure of the compressed air, and the friction is reduced. In this case, the force toward the receiving seat acting on the hemispherical member through the workpiece overcomes the force that the hemispherical member floats from the surface of the spherical concave portion of the receiving seat with compressed air, so that the spherical bottom surface of the hemispherical member becomes The hemispherical member can be easily rotated with respect to the seat until it is pressed against the surface of the spherical recess of the seat and closes the air outlet. However, when the spherical bottom surface of the hemispherical member approaches the surface of the spherical concave portion of the receiving seat due to the pressing force, the resistance to the ejection of air from the ejection port increases, resulting in pressure vibration due to the compressibility of the air. It has been found that this causes a problem that the hemispherical member vibrates and vibrates the workpiece.
よって、本発明の目的は、上記従来技術に存する問題を解消して、ワークを支持するワーク支持機構に対してワークを押し付けたときにワークにクランプ歪みを発生させることを防止し且つ安定してワークを支持できるようにすることにある。 Therefore, the object of the present invention is to solve the above-described problems in the prior art and prevent the workpiece from being clamped and stably generated when the workpiece is pressed against the workpiece support mechanism for supporting the workpiece. The goal is to be able to support the workpiece.
前述の目的を達成するために、本発明は、ワークを載置するための平坦な頂面と球面状の底面とを有する半球状部材と、該半球状部材の球面状底面と概略相補的な形状の球面状凹部を有した受け座とを備え、前記半球状部材の前記球面状底面を前記球面状凹部の表面と対面させて前記受け座に嵌合させ、前記ワークを前記半球状部材の頂面に接触させたときに、前記半球状部材の頂面がワークの表面と平行になるように前記受け座に対して前記半球状部材が回転できるようにしたワーク支持機構において、前記半球状部材の球面状底面と前記球面状凹部の表面との間に流体を噴出させる噴出口を前記球面状凹部の表面に設けると共に、該噴出口から前記球面状凹部の開口縁端まで延びる溝を形成するように構成したワーク支持機構が提供される。 To achieve the foregoing object, the present invention provides a hemispherical member having a flat top surface and a spherical bottom surface for placing a workpiece, and is substantially complementary to the spherical bottom surface of the hemispherical member. A receiving seat having a spherical concave portion, and the spherical bottom surface of the hemispherical member faces the surface of the spherical concave portion and is fitted to the receiving seat, and the workpiece is fitted to the hemispherical member. In the workpiece support mechanism in which the hemispherical member can rotate with respect to the receiving seat so that the top surface of the hemispherical member is parallel to the surface of the workpiece when contacting the top surface. A spout is provided on the surface of the spherical concave portion between the spherical bottom surface of the member and the surface of the spherical concave portion, and a groove extending from the spout to the opening edge of the spherical concave portion is formed. A workpiece support mechanism configured to be provided is provided. .
受け座の球面状凹部に設けられた噴出口から半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の表面との間に流体を噴出させるので、半球状部材は流体の静圧で受け座の球面状凹部の表面から浮上した状態になって、半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の表面との間の摩擦が著しく小さくなる。したがって、ワークを介して半球状部材に作用する受け座に押し付ける方向の力が受け座の球面状凹部の表面から半球状部材を浮上させる流体の静圧に打ち勝って半球状部材の球面状底面が受け座の球面状凹部の表面に接触するまでは、半球状部材が受け座の球面状凹部に対して自在に回転して半球状部材の頂面がワークの着座面と容易に平行になる。また、受け座の球面状凹部の表面には、噴出口から球面状凹部の開口縁端まで延びる溝が形成されているので、半球状部材の球面状底面が受け座における噴出口の周囲の球面状凹部の表面に接触する状態になっても、噴出口から噴出する流体は球面状凹部の表面に形成された溝に沿って流れることができる。したがって、半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の噴出口とが接近又は接触しても噴出口から噴出する流体に対する抵抗が急激には上昇しないので、圧力の急激な上昇を回避でき、この圧力上昇による圧力振動の発生を防止することが可能となる。
なお、本願における用語「半球状部材」は、完全な球面のうち半球よりも大きい部分からなってもよく、半球よりも小さい部分からなってもよい。
Since the fluid is ejected from the spout provided in the spherical concave portion of the receiving seat between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical concave portion of the receiving seat, the hemispherical member is received by the static pressure of the fluid. Thus, the friction between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical recess of the receiving seat is remarkably reduced. Therefore, the force in the pressing direction acting on the receiving seat acting on the hemispherical member through the workpiece overcomes the static pressure of the fluid that causes the hemispherical member to float from the surface of the spherical concave portion of the receiving seat, and the spherical bottom surface of the hemispherical member becomes Until the surface of the spherical concave portion of the receiving seat comes into contact, the hemispherical member freely rotates with respect to the spherical concave portion of the receiving seat, and the top surface of the hemispherical member becomes easily parallel to the seating surface of the workpiece. Further, since a groove extending from the jet outlet to the opening edge of the spherical concave portion is formed on the surface of the spherical concave portion of the receiving seat, the spherical bottom surface of the hemispherical member is a spherical surface around the jet outlet of the receiving seat. Even when it comes into contact with the surface of the concave portion, the fluid ejected from the outlet can flow along the groove formed on the surface of the spherical concave portion. Therefore, even if the spherical bottom surface of the hemispherical member and the spout of the spherical concave portion of the receiving seat approach or come into contact with each other, the resistance to the fluid ejected from the spout does not increase abruptly. It is possible to prevent the occurrence of pressure vibration due to this pressure rise.
Note that the term “hemispherical member” in the present application may consist of a part larger than the hemisphere or a part smaller than the hemisphere in the complete spherical surface.
上記ワーク支持機構において、前記噴出口は前記球面状凹部の表面の中央に設けられており、前記溝が前記噴出口からそれぞれ正反対の方向に球面状凹部の開口縁端に向けて延びていることが好ましい。 In the work support mechanism, the jet port is provided at the center of the surface of the spherical recess, and the grooves extend from the jet port in opposite directions toward the opening edge of the spherical recess. Is preferred.
本発明によれば、受け座の球面状凹部の表面に設けられた噴出口から半球状部材の球面状底面と受け座の球面状凹部の表面との間に噴出させる流体の静圧により、半球状部材が受け座に対して浮き上がり、受け座に対して自在に回転して半球状部材の頂面をワークの着座面と容易に平行にすることができるので、ワークに押し付け力を作用させたときにワークに発生するクランプ歪みを抑制することができる。また、受け座の球面状凹部の表面に形成された溝の作用により、半球状部材の球面状底面が受け座の球面状凹部の表面に接近又は接触する状態になっても、噴出口から噴出する流体の急激な圧力上昇が起きず、急激な圧力上昇により引き起こされる半球状部材の振動を回避することができるので、安定してワークを支持することができる。 According to the present invention, the hemisphere is generated by the static pressure of the fluid ejected between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical concave portion of the receiving seat from the outlet provided on the surface of the spherical concave portion of the receiving seat. Since the shaped member floats up with respect to the receiving seat and can rotate freely with respect to the receiving seat so that the top surface of the hemispherical member can be easily parallel to the seating surface of the workpiece, a pressing force is applied to the workpiece. It is possible to suppress clamp distortion that sometimes occurs in the workpiece. In addition, even if the spherical bottom surface of the hemispherical member approaches or contacts the surface of the spherical concave portion of the receiving seat due to the action of the groove formed on the surface of the spherical concave portion of the receiving seat, As a result, a sudden pressure increase of the fluid does not occur, and the vibration of the hemispherical member caused by the rapid pressure increase can be avoided, so that the workpiece can be supported stably.
以下、図面を参照して、本発明のワーク支持機構の実施形態を説明する。図1は本発明のワーク支持機構の側断面図、図2は図1のワーク支持機構の受け座を上方から見た図である。ワーク支持機構は工作機械のテーブルなどに設けられた取付具上に取り付けられ、取付具の基準面を構成するものである。 Hereinafter, an embodiment of a work support mechanism of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view of a workpiece support mechanism of the present invention, and FIG. 2 is a view of a receiving seat of the workpiece support mechanism of FIG. The workpiece support mechanism is mounted on a fixture provided on a table or the like of the machine tool and constitutes a reference plane of the fixture.
図1を参照すると、ワーク支持機構11は、半球状部材13と、受け座15とを備える。半球状部材13は、ワークWを載置するための平坦な頂面17と、球面状の底面19とを有している。この半球状部材13は、厳密な半球である必要はなく、完全な球体を赤道の下側で切断した半球よりも小さい部分であってもよく、完全な球体を赤道の上側で切断した半球よりも大きい部分であってもよい。
Referring to FIG. 1, the
一方、受け座15の上面には、半球状部材13の球面状底面19と概略相補的な形状の球面状凹部21が形成されており、半球状部材13の球面状底面19を球面状凹部21の表面と対面させた状態で半球状部材13が球面状凹部21に嵌合されている。詳細には、受け座の球面状凹部21は、半球状部材13の球面状底面19よりも僅かに大きい半径を有しており、半球状部材13の球面状底面19の中心点と球面状凹部21の中心点とが一致するように配置したときに、半球状部材13の球面状底面19と受け座15の球面状凹部21の表面との間に隙間ができるようになっている。
On the other hand, a spherical
また、図1に示されている実施形態のように、受け座15に形成された球面状凹部21が半球形状であり且つ半球状部材13が完全な球体を赤道の上方で切断したような形状を有した部材からなっており、受け座15の球面状凹部21の中に収容された半球状部材13の赤道よりも上側の部分を覆うように、球面状内周面を有した環状部材29が受け座15の上面に取り付けられていることが好ましい。このような構造をとることにより、半球状部材13を受け座15内に保持し、球面状凹部21から脱落できないようにすることができる。
Further, as in the embodiment shown in FIG. 1, the spherical
受け座15には流体供給通路23がさらに設けられており、流体供給通路23は球面状凹部21の表面に開口して噴出口25を形成している。したがって、受け座15の流体供給通路23に流体を供給することにより、球面状凹部21の噴出口25から半球状部材13の球面状底面19と球面状凹部21の表面との間に流体を噴出させることができるようになっている。噴出口25から噴出された流体が半球状部材13の球面状底面19と球面状凹部21の表面との間の空間に均等に流通しやすいことから、噴出口25は、球面状凹部21の表面の中央、すなわち球面状凹部21の最も低い位置に形成されることが好ましい。流体としては、圧縮空気、クーラント、潤滑油等を使用することが可能である。
The receiving
また、球面状凹部21の表面には、図2に示されているように、噴出口25からそれぞれ球面状凹部21の表面に沿って反対方向に球面状凹部21の開口縁端まで延びる逃がし溝27が形成されており、半球状部材13が球面状凹部21に接触したときでも噴出口25から噴出される流体が半球状部材13の球面状底面19と球面状凹部21の表面との間を逃がし溝27に沿って受け座15の外部まで排出され得るようなっている。これにより、半球状部材13の球面状底面19が球面状凹部21の表面に近接又は接触した状態でも、噴出口25から流体が噴出でき、流体の圧力が急激に上昇しないようになるので、流体の急激な圧力上昇による流体の圧力振動及びそれによる半球状部材13の振動を防止することが可能となる。なお、図示されている逃がし溝27は一本のみにより構成されているが、複数本の逃がし溝27を設けることも可能である。
Further, as shown in FIG. 2, the surface of the
次に、図1のワーク支持機構11の動作を説明する。
先ず、受け座15の流体供給通路23に流体を供給した状態でワーク支持機構11の半球状部材13の頂面17にワークWを載せる。すると、半球状部材13は、流体供給通路23を通って噴出口25から半球状部材13の球面状底面19と球面状凹部21の表面との間に噴出した流体の静圧により球面状凹部21の表面から浮き上がっているので、球面状凹部21内で自在に回転して、ワークWの着座面との接触面積が最も大きくなるようにワークWの着座面の傾きに合わせて半球状部材13の頂面17を傾かせる。すなわち、半球状部材13は、その頂面17がワークWの着座面と平行になるように球面状凹部21内で回転する。
Next, the operation of the
First, the workpiece W is placed on the
次に、ワークWをクランプするために、ワークWの上方からワーク支持機構11に向けてワークWに押し付け力を作用させる。すると、押し付け力が噴出口25から噴出する流体によって半球状部材13を押し上げる力に打ち勝つまでの間に、半球状部材13の頂面17でワークWの着座面の微小な凹凸が潰されて着座面が安定した滑らかな表面になると共に、半球状部材13の頂面がこの滑らかな表面と平行になるように半球状部材13がさらに回転する。これにより、ワーク支持機構11によるワークWの支持をさらに安定したものとさせる。
Next, in order to clamp the workpiece W, a pressing force is applied to the workpiece W from above the workpiece W toward the
さらに押し付け力を強めて押し付け力が噴出口25から噴出する流体の圧力に打ち勝つようになると、半球状部材13は球面状凹部21に接近し、半球状部材13の球面状底面19がその最下部において球面状凹部21の表面と密着するようになる。この状態でも、噴出口25から噴出された流体は、受け座15の球面状凹部21に形成された逃がし溝27を通って、半球状部材13の球面状底面19と球面状凹部21の表面との間から受け座15の外部に流出するので、噴出口25から噴出する流体に対する抵抗が急激に上昇することはない。したがって、流体の圧力の急激な上昇による圧力振動も発生せず、半球状部材13及びそれに支持されるワークWに振動を発生させることもない。このように、本発明によれば、ワークWのクランプのために強い押し付け力をワークWに作用させても、安定した支持をワークWに与え続けることができる。
When the pressing force is further increased and the pressing force overcomes the pressure of the fluid ejected from the
11 ワーク支持機構
13 半球状部材
17 頂面
19 球面状底面
21 球面状凹部
25 噴出口
27 逃がし溝
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記半球状部材の球面状底面と前記球面状凹部の表面との間に流体を噴出させる噴出口を前記球面状凹部の表面に設けると共に、該噴出口から前記球面状凹部の開口縁端まで延びる溝を形成することを特徴としたワーク支持機構。 A hemispherical member having a flat top surface and a spherical bottom surface for placing a workpiece, and a receiving seat having a spherical concave portion that is substantially complementary to the spherical bottom surface of the hemispherical member. The hemispherical member when the spherical bottom surface of the hemispherical member faces the surface of the spherical concave portion and is fitted to the receiving seat, and the workpiece is brought into contact with the top surface of the hemispherical member. In the workpiece support mechanism in which the hemispherical member can rotate with respect to the receiving seat so that the top surface of the workpiece is parallel to the surface of the workpiece,
A spout for ejecting fluid is provided on the surface of the spherical concave portion between the spherical bottom surface of the hemispherical member and the surface of the spherical concave portion, and extends from the spout to the opening edge of the spherical concave portion. A workpiece support mechanism characterized by forming a groove.
2. The workpiece according to claim 1, wherein the ejection port is provided at the center of the surface of the spherical recess, and the grooves extend from the ejection port in opposite directions toward the opening edge of the spherical recess. Support mechanism.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008221351A (en) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Sanwa Daiya Kouhan Corp | Centering and positioning device and method of centering and positioning using same |
CN101856793A (en) * | 2010-06-22 | 2010-10-13 | 深圳市银宝山新科技股份有限公司 | Universal fixture |
CN104117864A (en) * | 2014-07-11 | 2014-10-29 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | Machining tool for drilling small holes in spherical workpiece |
CN110948391A (en) * | 2019-12-24 | 2020-04-03 | 北京航天控制仪器研究所 | Clamp for milling and grinding precision hemispherical parts |
-
2004
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008221351A (en) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Sanwa Daiya Kouhan Corp | Centering and positioning device and method of centering and positioning using same |
CN101856793A (en) * | 2010-06-22 | 2010-10-13 | 深圳市银宝山新科技股份有限公司 | Universal fixture |
CN104117864A (en) * | 2014-07-11 | 2014-10-29 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | Machining tool for drilling small holes in spherical workpiece |
CN104117864B (en) * | 2014-07-11 | 2016-07-13 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | A kind of spherical workpiece bores aperture processing tool |
CN110948391A (en) * | 2019-12-24 | 2020-04-03 | 北京航天控制仪器研究所 | Clamp for milling and grinding precision hemispherical parts |
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